JP6001858B2 - 非イオン性ポリマーを含有するスラリー組成物とその使用方法 - Google Patents
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Description
(a)エチレングリコール(EG)−対照、(b)0.2%(wt/wt)のポリアクリル酸 Mv125K(PAA125K)、(c)0.35%(wt/wt)のキサンタンガム(XG)、(d)0.5%(wt/wt)のヒドロキシエチルセルロース Mv125K(HEC)および(e)5%(wt/wt)のポリビニルピロリドン K90(PVP90K)といった種々の担体組成物を調製した。それらの水性担体組成物(すなわち、前記の担体溶液)は、pH7で脱イオン水により調製した。せん断速度400秒−1と温度25℃で、各担体溶液の粘度調整剤(増粘剤)用の粘度測定値は(A)EG:14.0cP、(B)PAA125K:24.0cP、(C)XG:17.2cP、(D)HEC:14.3cPおよび(E)PVP90K:14.3cPである。これらの測定値は、カップを使用してAres流体レオメーター(ニュージャージー州ピスカタウェイのレノメトリック・サイエンティフィック社製)により求めた。
本例では、試料の粘度調整剤を異なる濃度で水性担体に含有させた場合に、平均分子量特性が異なるポリマー粘度調整剤による炭化ケイ素(SiC)研磨剤粒子の沈着に対する効果を説明する。
本例では、平均分子量特性が異なるポリマー粘度調整剤による、ワイヤーソー工程における模範的な高せん断条件下での粘度安定性に対する効果を説明する。表3に示す通り、等しい重量のSiC研磨剤粒子と粘度調整剤(増粘剤)や脱イオン水を含有する水性担体とを組み合わせることにより、50%(w/w)SiCスラリーを生成した。OPTIFLO(登録商標)L100とOPTIFLO(登録商標)H370は、疎水基が付加されたポリエーテルを含有する非イオン性ポリマーである(疎水性エトキシ化アミノプラストとも呼ばれる)。OPTIFLO(登録商標)M2600は、疎水性エトキシ化ウレタンである。1Lのワーリングブレンダー(コネチカット州トリントンのワーリングコマーシャル社製モデル51BL31)中で250mLのスラリーにより10分間、18000rpmでせん断し、せん断前とせん断直後の各スラリーの粘度(ブルックフィールド粘度、60rpm、18℃)を測定した。
本例では、平均分子量特性が異なるポリマー粘度調整剤の混合による、異なるせん断条件下での粘度に対する効果を説明する。
下記に出願時の特許請求の範囲を示す。
<請求項1>
ポリマー粘度調整剤を含有する水性担体に懸濁する25〜75重量パーセントの粒子状研磨剤を含むワイヤーソー切断用流体組成物であって、
前記粘度調整剤が、モノマーモルに基づき半分以上の非イオン性モノマー単位を含むポリマーを含み、最低5キロダルトン(kDa)の数平均分子量(Mn)を有し、60毎分回転数(rpm)のスピンドル回転速度で25℃において50〜1000センチポアズ(cP)の範囲で組成物にブルックフィールド粘度を提供するに十分な濃度で水性担体に存在する、ワイヤーソー切断用流体組成物。
<請求項2>
前記粘度調整剤が非イオン性ポリマーである請求項1に記載の組成物。
<請求項3>
前記非イオン性ポリマーが、(a)最低1つのアルキル基、ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基または前記の基の2つ以上の組合せで随意に置換できる多糖類、(b)ポリビニルピロリドン、(c)ポリビニルアルコールおよび(d)これらの2つ以上の組合せから成る群から選択される請求項2に記載の組成物。
<請求項4>
前記粘度調整剤がアルキル基、ヒドロキシアルキル基およびアルコキシアルキル基から成る群から選択される最低1つの置換基で随意に置換できる多糖類を含む請求項2に記載の組成物。
<請求項5>
前記多糖類がキサンタンガム、グアーガム、でんぷん、セルロースおよびこれらの2つ以上の組合せから成る群から選択される請求項4に記載の組成物。
<請求項6>
前記粘度調整剤がヒロドキシエチルセルロースを含む請求項1に記載の組成物。
<請求項7>
前記ヒロドキシエチルセルロースの重量平均分子量(Mw)が20〜100kDaの範囲である請求項6に記載の組成物。
<請求項8>
