CN1300882A - 电镀处理装置和电镀处理方法 - Google Patents

Abstract

一种改进的电镀装置和方法。装置包括电镀槽(201),形成阴极并设置在电镀槽中用于输送工件(W)的多个导电辊(41),一对在它们的相应位置处在导电辊上面和下面横跨在电镀槽中的导电辊上彼此相对地设置的上下阳极(202,203),以及电镀电流输送部件,用于把电镀电流输送到导电辊。该装置还可包括辊驱动装置,用来前后驱动导电辊。方法包括:在通过前后转动导电辊而使工件在导电辊上来回运动的同时对工件进行电镀;然后把该工件输送出电镀槽。

Description

电镀处理装置和电镀处理方法

本发明涉及用于有效率地对要电镀的物品(以下简称“工件”)进行电镀的装置和方法。

用于大量电镀导电工件例如板状金属片或磁铁片的传统方法是如下进行的：将大量这种工件放在一个具有多边形例如六边形断面并设有多个用于电镀溶液的连同口的桶中；然后将该桶浸入到装有电镀溶液的电镀槽；随后在该桶转动的同时，将一个电镀电流加在位于在电镀槽中的一个阳极和位于该桶中的一个阴极上，以进行电镀。并且，为了使电镀电流均匀地流至大量的工件，通常要把与阴极电连接的介质(铁球)投入到该桶中。

但是，在这种传统的电镀方法中，因收容在桶中的工件处于相互重叠的状态，存在电镀效率非常低的问题。并且，在采用上述介质的情况下，投入到该桶中的介质不可避免地被电镀上，因此导致进一步地降低电镀效率。另外桶的转动会使工件相互碰撞，这会导致损坏每个工件棱角部分。

本发明是鉴于这些问题而提出的，因此本发明的一个目的在于提供一种电镀效率高、不会损坏各个被处理工件的电镀处理装置和处理方法。

根据本发明的第一方面，提供一种对被处理工件进行电镀处理的电镀处理装置，包括：设有阳极的电镀槽；设置在该电镀槽中并构成阴极的多个导电辊；以及向该阳极和该导电辊供应电镀电流的电镀电流供应装置。

根据本发明第一方面的电镀处理装置，可以将搁置在复数导电辊上的被处理工件一边输送一边进行电镀，因此可以对这些工件进行有效的电镀，而工件相互之间不会有任何干扰或碰撞，因此不会对每个工件造成任何损坏。

在上述电镀处理装置的一个优选实施方案中，电镀槽具有输入侧壁和输出侧壁，该输入侧壁上形成有输入口，通过该输入口可将工件输送到电镀槽中的导电辊上，该输出侧壁上形成有输出口，通过该输出口可将已被电镀的工件输送到电镀槽外；每个输入侧壁和输出侧壁能够让工件穿过该输入口或输出口，同时还设置有流出抑制装置，用于抑制电镀槽中的电镀溶液的流出。

通过在电镀槽的输入侧壁和输出侧壁上分别设置输入口和输出口，被处理工件能够通过输入口输送到电镀槽中，并且已电镀工件能够通过出口输送到电镀槽外。这个特点使得能够将工件平稳地输入和输出电镀槽，从而提高了生产效率。另外，由于流出抑制装置在工件输入或输出电镀槽时抑制或防止了大量电镀溶液通过输入口或输出口流出，因此就有可能有效地利用电镀槽中的电镀溶液，同时避免由于电镀溶液流出而导致的电镀失败。

根据本发明第一方面的电镀处理装置的另一个优选实施方案还包括将导电辊前后转动的辊子驱动装置。

辊子驱动装置的设置使得导电辊能够向前和向后转动。导电辊的前后转动使得工件被导电辊从阳极遮住的区域能够来回移动一个规定时间，从而每个工件都可以均匀电镀上一层所需厚度的电镀层。另外，由于电镀可以在来回运动的工件上进行，所以就有可能使电镀槽小型化。

在根据本发明第一方面的电镀处理子装置的另一个实施方案中，还可以在导电辊下方设置下部阳极和在导电辊上方设置上部阳极。

上述上下阳极的设置使得在电镀槽中安放在电镀辊上的被处理工件不仅能够从上下两面进行电镀，从而有可能迅速地在每个工件的上下表面形成一层电镀层。这在例如被处理工件是扁平的或板状的时候尤为有利。

根据本发明第一方面的电镀处理装置的另一优选实施方案，还包括一个设置在由导电辊限定的工件承载区域的两侧边部的模拟工件，该模拟工件与电镀电流供应部分的阴极侧电连接。

该模拟工件的设置能够抑制电镀电流集中在安放在工件区域的边侧附近的工件的棱角部分，从而避免电镀层在局部变厚，这易于在安放在那里的工件的棱角部分发生。因此，就可以防止由于每个工件在工件承载区域中的位置而导致不均匀电镀层的形成。

根据本发明的第二方面，提供一种对工件进行电镀处理的电镀处理装置，其中包括：具备阳极的电镀槽；具有构成阴极并承载该工件的多个导电辊和使该导电辊前后转动的辊子驱动装置的工件容器单元；能够将该工件容器单元相对于该电镀槽作着脱自在之输送的输送装置；以及向该阳极和该导电辊供应电镀电流的电镀电流供应部分。

根据本发明第二方面的这种电镀处理装置是以工件承载在导电辊上进行电镀的，因此就能够实现有效的电镀而不会损坏工件。另外，由于具有导电辊的工件容器单元可以通过输送装置自由地搬进和搬出电镀槽，所以能够以各个工件容器单元为单位来处理工件。因此，该电镀处理装置在使用性能和可操作性方面表现极好。例如，该电镀工艺的后处理例如酸洗和水洗可以在逐个工件容器单元上实现。另外辊子驱动装置的设置使得工件被导电辊从阳极遮住的区域能够通过导电辊的前后转动而往复来回运动一个规定时间，从而每个工件都可以均匀电镀上一层具有所要求厚度的电镀层。另外，由于电镀可以在工件往复来回运动时进行，所以可以实现工件容器单元的小型化。

在根据本发明第二方面的电镀处理装置的一个优选实施方案中，该阳极由设在导电辊下方的下阳极和设在导电辊上方的上阳极构成；并且还设有移动装置，用来在工件容器单元要搬进或搬出电镀槽的时候将该上阳极移动到与工件容器单元不接触的位置上。

上下阳极的设置让安放在导电辊上的工件能够在工件容器单元被装进电镀槽中的时候从上下两方面进行电镀，从而使得可能迅速地在每个工件的上下表面上形成电镀层。这在每个工件例如都是扁平状或板状的情况下尤为有利。另外，移动装置的设置使得在工件容器单元被装进电镀槽中的时，可以防止上阳极与工件容器单元接触。

根据本发明第二方面的电镀处理装置的另一个实施方案包括设置在由导电辊所构成的工件输送区域的周缘附近的模拟工件，该模拟工件与电镀电流供应部分的阴极侧电连接。

模拟工件的设置使得能够抑制电镀电流集中在安放在工件输送区域的周缘附近的工件棱角部分，从而避免电镀层在局部变厚，这种现象容易发生在处于该位置的工件的棱角部分。因此，就可以防止因工件的所处位置不同而导致的不均匀电镀层的形成。

在根据本发明第一或第二方面的具有上下阳极的电镀处理装置的优选实施方案中，电镀电流供应部分可以包括用于控制向阳极供应电镀电流的上阳极电流控制部分，以及用于控制向阴极供应电镀电流的下阳极电流控制部分。

通过上下阳极电流控制部分的设置，被导电辊遮住的下阳极的电流密度可以上调到高出上阳极。通过将下阳极的电流密度上调到高出上阳极，从而就可能增加被导电辊遮住而不容易电镀的工件下表面的电镀量，从而容易在每个工件的上下表面上提供一层均匀度得到改善的电镀层。

在根据本发明第一或第二方面的具有上下阳极的电镀处理装置的优选实施方案中，每个导电辊的下面可以设有一个遮挡下阳极的辊盖。

辊盖的设置使得能够减少因下阳极而不可避免地形成在导电辊的表面上的电镀层。因此，可以抑制因电镀层的形成而造成每个辊子表面的凹凸不平，保持导电辊表面的均匀性。因此，就可以减少因工件与辊子接触不均匀而导致的不均匀电镀。另外，可以以更长的时间间隔来进行更换导电辊，这在每个辊上的电镀层超过一定许可量的时候是必须进行的，因此改善了可维护性。

