WO2003098286A1

WO2003098286A1 - Appareil de fabrication d'affichage et procede de fabrication d'affichage

Info

Publication number: WO2003098286A1
Application number: PCT/JP2003/006167
Authority: WO
Inventors: Tomoaki Takahashi; Hirofumi Sakai
Original assignee: Seiko Epson Corporation
Priority date: 2002-05-17
Filing date: 2003-05-16
Publication date: 2003-11-27
Also published as: JP2004055520A; US20040051817A1; US7223309B2; TW200403152A; JP4200810B2; KR100569691B1; CN1522375A; KR20040020897A; CN1228651C; TW590892B

Description

明細書'

ディスプレー製造装置、及び、ディスプレー製造方法 [発明の属する技術分野]

本発明は、液晶表示装置用のカラーフィルタや E L (Electro Luminescence) 表示装置等の各種ディスプレーを、液材を吐出させることで製造するディスプレ一製造装置、及び、このディスプレーの製造方法に関する。

[背景技術]

液晶表示装置用のカラーフィルタや E L表示装置、或いはプラズマ表示装置等を製造するにあたり、液体状の材料（液材）を液滴状にして吐出可能な噴射へッド（例えば、インクジェットヘッド）が好適に用いられている。この噴射ヘッドを用いた製造装置では、例えば、カラーフィルタの製造において、ノズル開口から吐出させた液材を基体表面に設けた複数の画素領域に打ち込む。しかし、ノズル開口毎の特性ばらつき等により、画素領域に色むらや色抜けの不良が生じる場合がある。そして、この不良が生じた場合には、不良が生じた画素領域に対して液材を吐出して修復することがなされている。例えば、特許文献 1には、カラーフィルタの色むら部分や色抜け部分に対して所定の色のィンク滴を吐出することで不良を修復する技術が提案されている。

ところで、上記公報に開示された製造装置では、発熱素子を備えた噴射ヘッドが用いられている。このタイプの噴射へッドは、インク滴を吐出させるにあたり、発熱素子を発熱させて圧力室内のインク†夜を沸騰させる。即ち、沸騰で生じた気泡により液体状のインクを加圧してノズル開口から吐出させる。このため、吐出されるインクの量（インク滴の量）は、主に圧力室の容積と発熱素子の面積によつて決まってしまう。そして、沸騰時に生じる気泡の体積を高い精度で制御することは困難であるため、供給電力量の調整による吐出量の高精度の制御も困難である。

従って、極く少量の液材を補充して色むら部分や色抜け部分に対する修復を行うには、例えば、特許文献 2や特許文献 3に開示されているように、専ら修復を行う専用ノズルゃ専用ヘッドを備える必要があった。

特許文献 1 ：特開平 7— 3 1 8 7 2 4号公報特許文献 2 ：特開平 8— 8 2 7 0 6号公報

特許文献 3 ：特開平 8— 2 9 2 3 1 1号公報

[発明の開示]

しかしながら、専用ノズルや専用ヘッドを別途設けてしまうと、装置構成が複雑化して部品点数の増加を招いてしまう。また、汎用性に乏しいという問題もある。

[図面の簡単な説明]

図 1は、ディスプレー製造装置の一例を説明する図であり、（a ) は製造装置の平面図、（b ) はカラーフィルタの部分拡大図である。

図 2は、ディスプレー製造装置の主要構成を説明するブ ςック図である。

図 3は、液材センサを説明する模式図である。

図 4は、噴射ヘッドの断面図である。

図 5は、流路ユニットの拡大断面図である。

図 6は、噴射へッドの電気的構成を説明するプロック図である。

図 7は、駆動信号発生部が発生する標準駆動信号を説明する図である。

図 8は、標準駆動信号に含まれる標準駆動パルスを説明する図である。

図 9は、標準駆動パルスにおいて駆動電圧を調整した場合の吐出特性の変化を示し、（a ) は駆動電圧を変化させた際の液滴の飛行速度の変化を示した図、（b ) は駆動電圧を変化させた際の液滴の重量の変化を示した図である。

図 1 0 ( a ) は、標準駆動パルスにおいて液滴の飛行速度を 7 mZ sに設定した際の駆動電圧及び中間電位と液滴の重量との関係を示した図、（b ) は、液滴の重量を 1 5 n gに設定した際の駆動電圧及び中間電位と液滴の飛行速度との関係を示した図である _ώ

図 1 1 ( a ) は、標準駆動パルスにおいて液滴の飛行速度を 7 m/ sに設定した際の駆動電圧及び膨張要素の時間幅と液滴の重量との関係を示した図、（ b )は、液滴の重量を 1 5 n gに設定した際の駆動電圧及び膨張要素の時間幅と液滴の飛行速度との関係を示した図である。

図 1 2は、標準駆動パルスにおいて膨張ホールド要素の時間幅を調整した場合の吐出特性の変化を示し、（a ) は時間'幅を変化させた際の液滴の飛行速度の変化を示した図、（b )は時間幅を変化させた際の液滴の重量の変化を示した図である。図 1 3 ( a ) は、標準駆動パルスにおいて、液滴の飛行速度を 7 mZ sに設定した際の駆動電圧及び膨張ホールド要素の時間幅と液滴の重量との関係を示した図、（b ) は、液滴の重量を 1 5 n gに設定した際の駆動電圧及び膨張ホールド要素の時間幅と液滴の飛行速度との関係を示した図である。

図 1 4は、駆動信号発生部が発生するマイクロ駆動信号を説明する図である。図 1 5は、マイクロ駆動信号に含まれるマイクロ駆動パルスを説明する図である。

図 1 6は、マイクロ駆動パルスにおいて駆動電圧を調整した場合の吐出特性の変化であり、（ a )は駆動電圧を変化させた際の液滴の飛行速度の変化を示した図、 ( b ) は駆動電圧を変化させた際の液滴の重量の変化を示した図である。

図 1 7 ( a ) は、マイクロ駆動パルスにおいて液滴の飛行速度を 7 m/ sに設定した際の駆動電圧及び中間電位と液滴の重量との関係を示す図、（b ) は、液滴の重量を 5 . 5 n gに設定した際の駆動電圧及び中間電位と液滴の飛行速度との関係を示した図である。

図 1 8 ( a ) は、マイクロ駆動パルスにおいて液滴の飛行速度を 7 m/ sに設定した際の駆動電圧及び吐出電位と液滴の重量との関係を示す図、（b ) は、液滴の重量を 5 . 5 n gに設定した際の駆動電圧及び吐出電位と液滴の飛行速度との関係を示す図である。

図 1 9は、カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。

図 2 0 ( a ) 〜（e ) は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。

図 2 1は、着色層形成工程を説明するフローチヤ一トである。

図 2 2は、着色層形成工程の変形例を説明するフローチャートである。

図 2 3は、エキシマーレーザー光源を説明する模式図である。

図 2 4は、本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。

図 2 5は、本発明を適用したカラーフィルタを用いた第 2の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。図 2 6は、本発明を適用したカラ一フィルタを用いた第 3の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。

図 2 7は、第 2の実施形態における表示装置の要部断面図である。

図 2 8は、第 2の実施形態における表示装置の製造工程を説明するフローチヤートである。

図 2 9は、無機物バンク層の形成を説明する工程図である。

図 3 0は、有機物バンク層の形成を説明する工程図である。

図 3 1は、正孔注入/輸送層を形成する過程を説明する工程図である。

図 3 2は、正孔注入/輸送層が形成された状態を説明する工程図である。図 3 3は、青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。

図 3 4は、青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。

図 3 5は、各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。

図 3 6は、陰極の形成を説明する工程図である。

図 3 7は、第 3の実施形態における表示装置の要部分解斜視図である。

図 3 8は、液材量検出手段を透過型の液材センサによって構成した例を説明する模式図である。

図 3 9は、液材量検出手段を C C Dアレイによって構成した例を説明する模式図である。

[発明を実施するための最良の形態]

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル開口に連通し液材を貯留可能な圧力室及び該圧力室の容積を変動可能な電気機械変換素子を備え、駆動パルスの電気機械変換素子への供給に伴い圧力室内の液材を液滴状にしてノズル開口から吐出可能な噴射へッドと、

前記駆動パルスを発生可能な駆動パルス発生手段とを有し、

前記ノズル開口から吐出した液材をディスプレー基体表面の液材領域に着弾させるように構成したディスプレー製造装置において、

着弾した液材量を液材領域毎に検出可能な液材量検出手段と、

該液材量検出手段が検出した着弾液材量と目標液材量との差から当該液材領域の液材不足量を取得する不足量取得手段と、駆動パルス発生手段が発生する駆動パルスの形状を設定するパルス形状設定手段とを設け、

該パルス形状設定手段は不足量取得手段が取得した液材不足量に応じて駆動パルスの波形形状を設定し、

該駆動パルスを駆動パルス発生手段から発生させて電気機械変換素子に供給することで、前記不足量の液材を液材領域に補充することを特徴とする。

なお、「ディスプレー」の語は通常よりも広義に用い、表示装置そのものに加えて表示装置に用いられるカラーフィルタ等も含まれる。また、「液材」は、溶媒（又は分散媒）の他に染料や顔料その他の材料を含む液体であって、ノズル開口から吐出可能であれば固体物質が混入したものも含む意味で用いる。また、「液材領域」とは、液滴として吐出された液材の着弾領域を意味する。

上記構成によれば、着弾した液材の量を液材量検出手段によつて液材領域毎に検出し、検出された着弾液材量と液材領域に対する目標液材量との差から液材過不足量を取得し、着弾液材量が目標液材量に対して不足している場合に、該不足量に応じて駆動パルスの波形形状を設定して駆動パルス発生手段から発生させて不足量の液材を補充するので、 1つの噴射へッドで目標液材量に対応する量の液材と補充量に対応する量の液材とを吐出させることができる。これにより、各液材領域における着弾液材量が揃ったディスプレーを製造できる。

そして、専用の噴射ヘッドやノズルを設ける必要がないので、装置構成の簡素化が図れる。また、用途に応じて制御対象となる噴射ヘッドやノズルを切り替える必要もないので、制御の簡素化も図れる。

上記構成において、前記液材量検出手段を、光源となる発光素子と、受光した光の強度に応じた電圧の電気信号を出力可能な受光素子とによつて構成し、発光素子からの光を液材領域に照射すると共に該液材領域からの光を受光素子に受光させ、受光した光の強度によって該液材領域の着弾液材量を検出することが好ましい。

なお、「液材領域からの光」とは、液材領域で反射した反射光と液材領域を透過した透過光の両方を含む。

上記構成において、前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第 1駆動パルスであり、

パルス形状設定手段は、第 1駆動パルスにおける最大電位から最低電位までの駆動電圧を設定することが好ましい。

また、上記構成において、前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第 1駆動パルスであり、

パルス形状設定手段は、定常容積に対応した中間電位を設定する構成とすることもできる。

パルス形状設定手段は、膨張要素の時間幅を設定する構成を採ることもできる。また、上記構成において、前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第 1駆動パルスであり、 ■ パルス形状設定手段は、膨張ホールド要素の時間幅を設定する構成を採ることもできる。

また、上記構成において、前記駆動パルスは、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むべく定常容積の圧力室を急激に膨張させる第 2膨張要素と、圧力室を収縮させることで第 2膨張要素により引き込まれたメニスカスの中心部分を液滴状にして吐出させる第 2吐出要素とを含む第 2駆動パルスであり、

パルス形状設定手段は、第 2駆動パルスにおける最大電位から最低電位までの駆動電圧を設定する構成を採ることができる。

パルス形状設定手段は、定常容積に対応する中間電位を設定する構成を採ることもできる。 ·

パルス形状設定手段は、第 2吐出要素の終端電位を設定する構成を採ることもできる。

さらに、上記構成において、前記駆動パルス発生手段は、単位周期内に複数の駆動パルスを発生可能に構成し、単位周期あたりの圧力発生素子への駆動パルスの供給数を可変することにより、液材の吐出量を調整可能とする構成を採ることもできる。

上記各構成によれば、補充する液材の量を極めて高い精度で制御できるので、各液材領域における着弾液材量を高いレベルで揃えることができる。また、吐出される液材の飛行速度も制御できるので、噴射へッドを走査しつつ液材を吐出させても、液材の着弾位置を正確に制御することができる。また、異なる吐出量の液材であっても飛行速度を揃えることができる。さらに、空気の粘性抵抗の影響を大きく受けてしまう極く少量の液材についても対応することができる。

また、上記構成において、前記液材として、発光材料を含む液体状の材料、正孔注入/輸送層形成材料を含む液体状の材料、又は、導電性微粒子を含む液体状の材料を用いることができる。

また、上記構成において、前記液材として、着色成分を含む液体状の色材を用いることもできる。そして、この構成において、前記液材量検出手段が検出した着弾液材量とその液材領域における目標液材量との差から液材超過量を取得する超過量取得手段と、液材中の着色成分を分解する着色成分分解手段とを設け、液材超過量に応じて着色成分分解手段を作動させ、超過分の着色成分を分解する構成とするのが好ましい。また、この構成において、前記着色成分分解手段をェキシマーレーザー光を発生可能なエキシマーレーザー光源によつて構成することができる。

さらに、上記各構成において、前記電気機械変換素子を圧電振動子とする構成を採ることができる。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。

〔発明の実施の形態〕

以下、.本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。まず、図 1及び図 2に基づいて、ディスプレー製造装置 1 (以下、製造装置 1という。）の基本構成について説明する。

図 1 ( a ) に例示した製造装置 1は、カラーフィルタ (本発明におけるデイスプレーの一種） 2の基体であるフィルタ基体 2 (本発明におけるディスプレー基体の一種）を载置可能な载置面を有する矩形状の载置基台 3と、載置基台 3の一側の辺（主走査方向）に沿って移動可能なガイドバー 4と、このガイドバー 4 に取り付けられ、ガイドバー 4の長手方向（副走查方向）に沿って移動可能なキャリッジ 5と、ガイドバー 4及びキヤリッジ 5を移動させる際の駆動源となるキャリッジモータ 6 (図 2参照）と、噴射ヘッド 7に供給する液材を貯留可能な液材貯留部 8と、この液材貯留部 8と噴射へッド 7との間に接続され、液材の流路を形成する供給チューブ 9と、噴射へッド 7等の作動を電気的に制御する制御装置 1 0とを有している。本実施形態においては、液材の一種としてインク液（染料又は顔料等の着色成分を含む液体状の材料）が液材貯留部 8に貯留される。上記のフィルタ基体 2 は、例えば図 1 ( b ) に示すように、基板 1 1と、この基板 1 1の表面に積層された被着色層 1 2とから概略構成されている。本実施形態においては、基板 1 1としてガラス基板を用いるが、透明性及び機械的強度を満足するものであればガラス以外の材料を用いることもできる。被着色層 1 2 は、例えば感光性樹脂によって形成され、 R (赤）， G (緑）， B (青）の何れかの色に着色される画素領域 1 2 a (フィルタエレメントとも呼ばれ、本発明の液材領域の一種）を複数備える。本実施形態では、この画素領域 1 2 aを平面視矩形状に構成し、各画素領域 1 2 aを千鳥格子状に設けている。そして、 '噴射へッド 7は、液材、即ち、上記各色のインク液を液滴（インク滴）として所望の画素領域 1 2 aに対して選択的に吐出可能である。なお、本実施形態では、各画素領域 1 2 aへの液滴の吐出に先立ち、隣り合う'画素領域 1 2 a , 1 2 aを区画する区画壁部 1 2 bを基板 1 1上に形成している。なお、この区画壁部 1 2 bは、ブラックマトリクス 7 2及びバンク 7 3 (何れも図 2 0参照）により構成されている。

