CN113235154A - 一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置及工艺 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置及工艺，所述传输带的数量为两个，两个所述传输带分别与所述底座活动连接，并位于所述底座的两侧，所述传输杆的数量为多个，每个所述传输杆的两端分别与两个所述传输带固定连接，并分别位于所述底座的上方，且间隔均匀排列两个所述传输带的上方，所述前处理池、所述电解池和所述后处理池均与所述底座固定连接，并依次排列在所述底座的上方，且均位于两个所述传输带之间，通过上述结构，将前处理、电解和后处理组合并同时进行，形成连续的流水线作业，提高了生产效率。

Description

一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置及工艺

技术领域

本发明涉及电解抛光技术领域，特别是涉及一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置及工艺。

背景技术

前驱体是获得目标产物前的一种存在形式，大多是以有机-无机配合物或混合物固体存在，也有部分是以溶胶形式存在。前驱体这一说法多见于溶胶凝胶法、共沉淀法等材料制备方法中，但不是一个确切的科学术语，没有特定的概念。也有人把它定义为目标产物的雏形样品，即在经过某些步骤就可实现目标产物的前级产物，对于半导体前驱体在生产流程中需要不锈钢容器进行储存。

不锈钢容器在生产时需要进行电解抛光，电解抛光是指以金属工件为阳极，在适宜的电解液中进行电解，有选择地除去其粗糙面，提高表面光洁程度的技术，又称电解抛光。电抛光可增加不锈钢的耐腐蚀性，减少电气接触点的电阻，制备金相磨片，提高照明灯具的反光性能，提高各种量具的精度，美化金属日用品和工艺品等，适用于钢铁、铝、铜、镍及各种合金的抛光，目前对不锈钢容器进行电解抛光时，需要将前处理、电解、后处理分开进行，没有形成连续的流水线作业，降低了生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置及工艺，旨在解决现有技术中对不锈钢容器进行电解抛光时，需要将前处理、电解、后处理分开进行，没有形成连续的流水线作业，降低了生产效率的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置，包括传输机构、前处理池、电解池和后处理池，所述传输机构包括底座、传输带和传输杆，所述传输带的数量为两个，两个所述传输带分别与所述底座活动连接，并位于所述底座的两侧，所述传输杆的数量为多个，每个所述传输杆的两端分别与两个所述传输带固定连接，并分别位于所述底座的上方，且间隔均匀排列两个所述传输带的上方，所述前处理池、所述电解池和所述后处理池均与所述底座固定连接，并依次排列在所述底座的上方，且均位于两个所述传输带之间。

其中，所述传输杆包括固定板和夹持杆，所述固定板的数量为两个，两个所述固定板分别与对应的所述传输带固定连接，并分别位于对应的所述传输带的上方，两个所述固定板的顶端均设置有通孔，所述夹持杆分别与两个所述通孔活动连接，并位于两个所述固定板之间。

其中，所述固定板的侧面设置有安装槽。

其中，所述传输杆还包括电机，所述电机与所述安装槽可拆卸连接，并位于所述安装槽的上方，所述夹持杆与所述电机活动连接，并位于所述电机的侧面。

其中，所述前处理池内设置有药水，药水为浓度2％的稀硫酸。

其中，所述电解池内设置有电解液，电解液为磷酸及硫酸组成的混合液。

本发明还提供一种采用上述所述的半导体前驱体不锈钢容器电抛装置的电抛工艺，包括如下步骤：

所述底座前端的工作人员将每一组不锈钢容器分别夹持在不同的所述夹持杆的上方；

不锈钢容器被传输至所述前处理池的上方时，所述传输带停止，利用所述电机将不锈钢容器翻转至所述前处理池的内部，进行药水浸泡，完成后利用所述电机将不锈钢容器翻转至原位，所述传输带继续传输；

不锈钢容器被传输至所述电解池的上方时，所述传输带停止，利用所述电机将不锈钢容器翻转至所述前电解池的内部，进行电解抛光，完成后利用所述电机将不锈钢容器翻转至原位，所述传输带继续传输；