在根据本发明第一或第二方面的电镀处理装置的一个优选实施方案中，每个导电辊都具有一个带有驱动部件的驱动轴部分，以及一个用于装载工件的可移动地安装在该驱动轴部分的工件装载辊部分。

将导电辊可移动地安装在驱动轴部分和工件装载辊部分这一特征使得在工件装置辊部分过度附着电镀膜时，只要更换导电辊的装置辊即可改善其与工件的接触性能。因此就没有必要更换全体导电辊，因此进一步改善了可维护性。

在根据本发明第一或第二方面的具有上下阳极的电镀处理装置的优选实施方案中，上阳极的电极材料由可溶解的电极材料形成，该材料在电镀进行时是可溶解的，并且在上阳极下方可以设有一个网状部件用于防止由可溶解电极材料的溶解而导致的可溶解电极材料的微小颗粒掉到工件上。

该网状部件可以防止在电镀过程中产生的可溶解材料的微小颗粒粘附到工件的上表面。因此这种微小颗粒就没有可能作为晶核以使电镀层不均匀成长，因此就可以形成一种具有令人满意的表面形状的高质量电镀层。

在根据本发明第一或第二方面的具有上下阳极的电镀处理装置的优选实施方案中，上阳极的电极材料可用一种不溶性电极材料形成。在这种情况中，上阳极的电极材料在电镀过程中不会溶解，因此不会产生在可溶解材料的情况中产生的微小颗粒。因此，可以获得高质量的电镀层，而不会出现不均匀生长。

在根据本发明第一或第二方面的电镀处理装置的另一个优选实施方案中，可以设置一种过虑装置，通过对电镀槽中的电镀溶液进行过虑，将混入其中的微小杂质除去。

过滤装置的设置使得能够去除由于可溶解材料的溶解而产生的可溶解材料的微小颗粒以及混入到电镀槽中电镀溶液中的微小杂质例如灰尘。因此，就可能防止由于这种微小杂质粘附到工件上而导致的不均匀电镀层的形成，从而获得高质量的电镀层。

根据本发明第一或第二方面的电镀处理装置的另一个实施方案还包括一个输送导向件，用于防止沿着导电辊的轴线方向相邻安放的工件的相互接触。

该输送导向件的设置使得能够可靠地防止安放在导电辊上沿着每个导电辊的轴线相互靠近的位置处的工件相互接触。因此，就可能防止易于出现在相邻工件的可能接触部分处出现的电镀缺陷，从而确保每一工件能够形成高质量的电镀层。

根据本发明第一或第二方面的电镀处理装置另一实施方案，还包括安放在导电辊上并可在其上移动的输送盘。该输送盘设有可将安放在导电辊上多个工件分别容纳在其中，并且上下方向贯通的多个容纳空间。

输送盘的设置使得能够将工件分别容纳在容纳空间，并可在导电辊上移动和输送，因此能够可靠地防止沿着输送方向以及沿着导电辊的轴线方向彼此相邻放置的工件之间相互接触。因此，就可能可靠地防止工件之间相互接触以及由于这种相互接触而导致的电镀缺陷，从而确实地改善电镀质量。

本发明的第三方面是提供一种对工件进行电镀处理的电镀方法，该方法包括以下步骤：提供一个电镀槽，该槽具有阳极、以及多个用于将工件作为电镀对象在其上面输送的导电辊，这些导电辊形成阴极；将工件搬入电镀槽中；将被搬入的工件放置在导电辊上并使工件在导电辊上一边移动一边进行电镀；将已电镀工件搬出电镀槽。

这种电镀方法能够有效地电镀处理，而不会损坏工件。

在该电镀方法的一个优选实施方案中，可以在使导电辊前后转动而使工件在导电辊上来回运动的同时，对工件进行电镀。

让工件在导电辊上作来回运动的同时对其进行电镀，就可以任意调节电镀的时间，并且容易在工件上形成一层具有所要求厚度的电镀层，而与电镀槽沿输送方向的长度无关。

本发明的第四方面是提供一种对工件进行电镀处理的电镀方法，该方法包括以下步骤：提供一种具有一个阳极的电镀槽以及一个具有多个形成一个阴极并将工件作为电镀对象在其上面来输送的导电辊的工件容器单元；将该工件容器单元装进电镀槽中；在通过前后转动导电辊以使工件在导电辊上来回移动的同时对这些工件进行电镀；将装有已电镀工件的工件容器单元输出到电镀槽外。

根据这一电镀方法，它不会损坏工件，并能够任意调节电镀时间，从而能够在工件上形成一层具有所要求厚度的电镀层。另外，因为工件是以工件容器单元为单位进行的，因此该方法具有优良的使用性能和可操作性。

以下参照附图，对本发明的优选实施方案进行说明。由此可以清楚地了解本发明的上述和其它目的、特征和所带来的优点。

图1为本发明第一实施方案的电镀处理装置的整体结构图；

图2为局部剖面的侧面正视图，表示在第一实施方案中的电镀处理装置的电镀槽中装有工件容器单元的状态；

图3为图2所示电镀槽的局部剖面的前正视图；

图4为电镀槽的局部成断面的侧面正视图，该图表示上阳极的移动装置；

图5为表示工件容器单元的框架结构透视示意图；

图6为可转动地安装在下框架部分上的导电辊的局部成断面的前视图；

图7为沿图6中A线箭头方向的视图；

图8为向导电辊供应电流的电力输送部件的部分透视图；

图9为表示第一实施方案的电镀处理装饰的控制系统的框图；

图10为表示本发明第二实施方案的电镀淳力装置的整体结构图；

图11为表示沿第二实施方案的电镀处理装置的电镀槽的输送方向的垂直断面图；

图12为表示流出抑制装置的透视图；

图13为流出抑制装置的中央部分的垂直断面图；

图14为第二实施方案的电镀处理装置的控制系统的框图；

图15为根据本发明第一实施方案的电镀槽的断面的侧面正视图，在该图中显示出上阳极设有网状部件以及用框图表示的过滤装置；

图16为下框架部分设有输送导向件的一个实施例的部分剖视图；

图17为沿图16A线箭头方向的局部剖视图；

图18为下框架部分设有输送导向件的另一个实施例的局部剖视图；

图19为沿图18A线箭头方向的局部剖视图；

图20为沿着设有模拟工件和输送导向件的下框架部分的y轴线剖开的剖视图；

图21为输送盘的平面图。

现在将通过参照附图以优选实施方案的方式对本发明进行详细说明。

首先参照显示出作为本发明第一实施方案的电镀处理装置的整体结构的图1，该图对整个电镀处理装置作了简要的说明。为了便于说明，根据图1中的坐标系，输送车架71的移动方向将作为“x轴方向”或“横向”，将包含输送车架71的移动方向的水平方向内与移动方向垂直的方向将作为“y轴”或“纵向”。

该电镀处理装置包括输入段101，酸洗槽102，第一水洗槽103，第一超声波水洗槽104，电镀槽1，第二水洗槽105，第二超声波水洗槽106，第三水洗槽107，具有多个热空气入口的干燥室108，输出段109以及电镀层清除槽110，这些都沿着x轴方向排成一列。包括电镀槽1和酸洗槽102的这些槽有时会没有区别地被共同称作“处理槽”。输送导轨70架在这些部件之上，并且输送车架71可以滑动地安装在该输送导轨70上。该输送车架71设有升降臂72，该升降臂用于通过悬挂着工件容器单元21向上和向下从而将它装进和离开每个这样的处理槽或类似槽。输入段101和输出段109每个都设有一个用于在上面放置工件容器单元21的平台。

将装有工件的工件容器单元21从输入段101中提上来，并且按照酸洗槽102，第一水洗槽103，第一超声波水洗槽104，电镀槽1，第二水洗槽105，第二超声波水洗槽106，第三水洗槽107，干燥室108的顺序输送到并装进每个处理槽和腔室中以让工件进行相应的处理。然后将装有经这样处理过的工件的工件容器单元21输送到输出段109。根据这个实施方案的电镀处理装置的基本部件包括电镀槽1，工件容器单元21，以及输送车架71。电镀层清除槽110的作用将在下面进行说明。在图1中省略了工件容器单元21安装在各处理槽中的情况。

