CN111118552A - 电铸系统和方法 - Google Patents

Abstract

一种用于电铸部件的电铸系统和方法，其包括电铸容器，该电铸容器具有壳体和至少一个阳极室，壳体具有至少一个入口和至少一个出口，至少一个阳极室在壳体内并流体地联接到至少一个入口。阳极可位于至少一个阳极室内。

Description

电铸系统和方法

相关申请的交叉引用

本申请要求2018年10月31日提交的美国专利申请No.16/176,203的优先权和权益，其全部内容合并于此。

技术领域

本公开涉及用于电铸的方法和设备，并且更具体地涉及用于电铸的容器。

背景技术

电铸处理可以产生，生成或以其它方式形成所需部件的金属层。在电铸处理的一个示例中，可以将所需部件的模具或基底浸入电解液中并带电。模具或基底的电荷可以通过电解溶液吸引带相反电荷的电铸材料。电铸材料对模具或基底的吸引最终将电铸材料沉积在裸露的模具或基底表面上，从而形成外部金属层。

发明内容

在一方面，本发明涉及一种电铸容器。该电铸容器包括：壳体，具有至少一个入口和至少一个出口；至少一个阳极室，其在壳体内并流体地联接到至少一个入口；阳极，其在至少一个阳极室内；电铸室，其在壳体内并且流体地联接到至少一个阳极室和至少一个出口。

在另一方面，本公开涉及一种用于电铸部件的系统。该系统包括：流体容器，其包含电解液，第一阳极和第一阴极；第一电源，其电联接到第一阳极和第一阴极；至少一个电铸容器。该电铸容器可包括：壳体，其具有至少一个入口和至少一个出口；至少一个阳极室，其在壳体内并经由至少一个入口流体地联接到流体容器；牺牲第二阳极，其在至少一个阳极室内；电铸室，其在壳体内并电联接到阳极室和至少一个出口。

在另一方面，本发明涉及一种电铸部件的方法。该方法包括：将电解质溶液引入到电铸容器内的至少一个阳极室；通过向至少一个阳极室内的阳极供应电力，在电解质溶液中产生附加的电解质，以限定富集的电解质溶液；将富集的电解质溶液提供到保持工件的电铸室中；经由富集的电解质溶液将金属层沉积到工件上以限定电铸部件。

附图说明

在附图中：

图1是用于形成部件的现有技术电铸浴的示意图。

图2是根据本公开的各个方面的用于电铸部件的系统的示意图。

图3是可以在图2的系统中使用的电铸容器的立体图。

图4是图3的电铸容器的立体图，其中一部分被移除并包含工件。

图5是图3的电铸容器沿线V-V的横截面视图。

图6是示出根据本公开的各个方面的电铸部件的方法的流程图。

具体实施方式

本公开的各方面涉及一种用于电铸部件的系统和方法。将理解的是，本公开可以在各种应用中具有普遍的适用性，包括可以在任何合适的移动和非移动的工业，商业和住宅应用中利用电铸部件。

如本文中所使用的，被描述为“相适应(conformable)”的元件将是指具有被定位或形成为具有变化的几何轮廓的能力的元件，该变化的几何轮廓与另一部件匹配或以其它方式相似或相适应。这可以包括该元件可以是相适应的条状物或可模制的元件。另外，如本文所用，“非牺牲阳极”是指当从电源供应电流时不溶解在电解液中的惰性或不溶性阳极，而“牺牲阳极”是指当从电源供应电流时可以溶解在电解液中的活性或可溶阳极。非牺牲阳极材料的非限制性示例可包括钛，金，铂，银和铑。牺牲阳极材料的非限制性示例可以包括镍，钴，钨，钼，铜，锌，铅和镁。将理解的是，以上列出的金属的各种合金可以用作牺牲或非牺牲阳极。

