JP4915736B2 - 加工速度向上剤及び該加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液 - Google Patents

加工速度向上剤及び該加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液 Download PDF

Info

Publication number
JP4915736B2
JP4915736B2 JP2007038162A JP2007038162A JP4915736B2 JP 4915736 B2 JP4915736 B2 JP 4915736B2 JP 2007038162 A JP2007038162 A JP 2007038162A JP 2007038162 A JP2007038162 A JP 2007038162A JP 4915736 B2 JP4915736 B2 JP 4915736B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
processing speed
polishing
processing
water
weight
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2007038162A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008055591A (ja
Inventor
広司 寺本
岩峰 平田
学士 丸山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kohjin Holdings Co Ltd
Original Assignee
Kohjin Holdings Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kohjin Holdings Co Ltd filed Critical Kohjin Holdings Co Ltd
Priority to JP2007038162A priority Critical patent/JP4915736B2/ja
Publication of JP2008055591A publication Critical patent/JP2008055591A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4915736B2 publication Critical patent/JP4915736B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Description

本発明は、金属材料用加工油及び脆性材料用加工油、これらを含む加工油用組成物に関し、更に詳細には鋳鉄、合金鋼、銅、銅合金、アルミ、アルミ合金、超硬合金等の金属材料及びシリコンウェハ、セラミック、水晶、ガラス等の脆性材料の平面研削、円筒研削、内面研削、ホーニング、センタレス、スライシング、ラッピング、ポリッシング等において好適に使用される加工速度向上剤、及び該加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液に関するものである。
金属材料及び脆性材料の加工液として、防錆剤、界面活性剤、分散剤、油脂、脂肪酸、脂肪酸エステルの組成成分を被加工材、加工条件等に対応して適宜配合したものが広く使用されている(特許文献1)。
これら加工液の研磨加工速度を向上させるためには、より大きな粒子径の砥粒を使用する、若しくはスラリーの潤滑摩擦特性を低下させる必要がある。しかし、これらの方法では研磨速度の向上に伴い、研磨面の品質が劣化するといった問題点があった。
そこで、添加剤により加工速度を向上させる試みがなされおり、加工速度向上効果が報告されている添加剤としては、ポリオール又はポリオールアルキレンオキサイド付加物の脂肪酸エステル等の非イオン界面活性剤(特許文献2)、ポリエーテル及びそのリン酸エステルカリウム塩(特許文献3)等がある。しかしながら、これらの添加物は多量添加しないと速度が向上しないという欠点があると共に、発泡を伴う場合があるという問題があった。
一方、ポリアクリルアミド誘導体は、金属用研磨液の保護膜形成剤として用いられる事(特許文献4)、研磨・研削加工液の粘度低下を防止し加工精度あるいは工具の寿命等の低下を改善できる事(特許文献5)は知られていが、加工速度を向上させる効果を有しているとの報告は無い。