不锈钢容器被传输至所述后处理池的上方时，所述传输带停止，利用所述电机将不锈钢容器翻转至所述后处理池的内部，进行冲洗和烘干，完成后利用所述电机将不锈钢容器翻转至原位，所述传输带继续传输；

所述底座后端的工作人员取下烘干后的不锈钢容器，完成电抛。

本发明的有益效果体现在：将待电抛的不锈钢容器固定在所述夹持杆的上方，利用所述传输带将所述夹持杆依次传输至所述前处理池、所述电解池和所述后处理池，起到自动运输的效果；利用所述电机可以旋转所述夹持杆，运输状态中，不锈钢容器位于所述夹持杆的上方，进行前处理、电解和后处理时，所述不锈钢容器被旋转至所述夹持杆的下方，所述电机可以完成各个工序与运输状态之间的切换；通过工作人员在底座的前端和后端进行不断地装夹和卸下不锈钢容器，可以批量完成不锈钢容器的抛光，通过上述结构，将前处理、电解和后处理组合并同时进行，形成连续的流水线作业，提高了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置的结构示意图。

图2是本发明的传输杆的内部结构示意图。

图3是本发明的后处理池的结构示意图。

图4是本发明一种半导体前驱体不锈钢容器的电抛工艺的步骤流程图。

1-前处理池、2-电解池、3-后处理池、4-底座、5-传输带、6-固定板、7-夹持杆、8-电机、9-真空泵、10-气管、11-封闭环、12-夹持板、13-主气孔、14-分气孔、15-水池、16-底部喷头、17-侧面喷头、18-支撑架、19-顶板、20-加热板。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1至图3，本发明提供一种技术方案：一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置，包括传输机构、前处理池1、电解池2和后处理池3，所述传输机构包括底座4、传输带5和传输杆，所述传输带5的数量为两个，两个所述传输带5分别与所述底座4活动连接，并位于所述底座4的两侧，所述传输杆的数量为多个，每个所述传输杆的两端分别与两个所述传输带5固定连接，并分别位于所述底座4的上方，且间隔均匀排列两个所述传输带5的上方，所述前处理池1、所述电解池2和所述后处理池3均与所述底座4固定连接，并依次排列在所述底座4的上方，且均位于两个所述传输带5之间，所述传输杆包括固定板6和夹持杆7，所述固定板6的数量为两个，两个所述固定板6分别与对应的所述传输带5固定连接，并分别位于对应的所述传输带5的上方，两个所述固定板6的顶端均设置有通孔，所述夹持杆7分别与两个所述通孔活动连接，并位于两个所述固定板6之间；所述固定板6的侧面设置有安装槽；所述传输杆还包括电机8，所述电机8与所述安装槽可拆卸连接，并位于所述安装槽的上方，所述夹持杆7与所述电机8活动连接，并位于所述电机8的侧面。

在本实施方式中，将待电抛的不锈钢容器固定在所述夹持杆7的上方，利用所述传输带5将所述夹持杆7依次传输至所述前处理池1、所述电解池2和所述后处理池3，起到自动运输的效果；利用所述电机8可以旋转所述夹持杆7，运输状态中，不锈钢容器位于所述夹持杆7的上方，进行前处理、电解和后处理时，所述不锈钢容器被旋转至所述夹持杆7的下方，所述电机8可以完成各个工序与运输状态之间的切换；通过工作人员在底座4的前端和后端进行不断地装夹和卸下不锈钢容器，可以批量完成不锈钢容器的抛光，通过上述结构，将前处理、电解和后处理组合并同时进行，形成连续的流水线作业，提高了生产效率。