所有方向参考(例如，径向，轴向，近端，远端，上，下，向上，向下，左，右，侧向，前，后，顶部，底部，上方，下方，竖直，水平，顺时针，逆时针，上游，下游，后部等)仅用于识别目的，以帮助读者理解本公开，并且不产生限制，特别是关于本公开的位置，取向或用途的限制。除非另有说明，否则连接参考(例如，附接，联接，连接和接合)将被广义地解释，并且可包括元件集合之间的中间构件以及元件之间的相对移动。这样，连接参考不一定推断两个元件直接连接并且处于彼此固定的关系。另外，如本文所使用的，“一组”可以包括任意数量的相应描述的元件，包括仅一个元件。

示例性附图仅出于说明的目的，并且所附附图中反映的尺寸，位置，顺序和相对大小可以变化。

在图1中通过电沉积浴示出了现有技术的电铸处理。如本文所用，“电铸”或“电沉积”可包括用于在另一基片或基底上构建，形成，生长或以其他方式产生金属层的任何处理。电沉积的非限制性示例可包括电铸，无电成形，电镀或其组合。尽管本公开的其余部分涉及电铸，但是任何和所有电沉积处理均可以等同地适用。

现有技术的浴槽1承载具有合金化金属离子的单金属成分溶液2。在浴槽1中提供有与阴极4间隔开的可溶阳极3。要被电铸的部件可以形成阴极4。

可包括电源或电力供应器的控制器5可以通过电导管6电联接到可溶阳极3和阴极4，以经由导电金属成分溶液2形成电路。可选地，沿着控制器5，可溶阳极3和阴极4之间的电导管6可包括开关7或子控制器。在操作期间，可以将电流从可溶阳极3供应到阴极4，以在阴极4处电铸本体。电流的供应可导致来自单金属成分溶液2的金属离子在阴极4上形成金属层。

在常规的电镀处理中，可溶阳极3溶解时会改变形状，从而导致可溶阳极3和阴极4之间的电场发生变化。可溶阳极3的形状变化导致沉积层的厚度变化，从而导致厚度不均匀。而且，当可溶阳极溶解时，微粒会释放到电解质中。这些微粒物质污染用于电沉积的阴极表面，导致沉积不均匀。尽管没有具体示出，但是现有技术的浴槽1可以包括通过将阳极3容纳在多孔阳极袋中来减少来自阳极3的微粒污染的常规技术。即使阳极袋防止大尺寸的污染物释放到电镀液中，也不能防止较小尺寸的微粒进入电镀液并污染阴极电镀表面。这导致不均匀的沉积。本公开的方面涉及一种牺牲阳极系统，其中阳极溶解和电铸在单独的槽中发生。使在阳极溶解槽处释放的微粒到达位于电铸槽处的阴极的机会最小化。

图2示出了用于电铸部件12的系统10。系统10包括流体容器14，该流体容器14包含电解质溶液或电解液16。在非限制性示例中，电解液16可以包括氨基磺酸镍，但是，可以利用任何合适的电解液16。第一阳极18位于流体容器14内。通过非限制性示例，可以预期的是，第一阳极18可以是牺牲性的，并且包括放置在被网状材料包围的钛篮26内的硬币形式的镍和钴部分24。网状材料可以提供对镍和钴硬币24以及可能存在于第一阳极18中的任何微粒材料的容纳，同时允许电解液16流过第一阳极18或围绕第一阳极18流动。

第一阳极18可以浸在电解液16中并且经由电导管20电联接到第一电源21。第一电源21还可以包括控制器模块，以控制流过电导管20的电流；替代地，可以提供单独的控制器并且将其电联接到第一电源21。

第一阴极19也可以与第一阳极18间隔开地位于流体容器14内，并电联接到第一电源21。第一阴极19可以包括任何合适的导电材料。在一个示例中，第一阴极19可以包括惰性材料，例如钛，金或铑。

开关28可以可选地提供在第一电源21与第一阳极18或第一阴极19之间，以选择性地向第一阳极18或第一阴极19提供电力。

系统10中还包括至少一个电铸容器30。虽然示出了两个电铸容器30，但是在系统10中可以使用任意数量的电铸容器30。另外，电铸容器30可以形成为具有各种尺寸或形状。在非限制性示例中，一个电铸容器可以包含具有跨度为80cm的管道截面的工件，而另一个电铸容器可以包含具有跨度为14cm的托架的工件。

