CN1522375A - 显示器制造装置和显示器制造方法 - Google Patents

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Abstract

在承载器(5)中设有：喷出与所供给的驱动脉冲相应量液滴的喷头(7)，和能对每个像素区域检出喷着在滤光片基体上油墨量的液体材料传感器(17)。主控制部分(31)根据液体材料传感器(17)的检出信号水平确定可以喷出不足量液滴的波形形状的驱动脉冲，将决定的驱动脉冲波形信号输出到驱动信号发生部分(32)。驱动信号发生部分(32)因接受了波形信息而发生驱动脉冲，并向喷头(7)输出。喷头(7)对准与不足量液滴对应的像素区域，将该像素区域的油墨量调整到目标量。

Description

显示器制造装置和显示器制造方法
发明所属的技术领域
本发明涉及利用液体材料喷出法制造液晶显示装置用的彩色滤光片和EL(电致发光)显示装置等各种显示器的显示器制造装置和显示器制造方法。
背景技术
制造液晶显示装置用的彩色滤光片或EL(电致发光)显示装置或等离子显示装置等时，可以适当使用能够以液滴状喷出液体状材料(液体材料)的喷头(例如喷墨头)。使用这种喷头的制造装置中，例如彩色滤光片制造中，使从喷嘴开口喷出的液体材料落在基体表面上设置的多数像素区域上。但是由于每个喷嘴开口特性的波动(偏差)等原因，往往使像素区域产生不良的颜色不均和褪色。而且在产生这种不良情况的情况下，应当对产生不良的像素区域喷出液体材料将其修复。例如专利文献1中提出一种通过针对彩色滤光片颜色不均或褪色部分喷出预定颜色的墨滴，修复这种不良情况的技术方案。
然而，在上述公报公开的制造装置中，使用备有发热元件的喷头。这种类型的喷头喷出墨滴时，通过使发热元件发热使压力室内的油墨液体沸腾。也就是说，利用沸腾产生的气泡对液体状油墨施压，使之从喷嘴开口喷出。因此，被喷出的油墨量(油墨滴量)主要取决于压力的容积和发热元件的面积。而且由于很难以高精度控制沸腾时产生气泡的体积，所以通过调整供给的电量来高精度控制喷出量也是困难的。
因此，为了补充极少量液体材料来对颜色不均和褪色部分进行修复，例如像专利文献2和专利文献3所公开的那样，必须备有专栅进行修复用的专用喷嘴和专用喷头。
专利文献1：特开平7-318724号公报
专利文献2：特开平8-82706号公报
专利文献3：特开平8-292311号公报
发明的公开
然而，一旦要为其他用途设计专用喷嘴和专用喷头，就会使装置结构复杂化，招致部件数目增加。而且还有缺乏泛用性的问题。
附图的简要说明
图1是说明一种显示器制造装置实例的说明图，(a)是制造装置的俯图，(b)是彩色滤光片的局部放大图。
图2是说明显示器制造装置主要结构的方框图。
图3是说明液体材料传感器的示意图。
图4是喷头的断面图。
图5是通路单元的断面放大图。
图6是说明喷头电学结构的方框图。
图7是驱动信号发生部分产生的标准驱动信号的说明图。
图8是标准驱动信号所含的标准驱动脉冲的说明图。
图9表示在标准驱动脉冲中调整驱动电压情况下的喷出特性变化，(a)是表示使驱动电压变化时液滴飞行速度变化的曲线图，(b)是表示使驱动电压变化时液滴重量变化的曲线图。
图10(a)是表示在标准驱动脉冲中将液滴飞行速度设定为7m/s时驱动电压和中间电位与液滴重量之间关系的曲线图，(b)是表示将液滴重量设定为15ng时驱动电压和中间电位与液滴飞行速度之间关系的曲线图。
图11(a)是表示在标准驱动脉冲中将液滴飞行速度设定为7m/s时驱动电压和膨胀要素的时间长度与液滴重量之间关系的曲线图，(b)是表示将液滴重量设定为15ng时驱动电压和膨胀要素的时间长度与液滴飞行速度之间关系的曲线图。
图12是表示在标准驱动脉冲中对膨胀保持要素的时间长度进行调整情况下喷出特性变化的曲线图，(a)是表示使时间长度变化时液滴飞行速度变化的曲线图，(b)是表示使时间长度变化时液滴重量变化的曲线图。
图13是表示在标准驱动脉冲中，将液滴飞行速度设定为7m/s时驱动电压和膨胀保持要素的时间长度与液滴重量之间关系的曲线图，(b)是表示将液滴重量设定为15ng时驱动电压和膨胀持续要素的时间长度与液滴飞行速度之间关系的曲线图。
图14是驱动信号发生部分发生微小驱动信号的说明图。
图15是微小驱动信号中所含的微小驱动脉冲的说明图。
图16表示在微小驱动脉冲中调整驱动电压情况下喷出特性的变化，(a)是表示使驱动电压变化时液滴飞行速度变化的曲线图，(b)是表示使驱动电压变化时液滴重量变化的曲线图。
图17(a)是表示在微小驱动脉冲中将液滴飞行速度设定为7m/s时驱动电压和中间电位与液滴重量之间关系的曲线图，(b)是表示将液滴重量设定为5.5ng时驱动电压和中间电位与液滴飞行速度之间关系的曲线图。
图18(a)是表示在微小驱动脉冲中将液滴飞行速度设定为7m/s时的驱动电压和喷出电位与液滴重量之间关系的曲线图，(b)是表示将液滴重量设定为5.5ng时的驱动电压和喷出电位与液滴飞行速度之间关系的曲线图。
图19是说明彩色滤光片制造工序的流程图。
图20(a)～(e)是按照制造工序顺序表示彩色滤光片的断面示意图。
图21是说明着色层形成工序的流程图。
图22是说明着色层形成工序另一实例的流程图。
图23是说明激元激光器光源的示意图。
图24是表示采用本发明彩色滤光片的液晶显示装置结构概况的要部断面图。
图25是表示采用本发明彩色滤光片的第二种液晶显示装置结构概况的要部断面图。
图26是表示采用本发明彩色滤光片的第三种液晶显示装置结构概况的要部断面图。
图27是第二种实施方式中显示装置要部的断面图。
图28是说明第二种实施方式中显示装置制造工序的流程图。
图29是无机物堤岸层形成工序的说明图。
图30是有机物堤岸层形成工序的说明图。
图31是说明空穴注入/输送层形成过程的工序图。
图32是说明空穴注入/输送层形成状态的工序图。
图33是是说明蓝色发光层形成过程的工序图。
图34是说明蓝色发光层形成状态的工序图。
图35是说明各种颜色发光层形成状态的工序图。
图36是说明形成阴极的工序图。
图37是第三种实施方式中显示装置要部分解立体图。
图38是说明用透过型液体材料传感器构成的一种液体材料检测机构实例的示意图。
图39是说明用CCD的矩阵构成一种液体材料检测机构实例的示意图。
实施发明的最佳方式
本发明正是为达成上述目的而提出的，本发明的显示器制造装置，其中包括：
备有与喷嘴开口连通并能贮留液体材料的压力室及能使所说的压力室容积变化的机电转换元件，伴随着向机电转换元件供给驱动脉冲能使压力室内的液体材料变成液滴状从喷嘴开口喷出的喷头，和能够产生所说的驱动脉冲的驱动脉冲发生机构，
其结构能使从所说的喷嘴开口喷出的液体材料喷着在显示器基体表面的液体材料区域，
其特征在于：其中设有能对每个液体材料区域检出喷着的液体材料量的液量检出机构；
能由所说的液体材料检出机构检出的喷着液体材料量与目标液体材料量之差取得所说的液体材料区域的液体材料不足量的不足量取得机构；
设定驱动脉冲发生机构发生的驱动脉冲形状用的脉冲形状设定机构；
该脉冲形状设定机构根据不足量检出机构取得的液体材料不足量设定驱动脉冲的波形形状，
通过由驱动脉冲发生机构发生该驱动脉冲并供给机电转换元件时，向液体材料区域补充所说的不足量的液体材料。
其中所谓“显示器”一词采用比通常更广的含义，除显示装置本身之外还包括显示装置使用的彩色滤光片等。而且“液体材料”是指，除溶剂(或分散剂)之外含有染料或颜料等分其他材料的液体，只要能从喷嘴喷出，即使混入了固体物质的，也都包括在内。而且所谓“液体材料区域”是指，以液滴形式被喷出液体材料的喷着区域。
按照上述结构，利用液体材料检测机构对每个液体材料区域检测喷着的液体材料量，由被检出的喷着液体材料量与对液体材料区域目标液体材料量之差检出液体材料的不足量，在喷着液体材料量相对于目标液体材料量不足的情况下，根据该不足量设定驱动脉冲的波形形状并由驱动脉冲发生机构发生补充不足量的液体材料，所以用一个喷头就能喷出数量与目标液体材料量对应的液体材料和与数量补充量对应液体材料。这样能够制造各液体材料区域中喷着液体材料量一致的显示器。
而且由于不必设置专用喷头和专用喷嘴，所以装置的结构可以简单化。此外也没有必要根据用途更换作为控制对象的喷头和喷嘴，所以控制也得以简化。
上述结构中，优选采用由作光源用的发光元件和能输出与接受光线强度对应电压电信号的受光元件构成上述液量检测机构，发光元件发出的光线照射在液体材料区域的同时，使来自该液体材料区域的光线被受光元件接受，根据接受光线的强度检出该液体材料区域喷着的液体材料量。
这里所说的“来自液体材料区域的光线”，包括被液体材料区域反射的反射光与透过液体材料区域的透过光双方。
上述结构中，所说的驱动脉冲是包括以不使液体材料喷出的速度使通常容积的压力室膨胀的膨胀要素、使压力室保持膨胀状态的膨胀保持要素、和使保持在膨胀状态下的压力室急剧收缩时使液体材料喷出的喷出要素的第一驱动脉冲，
脉冲形状设定机构，优选设定处于第一驱动脉冲中最高电位至最低电位之间的驱动电压。
而且上述结构中，上述驱动脉冲是包括以液体材料不致于喷出的速度使通常容积的压力室膨胀的膨胀要素、使压力室保持膨胀状态的膨胀保持要素、和使保持在膨胀状态下的压力室急剧收缩时使液体材料喷出的喷出要素的第一驱动脉冲，
脉冲形状设定机构，也可以制成与通常容积对应的中间电位的结构。
另外，上述结构中，上述驱动脉冲是包括以不使液体材料喷出的速度使通常容积的压力室膨胀的膨胀要素、使压力室保持膨胀状态的膨胀保持要素、和被保持在膨胀状态下的压力室急剧收缩时使液体材料喷出的喷出要素的第一驱动脉冲，
脉冲形状设定机构，还可以采用设定膨胀要素的时间长度的结构。
而且上述结构中，上述驱动脉冲是包括以液体材料不致于喷出的速度使通常容积的压力室膨胀的膨胀要素、使压力室保持膨胀状态的膨胀保持要素、和使保持在膨胀状态下的压力室急剧收缩时使液体材料喷出的喷出要素的第一驱动脉冲，
脉冲形状设定机构，也可以采用设定膨胀保持要素的时间长度的结构。
此外上述结构中，上述驱动脉冲是包括能将弯月面显著被吸引到压力室侧使通常容积的压力室急剧膨胀的第二膨胀要素、压力室收缩时以液滴状从第二膨胀要素吸引的弯月面中心部分喷出的第二喷出要素的第二驱动脉冲，
脉冲形状设定机构，可以采用将驱动电压设定在第二驱动脉冲中最高电位至最低电位之间的结构。
而且上述结构中，上述驱动脉冲是包括应弯月面显著吸引到压力室侧并使通常容积的压力室急剧膨胀的第二膨胀要素、压力室收缩时以液滴状从被第二膨胀要素吸引的弯月面中心部分喷出的第二喷出要素的第二驱动脉冲，
脉冲形状设定机构，可以采用设定与通常容积相应的中间电位的结构。
此外上述结构中，上述驱动脉冲是包括应使弯月面显著吸引到压力室侧并使通常容积的压力室急剧膨胀的第二膨胀要素、压力室收缩时以液滴状从被第二膨胀要素吸引的弯月面中心部分喷出的第二喷出要素的第二驱动脉冲，
脉冲形状设定机构，也可以采用设定第二喷出要素终端电位的结构。
此外上述结构中，所说的驱动脉冲发生机构，也可以通过采用能在单位周期内发生多数驱动脉冲，通过使单位周期内向压力发生元件供给的驱动脉冲数目发生变化，可以调整液体材料的喷出量的结构。
上述各种结构由于能以极高精度控制补充的液体材料量，所以能使各液体材料区域中的喷着液体材料数量在高水平下一致。而且由于还能控制被喷出的液体材料的飞行速度，所以即使一边使喷头扫描一边喷出液体材料，也能正确控制液体材料的喷着位置。此外即使是不同喷出量的液体材料也能够使飞行速度一致。不仅如此，还能与受空气粘性阻力影响大的极少量液体材料互相对应。
另外，上述结构中，作为上述液体材料，可以使用含有发光材料的液体材料、含有空穴注入/输送层形成材料的液体材料、或者含有导电性微粒的液体材料作为所说的液体材料。
而且在上述结构中，还可以使用含有着色成分的液体有色材料作为所说的液体材料。于是在这种结构中，优选的是这样一种结构，其中设有根据上述液量检测机构检出的喷着液体材料量与该液体材料区域中目标液体材料量之差检出液体材料超过量的超过量检出机构、和分解液体材料中着色成分的着色成分分解机构，使着色成分分解机构根据液体材料的超过量动作，将超过部分着色成分分解。而且在这种结构中，可以用能够产生激元激光的激元激光光源构成上述着色成分分解机构。
此外，上述各种结构中，可以采用以上述机电转换元件作为压电振动元件的结构。
以下参照附图说明本发明的实施方式。
发明的实施方式
以下基于附图说明本发明的实施方式。首先根据图1和2说明显示器制造装置1(以下叫作制造装置1)的基本结构。