根据第一实施方案的电镀处理装置的基本部件参照图2和图3进行详细说明。图2和图3表示工件容器单元21处于安装在电镀槽1中的状态。

在装有一种电镀溶液的电镀槽1中沿着槽1的高下方向面对面地设有上阳极2和下阳极3，在这两个阳极之间安放着工件容器21的底部。下阳极3以绝缘状态固定在电镀槽1的底部上。上下阳极2和3每个都包括一个电极材料容纳箱和容纳在其中的电极材料，该电极材料容纳箱上设有多个与电镀溶液连通的连通孔。该电极材料不仅可以是一种可在电镀溶液中溶解的电极材料，也可以是一种在电镀溶液中不溶解的电极材料。例如在镍电镀工艺中，可以采用镍板或镍片作为可溶解的电极材料，也可以采用铂、钛和铱作为不可溶解电极材料。该电极材料容纳箱采用钛等不溶解电极材料构成。当上阳极2采用板状材料等适当的不溶解材料时，就不需要电极材料容纳箱。对于电镀溶液，在光亮或半光亮电镀中可以采用例如Watt槽。

电镀槽1的上部形成有一个阳极缩回空间5，用于让上阳极2缩回到那里。如图4中所示，在电镀位置和阳极缩回空间5之间设有将上阳极2移动的移动装置62。移动装置6设有导向件7，该导向件7设有阳极支承臂8，该支承臂8可以沿着y轴方向移动。在该阳极支承臂8的前端部垂设有阳极固定件9，该固定件的下端部水平地支承着上阳极2。该阳极支承臂8可以通过没有图示的驱动装置沿着y轴方向前后移动，因此上阳极2就可以在对着下阳极3的电镀位置和阳极缩回空间5之间移动。该驱动装置，例如可以包括一个汽缸，一个油压缸，一个齿条齿轮机构或类似机构。导向件7、阳极支承臂8以及驱动装置等组成了该移动装置6。

如图2和图3所示，电镀槽1的x轴方向左右两方的上边缘上安装有四个金属支承件11A、11A和11B、11B(为说明方便，以下均用符号11表示)，每个支承件形成有一个用于支承工件容器单元21的V形凹槽12。这些金属支承件11A、11A和11B、11B是与电镀槽1绝缘的。金属支承件11中的每一个都是由一种具有高导电性的金属材料如铜或铜合金制成的，并且一对金属支承件11A、11A或11B、11B以y轴方向的所定间隔被设置成与x轴平行。一边的金属支承件11A、11A与直流电源的阴极侧电连接，另一边的金属支承件11B、11B与直流电源的阳极侧电相连。

如图5中所示，工件容器单元21包括一个由矩形上框架部分22和相同形状的下框架部分23构成的框架25，这些框架通过位于四个角落处的竖直支柱部件24相互连接。下框架部分23包括一对沿着x轴方向平行设置并且在y轴方向彼此相距一定间隔的下横向部件26A、26B，以及一对沿y轴方向平行设置并且横跨下纵向部件26A、26B两端的下纵向部件27、27。同样上框架部分22包括一对上横向部件28A、28B和一对上纵向部件29、29。在y轴方向的前后立设的一对竖直支柱部件24、24各自架设与y轴方向平行的中间纵向部件31、31。一对支承轴32A、32B以在y轴方向上的所定间隔、沿x轴方向平行架设该中间横向部件31、31上。一边(图的右侧)中间横向部件31上安装有马达安装板33。该框架25由一种刚性合成树脂如刚性氯乙烯制成，而支承轴32A、32B则由一种相对强度较高的金属材料例如不锈钢或黄铜制成。

如图2中所示，前方的支承轴32A可拆卸地支承在位于电镀槽1的上端部前方的那对支承金属件11A、11A的V形凹槽12处，而后方的支承轴32B可拆卸地支承在位于电镀槽1的上端部后方的那对金属支承件11B、11B的V形凹槽12处。当支承轴32A、32B这样支承在V形凹槽12处的时候，在金属支承件11A、11A和支承轴32A之间以及在金属支承件11B、11B和支承轴32B之间形成电连接。因此，这些金属支承件和支承轴也起电连接件的作用。

如图2所示、在上框架部分22的上横向部件28A、28B上以一种面对面的方式分别安装有倒L形钩形部件35，在其内侧延设的上片部36上形成有开口向下的V形切口37。

在框架25的下框架部分23的那对下横向部件26A、26B上安装有多个导电辊41，它们在x轴方向以一定间隔设置设置在与y轴方向平行的位置，以便在上面输送工件W。如图6中所示，前方的下横向部件26A包括一个下面部分38和一个与下面部分38液密封地相连的上面部分39，在它们的界面处形成有一排容纳轴的轴孔，每个轴孔通过一对轴承43、43和一对密封环44、44容纳每个导电辊41的相应驱动轴部分以便作正反两方向的转动。同样下横向部件26B也设有一排容纳轴的轴孔，每个轴孔容纳每个导电辊41的另一个端部以便转动。

在轴承43、43之间插入有一对与导电辊41的驱动轴部分42接触的上下电力输送部件45、45。如图8所示，每个电力输送部件45、45都包括一个其半径稍小于驱动轴部分42轴径的切口部分46以及一个平面部分，它们反复相连。这些输送部件45、45通过它们相应的平面部分而相互邻接从而装配在一起以形成容纳轴的轴孔。电力输送部件45由弹性导电材料例如铜合金的弹簧材料制成。这些电力输送部件45、45被容纳在一个沿长方向(x轴)形成的的凹槽中，该凹槽限定在上述下面部分38和上面部分39之间界面的中间。电力输送部件45、45通过一条引线(未图示)与支承轴32A电连接，而该支承轴32A与直流电源的阴极电连接。该引线容纳在限定在中间纵向部件31和支柱部件24中的凹槽(未示出)中，并通过填充在该凹槽的绝缘填充材料(未示出)而固定在其中。

如图6中所示，导电辊41保括可转动地支承在前方的下横向部件26A上并且和电力输送部件45接触的驱动轴部分42，以及与驱动轴部分42的后端螺旋连接在一起的工件输送辊部分48。该驱动轴部分42的前端部设有由工程塑料制成的蜗轮47，并且合成树脂套管53安装在驱动轴部分42的后端部上以便防止对该尾端部分进行电镀。另一方面，该工件输送辊部分48在其尾侧上安装有一个滑动套筒，该滑动套筒由一种具有低摩擦系数的合成树脂例如氟塑料制成。安装有套筒49的尾侧部分可转动地支承在后方的下横向部件26B的容纳轴的轴孔中。工件输送辊部分48的尾端部分突出到下横向部件26B的外面并且形成一个平面部分50以便让使用一种工具例如扳手。通过用合适的工具在该平面部分50处把持该工件输送辊部分48并且使它转动，从而就能够容易地把工件输送辊部分48从驱动轴部分42中拆卸下来。由于容纳轴的轴孔的尺寸使得滑动套筒49能够插入，所以即使在工件输送辊部分48被电镀上一层电镀层的时候也可以方便地将它从该轴孔拔卸下来。

导电辊41由强度比较高的金属材料例如黄铜或不锈钢制成，并且驱动轴部分42与电连接在电镀电源的阴极侧上的电力输送部件45相接触，因此在电镀时起着阴极的作用。如果导电辊41太粗，在工件下面的被下阳极3遮住部分太多，电镀效率将下降。另一方面如果导电辊41太细的话，那么由于其对于某些种类工件强度不够的缘故，辊41会变得易于变形，或者由于辊41的表面和工件之间的摩擦减小的缘故而难以使工件在其上面因其前后转动所致移动。因此，导电辊41的外径要根据工件的种类来决定。当电镀工件的重量相对较低时，将导电辊41的外径设定在大约2-10mm即可。虽然增加相邻导电辊41之间的间距可以提高电镀效率，但为了保证工件顺利移动，至少三根导电辊41的总间距应设置成与工件的移动方向的长度相同。换句话说，每对相邻辊41的优选间距应设成每个工件总是有两根辊41来支承。

