TW590892B - Display manufacturing apparatus, and display manufacturing method - Google Patents

Description

590892 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明乃有關將液晶顯示裝置用之彩色濾光片或 EL(電激發光）顯示裝置等之各種顯示器，經由吐出液材之 製造的顯示器製造裝置及此製造方法。 【先前技術】

在製造液晶顯示裝置用之彩色濾光片或EL顯示裝 置，或電漿顯示裝置等時，將液體狀之材料（液材）成爲液 滴狀，可適切使用可進行吐出之噴射頭（例如噴墨頭）。使 用此噴射頭之製造裝置中，例如，於彩色濾光片之製造 中，將自噴嘴開口吐出之液材，植入設於基材表面之複數 之畫素範圍。但是，經由每一噴嘴開口之特性的參差等， 會有於畫素範圍產生色斑駁或掉色之不良情形。然後，當 產生如此不良時，對於產生不良的畫素範圍，進行吐出液 材之修復。例如，於專利文獻1，提案有對於彩色濾光片 之色斑駁部或掉色部分，經由吐出特定顏色之墨水滴，而 修復不良的技術。 然而，於上述公報所揭示之製造裝置中，使用具備發 熱元件之噴射頭。此型式之噴射頭乃於每吐出墨水滴時使 發熱元件發熱，令壓力室內之墨水液沸騰。即經由沸騰產 生之氣泡，加壓液體狀之墨水，由噴嘴開口吐出。爲此’ 吐出之墨水量（墨水滴量）乃主要會經由壓力室之容積和發 熱元件之面積而決定。然後，將沸騰時所產生之氣泡體 -5- (2)590892 積，難以高精度加以控制之故，難進行供給電力量之調整 所成吐出量之高精度之控制。 因此’爲補充極少量之液材，對於色斑駁部分或掉色 部分進行修復’例如專利文獻2或專利文獻3所揭示，需 要專門進行修復之專用噴嘴或專用噴頭。 專利文獻1:日本特開平7-318724號公報

專利文獻2:日本特開平8-82706號公報 專利文獻3 :日本特開平8 - 2 9 2 3 1 1號公報 【發明內容】 但是，另外設置專用噴嘴或專用噴頭時，裝置構成會 複雜化，因爲導致零件點數的增加。而且，會有汎用性缺 乏之問題。 【實施方式】 [爲實施發明之最佳形態] 本發明乃爲達成上述目的的提案者，具備連通於噴嘴 φ 開口，可貯留液材之壓力室及可變動該壓力室之容積的電 性機械變換元件；具有將伴隨驅動脈衝之對於電性機械變 換元件的供給，將壓力室內之液材成爲液滴狀，可由噴嘴 開口吐出之噴射頭，和可發生前述驅動脈衝之驅動脈衝產 生手段；將由前述噴嘴開口吐出之液材，著彈於顯示器基 體表面之液材範圍地加以構成之顯示器製造裝置’其特徵 係設置將著彈之液材量，於每一液材範圍可被檢出之液材 量檢出手段，和由該液材量檢出手段所檢出之著彈液材量 -6- (3)590892 和目標液材量之差，取得該液材範圍之液材不足的不足量 取得手段，和設定驅動脈衝手段所產生之驅動脈衝之形狀 的脈衝形狀設定手段；該脈衝形狀設定手段係對應於不足 量取得手段所取得之液材不足量，設定驅動脈衝之波形形 狀，將驅動脈衝由驅動脈衝產生手段產生，供予電性機械 變換元件，將前述不足量之液材補充至液材範圍者。

然而，「顯示器」之用語乃採用較通常爲廣的意思， 顯示裝置本身之外，包含使用於顯示裝置之彩色濾光片 等。又，「液材」乃除了溶媒（或分散媒）之外，包含染料 或顏料之外的材料的液材，爲可從噴嘴開口吐出，採用包 含混入固體物質者的意思。又，「液材範圍」乃意味做爲 液滴吐出之液材之著色範圍。 根據上述構成，將著彈之液材之量經由液材量檢出手 段，於每液材範圍檢出，由檢出之著彈液材量和對於液材 範圍之目標液材量之差取得液材過度不足量，著彈液材量 則對於目標液材量不足之時，對於該不足量設定驅動脈衝 之波形形狀，由驅動脈衝產生手段產生，補充不足量之液 材之故，於1個之噴射頭，吐出對應於目標液材量之液材 和對應於補充量之量的液材。由此，可製造各液材範圍之 著彈液材量一致的顯示器。 然後，因無需設置專用之噴射頭或噴嘴之故，可達成 裝置構成之簡化。又，對應於用途，無需切換成爲控制對 象之噴射頭或噴嘴之故，可達成控制之簡化。 於上述構成中，將前述液材量檢出手段，經由成爲光 ^ -7- (4)590892 源之發光元件，和可輸出對應受光之光線強度之電壓的電 氣信號之受光元件所構成，將自發光元件之光線照射於液 材範圍同時，將自該液材範圍之光線，受光於受光元件， 經由受光之光線強度，檢出該液材範圍之著彈液材量爲 佳。 然而，「自液材範圍之光線」乃包含於液材範圍所反 射之反射光和透過液材範圍之透過光之兩者。

於上述構成中，前述驅動脈衝係包含將定常容積之壓 力室，以不吐出液材程度之速度膨漲的膨漲要素，和保持 壓力室之膨漲狀態之膨漲保持要素，和將保持膨漲狀態之 壓力室，急遽加以收縮，吐出液材的吐出要素的第1驅動 脈衝；脈衝形成設定手段係設定由第1驅動脈衝之最大電 位至最低電位的驅動電壓爲佳。

又，於上述構成中，前述驅動脈衝係包含將定常容積 之壓力室，以不吐出液材程度之速度膨漲的膨漲要素，和 保持壓力室之膨漲狀態之膨漲保持要素，和將保持膨漲狀 態之壓力室，急遽加以收縮，吐出液材的吐出要素的第1 驅動脈衝；脈衝形成設定手段係設定對應於定常容積之中 間電位爲佳。 又，於上述構成中，前述驅動脈衝係包含將定常容積 之壓力室，以不吐出液材程度之速度膨漲的膨漲要素，和 保持壓力室之膨漲狀態之膨漲保持要素，和將保持膨漲狀 態之壓力室，急遽加以收縮，吐出液材的吐出要素的第1 驅動脈衝；脈衝形成設定手段係可採用設定膨漲要素之時 -8- (5)590892 間幅度之構成。 又，於上述構成中，前述驅動脈衝係包含將定常容積 之壓力室，以不吐出液材程度之速度膨漲的膨漲要素，和 保持壓力室之膨漲狀態之膨漲保持要素，和將保持膨漲狀 態之壓力室，急遽加以收縮，吐出液材的吐出要素的第1 驅動脈衝；脈衝形成設定手段係可採用設定膨漲保持要素 之時間幅度之構成。

又，於上述構成中，前述驅動脈衝係包含將彎月面向 壓力室側大力牽引急遽膨漲定常容積之壓力室的第2膨漲 要素，和經由收縮壓力室，將藉由第2膨漲要素牽引進入 之彎月面之中心部分成爲液滴狀加以吐出之第2吐出要 素；脈衝形成設定手段係可採用設定由第2驅動脈衝之最 大電位至最低電位的驅動電壓之構成。

又，於上述構成中，前述驅動脈衝係包含將彎月面向 壓力室側大力牽引急遽膨漲定常容積之壓力室的第2膨漲 要素，和經由收縮壓力室，將藉由第2膨漲要素牽引進入 之彎月面之中心部分成爲液滴狀加以吐出之第2吐出要 素；脈衝形成設定手段係可採用設定對應於定常容積之中 間電位之構成。 又，於上述構成中，前述驅動脈衝係包含將彎月面向 壓力室側大力牽引急遽膨漲定常容積之壓力室的第2膨漲 要素，和經由收縮壓力室，將藉由第2膨漲要素牽引進入 之彎月面之中心部分成爲液滴狀加以吐出之第2吐出要 素；脈衝形成設定手段係可採用設定第2吐出要素之終端 •9- (6)590892 電位之構成。 又，於上述構成中，前述驅動脈衝產生手段係可採用 於單位周期內可產生複數之驅動脈衝地加以構成，經由可 變每一單位周期之壓力產生元件之驅動脈衝之供給數，可 調整液材之吐出量之構成。

根據上述各構成，可將補充之液材量以極高之精度加 以控制之故，可將各液材範圍之著彈液材量一致在高的層 級上。又，即使吐出液材，可正確控制液材之著彈位置。 又，即使爲不同之吐出量之液材，亦可使飛行速度一致。 又，上述構成中，做爲前述液材，可使用包含發光材 料之液體狀之材料、包含正孔植入/輸送層形成材料的液 體狀之材料，或包含導電性微粒子的液體狀之材料。 又，於上述構成中，做爲前述液材可使用包含著色成 分的液體狀之材料。然後，於此構成中，設置由前述液材 量檢出手段所檢出之著彈液材量和該液材範圍之目標液材 量之差，取得液材超過量之超過量取得手段，和分解液材 中之著色成分之著色成分分解手段；對應液材超過量，令 著色成分分解手段動作，分解超過分之著色成分爲佳。 又，於上述構成中，將前述著色成分分解手段經由可產生 準分子雷射之準分子雷射光源所構成。 更且，於上述構成中，可將前述電性機械變換元件採 用壓電振動子之構成。 以下，將本發明之實施形態參照圖面加以說明。 -10 - (7)590892 [發明之實施形態] 以下，將本發明之實施形態根據圖面加以參照說明。 首先’根據圖1及圖2，對於顯示器製造裝置i (以下稱製 ^ _置1)之基本構成加以說明。

圖1(a)所例示之製造裝置1乃具有可載置彩色濾光片 (本發明之顯示器之一種）2之基體的濾光片基體2’（本發 明之顯示器基體之一種）之載置面的矩形狀之載置基台 3 ’和沿載置基台3之一側之邊可移動的導桿4，和安裝 於此導桿4，沿導桿4之長度方向（副掃描方向）可移動之 托架5，和成爲移動導桿4及托架5時之驅動源之托架馬 達6 (參照圖2)，和可貯存供予噴射頭7之液材的液材貯 存部8，和連接於此液材貯存部8和噴射頭7間，形成液 材之流路的供給管9，和電氣性控制噴射頭7等之動作之 控制裝置1 0。於本實施形態中，做爲液材之一種，墨水 液（包含染料或顏料等之著色成分之液體狀之材料）貯存於 液材貯存部8。 上述彩色濾光片基板2’乃如圖1(b)所示，由基板 11，和堆積於此基板11之表面的被著色層12槪略地加以 構成。於本實施形態中，做爲基板1 1雖使用玻璃基板， 但只要滿足透明性及機械性強度時，可使用玻璃以外之材 料。被著色層1 2乃例如經由感光性樹脂形成，具備複數 之著色成 R(紅）、G(綠）、B(藍）之任一色的畫素範圍 12a(亦稱爲濾光片元件，本發明之液材範圍之一種）。本 實施形態中’將此畫素範圍1 2a構成成平面性矩形，將各 -11 - (8)590892 畫素範圍12a設成鋸齒格狀。 然後，噴射頭7乃將液材，即將上述各色之墨水液， 做爲液滴（墨水滴）對於期望之畫素範圍1 2a可選擇性加以 吐出。然而，於本實施形態中，於對各畫素範圍1 2 a之液 滴之吐出前，將分隔鄰接之畫素範圍12a、12al之分隔壁 部12b，形成於基板1 1上。然而，此分隔壁部12b乃經 由黑矩陣72及間隔壁73 (皆參照圖20)加以構成。

然而，對於彩色濾光片2之製造工程的詳細部分，使 用圖19及圖20如後述。 上述載置基台3乃載置面3a經由光反射面構成之略 長方形之板狀構件。此載置基台3之大小乃根據濾光片基 板2 ’之大小所規定，設定成至少較此濾光片基板2 ’更 大者。又，導桿4乃平坦之棒狀構件，平行架設於載置基 台3之短邊方向（Y軸、相當於副掃描方向）、可移動安裝 於載置基台3之長邊方向（X軸、相當於主掃描方向）。 上述之托架5乃如圖2所示，乃安裝上述噴射頭7和 液材感測器1 7的方塊狀構件。 液材感測器1 7乃本發明之液材量檢出手段之一種， 具備成爲光源的發光元件，和對應受光之光的強度可輸出 電壓之電氣性信號的受光元件。本實施形態中，做爲發光 元件使用雷射發光元件1 8，做爲受光元件使用雷射受光 元件1 9。然後，如圖3所示，將由雷射發光元件1 8之雷 射光線Lb，朝向畫素範圍12a照射，將由雷射發光元件 1 8之反射雷射光線Lb，受光於雷射受光元件1 9。於此液 -12- (9)590892 材感測器17中，將對應於受光光量（受光強度）的電壓信 號，由雷射受光元件19輸出。此受光光量乃對應於著彈 於畫素範圍12a之液材量（本實施形態中爲墨水量）之變化 之故，即著彈於畫素範圍12a之液材量愈多之時’受光光 量會減少，液材量愈少，受光光量會增加之故’經由檢出 從液材感測器1 7輸出之信號電壓’可取得著彈於畫素範 圍12a之著彈之著彈之著彈液材量。

噴射頭7乃例如圖4所示具備擁有複數之壓電振動子 21之振動子單元22和可收容此振動子單元22之殼體23 和接合於殻體23之前端面之流路單元24此噴射頭7乃將 流路單元24之噴嘴開口 25，在向下側（載置基台3側）之 狀態被安裝，可將液材由噴嘴開口 2 5於液滴狀態吐出。 於本實施形態中，可各別吐出R、G、B所成三色之墨水 液。然而，對於此噴射頭7而言，則於後加以說明。

上述之液材貯存部8乃供予噴射頭7之液材各別加以 貯存。於本實施形態中，如上所述，各別貯存R、G、B 所成3色之墨水液。又，供給管9亦對應於供予噴射頭7 之墨水液的種類，而配置複數條。 上述控制裝置10乃具備包含CPU、ROM、RAM等 (皆未圖示）所構成之主控制部3 1、和產生爲供予噴射頭7 之驅動信號的驅動信號產生部3 2、和將由雷射受光元件 1 9之輸出電壓（電壓位準），變換爲數位資料的類比數位變 器33(以下稱A/D變換器33)。從此類比數位變器33之信 號乃輸入至驅動信號產生部32。 •13- (10) 590892

上述之主控制部31乃做爲進行此製造裝置1之控制 的主控制手段而工作，例如，生成關於液滴之吐出控制的 吐出資料（SI) ’或生成爲控制托架馬達6之移動控制資訊 (DRV1 )。又，主控制部3 1乃生成噴射頭7之控制用信號 (CK、LAT、CH)，生成對驅動信號產生部32之輸出波形 資訊（DAT)。因此，主控制部31乃做爲本發明之脈衝形 狀設定手段而工作。更且，主控制部3 1乃如後述，可做 爲本發明之不足量取得手段或過量取得手段而工作。

上述之吐出資料乃顯示是否吐出液滴，及吐出時之吐 出量的資料，於本實施形態中，以2位元之資料加以構 成。此吐出資料乃將每1個吐出周期之吐出狀態，分爲四 個階段表示。例如顯示不吐出液滴「非吐出」、吐出少量 之液滴「吐出1」、吐出中量之液滴「吐出2」及吐出多 量之液滴「吐出3」的4階段吐出量。然後，「非吐出」 乃以吐出資料[00]表示、「吐出1」乃以吐出資料[〇1]表 示又，「吐出2」乃以吐出資料[10]表示，「吐出3」乃 以吐出資料[11]表示。 噴射頭7之控制用信號乃例如經由做爲動作時脈的時 脈信號（CK)、規定吐出資料之閂鎖時間之閂鎖信號 (LAT)、及規定驅動信號內之各驅動脈衝之供給開始時間 之通道信號（CH)所構成。因此，主控制部31乃將此等之 時脈信號、閂鎖信號、通道信號，對於噴射頭7進行適切 之輸出。 波形資料（DAT)乃規定產生驅動信號產生部32之驅 -14- (11)590892 動信號之波形形狀。於本實施形態中，將此波形資訊經由 顯示每單位更新時間之電壓增減量的資料而構成。然後， 主控制部31乃對應由A/D變換器33之電壓資訊（即，檢 出液材量檢出手段的著彈液材量），設定驅動脈衝之波形 形狀（後述）。

驅動信號產生部3 2乃本發明驅動脈衝產生手段之一 種。即，根據從主控制部3 1之波形資訊，設定驅動信號 及包含此驅動信號之驅動脈衝之波形形狀，產生此波形形 狀之驅動脈衝。產生此驅動信號產生部3 2之驅動信號乃 例如如圖7所示之信號，將所定量之液滴從噴射頭7之噴 嘴開口 25吐出之驅動脈衝（PS1〜PS3)，複數包含於吐出周 期T內，然後，驅動信號產生部32乃將此驅動信號，於 每吐出周期T重覆產生。然而，對於此驅動信號，於後詳 細加以說明。 接著，對於上述噴射頭7詳細加以說明。首先，對於 噴射頭7之機械性構成加以說明。 上述之壓電振動子21乃本發明之電氣性機械變換元 件，即將電氣性能量，可變換成運動能量的元件之一種。 可變動壓力室47之容積。此壓電振動子21乃例如切割成 3 0 μιη〜10 0 μπι程度之極細寬度的梳齒狀。例示壓電振動 子21乃交互堆積壓電體和內部電極所構成之堆積型之壓 電振動子21，向正交於電場方向之元件長度方向可伸縮 之縱振動模式之壓電振動子21。然後，各壓電振動子21 乃井3基端側部分接合於固定板4 1之上，以將自由端部 -15- (12)590892 向較固定板4 1之緣更外側突出的單支撐樑之狀態加以安 裝。 又，各壓電振動子21之前端面，乃於流路單元24之 島部42，在擋接狀態下固定，可撓性纜線43乃於與固定 板4 1相反側之振動子群的側面，與各壓電振動子2 1電氣 性連接。

流路單元24乃如圖5所示，將流路形成基板44，挾 於間隙，將噴嘴板45配置於流路形成基板44之一方之表 面，將彈性板配置於與噴嘴板45相反側之另一方之表面 加以堆積而構成。 噴嘴板45乃以對應於點形成密度之間隔，成列狀開 設複數之噴嘴的不鏽鋼製之薄板。於本實施形態中，以 9〇dpi之間隔，列設置48個之噴嘴開口 25。經由此等噴 嘴開口 25，構成噴嘴列。 流路形成基板44乃對應於噴嘴板4 5之各噴嘴開口 25，形成成爲壓力室47之空部的同時，形成成爲液體供 鲁 給口及共通液室的空部的板狀構成。 壓力室47乃於對於噴嘴開口 25之列設方向（噴嘴列 方向）正交之方向之細長室，以偏平之凹室加以構成。然 後，於壓力室47之一端和共通液室48之間，流路寬度則 形成較壓力室47充分窄狹之液體供給口 49。又’由共通 液室48取爲遠離之壓力室47之另一端中，將連通噴嘴開 口 25和壓力室47之噴嘴連通口 50’向板厚方向貫通設 置。 -16 - (13) 彈性板46乃於不鏽鋼製之支持板51上，將PPS(聚 苯硫醚）等之樹脂薄膜52層壓加工之雙重構造。然後，將 對應於壓力室4 7之部分之支持板5 1，環狀地加以蝕刻加 工，形成島部42，將對應於共通液室48之部分之支持板 5 1，以蝕刻加工除去，成爲僅存樹脂薄膜52。 具有上述構成之噴射頭7中，經由放電，壓電振動子 21向元件長度方向伸縮。即，經由放電，壓電振動子21 之延伸，島部42則向噴嘴板45側按壓。另一方面，經由 充電，壓電振動子21則收縮，島部42則向由噴嘴板45 隔離之方向移動。然後，經由壓電振動子2 1之延伸，島 部周邊之樹脂薄膜5 2則變形，收縮壓力室4 7。又，經由 壓電振動子21之收縮，壓力室47則膨脹。如此，控制壓 力室47之膨脹或收縮，可於壓力室47內之液體壓力給予 變化，可由噴嘴開口 25吐出液滴（墨水滴）。 接著，對於此噴射頭7之電氣性構成加以說明。如圖 6所示，此噴射頭7乃具備設定吐出資料之偏移暫存器 61、62，和閂鎖設定於偏移暫存器61、62之吐出資料的 閂鎖電路63、64，和將以閂鎖電路63、64閂鎖之吐出資 料，翻譯爲脈衝選擇資料之解碼器65，和輸出時間信號 之控制邏輯66，和做爲電壓增幅器工作之位準偏移器 67，和控制對於壓電振動子2 1之驅動信號之供給的開關 電路68，和壓電振動子21。 偏移暫存器61、62乃由第1偏移暫存器61及第2偏 移暫存器62所構成。然後，於第1偏移暫存器61中，設 -17- (14)590892 定關於所有噴嘴開口 25之下位位元（位元0)之吐出資料’ 於第2偏移暫存器62設定關於有關於所有噴嘴開口 25之 上位位元（位元1)之吐出資料。‘

閂鎖電路63、64乃由第1閂鎖電路63及第2閂鎖電 路64所構成。然後，第1閂鎖電路63乃電氣性連接於第 1偏移暫存器61。第2閂鎖電路64乃電氣性連接於第2 偏移暫存器62。因此，於此等閂鎖電路63、64，輸入閂 鎖信號時，第1閂鎖電路63乃閂鎖設定於第1偏移暫存 器6 1之下位位元之吐出資料，第2閂鎖電路64乃閂鎖設 定於第2偏移暫存器62之上位位元之吐出資料。 閂鎖電路63，64所閂鎖之吐出資料乃輸入至解碼器 65。此解碼器65乃做爲脈衝選擇資料生成手段而工作， 翻譯2位元之吐出資料，生成複數位元之脈衝選擇資料。 於本實施形態中，如圖7或圖1 4所示，驅動信號產生部 32乃於吐出周期 T內，生成包含 3個之驅動脈衝 (PS1〜P3，PS4〜PS6)的驅動信號之故，解碼器65乃生成3 φ 位元之脈衝選擇資料。 即，翻譯不吐出液滴之吐出資料[00]，生成脈衝選擇 資料[〇〇〇]，翻譯吐出少量液滴之吐出資料[01]，生成脈衝 選擇資料[0 1 0]。同樣地，翻譯吐出中量液滴之吐出資料 [10]，生成脈衝選擇資料[101]，翻譯吐出多量液滴之吐出 資料[1 1 ]，生成脈衝選擇資料[1 1 1 ]。 控制邏輯66乃於每收訊從主控制部3 1之閂鎖信號 (LAT)或收訊通道信號（CH)，生成時間信號，將生成之時 -18- (15)590892 閭信號供予解碼器65。然後，解碼器65乃於每收訊此時 間信號，將3位元之脈衝選擇資料，由上位位元側依順 序，輸入位準偏移器6 7。

位準偏移器6 7乃做爲電壓增幅器而工作，當脈衝選 擇資料爲[1]之時，輸出可驅動開關電路68之電壓，例如 輸出昇壓至數十伏特程度之電壓的電氣信號。以位準偏移 器67昇壓之[1]之脈衝選擇資料乃供予開關電路68。於此 開關電路6 8之輸入側，供給來自驅動信號產生部3 2之驅 動信號（COM)，於開關電路68之輸出側，連接壓電振動 子2 1。印字資料乃控制開關電路68之動作。例如，有附 加於開關電路68之脈衝選擇資料爲「1」之期間中，驅動 信號則供予壓電振動子2 1，對應於此驅動信號之壓電振 動子2 1則會變形。另一方面，附加於開關電路6 8之脈衝 選擇資料爲「0」之期間中，自位準偏移器6 7不輸出供給 驅動信號之電氣信號，對壓電振動子 2 1不供給驅動信 號。然而，壓電振動子21乃如電容運作之故，壓電振動 子2 1之電位於脈衝選擇資料爲^ 0」之期間，持續保持切 斷前之電位。 接著，對於驅動信號產生部3 2所產生之驅動信號加 以說明。圖7所例示之驅動信號乃可吐出較多量之液滴的 標準驅動信號。此標準驅動信號乃於T/內，包含3個標 準驅動脈衝，即包含第1標準驅動脈衝PSl(Tl)、第2標 準驅動脈衝PS2(T2)、第3標準驅動脈衝PS3(T3)，將此 等各標準驅動脈衝PS1〜P S3於每特定間隔產生。 •19- (16)590892

此等之標準驅動脈衝PS 1〜PS3乃本發明之第1驅動 脈衝之一種’皆以相同之波形形狀信號構成。例如，如圖 8所示，此等之標準驅動脈衝p S 1〜P S 3乃經由從中間電位 VM至最大電位VH，以不吐出液滴程度的一定斜率，上 昇電位的膨脹要素P 1、和將最大電位VH保持特定時間之 膨脹保持要素P 2、和從最大電位V Η至最低電位V L以急 遽斜率下降電位之吐出要素Ρ3、和將最低電位VL保持特 定時間之收縮保持要素Ρ 4、和從最低電位V L至中間電位 VM上降電位之控制要素Ρ5所成複數之波形要素而構 成。 將此等之標準驅動脈衝PS1〜Ρ S3，供予壓電振動子 21時，於每供給各標準驅動脈衝PS1〜PS3時，特定量（例 如15ng)之液滴則從噴嘴開口 25吐出。 即，伴隨膨脹要素Ρ1之供給，壓電振動子2 1則大爲 收縮，壓力室4 7則從對應於中間電位VM之經常容積至 對應於最大電位VH的最大容積，以不吐出液滴之程度的 速度膨脹。伴隨此膨脹，壓力室47內則被減壓，共通液 室48之液材則透過液體供給口 49流入壓力室47內。此 壓力室47之膨脹狀態於膨脹保持要素P2之供給期間被保 持。之後，供給吐出要素P3，壓電振動子2 1則大爲延 伸，壓力室4 7乃急速收縮至最小容積。伴隨此收織，壓 力室47內之液材則被加壓，由噴嘴開口 25吐出特定量之 液滴。接續吐出要素P3，供給收縮保持要素P4之故，壓 力室4 7之收縮狀態則被維持。然後，於壓力室4 7之收縮 -20- (17) 狀態，彎月面（噴嘴開口 25所露出之液材的自由表面）， 受液滴之吐出之影響而大爲振動。之後，以抑制彎月面之 振動所得之時間，供給控制要素P 5，壓力室4 7則膨脹回 復至經常容積。即，抵銷產生於壓力室4 7內之液材的壓 力’膨脹壓力室47，經由減壓液體壓力，可於短時間抑 制彎月面之振動，使下次之液滴吐出安定。

然而，上述經常容積乃對應於中間電位VM之壓力室 47之容積。然後’不供給標準驅動脈衝PS1〜p S3時，於 驅動電晶體2 1，供給此中間電位VM之故，未吐出液滴 之狀態（經常狀態）中，壓力室47乃成爲此經常容積。

然後’改變供予1個吐出周期T內之標準驅動脈衝 P S 1〜P S 3之數，可將液滴之吐出量於每吐出周期τ加以設 定。例如，於吐出周期T，僅將第2標準驅動脈衝PS2供 予壓電振動子21。例如可吐出1 5 ng之液滴。又，於吐出 周期T內，將第1標準驅動脈衝P S 1和第3標準驅動脈 衝PS3，供予壓電振動子21，例如吐出30ng之液滴。更 且，於吐出周期T內，將各標準驅動脈衝PS1〜PS3供予 壓電振動子21，例如可吐出45ng之液滴。 然而，於本說明書中，將液材量以重量（ng)表示，說 明重量所成控制，當然可經由容量（pL)加以控制。 此液滴之吐出控制乃根據上述脈衝選擇資料加以進 行。即，於脈衝選擇資料爲[000]之時，於對應於第1標 準驅動脈衝P S 1之第1產生期間Τ1、對應於第2標準驅 動脈衝PS2之第2產生期間T2、及對應於第3標準驅動 -21 - (18)590892

脈衝PS3之第3產生期間T3之任一中，開關電路68乃 成爲OFF狀態。爲此，於壓電振動子2 1皆未供給任一之 標準驅動脈衝PS1〜P S3。然後，脈衝選擇資料爲[〇1〇]之 時，於第2產生期間T2，開關電路68乃成爲ON狀態， 於第1產生期間T1及第3產生期間T3中，開關電路68 成爲0 F F狀態。爲此，壓電振動子21中，僅供給第2標 準驅動脈衝PS2。又，脈衝選擇資料爲[101]時，於第1產 生期間T1及第3產生期間T3，開關電路68則成爲ON 狀態，於第2產生期間T2中，開關電路68則成爲OFF 狀態。爲此，於壓電振動子21供給第1標準驅動脈衝 PS1和第3標準驅動脈衝PS3。同樣地，於脈衝選擇資料 爲[1 11]時，於第1產生期間T1〜第3產生期間T3之各期 間，開關電路6 8則成爲ON狀態，於壓電振動子21供給 各標準驅動脈衝PS1〜PS3。 又，於液滴之吐出控制中，經由變更驅動脈衝之種 類，可變更吐出之液滴之量。例如，於圖14所例示之微 電腦驅動信號PS4〜PS6中，於每供給此等之微電腦驅動 信號PS4〜PS6，特定量（例如5.5ng)之液滴則自噴嘴開口 2 5吐出。 此等之微電腦驅動信號PS4〜PS6乃本發明第2驅動 脈衝之一種，任一者皆同樣經由波形形狀信號構成。例 如，如圖15所示，此等之微電腦驅動信號PS4〜PS6乃經 由從中間電位VM至最大電位VH，以較爲急遽之斜率， 上昇電位的第2膨脹要素P11，和令最大電位VH保持極 •22· (19)590892

短時間之第2膨脹保持要素P12、和從最大電位VH至吐 出電位VF以急遽斜率使電位下降的第2吐出要素P13、 和將吐出電位VF於極短時間保持的吐出保持要素P1 4、 和從吐出電位VF至最低電位VL以較第2吐出要素P 1 3 緩和之斜率下降電位之收縮控制要素P〗5、和將最低電位 VL於特定時間保持的控制振動保持要素p丨6，和自最低 電位V L至中間電位V Μ以較緩和之斜率上昇電位之膨脹 控制振動要素Ρ 1 7所成複數之波形要素而構成。 將此等之微電腦驅動信號PS4〜PS6供給至壓電振動 子21時，壓力室47或此壓力室47內之液材之狀態則如 以下變化，從噴嘴開口 25吐出液滴。 即，伴隨第2膨脹要素Ρ 1 1之供給，急遽膨脹經常容 積之壓力室47，將彎月面向壓力室47側大爲牽引。然 後，第2膨脹保持要素Ρ 1 2於極短的時間供給時，牽引入 彎月面之中心部分之移動方向則經由表面張力反轉。然 後，供給第2吐出要素Ρ13，壓力室47乃從最大容積急 遽收縮至吐出容積。此時，朝向吐出方向，成爲柱狀地展 開之彎月面之中心部分則撕裂，成爲液滴狀加以吐出。 第2吐出要素Ρ 1 3之供給後，順序供給吐出保持要素 Ρ 1 4和收縮控制要素Ρ 1 5，經由收縮控制要素Ρ 1 5之供 給，壓力室47乃從吐出容量收縮至最小容積，該收縮速 度乃設定成抑制液滴吐出後之彎月面之振動所得之速度， 接著此收縮控制要素Ρ 1 5，供給控制振動保持要素Ρ 1 6之 故，壓力室47之收縮狀態則被維持。之後，以打消彎月 -23- (20)590892 面之振動所得之時間，供給膨脹控制振動要素p i 7，抑制 彎月面之振動，壓力室47則膨脹恢復至定常容積。 於此微驅動信號中，經由改變供予1個吐出周期T內 之微電腦驅動脈衝之數，可控制液滴之吐出量。例如於吐 出周期T內，僅將第2微驅動脈衝PS5，供予壓電振動子 21，例如吐出5.5 ng之液滴。又，於吐出周期τ內，將第 1微驅動脈衝PS4和第3微驅動脈衝PS6，供予壓電振動 子21，例如吐出16· 5ng之液滴。

此液滴之吐出控制，亦根據上述脈衝選擇資料而進 行。然而，根據脈衝選擇資料之吐出控制乃與上述標準驅 動信號之控制相同之故，省略該說明。

更且，液滴之吐出量或飛行速度乃經由變更此等之標 準驅動脈衝PS1〜PS3或微驅動PS4〜PS6之波形形狀，而 可變更。即，經由變更驅動脈衝種類，可大爲變更液滴之 吐出量，更且驅動脈衝之種類（整體之形狀）乃直接經由設 定各波形要素之始終端電位（電位差）或時間寬度，可將液 滴之吐出量細微地（即，高精度）加以變化。 以下，伴隨各波形要素之設定變更，對於液滴之吐出 量或飛行速度，於每驅動脈衝加以說明。 首先，對於各標準驅動脈衝P S 1〜P S 3，對於驅動電壓 (從最大電位VH至最低電位VL的電位差.)和液滴之吐出 特性之關係進行說明。在此，圖9乃調整驅動電壓時之液 滴吐出特性之變化，（a)乃顯示改變驅動電壓時之飛行速 度之變化，（b)乃顯示改變驅動電壓時之重量變化。 -24· (21)590892 然而，每當設定驅動電壓，不改變最低電位VL和各 波形要素（P1〜P5)之時間寬度，而變更最大電位Vh。又， 中間電位VM乃對應於驅動電壓而改變。又，於圖9(a) 中，將黑圈之實線顯示主要液滴，將附上白圈之點線顯示 衛星液滴（附隨於主液滴之飛行之液滴）。又，附上三角之 一點虛線則顯示第2衛星液滴（附隨於衛星液滴之飛行之 液滴）。

由此圖9可知，驅動電壓之大小和液滴之飛行速度及 重量，成爲可稱爲相互正比（係數爲正）之關係。即，使驅 動電壓變大時，液滴之飛行速度則會變快，液滴之重量亦 會增加（即，增加液滴之吐出量）。例如驅動電壓爲20v 時，主液滴之飛行速度乃約3m/s，重量爲約9ng。又，驅 動電壓爲 29V時，飛行速度乃約 7m/s，重量爲約 15.5ng。更且，驅動電壓爲 35V時，飛行速度乃約 10m/s，重量爲約 20.5ng。 此乃經由驅動電壓之增減，改變壓力室容積之變化寬 度。即，令驅動電壓較基準電壓爲高時，膨脹時和帑收縮 時之容積差則較基準時爲大。爲此，可將較基準時爲多之 液材，自壓力室47內排除，增加吐出量。又，吐出要素 P3之時間寬度乃不改變之故，液滴吐出時之壓力室47之 收縮速度較基準時爲高，可將液滴以高速吐出。相反地， 將驅動電壓較基準電壓爲低地加以設定時，膨脹時和收縮 時之容積差則較基準爲小。爲此，從壓力室47內排除之 液材之量則較基準時爲少，減少液滴之吐出量。又，壓力 -25- (22) 室47之收縮速度較基準時爲低之故，液滴之飛行速度亦 變低。

然而，如圖9(a)所示，驅動電壓成爲26V以上時， 液滴則分爲主液滴和衛星液滴而飛行。更且，驅動電壓爲 3 2 v以上時，除了上述衛星液滴，出現第2衛星液滴。此 等之衛星液滴及第2衛星液滴之飛行速度乃於圖9(a)之測 定範圍，不會受驅動電壓之大小的影響。例如，衛星液滴 之飛行速度乃將驅動電壓設成爲26V時，爲約5m/s，將 驅動電壓設定爲29V、32V時，約4m/s。更且，將驅動電 壓設定爲35V時，約成6m/s。對於第2衛星液滴，爲將 驅動電壓設定爲32V、35V時略爲相等，皆約爲4m/s。 由以上經由驅動電壓之設定，可同時增減吐出之液滴 飛行速度和重量。又，可控制衛星液滴或第2衛星液滴之 產生。 接著，對於各標準驅動脈衝PS1〜ps3之中間電位VM 和液滴之吐出特性關係加以說明。 ' 如上所述，此中間電位VM乃規定壓力室47之經常 容積者。然後，上述壓電振動子21乃伴隨電位之上昇（充 電）而收縮，膨脹壓力室47，伴隨電位之下降（放電）而延 伸，收縮壓力室47之故，較基準使中間電位VM爲高地 加以設定時，經常容積乃較基準容積（對應於基準之中間 電位VM的壓力室容積）膨脹。另一方面，較基準令中間 電位VM設定爲低時，經常容積較基準容積收縮。 於此，僅變更中間電位VM時，最大電位VH乃中間 -26- (23)590892

電位VM之變更前和變更後爲相同的。爲此，當將中間電 位VM較基準設定爲高時，從中間電位VM至最大電位 VH之電位差較設定於基準之中間電位VM時爲小’壓力 室4 7之膨脹亦會變小。另一方面，將中間電位V Μ較基 準爲低地加以設定時，從中間電位VM至最大電位VH之 電位差較設定成爲基準之中間電位VM時爲大，壓力室 47之膨脹亦變多。此膨脹份則規定對壓力室47內之液材 之流入量。即，膨脹份較基準爲多時，從共通液室48流 入至壓力室4 7之液滴內的液滴量則較基準量爲少。 又，僅改變中間電位VM時，膨脹要素Ρ1之時間寬 度（供給時間）亦與中間電位 VM之變更前後爲相同。爲 此，較基準使中間電位VM設定爲高時，將膨脹要素Ρ 1 供予壓電振動子21時，壓力室47之膨脹速度會變慢。另 一方面，較基準將中間電位VM設定爲低，壓力室47之 膨脹速度乃變快。 壓力室47之膨脹份乃會影響到膨脹要素Ρ 1之供給之 後之壓力室47內之液材壓力（液體壓力）。即，膨脹份愈 較基準爲少，於膨脹要素Ρ1之供給後，壓力室47內之液 體壓力則接近經常狀態之壓力之故，液體之流入量則較基 準爲少，流入速度會變慢。結果，壓力室47內之液材之 壓力變動則較爲小。相反地，膨脹份愈較基準爲多，於膨 脹要素Ρ1之供給後，壓力室47內之液體壓力則大爲下 降。爲此，液體之流入量會變多，壓力室47內之液材之 壓力變動則愈大。 -27 - (24)590892 在此，壓力室47乃視爲音樂會管之故，經由膨脹要 素P 1之供給所產生之液材之壓力變動之能量，乃於壓力 室47內保存，進行壓力振動。然後，此壓力振動配合成 爲正壓之時間，供給吐出要素P 3，壓力室4 7則收縮。此 時，於壓力室4 7內保存的能量，則對應於壓力室4 7之膨 脹份（即中間電位V Μ之大小）而不同之故，即吐出要素p 3 之電位差或傾斜爲同樣，亦會改變液滴之飛行速度或吐出 量。

此時，於對於中間電位VM之變化之飛行速度的變化 程度，和吐出量之變化程度有差異。即，在於感度有差 異。例如飛行速度乃對於中間電位VM之變化會較大地變 化，液滴之重量對於中間電位VM之變化的變化則較小。 此乃液滴之重量乃驅動電壓（吐出要素Ρ3之電位差）、即 會經由壓力室47之收縮量強爲支配。

例如，將液滴之飛行速度設定爲7m/s時，驅動電壓 及中間電位VM和液滴重量之關係，乃如圖10(a)所示。 經由此圖10(a)，將驅動電壓設定成31.5V、將中間電位 VM設定於驅動電壓之20%(即，從最低電位VL高6.3V 電位）時，可吐出約16.5ng之液滴。又，將驅動電壓各設 定於29.7V，將中間電位VM設定於驅動電壓之40%時， 可吐出約1 5 . 3 n g之液滴。更且，將驅動電壓，設定於 28.0V，將中間電位VM設定於驅動電壓之60%時，可吐 出約13.6ng之液滴。 又，經由適切設定驅動電壓和中間電位VM，一定保 -28· (25)590892 持液滴之吐出量，而可改變液滴之飛行速度。

例如，將液滴之重量設定爲15ng時，驅動電壓及中 間電位 VM和液滴之飛行速度之關係，乃如圖10(b)所 示。經由此圖10(b)，將驅動電壓設定成29.2V、將中間 電位VM設定於驅動電壓之20%(即，從最低電位VL高 5.9V電位）時，將液滴之飛行速度可設定於約6.1m/s。更 且，將驅動電壓，設定於30.6V，將中間電位VM設定於 驅動電壓之 60%時，可將液滴之飛行速度設定於約 8 · 1 m / s。 接著，對於各標準驅動脈衝PS1〜PS3之膨脹要素P1 之時間寬度（Pwcl)和液滴之吐出特性的關係加以說明。 此膨脹要素P 1之時間寬度乃規定從壓力室47之經常 容積至最大容積的膨脹速度。然後，無關於膨脹要素P 1 之時間寬度，將膨脹要素P 1之開端電位設定於中間電位 VM，將終端電位訂於最大電位VH時，經由設定較基準 時間寬度爲短，膨脹要素P 1之斜率則成爲急遽，壓力室 47之膨脹速度乃較基準爲快。另一方面，設定較基準令 時間軸變長時，膨脹要素P 1之傾斜則會緩和，壓力室47 之膨脹速度則較基準爲慢。 此膨脹速度之不同乃影響到膨脹要素P 1之供給後之 壓力室47內的液體壓力。即，膨脹速度較基準爲慢時， 於膨脹要素P1之供給後，液體壓力之變動則會變小，至 液材之壓力室47內之流入速度會變慢。另一方面，膨脹 速度較基準爲快時，於膨脹要素P1之供給後，壓力室47 -29- (26) 內之液體壓力則大爲降低’壓力振動會變大，液材之壓力 室4 7內之泡入速度會變快。 因此，經由改變膨脹要素p 1之時間寬度，吐出要素 P 3之電位差或傾斜即使爲相同’仍可改變液滴之飛行速 度或液滴之重量。 然而，此時，與改變中間電位v Μ之情形相同，飛行 速度乃對於膨脹要素Ρ 1之時間寬度之變化’雖會有較大 變化，液滴重量乃對於膨脹要素Ρ1之時間寬度的變化之 變化量則較小。因此，經由適切設定上述驅動電壓和膨脹 要素Ρ1之時間寬度，保持一定液滴之飛行速度’改變液 滴之吐出量。 例如，將液滴飛行速度設定成7m/s時，驅動電壓及 膨脹要素Ρ 1之時間寬度和液滴之重量的關係乃如圖1 1 (a) 所示。經由此圖11(a)，將驅動電壓設定爲27.4V’將膨 脹要素P1之時間寬度設定於2.5微秒（μ〇時，可吐出約 15.3ns之液材。又，將驅動電壓設定於29.5V，將膨脹要 素P1之時間寬度，設定於3·5μδ。可吐出約16.0ng之液 滴。更且，將驅動電壓設定於25.0V、將膨脹要素P1之 時間寬度設定於6.5ns，可吐出約1 1.8ng之液滴。 又，適切設定驅動電壓和膨脹要素P1之時間寬度， 保持一定液滴之吐出量，可改變液滴之飛行速度。 例如，將液滴之重量設定爲15ng時’驅動電壓及膨 脹要素P 1之時間寬度和液滴之飛行速度的關係乃如圖 11(b)所示。經由此圖11(b)，將驅動電壓設定於26.8V， -30- (27)590892 將膨脹要素p 1之時間寬度設定於2 · 5 時，可將液滴之 飛行速度設定於約 6.3 m/s。更且，將驅動電壓設定成 3 1 .7V，將膨脹要素P1之時間寬度設定於6.5 時，可 將液滴之飛行速度設定於約l〇.8m/s。 接著，對於各標準驅動脈衝PS 1〜PS3之膨脹保持要 素P2之時間寬度（Pwhl)和液滴之吐出特性的關係加以說 明。

此膨脹保持要素P2之時間寬度乃規定吐出要素P3之 供給開始時間即壓力室47之收縮開始時間。此壓力室47 之收縮開始時間的不同，亦會影響液滴之飛行速度及吐出 量。此乃，對應經由膨脹要素P 1激發之壓力振動之位相 和經由吐出要素P 3激發之壓力振動之位相之差，合成壓 力會變化。 即，經由膨脹要素P1之供給，膨脹壓力室47時，如 上所述，伴隨此膨脹，於壓力室47內之液材，則激發壓 力振動。然後，壓力室47內之液體壓力配合成爲正壓之 時間，開始壓力室47之收縮時，較經由以經常狀態吐出 之時，可令液滴以高速飛行。相反地，壓力室47內之液 體壓力配合成爲負壓之時間，開始壓力室47之收縮時， 較以經常狀態吐出之情形，可令液滴以低速飛行。又，關 於液滴之重量，此重量乃對應於膨脹保持要素P2之時間 寬度而變化，該變化量則非常小。此乃與上述各殻體23 同樣，液滴之重量乃主要經由驅動電壓之大小所支配。 將此根據圖1 2加以說明。在此，圖1 2乃調整膨脹保 -31 - (28)590892

持要素P2之時間寬度時之吐出特性之變化，（a)乃顯示變 化時間寬度時之液滴之飛行速度的變化，（b)乃顯示變化 時間寬度時之液滴之重量變化。然而，於此等圖中，實線 爲將驅動電壓設定成20V時之特性，一點虛線乃將驅動 電壓設定成26V時之特性，點線乃將驅動電壓設定於26V 時之特性。又，最低電位VL和膨脹保持要素P2以外之 各波形要素之時間寬度乃於基準値成爲一定，中間電位 VM乃對應於驅動電壓而變更。 由圖12(a)可知，於此測定範圍，膨脹保持要素P2之 時間寬度長時，液滴之飛行速度會變慢。例如將驅動電壓 設定爲20V時，膨脹保持要素P2之時間寬度設定爲2 時，飛行速度則成爲約6.5m/s，時間寬度設定爲3 時，飛行速度則約成爲4m/s。又，驅動電壓高時，飛行 速度則會變快。例如，將驅動電壓設定爲23V時，將膨 脹保持要素P2之時間寬度設定成2 時，則飛行速度則 成爲約8.7m/s，時間寬度設定成爲3 時，飛行速度乃 約^ 5.2m/s。同樣地，將驅動電壓設定爲26V時，將膨脹 保持要素P2之時間寬度設定成2 時，則飛行速度則成 爲約10.7m/s，時間寬度設定成爲3 時，飛行速度乃約 7m/s。 然後，可由圖12(b)得知，於此測定範圍，膨脹保持 要素P2之時間寬度愈長時，液滴之重量會減少（即減少吐 出量）。例如，將驅動電壓設定於20V時，將膨脹保持要 素P2之時間寬度設定成2 時，液滴之重量乃約成爲 -32- (29)590892 11.5ns，將時間寬度設定成3 μδ時，重量則約成爲 1 3.8 n g。 然後，於此時亦經由適切設定驅動電壓和膨脹保持要 素P2之時間寬度，保持一定液滴之飛行速度，可改變液 滴之吐出量。 例如，將液滴之飛行速度設定爲7m/s時，驅動電壓 及膨脹保持要素P2之時間寬度和液滴之飛行速度的關係 乃如圖13(b)所示。經由此圖13(b)，將驅動電壓設定於

2 6.2V，將膨脹要素P1之時間寬度設定於2.0 ps時，可 將液滴之飛行速度設定於約l〇.8m/s。又，將驅動電壓設 定成 28.0V，將膨脹要素P1之時間寬度設定於3.5 時，可將液滴之飛行速度設定於約6.3 m/s。

如此地，關於各標準驅動脈衝PS1〜PS3，經由適切設 定驅動電壓、中間電位VM、膨脹要素P 1之時間寬度及 膨脹保持要素P2之時間寬度，可控制液滴之飛行速度或 重量。因此，可將期望量之液滴以期望速度吐出。由此， 可使液滴之彈著位置之正確性和吐出量之正確性在高水準 下可兼顧。 接著，對於各微驅動脈衝PS4〜PS6加以說明。 首先，對於變化驅動電壓時之吐出特性的變化加以說 明。在此，圖1 6乃調整驅動電壓時之吐出特性的變化， U)顯示改變驅動電壓時之液滴之飛行速度的變化，（b) 顯示改變驅動電壓時之液滴之重量變化。然而，於圖 16(a)，附有黑圈之實線則顯示液滴，附有白圈之點線爲 -33- (30)590892 顯示衛星液滴，又附在三角形的虛線爲顯示第2衛星液 滴。

由此圖1 6可知，於測定範圍，驅動電壓之大小和液 滴之飛行速度及重量乃相互爲正比（係數爲正）之關係。 即，驅動電壓變大時，液滴（主液滴）之飛行速度會變快， 液滴之重量亦會增加。例如驅動電壓爲1 8 V時，主液滴 之飛行速度爲約4m/s，重量爲約4.4ng。又，驅動電壓爲 24V時，飛行速度爲約16m/s，重量爲約10.2ng。此乃與 上述標準驅動脈衝PS1〜PS3同樣之理由，即經由驅動電 壓之增減，壓力室容積之變化寬度會有所改變。因此，於 此微驅動脈衝中，經由驅動電壓之設定，可同時增減吐出 之液滴之飛行速度和量。

然而，由圖16(a)所見時，驅動電壓爲18V之狀態， 分爲主液滴和衛星液滴而飛行。更且，驅動電壓爲24V 以上時，除了上述衛星液滴之外，還會出現第2衛星液 滴。於此微驅動脈衝PS4〜PS6中，衛星液滴乃伴隨驅動 電壓之上昇，速度雖會上昇，第2衛星液滴則無關於驅動 電壓之上昇，成爲略一之飛行速度（6〜7m/s)。 接著，對於各微驅動脈衝PS4〜PS6之中間電位VM和 液滴吐出特性的關係加以說明。 於此微驅動脈衝PS4〜PS6中，中間電位VM乃規定壓 力室4 7之經常容積。因此，經由中間電位VM之變更， 可設定從經常容積至最大容積的膨脹份。然後可經由變更 膨脹份，可設定對第2膨脹要素P 1 1之供給時的彎月面之 -34- (31)590892

壓力室47側的引入量。又，第2膨脹要素PI 1之時間寬 度爲一定之故，變更膨脹份時，向彎月面之壓力室47側 的牽引速度亦會變化。例如，將液滴之飛行速度設定爲 7m/s時，驅動電壓和中間電位VM和液滴重量之關係乃 如圖17(a)所示。經由此圖17(a)，將驅動電壓設定於 19.5V，將中間電位VM設定成驅動電壓之0%(即與最低 電位VL同電位）時，可吐出約5.6ng之液滴。又，將驅動 電壓設定於22.5V，將中間電位 VM設定成驅動電壓之 3 0%時，可吐出約5.9ng之液滴。更且，將驅動電壓設定 於24.5V，將中間電位VM設定成驅動電壓之50%時，可 吐出約7.5 n g之液滴。

又，經由適切設定驅動電壓和中間電位VM，保持一 定液滴之吐出量，可改變液滴之飛行速度。例如，將液滴 之重量設定成5.5 ng時，驅動電壓和中間電位VM和液滴 之飛行速度的關係乃如圖17(b)所示。經由此圖17(b)，將 驅動電壓設定於19V，將中間電位VM中間電位VM設定 成驅動電壓之 〇%時，可將液滴之飛行速度設定於約 6.9m/s。又，將驅動電壓設定於21.5V，將中間電位 VM 設定成驅動電壓之30%時，可將液滴之飛行速度設定於約 6.2m/s。更且，將驅動電壓設定於20.2V，將中間電位 VM設定成驅動電壓之50%時，可將液滴之飛行速度設定 於約 4.5 m / s。 接著，對於各微驅動脈衝PS4〜PS6之吐出電位VF(第 2吐出要素P 1 3之終端電位）和液滴之吐出特性的關係加 -35· (32)590892 以說明。 上述之吐出電位VF乃規定壓力室47之吐出容積（第 2吐出要素P 1 3之供給終了時之容積）。因此，經由吐出 電位VF之變更，可設定從最大容積至吐出容積的收縮 量。又，第2吐出要素P13之時暑寬度爲一定，經由此吐 出電位VF之變更，改變收縮速度。即，吐出電位VF較 基準爲低地加以設定時，收縮速度則變高，當較基準設定 爲高時，收縮速度則爲低。

壓力室47之收縮量和收縮速度乃影響及於液滴之吐 出量。即，壓力室47之收縮量較基準爲多時，液滴之吐 出量則較基準爲多，收縮量較基準爲少時，液滴之吐出量 則較基準爲少。又，壓力室47之收縮速度爲高時，液滴 之飛行速度則變高，收縮速度低時，飛行速度亦低。

然而，此時，對於吐出電位VF之變化的飛行速度之 變化量和吐出量，與改變驅動電壓時之變化量不同。因 此，經由適切設定上述之驅動電壓和吐出電位 VF，一定 保持液滴之飛行速度，而改變吐出重量。 例如，將液滴之飛行速度設定爲7m/s時，驅動電壓 及吐出電位VF和液滴之重量的關係乃如圖18(a)所示。 經由此圖18(a)，驅動電壓則設定於27.0V，將第2吐出 要素P1 3之電位差設定於驅動電壓之50%(即，吐出電位 VF從最大電位VH低1，35V之電位）時，可吐出約3.6ng 之液滴。又，將驅動電壓設定於21.3V，將第2吐出要素 P13之電位差設定於驅動電壓之70%時，可吐出約5.6ng -36- (33)590892 之液滴。更且，驅動電壓則設定於16.6V，將第2吐出要 素P13之電位差設定於驅動電壓之100%(即，吐出電位 VF和最大電位VH同電位）時，可吐出約7.6ng之液滴。 又，將第2吐出要素P13之電位差設定於驅動電壓之 10 0%時，不設置收縮控制振動要素P1 5。 又，經由適切設定驅動電壓和吐出電位VF，可保持 一定之液滴吐出量，而改變液滴之飛行速度。

例如，當將液滴重量設定於5.5 ng時，驅動電壓及吐 出電極VF和液滴之飛行速度關係乃如圖18(b)所示。經 由此圖18(b)，將驅動電壓設定於32.0V，將第2吐出要 素P13之電位差設定於驅動電壓之50%時，可將液滴之飛 行速度設定於約 1 1.2m/s。4又，將驅動電壓設定於 19.5V，將第2吐出要素P13之電位差設定於驅動電壓之 7 0%時，可將液滴之飛行速度設定於約5.5m/s。更且，將 驅動電壓設定於12· 0V，將第2吐出要素P13之電位差設

定於驅動電壓之時，可將液滴之飛行速度設定於約 3 · Om/s 〇 如此，對於各微驅動脈衝PS4〜PS6，經由適切設定該 驅動電壓、中間電位V Μ、吐出電位V F，可控制液滴之吐 出量或飛行速度。 因此，由主控制部3 1 (脈衝形狀設定手段）之波形資 訊，可設定各驅動脈衝PS4〜PS6之波形形狀，將設定之 驅動脈衝P S 4〜P S 6向壓電振動子2 1供給，可將期望量之 液滴以期望之飛行速度加以吐出。因此，將對於各畫素範 -37- (34) 590892 圍12a之特定量（目標量）之液滴之吐出，和不足量之液滴 吐出，經由同一噴射頭7(同一之噴嘴開口 25)加以進行。 又，亦可設定液滴之飛行速度之故，可將量不同之液 滴以同樣之速度飛行。由此，噴射頭7之掃描速度乃在一 定的狀況下，排齊液滴之著彈位置。因此，無需進行複雜 的控制，亦可正確進行液滴之著彈位置。 更且，1滴爲4ng前後極少量之液滴乃易受空氣之黏 性阻抗的影響之故，會有考量起因於此黏性阻抗的失速部 分可以高精度控制著彈位置的情形。有關於此，本實施形 態中，經由設定驅動脈衝之波形形狀，將液滴量呈一定， 而改變飛行速度。爲此，即使爲上述極少量的液滴，經由 波形形狀之設定，可與1滴爲1 0以上之液滴同樣地，控 制吐出，達成控制之容易化。 接著’對於彩色濾光片2之製造方法加以說明。圖 1 9乃顯不彩色濾光片製造工程之流程圖，圖2 〇乃顯厚製 造工程順序的本實施形態之彩色濾光片2(濾光片基體2，） 乏模式剖面圖。 首先’黑矩陣形成工程（S1)中，如圖20(a)所示，於 基板1 1上’形成黑矩陣7 2。黑矩陣7 2乃經由金屬絡、 金屬鉻和氧化鉻之堆積體、或樹脂黑等所形成。爲形成金 屬薄膜所成黑矩陣72’可使用濺鍍法或蒸著法等。又， 形成樹目曰薄膜所成黑矩陣7 2時，可使用照相凹版印刷 法、光阻法、熱轉印法等。 72

接著’於間隔壁形成工程（S2)，於重疊於黑矩陣 -38· (35)590892 上之狀態，形成間隔壁73。即，首先如圖20(b)所示，被 覆基板1 1及黑矩陣72地’形成負片型之透明感光性樹脂 所成光阻層74。然後，將該上面以形成成矩陣圖案形狀 之光罩薄膜7 5被覆的狀態’進行曝光處理。 更且，如圖20(c)所示，經由蝕刻處理光阻層74之未 曝光部分，圖案化光阻層74，形成間隔壁73。然而，經 由樹脂黑，形成黑矩陣時，可兼做爲黑矩陣和間隔壁。

此間隔壁73和其下之黑矩陣72乃成爲畫分各畫素範 圍之分隔壁部1 2b，於後著色層形成工程中，經由噴射頭 7，於形成著色層76R、76G、76B時，規定墨水液滴的著 彈範圍。 經由經過以上之黑矩陣形成工程及間隔壁形成工程， 可得上述濾光片基體2’ 。 然而，於本實施形態中，做爲間隔壁73之材料，塗 膜表面則使用排墨水性之樹脂材料。然後，玻璃基板（基 板1 1 )表面爲親墨水性之故，於後述著色層形成工程中， 提升包圍在間隔壁73(分隔壁部12b)之各畫素範圍12a內 之液滴的著彈位置精度。 接著，於著色層形成工程（S 3 )中，如圖2 0 (d)所示， 經由噴射頭7，吐出墨水滴，著彈於以分隔壁部〗2 b包圍 之畫素範圍1 2a內。之後，經過乾燥處理，順序形成3色 之著色層76R'76G、76B。此著色層形成工程的詳細說 明，則使用圖2 1如後述。 已形成著色層76R、76G、76B時，移轉至保護膜形 -39· (36)590892 成工程（S4)，如圖20(e)所示，被覆基板11、分隔壁部 12b、及著色層 76R、76G、76B之上面，形成保護膜 ΊΊ。 即，於形成基板11之著色層76R、76G、76B之面整 體，吐出保護膜用塗佈液之後，經過乾燥處理，形成保護 膜77。

然後，形成保護膜7 7之後，經由將基板1 1切斷成各 有效畫素範圍，可得彩色濾光片2。 接著，對於上述著色層形成工程，更詳細加以說明。 著色層形成工程乃如圖21所示，由液材吐出工程（SI 1)， 和著彈量檢出工程（S12)、補正量取得工程（S13)、和液材 補充工程（S 14)所成，順序進行此等之各工程。 於液材吐出工程（S1 1)中，在基板1 1上之各畫素範圍 12a，打入特定量特定色之例如R、G、B之任一液滴（墨 水滴）。於此工程中，做爲脈衝形狀設定手段之主控制部 31乃生成爲產生標準驅動脈衝 PS1〜PS3之波形資訊 (DAT)，做爲脈衝產生手段之驅動信號產生部32乃根據 此波形資訊，產生標準驅動脈衝。然後，主控制部3 1 (主 控制手段）乃生成移動控制資訊（DRV1)，輸出至托架馬達 6，生成噴射頭7之控制用信號，輸出至噴射頭7。經由 此進行主掃描。即，托架馬達6動作，導桿4則向主掃描 方向（X軸方向）移動，同步於此導桿4之移動，從噴射頭 7之噴嘴開口 25吐出特定色之墨水滴。 於此時，本實施形態中，如上所述，設定驅動脈衝之 -40- (37)590892 波形形狀之故，最佳化墨水滴之吐出量或飛行速度，於特 定之畫素範圍12a，可著彈特定量之墨水滴。 已終止1次之主掃描時，將噴射頭7於副掃描方向移 動特定量，進行下個主掃描。之後，重覆執行上述之動 作，於基板11之整面’即於整體之畫素範圍12a打入液 滴。

然而，於此液材吐出工程中，主控制部3 1 (脈衝形狀 設定手段）乃附加從溫度感測器或濕度感測器等之環境狀 態檢出手段（未圖示）的檢出信號，生成波形資訊（DAT)亦 可。如此構成時，即使製造裝置1之設置環境（溫度或溼 度等）有變化，仍可排齊液滴之吐出特性。

又，主控制部31(脈衝形狀設定手段）乃取得使用之液 材之種類資訊，例如取得顯示黏度或密度等之物性的物性 資訊，附加此種類資訊，生成波形資訊（DAT)亦可。如此 構成時，即使使用不同種類之液材，仍可產生適於該液材 之波形形狀之驅動脈衝，在於汎用性上極爲優異。 於著彈量檢出工程（S 12)中，將彈著於上述之液材吐 出工程的墨水量，經由做爲液材量檢出手段之液材感測器 1 7，於每畫素範圍1 2a加以檢出。即，於此著彈量檢出工 程中，將各噴嘴開口 2 5之特性差或墨水滴之吐出不良等 所產生之參差所得之著彈墨水量，於每畫素範圍1 2a加以 檢出。 於此工程中，主控制部31(主控制手段）乃將移動控制 資訊（DRV1)輸出至托架馬達6，移動托架5，將發光控制 -41 - (38)590892 資訊（DRV2)，輸出至雷射發光元件18，於期望之畫素範 圍12a，照射雷射光線Lb。此雷射光線Lb乃做爲光反射 面之載置面3a加以反射，受光於雷射受光元件19。然 後，受光反射雷射光線Lb的雷射受光元件1 9乃將對應受 光量（受光強度）的電壓位準之檢出信號，輸出至主控制部 3 1。主控制部3 1乃從來自雷射受光元件1 9之檢出信號 (雷射受光元件1 9之受光量），判定著彈墨水量。

此著彈墨水量之判定乃對於所有之畫素範圍1 2 a進 行。即，檢出對於1個畫素範圍1 2a之著彈墨水量時，檢 出對於下個畫素範圍1 2 a之著彈墨水量。然後，對於所有 畫素範圍1 2a，檢出著彈墨水量時，終止此工程。然而， 取得之各著彈墨水量乃於主控制部3 1之RAM(著彈液材 量記憶手段、未圖示），與畫素範圍1 2a之位置資訊關連 的狀態下加以記憶。

補正量取得工程（S 13)中，將以上述著彈量檢出工程 所檢出之各畫素範圍12a之著彈墨水量，與對於該畫素範 圍12a之目標墨水量（本發明之目標液材量之一種）比較， 將著彈墨水量和目標墨水量做爲補正量取得。在亥，本實 施形態之目標墨水量乃成爲著彈墨水量最多之畫素範圍 1 2 a之著彈墨水量。即，以著彈檢出工程檢出之著彈量之 最大値則做爲目標墨水量而設定，例如記憶於主控制部 3 1之RAM(目標液材量記憶手段，未圖示）。然而，目標 墨水量乃於各色（R、G、B)共通加以設定即可，於各色各 別加以設定即可。 -42- (39) (39)590892 於此工程中，主控制部3 1乃做爲本發明之不足量取 得手段之一種而工作。例如，主控制部3 1乃讀取記憶於 RAM之各著彈墨水量和目標墨水量，經由演算著彈墨水 量和目標墨水量之差而取得。然後，取得之墨水量差之資 訊乃做爲不足量資訊（本發明之液材過不足量之一種），於 主控制部3 1之RAM(相當於過不足量記憶手段，未圖 示）’於與液材範圍（畫素範圍12a)之位置資訊關連的狀態 被記憶。 液材補充工程（S 14)中，於著彈墨水量對於目標墨水 量而言不足之畫素範圍12a上，定位噴射頭7，將於此狀 態對應不足量的波形形狀之驅動脈衝（例如微驅動脈衝 PS4〜PS6)供予壓電振動子21，於該畫素範圍12a補充墨 水。 即，於此工程中，首先，主控制部3 1乃由RAM讀取 不足資訊，辨識墨水補充所需畫素範圍1 2a。接著，對於 需補充之畫素範圍1 2a，設定爲吐出不足量之驅動脈衝。 即，設定波形資訊。然後，設定之波形資訊乃做爲補充脈 衝設定資訊，於主控制部3 1之RAM(相當於補充脈衝設 定資訊手段，未圖示），與畫素範圍12a之位置資訊關連 的狀態下，加以記憶。 對於墨水之補充需要之畫素範圍1 2a而言，記憶有補 充脈衝資訊時，主控制部3 1乃控制墨水的補充。即控制 托架馬達6，於補充對象之畫素範圍1 2a上，定位噴射頭 7。然後，於驅動信號產生部32輸出波形資訊（補充脈衝 •43- (40)590892 設定資訊），吐出不足量之液滴，著彈於該畫素範圍1 2a。 對於此畫素範圍1 2a之墨水的補充終了時，將噴射頭 7向下個畫素範圍12a移動，對於此畫素範圍12a之墨水 補充’亦以同樣手續進行。然後，對於成爲補充對象之所 有畫素範圍1 2 a，終止墨水之補充時，則終止此工程。

然後，終止上述一連串之工程（即，著色層形成工 程）時’施以加熱等處理，於畫素範圍12a內，固定墨水 液’形成著色層76。之後，將固定後之濾光片基體2，， 移送至下個工程（即保護膜形成工程）。 然而，於本實施形態中，雖將各色（R、G、B)之墨 以同一噴射頭7吐出，將對應於各色之複數（3個）之 噴射頭，於製造線上加以配置.，各別地加以吐出構成亦 可。此時，第一色之描繪後，經過乾燥工程，向第三色之 繪轉移。經由本乾燥完全乾燥各色之彩色濾光片。 然而，上述中，雖顯示補充著彈墨水之不足量所構成 2例’但本發明不限定於此。例如令著彈墨水量之設計値 爲目標墨水量，於著彈超越設計値之量的墨水時，動作對 應、於超過量之著色成分分解手段，分解超過部分之墨水 (著色成分）亦可。以下，對於如此構成之變形側加以說 明。 圖22及圖23乃說明此變形例之圖，圖22乃說明著 色層形成工程之流程圖、圖23乃說明著色成分分解手段 $〜種的準分子雷射光源80的模式圖。然而，此變形例 ；^製造裝置1之基本構成乃與上述之例相同之故，在此省 -44- (41)590892 略其詳細說明。 此變形例之特徵乃做爲著色成分分解手段具備準分子 雷射光源之部分。在此，所謂「準分子」乃同種之原子· 分子各形成一個基態和激態的的不安定二聚物，而「準分 子雷射」乃利用解離此準分子，向基態遷移時的發光的雷 射光。

此準分子雷射光乃以具有高能量之紫外光，具有切斷 墨水液中之著色成分（色素）之分子結合的作用之故，可分 解著4乙成分，使色濃度變薄。又，具有難以產生墨水之 飛散或濾光片基扳之損傷的作用。更且，此準分子雷射光 中，控制該輸出和照射脈衝數（時間），可調整分解之著色 成分之量。 此準分子雷射光乃例如由準分子雷射光源8 0照射 後，藉由三稜鏡8 1等，照射於各畫素範圍1 2 a。又，準 分子雷射光源80乃電氣連接於主控制部31，可控制該動 作。即，主控制部3 1乃控制準分子雷射光之輸出和照射 脈衝數。 以下’說明本實施形態之塗佈工程。然而，以下之說 明乃與上述之例不同之部分爲中心加以進行，對於與上述 例同樣之內容之詳細說明則省略。 如圖22所例示，此塗佈工程乃由液材吐出工程 (S11)，和著彈量檢出工程（S12)、補正量取得工程 (S13’）、和液材補充工程（S14)，和液材分解工程（S15)所 成，順序進行此等之各工程。 -45· (42)590892 於液材吐出工程（S11)中，在基板11上之各畫素範圍 1 2 a，打入特定色之墨水滴。於此工程中，與上述例同樣 進行。即，托架馬達6動作，導桿4則向主掃描方向（X 軸方向）移動，同步於此導桿4之移動，從噴射頭7之噴 嘴開口 2 5吐出特定色之墨水滴。

於著彈量檢出工程（S12)中，將著彈墨水量，於每畫 素範圍1 2 a加以檢出。此工程與上述例之時同樣，例如使 用液材感測器1 7進行。然後，取得之各著彈墨水量乃於 主控制部3 1之RAM(相當於著彈墨水量記憶手段，未圖 示），於與畫素範圍1 2a之位置資訊關連之狀態，加以記 憶。然而，於此例中，液材感測器1 7乃做爲液材量檢出 手段的一種加以工作。

補正量取得工程（S 13’）中，將以上述著彈量檢出工程 所檢出之各畫素範圍1 2a之著彈墨水量，與對於該畫素範 圍12a之目標墨水量（本發明之目標液材量之一種）比較， 將著彈墨水量和目標墨水量做爲補正量取得。在此，此例 之目標墨水量乃成爲著彈墨水量之設計値，例如記憶於主 控制部31之RAM((目標液材量記憶手段，未圖示）。 於此工程中，主控制部3 1 (本發明之不足量取得手段 之一種，超過量取得手段之一種）乃讀取記憶於RAM之各 著彈墨水量和目標墨水量，經由演算目標墨水量和著彈墨 水量之差而取得。然後，取得之墨水量差之資訊乃做爲過 不足量資訊（本發明之液材過不足量之一種），於主控制部 31之RAM(相當於過不足量記憶手段，未圖示），於與畫 -46- (43)590892 素範圍1 2a之位置資訊關連的狀態被記憶。 液材補充工程（S 4)中，與上述例同樣之工程，於著彈 墨水量對於目標墨水量而言不足之畫素範圍12a± ’定位 噴射頭7之狀態，將對應於不足量的波形形狀之驅動脈 衝，供予壓電振動子2 1，於該畫素範圍1 2a補充墨水。

液材分解工程（S 5 )中，於著彈墨水量對於目標墨水量 超過之畫素範圍1 2 a，照射準分子雷射光’分解對應於超 過量之量的著色成分。於此時，主控制部31乃亦做爲雷 射炭照射控制手段而工作，移動上述三稜鏡8 1等，於期 望之畫素範圍12a，照射雷射光。又，主控制部3 1分解 量亦做爲分解量控制手段而工作，對應於超過量，控制雷 射光之輸出或照射脈衝數，分解必要量之著色成分。 然後，終止上述一連串工程（即塗佈工程）時，施以 加熱等之處理，固定塗佈之墨水液。之後，將濾光片基體 2’移送至下個工程。 然後，於對於墨水液之加熱固定後，實施上述準分子 雷射光所成液材分解工程亦可。 如以上之說明，於此製造裝置1中，將著彈墨水量於 每畫素範圍1 2 a加以檢出，對應於由著彈墨水量和目標墨 水量所求得之過不足量，判定補充、分解或不進行補充或 分解墨水。然後，補充之時，將對應不足量設定之驅動脈 衝供予壓電振動子21。一方面，分解之時，於該畫素範 圍1 2 a，照射準分子雷射光的同時，對應超過量，控制準 分子雷射光之輸出或照射脈衝數，分解必要量之著色成 -47- (44)590892 分。 結果，每晝素範圍12a之墨水濃度在設計値之排齊， 可製造高品質之彩色濾光片2。

圖24乃顯示做爲使用在於本實施形態所製造之彩色 濾光片2的液晶裝置之一例的被動矩陣型液晶裝置（液晶 裝置）之槪略構成的主要部剖面圖。於此液晶裝置8 5，經 由裝著液晶驅動用1C、背光、支持體等之附帶要素，可 得最終產品之透過型液晶顯示裝置。然而，彩色濾光片2 乃與圖20所示者爲同一者，於對應之部分，附上同一之 符號，省略該說明。 此液晶裝置8 5乃經由彩色濾光片2、玻璃基板等所 成對向基板86及挾持於此等間之STN(超級扭轉向列）液 晶組成物所成液晶層8 7，槪略構成，將彩色濾光片2配 置於圖中上側（觀測者側）。 然而，雖未特別加以圖示，於對向基板8 6及彩色濾 光片2之外面（與液晶層8 7側相反側之面），各配設偏光 板。於彩色濾光片2之保護膜7 7上（液晶層側），於圖 24，在左右方向，長尺寸之長方形狀之第1電極88則以 特定之間隔複數形成，與此第1電極8 8之彩色濾光片2 側，被覆相反側之面地，形成第1配向膜90。 另一方面，於與對向基板86之彩色濾光片2對向之 面，於與彩色濾光片2之第1電極88正交之方向，長尺 寸之長方形狀之第2電極89以特定間隔複數形成，被覆 此第2電極8 9之液晶層8 7側之面地，形成第2配向膜 -48- (45) 590892 91。此等之第1電極88及第2電極89乃經由ITO等之透 明導電材料而形成。 設於液晶層8 7內之間隔物92乃爲一定保持液晶層 8 7之厚度（晶胞間隔）之構件。又，密封材9 3乃液晶層8 7 內之液晶組成物爲防止向外部之漏出的構件。然而，第1 電極8 8之一端部乃做爲向密封材9 3之外側延伸存在。

然後，第1電極88和第2電極89交叉之部分爲畫 素，於成爲此畫素之部分，定位彩色濾光片2之著色層 7 6 R、7 6 G、7 6 Β地力口以構成。 圖25乃顯示使用於本實施形態所製造之彩色濾光片 2的液晶裝置之第2之例之槪略構成的主要部剖面圖。 此液晶裝置8 5 ’與上述液晶裝置8 5大爲不同之處乃 將彩色濾光片2配置於圖中下側（與觀測者側相反之側）。

此液晶裝置85’乃於彩色濾光片2和玻璃基板等所成 對向基板86’間，挾持STN液晶所成液晶層87’而槪略構 成。然而，雖未圖示，於對向基板86’及彩色濾光片2之 外面，各配設偏光板。 於彩色濾光片2之保護膜7 7上（液晶層8 7 ’側）’於圖 中深度方向，長度矩形狀之第1電極8 8 ’以所定間隔複數 形成，被覆此第1電極8 8 ’之液晶層8 7 ’側之面地’形成 第1配向膜90’。 於與對向基板86’之彩色濾光片2對向之面上，於與 彩色濾光片側之第1電極88’正交之方向延伸存在的複數 之矩形狀之第2電極89’以特定間隔加以形成’被覆此第 -49- (46)590892 2電極8 9，之液晶層8 7 ’側之面地，形成第2配向膜9 1 ’。 於液晶層8 7 ’中，設置保持一定此液晶層8 7 ’之厚度 之間隔物9 2 ’和液晶層8 7 ’內之液晶組成物防止向外部漏 出之密封材9 3 ’。 然後，與上述液晶裝置8 5同樣，第1電極8 8 ’和第2 電極89’交叉部分爲畫素，與此畫素之部位，定位彩色濾 光片2之著色層76R、76G、76B地加以構成。

圖26乃顯示使用適用本發明之彩色濾光片2，構成 液晶裝置之第2例者，顯示透過型之TFT型液晶裝置之 槪略構成的分解斜視圖。 此液晶裝置8 5 ”乃將彩色濾光片2配置於圖中上側（觀 測者側）。 此液晶裝置85”乃經由彩色濾光片2，和對向於此而 配置之對向基板86”，和挾持於此等間之未圖示之液晶 層，和配置於彩色濾光片2之上面側（觀測者側）之偏光板 96，和配設於對向基板86”之下面側的偏光板（未圖示）地 加以槪略構成。 於彩色濾光片2之保護膜77之表面（對向基板86”側 之面），形成液晶驅動用之電極97。此電極97乃由ITO 等透明導電材料所成，成爲被覆形成後述之光電裝置100 的範圍整體的全面電極。又，此電極97之光電裝置1〇〇 乃以被覆相反側之面的狀態，設置配向膜9 8。 於與對向基板86”之彩色濾光片2對向之面，形成絕 緣層99，於此絕緣層99上，於掃瞄線及信號線102 -50- (47) 相互正交之狀態下加以形成。然後，包圍於此等之掃瞄線 101和信號線102之範圍內，形成畫素電極100。然而’ 實際之液晶裝置中，於畫素電極1 00上，雖設置配向膜’ 但省略圖不。 又，於包圍畫素電極1 〇 〇之缺陷部和掃瞄線1 〇 1和信 號線1 0 2之部分，安裝具備源極電極，和汲極電極，和半 導體及閘極電極的薄膜電晶體1 03而構成。然後’經由對 於掃瞄線1 0 1和信號線1 0 2之信號的施加，將薄膜電晶體 103開啓關閉，可進行畫素電極1〇〇之通電控制地而構 成。 然而，上述各例之液晶裝置85、85’ 、85”乃可成爲 透過型之構成，設置反射層或半透過反射層，反射型之液 晶裝置或半透過反射型之液晶裝置。 接著，對於本發明之第2之實施形態加以說明。圖 27乃本發明顯示器之一種之有機電激發光顯示裝置之顯 示範圍（以下單純稱爲顯示裝置106)之主要剖面圖。 此顯示裝置106乃電路元件部107、發光元件部108 及陰極109積層於基板1 10上之狀態下，槪略性加以構 成。 於此顯示裝置106中，從發光元件部108向基板110 側發光之光，則透過電路元件部1 〇 7及基板1 1 0，向觀測 者側射出的同時，從發光元件部1 0 8向基板1 1 0之相反側 發光之光，經由陰極109反射之後，透過電路元件部107 及基板1 1 〇，向觀測者側射出。 -51 - (48)590892 於電路元件部1 07和基板1 1 0間，形成矽氧化膜所成 基材保護膜111，於此基材保護膜111上（發光元件部108 側）’形成多結晶矽席成島狀之半導體膜112。於此半導 體膜112之左右之範圍，源極範圍112a及汲極範圍112b 則經由植入言濃度陽離子，各別地加以形成。然後，未植 入陽離子之中央部則成爲通道範圍1 12c。

又’於電路元件部107中，形成被覆基材保護膜111 及半導體膜1 1 2的透明閘極絕緣膜1 1 3，於對應於此閘極 絕緣膜1 13上之半導體膜1 12之通道範圍1 12c的位置， 例如形成由 Al、Mo、Ta、Ti、W等構成之閘極電極 1 1 4。於此閘極電極1 1 4及閘極絕緣膜1 1 3上，形成透明 之第1層間絕緣膜1 15a和第2層間絕緣膜1 15b。又，貫 通第1層間絕緣膜1 15a、第2層間絕緣膜1 15b，形成各 連通半導體膜112之源極範圍112a、汲極範圍112b之連 通孔 116a、 116b。 然而，於第2層間絕緣膜1 15b上，ITO等所成透明 之畫素電極117成爲特定之形狀圖案化地形成，此畫素電 極17乃透過連通孔1 16a，連接於源極範圍1 12a。 又，於第1層間絕緣膜1 1 5 a上，配設電源線1 1 8， 此電源線 1 1 8乃透過連通孔 1 1 6b，連接於汲極範圍 112b。 如此地，於電路元件部1 〇7，各形成連接於各畫素電 極1 1 7之驅動用之薄膜電晶體1 1 9。 上述發光元件部108乃經由積層於各複數之畫素電極 -52- (49) 117上的機能層120，和備於各畫素電極117及機能層 120之間分割各機能層120之間隔壁部121，槪略地加以 構成。 經由此等畫素電極1 1 7、機能層1 2 0及配設於機能層 120上之陰極1〇9，構成發光元件。然而，畫素電極117 乃圖案化成平面視之略矩形地加以形成，於各畫素電極 1 1 7間，形成間隔壁部1 2 1。

間隔壁部121乃例如經由SiO、Si02、Ti02等之無機 材料形成之無機物間隔壁層1 2 1 a(第1間隔壁層）、和積層 於此無機物間隔壁層1 2 1 a上，經由丙烯酸樹脂、聚醯亞 胺樹脂等之耐熱性、耐溶媒性優異的光阻劑所形成剖面梯 形之有機物間隔壁層12 lb(第2間隔壁層）所構成。此間隔 壁部121之一部分乃提高至畫素電極117之周緣部之狀態 下加以形成。

然後，於各間隔壁部1 2 1間，形成對於畫素電極1 1 7 而言，向上方順序擴展之開口部1 22。 上述機能層120乃於開口部122內，經由積層於畫素 電極117上之狀態所形成之正孔注入/輸送層120a，和形 成於此正孔注入/輸送層120a上之發光層120b所構成。 然而，更形成鄰接於此發光層120b具有其他之機能的其 他之機能層亦可。例如，可形成電子輸送層。 正孔注入/輸送層120a乃具有從畫素電極117側輸送 正孔，注入至發光層120b之機能。此正孔注入/輸送層 120a乃吐出包含正孔注入/輸送層形成材之第1組成物（相 -53- (50)590892 當於本發明之液材之一種）而形成。做爲正孔注入/輸送層 形成材料，例如使用聚亞乙基二氧噻吩之聚磺酸衍生物和 聚苯乙烯磺酸等之混合物。 、

發光層120b乃發光成紅色（R)、綠（G)、或藍（B)之任 一者，經由吐出包含發光層形成材料（發光材料）之第2組 成物（相當本發明之液材之一種）而形成。做爲發光層形成 材料，例如可使用聚對苯乙炔衍生物、聚苯烯衍生物、聚 氟烯衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物、茈系色素、香 豆素色素、若丹明系色素或於此等高分子材料添加紅熒 烯、茈、9,10 -二苯基蒽、四苯基丁二烯、耐綸紅、香豆 素6、喹吖酮等。 又，做爲第2組成物之溶媒（非極性溶媒），對於正孔 注入/輸送層120a爲不溶者爲佳’可使用例如環己苯、二 羥基苯并呋喃、三甲基苯、四乙基苯等。將如此之極性溶 媒經由使用於發光層12〇bl之第2組成物’不會再溶解正 孔注入/輸送層120a地，可形成發光層120b。 然後，於發光層l20b中，從正孔注入/輸送層12〇a 注入之正孔，和從陰極1 〇9注入之電子’則再結合於發光 層發光地加以構成。 陰極109乃以被覆發光元件部1〇8之整面的狀態加以 形成，與畫素電極1 1 7成對’達成於機能層1 20流動電流 之效果。然而，於此陰極1 09之上部’配置未圖示之封閉 構件。 接著，將本實施形態之顯示裝置1 06之製造工程，參 -54- (51)590892 照圖28〜36加以說明。 此顯不裝置106乃如圖28所不’經由間隔壁部形成 工程（S2 1)、表面處理工程（S22)、正孔注入/輸送層形成工 程（S23)、發光層形成工程（S24)及對向電極形成工程（S25) 加以製造。然而，製造工程乃未限定於例示者，可依需要 可有除去其他之工程，或追加其他之工程之情形。

首先，間隔壁部形成工程（S21)中，如圖29所示，於 第2層間絕緣膜1 1 5 b上，形成無機物間隔壁層1 2 1 a。此 無機物間隔壁層1 2 1 a乃於形成位置形成無機物膜後，將 此無機物膜經由光蝕刻技術等，藉由圖案化加以形成。此 時，無機物間隔壁層121a之一部分乃與畫素電極117之 周緣部重疊地加以形成。

形成無機物間隔壁層1 2 1 a時，如圖3 0所示，於無機 物間隔壁層1 2 1 a上，形成有機物間隔壁層1 2 1 b。此有機 物間隔壁層1 2 1 b亦與無機物間隔壁層1 2 1 a同樣，經由光 蝕刻技術等，圖案化地加以形成。 如此，形成間隔壁部12 1。又，伴隨於此，於各間隔 壁部1 2 1間，對於畫素電極1 1 7，於上方形成開口之開口 部1 2 2。此開口部1 2 2乃規定畫素範圍（相當於本發明之 液材範圍之一種）。 於表面處理工程（S22)中，進行親液化處理及排液化 處理。施以親液化處理的範圍乃無機物間隔壁層1 2 1 a之 第1積層部121a’及畫素電極117之電極面117a，此等之 範圍乃例如經由將氮成爲處理氣體之電漿處理，成爲親液 •55- (52) 590892 性地表面處理。此電漿處理乃兼顧畫素電極1 洗淨等。 又，排液化處理乃施於有機物間隔壁層 1 2 1 s及有機物間隔壁層1 2 1 b之上面1 2 1 t，例 甲烷經由成爲處理氣體之電漿處理，表面則 (排液性地處理）。 經由進行此表面處理工程，使用噴射頭 ㈤層1 2 0時’可將液材經由畫素範圍確實加 彈於畫素範圍之液材則可防止由開口部丨2 2溢 然後’經由以上之工程，得顯示裝置基骨 於本發明之顯不基體之一種）。顯示裝置基體 置於圖1(a)所示之製造裝置1之載置基台3, 所以正孔注入/輸送層形成工程（s 2 3 )及發光 (S24) ° 正孔注入/輸送層形成工程（s 2 3 )中，從噴 含正孔注入/輸送層形成材料的第1組成物向 開口部〗2 2內吐出’之後，進行乾燥處理及繫 素電極117上形成正孔注入/輸送層12〇a。 此正孔注入/輸送層形成工程乃與上述第 態之著色形成工程相同’順序經由圖21所矛 工程（sii)、著彈量檢出工程（S12)、補正量取 及液材補充工程（S14)加以進行。然而，對於 各工之δ羊細部分’於第1之實施形態已說明 地加以省略。 1 7之ITO之 1 2 1 b之壁面 丨如將4氣化 被氟化處理 7，於形成機 (著彈，又著 出。 喔106’（相當 :106’乃載 進行以下之 層形成工程 射頭7將包 丨畫素範圍之 I處理，於畫 1之實施形 :之液材吐出 得工程（S 1 3 ) S 1 1〜S 1 4之 丨之故，適切 -56- (53)590892 液材吐出工程（SI 1)中，如圖3 1所示，於顯示裝置基 體106’上之畫素範圍（即、開口部122內），將包含正孔 注入/輸送層形成材料之第1組成物，做爲液滴打入特定 量。於此時，如上所述，設定驅動脈衝之波形形狀之故， 最佳化液滴之吐出量或飛行速度，於畫素範圍內，可著彈 舟定量之第1組成物。

於所有之畫素範圍內，著彈第1組成物時，於著彈量 檢出工程（S 12)，將對於上述液材吐出工程著彈之第1組 成物量（相當於本發明之液材量之一種），經由做爲液材量 檢出手段之液材感測器1 7，於每畫素範圍加以檢出。 即，於各畫素範圍，照射雷射光線Lb的同時，將從畫素 範圍之光，以雷射受光元件19受光，對應受光量（受光強 度），判定第1組成物之著彈量。然後，對於所有畫素範 圍，檢出第1組成物之著彈量時，向下個工程轉移。

補正量取得工程（S 1 3 )中，將於上述著彈檢出量工程 所檢出之各畫素範圍之第1組成物之著彈量，與對於該畫 素範圍之第1組成物之目標量（本發明之目標液材量之一 種）比較，將此等之差做爲補正量而取得。 於液材補充工程（S 1 4)中。於第1組成物之著彈量則 對於目標量不足之畫素範圍上，即於開口部1 22上，定位 噴射頭7，於此狀態，將對應不足量之波形形狀之驅動脈 衝，供予壓電振動子21，於該畫素範圍補充第1組成 物。然後，對於成爲補充對象之所有畫素範圍，第1組成 物之補充終了時，則終止此工程。 -57- (54)590892 之後，經由進行乾燥工程等，乾燥處理吐出後之第1 組成物’蒸發含於第1鉗成物之極性溶媒，如圖3 2所 示，於畫素電極117之電極面117a上，形成正孔注入/輸 送層1 2 0 a ° 如以上，於各畫素範圍，形成正孔注入/輸送層120a 時，終止正孔注入/輸送層形成工程。