图1(a)例示的制造装置1，具有能装载作彩色滤光片(本发明中的一种显示器)2的基体用的滤光片基体2’(本发明中的一种显示器基体)并有承载面的矩形承载台3、能够沿着承载台3的一个侧边(主扫描方向)移动的导杆4、被安装在此导杆4上并能够沿着导杆4的纵向(副扫描方向)移动的承载器5、作为使导杆4和承载器5移动时的驱动源用的承载器马达6(参见图2)、能够贮留向喷头7供给的液体材料的液体材料贮留部分8、将此液体材料贮留部分8与喷头7之间连接形成液体材料流动通路的供给管9、和电学上控制喷头7等动作用的控制装置10。本实施方式中，作为一种液体材料的油墨液体(含有染料或颜料等着色成分的液体材料)被贮留在液体材料贮留部分8中。
上述的滤光片基体2’，例如如图1(b)所示，大体由基板11和层叠在此基板11表面上的着色层12构成。本实施方式中，使用玻璃基板作为基板11，只要是能够满足透明性和机械强度上的要求，也可以使用玻璃以外的材料。被着色层12备有多个例如用感光性树脂形成的、被着色成红(R)、绿(G)和蓝(B)色中任何颜色的像素区域12a(也叫作滤光元件，本发明中一种液体材料区域)。本实施方式中，这种像素区域12a俯视由矩形构成，各像素区域12a设置成锯齿形格状。
于是喷头7能向所需的像素区域12a以液滴(油墨滴)形式选择性喷出液体材料，即上述各种颜色的油墨液体。本事实方式中，在向各像素区域12a喷出液体之前，首先在基板11上形成分割相邻像素区域12a、12a的分割隔壁12b。其中这种隔壁12b均可以由黑色基体72和堤岸部分73(均参照附图20)构成。
有关彩色滤光片2的详细制造工序，将在后面用图19和20说明。
上述的承载台3承载面3a是由光反射面构成的近长方形板状材料。这种承载台3的尺寸，由滤光片基体2’的尺寸决定，可以设定得至少比这种滤光片基体2’大一圈。而且导杆4是平的棒状部件，将其架设得与承载台3的短边方向(Y轴，相当于副扫描方向)平行，安装得能够沿着承载台3的纵向(X轴，相当于主扫描方向)移动。
上述承载器5，如图2所示，是安装了上述喷头7和液体材料传感器17的的块状部件。
液体材料传感器17，是本发明的一种液体材料检测机构，其中备有作光源用的发光元件、和能够输出与接受光强度相应电压的电信号的受光元件。本实施方式中，使用激光发光元件18作为发光元件，使用激光受光元件19作为受光元件。于是如图3所示，从激光发光元件18发出的激光光线Lb对着像素区域12a照射，被像素区域12a放射的激光光线Lb由激光受光元件19所接受。这种液体材料传感器17，将由激光受光元件19输出与受光光量(受光强度)相应的电压信号。这种受光光量将因像素区域12a喷着的液体材料量(本实施方式中是油墨量)而变化，也就是说，在像素区域12a喷着的液体材料数量越多受光光量越少，液体材料量减少受光光量增加，所以通过检出从液体材料传感器17输出的信号电压能够检出在像素区域12a喷着的喷着液量。
喷头7，例如如图4所示，其中具有由多个压电振动元件21组成的振动元件组件22、和容纳此振动元件组件22的壳体23、以及与壳体23的端面连接的通路单元24。这种喷头7被安装得通路单元24的喷嘴开口25朝下(承载台3侧)，能够以液滴状态从喷嘴开口25喷出液体材料。本实施方式中，由R、G、B组成的三色油墨液体能够分别喷出。其中有关这种喷头7的细节，将在后面详细说明。
上述的液体材料贮留部分8分别贮留向喷嘴7供给的液体材料。本实施方式中，如上所述，由R、G、B组成的三色油墨液体被分别贮留。而且供给管路9也可以根据向喷头7供给的油墨液体种类设置多根。
上述的控制装置10，备有包含CPU ROM RAM等(图中均未示出)构成的主控制部分31、供给喷头7用的发生驱动信号的驱动信号发生部分32、和将从激光受光元件19输出的电压(电平)转换成数字信息的模拟数字变换器33(以下叫作A/D变换器)。来自这种A/D变换器33的信号被输入到驱动信号发生部分32。
上述的主控制部分31，作为这种制造装置1中进行控制的主控制机构，例如，或者生成与液滴的喷出控制有关的信息(SI)，或者生成控制承载器马达6用的移动控制信息(DRV1)。而且主控制部分3 1或者生成喷头7的控制用信息(CK、LAT、CH)，或者生成向驱动信号发生部分32输出的波形信息(DAT)。因此，主控制部分31也起着本发明中脉冲形状设定机构的作用。此外主控制部分31，如后述那样，还有作为本发明中不足量检出机构和超过量检出机构的作用。
上述喷出数据是表示是否喷出液滴以及喷出情况下的喷出量的数据，本实施方式中由二进位(bit)数据构成。这种喷出数据用每个喷出周期的喷出状态分成四个阶段表示。例如表示不喷出液滴的“非喷出”、喷出少量液滴的“喷出1”、喷出中量液滴的“喷出2”和喷出大量液滴的“喷出3”等四个阶段的喷出量。于是“非喷出”用数据“00”表示，“喷出1”用数据“01”表示，“喷出2”用数据“10”表示，“喷出3”用数据“11”表示。
喷头7的控制用信号，例如由作为动作时钟的时钟信号(CK)、规定喷出数据的锁定时序的锁定信号(LAT)以及规定驱动信号内各驱动脉冲供给开始时序的信道信号(CH)构成。因此，主控制部分31向喷头7适当输出这些时钟信号、锁定信号和信道信号。
波形信息(DAT)规定驱动信号发生部分32发生驱动信号的波形形状。本实施方式中，由表示与单位更新时间相当的电压增减量数据构成这种波形信息。于是主控制部分31根据来自A/D变换器33的电压信息(即液量检出机构检出的喷着液量)设定驱动脉冲的波形形状(详见后述)。
驱动信号发生部分32，是本发明中的一种驱动脉冲发生机构。也就是说，根据来自主控制部分31的波形信息设定驱动信号和驱动信号包含的驱动脉冲的波形形状，发生这种波形形状的驱动脉冲。这种驱动信号发生部分32，发生的驱动信号，例如是图7所示的信号，在喷出周期T内包含多个为从喷头7的开口25喷出预定量液滴所需的驱动脉冲(PS1～PS3)。而且驱动信号发生部分32，在每个周期T内反复发生这种驱动信号。其中有关这种驱动信号的细节，将在后面详述。
以下就上述的喷头7作详细说明。首先说明喷头7的机械结构。
上述的压电振动元件21是本发明的一种机电变换转换元件，即一种能将电能转换成动能的元件，使压力室47的容积发生变化。这种压电振动元件21，例如被分割成30～100微米左右极窄宽度的梳齿状。例示的压电振动元件21，是将压电体与内部电极交替层叠而成的层叠型压电振动元件21，是能沿与电场方向正交的元件纵向伸缩的纵向振动模式的压电振动元件21。而且各压电振动元件21，基端部分被连接在固定板41上，被安装成自由端从固定板41边缘向外侧突出的悬臂梁状态。
而且各压电振动元件21的前端面，固定得与通路单元24的岛状部分42接触，柔性电缆43在与固定板41相对侧的振动元件组的侧面，与各压电振动元件21电连接。
通路单元24，如图5所示，是由中间夹着通路形成基板44，将喷嘴板45设置在通路形成基板44的一个表面上，而将弹性板46设置在与喷嘴板45相对侧的另一表面上层叠而成的。
喷嘴板45是一种以与点形成密度对应的间距成列开设有多个喷嘴开口25的不锈钢制薄板。本实施方式中，设有间距为90dpi的48个喷嘴开口25，由这些喷嘴开口25构成喷嘴列。
通路形成基板44，是与喷嘴板45的各喷嘴开口25对应形成压力室47的空间部分，同时形成液体供给口和公共通液室空间部分的板状材料。
压力室47是沿着与喷嘴开口25成列方向(喷嘴列方向)正交的方向细长的室，由扁平的凹室构成。而且在压力室47的一端与公共通液室48之间形成通路宽度比压力室47窄得多的液体供液口49。而且在距离公共通液室48最远的压力室47的另一端，设有将喷嘴开口25与压力室47连通的喷嘴连通口50沿着板厚方向贯通。
弹性板46是将PPS(聚苯砜)等树脂膜52层叠加工在不锈钢支持板51上形成的双层结构。而且将与压力室47对应的部分支持板51蚀刻加工成环状，形成岛状部分42，将与公共通液室48对应的部分支持板51蚀刻加工除去，仅仅留下树脂膜52。
具有上述结构的喷头7，压电振动元件21因充放电而将沿着元件纵向伸缩。也就是说，压电振动元件21因放电而伸长，岛状部分42被压向喷嘴板45一侧。另一方面，压电振动元件21因充电而收缩，岛状部分42自远离喷嘴板45的方向移动。而且压电振动元件21的伸长使岛状部分周围的树脂膜52变形，压力室47收缩。此外由压电振动元件21的收缩使压力室47膨胀。这样，通过控制压力室47的膨胀或收缩，能够使压力室47内的液体压力产生变化，从而能使液滴(油墨滴)从喷嘴开口25喷出。
以下说明这种喷嘴的电学结构。如图6所示，这种喷头7备有设定喷出数据的移位寄存器61、62，在移位寄存器61、62上设定的喷出数据的锁定电路63、64，将由锁定电路63、64锁定的喷出数据编译成脉冲选择数据的译码器65，输出定时信号的控制逻辑66，起电压增幅器作用的电位移位器68和压电振动元件21。
移位寄存器61和62由第一移位寄存器61和第二移位寄存器62构成。而且在第一移位寄存器中设置有关全部喷嘴开口25的下位位(位0)的喷出数据，在第二移位寄存器中设置有关全部喷嘴开口25的上位位(位1)的喷出数据。
锁定电路63、64，由第一锁定电路63和第二锁定电路64构成。而且第一锁定电路63与第一移位寄存器61电连接，第二锁定电路64与第二移位寄存器62电连接。因此一旦将锁定信号输入这些锁定电路63、64，第一锁定电路63就锁定第一移位寄存器61上设定的下位位喷出数据，第二锁定电路64就锁定第二移位寄存器62上设定的上位位喷出数据。
锁定电路63、64将被锁定的喷出数据输入译码器65中。这种译码器65起着脉冲选择数据生成机构的作用，将两位喷出数据翻译而生成多位的脉冲选择数据。本实施方式中，如图7和图14所示，驱动信号发生部分32由于在喷出周期T内生成含有三个驱动脉冲(PS1～PS3，PS4～PS6)的驱动信号，所以译码器65将生成三位的脉冲选择数据。
也就是说，翻译不喷出液滴的喷出数据“00”生成脉冲选择数据“000”，翻译喷出少量液滴的喷出数据“01”生成脉冲选择数据“010”。同样，翻译喷出中量液滴的喷出数据“10”生成脉冲选择数据“101”，翻译喷出大量液滴的喷出数据“11”生成脉冲选择数据“111”。
控制逻辑66每当接收到来自主控制部分31的锁定信号(LAT)或信道信号(CH)时就生成定时生信号，将生成的定时信号供给译码器65。而且译码器65每当接收到这种定时信号后就将三位脉冲选择数据从上位侧依次输入电位移位器67中。
电位移位器67具有电压增幅器功能，当脉冲选择数据为“1”的情况下，将输出能够驱动开关电路68的电压，例如被升压至数十伏特左右的电压的电信号。被电位移位器67升压的“1”的脉冲选择数据被供给开关电路68。将来自驱动信号发生部分32的驱动信号(COM)供给这种开关电路68的输入侧，开关电路68的输出侧与压电振动元件21连接。打字数据控制开关电路68的动作。例如在向开关电路68施加的脉冲选择数据为“1”的过程中，将驱动信号供给压电振动元件21，压电振动元件21根据此驱动信号而变形。另一方面，在向开关电路68施加的脉冲选择数据为“0”的过程中，电位移位器67不输出使开关电路68动作的电信号，不向压电振动元件21供给驱动信号。而且由于压电振动元件21像电容器那样振动，所以压电振动元件21的电位在脉冲选择数据为“0”期间内一直持续保持遮断之前的电位。
以下说明驱动信号发生部分32发生的驱动信号。图7所示的驱动信号，是能喷出较多量液滴的标准驱动信号。这种标准驱动信号，在喷出周期T内含有三个标准驱动脉冲，即第一标准驱动脉冲(T1)、第二标准驱动脉冲(T2)和第三标准驱动脉冲(T3)，每隔预定间隔发生这些各种标准驱动脉冲PS1～PS3。
这些标准驱动脉冲PS1～PS3，是本发明的第一驱动脉冲中的一种，由任何相同波形形状的脉冲信号构成。例如如图8所示，这些标准驱动脉冲PS1～PS3，由使电位从中间电位VM至最高电位VH以不使液滴喷出的一定斜率上升的膨胀要素P1、在预定时间内保持最高电位VH的膨胀保持要素P2、使电位以大斜率从最高电位VH向最低电位VL降低的喷出要素P3、在预定时间内保持最低电位VL的收缩保持要素P4、和使电位从最低电位VL上升至中间电位VM的制振要素P5等多个波形要素所构成。
一旦将这些标准驱动脉冲PS1～PS3供给压电振动元件21，每次供给各标准驱动脉冲PS1～PS3都能从喷嘴开口25喷出预定量(例如15ng)液滴。