多个电铸容器30中的每个也可以通过入口导管36和排放导管38流体地联接到流体容器14。电铸容器30可以是金属的或聚合物的，并且可以通过任何合适的处理(包括机械加工或注塑成型)来形成。电铸容器30可包括流体地联接到入口导管36的至少一个入口40和流体地联接到排放导管38的至少一个出口42。可以在流体容器14和电铸容器30之间限定再循环回路44，其中电解液16可以从流体容器14通过入口导管36流动，流过至少一个电铸容器30，并且流过排放导管38回到流体容器14。可选地，泵46可以流体地联接至再循环回路44，并且示意性地示出为沿着排放导管38定位。可以在再循环回路44中的任何合适位置处(包括沿着入口导管36)使用泵46；替代地，可以利用多个泵46。还可以想到的是，在不使用泵的情况下电解液16可以被重力供给到电铸容器30中。以这种方式，可以将电解液16从流体容器14供应到任何或所有电铸容器30。可以从流体容器14连续地供应电解液16；替代地，可以根据需要以规则或不规则的时间间隔在离散部分中供应电解液16。例如，可以指示泵46以预定时间间隔(例如每35分钟)向电铸容器30供应预定量电解液(例如2.0升)。

形成电铸部件12的牺牲第二阳极34和第二阴极32可以包括在多个电铸容器30中的每个中。如图所示，至少一个电铸容器30可以电联接至与第一电源21分离的第二电源22。

图3更详细地示出了示例性电铸容器30。更具体地，示出了包括在电铸容器30中的壳体50，该壳体50具有提供在壳体50的上部分53上的至少一个入口40和提供在壳体50的下部分52上的至少一个出口42。至少一个出口42可包括排放开口61，该排放开口61流体地联接至排放导管38并延伸到电铸容器30中。进一步设想的是，可以根据需要在电铸容器30的基底52中提供多个排放开口61。在非限制性示例中，进一步设想的是，壳体50可以是包括金属或聚合物的任何合适的材料，并且可以以各种方式(包括机械加工或注塑成型)形成。在一个示例中，整个壳体50可被注塑成形为包括至少一个入口40和至少一个出口42的单件。

壳体50可以包括至少一个阳极室，示出为第一阳极室54和第二阳极室56。每个阳极室54、56可以包括可移动或可滑动的盖58，该盖58提供对相应的阳极室54、56内部的选择性进入。

如图4所示，电铸室70也可以包含在壳体50内。图4示出了电铸容器30的剖切部分。电铸室70可构造成容纳示例性工件72，该工件72示为联接至心轴74(图4)的托架73。可选地，电铸容器30可以包括开口59，其中工件72的一部分(例如托架73的一部分)，可以延伸到电铸室70的外部。

进一步设想，电铸室70可以包括基座或底座76，心轴74可以定位在其上，使得在电铸处理期间，电解液或溶液可以包围尽可能多的工件72。工件72可以限定第二阴极32，该第二阴极32例如通过电导管20电联接到第二电源22(图2)。例如，电导管22可以例如通过壳体50中的开口(未示出)直接连接到工件72。替代地，电导管22和工件72可以连接至壳体50的导电部分(未示出)。

图5示出了电铸容器30的侧横截面视图。电铸室70可位于至少一个阳极室附近，并且在所示的示例中，电铸室70位于第一阳极室54和第二阳极室56之间。

箭头示出了电解液16通过入口40流入第一阳极室54和第二阳极室56中的每一个。另外，以由镍或钴或其组合制成的多个硬币68的形式示出了牺牲第二阳极34，多个硬币68位于第一阳极室54和第二阳极室56中的每个内。尽管未示出，但是硬币68可以电联接至第二电源22(图2)。另外，虽然未示出，但是可以设想，滤袋或其他穿孔容器可以在第一阳极室54和第二阳极室56内围绕硬币68。

牺牲第二阳极34(例如被从第二电源22供给电流的硬币68)，可以在溶液中生成附加的电解质以限定富集的电解质溶液90。如本文所用，“富集”溶液将指溶液中成分的浓度水平。应当理解，与由流体容器14供应的电解液16相比，富集的电解质溶液90包含更高浓度的电解质。

