CN107587111A - 蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种蒸镀设备，以降低蒸镀生产成本，提高蒸镀品质和蒸镀生产效率。蒸镀设备包括：在水平面内拼接的多个蒸镀腔单元；每个蒸镀腔单元所连接的承载架，位于蒸镀腔单元的下方；每个承载架所连接的第一支撑杆，沿第一水平方向设置；第一驱动机构，与各个第一支撑杆的同一侧端部连接，并能够驱动第一支撑杆沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移动，其中，第二水平方向与所述第一水平方向正交。

Description

蒸镀设备

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别是涉及一种蒸镀设备。

背景技术

蒸镀工艺，是指在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸气，然后凝结在基板表面成膜的过程。蒸镀工艺由于其技术稳定，已被广泛应用于有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二级管，以下简称OLED)、太阳能电池及半导体芯片等的制备中。

以OLED蒸镀工艺为例，随着目前市场对OLED产品的尺寸需求朝着更大的方向前进，OLED蒸镀设备的大型化必将成为未来发展的一大趋势。在OLED蒸镀设备大型化的发展趋势下，如何降低设备及原材料成本，提高蒸镀品质和蒸镀生产效率，是目前亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种蒸镀设备，以降低蒸镀生产成本，提高蒸镀品质和蒸镀生产效率。

本发明实施例所提供的蒸镀设备，包括：

在水平面内拼接的多个蒸镀腔单元；

每个所述蒸镀腔单元所连接的承载架，位于所述蒸镀腔单元的下方；

每个所述承载架所连接的第一支撑杆，沿第一水平方向设置；

第一驱动机构，与各个所述第一支撑杆的同一侧端部连接，并能够驱动所述第一支撑杆沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移动，所述第二水平方向与所述第一水平方向正交。

在本发明实施例技术方案中，多个蒸镀腔单元在水平面内能够拼接成一个较大尺寸规格的蒸镀源，由于第一驱动机构能够驱动第一支撑杆沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移动，因此，可以根据需要将一定数量的蒸镀腔单元拼接成所需的尺寸规格，而蒸镀腔单元仍可以采用常规较为成熟的规格设计。采用该技术方案，可以根据所需蒸镀源的规格灵活的进行拼装，操作、维护简便，适用范围广，从而降低了蒸镀生产成本，提高了蒸镀生产效率；由于蒸镀腔单元可以采用目前较为成熟的规格设计，因此，在基板上蒸镀形成的膜层的厚度均匀性较好，蒸镀品质较高；由于蒸镀腔单元各自独立，因此，不同蒸镀腔单元可以同时蒸镀不同材料，从而提高了蒸镀效率；由于蒸镀腔单元各自独立，不同蒸镀腔单元的蒸镀材料不会混合污染，因此蒸镀材料还可以回收利用，从而进一步节约了成本。

优选的，所述多个蒸镀腔单元在水平面内呈矩阵状拼接；所述第一方向为所述多个蒸镀腔单元的行排列方向，所述第二方向为所述多个蒸镀腔单元的列排列方向。

较佳的，沿所述第一水平方向，相邻两个所述蒸镀腔单元的相面对的两个拼接端，其中一个拼接端设置有多个销柱，另一个拼接端对应每个所述销柱设置有销孔；沿所述第二水平方向，相邻两个所述蒸镀腔单元的相面对的两个拼接端，其中一个拼接端设置有多个销柱，另一个拼接端对应每个所述销柱设置有销孔。

优选的，所述第一支撑杆为伸缩杆。这样可以使多个蒸镀腔单元在非工作状态呈紧凑排列，从而减小占用空间。

较佳的，所述多个蒸镀腔单元的高度尺寸相同。

较佳的，沿远离所述第一驱动机构的方向，所述承载架的高度尺寸依次增大，且所述承载架所对应连接的所述第一支撑杆的高度位置依次降低。

优选的，蒸镀设备还包括：多个第二支撑杆，沿第一水平方向设置，且与距离所述第一驱动机构最远的承载架连接；第二驱动机构，与所述多个第二支撑杆连接，并能够驱动所述多个第二支撑杆沿第一水平方向移动。第二支撑杆在拼接的多个蒸镀腔单元远离第一驱动机构的一侧进行支撑，可以有效减小第一支撑杆的挠曲变形，从而保证了多个蒸镀腔单元拼接的水平度。

优选的，所述第二支撑杆为伸缩杆。这样便于第二支撑杆的收纳，有利于节约空间，并且便于对蒸镀设备进行操作和维护。

较佳的，所述距离所述第一驱动机构最远的承载架具有用于与所述第二支撑杆插接的孔槽。

可选的，所述多个第二支撑杆分布于至少两个高度位置。在其中任一高度位置，第一支撑杆和第二支撑杆可以对拼接的多个蒸镀腔单元进行可靠支撑，从而使蒸镀设备可以工作在不同蒸镀位置。