也就是说，随着膨胀要素P1的供给压电振动元件21产生显著收缩，压力室47以不喷出液滴的速度从与中间电位VM对应的通常容积膨胀到与最高电位VH对应的最大容积。压力室47内随着这种膨胀而减压，公共通液室48的液体材料通过液体供给口49流入压力室47内。这种压力室47的膨胀状态，在膨胀保持要素P2的供给期间一直保持。然后供给喷出要素P3使压电振动元件21产生显著伸长，压力室47急剧收缩到最小容积为止。压力室47内的液体材料随着这种收缩而被加压，将预定量液滴从喷嘴开口25喷出。由于在喷出要素P3之后供给收缩保持要素P4，所以压力室47内的收缩状态得以保持。而且在压力室47的收缩状态下，弯月面(在喷嘴开口25处露出液体材料的自由表面)因受液滴喷出的影响而产生显著振动。然后以能够抑制弯月面振动的时序供给制振要素P5，使压力室47膨胀恢复到通常容积为止。也就是说，为使压力室47内液体材料产生的压力消失，使压力室47膨胀对液体压力减压。这样能够在短时间内抑制弯月面的振动，使以后液滴的喷出稳定。
还有，上述的通常容积是指与中间电位VM对应的压力室47的容积。而且当不供给标准驱动脉冲PS1～PS3的情况下，由于可以将此中间电位VM供给压电振动元件21，所以在不喷出液滴的状态(通常状态)下，压力室形成此通常容积。
通过改变一个喷出周期T内供给的标准驱动脉冲PS1～PS3的数目，可以在喷出周期T内设定液滴喷出量。例如，通过在喷出周期T内向压电振动元件21仅供给第二标准驱动脉冲PS2，例如可以喷出15纳克的液滴。而且通过在喷出周期T内向压电振动元件21供给第一标准驱动脉冲PS1和第三标准驱动脉冲PS3，例如可以喷出30纳克的液滴。进而，通过在喷出周期T内向压电振动元件21供给各标准驱动脉冲PS1～PS3，例如可以喷出45纳克的液滴。
在本说明书中，液体材料量用重量(纳克)表示，说明受重量控制，当然也受容量(pL)控制。
这种液滴的喷出控制基于上述脉冲选择数据进行。也就是说当脉冲选择数据为“000”的情况下，无论是在与第一标准驱动脉冲PS1对应的第一发生期间T1、与第二标准驱动脉冲PS2对应的第二发生期间T2还是与第三标准驱动脉冲PS3对应的第三发生期间T3，开关电路68均处于关闭状态。因此，不向压电振动元件21供给任何标准驱动脉冲PS1～PS3。而且，当脉冲选择数据为“010”的情况下，在第二发生期间T2内开关电路68处于导通状态，第一发生期间T1和第三发生期间T3内开关电路68处于关闭状态。因此，仅向压电振动元件21供给第二标准驱动脉冲PS2。此外，当脉冲选择数据为“101”的情况下，在第一发生期间T1和第三发生期间T3内开关电路68处于导通状态，第二发生期间T2内开关电路68处于关闭状态。因此，仅向压电振动元件21供给第一标准驱动脉冲PS1和第三标准驱动脉冲PS3。同样，当脉冲选择数据为“111”的情况下，在第一发生期间T1～第三发生期间T3的各期间内开关电路68处于导通状态，可以向压电振动元件21供给各种标准驱动脉冲PS1～PS3。
而且控制液滴的喷出时，通过变更驱动脉冲的种类可以改变喷出液滴的量。例如对于图14例示的微小驱动信号PS4～PS6而言，每次供给这些微小驱动信号PS4～PS6都能从喷嘴开口25喷出预定量(例如5.5纳克)液滴。
这些微小驱动信号PS4～PS6是本发明的第二种驱动脉冲信号中的一种，可以由任何相同波形形状的脉冲信号构成。例如如图15所示，这些微小驱动信号PS4～PS6，由使电位从中间电位VM至最高电位VH以不使液滴喷出的比较陡峭的斜率上升的第二膨胀要素P11、在极短时间内保持最高电位VH的第二膨胀保持要素P12、使电位从最高电位VH向喷出电位VF以大斜率降低的第二喷出要素P13、使喷出电位VF在极短时间内保持的喷出保持要素P14、使电位从喷出电位VF向最低电位VL以比第二喷出要素更加平缓的斜率降低的收缩制振要素P15、使最低电位VL保持预定时间的制振保持要素16、和使电位从最低电位VL向中间电位VM以比较平缓的斜率上升的膨胀制振要素P17等多个波形要素所构成。
这些微小驱动信号PS4～PS6一旦供给压电振动元件21，压力室和此压力室内液体材料的状态就会发生以下变化，从喷嘴开口25中喷出液滴。
也就是说，通常溶剂的压力室47伴随着第二膨胀要素P11的供给而急剧膨胀，将弯月面显著吸引到压力室47一侧。而且一旦在极短时间内供给第二膨胀保持要素P12，被吸引的弯月面中心部分的移动方向就因表面张力而反转。然后供给第二喷出要素P13，压力室47由最大容积急剧收缩至喷出容积。此时，朝着喷出方向以柱状伸长的弯月面的中心部分被撕开变成液滴状被喷出。
供给第二喷出要素P13后，依次供给喷出保持要素P14和收缩制振要素P15。虽然压力室47因收缩制振要素P15的供给而从喷出容积收缩至最小容积，但是其收缩速度还是可以设定成能够抑制液滴喷出后弯月面振动的速度下。在此收缩制振要素P15之后，由于供给制振保持要素P16而能维持压力室47的收缩状态。然后由能消除弯月面振动的时序供给膨胀制振要素P17，应当抑制弯月面振动的压力室47膨胀恢复到通常容积。
这种微小驱动信号中，通过改变一个周期T内供给的微小驱动脉冲数目，也能控制液滴的喷出量。例如在喷出周期T内，通过向压电振动元件21仅供给第二微小驱动脉冲PS5，例如能够喷出5.5纳克液滴。而且在喷出周期T内，通过向压电振动元件21供给第一微小驱动脉冲PS4和第三微小驱动脉冲PS6，例如能够喷出11纳克液滴。此外在喷出周期T内，通过向压电振动元件21供给各微小驱动脉冲PS4～PS6，例如能够喷出16.5纳克液滴。
这种液滴喷出的控制也基于上述的脉冲选择数据进行。其中，基于脉冲选择数据的喷出控制，由于与上述的标准驱动信号中的控制相同，所以其说明省略。
此外，液滴的喷出量和飞行速度也能通过变更这些标准驱动脉冲PS1～PS3以及微小驱动脉冲PS4～PS6的波形形状加以改变。也就是说，通过变更驱动脉冲的种类能使液滴的喷出量等产生显著变化，此外驱动脉冲的种类(全体的形状)，通过直接设定各波形要素的始终端的电位(电位差)和时间长度，能够精细地(高精度地)改变液滴的喷出量等。
以下对每种驱动脉冲就液滴的喷出量和飞行速度随着各波形要素设定的变化加以说明。
首先就各标准驱动脉冲PS1～PS3说明驱动电压(最高电位VH与最低电位VL的电位差)与液滴喷出特性之间的关系。其中图9是表示调整驱动电压情况下液滴喷出特性的变化情况，(a)表示使驱动电压变化时飞行速度的变化，(b)表示使驱动电压变化时重量的变化。
其中在设定驱动电压时，不改变最低电位VL与各波形要素(P1～P5)的时间长度，而变更最高电位VH。而且使中间电位VM相对于驱动电压变化。此外在图9(a)中，带黑点的实线表示主液滴，带白圈的虚线表示附属液滴(跟随主液滴飞行的液滴)，而且带三角的点划线表示次级附属液滴(跟随附属液滴飞行的液滴)。
正如图9所示的那样，驱动电压的大小以及液滴的飞行速度和重量，可以说具有互为正比的关系(系数为正)。也就是说，一旦增大驱动电压液滴的飞行速度就会加快，液滴的重量也增加(即液滴的喷出量增大)。例如，驱动电压为20伏的情况下，主液滴的飞行速度约为3米/秒，重量约9纳克；而驱动电压为29伏的情况下，主液滴的飞行速度约为7米/秒，重量约15.5纳克；此外驱动电压为35伏的情况下，主液滴的飞行速度约为10米/秒，重量约20.5纳克。
据认为这是因为驱动电压的增减使压力室容积的变化幅度发生变化的缘故。也就是说，一旦驱动电压高于基准电压，膨胀和收缩时的容积差就比基准时增大。因此，能将比基准时多的液体材料从压力室47内排出，使喷出量增大。而且，由于喷出要素P3的时间长度不变，所以液滴喷出时压力室47的收缩速度比基准时更高，液滴能以高速喷出。反之，一旦驱动电压设定得低于基准电压，膨胀和收缩时的容积差就比基准时减小。因此，从压力室47内排出的液体材料量就比基准时减小，使喷出量减少。而且，由于压力室47的收缩速度与基准时相比降低，所以液滴也降低。
其中观察图9(a)，一旦驱动电压达到26伏以上，液滴就会分成主液滴和附属液滴飞行。此外，一旦驱动电压达到32伏以上，除上述的附属液滴外还会出现第二附属液滴。这些附属液滴和第二附属液滴的飞行速度，在图9(a)的测定范围内，不太受驱动电压大小的影响。例如，附属液滴的飞行速度，当驱动电压设定为26伏时约为5米/秒，驱动电压设定为29伏、32伏的情况下约为4米/秒。此外驱动电压设定为35伏的情况下约为6米/秒。关于第二附属液滴，在驱动电压设定为32V、35V的情况下大体相等，均约为4米/秒。
从以上说明也能看出，通过设定驱动电压能够同时增减喷出液滴的飞行速度和重量。而且还说明能够抑制附属液滴和第二附属液滴的发生。
以下说明各标准驱动脉冲PS1～PS3的中间电位VM与液滴的喷出特性之间的关系。
如上所述，这种中间电位VM是规定压力室47的通常容积的。而且上述的压电振动元件21，随着电位的上升(充电)而收缩使压力室47膨胀，随着电位的下降(放电)而膨胀使压力室47收缩，所以一旦将中间电位VM设定得高于基准，通常容积就会比基准容积(与标准中间电位VM对应的压力室容积)更膨胀。另一方面，一旦中间电位设定得低于基准，通常容积就会比基准容积更收缩。
其中在改变中间电位VM的情况下，最高电位VH在VM变更前和变更后相同。因此，一旦将中间电位VM设定得高于基准，中间电位VM与最高电位VH之间的电位差就会比设定基准中间电位VM时减小，压力室47的膨胀余量也减少。另一方面，一旦将中间电位VM设定得低于基准，从中间电位VM至最高电位VH为止的电位差就比设定基准中间电位VM时增大，压力室47的膨胀余量也增多。这种膨胀余量规定着汹压力室47内液体材料的流入量。也就是说，一旦膨胀余量比基准大，从公共液室48向压力室47内流入的液滴量就比基准量增多，而一旦膨胀余量比基准小，从公共液室48向压力室47流入的液滴量就比基准量减少。
而且当仅变更中间电位VM的情况下，膨胀要素P1的时间长度(供给时间)在中间电位VM变更前后也相同。因此，一旦将中间电位VM设定得高于基准，向压电振动元件21供给膨胀要素P1时，压力室47的膨胀速度就会减慢。另一方面，一旦中间电位VM设定得低于基准，压力室47的膨胀速度就会加快。
压力室47的膨胀余量，将会对膨胀要素P1供给后压力室47内液体材料的压力(液体压力)产生影响。也就是说，膨胀余量比基准越小，膨胀要素P1供给后压力室47内的液体压力就越接近于通常状态的压力，所以液体材料的流入量就比基准减少，流入速度也会减慢。其结果压力室47内液体材料的压力变动变得较小。反之，若膨胀余量比基准大，则膨胀要素P1供给后压力室47内的液体压力就会显著降低。因此，在液体材料的流入量增加的同时流入速度减缓，压力室47内液体材料的压力变化就会增大。
这里由于将压力室47视为音响管，所以由供给膨胀要素P1使液体材料产生压力变动的能量被保存在压力室47内形成压力振动。而且这种压力振动与形成正压的时序吻合，供给喷出要素P3使压力室47收缩。此时，由于压力室47内保存的能量因压力室47的膨胀余量(即中间电位VM的大小)而异，所以喷出要素P3的电位差和变化即使相同，液滴的飞行速度和喷出量也会发生变化。
这种情况下，飞行速度相对于中间电位VM变化的变化程度，与喷出量的变化程度之间存在差别。也就是说存在灵敏度差。例如，飞行速度相对于中间电位VM的变化虽然有较大变化，但是液滴的重量相对于中间电位VM的变化却较小。据认为这是因为液滴重量主要受驱动电压(喷出要素P3的电位差)，即压力室47收缩量支配的缘故。
因此，通过将上述的驱动电压和中间电位VM组合适当设定，不但能保持液滴飞行速度一定，而且还能改变液滴的喷出量。
例如，若将液滴的飞行速度设定为7米/秒，则驱动电压和中间电位VM与液滴重量之间的关系如图10(a)所示。如图10(a)所示，一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为31.5伏和驱动电压值的20％(即比最低电位VL高6.3伏的电位)，就能喷出大约16.5纳克的液滴。而且一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为29.7伏和驱动电压值的40％，就能喷出大约15.3纳克的液滴。此外一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为28.0伏和驱动电压值的60％，就能喷出大约13.6纳克的液滴。
而且通过适当设定驱动电压和中间电位VM，不但能使液滴喷出量保持一定，而且还能改变液滴的飞行速度。