进一步的，所述前处理池1内设置有药水，药水为浓度2％的稀硫酸。

在本实施方式中，通过浓度2％的稀硫酸将不锈钢容器表面的油污和残渣，不锈钢容器在被所述电机8的带动下，达到洗涤的效果。

进一步的，所述电解池2内设置有电解液，电解液为磷酸及硫酸组成的混合液。

在本实施方式中，通过磷酸及硫酸组成的混合液进行电解，以夹持在所述夹持杆7上的不锈钢容器作为阳极，以提高不锈钢容器内侧壁的光洁度，并增加了不锈钢的耐腐蚀性。

进一步的，所述传输杆还包括真空泵9、气管10、封闭环11和夹持板12，所述夹持杆7的一端与所述电机8活动连接，所述夹持杆7的另一端设置有主气孔13，所述气管10的一端与所述夹持杆7活动连接，并位于所述主气孔13的内部，所述真空泵9与所述气管10的另一端可拆卸连接，并位于所述固定块的上方，所述封闭环11与所述气管10固定连接，并位于所述主气孔13的内部，所述夹持板12的数量为多个，多个所述夹持板12分别与所述夹持杆7固定连接，并间隔均匀排列在所述夹持杆7的外侧壁，每个所述夹持板12的顶端均设至有分气孔14，每个所述分气孔14均与所述主气孔13连通。

在本实施方式中，所述底座4前端的所述夹持板12朝上，将不锈钢容器放置在所述夹持板12上，不锈钢容器的内底壁将分气孔14堵住，启动所述真空泵9，所述真空泵9通过所述气管10将所述主气孔13内的空气吸出，形成负压，使得不锈钢容器被固定在所述夹持板12上，不锈钢容器被传输至所述底座4后端后，所述气泵停止，即可轻松取下；进行安装时，所述封闭环11采用橡胶，其半径比所述主气孔13的半径大，通过自身的弹性放置如所述主气孔13的内部，所述电机8在带动所述夹持杆7旋转时，所述气管10固定不动，所述封闭环11提高了所述夹持杆7内部的密闭性，提高夹持效果。

进一步的，所述后处理池3包括水池15、底部喷头16、侧面喷头17和烘干座，所述水池15与所述底座4固定连接，并位于所述底座4的上方，所述底部喷头16的数量与单个所述运输杆上的所述夹持板12的数量相同，并均与所述水池15固定连接，且间隔均匀排列于所述水池15的内底壁，所述侧面喷头17的数量为所述底部喷头16的两倍，每两个所述侧面喷头17分别与所述水池15固定连接，并分别位于所述水池15的内侧壁，且关于对应的所述底部喷头16对称设置，所述烘干座包括支撑架18、顶板19和加热板20，所述支撑架18与所述底座4固定连接，并位于所述底座4的上方，所述顶板19与所述支撑架18固定连接，并位于所述支撑架18的下方，所述加热板20的数量为两个，两个所述加热板20分别与所述顶板19固定连接，并分别位于所述顶板19的下方，所述顶板19的顶端设置有出风口。

在本实施方式中，当不锈钢容器位于所述水池15内时，不锈钢容器的开口朝向，并面向所述底部喷头16，所述底部喷头16进行喷水，对不锈钢容器内部进行清洗，所述侧面喷头17对不锈钢容器的侧壁进行冲洗，所述水池15的底部设置有出水口，所述底座4的顶端设置有导流槽，冲洗后的水通过所述出水口流出，并通过导流槽流至收集废水的容器中，完成冲洗后，所述传输杆将其运输至所述顶板19的下方，所述加热板20对其进行加温，所述支撑架18的内部设置有风扇，并通过所述出风口进行吹风，增加周围的空气流动，使得不锈钢容器加速烘干，提高了生产效率。

请参阅图4，本发明还提供一种采用上述所述的半导体前驱体不锈钢容器电抛装置的电抛工艺，包括如下步骤：

所述底座4前端的工作人员，将每一组不锈钢容器分别夹持在不同的所述夹持杆7的上方；

不锈钢容器被传输至所述前处理池1的上方时，所述传输带5停止，利用所述电机8将不锈钢容器翻转至所述前处理池1的内部，进行药水浸泡，完成后利用所述电机8将不锈钢容器翻转至原位，所述传输带5继续传输；