电铸室70可以流体地联接到第一阳极室54和第二阳极室56，以及联接到至少一个出口42(图4)和排放开口61。非牺牲阳极65形式的至少一个阳极可以位于电铸室70内。至少一个非牺牲阳极65可以包括多个孔口66，使得电解液可以流过并经过非牺牲阳极65进入电铸室70。非牺牲阳极65可以是相适应的，并且还可以包括任何合适的金属材料，包括可以形成为具有与工件72相同的形状或几何轮廓的钛阳极条状物。

示出了沉积在工件72上以限定电铸部件12的金属层80。金属层80可具有层厚度，该层厚度可基于引导电解液16围绕工件72的流动的孔口66以及非牺牲阳极65与工件72之间的间隔距离而定制。在非限制性示例中，金属层80可以具有恒定的层厚度；在另一个示例中，金属层80可以在电铸部件12的不同部分上具有可变的厚度。示出的托架73的一部分经由开口59(图3)在电铸容器30的外部，而托架73的其余部分在电铸室70内并且被金属层80覆盖。

非牺牲阳极65被示为具有孔口66并在阳极室54，56和电铸室70之间限定边界的多个钛条状物。替代地，非牺牲阳极65可以位于边界壁上，该边界壁限定了阳极室54、56和电铸室70之间的边界。可以设想，非牺牲阳极65可以与工件72的至少一部分的轮廓相适应。如图所示，工件72具有平坦的轮廓，并且因此与工件72间隔开的相适应的非牺牲阳极65也具有平坦的轮廓。可以理解的是，这种相适应的非牺牲阳极65可以符合任何期望的轮廓，包括在工件72上存在的圆角或其他特征，以控制金属层80的厚度。

非牺牲阳极65可以与工件72具有任何期望的间隔。在一个示例中，每个非牺牲阳极65可与工件72具有均匀间隔距离，诸如10mm。在另一个示例中，第一非牺牲阳极65可以与工件72间隔开第一距离(例如5mm)，并且第二非牺牲阳极65可以与工件72间隔开第二距离(例如12mm)。以这种方式，可以经由与工件72不均匀地间隔开的多个相适应的非牺牲阳极65中的至少一个来定制或定做金属层80的局部厚度。

在操作中，第一电源21从第一阳极18向第一阴极19(图2)供应电流，这导致金属离子进入电解液16。电解液16从流体容器14(图2)流动，并可经由入口40泵送(例如经由泵46)或重力供给到电铸容器30和第一阳极室54和第二阳极室56中的每一个中。可以设想，可以利用各种流速；例如，电解液16可以以较小的第一流速(例如每秒6mL)流入第一阳极室54，而电解液16可以以较大的第二流速(例如每秒10mL)流入第二阳极室56。替代地，电解液16可以以相等的流速流入第一阳极室54和第二阳极室56中的每一个。

另外，流体容器14中的第一阴极19可用于从电解液16中去除不期望的金属离子。例如，在来自第一电源21的预定电流供应下，不期望的金属离子可以在通常被称为“假镀(dummying)”操作的处理中镀出或沉积在第一阴极19上。从而可以清洁供应到电铸容器30的电解液16中的这种不期望的金属离子，否则该金属离子可能沉积到电铸部件12上。可以以预定的时间间隔或连续地执行在流体容器14中的这种假镀操作，并且还可以与电铸容器30内的电铸处理同时执行。在这种情况下，第一电源21可以产生适合于假镀操作的第一电力水平，并且第二电源22可以产生适合于在电铸室70内进行电铸的第二电力水平。

