JP2014154630A - 基板処理装置及び成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転テーブル2の下方側にて改質領域S1に対向する位置にバイアス電極120を配置すると共に、改質領域S1の上方側にファラデーシールド95を配置して、これらバイアス電極120とファラデーシールド95とを容量結合させて前記改質領域S1にバイアス電界を形成する。そして、バイアス電極120について、回転テーブル2の回転方向における幅寸法tが互いに隣接するウエハW同士の離間寸法dよりも小さくなるように形成して、互いに隣接するウエハWに対して同時にバイアス電界が加わることを防止しながら、各ウエハWに対して個別にバイアス電界を形成する。
【選択図】図9
Description
特許文献3には、下部電極にバイアス電圧を印加する装置について記載されているが、回転テーブルによりウエハを公転させる技術については記載されていない。
真空容器内にて基板に対してプラズマ処理を行うための基板処理装置において、
基板を載置するための基板載置領域を前記真空容器の周方向に沿って複数箇所に配置すると共にこれら基板載置領域を各々公転させるための回転テーブルと、
基板に対してプラズマ処理を行うためのプラズマ発生領域にプラズマ発生用ガスを供給するプラズマ発生用ガス供給部と、
前記プラズマ発生用ガスにエネルギーを供給して当該ガスをプラズマ化するためのエネルギー供給部と、
前記回転テーブルの下方側にて前記プラズマ発生領域に対向するように設けられ、プラズマ中のイオンを基板の表面に引き込むためのバイアス電極と、
前記真空容器内を排気するための排気口と、を備え、
前記バイアス電極は、前記回転テーブルの回転中心側から外縁側に向かって伸びるように形成されると共に、前記回転テーブルの回転方向における幅寸法が互いに隣接する基板載置領域同士の離間寸法よりも小さくなるように形成されていることを特徴とする。
前記プラズマ発生領域に対して前記回転テーブルの回転方向に離間して位置し、前記回転テーブルの回転に伴い基板上に分子層あるいは原子層を順次積層して薄膜を形成するために前記基板載置領域に処理ガスを供給する処理ガス供給部を備え、
前記プラズマ発生領域は、前記分子層あるいは原子層の改質処理を行うためのものである構成。
前記対向電極及び前記バイアス電極を容量結合させて基板にバイアス電位を発生させるために、これら電極の間に高周波電力を供給するためのバイアス用の高周波電源と、を備えた構成。
プラズマ中のイオンを前記回転テーブル上の基板の表面に引き込むためのバイアス電位を静電誘導により当該基板に発生させるための電源部を備えた構成。
前記対向電極は、前記アンテナと前記プラズマ発生領域との間に設けられ、前記アンテナにより形成される電磁界の電界を遮断し、磁界を通過させるために、前記アンテナの伸びる方向と交差するように形成されたスリットをアンテナの長さ方向に沿って複数配列した導電板である構成。
前記エネルギー供給部は、前記プラズマ発生領域に容量結合プラズマを発生させるために、互いに対向するように配置された一対の電極を備えている構成。
前記基板載置領域は、前記回転テーブル上に4箇所以上設けられ、
互いに隣接する基板載置領域同士の離間寸法は、30mm以上120mm以下である構成。前記バイアス電極を昇降させるための昇降機構を備えた構成。
真空容器内にて基板に対して成膜処理を行うための成膜方法において、
前記真空容器の周方向に沿って回転テーブル上に複数箇所に設けられた基板載置領域に、表面に凹部が形成された基板を各々載置すると共に、これら基板載置領域を各々公転させる工程と、
次いで、前記基板載置領域上の各々の基板に対して処理ガスを供給して、基板上に分子層あるいは原子層を成膜する工程と、
続いて、前記真空容器内のプラズマ発生領域にプラズマ発生用ガスを供給すると共に、このプラズマ発生用ガスをプラズマ化して、プラズマによって前記分子層あるいは原子層の改質処理を行う工程と、
前記回転テーブルの下方側にて前記プラズマ発生領域に対向するように設けられたバイアス電極を用いて、プラズマ中のイオンを基板の表面に引き込む工程と、
前記真空容器内を排気する工程と、を含み、
前記バイアス電極は、前記回転テーブルの回転中心側から外縁側に向かって伸びるように形成されると共に、前記回転テーブルの回転方向における幅寸法が互いに隣接する基板載置領域同士の離間寸法よりも小さくなるように形成されていることを特徴とする。
以上の例において、図21に示すように、高周波電源128に代えて、負の直流電源129を用いても良い。
これら図24及び図25についても、バイアス電極120は、平面で見た時に互いに隣接する2枚のウエハWに同時に跨らないように形成されている。
また、バイアス電極120に接続する高周波電源129の周波数について、3.2MHzに設定したところ、以下の表2に示すように、同様の結果が得られた。
(表4)
尚、この表4における「プラズマ+O2」や「プラズマ+O3」とは、例えば第2の処理ガスノズル32の上方側に既述のプラズマ処理部80を設けて、これら酸素ガスやオゾンガスをプラズマ化して用いることを意味している。
(表5)
尚、この表5における「プラズマ」についても、表4と同様に「プラズマ」の用語に続く各ガスをプラズマ化して用いることを意味している。
(表8)
(表9)
尚、この表7において、酸素元素(O)を含むプラズマ、窒素元素(N)を含むプラズマ及び炭素元素(C)を含むプラズマについては、酸化膜、窒化膜及び炭化膜を成膜するプロセスだけに夫々用いても良い。
1 真空容器
2 回転テーブル
P1、P2 処理領域
S3 バイアス空間
10 凹部
31、32、34 ガスノズル
80 プラズマ処理部
83 アンテナ
95 ファラデーシールド
120 バイアス電極
85、128 高周波電源
Claims (9)
- 真空容器内にて基板に対してプラズマ処理を行うための基板処理装置において、
基板を載置するための基板載置領域を前記真空容器の周方向に沿って複数箇所に配置すると共にこれら基板載置領域を各々公転させるための回転テーブルと、
基板に対してプラズマ処理を行うためのプラズマ発生領域にプラズマ発生用ガスを供給するプラズマ発生用ガス供給部と、
前記プラズマ発生用ガスにエネルギーを供給して当該ガスをプラズマ化するためのエネルギー供給部と、
前記回転テーブルの下方側にて前記プラズマ発生領域に対向するように設けられ、プラズマ中のイオンを基板の表面に引き込むためのバイアス電極と、
前記真空容器内を排気するための排気口と、を備え、
前記バイアス電極は、前記回転テーブルの回転中心側から外縁側に向かって伸びるように形成されると共に、前記回転テーブルの回転方向における幅寸法が互いに隣接する基板載置領域同士の離間寸法よりも小さくなるように形成されていることを特徴とする基板処理装置。 - 前記プラズマ発生領域に対して前記回転テーブルの回転方向に離間して位置し、前記回転テーブルの回転に伴い基板上に分子層あるいは原子層を順次積層して薄膜を形成するために前記基板載置領域に処理ガスを供給する処理ガス供給部を備え、
前記プラズマ発生領域は、前記分子層あるいは原子層の改質処理を行うためのものであることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記回転テーブルの上方側にて前記バイアス電極に対向するように配置された、容量結合用の対向電極と、
前記対向電極及び前記バイアス電極を容量結合させて基板にバイアス電位を発生させるために、これら電極の間に高周波電力を供給するためのバイアス用の高周波電源と、を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。 - プラズマ中のイオンを前記回転テーブル上の基板の表面に引き込むためのバイアス電位を静電誘導により当該基板に発生させるための電源部を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記エネルギー供給部は、プラズマ発生領域に誘導結合プラズマを発生させるために、鉛直軸周りに巻回されたアンテナと、このアンテナに接続されたプラズマ発生用の高周波電源と、を備え、
前記対向電極は、前記アンテナと前記プラズマ発生領域との間に設けられ、前記アンテナにより形成される電磁界の電界を遮断し、磁界を通過させるために、前記アンテナの伸びる方向と交差するように形成されたスリットをアンテナの長さ方向に沿って複数配列した導電板であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記エネルギー供給部は、前記プラズマ発生領域に容量結合プラズマを発生させるために、互いに対向するように配置された一対の電極を備えていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記基板載置領域は、前記回転テーブル上に4箇所以上設けられ、
互いに隣接する基板載置領域同士の離間寸法は、30mm以上120mm以下であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記バイアス電極を昇降させるための昇降機構を備えたことを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 真空容器内にて基板に対して成膜処理を行うための成膜方法において、
前記真空容器の周方向に沿って回転テーブル上に複数箇所に設けられた基板載置領域に、表面に凹部が形成された基板を各々載置すると共に、これら基板載置領域を各々公転させる工程と、
次いで、前記基板載置領域上の各々の基板に対して処理ガスを供給して、基板上に分子層あるいは原子層を成膜する工程と、
続いて、前記真空容器内のプラズマ発生領域にプラズマ発生用ガスを供給すると共に、このプラズマ発生用ガスをプラズマ化して、プラズマによって前記分子層あるいは原子層の改質処理を行う工程と、
前記回転テーブルの下方側にて前記プラズマ発生領域に対向するように設けられたバイアス電極を用いて、プラズマ中のイオンを基板の表面に引き込む工程と、
前記真空容器内を排気する工程と、を含み、
前記バイアス電極は、前記回転テーブルの回転中心側から外縁側に向かって伸びるように形成されると共に、前記回転テーブルの回転方向における幅寸法が互いに隣接する基板載置領域同士の離間寸法よりも小さくなるように形成されていることを特徴とする成膜方法。
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