接著，對於發光層形成工程（S24)加以說明。於此發 光層形成工程中，如上所述，爲防止正孔注入/輸送層 120a之再溶解，做爲使用於發光層形成時之第2組成物 之溶媒，對於正孔注入/輸送層120a，使用不溶之非極性 溶媒。 但是，其另一方面，正孔注入/輸送層120a乃對於非 極性溶媒之親和性爲低之故，則將包含非極性溶媒之第2 組成物，吐出到正孔注入/輸送層1 20a上，有無法與正孔 注入/輸送層120a和發光層120b密著，或無法均勻塗布 發光層120b之疑慮。 因此，爲提高非極性溶媒以及對於發光層形成材料之 正孔注入/輸送層120a之表面之親和性，於發光層形成之 前，進行表面處理（表面改性處理）爲佳。此表面處理乃與 使用於發光層形成時之第2組成物之非極性溶媒同一之溶 媒或類似此之溶媒。令表面改性材塗佈於正孔注入/輸送 層1 2 0 a上，經由乾燥此而進行。 施以如此處理，正孔注入/輸送層12〇a之表面易於適 應於非極性溶媒，於此後之工程中，將包含發光層形成材 -58 - (55)590892 料之第2組成物，均勻塗佈於正孔注入/輸送層12〇a。 然後，於此發光層形成工程中，順序經由圖2 1所示 之液材吐出工程iSl 1)、著彈量檢出工程（S12)、補正量取 得工程（S 13)及液材補充工程（S 14)，形成發光層i2〇b。

即，液材吐出工程（S 1 1 )中，如圖3 3所示，將含有對 應於各色中之任一（圖33之例爲藍色（B))的發光層形成材 料的第2組成物，做爲液滴於畫素範圍（開口部丨2 2)內打 入特定量。於此時，如上所述，設定驅動脈衝之波形形狀 之故，最佳化液滴之吐出量或飛行速度，於正孔注入/輸 送層120a上，著彈特定之第2組成物。 打入於畫素範圍內之第2組成物乃向正孔注入/輸送 層120a上擴展，充滿於開口部122內。然而，萬一，第 2組成物由畫素範圍離開，著彈於間隔壁部1 2 1之上面 1 2 11上時，此上面1 2 11乃如上所述，施以排液處理之 故，第2組成物易於轉入間隔壁部1 2 1內。

於對應之畫素範圍內，著彈第2組成物時，於著彈量 檢出工程（S 12)，於上述液材吐出工程中，將著彈之第 2 組成物量，經由做爲液材量檢出手段之液材感測器1 7， 於每畫素範圍加以檢出。即，於各畫素範圍，照射雷射光 線Lb的同時，將從畫素範圍之光，以雷射受光元件1 9受 光，對應受光量（受光強度），判定第2組成物之著彈量。 然後，檢出第2組成物之著彈量時，向下個工程轉移。 補正量取得工程（S13)中，將於上述著彈檢出量工程 所檢出之各畫素範圍之第2組成物之著彈量，與對於該畫 -59- (56)590892 素範圍之第2組成物之目標量（本發明之目標液材量之一 種）比較 '將此等之差做爲補正量而取得。 於液材補充工程（S 14)中。於第2組成物之著彈量則 對於目標量不足之畫素範圍上，即於開口部1 2 2上，定位 噴射頭7，於此狀態，將對應不足量之波形形狀之驅動脈 衝，供予壓電振動子21，於該畫素範圍補充第2組成 物。然後，對於成爲補充對象之所有畫素範圍，第2組成 物之補充終了時，則終止此工程。

之後’經由進行乾燥工程等，乾燥處理吐出後之第2 組成物，蒸發含於第2鉗成物之極性溶媒，如圖3 4所 示，於正孔注入/輸送層120a上，形成發光層120b。此圖 之時，形成對應於藍色（B)之發光層120b。

然後，如圖3 5所示，順序使用與對應於上述藍色（B) 之發光層120b之時同樣的工程，形成對應其他色（紅色（R) 及綠色（G))之發光層120b。然而發光層120b之形成順序 乃不限於例示之順序，以任何順序形成亦可。例如可決定 對應於發光層形成材料所形成之順序。 於各畫素範圍，形成發光層120b時，終止發光層形 成工程。 如以上，於畫素電極1 1 7上，形成機能層1 20，即形 成正孔注入/輸送層120a及發光層120b。然後，轉移至對 向電極形成工程（S25)。 對向電極形成工程（S25)中，如圖36所示，於發光層 12 0b及有機物間隔壁層121b之整面，將陰極109 (對向電 -60· (57)590892 極），例如經由蒸著法、濺鍍法、CVD法等加以形成。此 陰極1 09乃於本實施形態中，例如積層鈣層和鋁層加以構 成。 於此陰極109之上部，適切設置A1膜、Ag膜或爲防 止氧化之Si02、SiN等之保護層。 如此地形成109之後，經由施以將此陰極109上部經 由封閉構件封閉之封閉處理或配線處理等之其他處理等， 可得顯示裝置1 0 6。

接著，對於本發明之第3之實施形態加以說明。圖 37乃本發明顯示器之一雇的電漿型顯示裝置（以下單稱爲 顯示裝置125)之主要部分分解斜視圖。然而，同圖中， 將顯示裝置1 25以部分切割之狀態加以顯示。

此顯示裝置125乃包含相互對向配置之第1基板 126、第2基板127、及形成於此等間之放電顯示部128 槪略地加以構成。放電顯示部1 2 8乃經由複數之放電室 129構成。此等之複數之放電室129中，紅色放電室 129(R)、綠色放電室129(G)、藍色放電室129(B)之3個 放電室1 2 9成組，構成1個畫素地加以配置。 於第1基板126之上面，以特定之間隔，成爲斑紋 狀，形成位址電極130，被覆此位址電極130和第1基板 126之上面，形成介電質層131。於介電質層131上，位 於各位址電極1 3 0之間，且沿各位址電極1 3 0地，設立間 隔壁1 3 2。此間隔壁1 3 2乃包含如圖示所示，延伸存在於 位址電極1 3 0之寬度方向兩側，和延伸設置於與位址電極 -61 - (58)590892 130正交之方向的未圖示者。 然後’經由此間隔壁13 2分隔之範圍成爲放電室 129 ° 於放電室129內，配置螢光體133。螢光體133乃發 光紅（R)、綠（G)、藍（B)之任一之色之螢光，於紅色放電 室129(R)之底部，配置紅色螢光體133(R)，於綠色放電 室129(G)之底部，配置綠色螢光體i33(G)、於藍色放電 室129(B)之底部，配置綠色螢光體133(B)。

於第2基板1 2 7之圖中下側面，於與上述位址電極 1 3 0正交之方向，複數之顯示電極1 3 5以特定之間隔形成 成爲斑紋狀。然後，被覆此等，形成介電質層136、及 MgO等所成保護膜137。 第1基板126和第2基板127乃以相互正交位址電極 1 3 0和顯示電極1 3 5的狀態，對向貼合。然後，上述位址 電極1 3 0和顯示電極1 3 5乃連接於未圖示之交流電源。 然後，於各電極1 3 0、1 3 5經由通電，於放電顯示部 128，激發發光螢光體133，可進行彩色顯示。 於本實施形態，將上述位址電極丨3 〇、顯示電極 135、及螢光體133，使用圖1(a)所示之製造裝置1，可根 據圖21所示製造工程加以形成。以下，例示第1基板 1 2 6之位址電極1 3 0之形成工程。 此時’弟1基板126相當於本發明之顯示器基體之一 種。然後，此第1基板1 26載置於載置基台3之狀態下， 進行以下之工程。 •62- (59)590892 首先，液材吐出工程（S 11)中，將含有導電膜配線形 成用材料之液體材料（相當於本發明之液材之一種），做爲 液滴，著彈於位址電極形成範圍（相當於本發明之液材之 一種）。此液體材料乃做爲導電膜配線形成用材料，將金 屬等之導電性微粒子分散於分散媒。做爲此導電性微粒 子，使用包含金、銀、銅、鈀或鎳等之金屬微粒子，或導 電性聚合物等。

於此時，如上所述，設定驅動脈衝之波形形狀之故， 最佳化液滴之吐出量或飛行速度，於位址電極形成範圍， 著彈特定量之液體材料。

於第1基板1 26上之位址電極形成範圍，著彈液體材 料時，於著彈量檢出工程（S 1 2)中，於上述液材吐出工程 中，將著彈之液體材料量（本發明之液材量之一種），經由做 爲液材量檢出手段之液材感測器1 7，於每位址電極形成 範圍加以檢出。即，於每位址電極形成範圍，照射雷射光 線Lb的同時，將從位址電極形成範圍之光，以雷射受光 元件1 9受光，對應受光量（受光強度），判定液體材料之 著彈量。然後，檢出液體材料之著彈量時，向下個工程轉 移。 補正量取得工程（S 13)中，將於上述著彈檢出量工程 所檢出之各位址電極形成範圍之液體材料之著彈量，與對 於該位址電極形成範圍之液體材料之目標量（本發明之目 標液材量之一種）比較，將此等之差做爲補正量而取得。 於液材補充工程（S 1 4)中。於液體材料之著彈量則對 -63- (60)590892 於目標量不足之位址電極形成範圍上，定位噴射頭7，於 此狀態’將對應不足量之波形形狀之驅動脈衝，供予壓電 振動子2 1，於該位址電極形成範圍補充液體材料。然後， 對Μ成爲補充對象之所有位址電極形成範圍，液體材料之 補充終了時，則終止此工程。 之後，乾燥處理吐出後之液體材料，蒸發含於液體材 料之分散媒，形成位址電極1 3 0。

然而，乾燥處理吐出後之液體材料，經由蒸發包含於 液體材料之分散媒，形成位址電極1 3 0。 然而，於上述，雖例示位址電極1 3 0之形成，對於上 述顯示電極1 3 5及螢光體1 3 3，亦經由經過上述各工程加 以形成。 又，於螢光體133之形成時，將包含對應於各色（R、 G、Β)螢光材料的液體材料（本發明之液材之一種），從噴 射頭 7做爲液滴加以吐出，著彈於對應顏色之放電室 1 2 9(相當於本發明之液材範圍之一種）內。 如以上之說明，於上述製造裝置1，將著彈之液材量 於每液材範圍加以檢出，對應於從著彈液材量和目標液材 量之差求得之不足量，設定驅動脈衝之波形形狀。然後’ 將此設定之驅動脈衝，供予壓電振動子2 1，將不足量之 液材著彈於液材範圍之故，不使用專用之噴嘴或噴射頭 7，對於各液材範圍，可補充最佳量之液材。 又，除了液滴之量，可控制液滴之飛行速度之故’可 實現著彈位置之正確控制。即，掃瞄噴射頭7地’將液滴 -64- (61)590892 正確打入期望之液材範圍。由此，可達成製造時間之短 縮。

更且，於此製造裝置1，可將一滴之液材量及飛行速 度，於廣範圍變化之故，可製造1個液材笆！之大小不同 之種種顯示器。即，液材範圍之尺寸不同時，雖所需之液 材量亦不同，於此製造裝置1中，經由驅動脈衝之種類或 驅動脈衝之供給數，可於廣範圍，控制液滴之吐出，經由 變更驅動脈衝之波形形狀（各波形要素之設定），可以極高 之精度變更對於一滴之液材之量或飛行速度。因此，無需 使用專用之噴嘴或專用噴射頭，可做爲經由同樣之噴射頭 7可製造不同之複數種類之顯示器之汎用製造裝置而使 用。 然而，本發明乃非限定於上述之各實施形態，根據申 請專利範圍之記載可進行種種變形。 首先，關於本發明之液材量檢出手段，不限於示於上 述各實施形態之反射型之液材感測器1 7。 例如，將液材量檢出手段經由透過型之液材感測器 1 7 ’加以構成亦可。於此透過型之液材感測器1 7 ’中，從顯 示器基體之一方之表面側，照射雷射光線Lb，於與照射 側相反之另一方之表面側，將透過之透過雷射光線Lb之 強度（光量），經由雷射受光兀件19加以檢出。如此構成 時，與上述實施形態同樣’將著彈液材量於每畫素範圍 1 2 a加以檢出。 然而，於此構成中，如圖3 8所示，將電腦1 8和雷射 -65- (62)590892 受光元件19，挾持顯示器基體（圖38時爲濾光片基體2’ ） 地加以配置，同時掃瞄雷射發光元件1 8和雷射受光元件 1 9亦可。又，經由三稜鏡等，適切反射雷射光線Lb，將 從雷射發光元件1 8之雷射光線Lb，照射至畫素範圍 12a，將透過畫素範圍12a後之雷射光線Lb，導引（入射） 至雷射受光元件19亦可。

又，如圖39所示，將液材量0來出手段經由CCD陣 列140構成亦可。於此構成中，將載置基台3之載置面 3 a，經由例如面發光體加以構成，可以均勻之光量發光。 然後，於與導桿4之載置基台3之對向面，配設CCD陣 列140，受光透過畫素範圍12a之光。檢出墨水之著彈 量。然而於此構成中，CCD陣列140之解析度乃較畫素 範圍12a之大小爲高（細緻）時，由檢出精度提升之觀點視 之爲佳。 於此構成中，可檢出複數之液材範圍（此時爲畫素範 圍12a)之液材之著彈量之故，可達成檢出時間之短縮， 而可提升作業效率。 然而，有關做爲液滴吐出之材料，不限於具有光透過 性者。此時，經由檢出著彈之液體狀液材之表面高度，可 得知著彈液材量。因此，液材量檢出手段經由可檢出注入 墨水液之液面高度的液面檢出感測器加以構成亦可。 又，於上述，雖於狹窄範圍之液材範圍（例如、畫素 範圍1 2a)，例示吐出液材之情形，但例如形成圖20所示 之保護膜7 7時，於廣範圍之液材範圍吐出液材（塗佈於基 -66- (63)590892 體整面）之時，亦適用本發明。 又，於上述第3實施形態中，雖例示電漿型顯示裝置 之電極130、135之形成，但不限於此，於其他之電路基 板之電極等之金屬配線，亦可適用本發明。 又，電氣機械變換元件乃不限於上述壓電振動子 2 1，經由磁彎曲元件或靜電螺線管加以構成亦可。 【圖式簡單說明】

圖1乃說明顯示器製造裝置之一例圖，（a)乃顯示器 製造裝置之平面圖，（b)乃彩色濾光片之部分擴大圖。 圖2乃說明顯示器製造裝置之主要構成的方塊圖。 圖3乃說明液材感測器之模式圖。 圖4乃噴射頭之剖面圖。 圖5乃流路單元之擴大剖面圖。 圖6乃說明噴射頭之電氣性構成之方塊圖。

圖7乃說明驅動信號產生部之標準驅動信號之圖。 圖8乃說明含於標準驅動信號之標準驅動脈衝之圖。 圖9乃顯示於驅動脈衝中，調整驅動電壓時之吐出特 性之變化’（a)乃顯示變化驅動電壓時之液滴之飛行速度 的變化圖’（b)乃顯示變化驅動電壓時之液滴之重量的變 化圖。 圖l〇(a)乃顯示於標準驅動脈衝中，令液滴之飛行速 度設定於7m/s之時的驅動電壓及中間電位和液滴重量的 關係圖、（b)乃顯示將液滴之重量設定爲i5ng時之驅動電 •67- (64) (64)590892 壓及中間電位，以及液滴之飛行速度之關係圖。 圖11(a)乃顯示於標準驅動脈衝中，將液滴之飛行速 度設定成7m/s時之驅動電壓及膨脹要素之時間軸和液滴 之重量的關係圖，（b)乃將液滴重量設定於15ng時之驅動 電壓及膨脹要素之時間軸和液滴之飛行速度的關係圖 圖1 2乃顯示於標準驅動脈衝中，調整膨脹要素之時 間寬度時之吐出特性的變化，（a)改變時間寬度時之液滴 之飛行速度的變化圖，（b)改變時間寬度時之液滴之重量

圖13 (a)乃顯示於標準驅動脈衝中，將液滴之飛行速 度設定成7m/s時之驅動電壓及膨脹要素之時間軸和液滴 之重量的關係圖，（b)乃將液滴重量設定於15ng時之驅動 電壓及膨脹要素之時間軸和液滴之飛行速度的關係圖 圖14乃說明驅動信號產生部之微驅動信號圖。 圖1 5乃說明含於微驅動信號之微驅動脈衝圖。 圖1 6乃於微驅動脈衝，調整驅動電壓時之吐出特性 之變化，（a)乃顯示改變驅動電壓時之液滴之飛行速度的 變化圖，（b)乃顯示改變驅動電壓時之液滴之重量的變化 圖， 圖17(a)乃顯示於微驅動脈衝中，將液滴之飛行速度 設定成7m/s時之驅動電壓及中間電位和液滴之重量的關 係圖，（b)乃將液滴重量設定於5.5 ng時之驅動電壓及中間 電位和液滴之飛行速度的關係圖。 圖18 (a)乃顯示於微驅動脈衝中，將液滴之飛行速度 —68 - (65)590892 設定成7m/s時之驅動電壓及吐出電位和液滴之重量的關 係圖，（b)乃將液滴重量設定於5.5 ng時之驅動電壓及吐出 電位和液滴之飛行速度的關係圖。 圖1 9乃說明彩色濾光片製造工程之流程圖。 圖 2 0(a)〜（e)乃製造工程順序所示之彩色濾光片之模 式截面圖。 圖2 1乃說明著色層形成工程之流程圖。 圖22乃說明著色層形成工程之變形例之流程圖。

圖23乃說明準分子雷射光光源之模式圖。 圖24乃顯示使用適用本發明之彩色濾光片之液晶裝 置之槪略裝置的主要部剖面圖。 圖25乃顯示使用適用本發明之彩色濾光片之第2例 之液晶裝置之槪略裝置的主要部剖面圖。 圖26乃顯示使用適用本發明之彩色濾光片之第3例 之液晶裝置之槪略裝置的主要部剖面圖。

匱1 2 7乃第2之實施形態之顯示裝置之主要部剖面 圖。 匱1 28乃說明第2之實施形態之顯示裝置之製造工程 的流程圖。 圖29乃說明無機物間隔壁層之形成的工程圖。 圖3 0乃說明有機物間隔壁層之形成的工程圖。 圖31乃說明形成正孔注入/輸送層之過程的工程圖。 圖32乃說明形成正孔注入/輸送層之狀態的工程圖。 圖33乃說明形成藍色之發光層之過程的工程圖。 -69- (66)590892 圖34乃說明形成藍色之發光層之狀態的工程圖。 圖3 5乃說明形成各色之發光層之狀態的工程圖。 圖36乃說明陰極之形成的工程圖。 圖3 7乃第3之實施形態之顯示裝置之主要部分分解 斜視圖。 圖38乃說明將液材量檢出手段經由透過型之液材感 測器構成之例的模式圖。

圖3 9乃說明將液材量檢出手段經由C C d陣列構成之 例的模式圖。 【符號說明】 1 製造裝置 2 彩色爐光片 2， 濾光片基體 3 載置基台 3a 載置面 4 導桿 5 托架 7 噴射頭 8 液材貯存部 9 供給管 10 控制裝置 11 基板 12 被著色層 •70- (67)590892 12a 畫 素 範 圍 12b 分 隔 壁 部 17 液 材 感 測 器 18 雷 射 發 光 元 件 19 雷 射 受 光 元 件 22 振 動 子 單 元 23 殼 體 24 流 路 單 元 25 噴 嘴 開 □ 3 1 主 控 制 部 32 驅 動 信 號 產 生部 33 A/D 4 1 固 定 板 42 島 部 43 撓 性 纜 線 44 流 路 形 成 基 板 45 噴 嘴 板 46 彈 性 板 47 壓 力 室 48 共 通 液 室 49 液 體 供 給 □ 5 1 支 持 板 52 樹 脂 薄 膜 52 ° 6 1 偏 移 暫 存 器 -71 - (68)590892 62 偏 移 暫 存 器 63 閂 鎖 電 路 64 閂 鎖 電 路 65 解 碼 器 66 控 制 邏 輯 67 位 準 偏 移 器 68 開 關 電 路 72 黑 矩 陣 73 間 隔 壁 76R、 76G、 76B 著 色 層 77 保 護 膜 80 準 分 子 雷 射 光 源 8 1 -- 稜 鏡 85 液 晶 裝 置 85’ 液 晶 裝 置 8 5，， 液 晶 裝 置 86 對 向 基 板 865 對 向 基 板 8 6，， 對 向 基 板 87 液 晶 層 88 第 1 電 極 88? 第 1 電 極 88a 繞 道 配 線 89 第 2 電 極

-72- (69)590892 89? 第 2 電 極 90 第 1 配 向 膜 9(Γ 第 1 配 向 膜 9 1 第 2 配 向 膜 91 ” 第 2 配 向 膜 92 間 隔 物 92” 間 隔 物 93 密 封 材 93 5 密 封 材 97 電 極 98 配 向 膜 100 畫 素 電 極 10 1 掃 猫 線 102 信 m 線 103 薄 膜 電 晶 體 106 顯 示 裝 置 106’ 顯 示 裝 置 基體 107 電 路 元 件 部 108 發 光 元 件 部 109 陰 極 110 基 板 111 基 材 保 護 膜 112 半 導 體 膜 112a 源 極 範 圍 -73- (70)590892 1 12b 汲 極 範 圍 112c 通 道 範 圍 113 閘 極 絕 緣 膜 114 閘 極 電 極 115a 第 1 層 間 絕 緣 膜 115b 第 2 層 間 絕 緣 膜 1 16a 連 通 孔 1 16b 連 通 孔 117 畫 素 電 極 117a 電 極 面 118 電 源 線 119 薄 膜 電 晶 體 120 機 能 層 12 1 間 隔 壁 部 12 1a Μ 機 物 間 隔 壁 層 12 1a· 第 1 積 層 部 1 ： 2 1a 12 1b 有 機 物 間 隔 壁 層 12 1s 壁 面 121t 上 面 122 開 □ 部 125 m 示 裝 置 126 第 1 基 板 127 第 2 基 板 128 放 電 顯 示 部

-74- (71)590892 129 放電室 129(R) 紅色放電室 12 9(G) 綠色放電室 129(B) 藍色放電室 130 位址電極 131 介電質層 13 2 間隔壁 133 螢光體

133(R) 紅色螢光體 133(G) 綠色螢光體 133(B) 藍色螢光體 135 顯示電極 136 介電質層 137 保護膜 140 C C D 陣歹[]

Lb 雷射光線 -75-

Claims (1)

1. (1)590892 拾、申請專利範圍 1· 一種顯示器製造裝置，屬於具備連通於噴嘴開 ’口，可貯留液材之壓力室及可變動該壓力室之容積的電性 機械變換元件；具有將伴隨驅動脈衝之對於電性機械變換 元件的供給，將壓力室內之液材成爲液滴狀，可由噴嘴開 口吐出之噴射頭，和可發生前述驅動脈衝之驅動脈衝產生 手段；

   將由前述噴嘴開口吐出之液材，著彈於顯示器基體表面之 液材範圍地加以構成之顯示器製造裝置，其特徵係設置 將著彈之液材量，於每一液材範圍可被檢出之液材量檢出 手段7 和由該液材量檢出手段所檢出之著彈液材量和目標液材量 之差，取得該液材範圍之液材不足量的不足量取得手段， 和設定驅動脈衝產生手段所產生之驅動脈衝之形狀的脈衝 形狀設定手段； 該脈衝形狀設定手段係對應於不足量取得手段所取得 之液材不足量，設定驅動脈衝之波形形狀’ 將該驅動脈衝由驅動脈衝產生手段產生’供予電性機 械變換元件，將前述不足量之液材補充至液材範圍者° 2.如申請專利範圍第1項之顯示器製造裝置’其 中，將前述液材量檢出手段’經由成爲光源之發光元件’ 和可輸出對應受光之光線強度之電壓的電氣信號之受光元 件所構成， 將自發光元件之光線照射於'液材範匿I同時’將自該'液材·範 -76- (2)590892 圍之光線，受光於受光元件，經由受光之光線強度，檢出 該液材範圍之著彈液材量。 3. 如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 置，其中，前述驅動脈衝係包含將定常容積之壓力室，以 不吐出液材程度之速度膨漲的膨漲要素，和保持壓力室之 膨漲狀態之膨漲保持要素，和將保持膨漲狀態之壓力室， 急遽加以收縮，吐出液材的吐出要素的第1驅動脈衝；

   脈衝形成設定手段係設定由第1驅動脈衝之最大電位至最 低電位的驅動電壓。 4. 如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 置，其中，前述驅動脈衝係包含將定常容積之壓力室，以 不吐出液材程度之速度膨漲的膨漲要素，和保持壓力室之 膨漲狀態之膨漲保持要素，和將保持膨漲狀態之壓力室， 急遽加以收縮，吐出液材的吐出要素的第1驅動脈衝； 脈衝形成設定手段係設定對應於定常容積之中間電位。

   5. 如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 置，其中，前述驅動脈衝係包含將定常容積之壓力室，以 不吐出液材程度之速度膨漲的膨漲要素，和保持壓力室之 膨漲狀態之膨漲保持要素，和將保持膨漲狀態之壓力室， 急遽加以收縮，吐出液材的吐出要素的第1驅動脈衝； 脈衝形成設定手段係設定膨漲要素之時間幅度。 6. 如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 置，其中，前述驅動脈衝係包含將定常容積之壓力室，以 不吐出液材程度之速度膨漲的膨漲要素，和保持壓力室之 -77- (3) (3)590892 膨漲狀態之膨漲保持要素’和將保持膨漲狀態之壓力室， 急遽加以收縮，吐出液材的吐出要素的第1驅動脈衝； 脈衝形成設定手段係設定膨漲保持要素之時間幅度。 7. 如申請專利軺圍桌1項或第2項之顯示器製造裝 置，其中，前述驅動脈衝係包含將彎月面向壓力室側大力 牽引急遽膨漲定常容積之壓力室的第2膨漲要素，和經由 收縮壓力室，將藉由第2膨漲要素牽引進入之彎月面之中 心部分成爲液滴狀加以吐出之第2吐出要素； 脈衝形成設定手段係設定由第2驅動脈衝之最大電位至最 · 低電位的驅動電壓。 8. 如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 置’其中’前述驅動脈衝係包含將彎月面向壓力室側大力 牽引急遽膨漲定常容積之壓力室的第2膨漲要素，和經由 收縮壓力室，將藉由第2膨漲要素牽引進入之彎月面之中 心部分成爲液滴狀加以吐出之第2吐出要素； 脈衝形成設定手段係設定對應於定常容積之中間電位。 9 ·如申請專利範圍第i項或第2項之顯示器製造裝 β 置’其中，前述驅動脈衝係包含將彎月面向壓力室側大力 牽引急遽膨漲定常容積之壓力室的第2膨漲要素，和經由 收縮壓力室，將藉由第2膨漲要素牽引進入之彎月面之中 心部分成爲液滴狀加以吐出之第2吐出要素； 脈衝形成設定手段係設定第2吐出要素之終端電位。 1〇·如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 置’其中，前述驅動脈衝產生手段係於單位周期內可產生 -78- (4) (4)590892 複數之驅動脈衝地加以構成， 經由可變每一單位周期之壓力產生元件之驅動脈衝之供給 數，可調整液材之吐出量。 11·如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 置，其中，前述液材係包含發光材料之液體狀之材料。 12·如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 置，其中，前述液材係包含正孔植入/輸送層形成材料的 液體狀之材料。 13. 如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 Φ 置，其中，前述液材係包含導電性微粒子的液體狀之材 料。 14. 如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 置，其中，前述液材係包含著色成分的液體狀之材料。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項之顯示器製造裝置，其 中，設置由前述液材量檢出手段所檢出之著彈液材量和該 液材範圍之目標液材量之差，取得液材超過量之超過量取 | 得手段， 和分解液材中之著色成分之著色成分分解手段； 對應液材超過量，令著色成分分解手段動作，分解超過分 之著色成分。 1 6 .如申請專利範圍第1 5項之顯示器製造裝置’其 中，將前述著色成分分解手係經由可產生準分子雷射之準 分子雷射光源所構成。 17.如申請專利範圍第1項或第2項之顯示器製造裝 -79- 590892

   置，其中，前述電性機械變換元件爲壓電振動子。 18. —種顯示器製造方法，屬於具備連通於噴嘴開口 之壓力室及可變動該壓力室之容積的電性機械變換元件； 具有將伴隨驅動脈衝之對於電性機械變換元件的供給，將 壓力室內之液材成爲液滴狀，可由噴嘴開口吐出之噴射

   頭，和可發生前述驅動脈衝之驅動脈衝產生手段之顯示器 製造裝置，於設於顯示器基體之複數之液材範圍，經由令 從前述噴嘴開口吐出之液材加以著彈’製造顯示器的顯示 器製造方法，其特徵係經過 將爲吐出目標量之液材之驅動脈衝，經由供予電性機械變 換元件，於各液材範圍吐出液材的液材吐出工程， 和將著彈之液材量，經由液材量檢出手段’於每一液材範 圍檢出，由被檢出之著彈液材量和對於液材範圍之目標液 材量的差，取得液材過多、不足量的補正量取得工程’ 和著彈液材量對於目標液材量爲不足之時’對應該不足 量，設定驅動脈衝之波形形狀’將該設定之波形形狀之驅 動脈衝，由驅動脈衝產生手段產生’供予電性機械變換元 件，補充不足量之漩材的液材補充工程。 19.如申請專利範圍第1 8項之顯示器製造方法’其中 ，著彈液材量對於目標液材量超過之時’將令分解液材中 之著色成分的著色成分分解手段動作’分解著色成分之液 材分解工程，在於前述補正量取得工程之後加以進行。 -80-