例如，图10(b)示出，将液滴的重量设定为15纳克时，驱动电压和中间电位VM与液滴飞行速度之间的关系。图10(b)表明，一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为29.2伏和驱动电压值的20％(即比最低电位VL高5.9伏的电位)，就能将飞行速度设定在大约6.1米/秒。而且，一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为29.0伏和驱动电压值的40％，就能将飞行速度设定在大约6.8米/秒。此外一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为30.6伏和驱动电压值的60％，就能将飞行速度设定在大约8.1米/秒。
以下说明各标准驱动脉冲PS1～PS3的膨胀要素P1的时间长度(Pwc1)与液滴喷出特性之间的关系。
这种膨胀要素P1的时间长度，将规定压力室47从通常容积向最大容积的膨胀速度。而且无论膨胀要素P1的时间长度如何，一旦将膨胀要素P1的始端电位和终端电位分别定为中间电位VM和最高电位VH，通过将时间长度设定得短于基准膨胀要素P1的斜率就会变得陡峭，压力室47的膨胀速度也会比基准加快。另一方面，一旦将时间长度设定得长于基准，膨胀要素P1的斜率就会变得平缓，压力室47的膨胀速度也会比基准减慢。
这种膨胀速度的差异，影响膨胀要素1供给前后压力室47内的液体压力。也就是说，若膨胀速度比基准慢，则在准膨胀要素P1供给后液体压力的波动减小，液体材料向压力室47内的流入速度减慢。另一方面，若膨胀速度比基准快，则在准膨胀要素P1供给后压力室47内的液体压力明显降低，压力振动增大，液体材料向压力室47内的流入速度也加快。
因此，通过改变膨胀要素P1的时间长度，即使喷出要素P3的电位差和斜率相同也能使液滴的飞行速度和液滴重量发生变化。
另外，这种情况与使中间电位VM变化的情况同样，飞行速度的变化与膨胀要素P1时间长度的变化相比虽然较大，但是液滴重量的变化量与膨胀要素P1时间长度的变化相比却较小。因此，通过适当设定上述驱动电压和膨胀要素P1的时间长度，不但能使液滴的飞行速度保持一定，而且还能使液滴的喷出量发生变化。
例如，图11(a)示出了将液滴的飞行速度设定为7米/秒时，驱动电压和膨胀要素P1的时间长度与液滴重量之间的关系。从此图11(a)可以看出，若将驱动电压和膨胀要素P1的时间长度分别设定为27.4V和2.5微秒(μs)，则能够喷出大约15.3纳克液体材料。而且，若将驱动电压和膨胀要素P1的时间长度分别设定为29.5V和3.5微秒(μs)，则能够喷出大约16.0纳克液体材料。此外，若将驱动电压和膨胀要素P1的时间长度分别设定为25.0V和6.5微秒(μs)，则能够喷出大约11.8纳克液体材料。
而且通过适当设定驱动电压和膨胀要素P1的时间长度，不但能使液滴的喷出量保持一定，而且还能改变液滴的飞行速度。
例如，图11(b)示出了将液滴重量设定为15纳克时，驱动电压和膨胀要素P1的时间长度与液滴飞行速度之间的关系。从此图11(a)可以看出，若将驱动电压和膨胀要素P1的时间长度分别设定为26.8V和2.5微秒(μs)，则能够将液滴的飞行速度大约设定为6.7米/秒。而且，若将驱动电压和膨胀要素P1的时间长度分别设定为27.8V和3.5微秒(μs)，则能够将液滴的飞行速度大约设定为6.3米/秒。此外，若将驱动电压和膨胀要素P1的时间长度分别设定为31.7V和6.5微秒(μs)，则能够将液滴的飞行速度大约设定为10.8米/秒。
以下说明各标准驱动脉冲PS1～PS3的膨胀保持要素P2的时间长度(Pwhl)与液滴喷出特性之间的关系。
这种膨胀保持要素P2的时间长度，即喷出要素P3的供给开始时序，规定着压力室47开始收缩的时序。这种压力室47开始收缩时序的差异也影响液滴的飞行速度和喷出量。据认为，这是因为由膨胀要素P1引起压力振动的相位与喷出要素P3引起压力振动的相位间的相位差，使合成压力发生变化的缘故。
也就是说，一旦压力室47因膨胀要素P1的供给而膨胀，如上所述，伴随这这种膨胀就会使压力室47内的液体材料产生压力振动。于是压力室47一旦配合压力室47内的液体压力变成正压的时序开始收缩，与通常状态下喷出的情况相比，液滴就能以高速飞行。反之，压力室47一旦配合压力室47内的液体压力变成负压的时序开始收缩，与通常状态下喷出的情况相比，液滴就能以低速飞行。而且关于液滴的重量，此重量虽然会与膨胀保持要素P2的时间长度对应发生变化，但是其变化量却较小。据认为，这是因为与上述各种情况同样，液滴重量主要受驱动电压的大小所支配的缘故。
用图12说明这一点。其中图12表示调整膨胀保持要素P2时间长度时喷出特性的变化情况，(a)表示使时间长度变化时液滴飞行速度的变化，(b)表示使时间长度变化时液滴重量的变化。在这些图中，实线是将驱动电压设定为20V情况下的特性，点划线是将驱动电压设定为23V情况下的特性，虚线是将驱动电压设定为26V情况下的特性。而且最低电位VL和膨胀保持要素P2之外的各种波形要素的时间长度采用基准值固定，使中间电位VM与驱动电压对应变化。
从图12(a)可以看出，在此测定范围内，膨胀保持要素P2的时间长度越长，液滴的飞行速度越慢。例如，将驱动电压设定为20V的情况下，一旦将膨胀保持要素P2的时间长度设定为2微秒，飞行速度就变成大约6.5米/秒，一旦将该时间长度设定为3微秒，飞行速度就变成大约4米/秒。而且驱动电压一旦增高飞行速度就会加速。例如，将驱动电压设定为23V的情况下，一旦将膨胀保持要素P2的时间长度设定为2微秒，飞行速度就变成大约8.7米/秒，一旦将该时间长度设定为3微秒，飞行速度就变成大约5.2米/秒。同样，将驱动电压设定为26V的情况下，一旦将膨胀保持要素P2的时间长度设定为2微秒，飞行速度就变成大约10.7米/秒，一旦将该时间长度设定为3微秒，飞行速度就变成大约7米/秒。
而且从图12(b)可以看出，在此测定范围内，液滴重量随着膨胀保持要素P2的时间长度的延长而减少(即喷出量减少)。例如，将驱动电压设定为20V的情况下，一旦将膨胀保持要素P2的时间长度设定为2微秒，液滴重量就变成大约11.5纳克，一旦将该时间长度设定为3微秒，液滴重量就变成大约10.5纳克。而且驱动电压驱动电压一旦增高液滴重量就会增加(即喷出量增加)。例如，将驱动电压设定为23V的情况下，一旦将膨胀保持要素P2的时间长度设定为2微秒，液滴重量就变成大约13.2纳克，一旦将该时间长度设定为3微秒，液滴重量就变成大约12.1纳克。同样，将驱动电压设定为26V的情况下，一旦将膨胀保持要素P2的时间长度设定为2微秒，液滴重量就变成大约15.0纳克，该时间长度一旦设定为3微秒，重量就变成大约13.8纳克。
即使这种情况下，通过适当设定驱动电压和膨胀保持要素P2的时间长度，不但能使液滴的飞行速度保持一定，而且还能改变液滴的喷出量。
例如，将液滴的飞行速度设定为7米/秒时，驱动电压和膨胀保持要素P2的时间长度与液滴喷出量之间的关系示于附图13(a)之中。由此图13(a)可以看出，一旦将驱动电压和膨胀保持要素P2的时间长度分别设定为20.5V和2.0微秒(μs)，就能喷出大约11.8纳克液滴。而且，一旦将驱动电压和膨胀保持要素P2的时间长度分别设定为26.2V和3.0微秒(μs)，就能喷出大约13.8纳克液滴。此外，一旦将驱动电压和膨胀保持要素P2的时间长度分别设定为29.8V和3.5微秒(μs)，就能喷出大约15.9纳克液滴。
而且通过适当设定驱动电压和膨胀保持要素P2的时间长度，不但能使液滴的喷出量保持一定，而且还能改变液滴的飞行速度。
例如，图13(b)示出了将液滴重量设定为15纳克时，驱动电压和膨胀保持要素P2的时间长度与液滴飞行速度之间的关系。从此图13(b)可以看出，若将驱动电压和膨胀保持要素P2(p1？)的时间长度分别设定为26.2V和2.0微秒(μs)，则能够将液滴的飞行速度大约设定为10.8米/秒。而且，若将驱动电压和膨胀保持要素P2(p1？)的时间长度分别设定为28.0V和3.0微秒(μs)，则能够将液滴的飞行速度大约设定为8.0米/秒。此外，若将驱动电压和膨胀保持要素P2(p1？)的时间长度分别设定为28.0V和3.5微秒(μs)，则能够将液滴的飞行速度大约设定为6.3米/秒。
这样，关于各标准驱动脉冲PS1～PS3，通过适当设定驱动电压、中间电位VM、膨胀要素P1的时间长度、以及膨胀保持要素P2的时间长度，能够控制液滴的飞行速度和重量。因此，可以以所希望的速度喷出液滴。利用这种方法能在高水平下同时确保液滴喷着位置的准确性和喷出量的准确性。
以下就各微小驱动脉冲PS4～PS6进行说明。
首先说明使驱动电压变化时喷出特性的变化情况。附图16是表示调整驱动电压情况下喷出特性的变化，其中(a)表示使驱动电压变化时液滴飞行速度的变化，(b)表示使驱动电压变化时液滴重量的变化。另外，图16(a)中，带黑点的实线表示主液滴，带白圈的虚线表示附属液滴，而且带三角的点划线表示第二(次级)附属液滴。
正如图16可以看出，在测定范围内，驱动电压的大小以及液滴的飞行速度和重量之间，可以说具有互为正比的关系(系数为正)。也就是说，一旦增大驱动电压液滴(主液滴)的飞行速度就会加快，液滴的重量也会增加。例如，驱动电压为18伏的情况下，主液滴的飞行速度约为4米/秒，重量约4.4纳克；而驱动电压为24伏的情况下，主液滴的飞行速度约为9.0米/秒，重量约6.8纳克；进而，驱动电压为33伏的情况下，主液滴的飞行速度约为16米/秒，重量约10.2纳克。据认为，这是因为，与上述的标准驱动脉冲PS1～PS3的理由相同，即压力室容积的变化幅度因驱动电压的增减而变化的缘故。因此即使对这种微小驱动脉冲来说，通过设定驱动电压能够同时使喷出液滴的飞行速度和量增减。
其中观察图16(a)，当驱动电压处于18伏的状态下液滴会分成主液滴和附属液滴飞行。此外，一旦驱动电压达到24伏以上，除上述附属液滴外还会出现第二附属液滴。在这种微小驱动脉冲PS4～PS6中，附属液滴的速度虽然随着驱动电压的上升而增加，但是第二附属液滴却与驱动电压的上升无关，具有大体一定的飞行速度(6～7米/秒)。
以下说明各微小驱动脉冲PS4～PS6的中间电位VM与液滴喷出特性之间的关系。
对于这种微小驱动脉冲PS4～PS6而言，中间电位VM也规定压力室47的通常容积。因此，通过改变中间电位VM能够设定从通常容积至最大容积之间的膨胀余量。而且，通过变更膨胀余量，还能设定第二膨胀要素P11供给时的弯月面朝向压力室47侧的吸引量。此外由于第二膨胀要素P11的时间长度一定，所以膨胀余量一旦变更，弯月面朝向压力室47侧的吸引速度也会发生变化。
据认为，弯月面的吸引量和吸引速度会对液滴的喷出量产生影响。也就是说，弯月面的吸引量一旦比基准多，以液滴形式喷出的液体量就会比基准减少，反之弯月面的吸引量一旦比基准少，以液滴形式喷出的液体量就会比基准增多。而且，弯月面的吸引速度一旦高于基准，在其反作用下弯月面中心部分的移动速度就会比基准增高，从而使液滴的飞行速度与基准相比增高。另一方面，弯月面的吸引速度一旦低于基准，在其反作用下弯月面中心部分的移动速度和液滴的飞行速度都会比基准低。
因此通过适当设定上述驱动电压和中间电位VM，能够在使液滴的飞行速度保持一定的条件下改变液滴的喷出量。例如，图17(a)表示将液滴的飞行速度设定为7米/秒的情况下，驱动电压和中间电位VM与液滴重量之间的关系。从图17(a)可以看出，一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为19.5伏和驱动电压的0％(即与最低电位VL三电位)，就能喷出大约5.6纳克的液滴。而且一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为22.5伏和驱动电压值的30％，就能喷出大约5.9纳克的液滴。此外一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为24.5伏和驱动电压值的50％，就能喷出大约7.5纳克液滴。
而且，通过适当设定上述驱动电压和中间电位VM，能够在保持液滴喷出量一定的条件下还能改变液滴的飞行速度。例如，图17(b)示出将液滴的重量设定为5.5纳克的情况下，驱动电压和中间电位VM与液滴飞行速度之间的关系。从图17(b)可以看出，一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为19.0伏和驱动电压的0％，就能将液滴的飞行速度设定在大约6.9米/秒。而且一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为21.5伏和驱动电压值的30％，就能将液滴的飞行速度设定在大约6.2米/秒。此外一旦将驱动电压和中间电位VM分别设定为24.5伏和驱动电压值的50％，就能将液滴的飞行速度设定在大约4.5米/秒。
