JP5216659B2 - 真空成膜装置 - Google Patents
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Description
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。
なお、ロック機構94は、上記実施形態のものに限定される訳ではなく、他に種々の形態が可能である。図6(a)〜(c)に示すように、上記実施形態に係るロック機構94は、スイングアーム90の先端部90bにプランジャ40を配置したものであった。しかし、図7(a)〜(c)に示すように、ロック機構94は、固定部材91にプランジャ50を配置したものであってもよい。図7(a)に示すように、プランジャ50は、固定部材91の孔91cに予め差し込まれている。図7(b)に示すように、プランジャ50をOFFした状態(すなわち、ピン52が埋没した状態)でスイングアーム90を揺動させ、図7(c)に示すようにスイングアーム90の孔90cと固定部材91の孔91cとが一致した位置にてプランジャ50をONすると、プランジャ50のピン52が突出し、スイングアーム90の孔90cに差し込まれる。これにより、スイングアーム90と固定部材91とがロックされる。
付勢部材61は、前記実施形態のものに限定されない。実施形態2は、実施形態1において、付勢部材61の構成を変更したものである。図9に示すように、本実施形態では、互いに反発し合うように配置された一対の磁石62a,62bによって付勢部材61が形成されている。一方の磁石62aはスイングアーム90の先端部90bに取り付けられ、他方の磁石62bは固定部材91に取り付けられている。
実施形態1および2は、付勢部材61がスイングアーム90の先端部90bを付勢するものであった。しかし、付勢部材61は、スイングアーム90を閉位置から開位置側に回動させるように付勢するものであれば足り、その設置位置は何ら限定されない。実施形態3は、実施形態1において、スイングアーム90の根元部90aを付勢するように付勢部材61を変更したものである。
図11に示すように、実施形態4は、実施形態3において、付勢部材61を変更したものである。本実施形態では、スイングアーム90の根元部90aに磁石64aが固定され、支持部材92に磁石64bが固定されている。磁石64aおよび磁石64bは、互いに反発し合うように配置されている。すなわち、磁石64aと磁石64bとは、同極が対向するように配置されている。なお、本実施形態においても、磁石64aおよび磁石64bの一方または両方は、永久磁石であってもよく、電磁石であってもよい。
前記実施形態は、ホルダ19fを正規位置から外れた位置に移動させるようにスイングアーム90を付勢することによって、スイングアーム90のロックし忘れを作業者に認識させるものであった。しかし、スイングアーム90のロックし忘れを作業者に認識させる手段は、ホルダ19fを正規位置から外れた位置に移動させるものに限定されない。本実施形態は、スイングアーム90がロックされていないとホルダ19fの公転を禁止することにより、スイングアーム90のロックし忘れを作業者に認識させるものである。
2 真空槽本体
3 真空成膜装置
4 扉
5 電動機
19,19f ホルダ
61 付勢部材(非ロック状態認識促進手段)
61c ばね(弾性体)
62a,62b 磁石
65 センサ(ロック状態検出手段)
71 運転禁止部(運転禁止手段)
90 スイングアーム(スイング部材)
90a スイングアームの先端部
90b スイングアームの根元部
93 ピボット軸
94 ロック機構
B 駆動機構
Claims (7)
- 真空槽本体と前記真空槽本体に開閉自在に設けられた扉とを有し、その内部において被処理物に対する成膜処理が行われる真空槽と、
所定の中心位置を取り囲むように周回状に配置され、それぞれ前記被処理物を支持する複数のホルダと、
前記ホルダを少なくとも前記中心位置を中心として公転させる駆動機構と、
前記複数のホルダのうち少なくとも一つのホルダを支持し、当該ホルダを他のホルダと共に前記周回状に配置する閉位置と、当該ホルダを前記閉位置よりも前記中心位置の外方に移動させた開位置との間で、揺動自在なスイング部材と、
前記スイング部材を前記閉位置に保持するロック機構と、
前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことを作業者に認識させる非ロック状態認識促進手段と、
を備えた真空成膜装置。 - 前記非ロック状態認識促進手段は、前記スイング部材が前記閉位置にあると前記スイング部材を前記開位置側に向かって付勢する付勢部材を有している、請求項1に記載の真空成膜装置。
- 前記付勢部材は弾性体を有している、請求項2に記載の真空成膜装置。
- 前記付勢部材は磁石を有している、請求項2に記載の真空成膜装置。
- 前記スイング部材は、ピボット軸に揺動自在に支持された根元部と、先端部とを有するスイングアームであり、
前記付勢部材は、前記スイング部材の先端部を付勢する、請求項2〜4のいずれか一つに記載の真空成膜装置。 - 前記スイング部材は、ピボット軸に揺動自在に支持された根元部と、先端部とを有するスイングアームであり、
前記付勢部材は、前記スイング部材の根元部を付勢する、請求項2〜4のいずれか一つに記載の真空成膜装置。 - 前記非ロック状態認識促進手段は、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことを検出するロック状態検出手段と、前記スイング部材が前記閉位置に保持されていないことが前記ロック状態検出手段により検出されると、少なくとも前記駆動機構による前記公転を禁止する運転禁止手段と、を備えている、請求項1〜6のいずれか一つに記載の真空成膜装置。
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