在每个导电辊41下面设有用来防止辊41被下阳极电镀的辊盖51。该辊盖51被承载并支承在形成在分别安装在下横向部件26A、26B的内侧上的盖支持板52中的U形凹槽处。与工件W接触的辊41的顶端比辊盖51的顶端要高大约1mm，并且在辊盖51的内表面和辊41的表面之间规定有大约0.5到1mm的间隔。辊盖形状可根据要求而自由设定，并不局限于U形状，例如它可以设置成其顶端被切掉的圆形。

如果导电辊41作为阴极在其上面承载工件W进行电镀作业，由于在下阳极3和工件W之间存在辊41的缘故，工件的下侧面不容易形成电镀层。因此，为了确保在工件的下侧面上进行令人满意地电镀，将下阳极3设置在更靠近辊41的位置上或增加在下阳极3处的电镀电流密度是有效的。然而这些措施会使导电辊更容易被电镀，因为辊41比工件W更接近下阳极3。这个问题可以通过设置图7中所示的辊盖51来解决，该辊盖可以抑制在辊41的表面上形成电镀层。因此，就可以保持辊41的表面平坦性。虽然导电辊41(工件输送辊部分48)在辊41被电镀上一层其厚度超过所允许范围的电镀层时需要进行更换，但是上述的设置会延长这种更换的周期。

如图2中所示，马达55和控制箱56在安装在中间纵向部件31右边的马达安装板33上。在与中间纵向部件31相连的支柱部件24上可转动地支承着传动轴59，转动轴59的两端安装有锥齿轮58、58。如图3中所示，在前方的下横向部件26A上可转动地支承着一根与各导电辊41的蜗轮47接合的蜗杆轴61，并且在其右侧端部处安装有一个锥齿轮60。传动轴59的上方的锥齿轮58与连接马达55的输出轴的锥齿轮57接合，而传动轴59的下方的锥齿轮58与蜗杆轴61的锥齿轮60接合。因此，马达的输出轴的转动就通过传动轴59和蜗杆轴61而被传送到各导电辊41上。应该指出的是，马达55、控制箱56、传动轴59、蜗杆轴61以及蜗轮47等部件组成了本发明用于使导电辊向前和向后转动的辊驱动装置。

控制箱56包括一个马达控制电路，用来使马达56以一个预定的周期向前和向后转动。该控制电路与阴极侧的支承轴32A以及电连接在直流电源阳极侧的支承轴32B相连。因此，当工件容器单元21被装进电镀槽1中的时候，通过金属支承件11B、11B和支承轴32B将电力供应给该控制电路以控制马达55。

输送车架71具有升降臂72，该升降臂可以沿着输送导轨70作相对本体的自由升降。例如该升降臂72可通过由液压缸引起的活塞杆的伸缩动作或通过钢缆的上下卷绕动作等，作相对于输送车架71本体的升降动作。如图2和3中所示，升降臂72的下端部的y轴方向的前后设有有一对吊轴74、74，该吊轴74、74与设置在上横向部件28A、28B处的一对钩形部件35、35的V形切口处37接合。

该升降臂72在下限位置和上限位置之间上升和下降，在下限位置处每根吊轴位于每个钩形部件35的上片部36和工件容器单元21的上框架部分的顶端之间，而在上限位置处工件容器单元21由吊轴74、74吊起，该吊轴在V形切口处37与钩形部件35接合，从而不与另一个处于装在电镀槽1等中的状态的工件容器单元21的顶部接触。因此，当升降臂72位于下限位置时，升降臂72可以移动，而不会干扰安装在电镀槽1或等中的工件容器单元21。另外，通过使升降臂72在工件容器单元21的安装位置处上升，从而可以提升该工件容器单元21。当升降臂72上升到上限位置时，工件容器单元21处于吊起状态，此时可将输送车架71的本体移动到目标位置，然后使升降臂下降到下限位置时，可以将工件容器单元21装进设置在目的位置的处理槽或处理室。将工件容器单元21装入处理槽或处理室时，该处理槽或处理时的上端部与支承轴32A、32B接合，此时需要设置支承它们的支承部件。另外，输送车架相当于本发明的输送装置。

该电镀处理装置设有用于控制整个系统的控制装置。如图9中所示，该控制装置包括由CPU82、ROM83、RAM84和控制接口85构成的主控制单元82，该主控制单元81与能够由操作员进行操作的控制面板86相连。该操作员通过控制面板86将电镀程序输入到主控制单元81中，并且将这样输入程序存储进ROM83中以便CPU82输出控制信号。

对于主控制单元81连接有上阳极电流控制部分91，下阳极控制部分92，输送车架控制部分93，用于控制上阳极2移动的移动控制部分94，用于控制分别设在超声波水洗槽104和106的超声波清洗装置的超声波清洗控制部分(未示出)以及用于控制用于将热空气送进干燥室108中的热空气送风机的干燥控制部分(未图示)。从主控制单元81将控制信号输入到各控制部分。上阳极控制部分91和下阳极控制部分92与用来供应电镀直流电流的直流电源90相连。该直流电源90在其阳极侧还与用作电镀槽1等的阳极连接件的金属支承件11B、11B相连。另外，该直流电源90在其阴极侧与上阳极电流控制部分91和下阳极控制部分92的阴极侧相连，并且还与用作电镀槽1等的阴极连接件的金属支承件11A、11A相连。

在下面将对由根据第一实施方案的电镀处理装置实施的电镀工艺进行描述。

首先，在工件容器单元21的导电辊41上放置彼此之间具有适当间隔工件W。将装有工件W的工件容器单元21放置在输入段101上。然后，输送车架71将工件容器单元21升起，并将它输送到酸洗槽102上方的位置处，然后使升降臂72下降以便将工件容器单元21装进槽102中。在经过一个预定时间之后，将升降臂72再次升起，使工件容器单元21上升，然后将它输送到第一水洗槽103，并且将它装进去。在该处理期间，让导电辊41前后转动以使工件W沿着x轴方向来回移动。同样，将工件W在第一超声波水洗槽104中用超声波清洗粘附的污染物之后，该输送车架71将该工件容器单元21输送到电镀槽1并将它装进去。

在输送车架71的升降臂72将工件容器单元21装进电镀槽1中的同时，上阳极2缩回进缩回空间5中。在工件容器单元21的安装完成之后，该阳极支承臂8向前移动，上阳极2移动到下阳极3的相对位置上，进行电镀。在电镀过程中，根据导电辊41的前后转动，支承在导电辊41上的工件W沿着x轴方向前后来回运动。在设有辊盖51的情况中，工件这种来回运动的距离优选为至少与辊盖51的宽度相等。然而，如果来回运动距离太大的话，那么一次可以放置在该导电辊41上的工件W数量将减少。同样，在进行该电镀过程而没有采用辊盖51的情况下，该来回运动的距离优选大致等于导电辊41的直径。这种来回移动距离可以通过调节设在该实施方案的马达控制电路的正反转换定时器来控制。在电镀处理中，可以通过控制上下阳极2和3处的电流密度，使得在工件W的上下侧面上都能镀上厚度大致相同的电镀层。

在经过一个预定的处理时间后，将阳极支承臂8后退，以使上阳极2缩回进缩回空间5中。然后，输送车架71使升降臂72上升，从而使工件容器单元21上升，然后依次把该工件容器单元21输送到并装进第二水洗槽104、第二超声波水洗槽105、第三水洗槽107和干燥室108，在各个处理槽中使工件W受到相应的处理。此后，将工件容器单元21输送到输出段109，并且将完成电镀的工件从工件容器单元21中取出。

由于这种电镀过程是重复进行的，因此电镀层不可避免地在导电辊41的表面上逐步地沉积和生长。当这种不可避免的电镀层增长到超过一定厚度时，它会与辊盖51的内部表面接触或导电辊表面会形成凹凸不平，从而改变该导电辊41与工件W之间的导电性，结果工件W就不会被均匀地电镀。因此，在当在该辊表面上的这种电镀层的厚度到达一定值时，导电辊41的工件输送辊部分48就要进行更换。由于根据该实施方案的电镀处理装置设有用于溶解并除去沉积在导电辊41上的电镀层的电镀层清除槽110，所以就可以将工件容器单元21和导电辊41逐个浸入到该电镀层清除槽110中，从而清除这种电镀层。这个特征在导电辊41是一种不可分割的整体形式时尤为有效。

