CN202259213U - 一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具 - Google Patents

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宁永铎
边永智
徐继平
张静
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Youyan semiconductor silicon materials Co.,Ltd.
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Grinm Semiconductor Materials Co Ltd
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一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，包括两个平行设置的侧板，两侧板之间通过三根间隔设置的连接杆连接，两侧板的外周上开设有数个相互对应的槽口，两侧板间还设置有卡杆，该卡杆的两端设置两个相对应的槽口内，所述连接杆与所述卡杆在直线方向上均设置有多个等距的锯齿状缺口。该腐蚀载具与晶圆的接触面积小，在腐蚀过程中晶圆在腐蚀载具内自由转动，降低腐蚀笼印发生率，提高晶圆腐蚀后表面的均匀性；可以实现一个腐蚀载具适用于不同直径的晶圆，大大降低工装成本。

Description

一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具
技术领域
本实用新型涉及一种载具，尤其涉及一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具。
背景技术
在晶圆加工过程中，晶圆经过切片、研磨等机械加工后，其表面因机械加工产生的应力而形成一定深度的损伤层。通常采用化学腐蚀的方法来消除表层损伤层。腐蚀工艺一般由酸腐蚀和碱腐蚀两种，碱腐蚀工艺因其腐蚀速率低，容易表面平坦度，但是表面比较粗糙而容易吸附杂质。酸腐蚀工艺腐蚀速率高，表面比较光亮，表面不容易吸附杂质，但是表面平坦度差，控制不好表面容易塌边，实际生产中需要依靠晶片旋转、充分搅拌腐蚀剂、特别设计制造腐蚀载具等方法来改善表面状况。
传统的腐蚀载具多为单一尺寸，为了加工不同直径的产品，需要分别地定制不同尺寸的腐蚀载具，大大的增加了工装成本。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，利用该载具加工的产品腐蚀均匀性好，使用一只载具可以适用于多种直径晶圆的腐蚀。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，包括两个平行设置的侧板，两侧板之间通过三根间隔设置的连接杆连接，两侧板的外周上开设有数个相互对应的槽口，两侧板间还设置有卡杆，该卡杆的两端设置两个相对应的槽口内，该卡杆在直线方向上均设置有多个等距的锯齿状缺口。
所述连接杆与所述卡杆形成晶圆的承载空间，所述连接杆在直线方向上均设置有多个等距的锯齿状缺口，该些缺口与所述卡杆上的缺口相对应。
所述连接杆上的缺口与所述卡杆上的缺口宽度均匀一致。
所述卡杆的数量为四根，该四根卡杆排列形成晶圆的承载空间。
所述卡杆上的缺口宽度均匀一致。
所述侧板的外侧设有卡锁和固定销片。
所述侧板外侧还设有用来驱动载具转动的齿轮。
本实用新型的优点在于：
本实用新型的腐蚀载具与晶圆的接触面积小，在腐蚀过程中晶圆在腐蚀载具内自由转动，降低腐蚀笼印发生率，提高晶圆腐蚀后表面的均匀性；可以实现一个腐蚀载具适用于不同直径的晶圆，大大降低工装成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，包括两个平行设置的侧板1，两侧板之间通过三根间隔设置的连接杆3连接，两侧板的外周上开设有数个相互对应的槽口，两侧板间还设置有卡杆4，该卡杆4的两端设置两个相对应的槽口7、8内，该卡杆4在直线方向上均设置有多个等距的锯齿状缺口。该腐蚀载具的材质可以为聚四氟乙烯烷氧基树脂(PFA)、聚偏氟乙烯(PVDF)或聚四氟乙烯(PTFE)。
作为本实用新型的一个实施例，所述三根连接杆3与所述卡杆4形成晶圆的承载空间，所述连接杆3在直线方向上均设置有多个等距的锯齿状缺口9，该些缺口与所述卡杆上的缺口相对应。连接杆与卡杆上相应位置上的缺口形成一个承载晶圆的平面，晶圆的外缘置于相应的缺口内。所述连接杆上的缺口与所述卡杆上的缺口宽度均匀一致。
作为本实用新型的另一实施例，所述卡杆的数量为四根，该四根卡杆排列形成晶圆的承载空间。该四根卡杆上对应位置的缺口形成一个承载晶圆的平面。晶圆的外缘置于卡杆的缺口内，可以最大限度的缩小载具与晶圆之间的接触面积，从而降低腐蚀笼印的发生率，提高腐蚀片表面的均匀性。
通过调整两侧板上相应槽口的位置和深度，可以使四根卡杆形成不同尺寸的承载空间，以适应不同尺寸的晶圆。
所述侧板的外侧设有卡锁6和固定销片5。卡杆通过该卡锁和固定销片卡合固定在槽口内，拆装方便。
所述侧板外侧还设有用来驱动载具转动的齿轮2。载具的转动带动晶圆灵活的转动，卡锁的固定能有效的防止晶圆从载具中脱出。
本实用新型在对晶圆进行腐蚀的过程中，将晶圆置于四根卡杆的相应缺口内，然后通过侧板上的卡锁和固定销片将各卡杆的两端固定在侧板上，利用驱动装置驱动两侧板外侧的齿轮，从而带动晶圆自由转动，得到表面均匀性高、平坦度高的晶圆腐蚀片。

Claims (7)

1.一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，其特征在于：包括两个平行设置的侧板，两侧板之间通过三根间隔设置的连接杆连接，两侧板的外周上开设有数个相互对应的槽口，两侧板间还设置有卡杆，该卡杆的两端设置两个相对应的槽口内，该卡杆在直线方向上均设置有多个等距的锯齿状缺口。
2.根据权利要求1所述的适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，其特征在于：所述连接杆与所述卡杆形成晶圆的承载空间，所述连接杆在直线方向上均设置有多个等距的锯齿状缺口，该些缺口与所述卡杆上的缺口相对应。
3.根据权利要求2所述的适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，其特征在于：所述连接杆上的缺口与所述卡杆上的缺口宽度均匀一致。
4.根据权利要求1所述的适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，其特征在于：所述卡杆的数量为四根，该四根卡杆排列形成晶圆的承载空间。
5.根据权利要求1所述的适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，其特征在于：所述卡杆上的缺口宽度均匀一致。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，其特征在于：所述侧板的外侧设有卡锁和固定销片。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，其特征在于：所述侧板外侧还设有用来驱动载具转动的齿轮。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103258765A (zh) * 2013-05-09 2013-08-21 北京市塑料研究所 硅片承载器转换架
CN105648509A (zh) * 2014-11-12 2016-06-08 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 多尺寸兼容单片晶圆电镀夹具

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103258765A (zh) * 2013-05-09 2013-08-21 北京市塑料研究所 硅片承载器转换架
CN103258765B (zh) * 2013-05-09 2016-06-01 北京市塑料研究所 硅片承载器转换架
CN105648509A (zh) * 2014-11-12 2016-06-08 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 多尺寸兼容单片晶圆电镀夹具
CN105648509B (zh) * 2014-11-12 2019-02-01 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 多尺寸兼容单片晶圆电镀夹具

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