以下说明各微小驱动脉冲PS4～PS6的喷出电位VF(第二喷出要素P13的终端电位)与液滴喷出特性之间的关系。
上述的喷出电位VF规定压力室47的喷出容积(第二喷出要素P13供给终止时的容积)。因此，通过变更喷出电位VF，能够设定从最大容积至喷出容积的收缩量。而且由于第二喷出要素P13的时间长度一定，所以收缩速度也因此喷出电位VF的变化而发生变化。也就是说，一旦将喷出电位VF设定得低于基准，收缩速度就会增高，反之一旦设定得高于基准收缩速度就会降低。
据认为，压力室47的收缩量和收缩速度会对液滴喷出量产生影响。也就是说，压力室47的收缩量一旦比基准多，液滴的喷出量就会比基准增多，收缩量一旦比基准少，液滴的喷出量就会比基准减少。而且，液滴的飞行速度随压力室47收缩速度的增高而加大，收缩速度一旦降低飞行速度也会降低。
在这种情况下，飞行速度相对于喷出电位VF变化的变化量与喷出量的变化量，与使驱动电压变化时的变化量不同。因此，通过适当设定上述驱动电压和喷出电位VF，能够在保持液滴飞行速度一定的条件下使喷出重量发生变化。
例如，图18(a)示出了将液滴飞行速度设定为7米/秒时驱动电压和喷出电位VF与液滴重量之间的关系。从图18(a)所示可知，一旦将驱动电压和第二喷出要素P13的电位差分别设定为27.0伏和驱动电压值的50％(即喷出电位VF比最高电位VH低13.5伏的电位)，就能喷出大约3.6纳克的液滴。而且一旦将驱动电压和第二喷出要素P13的电位差分别设定为21.3伏和驱动电压值的70％，就能喷出大约5.6纳克的液滴。此外一旦将驱动电压和第二喷出要素P13的电位差分别设定为16.6伏和驱动电压值的100％(即喷出电位VF与最低电位VL相等的电位)，就能喷出大约7.6纳克的液滴。其中，将第二喷出要素P13的电位差设定为驱动电压的100％的情况下，不设收缩制振要素P15。
而且通过适当设定驱动电压和喷出电位VF，在使液滴的喷出量保持一定的情况下，还能改变液滴的飞行速度。
例如，图18(b)示出，将液滴的重量设定为5.5纳克时，驱动电压和喷出电位VF与液滴飞行速度之间的关系。从图18(b)可以看出，一旦将驱动电压和第二喷出要素P13的电位差分别设定为32.0伏和驱动电压值的50％，就能将液滴的飞行速度大约设定在11.2米/秒。而且，一旦将驱动电压和第二喷出要素P13的电位差分别设定为19.5伏和驱动电压值的70％，就能将液滴的飞行速度大约设定在5.5米/秒。此外一旦将驱动电压和第二喷出要素P13的电位差分别设定为12.0伏和驱动电压值的100％，就能将液滴的飞行速度大约设定在3.0米/秒。
这样，即使对于各微小驱动脉冲PS4～PS6而言，通过适当设定其驱动电位、中间电位VM和喷出电位VF，能够控制液滴的喷出量和飞行速度。
因此，利用来自主控制部分31(脉冲形状设定机构)的波形信息能够设定各驱动脉冲PS1～PS6的波形形状，通过将被设定的驱动脉冲PS1～PS6供给压电振动元件21，能以所需的飞行速度喷出所需量的液滴。因此，能够使用同一个喷头7(同一喷嘴开口25)对各像素区域12a进行预定量(目标量)液滴的喷出和不足量液滴的喷出。
而且由于还能设定液滴的飞行速度，所以能够使数量不同的液滴以同一速度飞行。这样一来，能够在喷头7扫描速度一定的条件下使液滴的喷着位置整齐划一。因此即使不进行复杂控制也能正确控制液滴的喷着位置。
此外，由于一滴4纳克左右的极少量液滴容易受空气粘性阻力的影响，所以考虑到这种粘性阻力引起的速度损失因素，有时能以更高精度控制喷着位置。关于这一点，在本实施方式中通过设定驱动脉冲的波形形状，能够在使液滴量一定的条件下变更飞行速度。因此，即使是上述的极少量的液滴，但是通过设定波形形状因而能够像10纳克以上液滴那样控制喷出，能使控制变得更加容易。
以下说明彩色滤光片2的制造方法。图19是表示彩色滤光片制造工序的流程图，图20是以制造工序顺序示出的本实施方式中彩色滤光片2(滤光片基体2’)的断面示意图。
首先在黑色基体形成工序(S1)中，如图20(a)所示，在基板11上形成黑色基体72。黑色基体72由金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体或黑色树脂等形成。形成由金属薄膜构成的黑色基体72的情况下，可以采用溅射法和蒸镀法。而且形成由树脂薄膜构成的黑色基体72的情况下，可以采用凹版印刷法、光刻法、热转印法等。
进而在堤岸形成工序(S2)中，以重叠状态在黑色基体72上形成堤岸73。也就是说如图20(b)所示，形成由负像型透明的感光性树脂构成的抗蚀层将基板11和黑色基体72覆盖。而且在其上面用以基体图案形状形成的掩膜75覆盖状态下进行曝光处理。
接着如图20(c)所示，通过对抗蚀层74的未曝光部分进行蚀刻处理，使抗蚀层74形成图案，形成堤岸73。其中用黑色树脂形成黑色基体的情况下，可以兼作黑色基体和堤岸使用。
这种堤岸73以及处于其下方的黑色基体72，形成区分各像素区域的隔壁12b，在后面的着色层形成工序中用喷头7形成着色层76R、76G和76B时将规定液膜滴的喷着区域。
经过以上的黑色基体形成工序和堤岸形成工序后，可以得到上述滤光片基体2’。
另外，在本实施方式中，可以使用对涂膜表面呈疏油墨性的树脂材料作为堤岸73的形成材料。而且由于玻璃基板(基板11)表面具有亲油墨性，所以在后述的着色层形成工序中能够提高液滴向堤岸73(区分隔壁12b)所包围的各像素区域12a内喷着位置的精度。
然后在着色层形成工序(S3)中，如图20(d)所示，用喷头7喷出墨滴使之喷着在由区分隔壁12b所包围的各像素区域12a之内。进而经过干燥处理，依次形成三色着色层76R、76G和76B。关于着色层形成工序的细节，将在后面结合图21详述。
若形成了着色层76R、76G和76B，则转入保护膜形成工序(S4)，如图20(e)所示，形成保护膜77将基板11、区分隔壁12b和着色层76R、76G和76B的上面覆盖。
也就是说，在基板11的形成了着色层76R、76G和76B的全体表面上涂布保护膜用涂布液后，经过干燥处理可以形成保护膜77。
而且形成保护膜77后，将基板11沿着每个有效像素区域切断后，可以得到彩色滤光片2。
以下就上述着色层形成工序作更详细说明。着色层形成工序，如图21所示，由液体材料喷出工序(S11)、喷着量检出工序(S12)、补正量取得工序(S13)和液体材料补充工序(S14)组成，依次进行这些工序。
在液体材料喷出工序(S11)中，在基板11上的各像素区域12a上喷出预定量预定颜色的、例如R、G、B中任何颜色的液滴(墨滴)。此工序中，作脉冲形状设定机构用的主控制部分31，将生成发生标准驱动脉冲PS1～PS3用的波形信息(DAT)，作驱动脉冲发生机构用的驱动信号发生部分32将根据此波形信息发生标准驱动脉冲。而且主控制部分31(主控制机构)将生成移动控制信息(DRV1)输出给承载器马达6，生成喷头7的控制用信号向喷头7输出。以这种方式进行主扫描。也就是说，在承载器马达6动作下导杆4沿着主扫描方向(X轴方向)移动，与此导杆4移动的同时，可以从喷头7的喷嘴开口25喷出预定颜色墨滴。
这种情况下，在本实施方式中，由于驱动脉冲的波形形状被设定得像上述那样，所以油墨滴的喷出量和飞行速度被最佳化，能使预定量油墨滴喷着在预定像素区域12a上。
若一次主扫描结束，则使喷头7沿着副扫描方向移动预定量，进行下一主扫描。以后反复进行上述动作，将油墨滴喷在基板11的全部表面上，即全部像素区域12a上。
还有，在此液体喷出工序中，主控制部分31(脉冲形状设定机构)附加温度传感器和湿度传感器等环境状态检出机构(图中未示出)得出检出信号后，也可以生成波形信息(DAT)。利用这种结构，即使制造装置1的设置环境(温度和湿度)发生变化，也能使液滴的喷出特性一致。
而且主控制部分31(脉冲形状设定机构)，取得使用液体材料的种类信息，例如显示粘度和密度等物质性质的信息后，因而能够附加这种信息生成波形信息(DAT)。利用这种结构，即使采用不同种类的液体材料，也能发生与适于该液体材料的波形形状的驱动脉冲，泛用性优良。
在喷着量检出工序(S12)中，由作液体材料检出机构用的液体材料传感器17针对每个像素区域12a检出上述液体材料喷出工序中喷着的油墨量。也就是说，在此喷着量检出工序中，对每个像素区域12a检出因各喷嘴开口25的特性差异和油墨滴的喷出不良等可以产生波动的喷着油墨量。
此工序中，主控制部分31(主控制机构)将移动控制信息(DRV1)向承载器马达6输出使承载器5移动，向激光器发光元件18输出发光控制信息(DRV2)，使激光光线Lb照射在所需的像素区域12a上。这种激光光线Lb，被作光线反射面用的载置面3a反射后由激光受光元件19接受。而且，接受了反射激光光线Lb的激光器受光元件19，向主控制部分31输出与受光量(受光强度)相应的电平检出信号。主控制部分31将由来自激光器受光元件19的检出信号(激光器受光元件19的受光量)判断喷着油墨量。
这种喷着油墨量的判断在全部像素区域12a内进行。也就是说，对一个像素区域12a检出了喷着的油墨量后，将会检出对下一像素区域12a的喷着油墨量。于是若就全部像素区域12a都检出了喷着的油墨量，则此工序结束。其中，取得的各喷着油墨量将以与像素区域12a的位置信息相关联的状态下被记忆在主控制部分31的RAM(喷着液体材料量记忆机构，图中未示出)中。
在补正量取得工序(S13)中，将对上述喷着量检出工序检出的每个像素区域12a内的喷着量，与该像素区域12a的目标油墨量(本发明的一种目标液体材料量)进行比较，取得喷着油墨量与目标油墨量之差作为补正量。其中本实施方式中的目标油墨量，规定为喷着油墨量最多的像素区域12a内喷着的油墨量。也就是说，将喷着检出工序中检出的喷着油墨量最大值设定为目标油墨量，例如被记忆在主控制部分31的RAM(目标液体材料量记忆机构，图中未示出)中。其中目标油墨量，在各种颜色(R、G、B)中既可以共同设定，也可以各种颜色分别设定。
此工序中，主控制部分31具有作为本发明的一种不足量取得机构的功能。例如主控制部分31，通过读取被记忆在RAM中的各喷着油墨量和目标油墨量，计算取得目标油墨量与喷着油墨量之差。而且，取得的油墨量之差的信息，作为不足量信息(本发明的液体材料不足量的一种)以与液体材料区域(像素区域12a)的位置信息相关的状态被记忆在主控制部分31的RAM(相当于不足量记忆机构，图中未示出)中。
在液体材料补充工序(S14)中，将喷头7的位置对准喷着油墨量相对于目标油墨量不足的像素区域12a上，向压电振动元件21供给此状态下与不足量相应波形形状的驱动脉冲(例如微小驱动脉冲PS4～PS6)，向该像素区域12a补充油墨。
也就是说，在此工序中，首先由主控制部分31从RAM读取不足量信息并识别需要补充油墨的像素区域12a。其次，就需要补充的像素区域12a设定喷出不足量用的驱动脉冲。即设定波形信息。而且所设定的波形信息以与像素区域12a的位置信息相关的状态被记忆在主控制部分31的按RAM(相当于补充脉冲设定信息记忆机构，图中未示出)中。
若记忆了有关需要补充油墨的全部像素区域12a的补充脉冲设定信息，则由主控制部分31控制油墨的补充。也就是说，控制承载器马达6使喷头7的位置对准作为补充对象的像素区域12a。而且向驱动信号发生部分32输出波形信息(补充脉冲设定信息)，使不足量液滴喷着在该像素区域12a上。
针对此像素区域12a的油墨补充终止后，将喷头7移到下移像素区域12a上，以同样顺序针对此像素区域12a进行油墨补充。而且若关于作为补充对象的全部像素区域12a的油墨补充终止，则此工序终止。
而且若上述一系列工序(即着色层形成工序)均已终止，则实施热处理等使油墨液固定在像素区域12a上形成着色层76。然后将定影后的滤光片基体2’移送到下一工序(即保护膜形成工序)。
本实施方式中，虽然使用同一喷嘴7喷出各种颜色(R、G、B)油墨，但是也可以将制成与各种颜色对应的多个(三个)喷头并将其安装在制造流水线上，分别喷出各种颜色油墨。这种情况下，第一种颜色描画后，经过干燥工序移送到第二种颜色描画。与第一种颜色同样，经过干燥工序，移至第三颜色的描画。第三颜色的描画后，经过干燥工序，最后进行本干燥。利用本干燥将各种颜色的彩色滤光片完全干燥。