附图说明

图1为本发明一实施例蒸镀设备的主视图；

图2为本发明一实施例蒸镀设备的俯视图；

图3为图1的A-A向截面视图；

图4为本发明一实施例中蒸镀腔单元、承载架和第一支撑杆连接示意图；

图5为本发明一实施例蒸镀设备处于操作或维护状态示意图；

图6为图5的B-B向截面视图。

附图标记：

1-蒸镀腔单元；

10-坩埚；

2-承载架；

3-第一支撑杆；

4-第一驱动机构；

5-第二支撑杆；

6-第二驱动机构；

11-销柱；

12-销孔；

13-孔槽。

具体实施方式

为降低蒸镀生产成本，提高蒸镀品质和蒸镀生产效率，本发明实施例提供了一种蒸镀设备。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1至图6所示，本发明实施例提供了一种蒸镀设备，包括：

在水平面内拼接的多个蒸镀腔单元1；

每个蒸镀腔单元1所连接的承载架2，位于蒸镀腔单元1的下方；

每个承载架2所连接的第一支撑杆3，沿第一水平方向设置；

第一驱动机构4，与各个第一支撑杆3的同一侧端部连接，并能够驱动第一支撑杆3沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移动，其中，第二水平方向与第一水平方向正交。

上述蒸镀设备可具体应用的工艺类型不限，例如，可用于OLED、太阳能电池及半导体芯片等的制备工艺中。

其中，蒸镀腔单元1包括多个坩埚10以及用于对坩埚10进行加热的加热装置(图中未示出)，坩埚10中装填蒸镀材料，加热装置对坩埚10进行加热，从而使蒸镀材料蒸发，蒸镀材料气体向上运动并沉积在基板(图中未示出)表面，从而形成蒸镀膜层。

目前，小尺寸规格的蒸镀源设计较为成熟，蒸镀膜层的厚度均匀性比较容易管控，而大尺寸规格的蒸镀源设计却存在诸多难题，不但厚度均匀性难以管控，而且制作成本较高，操作、维护不易，蒸镀设备一次只能进行一种材料的蒸镀，蒸镀材料回收不易，成本较高。

在本发明实施例技术方案中，多个蒸镀腔单元1在水平面内能够拼接成一个较大尺寸规格的蒸镀源，由于第一驱动机构4能够驱动第一支撑杆3沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移动，因此，可以根据需要将一定数量的蒸镀腔单元1拼接成所需的尺寸规格，形成一个较大尺寸规格的蒸镀源，而蒸镀腔单元1仍可以采用常规较为成熟的规格设计。

采用该技术方案，可以根据所需蒸镀源的规格尺寸灵活的对蒸镀腔单元1进行拼装，操作、维护简便，适用范围广，从而降低了蒸镀生产成本，提高了蒸镀生产效率。例如，如图2所示，可以将六个蒸镀腔单元1按照3*2的矩阵排列方式插接，从而形成一个较大尺寸规格的蒸镀源。如图5所示，在需要对蒸镀腔单元1的坩埚添加蒸镀材料或者需要对蒸镀腔单元1进行维护时，可以将各个蒸镀腔单元1沿高度方向依次排列，从而使操作非常方便。由于蒸镀腔单元1可以采用目前较为成熟的规格设计，因此，在基板上蒸镀形成的膜层的厚度均匀性较好，蒸镀品质较高。

此外，由于蒸镀腔单元1各自独立，因此，不同的蒸镀腔单元1可以同时蒸镀不同材料，可以在同一基板上的不同区域同时进行不同材料膜层的蒸镀，或者根据需要在基板上进行主体材料与掺杂材料的配比蒸镀，蒸镀效率大大提高。由于蒸镀腔单元1各自独立，不同蒸镀腔单元1内的蒸镀材料不会混合污染，因此蒸镀材料还可以回收利用，从而进一步节约了成本。

作为优选实施例，如图1和图2所示，多个蒸镀腔单元1在水平面内呈矩阵状拼接；第一方向为多个蒸镀腔单元1的行排列方向，第二方向为多个蒸镀腔单元1的列排列方向。

值得一提的是，在本发明的总发明构思下，在本发明的其它实施例中，多个蒸镀腔单元在水平面内也可以呈其它方式排列，蒸镀腔单元的尺寸规格可以相同，也可以不相同。

请参照图1至图4所示，沿第一水平方向，相邻两个蒸镀腔单元1的相面对的两个拼接端，其中一个拼接端设置有多个销柱11，另一个拼接端对应每个销柱11设置有销孔12；沿第二水平方向，相邻两个蒸镀腔单元1的相面对的两个拼接端，其中一个拼接端设置有多个销柱11，另一个拼接端对应每个销柱11设置有销孔12。为使插接均匀，优选的，多个销柱11在拼接端呈矩阵状均匀分布。采用该设计，相邻两个蒸镀腔单元1通过销孔销柱结构插接，拼装方式简便，易于设计制作。

