CN104293205A - 水性金刚石抛光液及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种水性金刚石抛光液,由下列重量分数的组分组成:金刚石微粉:0.01%-10%;分散剂:0.2%-6%;悬浮剂:0.1%-3%;pH调节剂:0.1%-5%;杀菌剂:0.1%-0.5%;消泡剂:0.1%-0.5%;悬浮助剂:2%-50%;去离子水:40%-80%。本发明还提供一种上述水性金刚石抛光液的制备方法。
Description
技术领域
本发明涉及一种研磨抛光加工用的抛光液,尤其涉及一种水性金刚石抛光液及其制备方法。
背景技术
抛光液是抛光技术中的关键要素,其性能直接影响抛光后的表面质量。金刚石微粉广泛应用于机械、电子、冶金、建筑及国防等各个领域,是研磨抛光不锈钢、硬质合金、玻璃、宝石、陶瓷、集成电路等高硬材料的理想磨料。金刚石微粉既可作散粒磨料使用,又可制成油性或水性的抛光液、研磨膏、研磨片、砂纸等使用。随着精密加工的迅速发展,近年来金刚石抛光液发展很快。与研磨膏相比,由于抛光液能迅速带走加工过程中所产生的热量及研磨屑,因而更适宜于大规模工业化生产。与油性抛光液相比,水性金刚石抛光液由于环保低毒、无腐蚀性、后处理简单等优势应用更为广泛。与硅溶胶等抛光液相比,金刚石抛光液的抛光效率能提高几倍,表面粗糙度显着降低,因而常用于抛光多种难加工的硬脆材料,例如多种晶体及硬盘磁头、微晶玻璃等工件。但是由于微米级金刚石微粉比重大而容易沉淀,致使抛光液体系的稳定性较差,影响了抛光效果,这些问题限制了金刚石抛光液的应用。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种稳定性好的水性金刚石抛光液。
另外,本发明还提供一种上述水性金刚石抛光液的制备方法。
一种水性金刚石抛光液,由下列重量分数的组分组成:
一种水性金刚石抛光液的制备方法,包括如下步骤:
将去离子水、分散剂、悬浮助剂、金刚石微粉混合后,分散成沉淀疏松的金刚石微粉溶液,该分散方法采用机械搅拌、超声振荡及机械球磨中的一种或几种的配合,分散时间为1-2小时;
将悬浮剂加入到所述金刚石微粉溶液中,继续分散得到悬浮稳定的水性金刚石抛光液,该继续分散的方法采用机械搅拌、超声振荡及机械球磨中的一种或几种的配合,分散时间为1-2小时;
加入杀菌剂、消泡剂和pH调节剂,调节水性金刚石抛光液的pH值为2-12。
本发明具有上述组成的水性金刚石抛光液稳定性好,抛光效率高。
具体实施方式
本发明的水性金刚石抛光液,由下列重量分数(以下用“wt%”表示)的组分组成:
所述金刚石微粉选用单晶或多晶金刚石微粉,金刚石微粉的粒径范围为0.5μm-100μm。
所述分散剂选用聚乙烯醇、聚氧乙烯醚、十二烷基苯磺酸钠、聚磷酸钠、六偏磷酸钠、丙烯酸共聚物、聚丙烯酰胺、聚丙烯酸衍生物、聚乙烯吡咯烷酮中的一种或多种的混合物。
所述悬浮剂选用羧甲基纤维素、羧甲基纤维素钠、羟烷基纤维素、沉淀白炭黑、气相白炭黑、膨润土及其衍生物、有机粘土、硅酸镁铝、聚丙烯酸、丙烯酸共聚物中的一种或几种的混合物。
所述pH值调节剂选用氨水、二乙醇胺、三乙醇胺、二羟乙基乙二胺、盐酸、硫酸、磷酸、硝酸、醋酸、氢氧化钠、氢氧化钾中的一种或几种的混合物;抛光液的pH值根据需要在2-12范围内调节。
所述杀菌剂选用苯甲酸钠、氯化钠、胺类化合物、取代芳烃、异噻唑啉酮中的一种或几种的混合物。
所述消泡剂选用有机硅化合物、聚醚、改性聚醚中的一种或几种的混合物。
所述悬浮助剂选用甲醇、乙醇、乙二醇、丙二醇、丙三醇、聚乙二醇、乙二胺中的一种或几种的混合物。
上述水性金刚石抛光液的制备方法,包括如下步骤:
将去离子水、分散剂、悬浮助剂、金刚石微粉混合后,分散成沉淀疏松的金刚石微粉溶液。分散方法可以采用机械搅拌、超声振荡、机械球磨中的一种或几种的配合。分散时间以1-2小时为宜。
将悬浮剂加入到金刚石微粉溶液中,继续分散得到悬浮稳定的水性金刚石抛光液。分散方法可以采用机械搅拌、超声振荡、机械球磨中的一种或几种的配合。分散时间以1-2小时为宜。
最后加入杀菌剂、消泡剂和pH调节剂,根据需要调节水性金刚石抛光液的pH值,调节范围为2-12。
上述水性金刚石抛光液很少发生沉淀,稳定性好,抛光效率高。
下面结合具体实施例,对本发明进行进一步详细说明。实施例1-3中的“wt%”表示重量百分数。
实施例1
取一烧杯,依次加入80wt%的去离子水、0.5wt%的聚乙烯醇、2wt%的聚乙二醇、2wt%的中位粒径D50为6.065μm的单晶金刚石微粉,超声振荡2小时,得到分散成沉淀疏松的金刚石微粉溶液。再加入1.5wt%的硅酸镁铝,继续磁力搅拌1小时,最后加入0.2wt%苯甲酸钠和0.2wt%二甲基硅油,用碳酸钠调节pH值为9,补足余量的去离子水即制得稳定悬浮的重量比为2wt%的金刚石抛光液。
用上述配制好的抛光液,在自动抛光机上抛光不锈钢,抛光前工件表面粗糙度在3μm左右。抛光压力为3.0kPa,转速为150rpm,抛光液流量为5mL/min,抛光时间为5min,抛光后,不锈钢的表面粗糙度变为0.6μm,抛光表面划痕均匀,金相显微镜下观察无明显深划痕和孔洞缺陷。
实施例2