然而，上述说明中虽然示出了补充喷着油墨不足量的结构，但是本发明并不限于这种结构。例如也可以以喷着油墨量的设计值作为目标油墨量，当喷着油墨量超过设计量的情况下，根据超过量使着色成分分解机构工作，将超过部分的油墨(着色成分)分解。以下说明这种构成的变形实例。
图22和图23是这种变形实例的说明图，图22是说明着色层形成工序的流程图，图23是说明一种作着色成分分解机构用激元激光器光源80的示意图。其中在这种变形实例的制造装置1中，由于基本结构与上述实例相同，所以这里省略其详细说明。
这种变形实例的特征在于备有作着色成分分解机构用的激元激光光源这一点上。这里所说的“激元”是指由同种原子和分子中一个处于基态的和每一个处于激发态的原子和分子形成的不稳定的二聚体，所谓“激元激光”是指利用这种激元解离向基态越迁时的发光的激光。
这种激元激光由于具有能被具有高能量的紫外线切断油墨液中着色成分(色素)分子键的作用，所以能够分解着色成分，使颜色浓度变浅。而且还具有使油墨飞散和滤光片基板的损伤难于发生的作用。此外，利用激元激光通过控制其输出和照射脉冲数(时间)，也可以调整被分解的着色成分量。
这种激元激光，例如自激元激光光源80射出后可以透过棱镜照射各像素区域12a。而且这种激元激光光源80被连接在主控制部分31上后能够控制其动作。也就是说，主控制部分31将控制激元激光的输出和照射脉冲数。
以下说明本实施方式中的涂布工序。其中以下的说明以与上述实例的不同点为中心，与上述实例相同内容的详细说明省略。
如图22所示，这种涂布工序由液体材料喷出工序(S11)、喷着量检出工序(S12)、补正量取得工序(S13’)、液体材料补充工序(S14)、液体材料分解工序(S15)组成，依次进行这些工序。
液体材料喷出工序(S11)中，对基板11上的各像素区域12a喷出预定量预定颜色的油墨。此工序与上述实例的情况同样进行。也就是说，使承载器马达6动作，使导杆4沿着主扫描方向(X轴方向)移动，在此导杆4移动的同时从喷头7的喷嘴开口25喷出预定颜色液滴。
在喷着量检出工序(S12)中，对于每个像素区域12a检出喷着油墨量。此工序也和上述实例的情况同样进行，例如利用液体材料传感器17进行。而且取得的喷着量以与像素区域12a的位置信息有关的状态记忆在主控制部分31的RAM(相当于喷着油墨量记忆机构，图中未示出)中。其中液体材料传感器17在本例中也具有作为一种液体材料量检出机构的功能。
在补正量取得工序(S13’)中，对上述喷着量检出工序检出的每个像素区域12a内的喷着量，与该像素区域12a的目标油墨量(本发明的一种目标液体材料量)进行比较，取得喷着油墨量与目标油墨量之差作为补正量。其中本实施方式中的目标油墨量，规定为喷着油墨量设计值，例如记忆在主控制部分31的RAM(相当于喷着油墨量记忆机构，图中未示出)中。
此工序中主控制部分31的RAM(相当于本发明的不足量取得机构，图中未示出)，通过读取被记忆在RAM中的各喷着油墨量和目标油墨量，计算取得目标油墨量与喷着油墨量之差。而且，取得的油墨量之差的信息，作为不足量信息(本发明的一种液体材料不足量)以与像素区域12a的位置信息相关的状态被记忆在主控制部分31的RAM(相当于不足量记忆机构，图中未示出)中。
在液体材料补充工序(S14)中，与上例工序同样，将喷头7位置对准喷着油墨量相对于目标油墨量不足的像素区域12a上，向压电振动元件21供给与不足量相应波形形状的驱动脉冲，向该像素区域12a补充油墨。
在液体材料分解工序(S15)中，对喷着油墨量超过目标油墨量的像素区域12a照射激元激光，使与超过量相当量的着色成分分解。这种情况下，主控制部分31也有作为激光照射控制机构的功能，通过使上述棱镜81移动等方式对所需的像素区域12a照射激光光线。而且主控制部分31还有作为分解量控制机构的功能，根据超过量控制激光的输出和照射脉冲数，将必要量的着色成分分解。
而且若上述一系列工序(即涂布工序)均已结束，则实施热处理等使涂布的油墨液固定。然后将滤光片基体2’移送到下一工序。
其中也可以在将油墨液固定后实施用上述激元激光器分解液体材料的工序。
如上所述，这种制造装置1对每个像素区域12a检出喷着的油墨量，根据喷着油墨量与目标油墨量之差求出的不足量判断是补充油墨，还是分解油墨，或者既不补充也不分解油墨。而且在补充的情况下，向压电振动元件21供给根据不足量设定的驱动脉冲。另一方面，在分解的情况下，对该像素区域12a照射激元激光线，同时根据超过量控制激元激光的输出和照射脉冲数，使必要量的着色成分分解。
其结果，每个像素区域12a的油墨浓度都与设计值一致，能够制造出高品位的彩色滤光片2。
图24是作为采用本发明制造的彩色滤光片的液晶装置一种实例的、被动矩阵型液晶装置(液晶装置)的大致结构要部的断面图。这种液晶装置85，通过安装液晶驱动用IC、背光、支持体等附加要素，可以得到作为最终产品的透过型液晶显示装置。其中彩色滤光片2由于与图20所示的相同，所以在对应部位赋予同一符号，并省略对其的说明。
这种液晶装置85，由彩色滤光片2、由玻璃基板等制成的相对向基板86、和其间夹持的由STN(Super twisted Nematic，超级扭转向列)液晶组合物形成的液晶层87大体构成，将彩色滤光片设置在图中上侧(观察者侧)。
其中虽然图中没有示出，但是在相对向基板86和彩色滤光片2的外面分别设有偏光板。
在彩色滤光片2的保护膜77上(液晶层侧)，沿着图24中左右方向以预定间隔事先形成有纵向小长方形状的多数第一电极88，并形成第一取向膜90将与此第一电极88的彩色滤光片2侧的相反侧表面覆盖。
另外，在相对向基板86的与彩色滤光片2相对向的面上，沿着与彩色滤光片2的第一电极88正交的方向，以预定间隔形成纵向小长方形状多个第二电极89，并形成第二取向膜91将与此第二电极89的液晶层87侧面覆盖。这些第一电极88和第二电极89，均由ITO(Indium Tin Oxide，铟锡氧化物)等透明导电材料形成。
设置在液晶层87内的隔板(spacer)92，是使液晶层87的厚度(晶胞间隙)保持一定用的部件。而且密封材料93是防止液晶层内的液晶组合物向外部漏出用的部件。其中，第一电极88的一端向密封材料93的外侧延伸作为引出的配线88a。
而且第一电极88与第二电极89相交的部分是像素，在形成此像素的部分应当构成得使彩色滤光片2处于着色层76R、76G、76B的位置上。
图25是表示采用本实施方式制造的彩色滤光片2的液晶装置的第二种实例结构要部的断面图。
这种液晶显示装置85’与上述液晶装置85的最大区别点在于，将彩色滤光片2设置在图中下侧(与观察者反侧)。
这种液晶显示装置85’大体上由在彩色滤光片2和玻璃基板制成的相对向基板86’之间夹持STN液晶形成的液晶层87’所构成。其中，虽然没有示出，但是在相对向基板86’和彩色滤光片2的外面分别设有偏光板。
在彩色滤光片2的保护膜77上(液晶层87’侧)，沿着图中垂直方向以预定间隔事先形成小长方形状的多个第一电极88’，并形成第一取向膜90’以将此第一电极88’的液晶层87’侧面覆盖。
在与相对向基板86’的彩色滤光片2相对向的表面上，沿着与彩色滤光片侧第一电极88’正交的方向以预定间隔形成小长方形状多个第二电极89’，并形成第二取向膜91’以将此第电极89’的液晶层87’侧面覆盖。
在液晶层87’上，设置为使液晶层87’厚度保持一定的隔板92，和防止液晶层87’内的液晶组合物向外部漏出用的密封材料93。
而且与上述的液晶装置85一样，第一电极88’与第二电极89’相交的部分是像素，并将形成此像素的部分构成得使彩色滤光片2处于着色层76R、76G、76B的位置上。
图26表示采用本发明彩色滤光片的液晶装置结构的第三种实例，是不表示透过型TFT(薄膜晶体管)型液晶装置结构的分解立体图。
这种液晶显示装置85”也是将彩色滤光片2设置在图中上侧(观察者侧)的一种装置。
这种液晶显示装置85”大体上由彩色滤光片2、设置得与其相对向的相对向基板86”、在其之间夹持的图中未示出的液晶层、设置在彩色滤光片2上侧(观察者侧)的偏光板96、和设置在相对向基板86”的下侧的偏光板(图中未示出)所构成。
在彩色滤光片2的保护膜77表面(相对向基板86”的侧面)上形成液晶驱动用电极97。这种电极97，由ITO等透明导电材料制成，将成为覆盖形成后述像素电极100区域全体的整面电极。而且将与此电极97的像素电极100的相反侧面覆盖的状态下设置取向膜98。
在与相对向基板86”的彩色滤光片2相对向面上形成绝缘层99，在此绝缘层99上互相正交的状态形成扫描线101和信号线102。而且在被这些扫描线101和信号线102所包围的区域内形成像素电极100。其中在实际液晶显示装置中，像素电极100上虽然设有取向膜，但是图中未示出。
此外，像素电极100缺少部分和扫描线101和信号线102所包围的部分，组装备有源电极、漏电极、半导体和栅电极的薄膜晶体管103构成。而且构成得通过对扫描线101和信号线102施加信号将薄膜晶体管103导通、断开，以便应能对像素电极100进行通电控制。
其中虽然将上述各例的液晶显示装置85、85’和85”制成透过型，但是也可以设置反射层或半透过反射层，制成反射型液晶装置或半透过反射型液晶装置。
以下说明本发明的第二种实施方式。图27是作为本发明中一种显示器的有机EL显示装置显示区域(以下简单成为显示装置106)要部的断面图。
这种显示装置106大体由电路元件部分107、发光元件部分108和阴极109层叠在基板110上构成。
这种显示装置106中，从发光元件部分108向基板110侧发出的光线，透过电路元件部分107和基板110在向观察者出射的同时，从发光元件部分108向基板110相反侧发出的光线被阴极109反射后，透过电路元件部分107和基板110向观察者出射。
电路元件部分107和基板110之间形成由硅氧化膜形成的基底保护膜111，在此基底保护膜111上(发光元件部分108侧)形成由多晶硅构成的岛状半导体膜112。在这种岛状半导体膜112左右的区域，利用高浓度阳离子注入法分别形成源区112a和漏区112b。而且在未注入阳离子的中央部分变成信道区域112c。
而且在电路元件部分107形成覆盖基底保护膜111和半导体膜112的透明栅绝缘膜113，在与此栅绝缘膜113上的半导体膜112的信道区域112c对应的为止上，例如形成由Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的栅电极114。在此栅电极114和栅绝缘膜113上形成透明的第一层间绝缘膜115a和第二层间绝缘膜115b。而且形成接触孔116a和116b，将第一层间绝缘膜115a和第二层间绝缘膜115b贯通，分别与半导体膜112的源区112a和漏区112b连通。
于是，在第二层间绝缘膜115b上，以预定形状图案化二形成由ITO构成的透明像素电极117，该像素电极117通过连接孔116a与源区连接。
此外在第一层间绝缘膜115a上还设有电源线118。此电源线118通过接触孔116b与漏区112b连接。
这样在电路元件部分107上就分别形成了与各像素电极117连接的驱动用薄膜晶体管119。
上述发光元件108，由分别在多个像素电极117上层叠的功能层120，处于各像素电极117和功能层120之间区，并分隔各功能层120用的堤岸部分121大体构成。
这些像素电极117、功能层120、以及被设置在功能层120上的阴极109构成发光元件。其中将像素电极117形成俯视大体呈矩形的图案，在个像素电极117之间形成堤岸部分121。
堤岸部分121，例如是由SiO、SiO2、TiO2等无机材料形成的无机物堤岸层121a(第一堤岸层)，以及层叠在此无机物堤岸层121a上、由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优良的抗蚀剂形成的断面呈台状的有机物堤岸层121b(第二堤岸层)构成。这种堤岸部分121中一部分，形成得处于像素电极117的四周部分上。
而且在堤岸部分121之间形成相对于像素电极117向上方逐渐展开的开口部分122。
上述功能层120，由在开口部分122内以层叠在像素电极117上的状态形成的空穴注入/输送层120a、和在此空穴注入/输送层120a上形成的发光层120b构成。其中也可以进一步形成与此发光层120b相邻具有其他功能的功能层。例如还可以形成电子输送层。
空穴注入/输送层120a具有从像素电极117一侧输送空穴向发光层120b注入的功能。这种空穴注入/输送层120a，可以用喷出含有空穴注入/输送层形成材料的第一组合物(相当于本发明的一种液体材料)的方法形成。作为空穴注入/输送层形成材料，例如可以使用聚乙烯二氧代噻吩等聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物。