在本发明的优选实施例中，第一支撑杆3为伸缩杆。这样可以使多个蒸镀腔单元1在非工作状态呈紧凑排列，从而减小占用空间并便于蒸镀设备的操作和维护。进一步的，多个蒸镀腔单元1的高度尺寸相同，并且，沿远离第一驱动机构4的方向，承载架2的高度尺寸依次增大，且承载架2所对应连接的第一支撑杆3的高度位置依次降低。如图5和图6所示，通过调整第一支撑杆3的位置和伸缩状态，可以使各个蒸镀腔单元1沿高度方向对齐排列，从而便于蒸镀设备的操作和维护，并且大大节省了占用空间。

请参照图1和图2所示，在本发明的一个优选实施例中，蒸镀设备还包括：多个第二支撑杆5，沿第一水平方向设置，且与距离第一驱动机构4最远的承载架2连接；第二驱动机构6，与多个第二支撑杆5连接，并能够驱动多个第二支撑杆5沿第一水平方向移动。第二支撑杆5在拼接的多个蒸镀腔单元1远离第一驱动机构4的一侧进行支撑，可以有效减小第一支撑杆3的挠曲变形，从而保证了多个蒸镀腔单元1拼接的水平度。

第二支撑杆5也可以采用伸缩杆，这样便于收纳，有利于节约空间，也便于操作、维护。较佳的，距离第一驱动机构4最远的承载架2具有用于与第二支撑杆5插接的孔槽13。第二支撑杆5与相对的承载架2插接，装配方式简便，易于设计制作。

如图5所示，可选的，多个第二支撑杆5分布于至少两个高度位置。在其中任一高度位置，第一支撑杆3和第二支撑杆5可以对拼接的多个蒸镀腔单元1进行可靠支撑，从而使蒸镀设备可以工作在不同蒸镀位置，以灵活满足工艺需要。

在本发明上述的实施例中，第一驱动机构4和第二驱动机构6的具体类型不限，例如可以为液压驱动机构，气压驱动机构或者电机驱动机构，等等。

综上，采用本发明上述实施例提供的蒸镀设备，可以降低蒸镀生产成本，节约蒸镀材料成本，提高蒸镀品质和蒸镀生产效率，尤其适用于大尺寸规格产品的蒸镀生产。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：

在水平面内拼接的多个蒸镀腔单元；

每个所述蒸镀腔单元所连接的承载架，位于所述蒸镀腔单元的下方；

每个所述承载架所连接的第一支撑杆，沿第一水平方向设置；

第一驱动机构，与各个所述第一支撑杆的同一侧端部连接，并能够驱动所述第一支撑杆沿第一水平方向、第二水平方向及高度方向移动，所述第二水平方向与所述第一水平方向正交。

2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，

所述多个蒸镀腔单元在水平面内呈矩阵状拼接；

所述第一方向为所述多个蒸镀腔单元的行排列方向，所述第二方向为所述多个蒸镀腔单元的列排列方向。

3.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，

沿所述第一水平方向，相邻两个所述蒸镀腔单元的相面对的两个拼接端，其中一个拼接端设置有多个销柱，另一个拼接端对应每个所述销柱设置有销孔；

沿所述第二水平方向，相邻两个所述蒸镀腔单元的相面对的两个拼接端，其中一个拼接端设置有多个销柱，另一个拼接端对应每个所述销柱设置有销孔。

4.如权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第一支撑杆为伸缩杆。

5.如权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述多个蒸镀腔单元的高度尺寸相同。

6.如权利要求5所述的蒸镀设备，其特征在于，沿远离所述第一驱动机构的方向，所述承载架的高度尺寸依次增大，且所述承载架所对应连接的所述第一支撑杆的高度位置依次降低。

7.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，还包括：

多个第二支撑杆，沿第一水平方向设置，且与距离所述第一驱动机构最远的承载架连接；

第二驱动机构，与所述多个第二支撑杆连接，并能够驱动所述多个第二支撑杆沿第一水平方向移动。

8.如权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第二支撑杆为伸缩杆。

9.如权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，所述距离所述第一驱动机构最远的承载架具有用于与所述第二支撑杆插接的孔槽。

10.如权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，所述多个第二支撑杆分布于至少两个高度位置。