清洁，过滤的电解液16可以流入第一阳极室54和第二阳极室56中，其中牺牲第二阳极34可以提供附加的离子以形成富集的电解质溶液90。然后，富集的电解质溶液90可以流过孔口66朝向电铸室70中的工件72，并形成金属层80。例如，上部分53附近的孔口66可以引导富集的电解质溶液90垂直于工件72的顶部并且平行于工件72的侧面流动。在壳体50的中心附近或在基底52附近的孔口66可以引导富集的电解质溶液90在向下流向基底52之前垂直撞击工件72。可以理解，孔口66也可以形成为具有变化的形状或中心线角度，以进一步引导或调整富集的电解质溶液90围绕工件72的流动。例如，孔口66可以成形为以预定的速度将富集的电解质溶液90撞击到工件72上，例如减小孔口66的尺寸导致撞击在工件72上的电解液速度增加。改变孔口66的中心线角度可以导致富集的电解质溶液90以0度至90度之间的角度撞击工件72，这可以提供定制的金属层80的厚度。然后，排放开口61可以将用过或耗尽的电解质溶液引导出电铸室70，并进入至少一个出口42和排放导管38(图2)。然后，用过的电解质溶液可以经由再循环回路44(图2)再循环回到流体容器14。另外，随着牺牲第二阳极34在连续的电铸处理期间逐渐消耗，可以通过可移动盖58向阳极室54、56提供额外的硬币68。

图6是示出了电铸部件(诸如部件12)的方法100的流程图。方法100包括在102处，经由供应导管(诸如第一流体导管55或第二流体导管57)将电解质溶液从流体容器14引入到电铸容器30内的至少一个阳极室54、56。如上所述，可以经由第一流体导管55或第二流体导管57将电解质溶液从流体容器14引入到至少一个阳极室54、56。另外，如上所述，电解质溶液可以被泵送或重力供给到至少一个阳极室54、56中。

在104处，该方法包括通过向牺牲第二阳极34供应电力，经由第二电源22在阳极室54、56中的一个或两个内的电解质溶液中产生附加的电解质，以限定富集的电解质溶液90。在106处，该方法包括将富集的电解质溶液90提供到保持工件72的电铸室70中，并且在108处，该方法包括经由富集的电解质溶液90将金属层80沉积到工件72上以限定电铸部件12。

可选地，方法100可以包括通过向可溶的第一阳极18供应电力，经由第一电源21在外部流体容器(例如流体容器14)中的溶液中产生电解质，以限定电解质溶液(诸如电解液16)。方法100还可以可选地包括连续地引入电解液16，经由牺牲第二阳极34连续地产生另外的电解质，或连续地将富集的电解质溶液90提供到电铸室70。可选地，方法100可以包括向第一阳极室54提供电解液16的较小的流速，并且向第二阳极室56提供较大的流速，或者根据需要连续地改变进入每个阳极室54、56的流速。可选地，方法100可以包括经由再循环回路44将用过或耗尽的电解质溶液从电铸室70泵送或重力供给到流体容器14。

本公开的各方面提供了多种益处。利用将可溶或牺牲阳极容纳在多孔阳极袋中的常规技术来防止大尺寸的污染物进入电解溶液；然而，较小尺寸的微粒仍可移动通过多孔阳极袋进入溶液，这可导致工件上的金属层的不均匀沉积。可以理解的是，使用重复或连续的假镀操作以及将第一阳极和第二阴极定位在单独的槽或容器中，可以极大地减少微粒物质在流体容器内释放并到达单独的电铸容器中的工件阴极的机会，并且因此减少了电铸部件中的任何不期望的不规则性。

还可以理解的是，对多个阳极室使用不相等或变化的流速，以及使用与工件间距不相等或变化的相适应的非牺牲阳极，可以改善成品电铸部件中的金属层厚度的定制化。另一个优点是，阳极室中的附加阳极材料可在富集的电解质溶液中提供更高浓度的电解质，这减少了将成品部件电铸到期望厚度所需的时间。另外，电铸容器中的孔口可用于提供富集的电解质溶液在工件上的各种“投掷角”或撞击角。投掷角的这种调整可以改善电解质溶液在工件难以到达的区域上的覆盖率，以及在电铸部件的各个区域提供定制的金属层厚度。