本发明并不局限于上述第一实施方案的电镀处理装置。本发明也可以进行下面的改变和变化。

虽然在第一实施方案中电镀处理是在上下阳极2和3位于导电辊41的上面和下面而进行的，但是这些阳极可以安装在电镀槽1的侧壁上，也可以将设在侧壁上的阳极与下阳极3组合在一起使用。如果不设第一实施方案中所采用的上阳极2的话，那么用于移动上阳极2的移动装置也变得不必要了。

另外，虽然第一实施方案采用了输送车架71作为用于把二件容器单元21输送到各处理位置的装置，但是可以采用适当的装置替换，例如采用高架行车或电动吊车。

虽然在第一实施方案采用了传动齿轮机构作为转动驱动导电辊41的装置，但也可以设置链轮齿来替换工作轮47，各导电辊41的链轮齿挂上链条，用马达来驱动它作前后运动。

在第一实施方案中，设置了一个直流电源用作电镀电源和马达驱动电源，并且沿着x轴方向设置的一对金属支承件11A、11A和11B、11B作为各个阴极侧和阳极侧与直流电源电连接，但也单独设置一个专门用于马达控制的电源。在这种情况中，可以采用这样一种布置：电镀槽1设有一对分别与该电源的阴极侧和阳极侧电连接的导电件，而工件容器单元21装置在电镀槽1时，将与该导电片连通一对相应的电接收件设置工件容器单元21内。在这种情况中，可以采用交流电源作为马达控制电源。

另外，在第一实施方案中包含的处理槽例如酸洗槽和水洗槽，以及输送车架的数量可以适当地改变。例如，对于电镀槽而言，可以采用多个电镀槽来进行粗电镀(半光亮电镀)和精电镀(光亮电镀)。还有，在第一实施方案的该电镀处理装置中，是相对各处理槽以工件容器单元为单位进行处理的，但是电镀的预处理工序(酸洗、水洗)，后处理工序(水洗、干燥)可以在各自单独的处理装置中进行。

以下对本发明的第二实施方案的电镀处理装置进行说明。

图10显示出根据本发明第二实施方案的电镀处理装置的整体结构。与第一实施方案同样、为了便于说明，根据图10中的坐标系，工件W输送的方向将被设为“x轴方向”或“横向方向”，而且在包含该输送方向的水平面中垂直于该输送方向的方向设为“y轴方向”或“纵向方向”。

该电镀处理装置包括构成该电镀处理装置的基本部件的电镀槽201，具有多个喷头的水洗室291，具有多个空气喷嘴的吹风室292，具有多个热空气入口的干燥室293以及用于容纳已经经过一系列处理的工件W的容器294，这些部件沿着x轴方向排成一列。为了便于说明，水洗室291、吹风室292和干燥室293有时会不加区别地通称为“处理室”。

如图11中所示，该电镀处理装置包括装有电镀溶液的电镀槽201。该电镀槽201设有多个用于输送工件W的导电辊41。这些导电辊41的轴方向与y轴方向相同，并且在x轴方向上以一定间隔排列成排。这些导电辊41浸入在电镀溶液中。与图6中类似，这些导电辊41由一对设置成在y轴方向有一定的间隔并与x轴方向平行的横向部件(相当于图5中的部件26A,26B)支承，以便其作前后转动，并且这些导电辊通过设在前方的横向部件(相当于图中的26A)的电力输送部件(相当于图6中的部件45、45)与电镀电源的阴极侧电连接。该横向部件在它们的两个端部和中间部处通过纵向部件(对应于图5中的部件27)相互连接在一起。这些纵向部件这样放置：它们的顶端比有导电辊41所的工件支承(或工件输送)平面的位置要低，从而该纵向部件不会干涉由辊41输送的工件。

这些导电辊41由位于电镀槽201外侧的辊驱动马达(未示出)借助于适当的传动机构进行驱动。由于导电辊41的结构和第一实施方案所采用的结构一样，所以相同的标号用于表示和第一实施方案中同样的部件。

上下阳极202和203在导电辊41的上方和下方的位置处可拆卸地安装在电镀槽201上。该上下阳极202和203的结构和在第一实施方案中的一样。

电镀槽201沿着输送方向的上游侧具有输入侧壁211，该输入侧壁211开设有入口212，其高度让扁平状工件W能从那里穿过并且其宽度基本上等于每个辊41的长度。沿着输送方向在下游侧的电镀槽201的输出侧壁213开设有与入口212同形状的出口214。输入侧壁211和输出侧壁213分别设有流出抑制装置221和222，用来在当由导电辊41输送的工件通过入口212或出口214的时候抑制电镀槽201中的电镀溶液经过入口212或出口214从该槽201中流出。

如图11到13中所示，流出抑制装置221和222包括一对上下抑制泄漏辊224和225，这两个辊以导电辊41的工件输送平面为中心并且并行地设置，其外部圆周表面之间相互邻接。这些抑制泄漏辊224、225可转动地被由刚性合成树脂制成的框架部件226的侧壁部分227、227支承着。下抑制泄漏辊225具有一根辊轴231，其一端安装有一个与用于驱动这些抑制泄漏辊的马达联动地相连的第一齿轮232，另一端安装有一个第二齿轮233。上抑制泄漏辊224具有一根辊轴231，其一端安装有一个在齿数和节径方面等于第二齿轮233且与第二齿轮233啮合的从动齿轮234。因此，在下抑制泄漏辊225沿着将工件W朝着下游侧(沿着输送方向)输送的方向转动时，上抑制泄漏辊224也以一个与下辊225的转动速度相同的速度沿着输送方向转动。这些抑制泄漏辊224、225每一个都具有一层围绕着每个辊轴231形成的柔性层236，该柔性层236由一种柔性材料形成，例如一种泡末合成树脂，如聚氨酯泡末橡胶或泡末硅橡胶，这种材料可以在辊224和225的接触位置处依工件W的外形而弹性变形。

框架部件226还具有分别设有密封部件238和239的上壁228和下壁229，每个壁都与每个辊224或225的外部圆周表面相接以防止液体泄漏。一块由具有低摩擦系数的树脂如一种氟塑料制成的板固定在与辊224、225相接的每个密封部件238、239的内表面以及每个侧壁部分227、227的内表面上，从而降低了相接部分处的摩擦阻力，因此防止了磨损。

如图11中所示，电镀槽201还设有循环装置，用于回收在工件W通过流出抑制装置221或222时不可避免地泄漏出的部分电镀溶液并且使它们流回电镀槽201。该循环装置包括分别安装在输入侧壁211和输出侧壁213上的辅助容器216、217，用于容纳不可避免地泄漏出的部分电镀溶液以把它们暂时存储起来，还包括一个与辅助容器216或217的底部连通的抽空泵219，用于使存储在辅助容器216、217中的电镀溶液通过返流管218返回到电镀槽1中。

再参照图10，包括水洗室291在内的每个处理室沿着输送方向在上游侧都具有一个输入侧壁并且在下游侧具有一个输出侧壁。输入侧壁和输出侧壁分别设置有如同电镀槽201的入口212和出口214的入口和出口。在各处理室的入口和出口之间设有多个输送辊241，用于将从入口输送进来的工件W输送到出口。还有，在相邻的处理场所之间，例如在电镀槽201和水洗室291之间并且在干燥室293的输出侧上设有输送辊242，用于把工件W向着下游侧输送。这些输送辊241、242由输送辊驱动马达(未示出)驱动。另外，在电镀槽201的输入侧上设有由输入辊驱动马达(未示出)驱动的输入辊243，用于把工件W输入进电镀槽201中。

根据该实施方案的电镀处理装置设有用于控制整个电镀处理装置的控制装置。如图14中所示，该控制装置包括一个主控制装置251，该装置由CPU、ROM、RAM以及控制接口组成，主控制装置251连接用于操作员操作的控制面板252。