なお、カラーフィルタ 2の製造工程についての詳細は、図 1 9及び図 2 0を用いて後述する。

上記の載置基台 3は、载置面 3 aが光反射面によって構成された略長方形の板状部材である。この載置基台 3の大きさは、フィルタ基体 2 の大きさに基づいて規定され、少なくともこのフィルタ基体 2 'よりも一回り大きく設定される。また、ガイドバー 4は平たい棒状部材であり、載置基台 3の短辺方向（Y軸，副走査方向に相当）に平行に架設され、载置基台 3の長辺方向（X軸，主走査方向に相当）に移動可能に取り付けられている。

上記のキヤリッジ 5は、図 2に示すように、上記の噴射へッド 7と液材センサ 1 7とが取り付けられたブロック状部材である。

液材センサ 1 7は、本発明の液材量検出手段の一種であり、光源となる発光素子と、受光した光の強度に応じた電圧の電気信号を出力可能な受光素子とを備えている。本実施形態では、発光素子としてレーザー発光素子 1 8を用い、受光素子としてレーザー受光素子 1 9を用いている。そして、図 3に示すように、レーザ一発光素子 1 8からのレーザー光線 L bを画素領域 1 2 aに向けて照射し、画素領域 1 2 aからの反射レーザー光線 L bをレーザー受光素子 1 9に受光させている。この液材センサ 1 7では、受光光量（受光強度）に応じた電圧の信号をレ一ザー受光素子 1 9が出力する。この受光光量は画素領域 1 2 aに着弾した液材量（本実施形態においてはインク量）に応じて変化するので、即ち、画素領域 1 2 aに着弾した液材量が多くなる程に受光光量が減少し、液材量が少なくなる程に受光光量が増加するので、液材センサ 1 7から出力される信号の電圧を検出することで画素領域 1 2 aに着弾した着弾液材量を取得できる。

噴射へッド 7は、例えば、図 4に示すように、複数の圧電振動子 2 1を有する振動子ユニット 2 2と、この振動子ユニット 2 2を収納可能なケース 2 3と、ケース 2 3の先端面に接合される流路ュニット 2 4とを備えている。この噴射へッド 7は、流路ユニット 2 4のノズル開口 2 5を下側（载置基台 3側）に向けた状態で取り付けられており、液材をノズル開口 2 5から液滴の状態で吐出することができる。本実施形態では、 R , G， Bからなる 3色のインク液を個別に吐出可能である。なお、この噴射ヘッド 7については、後で詳しく説明する。

上記の液材貯留部 8は、噴射ヘッド 7に供給する液材が個別に貯留される。本実施形態では、上記したように、 R , G , Bからなる 3色のインク液を個別に貯留している。また、供給チューブ 9も噴射ヘッド 7に供給するインク液の種類に応じた複数本配設される。 '

上記の制御装置 1 0は、 C P U ' R OM ' R AM等（何れも図示せず）を含んで構成された主制御部 3 1と、噴射へッド 7に供給するための駆動信号を発生する駆 ¾信号発生部 3 2と、レーザー受光素子 1 9からの出力電圧（電圧レベル）をデジタルデータに変換するアナログデジタル変換器 3 3 (以下、 A/D変換器 3 3という。）とを備えている。この AZD変換器 3 3からの信号は駆動信号発生部 3 2に入力されている。

上記の主制御部 3 1は、この製造装置 1における制御を行う主制御手段として機能し、例えば、液滴の吐出制御に関する吐出データ（S I ) を生成したり、キャリッジモータ 6を制御するための移動制御情報（D R V 1 )を生成したりする。また、主制御部 3 1は、噴射ヘッド 7の制御用信号（C K， L A T , C H) を生成したり、駆動信号発生部 3 2へ出力する波形情報（D A T )を生成したりする。従って、主制御部 3 1は、本発明におけるパルス形状設定手段としても機能する。さらに、主制御部 3 1は、後述するように本発明における不足量取得手段や超過量取得手段としても機能する。 ' 上記の吐出データは、液滴を吐出するか否か、及び吐出する場合の吐出量を示すデータであり、本実施形態では 2ビットのデータで構成される。この吐出データは、 1つの吐出周期当たりの吐出状態を 4段階に分けて表す。例えば、液滴を吐出しない「非吐出」、少量の液滴を吐出する「吐出 1」、中量の液滴を吐出する「吐出 2」、及ぴ、多量の液滴を吐出する「吐出 3」の 4段階の吐出量を表す。そして、「非吐出」は吐出データ [00] で表され、「吐出 1」は吐出データ [0 1] で表される。また、「吐出 2」は吐出データ [1 0] で表され、「吐出 3」は吐出データ [1 1] で表される。

噴射へッド 7の制御用信号は、例えば、動作クロックとしてのクロック信号（C K)、吐出データのラッチタイミングを規定するラッチ信号（LAT)、及ぴ、駆動信号内の各駆動パルスの供給開始タイミングを規定するチャンネル信号（CH) によって構成される。従って、主制御部 3 1は、これらのクロック信号，ラッチ信号，チャンネル信号を噴射へッド 7に対して適宜出力する。

波形情報（DAT) は、駆動信号発生部 3 2が発生する駆動信号の波形形状を規定する。本実施形態では、この波形情報を、単位更新時間あたりの電圧増減量を示すデータによって構成している。そして、主制御部 3 1は、 A/D変換器 3 3からの電圧情報（即ち、液材量検出手段が検出した着弾液材量）に応じて駆動パルスの波形形状を設定する（後述する）。

駆動信号発生部 3 2は、本発明における駆動パルス発生手段の一種である。即ち、主制御部 3 1からの波形情報に基づき、駆動信号及びこの駆動信号に含まれる駆動パルスの波形形状を設定し、この波形形状の駆動パルスを発生する。この駆動信号発生部 3 2が発生する駆動信号は、例えば、図 7に示す信号であり、所定量の液滴を噴射へッド 7のノズル開口 2 5から吐出させるための駆動パルス (P S 1〜P S 3) を、吐出周期 T内に複数含んでいる。そして、駆動信号発生部 3 2は、この駆動信号を吐出周期 T毎に繰り返し発生する。なお、この駆動信号については、後で詳しく説明する。

次に、上記の噴射ヘッド 7について詳細に説明する。まず、噴射ヘッド 7の機械的構成について説明する。

上記の圧電振動子 2 1は、本発明の電気機械変換素子、即ち、電気エネルギーを運動エネルギーに変換可能な素子の一種であり、圧力室 47の容積を変動させる。この圧電振動子 21は、例えば、 30 μ m~ 1◦ 0 μ m程度の極めて細い幅の櫛歯状に切り分けられている。例示した圧電振動子 21は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成された積層型の圧電振動子 2 1であって、電界方向に直交する素子長手方向に伸縮可能な縦振動モードの圧電振動子 21である。そして、各圧電振動子 2 1は、基端側部分が固定板 4 1の上に接合されており、自由端部を固定板 4 1の縁よりも外側に突出させた片持ち梁の状態で取り付けられている。また、各圧電振動子 2 1の先端面は、流路ユニット 2 4の島部 4 2に当接状態で固定されており、フレキシブルケーブル 4 3は、固定板 4 1とは反対側となる振動子群の側面で、各圧電振動子 2 1と電気的に接続されている。 '

流路ュ-ット 2 4は、図 5に示すように、流路形成基板 4 4を間に挟んでノズルプレート 4 5を流路形成基板 4 4の一方の表面に配置し、弾性板 4 6をノズルプレート 4 5とは反対側となる他方の表面に配置して積層することで構成されている。

ノズルプレート 4 5は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口 2 5を列状に開設したステンレス鋼製の薄いプレートである。本実施形態では、 9 0 d p iのピツチで 4 8個のノズル開口 2 5を列設し、これらのノズル開口 2 5によってノズル列を構成する。

流路形成基板 4 4は、ノズルプレート 4 5の各ノズル開口 2 5に対応させて圧力室 4 7となる空部を形成するとともに、液体供給口および共通液室となる空部を形成した板状の部材である。

圧力室 4 7は、ノズル開口 2 5の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室であり、偏平な凹室で構成されている。そして、圧力室 4 7の一端と共通液室 4 8との間には、流路幅が圧力室 4 7よりも十分に狭い液体供給口 4 9が形成されている。また、共通液室 4 8から最も離れた圧力室 4 7の他端には、ノズル開口 2 5と圧力室 4 7とを連通するノズル連通口 5 0を板厚方向に貫通させて設ける。

弾性板 4 6は、ステンレス製の支持板 5 1上に P P S (ポリフエ二レンサルフアイド）等の樹脂フィルム 5 2をラミネート加工した二重構造である。そして、圧力室 4 7に対応した部分の支持板 5 1を環状にエッチング加工して島部 4 '2を形成し、共通液室 4 8に対応する部分の支持板 5 1をエッチング加工で除去して樹脂フィルム 5 2だけにしている。

上記の構成を有する噴射へッド 7では、充放電によって圧電振動子 2 1が素子長手方向に伸縮する。即ち、放電によって圧電振動子 2 1は伸長し、島部 4 2がノズルプレート 4 5側に押圧される。一方、充電によって圧電振動子 2 1は収縮し、島部 4 2がノズルプレート 4 5から離隔する方向に移動する。そして、圧電振動子 2 1の伸長により、島部周辺の樹脂フィルム 5 2が変形して圧力室 4 7が収縮する。また、圧電振動子 2 1の収縮によって圧力室 4 7が膨張する。このように、圧力室 4 7の膨張や収縮を制御することで圧力室 4 7内の液体圧力に変化を与えることができ、ノズル開口 2 5から液滴（インク滴）を吐出することがでさる。

次に、この噴射ヘッド 7の電気的構成について説明する。図 6に示すように、この噴射ヘッド 7は、吐出データがセットされるシフトレジスタ 6 1， 6 2 と、シフトレジスタ 6 1， 6 2にセットされた吐出データをラッチするラッチ回路 6 3， 6 4と、ラッチ回路 6 3 , 6 4でラッチされた吐出データをパルス選択デー. タに翻訳するデコーダ 6 5と、タイミング信号を出力する制御ロジック 6 6と、電圧増幅器として機能するレベルシフタ 6 7と、圧電振動子 2 1に対する駆動信号の供給を制御するスィッチ回路 6 8と、圧電振動子 2 1とを備えている。

シフトレジスタ 6 1 , 6 2は、第 1シフトレジスタ 6 1及び第 2シフトレジスタ 6 2から構成される。そして、第 1シフトレジスタ 6 1には、全てのノズル開口 2 5に関する下位ビット（ビット 0 ) の吐出データがセットされ、第 2シフトレジスタ 6 2には、全てのノズル開口 2 5に関する上位ビット（ビット 1 ) の吐出データがセットされる。

ラッチ回路 6 3， 6 4は、第 1ラッチ回路 6 3及び第 2ラッチ回路 6 4から構成される。そして、第 1ラッチ回路 6 3は第 1シフトレジスタ 6 1に電気的に接続され、第 2ラッチ回路 6 4は第 2シフトレジスタ 6 2に電気的に接続されている。従って、これらのラッチ回路 6 3 , 6 4にラッチ信号が入力されると、第 1 ラツチ回路 6 3は第 1シフトレジスタ 6 1にセットされた下位ビットの吐出データをラッチし、第 2ラツチ回路 6 4は第 2シフトレジスタ 6 2にセットされた上位ビットの吐出データをラッチする。

ラツチ回路 6 3， 6 4でラツチされた吐出データはデコーダ 6 5に入力される。このデコーダ 6 5は、パルス選択データ生成手段として機能し、 2ビットの吐出データを翻訳して複数ビットのパルス選択データを生成する。本実施形態では、図 7や図 1 4に示すように、駆動信号発生部 32は、吐出周期 T内に 3つの駆動パルス（P S 1〜P S 3, P S 4〜P S 6)が含まれた駆動信号を生成するので、デコーダ 6 5は 3ビットのパルス選択データ.を生成する。

即ち、液滴を吐出しない吐出データ [00] を翻訳してパルス選択データ [0 00] を生成し、少量の液滴を吐出する吐出データ [01] を翻訳してパルス選択データ [0 1 0] を生成する。同様に、中量の液滴を吐出する吐出データ [1 0] を翻訳してパルス選択データ [1 01] を生成し、多量の液滴を吐出する吐出データ [1 1] を翻訳してパルス選択データ [1 1 1] を生成する。

制御ロジック 66は、主制御部 3 1からのラッチ信号（ L A T ) ゃチヤンネル信号（CH) を受信する毎にタイミング信号を生成し、生成したタイミング信号をデコーダ 65に供給する。そして、デコーダ 6 5は、このタイミング信号を受信する毎に、 3ビットのパルス選択データを上位ビット側から順にレベルシフタ 67に入力する。

レベルシフタ 6 7は、電圧増幅器として機能し、パルス選択データが [1] の場合には、スィッチ回路 68を駆動できる電圧、例えば数十ボルト程度の電圧に昇圧された電気信号を出力する。レベルシフタ 6 7で昇圧された [1] のパルス選択データは、スィッチ回路 68に供給される。このスィッチ回路 68の入力側には、駆動信号発生部 3 2からの駆動信号（COM) が供給されており、スイツチ回路 68の出力側には圧電振動子 2 1が接続されている。印字データは、スィツチ回路 68の作動を制御する。例えば、スィッチ回路 68に加わるパルス選択データが [1] である期間中は、駆動信号が圧電振動子 2 1に供給され、この駆動信号に応じて圧電振動子 2 1は変形する。一方、スィッチ回路 68に加わるパルス選択データが [0] の期間中は、レベルシフタ 6 7からはスィッチ回路 68 を作動させる電気信号が出力されず、圧電振動子 21へは駆動信号が供給されない。なお、圧電振動子 2 1はコンデンサの様に振る舞うので、圧電振動子 2 1の電位は、パルス選択データが [0] の期間中において遮断直前の電位を保持し続ける。

次に、駆動信号発生部 32が発生する駆動信号について説明する。図 7に例示した駆動信号は、比較的多い量の液滴を吐出可能な標準駆動信号である。この標準駆動信号は、吐出周期 T内に 3つの標準駆動パルス、即ち、第 1標準駆動パルス P S 1 ( T 1 ) , 第 2標準駆動パルス P S 2 ( T 2 ) , 第 3標準駆動パルス P S 3 ( T 3 ) を含み、これらの各標準駆動パルス P S 1〜P S 3を所定間隔毎に発生している。