前記粘度調整剤のMwが20〜200kDaの範囲である請求項1に記載の組成物。
<請求項9>
前記粘度調整剤のMwが20〜70kDaの範囲である請求項1に記載の組成物。
<請求項10>
前記粘度調整剤が約0.01〜15重量パーセントの濃度で水性担体に存在する請求項1に記載の組成物。
<請求項11>
前記粘度調整剤が適度なシアシニングであり、1000秒−1の適度なせん断速度で測定された際に、10秒−1の低せん断速度で測定された際の担体粘度の55%以上の担体粘度を提供する請求項1に記載の組成物。
<請求項12>
前記研磨剤のモース硬度が最低7.5である請求項1に記載の組成物。
<請求項13>
前記研磨剤が炭化ケイ素を含む請求項1に記載の組成物。
<請求項14>
前記研磨剤の平均粒径が1〜500ミクロンの範囲である請求項1に記載の組成物。
<請求項15>
前記水性担体が酸性pHである請求項1に記載の組成物。
<請求項16>
前記水性担体が最低55重量パーセントの水を含む請求項1に記載の組成物。
<請求項17>
前記水性担体が水溶性ポリオール乾燥防止剤を含有する請求項1に記載の組成物。
<請求項18>
前記乾燥防止剤が数平均分子量2kDa未満のポリ(アルキレングリコール)を含む請求項17に記載の組成物。
<請求項19>
前記水性担体が界面活性剤を含有する請求項1に記載の組成物。
<請求項20>
前記界面活性剤がアセチレン界面活性剤を含む請求項19に記載の組成物。
<請求項21>
水性担体が陽イオン性ポリマー、陰イオン性ポリマー、ポリシロキサン、疎水的に改質された非イオン性ポリマーおよびポリエーテル尿素ポリウレタンから選択された最低1つの付加ポリマーを含有する請求項1に記載の組成物。
<請求項22>
前記組成物が粘土材料を含有しない請求項1に記載の組成物。
<請求項23>
前記粘度調整剤が20〜200kDaの範囲のMwの非イオン性モノマーを含み、60rpmのスピンドル回転速度で25℃において75〜700cPの範囲で前記組成物にブルックフィールド粘度を提供するに十分な濃度で水性担体に存在する請求項1に記載の組成物。
<請求項24>
前記粘度調整剤が最低60モルパーセントの非イオン性モノマー単位を含むコポリマーを含む請求項1に記載の組成物。
<請求項25>
粘度調整剤を含有する水性担体に懸濁する25〜75重量パーセントの粒子状研磨剤を含むワイヤーソー切断用流体組成物であって、
前記粘度調整剤が半分以上の非イオン性モノマー単位を含むポリマーを含み、最低5kDaのMnと最低200kDaのMwを有し、60rpmのスピンドル回転速度で25℃において50〜700cPの範囲で組成物にブルックフィールド粘度を提供するに十分な濃度で水性担体に存在しているワイヤーソー切断用流体組成物。
<請求項26>
前記粘度調整剤が非イオン性ポリマーを含む請求項25に記載の組成物。
<請求項27>
前記非イオン性ポリマーが(a)最低1つのアルキル基、ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基またはこれらの基の2つ以上の組合せで随意に置換できる多糖類、(b)ポリビニルピロリドン、(c)ポリビニルアルコールおよび(d)これらの2つ以上の組合せから成る群から選択される請求項26に記載の組成物。
<請求項28>
前記粘度調整剤がアルキル基、ヒドロキシアルキル基およびアルコキシアルキル基から成る群から選択される最低1つの置換基で随意に置換できる多糖類を含む請求項26に記載の組成物。
<請求項29>
前記多糖類がキサンタンガム、グアーガム、でんぷん、セルロースおよびこれらの2つ以上の組合せから成る群から選択される請求項28に記載の組成物。
<請求項30>
前記粘度調整剤がヒロドキシエチルセルロースを含む請求項25に記載の組成物。
<請求項31>
前記ヒロドキシエチルセルロースのMwが300〜1000kDaの範囲である請求項30に記載の組成物。
<請求項32>
前記非イオン性ポリマーのMwが200〜1200kDaの範囲である請求項26に記載の組成物。
<請求項33>
前記粘度調整剤が適度なシアシニングであり、1000秒−1の適度なせん断速度で測定された際に、10秒−1の低せん断速度で測定された際の粘度の55%以上の粘度を提供する請求項25に記載の組成物。
<請求項34>
前記研磨剤のモース硬度が最低7.5であり平均粒径が1〜500ミクロンの範囲である請求項25に記載の組成物。
<請求項35>
前記水性担体が酸性pHである請求項25に記載の組成物。
<請求項36>
前記水性担体が、界面活性剤、水溶性ポリオール乾燥防止剤、陽イオン性ポリマー、陰イオン性ポリマー、ポリシロキサン、疎水的に改質された非イオン性ポリマーおよびポリエーテル尿素ポリウレタンから選択された最低1つの付加ポリマーまたはこれらの2つ以上の組合せを含有する請求項25に記載の組成物。
<請求項37>
請求項25に記載のワイヤーソー切断用流体組成物を切断流体の再循環容器からワイヤーソーに加えつつ加工対象物をワイヤーソーで切断する手順を有し、
104s−1以下の比較的に低せん断速度で作動するポンプとノズルにより前記切断流体が循環し供給されるワイヤーソー切断工程。
<請求項38>
請求項1に記載のワイヤーソー切断用流体組成物を切断流体の再循環容器からワイヤーソーに加えつつ加工対象物をワイヤーソーで切断する手順を有するワイヤーソー切断工程。
Claims (7)
- ポリマー粘度調整剤を含有する水性担体に懸濁する25〜75重量パーセントの粒子状研磨剤を含むワイヤーソー切断用流体組成物であって、
前記粘度調整剤が、非イオン性ポリマーを含み、20〜200kDaの範囲の重量平均分子量(Mw)を有し、毎分回転数60(rpm)のスピンドル回転速度で18℃において50〜1000センチポアズ(cP)の範囲で組成物にブルックフィールド粘度を提供する濃度で水性担体に存在し、
前記組成物が粘土材料を含まず、
前記粘度調整剤がヒドロキシエチルセルロースを含む、ワイヤーソー切断用流体組成物。 - 前記ヒドロキシエチルセルロースの重量平均分子量(Mw)が20〜100kDaの範囲である請求項1に記載の組成物。
- 以下のいずれか1以上があてはまる請求項1に記載の組成物。
a)前記粘度調整剤が0.01〜15重量パーセントの濃度で水性担体に存在する
b)前記粘度調整剤がシアシニングであり、1000秒−1のせん断速度で測定された際に、10秒−1の低せん断速度で測定された際の担体粘度の55%以上の担体粘度を提供する
c)前記研磨剤のモース硬度が最低7.5である
d)前記研磨剤が炭化ケイ素を含む
e)前記研磨剤の平均粒径が1〜500ミクロンの範囲である
f)前記水性担体が酸性pHである
g)前記水性担体が最低55重量パーセントの水を含む
h)前記水性担体が陽イオン性ポリマー、陰イオン性ポリマー、ポリシロキサン、疎水的に改質された非イオン性ポリマーおよびポリエーテル尿素ポリウレタンから選択された最低1つの付加ポリマーを含有する
i)前記粘度調整剤が20〜200kDaの範囲のMwの非イオン性モノマーを含み、60rpmのスピンドル回転速度で18℃において75〜700cPの範囲で前記組成物にブルックフィールド粘度を提供する濃度で水性担体に存在する
j)前記粘度調整剤が最低60モルパーセントの非イオン性モノマー単位を含むコポリマーを含む - 前記水性担体が界面活性剤を含有し、
選択的に、前記界面活性剤がアセチレン界面活性剤を含む請求項1に記載の組成物。 - 前記粘度調整剤が、60rpmのスピンドル回転速度で18℃において50〜700cPの範囲で組成物にブルックフィールド粘度を提供する濃度で水性担体に存在している請求項1に記載のワイヤーソー切断用流体組成物。
- 前記粘度調整剤が更に高分子量ヒドロキシエチルセルロースを含み、
選択的に、前記高分子量ヒドロキシエチルセルロースのMwが300〜1000kDaの範囲である請求項5に記載の組成物。 - 以下のいずれか1以上があてはまる請求項5に記載の組成物。
a)前記粘度調整剤がシアシニングであり、1000秒−1のせん断速度で測定された際に、10秒−1の低せん断速度で測定された際の粘度の55%以上の粘度を提供する
b)前記研磨剤のモース硬度が最低7.5であり平均粒径が1〜500ミクロンの範囲である
c)前記水性担体が酸性pHである
d)前記水性担体が、界面活性剤、陽イオン性ポリマー、陰イオン性ポリマー、ポリシロキサン、疎水的に改質された非イオン性ポリマーおよびポリエーテル尿素ポリウレタンから選択された最低1つの付加ポリマーまたはこれらの2つ以上の組合せを含有する
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