特開平3−97790号公報 特開2000−114212号公報、同2000−144113号公報 特開2001−110760号公報、同2002−47484号公報 WO00/13217号 特開2003−55684号公報
本発明は、かかる従来の技術の欠点を有しない、少量の添加濃度で研磨速度を向上させ、研磨・研削加工液が有する防錆剤、消泡剤、防腐剤、酸化防止剤、金属封鎖剤等の作用を阻害しない加工速度向上剤、更に沈降した砥粒の再分散性にも優れた加工速度向上剤、及び研磨速度が向上した、更に砥粒の再分散性に優れた、水溶性研磨・研削加工液を提供することを課題とする。
本発明者らは、かかる課題を解決するため、鋭意研究の結果、ポリアクリルアミド誘導体を用いることにより、更にカチオン性水溶性高分子を添加することにより、課題が解決できることを見いだし、本発明を完成した。
すなわち本発明は、
(1)N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、もしくはN−アクリロイルモルホリンの単独重合物、又はN,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、もしくはN−アクリロイルモルホリンとイオン性モノマーとの共重合物を有効成分とする加工速度向上剤、
)さらに、カチオン性水溶性高分子を含む上記()に記載の加工速度向上剤、
前記カチオン性水溶性高分子がポリエチレンイミンである上記()に記載の加工速度向上剤、
)上記1〜3のいずれか一に記載の加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液、
を提供するものである。
なお、カチオン性水溶性高分子としては、ポリエチレンイミン等のポリアルキレンイミン、ポリN,N-ジメチルアミノエチルアクリレートメチルクロライド、ポリN,N-ジメチルアミノプロピルアクリルアミドメチルクロライド等の四級化アクリルアミド誘導体、ヒドロキシエチルセルロース/ジメチルジアリルアンモニウムクロライド共重合体、ポリアリルアミン及びその共重合体、ポリアリルアミン塩酸塩及びその共重合体、ポリジアリルジメチルアンモニウムクロライド及びその共重合体、ヒドロキシエチルセルロース/ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウムクロリド等のカチオン化セルロース、ビニルピロリドン/ジメチルアミノエチルアクリル酸共重合体のカチオン化物等の四級化ポリビニルピロリドン誘導体が挙げられ、望ましくはポリエチレンイミン、N,N-ジメチルアミノエチルアクリレートメチルクロライド、N,N-ジメチルアミノプロピルアクリルアミドメチルクロライド等の四級化アクリルアミド誘導体、さらに望ましくはポリエチレンイミンである
本発明によると、水溶性の研磨・研削加工液及び加工スラリーの各成分の作用を阻害することなく、少量の添加量で、研磨加工速度を向上させることができるという作用効果を奏する。
更に、カチオン性水溶性高分子を添加したものは、沈降した砥粒の再分散性が良好であると共に、研磨速度が相乗的に向上する、特にスラリー供給量が低い場合においても研磨速度向上の相乗効果が見られ、経済的、生産性に優れる、という作用効果を奏する。
本発明は、ポリアクリルアミド誘導体を有効成分とする加工速度向上剤である。
なお、本発明のいう「加工速度向上」とは、シリコンウェハ、セラミック、金属、ガラス等の研磨・研削加工における加工速度の向上させることをいう。
本発明に用いられるポリアクリルアミド誘導体としては、(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N−アクリロイルモルホリンのアクリルアミド誘導体の単独重合体、あるいはこれらアクリルアミド誘導体とイオン性モノマー(例えば(メタ)アクリル酸又はそのアルカリ金属塩、アンモニウム塩、等)との共重合物が挙げられる。
中でも、N,N−ジ置換アクリルアミドの単独重合体、あるいはそれとアクリル酸(塩)との共重合体が好ましく、特に、N,N−ジメチルアクリルアミドの単独重合体あるいはそれとアクリル酸(塩)との共重合体が好ましい。
ポリアクリルアミド誘導体は、上述したアクリルアミド誘導体、あるいはアクリル酸(塩)とを、公知の方法に準じて(共)重合する事により製造することができる。
重合方法は任意であるが、水溶性の研磨・研削加工液に添加する目的においては、水系での重合が好ましい。