在主控制单元251连接有上阳极电流控制部分254，下阳极电流控制部分255，输入辊驱动马达控制部分257，输入侧抑制泄漏辊驱动马达控制部分258，导电辊驱动马达控制部分259，输出侧抑制泄漏辊驱动马达控制部分260，输送辊驱动马达控制部分261，用于在辅助容器216、217中积累了预定量的电镀溶液时启动抽空泵219的抽空泵控制部分262，用于控制把水供应到和停止供应到水洗室291的喷射嘴上的电磁阀的水洗控制部分(未示出)，用于控制把空气供应到和停止供应到吹风室292的空气喷嘴上的电磁阀的空气控制部分(未示出)，以及用于控制用来把热空气送到干燥室293的热空气送风机的干燥控制部分(未示出)。从主控制单元251将信号输入到各控制部分。上阳极电流控制部分254和下阳极电流控制部分255设有向其供应电镀直流电流的直流电源270。该直流电源270的阴极侧与上阳极电流控制部分254和下阳极电流控制部分255的阴极侧相连，而上下阳极电流控制部分则电连接在与导电辊41的驱动轴部分42接触的电力输送部件45上。

以下，对根据第二实施方案的电镀处理装置进行说明。

首先，将驱动输入辊243、导电辊41和在输入侧上的流出抑制装置221的抑制泄漏辊224和225在输送方向转动。如图11中所示，将表面经过清洗处理如酸洗清洗过的工件W放在输送辊243上，然后通过抑制泄漏辊224、225的接触部分依次输送到电镀槽201中的导电辊41上。一旦在导电槽201中的导电辊41上放置了一个预定数量的工件W，就让抑制泄漏辊224、225和输送辊243停止转动，从而停止将工件W输送进电镀槽201中。与此同时，以一种可选的方式向前和向后转动电镀槽201中的导电辊41以使导电辊41上的工件W沿着输送方向来回运动，对工件W进行电镀。和在第一实施方案中一样，如果采用辊盖的话，工件W的这种来回运动的距离优选大致等于辊盖的宽度，或者如果没有采用辊盖的话，则大致等于导电辊41的直径。为了使工件W的上下侧面均能镀上一层厚度均匀的电镀层，可以按要求控制上阳极202和下阳极203处的电流密度。

一旦在电镀槽201中的电镀已经完成，驱动导电辊41、输出侧的流出抑制装置222的抑制泄漏辊224和225以及输送辊241和242以使它们沿着输送方向转动以便将电镀过的工件W从电镀槽201向下游侧的后续处理室例如水洗室291输送。与此同时，驱动输入侧的抑制泄漏辊224和225以及输入辊243以使它们再次转动以便将另一组要电镀的工件W输送进电镀槽201中。如上所述，在已经把一个预定数量的要电镀的工件W输送进电镀槽201中之后，对这些工件W进行电镀，同时使这些工件沿着输送方向来回运动。另一方面，依次对该组已经电镀过的工件W在水洗室291中用水进行清洗，输送进吹风室292中，在那里通过吹风将水润湿的工件W脱水，然后在干燥室293中的进行热风干燥，接着输送并存储在容器294中。对于各处理室而言，一旦最后的工件W被输送出某一处理室，就停止在该处理室的操作，例如工件被输送出水洗室291后，就停止清洗水的供应。在从电镀槽201中输送出的一组工件全部被输送出干燥室293后，输送辊241、242也将停止。

根据第二实施方案的电镀处理装置不应该被解释为对本发明的限制。例如，可以进行下面的改变和变化。

在第二实施方案中，与第一实施方案中的变化一样，可以将阳极安装在电镀槽201的侧壁上。另外，作为转动驱动导电辊41的传动装置可以使用链条。

在第二实施方案中，虽然流出抑制装置221、222分别位于电镀槽201的输入侧壁211和输出侧壁213的外侧，但是它们可以分别设在这些侧壁211、213的内侧。另外，也可以省略这些流出抑制装置221、222。在这种情况中，入口212和出口214以尽可能小为好，并且要求尽可能接近液面。另外，辅助容器216、217并不限于设置在电镀槽201的输入侧壁211和输出侧壁213上，也可以设置成能够容纳整个电镀槽。

在该第二实施方案中，在通过使导电辊41在电镀槽201中正反转动从而使输送到电镀槽201中的一组工件W在输送方向来回运动的同时对工件进行电镀。然而，也可以不使导电辊41正反转动，而将输入辊243、导电辊41以及输送辊241和242在输送方向连续转动，把工件W从输入辊243连续地输送到一系列处理槽中，从而连续地进行电镀、水洗、吹风和干燥处理。

虽然输送辊241、242在第二实施方案中是作为一个整体来控制的，但是在每个处理室中的输送辊241和紧接着位于该处理室下游的输送辊242可以作为一组来控制。在这种情况中，全部工件从该处理室输送出时，该处理室中和下游的一组输送辊对241、242可以停止驱动。

另外，根据第二实施方案的电镀处理装置可以采用一种结构上基本上和电镀槽201一样的水洗槽来代替水洗室291。在这种情况中，可以采用整体式输送辊，而没有必要使用分割结构的导电辊41和电力输送部件45。在电镀槽201的上游侧可以设置一个结构和上述水洗槽一样的水洗槽或酸洗槽。另外，电镀槽201的下游侧的处理(水洗和干燥)可以通过其它的处理系统进行。

通过第一和第二实施方案任意一个的电镀处理装置，电镀质量会由于下面所述的某些原因而下降。因此，本发明的电镀处理装置可以设有用于消除这种使质量下降的原因并改善电镀质量的附加结构(将在下面进行描述)。

当对位于导电辊41上的工件W进行电镀时，装在电镀槽1或201中的电镀溶液中的微小杂质会沉降并粘附在工件W的上面。即便微量的微小杂质粘附在工件表面，那么电镀层也会以该微小杂质为晶核在其周围成长，因此在工件表面形成的电镀层会该杂质而导致凹凸不平，并且电镀层表面变得粗糙。这样粗糙表面不仅会损害成品的外观并且其凹凸不平处会吸附微小杂质，造成在后续工序中即便对工件进行洗净，也将不能充分除去这些微小杂质。如果这种不令人满意的电镀产品应用于一个电子装置的话，那么留在该电镀产品的表面上的微小杂质会作为污染物以使该电子装置的性能变坏。

这些微小杂质包括用于形成上阳极的一种可溶解电极材料的微小颗粒，这些杂质在该可溶解电极材料在电镀期间溶解的时候产生，还包括从外部空气中混入到电镀溶液的灰尘。尤其在第一实施方案中将工件容器单元21装进或取出电镀槽1时，该电镀槽1的上方不可避免地受到开放，因此来自外部也将无法避免地混入电镀溶液。

导电辊41的外部圆周表面或工件的下表面的电镀层的附着状态不同。由于这个原因，当在导电辊41上安放有多个工件W的时候，所输送的或在辊41的作用下来回运动的工件会从输送方向朝辊轴(y轴)方向偏移，由此工件之间将会发生相互接触。如是，接触部位的电镀层将会变薄，严重时会镀不上电镀层，因此导致电镀质量下降。

另外，对于放在由导电辊41所限定的工件支承区域的周边附近的工件，其周边部的棱角部分会倾向于镀上更厚的电镀层。详细地说，对于安放在如图20中所示下框架23的下横向部件26A、26B和下纵部件27、27(参见图5)而言，电镀电流易于在位于这种纵向或横向部件附近的工件W的棱角部分E处聚集。因此，该棱角部分E就会镀上一层特别厚的电镀层。这样，因工件在支承区域的所处位置不同，会造成电镀层的不均匀。

以下根据第一实施方案，对用于防止由于微小杂质粘附在工件上而导致电镀质量下降以确保电镀质量改善的附加结构进行说明。可以设置的这样一种附加结构包括一个设置以便覆盖着如图15中所示的上阳极2的下侧面的网状部件301，从而防止可溶解电极材料的微小颗粒从上阳极2中掉到工件上。该网状部件301通过固定件302安装在上阳极2的电极材料容纳箱上。

该网状部件301的网眼尺寸能让电镀金属离子通过但阻碍由上阳极2的可溶解电极材料的溶解而形成的电极材料的微小颗粒通过。该网状部件301可以采用网眼尺寸为几个微米或更小的多孔材料，例如网，机织织物或非机织织物。这样多孔材料可以由具有优良的耐腐蚀性和耐热性的合成树脂例如氟塑料，常用耐腐蚀金属材料例如不锈钢或镍合金，或者不可溶解的电极材料例如白金或钛制成。在多孔材料是由一种在电镀期间是可溶解的金属材料例如不锈钢制成的情况中，固定件302由绝缘材料例如合成树脂制成。