发光层120b由于要发出红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)光线，所以可以采用喷出含有发光层形成材料(发光材料)的第二组合物(相当于本发明的一种液体材料)的方法形成。作为发光层形成材料，例如可以使用(聚)苯撑乙烯撑衍生物、聚苯撑衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯基咔唑、聚噻吩衍生物、二萘嵌苯系色素、香豆素系色素、罗丹明系色素、或者在这些高分子材料中添加了红荧烯、二萘嵌苯、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖啶酮等的物质。
而且作为第二组合物用溶剂(非极性溶剂)，优选对空穴注入/输送层120a不溶性的物质，例如可以使用环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等。通过在发光层120b的第二组合物中使用这种非极性溶剂，能够在空穴注入/输送层120a不被再溶解的情况下形成发光层120b。
发光层120b应当构成得使从空穴注入/输送层120a注入的空穴与从阴极109注入的电子能在发光层中因再结合而发光。
阴极109在覆盖发光元件108全部表面的状态下形成，与像素电极117形成对电极，起着使电流流向功能层120的作用。其中在这种阴极109上部设置有图中未示出的密封材料。
以下参照附图28～36说明本实施方式中显示装置106的制造工序。
这种显示装置106，如图28所示，可以经过堤岸部分形成工序(S21)、表面处理工序(S22)、空穴注入/输送层形成工序(S23)、发光层形成工序(S24)和对向电极形成工序(S25)制造。其中制造工序并不限于例示的这些，有时也根据需要排除或者追加其他工序。
首先在堤岸部分形成工序(S21)中，如图29所示，在第二层间绝缘膜115b上形成无机物堤岸层121a。这种无机物堤岸层121a，当在形成位置形成无机物膜后，可以采用照相平版印刷术等技术使这种无机物膜形成图案。此时无机物堤岸层121a中一部分，与像素电极117的四周部分重叠形成。
若形成了无机物堤岸层121a，如图30所示，则在无机物堤岸层121a上形成有机物堤岸层121b。这种有机物堤岸层121b与无机物堤岸层121a同样也能用照相平版印刷术技术等使之形成图案。
这样就形成了堤岸层121。而且与此同时可以在各堤岸部分121之间形成相对于像素电极117向上方开口的开口部分122。这种开口部分122将规定像素区域(相当于本发明的一种液体材料区域)。
在表面处理工序(S22)中，进行亲液处理和疏液处理。实施亲液处理的区域，是无机物堤岸层121a的第一层叠部分121a’和像素电极117的电极面117a，这些区域例如通过以氧气作处理气体的等离子处理使表面具有亲液性。这种等离子处理对作为像素电极117的ITO兼有洗涤作用。
疏液处理应当针对有机物堤岸层121b的壁面121s和有机物堤岸层121b的上面121t实施，例如通过采用以四氟甲烷为处理气体的等离子处理法，可以使表面被氟化处理(疏液处理)。
通过进行这种表面处理工序，利用喷头7形成功能层120时，能使液体材料更确实地喷着在像素区域，而且能够防止喷着在像素区域的液体材料从开口部分122溢出。
而且经过以上工序，可以得到显示装置106’(相当于本发明的一种显示器基体)。将这种显示装置106’安装在图1(a)所示的制造装置1的承载台3上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S23)和发光层形成工序(S24)。
空穴注入/输送层形成工序(S23)中，向作为像素区域的开口部分122内用喷头7喷出含有空穴注入/输送层形成材料的第一组合物。然后进行干燥处理和热处理，在像素电极117上形成空穴注入/输送层120a。
这种空穴注入/输送层形成工序，与上述第一种实施方式中的着色层形成工序同样，依次经过图21所示的液体材料喷出工序(S11)、喷着量检出工序(S12)、补正量取得工序(S13)和液体材料补充工序(S14)进行。另外，对于S11～S14各工序的详细情况已在上述第一种实施方式中说明，下面适当省略。
液体材料喷出工序(S11)中，如图31所示，以液滴形式将含有空穴注入/输送层形成材料的第一组合物向显示装置基体106’上的像素区域(即开口部分122内)定量喷出。这种情况下，由于也像上述那样设定了驱动脉冲的波形形状，所以可以使液滴的喷出量和飞行速度最佳化，能够使预定量第一组合物喷着在像素区域内。
若在全部像素区域内喷着了第一组合物，则在喷着量检出工序(S12)中，由作液体材料量检出机构用的液体材料传感器17针对每个像素区域检出上述液体材料喷出工序中喷着的第一组合物量(相当于本发明的一种液体材料量)。也就是说，使激光光线Lb照射每个像素区域的同时，用激光受光元件19接受从像素区域发出的光线，根据受光量(受光强度)判断第一组合物的喷着量。于是若就全部像素区域检出了第一组合物的喷着量，则移送到下一工序。
补正量取得工序(S13)中，将经上述喷着量检出工序检出的每个像素区域的第一组合物的喷着量，与该像素区域的第一组合物的目标量(本发明的一种目标液体材料量)进行比较，以得到其间的差值作为补正量。
液体材料补充工序(S14)中，将喷嘴7的位置对准第一组合物的喷着量相对于目标量不足的像素区域，即开口部分122上，在此状态下向压电振动元件21供给与不足量相应波形形状的驱动脉冲，向该像素区域内补充第一组合物。而且若针对作为补充对象的全部像素区域补充组合物的过程终止，则此工序终止。
然后通过进行干燥工序，对喷出后的第一组合物作干燥处理，使第一组合物中所含的极性溶剂蒸发，如图32所示，可以在像素电极117的电极面117a上形成空穴注入/输送层120a。
这样一来，在若每个像素区域内均形成了空穴注入/输送层120a，则空穴注入/输送层形成工序终止。
以下说明发光层形成工序(S24)。这种发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层120a再溶解，作为发光层形成时使用的第二组合物用溶剂，使用对空穴注入/输送层120a不溶的非极性溶剂。
但是另一方面，由于空穴注入/输送层120a对非极性溶剂的亲和性极低，所以向空穴注入/输送层120a上喷出含有非极性溶剂的第二组合物时，也存在不能使空穴注入/输送层120a与发光层120b密接，或者不能使发光层涂布均匀的缺点。
于是为了提高空穴注入/输送层120a表面对非极性溶剂和发光层形成材料的亲和性，优选在发光层形成前进行表面处理(表面改性处理)。这种表面处理方法是，将表面改性材料涂布在空穴注入/输送层120a上，然后进行干燥，而所说的表面改性材料是与本身为发光层形成时使用的第二组合物中的非极性溶剂相同或相似的溶剂。
经过这种处理，非极性溶剂在空穴注入/输送层120a表面上的附着变得容易，在此后的工序中能使含有发光层形成材料的第二组合物均匀涂布在空穴注入/输送层120a上。
而且即使在这种发光层形成工序中，也可以依次经过图21所示的液体材料喷出工序(S11)、喷着量检出工序(S12)、补正量取得工序(S13)和液体材料补充工序(S14)，形成发光层120b。
也就是说，在液体材料喷出工序(S11)中，如图33所示，以液滴形式将含有与各色中任何一种(图33例中是蓝色(B))对应的发光层形成材料的第二组合物向像素区域(即开口部分122内)定量喷出。即使在这种情况下，由于也像上述那样设定了驱动脉冲的波形形状，所以可以使液滴的喷出量和飞行速度最佳化，能够使预定量第二组合物喷着在空穴注入/输送层120a上。
被喷射在像素区域内的第二组合物，在空穴注入/输送层120a上扩展，在开口部分122内充满。其中，万一第二组合物被喷射到像素区域之外，喷着在堤岸部分121的上面121t上，此上面121t由于经过上述疏液处理，所以也容易转移到开口部分121之内。
若第二组合物喷着在对应的像素区域内，则在喷着量检出工序(S12)中，由作液体材料量检出机构用的液体材料传感器17针对每个像素区域检出上述液体材料喷出工序中喷着的第二组合物量。也就是说，在使激光光线Lb照射每个像素区域的同时，用激光受光元件19接受从像素区域发出的光线，根据受光量(受光强度)判断第二组合物的喷着量。于是若检出了第二组合物的喷着量，则移送到下一工序。
在补正量取得工序(S13)中，将经上述喷着量检出工序检出的每个像素区域的第二组合物的喷着量，与该像素区域第二组合物的目标量(本发明的一种目标液体材料量)进行比较，得到将其间差值作为补正量。
液体材料补充工序(S14)中，将喷嘴7的位置对准第二组合物的喷着量相对于目标量不足的像素区域，即开口部分122上，在此状态下向压电振动元件21供给与不足量相应波形形状的驱动脉冲，向该像素区域内补充第二组合物。而且若针对作为补充对象的全部像素区域完成第二组合物的补充，则此工序终止。
然后通过进行干燥工序等，对喷出后的第二组合物作干燥处理，使第二组合物中所含的非极性溶剂蒸发，如图34所示，在空穴注入/输送层120a上形成发光层120b。这种情况下，形成与蓝色(B)对应的发光层120b。
于是如图35所示，依次采用与上述的蓝色(B)发光层120b时的情况同样的工序，形成与其他颜色(红色(R)和绿色(G))对应的发光层120b。其中发光层120b的形成顺序，并不限于所例示的顺序，也可以以任何顺序形成。例如也可以根据发光层形成材料确定形成顺序。
若针对每个像素区域均已形成发光层120b，则发光层形成工序终止。
综上所述，在像素电极117上形成功能层120，即空穴注入/输送层120a和发光层120b。于是移送到对向电极形成工序(S25)。
对向电极形成工序(S25)中，如图36所示，例如采用蒸镀法、溅射法或CVD法等在发光层120b和有机物堤岸层121b的全部表面上形成阴极109(对向电极)。这种阴极109，在本实施方式中例如由钙层和铝层层叠而成。
这种阴极109的上部，可以适当设置Al膜、Ag膜、以及防止氧化用的SiO2、SiN等保护层。
这样形成阴极109后，通过用密封材料将此阴极109的上部密封的密封处理和配线处理等其他处理，可以得到显示装置106。
以下说明本发明的第三种实施方式。图37是作为本发明中一种显示器的等离子显示装置(以下简单成为显示装置125)要部的断面图。其中同图表示将显示装置切下一部分后的状态。
这种显示装置125包括由互相相对向设置的第一基板126和第二基板127，以及在其间形成的放电显示部分128，并大体上由它们构成。放电显示部分128，由多个放电室129构成。这些多个放电室129中，被设置成红色放电室129(R)、绿色放电室129(G)和蓝色放电室129(B)3个放电室129为组，构成一个像素。
在第一基板126的上面以预定间隔形成条纹状地址电极130，在这种地址电极130和第一基板126的上面形成电介质层131将其覆盖。在电介质层131的上垂直设置处于各地址电极130之间并沿着各地址电极130延伸的隔壁132。这种隔壁132包含如图所示沿着地址电极130宽度方向的两侧延伸的部分，和沿着与地址电极130正交方向延伸的图中未示出的部分。而且被这种隔壁132切割而成的区域形成放电室129。
在放电室129内设置荧光体133。荧光体133由于发射红(R)、绿(G)、蓝(B)中任何颜色的荧光，所以在红色放电室129(R)的底部、绿色放电室129(G)的底部和蓝色放电室129(B)的底部分别设置红色荧光体133(R)、绿色荧光体133(G)和蓝色荧光体133(B)。
第二基板127的图中下侧面上，沿着与上述地址电极130正交方向以预定间隔形成条纹状多个显示电极135。而且形成电介质层136和由MgO等组成的保护膜137将它们覆盖。
第一基板126和第二基板127，以地址电极130与显示电极135互相正交的状态相对粘合。其中上述地址电极130与显示电极135与图中未示出的交流电源连接。
而且通过对各电极130和135通电，能使放电显示部分128中的荧光体133激发发光，进行彩色显示。
本实施方式中，采用图1(a)所示的制造装置1，按照图21所示的制造工序，能够形成上述地址电极130、显示电极135和荧光体133。以下举例说明第一基板126中地址电极130的形成工序。