本発明において、加工速度向上剤として、カチオン性水溶性高分子を併用することができる。
カチオン性水溶性高分子を併用することにより、沈降した砥粒の再分散性が良好となるばかりでなく、研磨速度が、特に加工時のスラリーの供給が低流量時に、相乗的に向上する。
用いられるカチオン性水溶性高分子としては、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミン、ポリビニルアミンが挙げられる。中でも、ポリエチレンイミンが好ましく、原液や加工液(希釈後の使用状態)への溶解性から300〜100000の分子量のものが好ましい。
本発明の加工速度向上剤は、水溶性研磨・研削加工液に添加して用いられ、ポリアクリルアミド誘導体の添加量は、加工液100重量部に対して、0.00001〜0.1重量部、好ましくは0.0001〜0.1重量部、更に好ましくは0.0005〜0.05重量部である。添加が0.00001重量部未満であると研磨速度の向上がみられず、一方0.1重量部を超えると研磨面の品質が劣化する場合がある。
また、カチオン性水溶性高分子を併用する場合のカチオン性水溶性高分子の添加量は、加工液100重量部に対して、0.0001〜0.1重量部、好ましくは0.001〜0.1重量部、更に好ましくは0.004〜0.02重量部が添加される。添加量が0.0001重量部未満であると加工速度の相乗的な向上はなく、さらに沈降した砥粒の再分散性の向上が見られない。一方0.1重量部を超えても研磨速度、再分散性の効果のさらなる向上は見られない。
本発明では、更に、該加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液が提供される。
加工液としては、水溶性のもので、防錆剤、酸化防止剤、防腐剤、金属イオン封鎖剤、界面活性剤、油脂、脂肪酸、脂肪酸エステルの組成成分を、被加工材、加工条件等に対応して適宜配合した公知のものが用いられ、研磨速度向上剤の含有量は、上述した添加量の範囲が好ましい。
なお、加工速度向上剤の添加は粉末、溶液状(希釈状態を含む)のいずれでも良く、研磨・研削加工液に添加されるか、その原液に添加してもよく、また加工スラリー(砥粒添加後)に添加することもできる。
水溶性高分子である、ポリアクリル酸及びその塩、ポリアクリルアミド等は水中で親水性ゾル体を形成することはよく知られているところである。本発明者らは、その水中でのゾル体の有する諸特性が研磨加工液の加工速度向上に有用であるところに着目し試験を重ねたところ、ポリアクリルアミド誘導体が研磨・研削加工液の加工速度を向上させるという新たな作用を見出し、さらに、カチオン性水溶性高分子を併用添加することで、加工速度が相乗的に向上すると共に、沈殿した砥粒の再分散が容易に行えるという知見を得、本発明を完成させたものである。
以下実施例により本発明を詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
製造例1 ポリN,N−ジメチルアクリルアミドの合成
1L容量のセパラブルフラスコに、N,N−ジメチルアクリルアミド120g、脱イオン水600gを加えて、攪拌しながら5重量%の硫酸水溶液を徐々に添加し、溶液のpHを7.30に合わせ、中和操作を行った後、モノマー水溶液の濃度が15重量%になるように、脱イオン水を補填した。その後、モノマー調製液を、20℃の恒温槽に入れ、マグネチックスターラーで攪拌しながら窒素ガスを、1時間通気、恒温した。本溶液に、重合開始剤として2,2'−アゾビス[2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン]ジハイドロクロライド(VA−044)の5重量%水溶液を2.16g、ナトリウムホルムアルデヒドスルホキシート2水和物(ロンガリット)の10重量%水溶液を2.20g、tert−ブチルヒドロペルオキシド(t−BHPO)の5重量%水溶液を2.57g順次投入し、重合反応を開始させた。5分後、攪拌並びに窒素ガスの通気を止め、密閉状態で室温下16時間重合反応を続けた後、85重量%の水を含む水あめ状のポリN,N−アクリルアミドを得た。
得られた水あめ状のポリN,N−アクリルアミドを裁断し、脱イオン水に溶解させ、本発明の加工速度向上剤を2重量%の水溶液として調製した。
実施例1
加工液(A)として、水媒体100重量部に、ジエタノールアミン0.4重量部、セバチン酸 0.15重量部、サーフィノール485(信越化学工業株式会社製)0.05重量部、TSA730(GE東芝シリコーン株式会社製)0.002重量部を溶解したものを用いた。