虽然图示的网状部件301通过固定件302安装在下阳极2下方，但是该网状部件301可以设置在上阳极2的电极材料容纳箱的底面。在这个情况中，该网状部件使用由合成树脂或不可溶解电极材料制成的多孔材料。

当然，如果上阳极2的电极材料是不可溶解的材料例如白金、钛或铱构成而不会产生电极材料的微小颗粒，此时就没有必要设置该网状部件301。

在这种情况中，电镀溶液的电镀金属离子浓度因电镀而发生变化。因此，最好设置一个化学补充装置用来适当地弥补电镀金属离子的减少。如图15中所示，这种化学补充装置304包括一种用于探测电镀金属离子浓度的浓度探测器305以及用于从一个化学容器(未示出)将一种具有高电镀金属离子浓度的化学液体提供到电镀槽1中的流动控制阀306。从这种化学补充装置304的化学液体，根据由浓度探测器305探测到的浓度，通过该流动控制阀306的一个阀控制器来调节流量，从而达到一定的预定的浓度。

另外，如图15中所示，作为改善电镀质量的附加结构，可以设置一个用于过滤电镀槽1中的电镀溶液的过滤装置311，它可以单独使用，也可以与网状部件311结合在一起使用。

该过滤装置311包括一个与一个限定在电镀槽侧壁的一个上面部分中的流入口以及一个限定在电镀槽侧壁的一个下面部分中的流出口连通的循环通道，用来在它们之间提供连通，一个与循环通道312相连的泵313以及一个设在通道312中的过滤器315。该循环通道312设有一个用于在泵313的下游位置处加热电镀溶液的加热器314。该过滤器315设置在加热器314的下游。

该过滤器315用于去除电极材料的微小颗粒以及混入电镀溶液中的微小灰尘，所以该过滤器的孔眼尺寸为几个微米或更小，优选为一个微米或更小。

与循环通道312连通的流出口最好位于放置在工件容器单元21的导电辊41上的工件上方。这样设置的流出口使得被过滤器315将其中的杂质清除过的电镀溶液能够从工件上方的位置流进电镀槽1，搅拌位于工件上方的电镀溶液，因此更有效地防止微小杂质粘附到工件的上表面上。

根据来自设在电镀槽1中的溶液温度传感器318中的温度信号来控制加热器316的输出，这样就能通过一个温度调节器(未示出)将电镀溶液的温度设定在一个目标温度上。

下面所述的是另一个附加结构，该结构可以用来防止由于工件之间的相互接触而导致电镀质量下降，从而确保改善电镀质量。

这种附加结构包括一个可移动地附着在下框架部分23的输送导向件，用来防止在导电辊41的作用下而沿x轴方向移动的工件沿着辊41的轴线作横向移动，从而防止相邻工件相互接触。该附加的结构能够防止工件之间相互接触，因此防止出现由于这种相互接触而导致的电镀缺陷。

在图16和17中所示为这种输送导向件的一个例子。该输送导向件321包括多个横跨在形成工件容器单元21的框架25的下框架部分23的下横向部件26A和26B之间的支承部件322，以及多个附设在支承部件322的下面的多个导向板323，如在下纵向部件27、27(参见图5)之间沿x轴方向延伸。每个支承部件324具有两个相对端部，每个端部装有一个在那顶端附近的位置处与每个下横向部件26A、26B的内表面接合的定位部件324。

导向板323的其下端位于导电辊41的上端部的下方，并且在其与相应辊41的交叉部分处形成有弓形凹陷口。弓形凹陷口的内圆周与相应的导电辊41的外圆周之间的间隙要小于工件W的厚度。

支承部件322和定位部件324优选由一种高强度和耐腐蚀合成树脂例如一种刚性氯乙烯树脂制成。导向板323优选由一种具有低摩擦系数以及支承部件322所要求的上述性能的合成树脂例如氟塑料制成。

虽然图示的导向板323的下方具有多个用于避免导电辊41干涉的切口，但是还可能采用一种导向板，该导向板没有形成有这样切口，并且其下端距离导电辊41顶端的间距要小于工件W的厚度。

在图18和19中显示了输送导向件的另一个例子。该输送导向件321A包括多个横跨在框架25的下框架部分23的下横向部件26A和26B之间的支承部件322，多个附设在支承部件322的下侧的安装板326，沿着x轴方向在下纵向部件27、27(参见图5)之间延伸，以及多个安装在安装板326的下侧的导向辊327。每个支承部件322具有两个相对端部，每个端部安装有一个用于获得工件W沿每个导电辊41的轴线定位的定位部件324。在输送导向件321A，与上述输送导向件相同的部分采用相同的参照符号。

导向辊327各位于相邻导电辊41之间并且包括一根安装在相应安装板326上的辊轴328，该辊轴的中心轴线处于上下方向，并且辊体329可转动地安装在辊轴328上，辊体329的下端位于导电辊41的顶部的下方。该辊轴328由一种耐腐蚀金属例如不锈钢制成，而辊体329优选由一种具有低摩擦系数的合成树脂如氟塑料制成。

通过输送导向件321A，可以防止在导电辊41的轴方向邻接工件之间的接触，并且工件即使与导向辊328接触，这也仅仅是点接触，而且导向辊327之间面对工件的侧面，因此不会妨害电镀处理。

在图中虽然在安装板326上设置有辊体329能够自由转动的导向辊327，但是也可以在安装板326上设置没有辊体329的导向轴。在这种情况中，导向轴优选由一种具有优良的耐腐蚀性和低摩擦系数的合成树脂如氟塑料制成。

另外，以下描述的另一个附加结构可以用来防止不均匀电镀层的形成，该不均匀电镀层的形成是因为工件在第一实施方案方式的导电辊上所处的位置而导致的。如图20中所示，这种附加结构包括与电镀直流电源阴极侧电连接的且位于下框架部分23的下横向部件26A、26B和下纵向部件27、27的内侧处的模拟工件331。

模拟工件331的设置使得电镀电流能够部分朝着模拟工件331分流，避免电流向位于由导电辊41限定的工件承载区域的周围附近的工件W的棱角部分E处集中，从而防止电镀电流集中在棱角部分E处。因此，就可以对该工件进行均匀地电镀，而不用考虑工件在导电辊41上的位置。

在设置模拟工件331以外，用来防止不均匀电镀层形成的方法可以是将上阳极2设置成弯曲形状，使上阳极2与导电辊41之间的距离在导电辊41的工件承载区域中心位置比周边位置更近，也就是说增加周边位置的距离。或者，上阳极2的电极材料容纳箱容纳的电极材料可以设置成接近工件承载区域的周边部分比接近工件承载区域的中心位置部分更少的状态。在这些方法中，设置模拟工件是可取的，因为它比其它方法更方便并且能够很容易通过用适当的在尺寸和形状上与先前不同的可替换模拟工件来替换先前模拟工件来优化电镀条件。

设在图20中所示的结构中的输送导向件(图中为321A)并不是必要的。在设有这样一种输送导向件的情况中，各个下横向部件26A、26B处设置的模拟工件331与在这些部件26A、26B一侧邻设的工件W之间可以设置导向辊327或导向板323。

下面的说明涉及一种附加结构，该结构可以用来防止沿着输送方向以及沿着每个辊41的轴线彼此相邻放置的工件之间相互接触，从而防止由于相邻工件的这种相互接触而导致的电镀质量下降。该结构在工件为扁平状、小型状、或者相对于输送方向左右不对称的时候尤为有效。

图21所示为作为这样一个附加结构的一个例子的输送盘341，该输送盘的底部平坦，并且能够支承在导电辊41上并且能通过转动辊41来移动。该输送盘342包括一个矩形外部框架342和一个形成在外部框架342内部的格栅，该格栅包括沿着输送方向设置的多个横向杆343以及与横向杆343垂直交叉的纵向杆344。横向杆343和纵向杆344用作限定了多个工件容纳空间345的分割件，该空间在平面视图中呈矩形并且在上下方向呈贯通状态。这些工件容纳空间345的每一个都用来单独地容纳单个工件W，并且其尺寸被设定成在容纳在里面的工件的外部边缘与限定工件容纳空间345的横向杆343和纵向杆344之间具有一个适当的间距。虽然所述工件容纳空间345在图中表现为矩形，但是可以将它设计成任意合适的形状，例如圆形。