取一烧杯,依次加入80wt%的去离子水、1wt%的六偏磷酸钠、4wt%的乙二胺、2wt%的中位粒径D50为3.516μm的单晶金刚石微粉,超声振荡2小时,得到分散成沉淀疏松的金刚石微粉溶液。再加入1.5wt%的膨润土,继续磁力搅拌1小时,最后加入0.2wt%苯甲酸钠和0.2wt%二甲基硅油,用磷酸调节pH值为8,补足余量的去离子水即制得稳定悬浮的重量比为2wt%的金刚石抛光液。
用上述配制好的抛光液,在自动抛光机上抛光不锈钢,抛光前工件表面粗糙度在2μm左右。抛光压力为3.0kPa,转速为150rpm,抛光液流量为5mL/min,抛光时间为5min,抛光后,不锈钢的表面粗糙度变为0.3μm,抛光表面划痕均匀,金相显微镜下观察无明显深划痕和孔洞缺陷。
实施例3
取一烧杯,依次加入75wt%的去离子水、1wt%的聚丙烯酰胺、10wt%的乙醇、2wt%的中位粒径D50为1.035μm的单晶金刚石微粉,超声振荡2小时,得到分散成沉淀疏松的金刚石微粉溶液。再加入1.5wt%的聚丙烯酸,继续磁力搅拌1小时,最后加入0.2wt%苯甲酸钠和0.2wt%二甲基硅油,用三乙醇胺调节pH值为8,补足余量的去离子水即制得稳定悬浮的重量比为2wt%的金刚石抛光液。
用上述配制好的抛光液,在自动抛光机上抛光不锈钢,抛光前工件表面粗糙度在1-2μm左右。抛光压力为3.0kPa,转速为150rpm,抛光液流量为5mL/min,抛光时间为5min,抛光后,不锈钢的表面粗糙度变为0.1μm,抛光表面划痕均匀,金相显微镜下观察无明显深划痕和孔洞缺陷。
Claims (10)
1.一种水性金刚石抛光液,由下列重量分数的组分组成:
2.如权利要求1所述的水性金刚石抛光液,其特征在于:该金刚石微粉的粒径范围为0.5μm-100μm。
3.如权利要求1所述的水性金刚石抛光液,其特征在于:该分散剂选用聚乙烯醇、聚氧乙烯醚、十二烷基苯磺酸钠、聚磷酸钠、六偏磷酸钠、丙烯酸共聚物、聚丙烯酰胺、聚丙烯酸衍生物、聚乙烯吡咯烷酮中的一种或多种的混合物。
4.如权利要求1所述的水性金刚石抛光液,其特征在于:所述悬浮剂选用羧甲基纤维素、羧甲基纤维素钠、羟烷基纤维素、沉淀白炭黑、气相白炭黑、膨润土及其衍生物、有机粘土、丙烯酸共聚物中的一种或几种的混合物。
5.如权利要求1所述的水性金刚石抛光液,其特征在于:所述悬浮剂为硅酸镁铝或聚丙烯酸。
6.如权利要求1所述的水性金刚石抛光液,其特征在于:该pH调节剂选用氨水、二乙醇胺、三乙醇胺、二羟乙基乙二胺、盐酸、硫酸、磷酸、硝酸、醋酸、氢氧化钠、氢氧化钾中的一种或几种的混合物;抛光液的pH值在2-12范围内。
7.如权利要求1所述的水性金刚石抛光液,其特征在于:该消泡剂选用有机硅化合物、聚醚、改性聚醚中的一种或几种的混合物。
8.如权利要求1所述的水性金刚石抛光液,其特征在于:所述悬浮助剂选用甲醇、乙醇、乙二醇、丙二醇、丙三醇、聚乙二醇、乙二胺中的一种或几种的混合物。
9.一种水性金刚石抛光液的制备方法,包括如下步骤:
将去离子水、分散剂、悬浮助剂、金刚石微粉混合后,分散成沉淀疏松的金刚石微粉溶液,该分散方法采用机械搅拌、超声振荡及机械球磨中的一种或几种的配合,分散时间为1-2小时;
将悬浮剂加入到所述金刚石微粉溶液中,继续分散得到悬浮稳定的水性金刚石抛光液,该继续分散的方法采用机械搅拌、超声振荡及机械球磨中的一种或几种的配合,分散时间为1-2小时;
加入杀菌剂、消泡剂和pH调节剂,调节水性金刚石抛光液的pH值为2-12。
10.如权利要求9所述的水性金刚石抛光液的制备方法,其特征在于:所述悬浮剂为硅酸镁铝或聚丙烯酸。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201310297761.3A CN104293205A (zh) | 2013-07-16 | 2013-07-16 | 水性金刚石抛光液及其制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104293205A true CN104293205A (zh) | 2015-01-21 |
Family
ID=52313169
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN201310297761.3A Pending CN104293205A (zh) | 2013-07-16 | 2013-07-16 | 水性金刚石抛光液及其制备方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
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TW (1) | TWI491718B (zh) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
TWI491718B (zh) | 2015-07-11 |
TW201506139A (zh) | 2015-02-16 |
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