加工液(A)に、製造例1で得られたポリN,N−ジメチルアクリルアミドを0.001重量部(純分換算)添加し、本発明の水溶性研磨・研削加工液を得た。
実施例2
実施例1において、ポリN,N−ジメチルアクリルアミドの添加量を0.005重量部(純分換算)とした以外は実施例1と同様に実施し、本発明の水溶性研磨・研削加工液を得た。
実施例3
実施例1において、ポリN,N−ジメチルアクリルアミドの添加量を0.015重量部(純分換算)とした以外は実施例1と同様に実施し、本発明の水溶性研磨・研削加工液を得た。
実施例4
実施例1において、ポリN,N−ジメチルアクリルアミドにかえてポリエチレンイミン(和光純薬製、平均分子量1800)を用い、添加量を0.01重量部(純分換算)とした以外は実施例1と同様に実施し、本発明の水溶性研磨・研削加工液を得た。
実施例5
実施例2において、更にポリエチレンイミン(和光純薬製、平均分子量1800)を0.01重量部(純分換算)添加した以外は実施例2と同様に実施し、本発明の水溶性研磨・研削加工液を得た。
評価例1 研磨速度評価(シリコンウェハーのラッピング加工)
実施例1〜3及び加工液(A)を用い、それぞれの加工液72重量部に対し酸化アルミナ砥粒28重量部(FO#1200、株式会社フジミインコーポレーテッド製)を混合し加工スラリー液とした。
この加工スラリー液を使用して、不二越機械工業社製USP−9Bを用い、表1に示した装置条件下、加工スラリー供給量200ml/min、4inchシリコンウェハ、研磨枚数5枚を研磨した。
研磨速度は、研磨後のシリコンウェハの研磨除去量(シリコンウェハの厚みの減少量)を加工時間で除したものであり、結果を表2に示した。
評価例2 研磨速度評価(シリコンウェハーのラッピング加工)
実施例2、4、5及び加工液(A)を用い、それぞれの加工液72重量部に対し酸化アルミナ砥粒28重量部(FO#1200、株式会社フジミインコーポレーテッド製)を混合し加工スラリー液とした。
この加工スラリー液を使用して、評価例1において、加工スラリー供給量を50ml/minにかえた以外は評価例1と同様に実施した。
研磨速度は、研磨後のシリコンウェハの研磨除去量(シリコンウェハの厚みの減少量)を加工時間で除したものであり、結果を表3に示した。
評価例3 砥粒再分散性評価
評価例2で調整した加工スラリー液を、良く攪拌し均一な状態にした後、外形35mm×高さ78mmのガラス製透明サンプル瓶に50g入れ、7日間静置し、砥粒を完全に沈降させた後、ミキサーにて5分間振とうして砥粒が再分散するかどうか観察した。
砥粒の再分散の状態を目視したところ、実施例2及び加工液(A)を用いた加工スラリー液では砥粒塊が少量残った(5%未満程度)が、実施例4及び実施例5を用いた加工スラリー液では砥粒塊は認められなかった。
Figure 0004915736
Figure 0004915736
Figure 0004915736
以上の結果から、加工スラリー供給量にかかわらずポリN,N−ジメチルアクリルアミドを添加した場合に研磨速度が向上すること、ポリN,N−ジメチルアクリルアミドとポリエチレンイミンを併用することで研磨速度の相乗的な向上が見られること、また、沈降した砥粒の再分散効果が優れていること、が確認された。
評価例3 研削速度評価(硬質ガラス棒の円筒研削加工)
実施例2及び加工液(A)を用い、砥石として#170ダイヤモンド砥石(メタルボンド)を使用し、回転速度2400rpm、圧力35N下に於いて、硬質ガラス棒φ10mmの円筒研削加工を行った場合の加工速度を測定した。加工速度は、加工後の硬質ガラス棒直径減少量を加工時間で除したものであり、結果を表4に示した。
Figure 0004915736
全ての条件下で被加工材の割れ・カケの発生は見られなかった。図1より、加工加重一定条件下に於いて、ポリN,N−ジメチルアクリルアミドを添加した場合に加工速度が向上することが分かる。さらに、加工圧力、粒度を上げることなく、加工速度を向上することが可能であることから、被加工部材の割れ、カケを抑制することができる。
以上述べてきたように、本発明によると、研磨速度が向上する、更に沈降した砥粒の再分散効果に優れる研磨速度向上剤、及び該研磨速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液が提供され、シリコンウェハ、セラミック、金属、ガラス等の研磨・研削加工において好適に用いることができる。