这种情况下，第一基板相当于本发明的一种显示器基体。而且将这种第一基板126放置在承载台3上进行以下工序。
首先在液体材料喷出工序(S11)中，将含有导电膜形成配线用材料的液体材料(相当于本发明的一种液体材料)以液滴状喷着在地址电极形成区域(相当于本发明的一种液体材料区域)内。这种液体材料是作为导电膜形成配线用材料，将金属等导电性微粒分散在分散剂中的物质。作为这种导电性微粒，可以使用包括金、银、铜、钯、或镍等金属微粒，以及导电性聚合物。
这种情况下，也可以如上述那样设置驱动脉冲波形形状，使液滴的喷出量和飞行速度最佳化，所以能够使预定量液体材料喷着在地址电极形成区域内。
若第一基板126上的地址电极形成区域内已经喷着了液体材料，则在喷着量检出工序(S12)中，利用作为液体材料检出机构的液体材料传感器17对于每个地址电极形成区域检出上述液体材料喷出工序中喷着的液体材料量(本发明的一种液体材料量)。也就是说，在使激光光线Lb照射每个地址电极形成区域的同时，用激光受光元件19接受从地址电极形成区域发出的光线，根据受光量(受光强度)判断液体材料的喷着量。而且若检出了液体材料的喷着量，则移送到下一工序。
补正量取得工序(S13)中，将经上述喷着量检出工序检出的每个地址电极形成区域内液体材料的喷着量，与该地址电极形成区域的液体材料的目标量(本发明的一种目标液体材料量)进行比较，将得到其间的差值作为补正量。
在液体材料补充工序(S14)中，将喷头7位置对准喷着液体材料量相对于目标量不足的地址电极形成区域上，向压电振动元件21供给与这种状态下不足量相应波形形状的驱动脉冲，向该地址电极形成区域补充液体材料。而且若针对成为补充对象的全部地址电极形成区域补充液体材料完成，则此工序结束。
然后对喷出后的液体材料进行干燥处理，使液体材料所含的分散剂蒸发，形成地址电极130。
然而虽然上述例示的是地址电极130的形成，但是关于上述显示电极135和荧光体133也可以经过上述各工序形成。
形成显示电极135的情况下，与地址电极130的情况同样，使含有导电膜配线形成用材料的液体材料(相当于本发明的一种液体材料)，以液滴形式喷着在显示电极形成区域(相当于本发明的一种液体材料区域)内。
而且在形成荧光体133的情况下，从喷头7以液滴形式喷出含有与各种颜色(R、G、B)对应荧光材料的液体材料(本发明的一种液体材料)，使之喷着在对应颜色的放电室129(相当于本发明的一种液体材料区域)内。
综上所述，在上述制造装置1中，针对每个液体材料区域检出喷着的液体材料量，由喷着液体材料量与目标液体材料量之差求出不足量，根据此不足量设定驱动脉冲波形形状。然后将设定的这种驱动脉冲供给压电振动元件21，使不足量液体材料喷着在液体材料区域，所以无需实用专用喷嘴和喷头7，能够针对每个液体材料区域补充最佳量的液体材料。
而且除液滴量之外由于还能控制液滴的飞行速度，所以还能实现对喷着位置的正确控制。也就是说，能够一边使喷嘴7扫描一边使液滴准确达到所需的液体材料区域。这样能缩短制造时间。
进而，这种制造装置1由于能够使一滴液体材料量和飞行速度在大范围内变化，所以还可以制造一个液滴大小不同的各种显示器。也就是说，虽然液体材料区域大小不同必要的液体材料量也不同，但是这种制造装置1能够根据驱动脉冲的种类和驱动脉冲的供给数在大范围内控制液滴的喷出量，通过变更驱动脉冲波形形状(各波形要素)，能够以极高精度改变一滴液体材料的量和飞行速度。因此，能够作为通用的制造装置，在无需采用专用喷嘴和专用喷头的情况下，利用相同喷头制造数种不同类型的显示器。
其中，本发明并不限于上述的各种实施方式，可以在权利要求范围内的各种更改和变形均是可能的。
首先关于本发明的液体材料量检出机构，并不限于上述各实施方式中所示的反射型液体材料传感器17。
例如液体材料检出机构也可以由透过型液体材料传感器17’构成。这种透过型液体材料传感器17’，自显示器基体的一个表面侧照射激光光线Lb，利用激光受光元件19检出透过照射侧反侧表面的透过激光光线Lb的强度(光量)。即采用使这种结构也能与上述实施方式同样对每个像素区域12a检出喷着的液体材料量。
还有，这种结构中，如图38所示，还可以将激光发光元件18和激光受光元件19设置得把显示器基体(图38的情况下，是滤光片基体2’)夹住，使激光发光元件18和激光受光元件19同时扫描。而且经过棱镜等将激光光线Lb适当反射后，对像素区域12a照射激光发光元件18发出的激光光线Lb，也可以把透过像素区域12a后的激光光线Lb引导(或使之入射)到激光受光元件19上。
另外，如图39所示，还可以利用CCD阵列140构成液体材料量检出机构。这种结构中例如由面发光体构成承载台3的承载面3a，能以均匀光量发光。而且在与导杆4中承载台3相对向的面上设置CCD阵列140，通过使之接受透过像素区域12a的光线，检出液膜的喷着量。而且从提高检出精度的观点来看，这种结构中优选CCD阵列140的分辨率比像素区域12a高(细)的。
这种结构由于能够检出多个液体材料区域(这种情况下是像素区域12a)中液体材料的喷着量，所以能使检出时间缩短和操作效率提高。
其中，关于以液滴形式喷出的材料，并不限于具有透光性的。这种情况下，通过检出喷着液体材料的表面高度，可以获知喷着液体材料量。因此，也可以用能够检出被注入的油墨液面高度的液面检出传感器构成液体材料量检出机构。
而且上述中虽然例示了向范围狭窄的液体材料区域(例如像素区域12a)喷出液体材料的情况，但是例如像形成图20所示的保护膜77的情况那样，本发明也适用于向大范围液体材料区域内喷出(在基体全部表面上涂布)液体材料的情况。
此外，上述第三种实施方式中例示的虽然是形成等离子型显示装置中的电极130和135，但是并不限于此，本发明也适用于其他电路基板中的电极等金属配线的形成。
而且机电转换元件并不限于上述的压电振动元件21，也可以由磁致伸缩元件和静电促动器构成。

Claims (19)

1、一种显示器制造装置，其中包括：
备有与喷嘴开口连通并能贮留液体材料的压力室及能使所说的压力室容积变化的机电转换元件，伴随着向机电转换元件供给驱动脉冲能使压力室内的液体材料变成液滴状而从喷嘴开口喷出的喷头，和能够产生所说的驱动脉冲的驱动脉冲发生机构，其结构能使从所说的喷嘴开口喷出的液体材料喷着在显示器基体表面的液体材料区域，
其特征在于：其中设有能对每个液体材料区域检出喷着的液体材料量的液量检出机构，
能由所说的液体材料检出机构检出的喷着液体材料量与目标液体材料量之差取得所说的液体材料区域的液体材料不足量的不足量取得机构，
设定驱动脉冲发生机构发生的驱动脉冲形状用的脉冲形状设定机构，
所说的脉冲形状设定机构根据不足量检出机构取得的液体材料不足量设定驱动脉冲的波形形状，
当所说的驱动脉冲发生机构发生所说的驱动脉冲并供给机电转换元件时，向液体材料区域补充所说的不足量的液体材料。
2、根据权利要求1所述的显示器制造装置，其特征在于：所说的液体材料检出机构，由作光源用的发光元件，和能够输出与接受的光强度相应电压的电信号的受光元件构成，
对液体材料区域照射来自发光元件光线的同时，使受光元件接受来自所说的液体材料区域的光线，根据接受光线的光强度检出所说的液体材料区域的喷着液体材料量。
3、根据权利要求1或2所述的显示器制造装置，其特征在于：所说的驱动脉冲是包括让通常容积的压力室以不使液体材料喷出的速度膨胀的膨胀要素，保持压力室膨胀状态的膨胀保持要素，和当被保持在膨胀状态下的压力室急剧收缩时喷出液体材料的喷出要素的第一驱动脉冲，
脉冲形状设定机构设定第一驱动脉冲中从最高电位至最低电位为止的驱动电压。
4、根据权利要求1～3中任何一项所述的显示器制造装置，其特征在于：所说的驱动脉冲是包含让通常容积的压力室以不使液体材料喷出的速度膨胀的膨胀要素、保持压力室膨胀状态的膨胀保持要素、和保持在膨胀状态的压力室急剧收缩时使液体材料喷出的喷出要素的第一驱动脉冲，
而脉冲形状设定机构设定与通常容积对应的中间电位。
5、根据权利要求1～3中任何一项所述的显示器制造装置，其特征在于：所说的驱动脉冲是包含让通常容积的压力室以不使液体材料喷出的速度膨胀的膨胀要素、保持压力室膨胀状态的膨胀保持要素、和保持在膨胀状态的压力室急剧收缩时使液体材料喷出的喷出要素的第一驱动脉冲，
而脉冲形状设定机构设定膨胀要素的时间长度。
6、根据权利要求1～3中任何一项所述的显示器制造装置，其特在于：所说的驱动脉冲是包含让通常容积的压力室以不使液体材料喷出的速度膨胀的膨胀要素、保持压力室膨胀状态的膨胀保持要素、和保持在膨胀状态的压力室急剧收缩时使液体材料喷出的喷出要素的第一驱动脉冲，
而脉冲形状设定机构设定膨胀保持要素的时间长度。
7、根据权利要求I～3中任何一项所述的显示器制造装置，其特征在于：所说的驱动脉冲是包含应当将弯月面显著吸引到压力室侧使通常容积的压力室急剧膨胀的第二膨胀要素、在使压力室收缩时将被第二膨胀要素吸引的弯月面中心部分以液滴状喷出的第二喷出要素的第二驱动脉冲
而脉冲形状设定机构设定从第二驱动脉冲中最高电位至最低电位的驱动电压。
8、根据权利要求1～3中任何一项所述的显示器制造装置，其特征在于：所说的驱动脉冲是包含应当将弯月面显著吸引到压力室侧使通常容积的压力室急剧膨胀的第二膨胀要素、在使压力室收缩时将被第二膨胀要素吸引的弯月面中心部分以液滴状喷出的第二喷出要素的第二驱动脉冲
而脉冲形状设定机构设定与通常容积对应的中间电位。
9、根据权利要求1～3中任何一项所述的显示器制造装置，其特征在于：所说的驱动脉冲是包含应当将弯月面显著吸引到压力室侧使通常容积的压力室急剧膨胀的第二膨胀要素、在使压力室收缩时将被第二膨胀要素吸引的弯月面中心部分以液滴状喷出的第二喷出要素的第二驱动脉冲
而脉冲形状设定机构设定第二喷出要素的终端电位。
10、根据权利要求1～9中任何一项所述的显示器制造装置，其特征在于：其中所说的驱动脉冲发生机构构成得能在单位周期内发生多数驱动脉冲，
通过对与单位周期相当的压力发生元件供给的驱动脉冲数可变，能够调整液体材料的喷出量。
11、根据权利要求1～10中任何一项所述的显示器制造装置，其特征
在于其中所说的液体材料，是含有发光材料的液体材料。
12、根据权利要求1～10中任何一项所述的显示器制造装置，其特征在于：其中所说的液体材料，是含有空穴注入/输送层形成材料的液体材料。
13、根据权利要求1～10中任何一项所述的显示器制造装置，其特征在于：其中所说的液体材料，是含有导电微粒的液体材料。
14、根据权利要求1～10中任何一项所述的显示器制造装置，其特征在于：其中所说的液体材料，是含有着色成分的液体材料。
15、根据权利要求14所述的显示器制造装置，其特征在于，其中设有：由所说的液体材料量检出机构检出的喷着液体材料量与该液体材料区域内目标液体材料量之差取得液体材料超过量的超过量取得机构，和
分解液体材料中着色成分的着色成分分解机构，
根据液体材料超过量使着色成分分解机构动作，将超过部分的着色成分分解。
16、根据权利要求15所述的显示器制造装置，其特征在于：其中所说的着色成分分解机构由能发生激元激光的激元激光光源构成。
17、根据权利要求1～16中任何一项所述的显示器制造装置，其特征在于：其中所说的机电转换元件是压电振动器。
18、一种显示器的制造方法，其中使用显示器制造装置，其具有备有与喷嘴开口连通的压力室和使该压力室容积变化的机电转换元件，通过机电转换元件的动作能使压力室内的液体材料从喷嘴开口喷出的喷头，和
能够产生向所说的机电转换元件供给的驱动脉冲用的驱动脉冲发生机构，
并通过使从所说的喷嘴开口喷出的液体材料喷着在被设置在显示器基体上的多个液体区域而制造显示器的显示器制造方法，
其特征在于，其中经过：
向机电转换元件供给使目标量液体材料喷出用的驱动脉冲，向各液体材料区域喷出液体材料的液体材料喷出工序，
用液体材料量检出机构对每个液体材料区域检出喷着的液体材料量，由被检出的喷着液体材料量相对于液体材料区域目标液体材料量之差取得液体材料不足量的补正量取得工序，
当喷着液体材料量相对于目标液体材料量不足时，根据所说的不足量设定驱动脉冲的波形形状，使驱动脉冲发生机构发生所说的设定波形形状的驱动脉冲，将其供给机电转换元件，补充不足量液体材料的液体材料补充工序。
19、根据权利要求18所述的显示器的制造方法，其特征在于：在所说的补正量取得工序之后进行液体材料分解工序，所说的液体材料分解工序是在喷着液体材料量相对于目标液体材料量超过的情况下，使分解液体材料中着色成分的着色成分分解机构动作，分解着色成分的工序。
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