これらの標準駆動パルス P S 1〜P S 3は、本発明の第 1駆動パルスの一種であり、何れも同じ波形形状のパルス信号によって構成されている。例えば、図 8 に示すように、これらの標準駆動パルス P S 1〜P S 3は、中間電位 VMから最大電位 V Hまで液滴を吐出させない程度の一定勾配で電位を上昇させる膨張要素 P 1と、最大電位 V Hを所定時間保持する膨張ホールド要素 P 2と、最大電位 V Hから最低電位 V Lまで急勾配で電位を下降させる吐出要素 P 3と、最低電位 V Lを所定時間保持する収縮ホールド要素 P 4と、最低電位 V Lから中聞電位 VM まで電位を上昇させる制振要素 P 5とからなる複数の波形要素によって構成されている。

これらの標準駆動パルス P S 1〜P S 3を圧電振動子 2 1に供給すると、各標準駆動パルス P S 1〜P S 3が供給される毎に所定量（例えば 1 5 n g ) の液滴がノズル開口 2 5から吐出される。

即ち、膨張要素 P 1の供給に伴って圧電振動子 2 1が大きく収縮し、圧力室 4 7は、中間電位 VMに対応する定常容積から最大電位 V Hに対応する最大容積まで、液滴を吐出させない程度の速度で膨張する。この膨張に伴って圧力室 4 7内が減圧され、共通液室 4 8の液材が液体供給 ΰ 4 9を通って圧力室 4 7内に流入する。この圧力室 4 7の膨張状態は膨犟ホールド要素 Ρ 2の供給期間に亘つて保持される。その後、吐出要素 Ρ 3が供給されて圧電振動子 2 1が大きく伸長し、圧力室 4 7は最小容積まで急激に収縮する。この収縮に伴い、圧力室 4 7内の液材が加圧されてノズル開口 2 5から所定量の液滴が吐出される。吐出要素 Ρ 3に続いて収縮ホールド要素 Ρ 4が供給されるので、圧力室 4 7の収縮状態が維持される。そして、圧力室 4 7の収縮状態において、メニスカス（ノズル開口 2 5で露出している液材の自由表面）は、液滴の吐出の影響を受けて大きく振動する。その後、メニスカスの振動を抑制し得るタイミングで制振要素 Ρ 5が供給され、圧力室 4 7が定常容積まで膨張復帰する。即ち、圧力室 4 7内の液材に生じた圧力を相殺すべく、圧力室 47を膨張させて液体圧力を減圧する。これにより、メニスカスの振動を短時間で抑制することができ、次の液滴の吐出を安定させることができる。

なお、上記の定常容積は、中間電位 VMに対応する圧力室 4 7の容積である。そして、標準駆動パルス P S 1〜P S 3が供給されない場合、圧電振動子 2 1にはこの中間電位 VMが供給されるので、液滴を吐出しない状態（定常状態）において、圧力室 4 7はこの定常容積となる。

そして、 1つの吐出周期 T内に供給する標準駆動パルス P S 1〜P S 3の数を変えることで、液滴の吐出量を吐出周期 T毎に設定できる。例えば、吐出周期 T に第 2標準駆動パルス P S 2のみを圧電振動子 2 1に供給することで、例えば 1 5 n gの液滴を吐出させることができる。また、吐出周期 T内において第 1標準駆動パルス P S 1と第 3標準駆動パルス P S 3とを圧電振動子 2 1に供給することで、例えば 3 0 n gの液滴を吐出させることができる。さらに、吐出周期 T内において各標準駆動パルス P S 1〜 P S 3を圧電振動子 2 1に供給することで、例えば 45 n gの液滴を吐出させることができる。

なお、本明細書では、液材量を重量（n g) で表し、重量による制御を説明しているが、容量（p L) によって制御してもよいことは勿論である。

この液滴の吐出制御は、上記のパルス選択データに基づいて行われる。即ち、パルス選択データが [000] の場合には、第 1標準駆動パルス P S 1に対応する第 1発生期間 T l、第 2標準駆動パルス P S 2に対応する第 2発生期間 Τ 2、及び、第 3標準駆動パルス P S 3に対応する第 3発生期間 Τ 3の何れにおいてもスィッチ回路 6 8は OF F状態とされる。このため、圧電振動子 2 1には何れの標準駆動パルス P S 1〜P S 3も供給されない。そして、パルス選択データが [0 10] の場合には、第 2発生期間 T 2においてスィッチ回路 6 8が ON状態となり、第 1発生期間 T l、及び、第 3発生期間 Τ 3においてはスィッチ回路 68が OFF状態となる。このため、圧電振動子 2 1には第 2標準駆動パルス P S 2のみが供給される。また、パルス選択データが [1 01] の場合には、第 1発生期間 T l、及び、第 3発生期間 Τ 3においてスィッチ回路 68が ON状態となり、第 2発生期間 T 2においてはスィツチ回路 68が OF F状態となる。このため、圧電振動子 2 1には第 1標準駆動パルス P S 1と第 3標準駆動パ/レス P S 3とが供給される。同様に、パルス選択データが [ 1 1 1 ] の場合には、第 1発生期間 T 1〜第 3発生期間 T 3の各期間においてスィツチ回路 6 8が O N状態となり、圧電振動子 2 1には各標準駆動パルス P S 1〜P S 3が供給される。

また、液滴の吐出制御では、駆動パルスの種類を変更することにより、吐出される液滴の量を変更することができる。例えば、図 1 4に例示したマイクロ駆動信号 P S 4〜P S 6では、これらのマイク口駆動パルス P S 4 ~ P S 6が供給される毎に所定量（例えば 5 . 5 n g ) の液滴がノズル開口 2 5から吐出される。これらのマイクロ駆動パルス P S 4〜P S 6は、本発明の第 2駆動パルスの一種であり、何れも同じ波形形状のパルス信号によって構成されている。例えば、図 1 5に示すように、これらのマイクロ駆動パルス P S 4〜P S 6は、中間電位 VMから最大電位 V Hまで比較的急峻な勾配で電位を上昇させる第 2膨張要素 P 1 1と、最大電位 V Hを極く短時間保持する第 2膨張ホールド要素 P 1 2と、最大電位 V Hから吐出電位 V Fまで急勾配で電位を下降させる第 2吐出要素 P 1 3 と、吐出電位 V Fを極く短時間に亘つて保持する吐出ホールド要素 P 1 4と、吐出電位 V Fから最低電位 V Lまで第 2吐出要素 P 1 3よりも緩やかな勾配で電位を下降させる収縮制振要素 P 1 5と、最低電位 V Lを所定時間に亘つて保持する制振ホールド要素 P 1 6と、最低電位 V Lから中間電位 VMまで比較的緩やかな勾配で電位を上昇させる膨張制振要素 P 1 7とからなる複数の波形要素によって構成されている。

これらのマイクロ駆動パルス P S 4〜P S 6を圧電振動子 2 1に供給すると、圧力室 4 7やこの圧力室 4 7内の液材の状態が次のように変化し、ノズル開口 2 5から液滴が吐出される。

即ち、第 2膨張要素 P 1 1の供給に伴って定常容積の圧力室 4 7が急激に膨張し、メニスカスを圧力室 4 7側に大きく引き込む。そして、第 2膨張ホールド要素 P 1 2が極く短時間に亘つて供給されると、引き込まれたメニスカスの中心部分の移動方向が表面張力によって反転する。その後、第 2吐出要素 P 1 3が供給されて、圧力室 4 7は最大容積から吐出容積まで急激に収縮する。このとき、吐出方向に向けて柱状に伸長したメニスカスの中心部分がちぎれ、液滴状になって吐出される。

第 2吐出要素 Ρ 1 3の供給後、吐出ホールド要素 Ρ 1 4と収縮制振要素 Ρ 1 5 とが順に供給される。収縮制振要素 Ρ 1 5の供給により、圧力室 4 7は吐出容積から最小容積まで収縮するが、その収縮速度は液滴吐出後におけるメニスカスの振動を抑制し得る速度に設定される。この収縮制振要素 P 1 5に続いて制振ホールド要素 Ρ 1 6が供給されるので圧力室 4 7の収縮状態は維持される。その後、メニスカスの振動を打ち消し得るタイミングで膨張制振要素 Ρ 1 7が供給され、メニスカスの振動を抑制すベく圧力室 4 7が定常容積まで膨張復帰する。

このマイクロ駆動信号においても、 1つの吐出周期 Τ内に供給するマイクロ駆動パルスの数を変えることで、液滴の吐出量を制御することができる。例えば、吐出周期 Τ内において第 2マイク口駆動パルス P S 5のみを圧電振動子 2 1に供給することで、例えば 5 . 5 n gの液滴を吐出させることができる。また、吐出周期 T内において第 1マイク口駆動パルス P S 4と第 3マイク口駆動パルス P S 6とを圧電振動子 2 1に供給することで、例えば 1 1 n gの液滴を吐出させることができる。さらに、吐出周期 T内にて各マイクロ駆動パルス P S 4〜P S 6を圧零振動子 2 1に供給することで、例えば 1 6 . 5 n gの液滴を吐出させることができる。

この液滴の吐出制御も、上記したパルス選択データに基づいて行われる。なお、パルス選択データに基づく吐出制御は、上記の標準駆動信号における制御と同じであるので、その説明は省略する。

さらに、液滴の吐出量や飛行速度は、これらの標準駆動パルス P S 1〜P S 3 やマイクロ駆動パルス P S 4〜P S 6の波形形状を変更することによつても変更することができる。即ち、駆動パルスの種類を変更することで液滴の吐出量等を大きく変えることができ、さらに、駆動パルスの種類（全体的な形状）はそのままに各波形要素の始終端電位（電位差）や時間幅を設定することで液滴の吐出量等を細かく（即ち、高精度に）変えることができる。

以下、各波形要素の設定変更に伴う液滴の吐出量や飛行速度の変化について、駆動パルス毎に説明する。

まず、各標準駆動パルス P S 1〜P S 3について、駆動電圧（最大電位 V Hから最低電位 V Lまでの電位差）と液滴の吐出特性の関係について説明する。ここで、図 9は、駆動電圧を調整した場合の液滴の吐出特性の変化であり、（a ) は駆動電圧を変化させた際の飛行速度の変化を示し、（b ) は駆動電圧を変化させた際の重量の変化を示す。

なお、駆動電圧を設定するにあたり、最低電位 V Lと各波形要素（P 1〜P 5 ) の時間幅は変えず、最大電位 V Hを変更した。また、中間電位 VMは駆動電圧に対応させて変更した。また、図 9 ( a ) において、黒丸を付した実線がメイン液滴を¹示し、白丸を付した点線がサテライト液滴（メイン液滴に付随して飛行する液滴）を示す。また、三角を付した一点鎮線が第 2サテライト液滴（サテライト液滴に付随して飛行する液滴）を示す。

この図 9から判るように、駆動電圧の大きさと液滴の飛行速度及び重量とは、互いに正比例（係数は正）の関係にあるといえる。即ち、駆動電圧を大きくすると液滴の飛行速度は速くなり、液滴の重量も増える（つまり、液滴の吐出量が増える）。例えば、駆動電圧が 2 0 Vの場合、メィン液滴の飛行速度は約 3 ra/ sであり、重量は約 9 n gである。また、駆動電圧が 2 9 Vの場合、飛行速度は約 7 m/ sであり、重量は約 1 5 . 5 n gである。さらに、駆動電圧が 3 5 Vの場合、飛行速度は約 1 0 m_ sであり、重量は約 2 0 . 5 n gである。

これは、駆動電圧の増減により圧力室容積の変化幅が変わったためと考えられる。即ち、駆動電圧を基準電圧よりも高めると、膨張時と収縮時との容積差が基準時よりも大きくなる。このため、基準時よりも多くの液材を圧力室 4 7内から排除することができ、吐出量が増える。また、吐出要素 ·Ρ 3の時間幅は変わらないので、液滴吐出時における圧力室 4 7の収縮速度が基準時よりも高まり、液滴を高速で吐出できる。反対に、駆動電圧を基準電圧よりも低く設定すると、膨張時と収縮時との容積差が基準時よりも小さくなる。このため、圧力室 4 7内から排除される液材の量が基準時よりも少なくなつて、液滴の吐出量が減る。また、圧力室 4 7の収縮速度も基準時よりも低くなるので、液滴の飛行速度'も低くなる。なお、図 9 ( a ) を見ると、駆動電圧が 2 6 V以上になると、液滴は、メイン液滴とサテライト液滴とに分かれて飛行する b さらに、駆動電圧が 3 2 V以上になると、上記のサテライト液滴に加えて第 2サテライト液滴が出現する。これらのサテライト液滴及び第 2サテライト液滴の飛行速度は、図 9 ( a ) の測定範囲では、駆動電圧の大きさにあまり影響を受けない。例えば、サテライト液滴の飛行速度は、駆動電圧を 2 6 Vに設定すると約 5 mZ sであり、駆動電圧を 2 9 V , 3 2 Vに設定すると約 4 m/ sである。さらに、駆動電圧を 3 5 Vに設定すると約 6 m/ s となる。第 2サテライト液滴については、駆動電圧を 3 2 V , 3 5 V に設定した場合において略等しく、何れも約 4 mZ sである。

以上から、駆動電圧の設定により、吐出する液滴の飛行速度と重量を同時に増減できることが判る。また、サテライト液滴や第 2サテライト液滴の発生を制御できることも判る。

次に、各標準駆動パルス P S 1〜 P S 3における中間電位 VMと液滴の吐出特性の関係について説明する。

上記したように、この中間電位 VMは、圧力室 4 7の定常容積を規定するものである。そして、上記の圧電振動子 2 1は、電位の上昇（充電）に伴って収縮して圧力室 4 7を膨張させ、電位の下降（放電）に伴って伸長して圧力室 4 7を収縮させるので、基準よりも中間電位 VMを高く設定すると、定常容積は基準容積 (基準の中間電位 VMに対応する圧力室容積）よりも膨張する。一方、基準よりも中間電位 VMを低く設定すると、定常容積は基準容積よりも収縮する。

ここで、中間電位 VMだけを変更した場合には、最大電位 V Hは中間電位 VM の変更前と変更後とで同じである。このため、中間電位 VMを基準よりも高く設定すると、中間電位 VMから最大電位 V Hまでの電位差が基準の中間電位 VMに設定した場合よりも小さくなり、圧力室 4 7の膨張代も少なくなる。一方、中間電位 VMを基準よりも低く設定すると、中間電位 VMから最大電位 V Hまでの電位差が基準の中間電位 VMに設定した場合よりも大きくなり、圧力室 4 7の膨張代も多くなる。この膨張代は、圧力室 4 7内への液材の流入量を規定する。即ち、膨張代が基準よりも多いと共通液室 4 8から圧力室 4 7内に流入する液滴の量が基準量よりも多くなり、膨張代が基準よりも少ないと共通液室 4 8から圧力室 4 7内に流入する液滴の量が基準量よりも少なくなる。

また、中間電位 VMだけを変更した場合には、膨張要素 P 1の時間幅（供給時間）も中間電位 VMの変更前後で同じとなる。このため、基準よりも中間電位 V Mを高く設定すると、膨張要素 P 1を圧電振動子 2 1に供給した際において、圧力室 4 7の膨張速度が遅くなる。一方、基準よりも中間電位 V Mを低く設定すると、圧力室 4 7の膨張速度は速くなる。