输送盘341在其横向杆344方向的高度基本上适合下框架部分23沿y轴方向的内部长度，而输送盘341在横向杆343方向的横向宽度能够让盘341在下框架部分23里面沿输送方向来回运动。输送盘341的厚度可以是数微米以上、工件W厚度的两倍以下。输送盘341的厚度优选为大致等于工件W的厚度。该输送盘341通常是由一种良好的耐腐蚀性和耐热性的合成树脂如刚性氯乙烯制成，但是可以由一种金属材料如黄铜或不锈钢制成。在后面的情况中，输送盘341的底部表面以及横向杆343和纵向杆344的内部表面都覆盖有绝缘材料如合成树脂。

在操作中，将该输送盘341放在导电辊41上，然后将工件W放在导电辊41上，这样它们就各自容纳在各个工件容纳空间345中。随后，转动导电辊41，将输送盘341和工件W一起移动。此时，即使各工件W在移动速度方面发生差异，输送盘341的横向杆343和纵向杆344也能够确实工件W之间的接触，工件W的移动和输送均处于稳定状态。因此输送盘341的设置使得能够防止电镀质量下降并且能使电镀质量稳定。

和根据第一实施方案的电镀处理装置一样，根据第二实施方案的电镀处理装置可以设有一个用于改善电镀质量的附加结构，例如，如图15中所示的安装在上阳极202上的网状部件301或与电镀槽201相连的过滤装置311。如图16到19所示，第二实施方案还可以设有输送导向件321或321A。另外，在第二实施方案中还可以设置在图20中所示的模拟工件331。在这种情况中，考虑到纵向部件(相当于图5的27)的上端设置在低于导电辊41的工件承载面的位置，因此模拟工件331只要设在导电辊41的工件承载区域的的两个相对横向边缘处，即在横向部件(相当于图5中的部件26A、26B)处即可。

还有，该第二实施方案可以采用在图21中所示的输送盘341。在这种情况中，电镀操作是如下进行的：将输送盘341安放在输入辊243上；将工件W放置在输入辊243上以便单独地容纳在输送盘341的相应工件容纳空间345中；将该输送盘341和容纳在里面的工件一起通过输入侧上的流出抑制装置221和入口212输送进电镀槽201；在电镀之后，通过出口214和流出抑制装置222将它们朝着下游侧输送。

在电镀槽没有设置入口212和出口214的情况下，可以采用这样一种设置：在电镀槽的输入侧壁附近设置一个输入机器人以便可释放地夹着输送盘341，并且能把工件设置成能单独地容纳在输送盘341的相应工件容纳空间345中，然后将它们放置在导电辊41上，同时在电镀槽的输出侧壁附近设置一个输出机器人以便可释放地夹着输送盘341并将它们输送出电镀槽。在这种情况中，如装有上阳极202，这样设置不得妨碍输送盘341以及工件输入和输出电镀槽。

根据本发明具有以下优点，即可将被电镀物品(即工件)在导电辊上支承并移动的同时，或者在导电辊的正反转动作驱使下作往复来回移动的同时对工件进行电镀。因此，能够以更高的电镀效率和更高的生产率来对工件进行电镀，而且不会出现因相邻工件之间的相互接触而导致的损害。由于这些优点，本发明适用于对尺寸相对较小的板状、扁平状电子零件、机械零件或类似物品进行电镀。

虽然只对本发明的某些优选实施方案进行了详细描述，但是对于那些本领域普通技术人员来说显而易见的是，对实施方案做某些变化和改进，将不会脱离如下面权利要求书中所限定的本发明的范围。

Claims (19)

1．一种电镀处理装置，包括：

设有阳极的电镀槽；

多个设置在该电镀槽中并构成阴极的导电辊，用来输送作为电镀对象的工件；以及

电镀电流输送部件，用来把电镀电流输送到该阳极和该导电辊上以对该工件进行电镀。

2．如权利要求1所述的电镀处理装置，其中所述电镀槽具有一个形成有一个入口的输入侧壁，通过输入侧壁把工件输送到电镀槽中的导电辊上，以及一个形成有一个出口的输出侧壁，通过该输出侧壁把已电镀过的工件输送出该电镀槽，每个输入侧壁和输出侧壁设有流出抑制装置，用来在让工件通过该入口或出口的同时抑制电镀槽中的电镀溶液流出该电镀槽。

3．如权利要求1所述的电镀处理装置，其中还包括辊驱动装置，用来使导电辊向前和向后转动。

4．如权利要求1所述的电镀处理装置，其中所述阳极包括一个位于导电辊下方的下阳极和一个位于导电辊上方的上阳极。

5．如权利要求4所述的电镀处理装置，其中还包括一个设置在由导电辊限定的工件承载区域的两侧端部的模拟工件，该模拟工件与电流输送部件的阴极侧电连接。

6．一种电镀处理装置，包括：

设有阳极的电镀槽；

工件容器单元，该单元具有多个导电辊，这些导电滚用来在上面承载作为电镀对象的工件并构成阴极，该单元还包括一个辊驱动装置，用来使导电辊向前和向后转动；

输送装置，用于输送工件容器单元并且用来将工件容器单元装进电镀槽中以及将它从电镀槽中取出；以及

电镀电流输送部件，用来把电镀电流输送到阳极以及导电辊上以对工件进行电镀。

7．如权利要求6所述的电镀处理装置，其中阳极包括一个位于导电辊下方的下阳极和一个位于导电辊上方的上阳极；并且还设有一个移动装置，用来在工件容器单元被装进电镀槽中或取出时，把上阳极移动到一个上阳极不能接触工件容器单元的位置处。

8．如权利要求7所述的电镀处理装置，其中还包括一个设置在由导电辊所限定的工件承载区域周边部的模拟工件，该模拟工件与电镀电流输送部件的阴极侧电连接。

9．如权利要求4或7所述的电镀处理装置，其中电镀电流输送部件包括一个用于控制输送到上阳极的电镀电流的上阳极电流控制部件，以及一个用于控制输送到下阳极的电镀电流的下阳极电流控制部件。

10．如权利要求4或7所述的电镀处理装置，其中所述导电辊的下侧设有遮住下阳极的辊盖。

11．如权利要求1或6所述的电镀处理装置，其中所述导电辊各具有一根设有驱动部件的辊轴部分；以及可移动地安装在该驱动轴部分，用于承载工件的承载辊部分。

12．如权利要求4或7所述的电镀处理装置，其中：上阳极由一种在电镀过程中可溶解的可溶解材料构成；并且在该上阳极下方设有一个网状部件，用来防止该可溶解电极材料在电镀期间溶解而导致的可溶解电极材料的微小颗粒降落到工件上。

13．如权利要求4或7所述的电镀处理装置，其中上阳极由一种不可溶解电极材料构成。

14．如权利要求1或6所述的电镀处理装置，其中电镀槽设有一个对电镀槽中的电镀溶液进行过滤的过滤装置，用来清除混入其中的杂质。

15．如权利要求1或6所述的电镀处理装置，其中还包括一个输送导向件，用于防止沿着导电辊的轴线安放在导电辊上相互靠近位置处的工件相互接触。

16．如权利要求1或6所述的电镀处理装置，其中还包括一个在导电辊上放置和移动的输送盘，该输送盘形成有在上下方向贯通的多个工件容纳空间，这些空间各自容纳承载在导电滚上每个工件。

17．一种对电镀对象的工件进行电镀的方法，包括以下步骤：

提供一个具有阳极和多个导电辊的电镀槽，该导电辊用来承载工件并构成阴极；

将工件输送进电镀槽；

把工件承载在导电辊上并且使工件进行电镀，同时通过转动导电辊以使工件在导电辊上移动；并且

把经过电镀的工件输送出电镀槽。

18．如权利要求17所述的电镀方法，其中所述电镀是在将导电辊向前和向后转动，使得工件在导电辊上作来回运动的同时而进行的。

19．一种对电镀对象进行电镀的方法，包括以下步骤：

提供一个具有阳极的电镀槽以及工件容器单元，该工件容器单元具有多个用来承载工件并形成阴极的导电辊；

把工件容器单元装进该电镀槽；

在通过向前和向后转动导电辊而使工件在导电辊上来回运动的同时对工件进行电镀；并且

把装有已电镀工件的工件容器单元输送出电镀槽。

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