Claims (4)

  1. N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、もしくはN−アクリロイルモルホリンの単独重合物、又はN,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、もしくはN−アクリロイルモルホリンとイオン性モノマーとの共重合物を有効成分とする加工速度向上剤。
  2. さらに、カチオン性水溶性高分子を含む請求項に記載の加工速度向上剤。
  3. 前記カチオン性水溶性高分子がポリエチレンイミンである請求項に記載の加工速度向上剤。
  4. 請求項1〜3のいずれか一項に記載の加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液。
JP2007038162A 2006-03-31 2007-02-19 加工速度向上剤及び該加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液 Expired - Fee Related JP4915736B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007038162A JP4915736B2 (ja) 2006-03-31 2007-02-19 加工速度向上剤及び該加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006096945 2006-03-31
JP2006096945 2006-03-31
JP2006209912 2006-08-01
JP2006209912 2006-08-01
JP2007038162A JP4915736B2 (ja) 2006-03-31 2007-02-19 加工速度向上剤及び該加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008055591A JP2008055591A (ja) 2008-03-13
JP4915736B2 true JP4915736B2 (ja) 2012-04-11

Family

ID=39238927

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007038162A Expired - Fee Related JP4915736B2 (ja) 2006-03-31 2007-02-19 加工速度向上剤及び該加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4915736B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5833286B2 (ja) * 2009-09-29 2015-12-16 Jsr株式会社 化学機械研磨用水系分散体および化学機械研磨方法
WO2015068672A1 (ja) * 2013-11-08 2015-05-14 東亞合成株式会社 半導体用濡れ剤及び研磨用組成物
JP6411759B2 (ja) * 2014-03-27 2018-10-24 株式会社フジミインコーポレーテッド 研磨用組成物、その使用方法、及び基板の製造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3912927B2 (ja) * 1999-05-10 2007-05-09 花王株式会社 研磨液組成物
JP3768401B2 (ja) * 2000-11-24 2006-04-19 Necエレクトロニクス株式会社 化学的機械的研磨用スラリー
JP4285480B2 (ja) * 2003-05-28 2009-06-24 日立化成工業株式会社 研磨剤及び研磨方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008055591A (ja) 2008-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2415853B1 (en) Working fluid for brittle and hard materials
TWI413681B (zh) 包含非離子性聚合物之漿液組合物及使用方法
JP6272842B2 (ja) モリブデン研磨のための組成物および方法
KR102538575B1 (ko) 코발트 연마 가속화제
WO2012115099A1 (ja) 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液
JP4915736B2 (ja) 加工速度向上剤及び該加工速度向上剤を含有した水溶性研磨・研削加工液
JP4566045B2 (ja) 水性砥粒分散媒組成物
EP3053977A1 (en) Polishing composition and production method therefor
JP4012134B2 (ja) 水性切削液、水性スラリー及びこれを用いる硬脆性難削材料の切断方法
JP5350839B2 (ja) 脆性材料用加工油および加工油組成物
JP5920840B2 (ja) 研磨用組成物およびその製造方法
JP5689887B2 (ja) 切削流体および切削スラリーのためのポリアルキレングリコール−グラフトポリカルボキシレートサスペンションおよび分散剤
JP7253924B2 (ja) コバルトcmp用の代替的な酸化剤
JP6744611B2 (ja) 研磨液
EP2602058A1 (en) Aqueous processing solution for fixed abresive grain wire saw
JP2011256376A (ja) 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工油剤組成物
JP2015134915A (ja) 含水金属加工液
JP2008246668A (ja) 水性砥粒分散媒組成物及び加工用水性スラリー並びにそれらを用いた加工方法
JP5750525B2 (ja) 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液
JP6232480B2 (ja) 水性加工液
JP2000017251A (ja) 研磨用水性組成物
JP2023051518A (ja) 研磨用組成物、その製造方法、研磨液の濃縮液、および研磨方法
JPS61218680A (ja) 研磨加工液
SU620500A1 (ru) Смазочно-охлаждающа жидкость дл шлифовани титановых сплавов
JP2021031630A (ja) 水溶性切削加工液

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090304

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110525

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110927

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111114

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120117

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120117

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150203

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150203

Year of fee payment: 3

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150203

Year of fee payment: 3

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R370 Written measure of declining of transfer procedure

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees