JP2005029848A - 真空蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る真空蒸着装置は、真空チャンバ1と、該真空チャンバ1の内外に昇降自在に設けられたロッド状の蒸発源2と、前記真空チャンバ1内に降下した前記蒸発源2に対して該蒸発源2を取り囲むように配置されるワークWを支持するワーク支持手段3を備える。前記真空チャンバ1は、固定チャンバ部6と、前記固定チャンバ部6に対して連結分離自在に設けられると共に前記ワーク支持手段3が取り付けられた移動チャンバ部7Bとで構成される。前記蒸発源2が前記真空チャンバ1外に上昇して退避した状態で、前記固定チャンバ部6に対していずれか一方の移動チャンバ部が水平移動して連結され、真空蒸着処理が行われる。
【選択図】図2
Description
この装置においては、処理済みワークを回収するには、下蓋をチャンバ本体から干渉しない位置まで下降させ、そこでワーク支持手段を下蓋から回収エリヤに水平移動させ、そこで回収される。また、未処理ワークを供給するには、回収後のワーク支持手段に未処理ワークを取り付けた後、ワーク支持手段を下蓋の上に移動し、下蓋を上昇させてチャンバ本体に気密に連結することによって、真空チャンバ内に供給される。
この装置において、処理済みワークを回収するには、前記蒸発源を真空チャンバ外に上昇退避させた後、開閉扉を開け、ワーク支持手段を前記開口部から真空チャンバ外へ水平移動させ、そこで回収される。また、未処理ワークを供給するには、回収後のワーク支持手段に未処理ワークを取り付けた後、これを真空チャンバ内へ移動させて収容し、開閉扉を閉じることによって、真空チャンバ内に供給される。
一方、蒸発源を昇降させるタイプの真空蒸着装置では、前記真空蒸着装置のように大掛かりな昇降装置や昇降スペースは必要でないが、やはりワーク支持手段を真空チャンバの内外に移動させる必要があるため、装置構造が複雑になる。
また、いずれのタイプの真空蒸着装置においても、真空チャンバの内面のクリーニングや真空チャンバ内に設けられる陽極などの種々の部材をメンテナンスする際に作業スペースが限られるため、作業性が悪いという問題がある。
このように胴部の中央部を分割面が通る形態とすることにより、固定チャンバ部、移動チャンバ部に大きな分割開口部を容易に形成することができる。また、固定チャンバ部、移動チャンバ部には真空チャンバの中心線を通る中心部を含む上蓋固定部、下蓋移動部を有するので、前記上蓋の中心部に蒸発源の出入口を形成することができ、また下蓋の中心部に前記ワーク支持手段の回転テーブルの回転軸を設け、その近傍に常に前記回転軸に連動連結された回転駆動機構を付設することができるため、前記回転テーブルの取り付け構造、駆動機構が簡単化され、また全体としてバランスの取れた、安定した装置構成とすることができる。
図1ないし図3は、第1実施形態に係るAIP用真空蒸着装置を使用順に示した図であり、まず図1および図2に示した使用状態を基に本装置の構成を説明する。
まず、図1に示すように、いずれか一方の移動チャンバ部(図1では第2移動チャンバ部7B)を固定チャンバ部6に連結して真空チャンバ1を構成し、昇降ユニット14を用いて蒸発源2を真空チャンバ外の退避位置から真空チャンバ内の処理位置に下降し、真空チャンバ1の内部を真空にして真空蒸着処理を行う。真空蒸着処理終了後、蒸発源2を上昇させて退避位置で保持した後、図3に示すように、水平旋回移動手段を用いて第2移動チャンバ部7Bを固定チャンバ部6から分離させ、支柱9Bを旋回させて退避位置に旋回移動させる。退避位置では、第2移動チャンバ部7Bの分割開口部からワーク保持具23に保持された処理済みワークWを回収すると共に未処理ワークを装着する。また、必要に応じて第2移動チャンバ部7Bに付設された陽極板36やシールド板35の清掃や交換等の作業を行う。一方、第2移動チャンバ部7Bが固定チャンバ部6から退避位置に移動した後、すでに未処理ワークが搭載され、退避位置で待機中の第1移動チャンバ部7Aを水平旋回移動手段を用いて固定チャンバ部6側に旋回移動させ、図3に示すように、固定チャンバ部6に気密に連結し、この第1移動チャンバ部7Aと固定チャンバ部6とによって真空チャンバ1を構成し、蒸発源2を下降して真空蒸着処理を行う。以後、同様にして第2移動チャンバ部7Bと第1移動チャンバ部4Aとを交互に用いて真空蒸着処理を行う。また、第1移動チャンバ部7Aと第2移動チャンバ部7Bとを共に退避位置に旋回移動させることによって、固定チャンバ部6の前面に広い作業スペースを形成し、固定チャンバ部6の清掃、メンテナンス等を行うことができる。
すなわち、図6(1) は上記実施形態の分割形態の例であり、同図(2) は胴部を上端から下端にかけて、胴部全体を斜めに切断する分割面DPによって分割した例であり、同図(3) は胴部の上端から中央部にかけて鉛直方向に切断し、中央部で斜めに切断し、中央部から下端に向かって鉛直方向に切断する分割面DPによって分割した例であり、同図(4) は胴部の上端から中央部にかけて鉛直方向に切断し、中央部で横方向に切断し、さらに下端に向かって鉛直方向に切断する屈曲状の分割面DPによって分割した例であり、同図(5) は胴部の上端から下部にかけて鉛直方向に切断し、下部にて横方向に胴部を切断する分割面DPによって分割した例である。
2 蒸発源
3 ワーク支持手段
6 固定チャンバ部
7,7A,7B,7C 移動チャンバ部
22 回転テーブル
23 ワーク保持具
Claims (10)
- 真空チヤンバと、該真空チヤンバの内外に移動自在に設けられたロッド状の蒸発源と、前記真空チャンバ内に移動した前記蒸発源に対して該蒸発源を取り囲むように配置されるワークを支持するワーク支持手段を備え、前記ワーク支持手段に支持されたワークの表面に前記蒸発源から蒸発した物質を蒸着して皮膜を形成する真空蒸着装置であって、
前記真空チャンバは、固定チャンバ部と、前記固定チャンバ部に対して連結分離自在に設けられると共に前記ワーク支持手段が取り付けられた移動チャンバ部とで構成され、
前記蒸発源が前記真空チャンバ外に移動して退避した後に前記移動チャンバ部を前記固定チャンバ部に対して連結分離自在に水平移動させる水平移動手段が設けられた、真空蒸着装置。 - 前記ワーク支持手段が設けられた移動チャンバ部が2組以上設けられ、各移動チャンバ部に対して水平移動手段が設けられた、請求項1に記載した真空蒸着装置。
- 前記水平移動手段として旋回軸を中心として前記移動チャンバ部を旋回させて水平方向に移動させる水平旋回移動手段を備えた、請求項1に記載した真空蒸着装置。
- 前記水平移動手段として旋回軸を中心として前記移動チャンバ部を旋回させて水平方向に移動させる水平旋回移動手段を少なくとも一つ備えた、請求項2に記載した真空蒸着装置。
- 前記水平移動手段として前記移動チャンバ部を水平方向に直線的に移動させる水平直線移動手段を備えた、請求項1、2または4に記載した真空蒸着装置。
- 前記真空チャンバは、全体として筒状の胴部と、該胴部の上部開口および下部開口を閉塞する上蓋および下蓋を有し、
前記固定チャンバ部は前記上蓋において真空チャンバの中心線を通る中心部を含む上蓋固定部を含み、前記移動チャンバ部は前記下蓋において真空チャンバの中心線を通る中心部を含む下蓋移動部を含み、前記固定チャンバ部と移動チャンバ部とは前記胴部の中央部を通る分割面によって分割された請求項1から5のいずれか1項に記載した真空蒸着装置。 - 前記ワーク支持手段は、前記蒸発源の中心線を回転中心とする回転テーブルと、該回転テーブルの外周上部に各々回転可能に立設された複数のワーク保持具とを有する、請求項1から6のいずれか1項に記載した真空蒸着装置。
- 前記移動チャンバ部は、前記ワーク保持具の外側に前記蒸発源から蒸発した物質が前記真空チヤンバの内面に付着するのを抑制するシールド板を備えた、請求項1から6のいずれか1項に記載した真空蒸着装置。
- 前記移動チャンバ部は、前記ワーク保持具の内側に蒸発源との間でアーク放電を発生させる陽極板を備えた、請求項1から6のいずれか1項に記載した真空蒸着装置。
- 前記移動チャンバ部は、ワーク加熱用のヒータを備えた、請求項1から6のいずれか1項に記載した真空蒸着装置。
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