另一个优点是，电铸容器可以被构造为适应不同工件的各种形状和尺寸。例如，在非限制性示例中，多件式电铸容器可以以任何期望的形状注塑成型以容纳托架，管道区段，硬件或歧管。另外，另一个优点是可以将多个电铸容器流体地联接到共同的流体溶解容器，使得可以在它们各自的电铸室中同时电铸多个部件。这可以在电铸部件的形成期间提高生产速度并改善处理效率。电铸部件和流体容器的分离也可以提供人口较少的工作区域；例如小型工件可以放置在小型容器中，大型工件可以放置在大型容器中，而不是将小型工件放置在大型电铸浴槽中。可以实现另一个优点，即可以在不干扰其中的电铸容器或阴极的情况下更容易地完成对流体容器内的部件的调节。

本公开的方面可以提供电铸部件的大量生产。传统的电铸处理通常用于小批量生产，因为分别花费时间进行电铸部件和在电铸处理之间清洁或纯化电解液。在一个示例中，本文描述的系统和方法提供了以比传统电铸处理可生产的大30到50倍的速率来产生电铸部件，这使得能够大量生产电铸部件，而不仅限于小规模生产。

在尚未描述的范围内，各个实施例的不同特征和结构可以根据需要彼此组合使用。不能在所有实施例中示出的一个特征并不意味着解释该特征不能有，而是为了描述的简洁。因此，不管是否明确地描述了新的实施例，不同实施例的各种特征可以根据需要被混合和匹配以形成新的实施例。本文所描述的特征的所有组合或置换都被本公开覆盖。

本发明的进一步方面由以下条项的主题提供：

1.一种电铸容器，包括：壳体，其具有至少一个入口和至少一个出口；至少一个阳极室，其在壳体内并且流体地联接到至少一个入口；阳极，其在至少一个阳极室内；电铸室，其在壳体内并且流体地联接到至少一个阳极室和至少一个出口。

2.根据条项1所述的电铸容器，其中电铸室被构造为接收限定阴极的工件。

3.根据条项2所述的电铸容器，其中壳体进一步包括开口，使得工件的一部分延伸到电铸室的外部。

4.根据条项2所述的电铸容器，进一步包括至少一个相适应的非牺牲阳极，该至少一个相适应的非牺牲阳极位于电铸室内。

5.根据条项4所述的电铸容器，其中至少一个相适应的非牺牲阳极包括多个阳极条状物，该多个阳极条状物与工件的至少一部分的轮廓相适应。

6.根据条项1所述的电铸容器，进一步包括排放开口，该排放开口在电铸容器的基底中。

7.根据条项1-6所述的电铸容器，其中至少一个阳极室包括与电铸室相邻的多个阳极室。

8.根据条项7所述的电铸容器，其中多个阳极室包括第一阳极室和第二阳极室，并且其中电铸室位于第一阳极室和第二阳极室之间。

9.根据条项8所述的电铸容器，其中进入第一阳极室的电解液的流速小于进入第二阳极室的电解液的流速。

10.根据条项1所述的电铸容器，其中至少一个阳极室内的阳极包括牺牲阳极。

11.一种用于电铸部件的系统，包括：流体容器，其包含电解液，第一阳极和第一阴极；第一电源，其电联接至第一阳极和第一阴极；至少一个电铸容器，其包括：壳体，其具有至少一个入口和至少一个出口；至少一个阳极室，其在壳体内，并经由至少一个入口流体地联接到流体容器；第二阳极，其在至少一个阳极室内；电铸室，其在壳体内，并且流体地联接到至少一个阳极室和至少一个出口。

12.根据条项11所述的系统，其中电铸室构造成容纳限定第二阴极的工件。

13.根据条项12所述的系统，其中阳极室内的第二阳极和第二阴极电联接至第二电源，该第二电源与第一电源分离。

14.根据条项12所述的系统，进一步包括多个相适应的非牺牲阳极，该多个相适应的非牺牲阳极位于电铸室内，其中多个相适应的非牺牲阳极中的至少一个与工件不均匀地间隔开。

15.根据条项11所述的系统，进一步包括再循环回路，该再循环回路在流体容器和电铸室之间。

16.根据条项15所述的系统，进一步包括泵，该泵流体地联接到再循环回路。

17.根据条项11所述的系统，其中至少一个电铸容器包括流体地联接到流体容器的多个电铸容器。

18.根据条项11-17所述的系统，其中至少一个阳极室包括与电铸室相邻的多个阳极室，并且其中第二阳极包括牺牲第二阳极。

19.根据条项18所述的系统，其中多个阳极室包括至少第一阳极室和第二阳极室，第一阳极室经由第一流体导管流体地联接至流体容器，第二阳极室经由第二流体导管流体地联接至流体容器。

20.一种电铸部件的方法，该方法包括：将电解质溶液引入到电铸容器内的至少一个阳极室；通过向至少一个阳极室内的阳极供应电力，在电解质溶液中产生附加的电解质，以限定富集的电解质溶液；将富集的电解质溶液提供到保持工件的电铸室中；经由富集的电解质溶液将金属层沉积到工件上以限定电铸部件。

21.根据条项20所述的方法，其中再循环回路将外部流体容器和电铸室流体地联接，并且其中引入和提供包括通过再循环回路使电解质溶液和富集的电解质溶液连续地循环。

22.根据条项21所述的方法，进一步包括在引入，产生，提供或沉积中的至少一个期间，在外部流体容器中执行假镀操作。

23.根据条项21所述的方法，其中至少一个阳极室包括至少第一阳极室和第二阳极室，第一阳极室经由第一流体导管流体地联接至外部流体容器，第二阳极室经由第二流体导管流体地联接至外部流体容器。

24.根据条项23所述的方法，其中进入第一阳极室的电解质溶液的流速小于进入第二阳极室的电解质溶液的流速。

25.根据条项20-24中的任一项所述的方法，进一步包括在工件周围定位一组相适应的阳极。

该书面描述使用示例来公开本发明，包括最佳模式，并且还使本领域的任何技术人员能够实践本发明，包括制造和使用任何装置或系统以及执行任何结合的方法。本公开的可专利范围由权利要求书限定，并且可以包括本领域技术人员想到的其他示例。如果这样的其他示例具有与权利要求的字面语言没有不同的结构元件，或者如果它们包括与权利要求的字面语言没有实质性差异的等效结构元件，则这样的其他示例意图落入权利要求的范围内。

Claims (10)

1.一种电铸容器，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体具有至少一个入口和至少一个出口；

至少一个阳极室，所述至少一个阳极室在所述壳体内并且流体地联接到所述至少一个入口；

阳极，所述阳极在所述至少一个阳极室内；和

电铸室，所述电铸室在所述壳体内并且流体地联接到所述至少一个阳极室和所述至少一个出口。

2.根据权利要求1所述的电铸容器，其特征在于，其中所述电铸室被构造为接收限定阴极的工件。

3.根据权利要求2所述的电铸容器，其特征在于，其中所述壳体进一步包括开口，使得所述工件的一部分延伸到所述电铸室的外部。

4.根据权利要求2所述的电铸容器，其特征在于，进一步包括至少一个相适应的非牺牲阳极，所述至少一个相适应的非牺牲阳极位于所述电铸室内。

5.根据权利要求4所述的电铸容器，其特征在于，其中所述至少一个相适应的非牺牲阳极包括多个阳极条状物，所述多个阳极条状物与所述工件的至少一部分的轮廓相适应。

6.根据权利要求1所述的电铸容器，其特征在于，进一步包括排放开口，所述排放开口在所述电铸容器的基底中。

7.根据权利要求1所述的电铸容器，其特征在于，其中所述至少一个阳极室包括与所述电铸室相邻的多个阳极室。

8.根据权利要求7所述的电铸容器，其特征在于，其中所述多个阳极室包括第一阳极室和第二阳极室，并且其中所述电铸室位于所述第一阳极室和所述第二阳极室之间。

9.根据权利要求8所述的电铸容器，其特征在于，其中进入所述第一阳极室的电解液的流速小于进入所述第二阳极室的电解液的流速。

10.根据权利要求1所述的电铸容器，其特征在于，其中所述至少一个阳极室内的所述阳极包括牺牲阳极。

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