圧力室 4 7の膨張代は、膨張要素 P 1の供給直後における圧力室 4 7内の液材圧力（液体圧力）に影響を及ぼす。即ち、膨張代が基準よりも少ない程、膨張要素 P 1の供給直後において圧力室 4 7内の液体圧力は定常状態の圧力に近くなるので、液材の流入量は基準よりも少なくなり、流入速度も遅くなる。その結果、圧力室 4 7内の液材の圧力変動は比較的小さくなる。反対に、膨張代が基準よりも多ければ、膨張要素 P 1の供給直後において圧力室 4 7内の液体圧力は大きく低下する。このため、液材の流入量が多くなると共に流入速度が速くなり、圧力室 4 7内の液材の圧力変動が大きくなる。

ここで、圧力室 4 7は音響管と見なせるため、膨張要素 P 1の供給によって生じた液材の圧力変動のエネルギーは、圧力室 4 7内で保存ざれて圧力振動となる。そして、この圧力振動が正圧になるタイミングに合わせて吐出要素 P 3が供給されて圧力室 4 7が収縮する。このとき、圧力室 4 7内で保存されているエネルギ一が圧力室 4 7の膨張代（即ち、中間電位 VMの大きさ）に応じて相違するので、吐出要素 P 3の電位差や傾きが同じであっても液滴の飛行速度や吐出量が変化する。

この場合において、中間電位 VMの変化に対する飛行速度の変化度合いと、吐出量の変化度合いとには差がある。即ち、感度に差がある。例えば、飛行速度は中間電位 VMの変化に対して比較的大きく変化するが、液滴の重量は中間電位 V Mの変化に対する変化が比較的小さい。これは、液滴の重量は、駆動電圧（吐出要素 P 3の電位差）、即ち、圧力室 4 7の収縮量によって強く支配されるためと考えられる。

従って、上記の駆動電圧と中間電位 VMとを組み合わせて適宜設定することで、液滴の飛行速度を一定に保ちつつ、液滴の吐出量を変えることができる。

例えば、液滴の飛行速度を 7 mZ sに設定すると、駆動電圧及び中間電位 VM と液滴の重量との関係は、図 1 0 ( a ) に示すようになる。この図 1 0 ( a ) より、駆動電圧を 3 1 . 5 Vに、中間電位 VMを駆動電圧の 2 0 % (つまり、最低電位 VLから 6. 3 V高い電位）にそれぞれ設定すると、約 1 6. 5 n gの液滴を吐出できることが判る。また、駆動電圧を 2 9. 7 Vに中間電位 VMを駆動電圧の 4 0 %にそれぞれ設定すると、約 1 5. 3 n gの液滴を吐出できることが判る。さらに、駆動電圧を 2 8. 0 Vに中間電位 VMを駆動電圧の 6 0°/₀にそれぞれ設定すると、約 1 3. 6 n gの液滴を吐出できることが判る。

また、駆動電圧と中間電位 VMとを適宜設定することにより、液滴の吐出量を一定に保ちつつ、液滴の飛行速度を変えることもできる。

例えば、液滴の重量を 1 5 n gに設定すると、駆動電圧及び中間電位 VMと液滴の飛行速度との関係は、図 1 0 (b) に示すようになる。この図 1 0 (b) より、駆動電圧を 2 9. 2 Vに、中間電位 VMを駆動電圧の 2 0 % (つまり、最低電位 VLから 5. 9 V高い電位）にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 6. l m/ sに設定できることが判る。また、駆動電圧を 2 9. O Vに中間電位 VM を駆動電圧の 4 0 %にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 6. 8 / sに設定できることが判る。さらに、駆動電圧を 3 0. 6 Vに中間電位 VMを駆動電圧の 6 0%にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 8. l m/ sに設定できることが判る。

次に、各標準駆動パルス P S 1〜P S 3の膨張要素 P 1の時間幅（P w c 1 ) と液滴の吐出特性との関係について説明する。

この膨張要素 P 1の時間幅は、圧力室 4 7の定常容積から最大容積への膨張速度を規定する。そして、膨張要素 P 1の時間幅に拘わらず、膨張要素 P 1の始端電位を中間電位 VMに、終端電位を最大電位 VHにそれぞれ定めると、基準よりも時間幅を短く設定することで膨張要素 P 1の勾配が急峻になり、圧力室 4 7の膨張速度は基準よりも速くなる。一方、基準よりも時間幅を長く設定すると膨張要素 P 1の傾斜が緩やかになり、圧力室 4 7の膨張速度は基準よりも遅くなる。この膨張速度の違いは、膨張要素 P 1の供給直後における圧力室 4 7内の液体圧力に影響を及ぼす。即ち、膨張速度が基準よりも遅ければ、膨張要素 P 1の供給直後において液体圧力の変動は小さくなり、液材の圧力室 4 7内への流入速度も遅くなる。一方、膨張速度が基準よりも速ければ、膨張要素 P 1の供給直後において圧力室 4'7内の液体圧力は大きく低下して圧力振動が大きくなり、液材の圧力室 47内への流入速度も速くなる。

従って、膨張要素 P 1の時間幅を変えることにより、吐出要素 P 3の電位差や傾きが同じであっても液滴の飛行速度や液滴の重量を変化させることができる。なお、この場合においても中間電位 VMを変化させた場合と同様に、飛行速度は膨張要素 P 1の時間幅の変化に対して比較的大きく変化するが、液滴の重量は膨張要素 P 1の時間幅の変化に対する変化量が比較的小さい。従って、上記の駆動電圧と膨張要素 P 1の時間幅とを適宜設定することにより、液滴の飛行速度を一定に保ちつつ、液滴の出量を変えることができる。

例えば、液滴の飛行速度を 7 mZ sに設定すると、駆動電圧及び膨張要素 P 1 の時間幅と液滴の重量との関係は、図 1 1 (a) に示すようになる。この図 1 1

(a) より、駆動電圧を 27. 4 Vに、膨張要素 P 1の時間幅を 2. 5マイクロ秒 s) にそれぞれ設定すると、約 1 5. 3 n gの液材を吐出できることが判る。また、駆動電圧を 2 9. 5 Vに、膨張要素 P 1の時間幅を 3. 5 μ sにそれぞれ設定すると、約 1 6. 0 n gの液滴を吐出できることが判る。さらに、駆動電圧を 2 5. 0 Vに、膨張要素 P 1の時間幅を 6. 5 μ sにそれぞれ設定すると、約 1 1. 8 n gの液滴を吐出できることが判る。

また、駆動電圧と膨張要素 P 1の時間幅とを適宜設定することにより、液滴の吐出量を一定に保ちつつ、液滴の飛行速度を変えることもできる。

例えば、液滴の重量を 1 5 n gに設定すると、駆動電圧及び膨張要素 P 1の時間幅と液滴の飛行速度との関係は、図 1 1 (b) に示すようになる。この図 1 1

(b) より、駆動電圧を 26. 8 Vに、膨張要素 P 1の時間幅を 2. 5 sにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 6. 7mZ sに設定できることが判る。また、駆動電圧を 2 7. 8 Vに、膨張要素 P 1の時間幅を 3. 5 μ sにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 6. 3 mZsに設定できることが判る。さらに、駆動電圧を 3 1. 7 Vに、膨張要素 P 1の時間幅を 6. 5 μ sにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 1 0. 8m/sに設定できることが判る。

次に、各標準駆動パルス P S 1〜P S 3の膨張ホールド要素 P 2の時間幅（P wh 1) と液滴の吐出特性との関係について説明する。

この膨張ホールド要素 P 2の時間幅は、吐出要素 P 3の供給開始タイミング、つまり、圧力室 4 7の収縮開始タイミングを規定する。この圧力室 4 7の収縮開始タイミングの違いもまた、液滴の飛行速度と吐出量に影響を及ぼす。これは、膨張要素 P 1によつて励起された圧力振動の位相と吐出要素 P 3によつて励起される圧力振動の位相の差に応じて、合成圧力が変化するためと考えられる。

即ち、膨張要素 P 1の供給によって圧力室 4 7が膨張すると、上記したように、この膨張に伴って圧力室 4 7内の液材には圧力振動が励起される。そして、圧力室 4 7内の液体圧力が正圧になるタイミングに合わせて圧力室 4 7の収縮を開始すると、定常状態で吐出させた場合よりも、液滴を高速で飛行させることができる。反対に、圧力室 4 7内の液体圧力が負圧になるタイミングに合わせて圧力室 4 7の収縮を開始すると、定常状態で吐出させた場合よりも液滴を低速で飛行させることができる。また、液滴の重量に関し、この重量は、膨張ホールド要素 P 2の時間幅に対応して変化するが、その変化量は比較的小さい。これは、上記の各ケース 2 3と同様であり、液滴の重量は、主に駆動電圧の大きさによって支配されるためと考えられる。

このことを図 1 2に基づいて説明する。ここで、図 1 2は、膨張ホールド要素 P 2の時間幅を調整した場合の吐出特性の変化であり、（a ) は時間幅を変化させた際の液滴の飛行速度の変化を示し、（b ) は時間幅を変化させた際の液滴の重量の変化を示す。なお、これらの図において、実線は駆動電圧を 2 0 Vに設定した場合の特性であり、一点鎖線は駆動電圧を 2 3 Vに設定した場合の特性であり、点線は駆動電圧を 2 6 Vに設定した場合の特性である。また、最低電位 V Lと膨張ホールド要素 P 2以外の各波形要素の時間幅は基準値で一定とし、中間電位 V Mは駆動電圧に対応させて変更した。

図 1 2 ( a ) から判るように、この測定範囲において、膨張ホールド要素 P 2 の時間幅が長くなる程、液滴の飛行速度は遅くなる。例えば、駆動電圧を 2 0 V に設定した場合、膨張ホールド要素 P 2の時間幅を 2 μ sに設定すると飛行速度は約 6 . 5 mZ sとなり、時間幅を 3 μ sに設定すると飛行速度は約 4 m/ sとなる。また、駆動電圧を高くすると飛行速度は速くなる。例えば、駆動電圧を 2 3 Vに設定した場合には、膨張ホールド要素 P 2の時間幅を 2 μ sに設定すると飛行速度は約 8 . 7 mZ sとなり、時間幅を 3 μ sに設定すると飛行速度は約 5 . 2m/ sとなる。同様に、駆動電圧を 2 6 Vに設定した場合には、膨張ホールド要素 P 2の時間幅を 2 μ sに設定すると飛行速度は約 1 0. 7 mZ sとなり、時間幅を 3 μ sに設定すると飛行速度は約 7 mZ sとなる。

そして、図 1 2 (b ) から判るように、この測定範囲において、膨張ホールド要素 P 2の時間幅が長くなる程く液滴の重量は減少する（つまり、吐出量が減少する）。例えば、駆動電圧を 2 0 Vに設定した場合、膨張ホールド要素 P 2の時間幅を 2 /i sに設定すると液滴の重量は約 1 1, 5 n gとなり、時間幅を 3 μ sに設定すると重量は約 1 0. 5 n gとなる。また、駆動電圧を高くすると液滴の重量が増える（つまり、吐出量が増える）。例えば、駆動電圧を 2 3 Vに設定した場合には、膨張ホールド要素 P 2の時間幅を 2 μ sに設定すると液滴の重量は約 1 3. 2 n gとなり、時間幅を 3 μ sに設定すると重量は約 1 2. l n gとなる。同様に、駆動電圧を 2 6 Vに設定した場合には、膨張ホールド要素 P 2の時間幅を 2 μ sに設定すると飛行速度は液滴の重量は約 1 5. O n gとなり、時間幅を 3 sに設定すると重量は 1 3. 8 n gとなる。

そして、この場合においても、駆動電圧と膨張ホールド要素 P 2の時間幅とを適宜設定することにより、液滴の飛行速度を一定に保ちつつ、液滴の吐出量を変えることができる。

例えば、液滴の飛行速度を 7 m/ sに設定すると、駆動電圧及び膨張ホールド要素 P 2の時間幅と液滴の吐出重量との関係は、図 1 3 ( a )に示すようになる。この図 1 3 (a ) より、駆動電圧を 2 0. 5 Vに、膨張ホールド要素 P 2の時間幅を 2. 0マイクロ秒（ μ s ) にそれぞれ設定すると、約 1 1. 8 n gの液滴を吐出できることが判る。また、駆動電圧を 2 6.. 2 Vに、膨張ホールド要素 P 2 の時間幅を 3. 0 μ sにそれぞれ設定すると、約 1 3. 8 n gの液滴を吐出できることが判る。さらに、駆動電圧を 2 9. 8 Vに、膨張ホールド要素 P 2の時間幅を 3. 5 sにそれぞれ設定すると、約 1 5. 9 n gの液滴を吐出できることが判る。

また、駆動電圧と膨張ホールド要素 P 2の時間幅とを適宜設定することにより、液滴の吐出量を一定に保ちつつ、液滴の飛行速度を変えることもできる。

例えば、液滴の重量を 1 5 n gに設定すると、駆動電圧及び膨張ホールド要素 P 2の時間幅と液滴の飛行速度との関係は、図 1 3 (b) に示すようになる。この図 1 3 (b) より、駆動電圧を 26. 2 Vに膨張要素 P 1の時間幅を 2. 0 sにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 1 0. 8 sに設定できることが判る。また、駆動電圧を 28. 0 Vに膨張要素 P 1の時間幅を 3. O /i sにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 8. OmZ sに設定できることが判る。さらに、駆動電圧を 28. 0 Vに膨張要素 P 1の時間幅を 3. 5 μ sにそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 6. 3mZ sに設定できることが判る。

このように、各標準駆動パルス P S 1〜 P S 3に関し、駆動電圧、中間電位 V M、膨張要素 P Iの時間幅、及び、膨張ホールド要素 P 2の時間幅を適宜設定することにより、液滴の飛行速度や重量を制御することができる。従って、所望量の液滴を所望速度で吐出させることができる。これにより、液滴の着弾位置の正確性と吐出量の正確性とを高いレベルで両立させることができる。

次に、各マイクロ駆動パルス P S 4~P S 6について説明する。

まず、駆動電圧を変化させた際の吐出特性の変化について説明する。ここで、図 1 6は、駆動電圧を調整した場合の吐出特性の変化であり、（ a ) は駆動電圧を変化させた際の液滴の飛行速度の変化を示し、（b) は駆動電圧を変化させた際の液滴の重量変化を示す。なお、図 1 6 (a) において、黒丸を付した実線がメイン液滴を示し、白丸を付した点線がサテライト液滴を示す。また、三角を付した破線が第 2サテライト液滴を示す。

この図 1 6から判るように、測定範囲において、駆動電圧の大きさと液滴の飛行速度及び重量とは、互いに正比例（係数は正）の関係にあるといえる。即ち、駆動電圧を大きくすると液滴（メイン液滴）の飛行速度は速くなり、液滴の重量も増える。例えば、駆動電圧が 1 8Vの場合、メイン液滴の飛行速度は約 4 mノ sであり、重量は約 4. 4 n gである。また、駆動電圧が 24 Vの場合、飛行速度は約 9. OmZ sであり、重量は約 6. 8 n gである。さらに、駆動電圧が 3 3Vの場合、飛行速度は約 1 6mZsであり、重量は約 1 0. 2 n gである。これは、上記した標準駆動パルス P S 1〜P S 3と同じ理由、即ち、駆動電圧の増減によって、圧力室容積の変化幅が変わったためと考えられる。従って、このマイク口駆動パルスにおいても、駆動電圧の設定により、吐出する液滴の飛行速度と量を同時に増減できることが判る。

なお、図 1 6 ( a ) を見ると、駆動電圧が 1 8 Vの状態で液滴はメィン液滴とサテライト液滴とに分かれて飛行している。さらに、駆動電圧が 2 4 V以上になると、上記のサテライト液滴に加えて第 2サテライト液滴が出現する。このマイク口駆動パルス P S 4〜P S 6において、サテライト液滴は駆動電圧の上昇に伴つて速度を増すが、第 2サテライト液滴は駆動電圧上昇に拘わらず略一定の飛行速度（6〜7 mZ s ) である。

次に、各マイクロ駆動パルス P S 4〜P S 6の中間電位 VMと液滴の吐出特性との関係について説明する。

このマイクロ駆動パルス P S 4〜P S 6においても中間電位 VMは、圧力室 4 7の定常容積を規定する。従って、中間電位 VMの変更により、定常容積から最大容積までの膨張代を設定できる。そして、膨張代が変更できることで、第 2膨張要素 P 1 1の供給時におけるメニスカスの圧力室 4 7側への引き込み量を設定できる。また、第 2膨張要素 P I 1の時間幅が一定であるので、膨張代が変更されるとメニスカスの圧力室 4 7側への引き込み速度も変化する。

メニスカスの引き込み量と引き込み速度は、液滴の吐出量に影響を及ぼすと考えられる。即ち、メニスカスの引き込み量が基準よりも多いと液滴として吐出される液体の量が基準よりも少なくなり、引き込み量が基準よりも少ないと液滴として吐出される液体の量が基準よりも多くなる。また、メニスカスの引き込み速度が基準よりも高いと、その反動によってメニスカスの中心部分の移動速度も基準より高くなり、液滴の飛行速度が基準より高くなる。一方、メニスカスの引き込み速度が基準よりも低いとその反動も小さくメニスカスの中心部分の移動速度及び液滴の飛行速度が基準よりも低くなる。

従って、上記の駆動電圧と中間電位 VMとを適宜設定することにより、液滴の飛行速度を一定に保ちつつ、液滴の吐出量を変えることができる。例えば、液滴の飛行速度を 7 mZ sに設定すると、駆動電圧及び中間電位 VMと液滴の重量との関係は、図 1 7 ( a ) に示すようになる。この図 1 7 ( a ) より、駆動電圧を 1 9 . 5 Vに中間電位 VMを駆動電圧の 0 % (つまり、最低電位 V Lと同電位）にそれぞれ設定すると、約 5 . 6 n gの液滴を吐出できることが判る。また、駆動電圧を 22. 5 Vに中間電位 VMを駆動電圧の 3.0 %にそれぞれ設定すると、約 5. 9 n gの液滴を吐出できることが判る。さらに、駆動電圧を 24. 5 Vに中間電位 VMを駆動電圧の 50 %にそれぞれ設定すると、約 7. 5 n gの液滴を吐出できることが判る。

また、駆動電圧と中間電位 VMとを適宜設定することにより、液滴の吐出量を一定に保ちつつ、液滴の飛行速度を変えることもできる。例えば、液滴の重量を 5. 5 n gに設定すると、駆動電圧及び中間電位 VMと液滴の飛行速度との関係は、図 1 7 (b) に示すようになる。この図 1 7 (b) より、駆動電圧を 1 9. 0 Vに中間電位 VMを駆動電圧の 0 %にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 6. 9mZ sに設定できることが判る。また、駆動電圧を 2 1. 5Vに中間電位 VMを駆動電圧の 30 °/₀にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 6. 2m /sに設定できることが判る。さらに、駆動電圧を 20. 2Vに中間電位 VMを駆動電圧の 50 %にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 4. 5 m/ sに設定できることが判る。

次に、各マイクロ駆動パルス P S 4〜P S 6の吐出電位 VF (第 2吐出要素 P

1 3の終端電位）と液滴の吐出特性との関係について説明する。

上記の吐出電位 VFは、圧力室 47の吐出容積（第 2吐出要素 P 1 3の供給終了時の容積）を規定する。従って、吐出電位 VFの変更により、最大容積から吐出容積までの収縮量を設定できる。また、第 2吐出要素 P 1 3の時間幅が一定であることから、この吐出電位 VFの変更により収縮速度も変化する。即ち、吐出電位 VFを基準よりも低く設定すると収縮速度が高くなり、基準よりも高く設定すると収縮速度が低くなる。

圧力室 47の収縮量と収縮速度は、液滴の吐出量に影響を及ぼすと考えられる。即ち、圧力室 47の収縮量が基準よりも多いと液滴の吐出量が基準より多くなり、収縮量が基準よりも少ないと液滴の吐出量が基準より少なくなる。また、圧力室

47の収縮速度が高いと液滴の飛行速度が高くなり、収縮速度が低いと飛行速度も低くなる。

なお、この場合において、吐出電位 VFの変化に対する飛行速度の変化量と吐出量の変化量は、駆動電圧を変化させた際の変化量と相違する。従って、上記の駆動電圧と吐出電位 V Fとを適宜設定することにより、液滴の飛行速度を一定に保ちつつ、吐出重量を変えることができる。

例えば、液滴の飛行速度を 7 mZ sに設定すると、駆動電圧及び吐出電位 V F と液滴の重量との関係は、図 1 8 (a ) に示すようになる。この図 1 8 (a ) より、駆動電圧を 2 7. 0 Vに設定し、第 2吐出要素 P 1 3の電位差を駆動電圧の 5 0% (つまり、吐出電位 VFが最大電位 VHから 1 3. 5 V低い電位）に設定すると、約 3. 6 n gの液滴を吐出できることが判る。また、駆動電圧を 2 1. 3 Vに、第 2吐出要素 P 1 3の電位差を駆動電圧の 70%にそれぞれ設定すると、約 5. 6 n gの液滴を吐出できることが判る。さらに、駆動電圧を 1 6. 6 Vに設定し、第 2吐出要素 P 1 3の電位差を駆動電圧の 1 00% (つまり、吐出電位 VFが最低電位 VLと同電位）に設定すると、約 7. 6 n gの液滴を吐出できることが判る。なお、第 2吐出要素 P 1 3の電位差を駆動電圧の 1 0 0%に設定した場合には、収縮制振要素 P 1 5は設けない。

また、駆動電圧と吐出電位 VFとを適宜設定することにより、液滴の吐出量を一定に保ちつつ、液滴の飛行速度を変えることもできる。 .

例えば、液滴の重量を 5. 5 n gに設定すると、駆動電圧及び吐出電位 V Fと液滴の飛行速度との関係は、図 1 8 (b) に示すようになる。この図 1 8 (b) より、駆動電圧を 3 2. 0 Vに第 2吐出要素 P 1 3の電位差を駆動電圧の 5 0 % にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 1 1. 2m/ sに設定できることが判る。また、駆動電圧を 1 9. 5 Vに第 2吐出要素 P 1 3の電位差を駆動電圧の 7 0 %にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 5. 5m/ sに設定できることが判る。さらに、駆動電圧を 1 2. 0Vに第 2吐出要素 P 1 3の電位差を駆動電圧の 1 0 0 %にそれぞれ設定すると、液滴の飛行速度を約 3. O / sに設定できることが判る。

このように、各マイク口駆動パルス P S 4〜P S 6についても、その駆動電圧、中間電位 VM、吐出電位 VFを適宜設定することにより、液滴の吐出量や飛行速度を制御できる。

従って、主制御部 3 1 (パルス形状設定手段）からの波形情報により、各駆動パルス P S 1〜 P S 6の波形形状を設定でき、設定された駆動パルス P S 1〜P S 6を圧電振動子 2 1へ供給することで、所望量の液滴を所望の飛行速度で吐出させることができる。従って、各画素領域 1 2 aに対する所定量（目標量）の液滴の吐出と、不足量の液滴の吐出とを同一の噴射ヘッド 7 (同一のノズル開口 2 5 ) によって行うことができる。

また、液滴の飛行速度も設定できるので、量が異なる液滴を同じ速度で飛行させることができる。これにより、噴射ヘッド 7の走査速度は一定のまま液滴の着弾位置を揃えるとができる。従って、複雑な制御を行わなくても液滴の着弾位置を正確に制御できる。

さらに、 1滴が 4 n g前後の極めて少量の液滴は、空気の粘性抵抗の影響を受け易いので、この粘性抵抗に起因する失速分を考慮した方がより高い精度で着弾位置を制御できる場合もある。この点に関し、本実施形態では、駆動パルスの波形形状を設定することで、液滴の量を一定にしつつも飛行速度を変更できる。このため、上記の極く少量の液滴であっても、波形形状の設定により 1滴が 1 O n g以上の液滴と同じように吐出を制御でき、制御の容易化を図ることができる。次に、カラーフィルタ 2の製造方法について説明する。図 1 9は、カラーフィルタ製造工程を示すフローチャート、図 2 0は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ 2 (フィノレタ基体 2 ' ) の模式断面図である。

まず、ブラックマトリクス形成工程 ( S 1 ) では、図 2 0 ( a ) に示すように、基板 1 1上にブラックマトリクス 7 2を形成する。ブラックマトリクス 7 2は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス 7 2を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス 7 2を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程 ( S 2 ) において、ブラックマトリクス 7 2上に重畳する状態でバンク 7 3を形成する。即ち、まず図 2 0 ( b ) に示すように、基板 1 1及びブラックマトリタス 7 2を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層 7 4を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム 7 5で被覆した状態で露光処理を行う。さらに、図 20 (c) に示すように、レジスト層 74の未露光部分をエツチング処理することによりレジスト層 74をパターニングして、バンク 73を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。

このバンク 7 3とその下のブラックマトリクス 72は、各画素領域を区画する区画壁部 1 2 bとなり、後の着色層形成工程において噴射へッド 7により着色層 76 R、 76 G、 76 Bを形成する際にインク滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリタス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上 • 記フィルタ基体 2 が得られる。

なお、本実施形態においては、バンク 7 3の材料として、塗膜表面が疎インク性となる樹脂材料を用いている。そして、ガラス基板（基板 1 1) 表面が親インク性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク 73 (区画壁部 1 2 b) に囲まれた各画素領域 1 2 a内への液滴の着弾位置精度が向上する。

次に、着色層形成工程（S 3) では、図 20 (d) に示すように、噴射ヘッド 7によってインク滴を吐出して区画壁部 1 2 bで囲まれた各画素領域 1 2 a内に着弾させる。その後、乾燥処理を経て 3色の着色層 76 R、 76G、 76 Bを順次形成する。この着色層形成工程の詳細については、図 2 1を用いて後述する。着色層 76 R、 76G、 76 Bを形成したならば、保護膜形成工程（S 4) に移り、図 20 (e) に示すように、基板 1 1、区画壁部 1 2 b、および着色層 7 6 R、 7 6 G、 76 Bの上面を覆うように保護膜 77を形成する。

即ち、基板 1 1の着色層 76 R、 76G、 76 Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜 77が形成される。

そして、保護膜 77を形成した後、基板 1 1を個々の有効画素領域毎に切断することによって、カラーフィルタ 2が得られる。

次に、上記着色層形成工程についてより詳細に説明する。着色層形成工程は、図 2 1に示すように、液材吐出工程（S 1 1) と、着弾量検出工程（S 1 2) と、補正量取得工程（S 1 3) と、液材補充工程（S 14) とからなり、これらの各工程が順に行われる。

液材吐出工程（S 1 1) では、基板 1 1上の各画素領域 1 2 aに所定色、例えば、 R， G , Bの何れかの液滴（インク滴）を所定量打ち込む。この工程では、パルス形状設定手段としての主制御部 3 1は標準駆動パルス P S 1〜P S 3を発生させるための波形情報（D A T ) を生成し、駆動パルス発生手段としての駆動信号発生部 3 2はこの波形情報に基づいて標準駆動パルスを発生する。そして、主制御部 3 1 (主制御手段）は、移動制御情報（D R V 1 ) を生成してキヤリツジモータ 6に出力し、噴射へッド 7の制御用信号を生成して噴射へッド 7に出力する。これにより主走査がなされる。即ち、キャリッジモータ 6が作動してガイドバー 4が主走査方向（X軸方向）に移動し、このガイドバー 4の移動に同期して噴射へッド 7のノズル開口 2 5から所定色のインク滴が吐出される。

この場合において、本実施形態では、上記したように駆動パルスの波形形状が設定されているので、インク滴の吐出量や飛行速度が最適化され、所定の画素領域 1 2 aに所定量のインク滴を着弾させることができる。

1回の主走査が終了したならば、噴射へッド 7を副走査方向に所定量移動させ、次の主走査を行う。以後は、上記の動作を繰り返して実行し、基板 1 1の全面、即ち全ての画素領域 1 2 aに液滴を打ち込む。

なお、この液材吐出工程において、主制御部 3 1 (パルス形状設定手段）は、温度センサや湿度センサ等の環境状態検出手段（図示せず）からの検出信号（環境情報）を加味して波形情報（D A T ) を生成してもよい。このように構成すると、製造装置 1の設置環境（温度や湿度等）が変化しても液滴の吐出特性を揃えることができる。

また、主制御部 3 1 (パルス形状設定手段）は、使用する液材の種類情報例えば、粘度や密度等の物性を示す物性情報を取得し、この種類情報を加味して波形情報（D A T ) を生成してもよい。このように構成すると、異なる種類の液材を用いたとしてもその液材に適した波形形状の駆動パルスを発生させることができ、汎用性に優れる。

着弾量検出工程（S 1 2 ) では、上記の液材吐出工程において着弾したインク量を、液材量検出手段としての液材センサ 1 7によって画素領域 1 2 a毎に検出する。即ち、この着弾量検出工程では、各ノズル開口 2 5の特性差やインク滴の吐出不良等によってばらつきが生じ得る着弾インク量を画素領域 1 2 a毎に検出する。

この工程では、主制御部 3 1 (主制御手段）は、移動制御情報（D R V 1 ) をキャリッジモータ 6に出力してキャリッジ 5を移動させ、発光制御情報（D R V 2 ) をレーザー発光素子 1 8に出力して所望の画素領域 1 2 aにレーザー光線 L bを照射させる。このレーザー光線 L bは、光反射面としての載置面 3 aで反射するなどしてレーザー受光素子 1 9に受光される。そして、反射レーザー光線 L bを受光したレーザー受光素子 1 9は、受光量（受光強度）に応じた電圧レベル ' の検出信号を主制御部 3 1に出力する。主制御部 3 1は、レーザー受光素子 1 9 からの検出信号（レーザー受光素子 1 9での受光量）から着弾インク量を判定する。

この着弾インク量の判定は、全ての画素領域 1 2 aについて行われる。即ち、ェつの画素領域 1 2 aに対する着弾インク量を検出したならば、次の画素領域 1 2 に対する着弹インク量を検出する。そして、全ての画素領域 1 2 aについて着弾インク量を検出したならば、この工程を終了する。なお、取得した各着弾ィンク量は、主制御部 3 1の R AM (着弾液材量記憶手段，図示せず）に画素領域 1 2 aの位置情報と関連づけた状態で記憶される。

補正量取得工程（S 1 3 ) では、上記の着弾量検出工程で検出した各画素領域 1 2 a毎の着弾インク量をその画素領域 1 2 aについての目標インク量（本発明の目標液材量の一種）と比較し、着弾インク量と目標インク量の差を補正量として取得する。ここで、本実施形態における目標インク量は、最も着弾インク量の多い画素領域 1 2 aの着弾インク量とされる。即ち、着弾量検出工程で検出した着弾インク量の最大値が目標インク量として設定され、例えば、主制御部 3 1の R AM (目標液材量記憶手段，図示せず）に記憶される。なお、目標インク量は、各色（R， G， B ) で共通に設定してもよく、各色毎に個別に設定してもよい。この工程では、主制御部 3 1は、本発明の不足量取得手段の一種として機能する。例えば、主制御部 3 1は、 R AMに記憶された各着弾インク量と目標インク量とを読み出し、目標インク量と着弾インク量との差を演算によって取得する。そして、取得したインク量差の情報は、不足量情報（本発明の液材過不足量の一種）として、主制御部 3 1の R AM (過不足量記憶手段に相当，図示せず）に液材領域（画素領域 1 2 a ) の位置情報と関連づけた状態で記憶される。

液材捕充工程（S 1 4 ) では、着弾インク量が目標インク量に対して不足している画素領域 1 2 a上に噴射へッド 7を位置付け、この状態で不足量に応じた波形形状の駆動パルス（例えば、マイク口駆動パルス P S 4〜P S 6 ) を圧電振動子 2 1に供給し、その画素領域 1 2 aにインクを補充する。

即ち、この工程では、まず、主制御部 3 1は、 R AMから不足量情報を読み出してインクの補充が必要な画素領域 1 2 aを認識する。次に、補充が必要とされた画素領域 1 2 aについて、不足量を吐出させるための駆動パルスを設定する。即ち、波形情報を設定する。そして、設定された波形情報は、補充パルス設定情報として主制御部 3 1の R AM (補充パルス設定情報記憶手段に相当，図示せず）に画素領域 1 2 aの位置情報と関連づけた状態で記憶される。

インクの補充が必要な全ての画素領域 1 2 aについて補充パルス設定情報を記憶したならば、主制御部 3 1はインクの補充を制御する。即ち、キャリッジモータ 6を制御して補充対象となる画素領域 1 2 a上に噴射へッド 7を位置付ける。そして、駆動信号発生部 3 2に波形情報（補充パルス設定情報）を出力し、不足量の液滴を吐出させて当該画素領域 1 2 aに着弾させる。

この画素領域 1 2 aに対するインクの補充が終了したならば、噴射ヘッド 7を次の画素領域 1 2 aに移動させ、この画素領域 1 2 aに対するインクの補充を同様の手順で行う。そして、補充対象となる全ての画素領域 1 2 aについてインクの補充が終了したならば、この工程を終了する。

そして、上記した一連の工程（即ち、着色層形成工程）が終了したならば、加熱等の処理を施して画素領域 1 2 a内にインク液を定着させて着色層 7 6を形成する。その後、定着後のフィルタ基体 2 'を次工程（即ち、保護膜形成工程）に移送する。

なお、本実施形態では、各色（R， G , B ) のインクを同一の噴射ヘッド 7で吐出するようにしたが、各色に対応した複数（3つ）の噴射ヘッドを製造ライン上に配置し、それぞれ個別に吐出するように構成してもよい。この場合には、第一色の描画後、乾燥工程を経て、第二色の描画へ移行する。第一色目と同様、乾燥工程を経て、第三色目の描画へ移行する。第三色目の描画後、乾燥工程を経て、最後に本乾燥を行う。本乾燥により各色のカラーフィルターを完全に乾燥させる。ところで、上記では、着弾インクの不足量を補充するように構成した例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、着弾インク量の設計値を目標インク量とし、設計値を越えた量のインクが着弾した場合には超過量に応じて着色成分分解手段を作動させ、超過分のインク（着色成分）を分解するようにしてもよい。以下、このように構成した変形例について説明する。

図 2 2及び図 2 3はこの変形例を説明する図であり、図 2 2は着色層形成工程を説明するフローチャート、図 2 3は着色成分分解手段の一種であるエキシマーレーザー光源 8 0を説明する模式図である。なお、この変形例の製造装置 1における基本的な構成は、上記した例と同様であるので、ここではその詳細な説明は省略する。

この変形例の特徴は、着色成分分解手段としてエキシマーレーザー光源を備えている点である。ここで、「エキシマー」とは、同種の原子 '分子で基底状態にあるものと励起状態にあるもの 1個ずつで形成される不安定な二量体であり、「ェキシマーレーザー光」とは、このエキシマーが解離して基底状態へ遷移するときの発光を利用するレーザー光である。

このエキシマーレーザー光は高エネルギーを有する紫外光でィンク液中の着色成分（色素）の分子結合を断つ作用を有するため、着色成分を分解することができ色濃度を薄くすることができる。また、インクの飛散やフィルタ基板の損傷が生じ難いという作用をも有する。さらに、このエキシマーレーザー光では、その出力と照射パルス数（時間）を制御することで、分解される着色成分の量を調整することもできる。

このエキシマーレーザー光は、例えば、エキシマーレーザー光源 8 0から照射された後にプリズム 8 1等を介して各画素領域 1 2 _aに照射される。また、このエキシマーレーザー光源 8 0は、主制御部 3 1に電気的に接続されてその作動が制御可能である。即ち、主制御部 3 1はエキシマーレーザー光の出力と照射パルス数を制御する。

+ 以下、本実施形態における塗布工程を説明する。なお、以下の説明は上記の例との違いを中心に行い、上記例と同じ内容についての詳細な説明は省略する。図 2 2に例示するように、この塗布工程は、液材吐出工程（S 1 1 ) と、着弾量検出工程（S 1 2 ) と、補正量取得工程（S 1 3 ' ) と、液材補充工程（S 1 4 ) と、液材分解工程（S 1 5 ) とからなり、これらの各工程が順に行われる。液材吐出工程（S 1 1 ) では、基板 1 1上の各画素領域 1 2 aに所定色のインク滴を所定量打ち込む。この工程は、上記例の場合と同様にしてなされる。即ち、キヤリッジモータ 6が作動してガイドバー 4が主走査方向（X軸方向）に移動し、このガイドバー 4の移動に同期して噴射へッド 7のノズル開口 2 5から所定色の液滴を吐出させる。

着弾量検出工程（S 1 2 )では、着弾インク量を画素領域 1 2 a毎に検出する。この工程も上記例の場合と同様にしてなされ、例えば液材センサ 1 7を用いて行う。そして、取得された各着弾インク量は、主制御部 3 1の R AM (着弾インク量記憶手段に相当，図示せず）に画素領域 1 2 aの位置情報と関連づけた状態で記憶される。なお、この例においても液材センサ 1 7は液材量検出手段の一種として機能する。

補正量取得工程（S 1 3 では、上記の着弾量検出工程で検出した画素領域 1 2 a毎の着弾インク量をその画素領域 1 2 aについての目標インク量（本発明の目標液材量の一種）と比較し、着弾インク量と目標インク量の差を補正量として取得する。ここで、この例における目標インク量は着弾インク量の設計値とされ、例えば主制御部 3 1の R AM (目標インク量記憶手段に相当，図示せず）に記憶される。

この工程では、主制御部 3 1 (本発明の不足量取得手段の一種であって、超過量取得手段の一種）は、 R AMに記憶された各着弾インク量と目標インク量とを読み出し、目標インク量と着弾インク量との差を演算によって取得する。そして、取得したインク量差の情報は、過不足量情報（本発明の液材過不足量の一種）として、主制御部 3 1の R AM (過不足量記憶手段に相当，図示せず）に画素領域 1 2 aの位置情報と関連づけた状態で記憶される。

液材補充工程（S 4 ) は、上記例と同様の工程であり、着弾インク量が目標ィンク量に対して不足している画素領域 1 2 a上に噴射へッド 7を位置付けた状態で、不足量に応じた波形形状の駆動パルスを圧電振動子 2 1に供給し、その画素領域 1 2 aにインクを補充する。

液材分解工程（S 5 ) では、着弾インク量が目標インク量に対して超過している画素領域 1 2 aにエキシマーレーザー光を照射し、超過量に応じた量の着色成分を分解する。この場合において、主制御部 3 1は、レーザー光照射制御手段としても機能し、上記のプリズム 8 1を移動させる等して所望の画素領域 1 2 aにレーザー光を照射させる。また、主制御部 3 1は、分解量制御手段としても機能し、超過量に応じてレーザー光の出力や照射パルス数を制御し、必要量の着色成分を分解する。

そして、上記した一連の工程（即ち、塗布工程）が終了したならば、加熱等の処理を施し、塗布したインク液を定着させる。その後、フィルタ基体 2 を次ェ程に移送する。 ' なお、インク液に対する加熱定着後に上記ェキシマーレーザーによる液材分解工程を実施しても良い。

以上説明したように、この製造装置 1においては、着弾したインク量を画素領域 1 2 a毎に検出し、着弾インク量と目標インク量の差から求めた過不足量に応じてインクを補充するのか、分解するのか、或いは補充も分解も行わないのかを判定する。そして、補充する場合には、不足量に応じて設定された駆動パルスを圧電振動子 2 1に供給する。一方、分解する場合には、その画素領域 1 2 aにェキシマーレーザー光を照射すると共に、. 超過量に応じてエキシマーレーザー光の出力や照射パルス数を制御し、必要量の着色成分を分解する。

その結果、画素領域 1 2 a毎のインク濃度が設計値で揃い、高品位なカラーフィルタ 2を製造することができる。

図 2 4は、本実施形態において製造したカラーフィルタ 2を用いた液晶装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置 8 5に、液晶駆動用 I C、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ 2は図 2 0に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置 8 5は、カラーフィルタ 2、ガラス基板等からなる対向基板 8 6、及び、これらの間に挟持された S T N (Super Twisted Nematic) 液晶組成物からなる液晶層 8 7により概略構成されており、カラーフィルタ 2を図中上側（観測者側）に配置している。

なお、図示していないが、対向基板 8 6およびカラーフィルタ 2の外面（液晶層 8 7側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ 2の保護膜 7 7上（液晶層側）には、図 2 4において左右方向に長尺な短冊状の第 1電極 8 8が所定の間隔で複数形成されており、この第 1電極 8 8のカラーフィルタ 2側とは反対側の面を覆うように第 1配向膜 9 0が形成されている。

一方、対向基板 8 6におけるカラーフィルタ 2と対向する面には、カラーフィルタ 2の第 1電極 8 8と直交する方向に長尺な短冊状の第 2電極 8 9が所定の間隔で複数形成され、この第 2電極 8 9の液晶層 8 7側の面を覆うように第 2配向膜 9 1が形成されている。これらの第 1電極 8 8およぴ第 2電極 8 9は、 I T O (Indium Tin Oxide) などの透明導電材料により形成されている。

液晶層 8 7内に設けられたスぺーサ 9 2は、液晶層 8 7の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材 9 3は液晶層 8 7内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第 1電極 8 8の一端部は引き回し配線 8 8 aとしてシール材 9 3の外側まで延在している。

そして、第 1電極 8 8と第 2電極 8 9とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ 2の着色層 7 6 R、 7 6 G、 7 6 Bが位置するように構成されている。

図 2 5は、本実施形態において製造したカラーフィルタ 2を用いた液晶装置の第 2の例の概略構成を示す要部断面図である。

この液晶装置 8 5 'が上記液晶装置 8 5と大きく異なる点は、カラーフィルタ 2を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。

この液晶装置 8 5 'は、カラーフィルタ 2とガラス基板等からなる対向基板 8 6 'との間に S T N液晶からなる液晶層 8 7 'が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板 8 6 'およびカラーフィルタ 2の外面には偏光板がそれぞれ配設されている。カラーフィルタ 2の保護膜 7 7上（液晶層 8 7一側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第 1電極 8 8 ,が所定の間隔で複数形成されており、この第 1電極 8 8 の液晶層 8 7 '側の面を覆うよう.に第 1配向膜 9 0 'が形成されている。対向基板 8 6 'のカラーフィルタ 2と対向する面上には、カラーフィルタ側の第 1電極 8 8 と直交する方向に延在する複数の短冊状の第 2電極 8 9 'が所定の間隔で形成され、この第 2電極 8 9 'の液晶層 8 7 側の面を覆うように第 2 配向膜 9 1 一が形成されている。

液晶層 8 7 'には、この液晶層 8 7 'の厚さを一定に保持するためのスぺーサ 9 2 'と、液晶層 8 7 ,内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材 9 3 が設けられている。

そして、上記した液晶装置 8 5と同様に、第 1電極 8 8 ' と第 2電極 8 9 一との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ 2の着色層 7 6 R、 7 6 G、 7 6 Bが位置するように構成されている。

図 2 6は、本発明を適用したカラーフィルタ 2を用いて液晶装置を構成した第 3の例を示したもので、透過型の T F T (Thin Film Transistor) 型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。

この液晶装置 8 5 "は、カラーフィルタ 2を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置 8 5 "は、カラーフィルタ 2と、これに対向するように配置された対向基板 8 6 "と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ 2の上面側（観測者側）に配置された偏光板 9 6と、対向基板 8 6 "の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。

カラーフィルタ 2の保護膜 7 7の表面（対向基板 8 6 "側の面）には液晶駆動用の電極 9 7が形成されている。この電極 9 7は、 I T O等の透明導電材料からなり、後述の画素電極 1 0 0が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極 9 7の画素電極 1 0 0とは反対側の面を覆った状態で配向膜 9 8 が設けられている。

対向基板 8 6 "のカラーフィルタ 2と対向する面には絶縁層 9 9が形成されており、この絶縁層 9 9上には、走査線 1 0 1及ぴ信号線 1 0 2が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線 1 0 1と信号線 1 0 2とに囲まれた領域内には画素電極 1 0 0が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極 1 0 0上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極 1 0 0の切欠部と走査線 1 0 1と信号線 1 0 2とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ 1 0 3が組み込まれて構成されている。そして、走査線 1 0 1と信号線 1 0 2に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ 1 0 3をオン■オフして画素電極 1 0 0への通電制御を行うことができるように構成されている。なお、上記の各例の液晶装置 8 5 , 8 5 ' , 8 5 "は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、本発明の第 2の実施形態について説明する。図 2 7は、本発明におけるディスプレーの一種である有機 E L表示装置の表示領域（以下、単に表示装置 1 0 6と称する）の要部断面図である。

この表示装置 1 0 6は、回路素子部 1 0 7、発光素子部 1 0 8及び陰極 1 0 9 が基板 1 1 0上に積層された状態で概略構成されている。

この表示装置 1 0 6においては、発光素子部 1 0 8から基板 1 1 0側に発した光が、回路素子部 1 0 7及び基板 1 1 0を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部 1 0 8から基板 1 1 0の反対側に発した光が陰極 1 0 9によ反射された後、回路素子部 1 0 7及び基板 1 1 0を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部 1 0 7と基板 1 1 0の間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜 1 1 1が形成され、この下地保護膜 1 1 1上（発光素子部 1 0 8側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜 1 1 2が形成されている。この半導体膜 1 1 2の左右の領域には、ソース領域 1 1 2 a及びドレイン領域 1 1 2 bが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽ィオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域 1 1 2 cとなっている。