不锈钢容器被传输至所述电解池2的上方时，所述传输带5停止，利用所述电机8将不锈钢容器翻转至所述前电解池2的内部，进行电解抛光，完成后利用所述电机8将不锈钢容器翻转至原位，所述传输带5继续传输；

不锈钢容器被传输至所述后处理池3的上方时，所述传输带5停止，利用所述电机8将不锈钢容器翻转至所述后处理池3池的内部，进行冲洗和烘干，完成后利用所述电机8将不锈钢容器翻转至原位，所述传输带5继续传输；

所述底座4后端的工作人员取下烘干后的不锈钢容器，完成电抛。

在本实施方式中，将待电抛的不锈钢容器固定在所述夹持杆7的上方，利用所述传输带5将所述夹持杆7依次传输至所述前处理池1、所述电解池2和所述后处理池3，起到自动运输的效果；利用所述电机8可以旋转所述夹持杆7，运输状态中，不锈钢容器位于所述夹持杆7的上方，进行前处理、电解和后处理时，所述不锈钢容器被旋转至所述夹持杆7的下方，所述电机8可以完成各个工序与运输状态之间的切换；通过工作人员在底座4的前端和后端进行不断地装夹和卸下不锈钢容器，可以批量完成不锈钢容器的抛光，通过上述工艺，将前处理、电解和后处理组合并同时进行，形成连续的流水线作业，提高了生产效率。

以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (7)

1.一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置，其特征在于，包括传输机构、前处理池、电解池和后处理池，所述传输机构包括底座、传输带和传输杆，所述传输带的数量为两个，两个所述传输带分别与所述底座活动连接，并位于所述底座的两侧，所述传输杆的数量为多个，每个所述传输杆的两端分别与两个所述传输带固定连接，并分别位于所述底座的上方，且间隔均匀排列两个所述传输带的上方，所述前处理池、所述电解池和所述后处理池均与所述底座固定连接，并依次排列在所述底座的上方，且均位于两个所述传输带之间。

2.如权利要求1所述的一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置，其特征在于，所述传输杆包括固定板和夹持杆，所述固定板的数量为两个，两个所述固定板分别与对应的所述传输带固定连接，并分别位于对应的所述传输带的上方，两个所述固定板的顶端均设置有通孔，所述夹持杆分别与两个所述通孔活动连接，并位于两个所述所述固定板之间。

3.如权利要求2所述的一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置，其特征在于，所述固定板的侧面设置有安装槽。

4.如权利要求3所述的一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置，其特征在于，所述传输杆还包括电机，所述电机与所述安装槽可拆卸连接，并位于所述安装槽的上方，所述夹持杆与所述电机活动连接，并位于所述电机的侧面。

5.如权利要求4所述的一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置，其特征在于，所述前处理池内设置有药水，药水为浓度2％的稀硫酸。

6.如权利要求5所述的一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置，其特征在于，所述电解池内设置有电解液，电解液为磷酸及硫酸组成的混合液。

7.采用如权利要求6所述的半导体前驱体不锈钢容器电抛装置的电抛工艺，其特征在于，包括如下步骤：

所述底座前端的工作人员将每一组不锈钢容器分别夹持在不同的所述夹持杆的上方；

不锈钢容器被传输至所述前处理池的上方时，所述传输带停止，利用所述电机将不锈钢容器翻转至所述前处理池的内部，进行药水浸泡，完成后利用所述电机将不锈钢容器翻转至原位，所述传输带继续传输；

不锈钢容器被传输至所述电解池的上方时，所述传输带停止，利用所述电机将不锈钢容器翻转至所述前电解池的内部，进行电解抛光，完成后利用所述电机将不锈钢容器翻转至原位，所述传输带继续传输；

不锈钢容器被传输至所述后处理池的上方时，所述传输带停止，利用所述电机将不锈钢容器翻转至所述后处理池的内部，进行冲洗和烘干，完成后利用所述电机将不锈钢容器翻转至原位，所述传输带继续传输；

所述底座后端的工作人员取下烘干后的不锈钢容器，完成电抛。

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