また、回路素子部 1 0 7には、下地保護膜 1 1 1及び半導体膜 1 1 2を覆う透明なゲート絶縁膜 1 1 3が形成され、このゲート絶縁膜 1 1 3上の半導体膜 1 1 2のチャネル領域 1 1 2 cに対応する位置には、例えば A 1、 Mo、 T a、 T i、 W等から構成されるゲート電極 1 1 4が形成されている。このゲート電極 1 1 4 及びゲート絶縁膜 1 1 3上には、透明な第 1層間絶縁膜 1 1 5 aと第 2層間絶縁膜 1 1 5 bが形成されている。また、第 1、第 2層間絶縁膜 1 1 5 a、 1 1 5 b を貫通して、半導体膜 1 1 2のソース領域 1 1 2 a、ドレイン領域 1 1 2 bにそれぞれ連通するコンタクトホール 1 1 6 a , 1 1 6 bが形成されている。

そして、第 2層間絶縁膜 1 1 5 b上には、 I TO等からなる透明な画素電極 1 1 7が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極 1 1 7は、コンタクトホール 1 1 6 aを通じてソース領域 1 1 2 aに接続されている。

また、第 1層間絶縁膜 1 1 5 a上には電源線 1 1 8が配設されており、この電源線 1 1 8は、コンタクトホール 1 1 6 bを通じてドレイン領域 1 1 2 bに接続されている。

このように、回路素子部 1 0 7には、各画素電極 1 1 7に接続された駆動用の薄膜トランジスタ 1 1 9がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部 1 0 8は、複数の画素電極 1 1 7上の各々に積層された機能層 1 20と、各画素電極 1 1 7及び機能層 1 2 0の間に備えられて各機能層 1 20 を区画するバンク部 1 2 1とにより概略構成されている。

これら画素電極 1 1 7、機能層 1 2 0、及び、機能層 1 2 0上に配設された陰極 1 0 9によって発光素子が構成されている。なお、画素電極 1 1 7は、平面視略矩形状にパターエングされて形成されており、各画素電極 1 1 7の間にバンク部 1 2 1が形成されている。

バンク部 1 2 1は、例えば S i 0、 S i 0₂、 T i 0₂等の無機材料により形成される無機物バンク層 1 2 1 a (第 1バンク層）と、この無機物バンク層 1 2 1 a上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層 1 2 1 b (第 2バンク層）とにより構成されている。このバンク部 1 2 1の一部は、画素電極 1 1 7の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。

そして、各バンク部 1 2 1の間には、画素電極 1 1 7に対して上方に向けて次第に拡開した開口部 1 2 2が形成されている。上記機能層 1 2 0は、開口部 1 2 2内において画素電極 1 1 7上に積層状態で形成された正孔注入 Z輸送層 1 2◦ aと、この正孔注入/輸送層 1 2 0 a上に形成された発光層 1 2 0 bとにより構成されている。なお、この発光層 1 2 O bに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。

正孔注入/輸送層 1 2 0 aは、画素電極 1 1 7側から正孔を輸送して発光層 1 2 0 bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層 1 2 0 aは、正孔注入/ 輸送層形成材料を含む第 1組成物（本発明の液材の一種に相当）を吐出することで形成される。正孔注入ノ輸送層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジォキシチォフェン等のポリチォフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いる。

発光層 1 2 O bは、赤色（R )、緑色（G)、又は青色（B ) の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第 2組成物（本発明の液材の一種に相当）を吐出することで形成される。発光層形成材料としては、例えば、（ポリ）パラフ: 二レンビニレン誘導体、ポリフエ二レン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカノレバゾーノレ、ポリチォフェン誘導体、ペリレン係色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、またはこれらの高分子材料にルプレン、ペリレン、 9， 1 0 -ジフエ二ノレアントラセン、テトラフエ二ノレブタジエン、ナイルレッド、クマリン 6、キナクリドン等を添加したものを用いることができる。

また、第 2組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入/輸送層 1 2 0 a に対して不溶なものが好ましく、例えば、シクロへキシルベンゼン、ジハイド口ベンゾフラン、トリメチルベンゼン、テトラメチルベンゼン等を用いることができる。このような非極性溶媒を発光層 1 2 0 bの第 2組成物に用いることにより、正孔注入 Z輸送層 1 2 0 aを再溶解させることなく発光層 1 2 0 bを形成することができる。

そして、発光層 1 2 0 bでは、正孔注入/輸送層 1 2 0 aから注入された正孔と、陰極 1 0 9から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極 1 0 9は、発光素子部 1 0 8の全面を覆う状態で形成されており、画素電極 1 1 Ίと対になって機能層 1 2 0に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極 1 0 9の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、本実施形態における表示装置 1 0 6の製造工程を図 2 8〜 3 6を参照して説明する。

この表示装置 1 06は、図 2 8に示すように、バンク部形成工程（S 2 1)、表面処理工程（S 2 2)、正孔注入/輸送層形成工程（S 2 3)、発光層形成工程（S 24)、及ぴ対向電極形成工程（S 2 5) を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（S 2 1) では、図 2 9に示すように、第 2層間絶縁膜 1 1 5 b上に無機物バンク層 1 2 1 aを形成する。この無機物バンク層 1 2 1 aは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターエングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層 1 2 1 aの一部は画素電極 1 1 7の周縁部と重なるように形成される。

無機物バンク層 1 2 1 aを形成したならば、図 3 0に示すように、無機物バンク層 1 2 1 a上に有機物バンク層 1 2 1 bを形成する。この有機物バンク層 1 2 1 bも無機物バンク層 1 2 1 aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターユングして形成される。

このようにしてバンク部 1 2 1が形成される。また、これに伴い、各バンク部 1 2 1間には、画素電極 1 1 7に対して上方に開口した開口部 1 2 2が形成される。この開口部 1 2 2は、画素領域（本発明の液材領域の一種に相当）を規定する。

表面処理工程（S 2 2) では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層 1 2 1 aの第 1積層部 1 2 1 a '及び画素電極 1 1 7の電極面 1 1 7 aであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極 1 1 7である I T〇の洗浄等も兼ねている。

また、撥液化処理は、有機物バンク層 1 2 1 bの壁面 1 2 1 s及び有機物バンク層 1 2 1 bの上面 1 2 1 tに施され、例えば 4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。

この表面処理工程を行うことにより、噴射へッド 7を用いて機能層 1 2 0を形成する際に、液材を画素領域により確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した液材が開口部 1 2 2から溢れ出るのを防止することが可能となる。そして、以上の工程とを経ることにより、表示装置基体 1 0 6 ' (本発明のデイスプレー基体の一種に相当）が得られる。この表示装置基体 1 0 6 は、図 1 ( a ) に示した製造装置 1の載置基台 3に載置され、以下の正孔注入 Z輸送層形成工程（S 2 3 ) 及び発光層形成工程（S 2 4 ) が行われる。

正孔注入/輸送層形成工程（S 2 3 ) では、噴射ヘッド 7から正孔注入 Z輸送層形成材料を含む第 1組成物を画素領域である開口部 1 2 2内に吐出する。その後に乾燥処理及び熱処理を行い、.画素電極 1 1 7上に正孔注入/輸送層 1 2 0 a'を形成する。

この正孔注入/輸送層形成工程は、上記第 1の実施形態における着色層形成ェ程と同様に、図 2 1に示した液材吐出工程（S 1 1 )、着弾量検出工程（S 1 2 )、補正量取得工程（S 1 3 )、及び液材補充工程（S 1 4 ) を順に経て行われる。なお、以下、 S 1 1 〜 S 1 4の各工程の詳細については上記第 1の実施形態において説明したので適宜省略する。

液材吐出工程（S 1 1 ) では、図 3 1に示すように、表示装置基体 1 0 6 '上の画素領域（即ち、開口部 1 2 2内）に正孔注入/輸送層形成材料を含む第 1組成物を液滴として所定量打ち込む。この場合においても上述したように駆動パルスの波形形状が設定されているので、液滴の吐出量や飛行速度が最適化され、画素領域内に所定量の第 1組成物を着弾させることができる。

全ての画素領域内に第 1組成物を着弾させたならば、着弾量検出工程（S 1 2 ) において、上記の液材吐出工程において着弾した第 1組成物量（本発明の液材量の一種に相当）を、液材量検出手段としての液材センサ 1 7によって画素領域毎に検出する。即ち、各画素領域毎にレーザー光線 L bを照射させると共に画素領域からの光をレーザー受光素子 1 9で受光させ、受光量（受光強度）に応じて第

1組成物の着弾量を判定する。そして、全ての画素領域について第 1組成物の着弹量を検出したならば、次の工程に移行する。補正量取得工程（S 1 3) では、上記の着弾量検出工程で検出した各画素領域. 毎の第 1組成物の着弾量をその画素領域についての第 1組成物の目標量（本発明の目標液材量の一種）と比較し、これらの差を補正量として取得する。

液材補充工程（S 1 4) では、第 1組成物の着弾量が目標量に対して不足している画素領域上、即ち、開口部 1 2 2上に噴射ヘッド 7を位置付け、この状態で不足量に応じだ波形形状の駆動パルスを圧電振動子 2 1 供給し、その画素領域に第 1組成物を補充する。そして、補充対象となる全ての画素領域について第 1 組成物の補充が終了したならば、この工程を終了する。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第 1組成物を乾燥処理し、第 1 組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、図 3 2に示すように、画素電極 1 1 7の電極面 1 1 7 a上に正孔注入/輸送層 1 2 0 aが形成される。

以上のようにして、各画素領域毎に正孔注入ノ輸送層 1 2 0 aが形成されたならば、正孔注入 Z輸送層形成工程を終了する。

次に発光層形成工程（S 24) について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入/輸送層 1 20 aの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第 2組成物の溶媒として、正孔注入/輸送層 1 20 aに対して不溶な非極性溶媒を用いる。

しかしその一方で、正孔注入 Z輸送層 1 2 0 aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第 2組成物を正孔注入 Z輸送層 1 2 0 a上に吐出しても、正孔注入/輸送層 1 2 0 aと発光層 1 2 0 bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層 1 2 0 bを均一に塗布できない虞がある。

そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層 1 20 aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第 2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入 Z 輸送層 1 20 a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。

このような処理を施すことで、正孔注入 Z輸送層 1 20 aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第 2組成物を正孔注入/輸送層 1 20 aに均一に塗布することができる。そして、この発光層形成工程においても、図 2 1に示した液材吐出工程（S 1

1)、着弾量検出工程（S 1 2)、補正量取得工程（S 1 3)、及び液材補充工程（S 14) を順次経ることにより発光層 1 20 bが形成される。

即ち、液材吐出工程（S I 1) では、図 3 3に示すように、各色のうちの何れ力（図 3 3の例では青色（B)) に対応する発光層形成材料を含有する第 2組成物を液滴として画素領域（開口部 1 22) 内に所定量打ち込む。この場合においても上述したように駆動パルスの波形形状が設定されているので、液滴の吐出量や飛行速度が最適化され、正孔注入/輸送層 1 20 a上に所定量の第 2組成物を着弾させることができる。

画素領域内に打ち込まれた第 2組成物は、正孔注入 Z輸送層 1 20 a上に広がつて開口部 1 22内に満たされる。なお、万一、第 2組成物が画素領域から外れてバンク部 1 2 1の上面 1 2 1 t上に着弾した場合でも、この上面 1 2 1 tは、上述したように撥液処理が施されているので、第 2組成物が開口部 1 2 1内に転がり込み易くなっている。

対応する画素領域内に第 2組成物を着弾させたならば、着弾量検出工程（S 1

2) において、上記の液材吐出工程において着弾した第 2組成物量を、液材量検出手段としての液材センサ 1 7によって画素領域毎に検出する。即ち、各画素領域毎にレーザー光線 L bを照射させると共に画素領域からの光をレーザー受光素子 1 9で受光させ、受光量（受光強度）に応じて第 2組成物の着弾量を判定する。そして、第 2組成物の着弾量を検出したならば、次の工程に移行する。

補正量取得工程（S 1 3) では、上記の着弾量検出工程で検出した各画素領域毎の第 2組成物の着弾量をその画素領域についての第 2組成物の目標量（本発明の目標液材量の一種）と比較し、これらの差を補正量として取得する。

液材補充工程（S 14) では、第 2組成物の着弾量が目標量に対して不足している画素領域上、即ち、開口部 1 22上に噴射ヘッド 7を位置付け、この状態で不足量に応じた波形形状の駆動パルスを圧電振動子 2 1に供給し、その画素領域に第 2組成物を補充する。そして、補充対象となる全ての画素領域について第 2 組成物の補充が終了したならば、この工程を終了する。

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第 2組成物を乾燥処理し、第 2 組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図 3 4に示すように、正孔注入 Z輸送層 1 2 0 a上に発光層 1 2 0 bが形成される。この図の場合、青色（B ) に対応する発光層 1 2 0 bが形成されている。

そして、図 3 5に示すように、上記した青色（B ) に対応する発光層 1 2 0 b の場合と同様の工程を順次用い、他の色（赤色（R ) 及び緑色（G) ) に対応する発光層 1 2 0 bを形成する。なお、 ¾光層 1 2 0 bの形成順序は、'例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。

各画素領域毎に発光層 1 2 0 bが形成されたならば、発光層形成工程を終了する。

以上のようにして、画素電極 1 1 7上に機能層 1 2 0、即ち、正孔注入 Z輸送層 1 2 0 a及び発光層 1 2 0 bが形成される。そして、対向電極形成工程（S 2 5 ) に移行する。

対向電極形成工程（S 2 5 ) では、図 3 6に示すように、発光層 1 2 0 b及ぴ有機物バンク層 1 2 1 bの全面に陰極 1 0 9 (対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、 C V D法等によって形成する。この陰極 1 0 9は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。この陰極 1 0 9の上部には、 A 1膜、 A g膜や、酸化防止のための S i 02、 S i N等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極 1 0 9を形成した後、この陰極 1 0 9の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置 1 0 6が得られる。

次に、本発明の第 3の実施形態について説明する。図 3 7は、本発明におけるディスプレーの一種であるプラズマ型表示装置（以下、単に表示装置 1 2 5と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置 1 2 5を一部を切り欠いた状態で示してある。

この表示装置 1 2 5は、互いに対向して配置された第 1基板 1 2 6、第 2基板 1 2 7、及ぴこれらの間に形成される放電表示部 1 2 8を含んで概略構成される。放電表示部 1 2 8は、複数の放電室 1 2 9により構成されている。これらの複数の放電室 1 29のうち、赤色放電室 1 29 (R)、緑色放電室 1 29 (G)、青色放電室 1 29 (B) の 3つの放電室 1 29が組になって 1つの画素を構成するように配置されている。

第 1基板 1 26の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極 1 30が形成され、このァドレス電極 1 30と第 1基板 1 26の上面とを覆うように誘電体層 1 3 1 が形成されている。誘電体層 1 3 1上には、各アドレス電極 1 30の間に位置し、且つ各ァドレス電極 1 30に沿うように隔壁 1 3 2が立設されている。この隔壁 1 3 2は、図示するようにァドレス電極 1 30の幅方向両側に延在するものと、ァドレス電極 1 30と直交する方向に延設された図示しないものを含む。

そして、この隔壁 1 32によって仕切られた領域が放電室 1 2 9となっている。放電室 1 29内には蛍光体 1 3 3が配置されている。蛍光体 1 33は、赤（R)、緑（G)、青（B) の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室 1 29 (R) の底部には赤色蛍光体 1 3 3 (R) 力緑色放電室 1 29 (G) の底部には緑色蛍光体 1 33 (G)力青色放電室 1 29 (B) の底部には青色蛍光体 1 33 (B) が各々配置されている。

第 2基板 1 2 7の図中下側の面には、上記ァドレス電極 1 30と直交する方向に複数の表示電極 1 3 5が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層 1 36、及び M g〇などからなる保護膜 1 37が形成されている。

第 1基板 1 26と第 2基板 1 2 7とは、ァドレス電極 1 30と表示電極 1 35 が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電 ' 極 1 30と表示電極 1 35は図示しない交流電源に接続されている。

そして、各電極 1 30, 1 3 5に通電することにより、放電表示部 1 28において蛍光体 1 3 3が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記ァドレス電極 1 30、表示電極 1 3, 5、及ぴ蛍光体 1 3 3を、図 1 (a) に示した製造装置 1を用い、図 2 1に示した製造工程に基づいて形成することができる。以下、第 1基板 1 ²6におけるアドレス電極 1 30の形成工程を例示する。

この場合、第 1基板 1 ²6が本発明のディスプレー基体の一種に相当する。そして、この第 1基板 1 2 6が載置基台 3に载置された状態で以下の工程が行われる。

まず、液材吐出工程（S 1 1 ) では、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（本発明の液材の一種に相当）を液滴としてアドレス電極形成領域（本発明の液材領域の一種に相当）に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

この場合においても上述したように駆動パルスの波形形状が設定されているので、液滴の吐出量や飛行速度が最適化され、アドレス電極形成領域に所定量の液体材料を着弾させることができる。

第 1基板 1 2 6上のァドレス電極形成領域に液体材料を着弾させたならば、着弾量検出工程（S 1 2 ) において、上記の液材吐出工程において着弾した液体材料量（本発明の液材量の一種）を、液材量検出手段としての液材センサ 1 7によつてアドレス電極形成領域毎に検出する。即ち、アドレス電極形成領域毎にレーザ一光線 L bを照射させると共にァドレス電極形成領域からの光をレーザー受光素子 1 9で受光させ、受光量（受光強度）に応じて液体材料の着弾量（着弾液材量）を判定する。そして、液体材料の着弾量を検出したならば、次の工程に移行する。

補正量取得工程（S 1 3 ) では、上記の着弾量検出工程で検出したアドレス電極形成領域毎の液体材料の着弾量をそのアドレス電極形成領域についての液体材料の目標量（本発明の目標液材量の一種）と比較し、これらの差を補正量として取得する。

液材捕充工程（S 1 4 ) では、液体材料の着弹量が目標量に対して不足しているアドレス電極形成領域上に噴射へッド 7を位置付け、この状態で不足量に応じた波形形状の駆動パルスを圧電振動子 2 1に供給し、そのアドレス電極形成領域に液体材料を補充する。そして、補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、この工程を終了する。

その後、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりァドレス電極 1 3 0が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極 1 3 0の形成を例示したが、上記表示電極 1 3 5及び蛍光体 1 3 3についても上記各工程を経ることにより形成することができる。

表示電極 1 3 5の形成の場合、ァドレス電極 1 3 0の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（本発明の液材の一種に相当) を液滴として表示電極形成領域（本発明の液材領域の一種に相当）に着弾させる。

また、蛍光体 1 3 3の形成の場合には、各色（R， G， B ) に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（本発明の液材の一種）を噴射へッド 7から液滴として吐出し、対応する色の放電室 1 2 9 (本発明の液材領域の一種に相当）内に着弾させる。

以上説明したように、上記製造装置 1においては、着弾した液材量を液材領域毎に検出し、着弹液材量と目標液材量の差から求めた不足量に応じて駆動パルスの波形形状を設定する。そして、この設定した駆動パルスを圧電振動子 2 1に供給することで不足量の液材を液材領域に着弾させるので、専用のノズルや噴射へッド 7を用いることなく、個々の液材領域に対して最適な量の液材を補充することができる。

また、液滴の量に加えて液滴の飛行速度も制御可能であるため、着弾位置の正確な制御も実現できる。即ち、噴射ヘッド 7を走査しながらにして液滴を所望の液材領域に正確に打ち込むことができる。これにより、學造時間の短縮化が図れる。 '

さらに、この製造装置 1では、一滴の液材量及び飛行速度を広範囲で変化させることができるので、 1つの液材領域の大きさが異なる種々のディスプレーを製造することもできる。即ち、液材領域のサイズが異なれば必要な液材量も異なる、この製造装置 1では、駆動パルスの種類や駆動パルスの供給数によって広範囲で液滴の吐出量を制御でき、駆動パルスの波形形状（各波形要素の設定）を変更することで極めて高い精度で一滴の液材についての量や飛行速度を変更できる。従って、専用のノズルや専用の嗑射ヘッドを用いることなく、同じ噴射ヘッド 7 によって異なる複数種類のディスプレーを製造可能な汎用製造装置として使用することができる。

なお、本発明は上記の各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づき種々の変形が可能である。

まず、本発明の液材量検出手段に関し、上記各実施形態に示した反射型の液材センサ 1 7に限られない。

例えば、液材量検出手段を透過型の液材センサ 1 7 'によって構成してもよい。この透過型の液材センサ 1 7 'では、ディスプレー基体の一方の表面側からレーザ一光線 L bを照射し、照射側とは反対の他方の表面側に透過した透過レーザー光線 L bの強度（光量）をレーザー受光素子 1 9によって検出する。このように構成しても上記実施形態と同様に着弾液材量を各画素領域 1 2 a毎に検出できる _c なお、この構成において、図 3 8に示すように、レーザー発光素子 1 8とレーザー受光素子 1 9とを、ディスプレー基体（図 3 8の場合、フィルタ基体 2 一）を挟むように配置してレーザー発光素子 1 8とレーザー受光素子 1 9とを同時に走査しても良い。また、プリズム等によってレーザー光線 L bを適宜反射させ、レーザー発光素子 1 8からのレーザー光線 L bを画素領域 1 2 aに照射し、画素領域 1 2 aを透過した後のレーザー光線 L bをレーザー受光素子 1 9に案内しても（入射させても）よい。

また、図 3 9に示すように、液材量検出手段を C C Dアレイ 1 4 0によって構成してもよい。この構成では、載匱基台 3の載置面 3 aを例えば面発光体によつて構成し、均一光量で発光可能とする。そして、ガイドバー 4における載置基台 3 との対向面に C C Dアレイ 1 4 0を配設し、画素領域 1 2 aを透過した光を受光させてインクの着弾量を検出する。なお、この構成において、 C C Dアレイ 1 4 0の分解能は素領域 1 2 aの大きさよりも高い（細かい）ことが検出精度向上の観点から好ましい。

この構成では、複数の液材領域（この場合、画素領域 1 2 a ) における液材の着弾量を検出可能であるため、検出時間の短縮化が図れ作業効率の向上が図れる。なお、液滴として吐出させる材料に関し、光透過性を有するとは限らない。この場合、着弾した液体状液材の表面高さを検出することで、着弾液材量を知ることができる。従って、液材量検出手段を、注入されたインク液の液面高さを検出可能な液面検出センサによつて構成してもよい。

また、上記では、狭い範囲の液材領域（例えば、画素領域 1 2 a ) に液材を吐出する場合を例示したが、例えば、図 2 0に示した保護膜 7 7を形成する場合のように、広範囲な液材領域に液材を吐出（基体全面に塗布）する場合にも本発明を適用することができる。

また、上記第 3の実施'形態においては、プラズマ型表示装置における電極 1 3 0 , 1 3 5の形成を例示したが、これに限らず、その他の回路基板における電極等の金属配線にも本発明を適用することができる。

また、電気機械変換素子は上記の圧電振動子 2 1に限らず、磁歪素子や静電ァクチユエータによって構成してもよい。

Claims

請求の範囲

( 1 ) ノズル開口に連通し液材を貯留可能な圧力室及び該圧力室の容積を変動可能な電気機械変換素子を備え、駆動パルスの電気機械変換素子への供給に伴い圧力室内の液材を液滴状にしてノズル開口から吐出可能な噴射へッドと、前記駆動パルスを発生可能な駆動パルス発生手段とを有し、

該液材量検出手段が検出した着弾液材量と目標液材量との差から当該液材領域の液材不足量を取得する不足量取得手段と、

駆動パルス発生手段が発生する駆動パルスの形状を設定するパルス形状設定手段とを設け、

該駆動パルスを駆動パルス発生手段から発生させて電気機械変換素子に供給することで、前記不足量の液材を液材領域に補充することを特徴とするディスプレ

( 2 ) 前記液材量検出手段を、光源となる発光素子と、受光した光の強度に応じた電圧の電気信号を出力可能な受光素子とによつて構成し、

発光素子からの光を液材域に照射すると共に該液材領域からの光を受光素子に受光させ、受光した光の強度によつて該液材領域の着弾液材量を検出することを特徴とする請求項 1に記載のディスプレー製造装置。

( 3 ) 前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第 1駆動パルスであり、

パルス形状設定手段は、第 1駆動パルスにおける最大電位から最低電位までの駆動電圧を設定することを特徴とする請求項 1又は請求項 2に記載のディスプレ一製造装置。

( 4 ) 前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第 1駆動パルスであり、

パルス形状設定手段は、定常容積に対応した中間電位を設定することを特徴とする請求項 1から請求項 3の何れかに記載のディスプレー製造装置。

( 5 ) 前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素とを含む第 1駆動パルスであり、

パルス形状設定手段は、膨張要素の時間幅を設定することを特徴とする請求項

1から請求項 3の何れかに記載のディスプレー製造装置。

( 6 ) 前記駆動パルスは、定常容積の圧力室を液材を吐出させない程度の速度で膨張させる膨張要素と、圧力室の膨張状態を保持する膨張ホールド要素と、膨張状態が保持された圧力室を急激に収縮させることで液材を吐出させる吐出要素と含む第 1駆動パルスであり、

パルス形状設定手段は、膨張ホールド要素の時間幅を設定することを特徴とする請求項 1から請求項 3の何れかに記載のディスプレー製造装置。

( 7 ) 前記駆動パルスは、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むべく定常容積の圧力室を急激に膨張させる第 2膨張要素と、圧力室を収縮させることで第 2 膨張要素により引き込まれたメニスカスの中心部分を液滴状にして吐出させる第 2吐出要素とを含む第 2駆動パルスであり、

パルス形状設定手段は、第 2駆動パルスにおける最大電位から最低電位までの駆動電圧を設定することを特徴とする請求項 1から請求項 3の何れかに記载のデイスプレー製造装置。

( 8 ) 前記駆動パルスは、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むべく定常容積の圧力室を急激に膨張させる第 2膨張要素と、圧力室を収縮させることで第 2 膨張要素により引き込まれたメニスカスの中心部分を液滴状にして吐出させる第 2吐出要素とを含む第 2駆動パルスであり、パルス形状設定手段は、定常容積に対応する中間電位を設定することを特徴とする請求項 1から請求項 3の何れかに記載のディスプレー製造装置。

( 9 ) 前記駆動パルスは、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むべく定常容積の圧力室を急激に膨張させる第 2膨張要素と、圧力室を収縮させることで第 2 膨張要素により引き込まれたメニスカスの中心部分を液滴状にして吐出させる第 2吐出要素とを含む第 2駆動パルスであり、

パルス形状設定手段は、第 2吐出要素の終端電位を設定することを特徴とする請求項 1から請求項 3の何れかに記載のディスプレー製造装置。

( 1 0 ) 前記駆動パルス発生手段は、単位周期内に複数の駆動パルスを発生可能に構成され、 '

単位周期あたりの圧力発生素子への駆動パルスの供給数を可変することにより、液材の吐出量を調整可能としたことを特徴とする請求項 1から請求項 9の何れかに記載のディスプレー製造装置。

( 1 1 ) 前記液材は、発光材料を含む液体状の材料であることを特徴とする請求項 1から請求項 1 0までの何れかに記載のディスプレー製造装置。

( 1 2 )】前記液材は、正孔注入/輸送層形成材料を含む液体状の材料であることを特徴とする請求項 1から請求項 1 0までの何れかに記載のディスプレー製造

( 1 3 ) 前記液材は、導電性微粒子を含む液体状の材料であることを特徴とする請求項 1から請求項 1 0までの何れかに記載のディスプレー製造装置。

( 1 4 ) 前記液材は、着色成分を含む液体状の材料であることを特徴とする請求項 1から請求項 1 0までの何れかに記載のディスプレー製造装置。

( 1 5 ) 前記液材量検出手段が検出した着弾液材量とその液材領域における目標液材量との差から液材超過量を取得する超過量取得手段と、

液材中の着色成分を分解する着色成分分解手段とを設け、

液材超過量に応じて着色成分分解手段を作動させ、超過分の着色成分を分解することを特徴とする請求項 1 4に記載のディスプレー製造装置。

( 1 6 ) 前記着色成分分解手段をエキシマーレーザー光を発生可能なエキシマ一レーザー光源によつて構成したことを特徴とする請求項 1 5に記載のディスプレー製造装置。

( 1 7 ) 前記電気機械変換素子が圧電振動子であることを特徴とする請求項 1 から請求項 1 6の何れかに記載のディスプレー製造装置。

( 1 8 ) ノズル開口に連通した圧力室及び該圧力室の容積を変動可能な電気機械変換素子を備え、電気機械変換素子の作動によって圧力室内の液材をノズル開口から吐出可能な噴射へッドと、上記電気機械変換素子へ供給するための駆動パルスを発生可能な駆動パルス発生手段とを有するディスプレー製造装置を用い、ディスプレー基体に設けられた複数の液材領域に前記ノズル開口から吐出した液材を着弾させることでディスプレーを製造するディスプレー製造方法において、目標量の液材を吐出させるための駆動パルスを電気機械変換素子に供給することで各液材領域に液材を吐出する液材吐出工程と、

着弾した液材の量を液材量検出手段によつて液材領域毎に検出し、検出された着弾液材量と液材領域に対する目標液量との差から液材過不足量を取得する補正量取得工程と、

着弾液材量が目標液材量に対して不足している場合に、該不足量に応じて駆動パルスの波形形状を設定し、該設定した波形形状の駆動パルスを駆動パルス発生手段から発生させて電気機械変換素子に供給し、不足量の液材を補充する液材補充工程とを経ることを特徴とするディスプレー製造方法。

( 1 9 ) 着弾液材量が目標液材量に対して超過している場合に、液材中の着色成分を分解する着色成分分解手段を作動させて着色成分を分解する液材分解工程を、前記捕正量取得工程よりも後に行うことを特徴とする請求項 1 8に記載のデイスプレー製造方法。