CN102858504A - 振动切断装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种能够防止在共振器上产生异常振动的情况，并且通过将宽度方向上调整了振幅的大小的振动施加给切断刃而能够精度良好地切断对象物的技术。由于通过夹紧机构(28)把持被把持部而将共振器(21)支撑于支撑机构(24)，因此可防止在共振器(21)上产生异常振动，且由于在共振器(21)的侧面至少穿透设置有一个长孔(26b)，因此可调整共振器(21)的另一端的切断刃(23)的宽度方向上的振动的振幅的大小，从而能够将宽度方向上调整了振幅的大小的振动施加给切断刃(23)，因此能够通过以适当的状态施加了振动的切断刃(23)精度良好地切断对象物。

Description

振动切断装置

技术领域

本发明涉及对在一端侧形成有刀尖的平板状的切断刃施加振动来切断对象物的技术。

背景技术

以往，已知有对在一端侧形成有刀尖的平板状的切断刃施加振动来切断对象物的技术(例如，参照专利文献1)。即，共振器在一端连接有振动件，在与振动件产生的振动共振的该共振器的另一端安装有切断刃，通过被施加了振动的状态的切断刃将在台架上载置的代表为陶瓷生料薄片的对象物切断，由此防止切断对象物时在切断刃上产生刀刃弯曲等情况，从而与未对切断刃施加振动的情况相比，能够得到具有良好的切断面的切断片。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平1-122408号公报(第3页右上栏～第3页右下栏，第2图等)

发明的概要

发明要解决的课题

近些年，因电子设备的小型化进展，期望在电子设备上搭载的芯片型电子部件的微小化，具体而言，要求将芯片型电子部件形成为1mm×1mm×1mm以下的大小。在专利文献1中记载有具有200μm～300μm的刃厚的切断刃，但为了将芯片型电子部件形成为近些年要求的大小，需要使切断刃的刃厚比100μm薄，优选刃厚形成得比50μm薄。并且，作为用于形成芯片型电子部件的材料的半导体晶片、陶瓷生料薄片(セラミツクグリ一ンシ一ト)的层叠体等切断对象物，必须通过上述那样刃厚形成得薄的切断刃来精度良好地切断。

然而，当利用比以往刃厚形成得薄的切断刃，通过以往的切断技术将对象物切断成1mm×1mm以下的形状时，有时在切断对象物得到的切断片上产生裂纹或缺口等不良情况。并且，当在内部设有规定的配线图案的陶瓷生料薄片的层叠体为切断对象物时，有时在切断位置发生错位而使设置在层叠体内部的配线图案产生损伤等不良情况。上述的不良情况导致通过切断加工对象物来制造的产品的成品率的降低。

本申请发明者对于上述的不良情况的原因进行各种研究，其结果是，发现向与切断刃平行的振动件的本来的振动方向不同的方向的振动成分施加在切断刃上是上述不良情况的原因。即，因后述的共振器的支撑结构而在共振器主体上产生与振动件的振动没关系的微小的横向抖动(横ぶれ)等，从而在共振器上产生向与本来的振动件的振动方向不同的方向的横向抖动等振动成分，换言之产生向与切断刃平行的振动方向不同的方向的横向抖动等振动成分。并且，当在共振器上产生的向与本来的振动方向不同的方向的横向抖动(横ぶれ)等振动成分(以下，将横向抖动等与振动件的振动没关系的振动称为“异常振动”)施加于切断刃时，由于切断刃的刃厚与以往相比形成得非常薄，因此在对象物切断时，在切断刃上产生刀刃弯曲，或因异常振动引起的切断刃的刀尖的横向抖动而在切断对象物的切断片上产生裂纹或缺口等不良情况。另外，刀尖向对象物的切入角度因切断刃的横向抖动而不稳定，在切断刃的刀尖的向对象物的接触位置因刀尖的横向抖动而产生微小的错位时，可能因刀尖相对于对象物倾斜切入而产生刀刃弯曲，这种情况下，刀尖与对象物的接触位置的错位虽然微小，但因切断刃而在对象物的切断面上产生大的位置错位，从而产生使在作为切断对象物的层叠体内部设置的配线图案发生损伤等不良情况。

接下来，对本申请发明者发现的共振器的异常振动的产生原因进行说明。以往，为了不妨碍共振器的振动而使共振器以规定的频率稳定地振动，共振器经由具有弹性的各种振动吸收构件而由支撑机构支撑。例如，在图27所示的例子中，在相当于共振器500的最小振幅点(节点：nodal point)的位置的外周面，凸缘501与共振器500一体地形成，凸缘501经由通过橡胶等弹性构件形成的O形环502而由支撑机构503夹紧，由此由支撑机构503支撑共振器500。

另外，在图28所示的例子中，在相当于共振器600的节点的位置的外周面，膜片结构601与共振器600一体地形成，且膜片结构601由支撑机构602夹紧，由此由支撑机构602支撑共振器600。另外，在如图29所示的例子中，共振器700由通过无头螺钉连结的多个珩磨头(hone)700a及增压器700b形成。并且，在相当于共振器700的最大振幅点的珩磨头700a与增压器700b的连结位置701嵌入有膜片702，膜片702的外周部分由支撑机构703夹紧，由此共振器700由支撑机构703支撑。

这样，共振器经由具有弹性的各种振动吸收构件(O形环502、膜片结构601、膜片702)而由支撑机构支撑，因此共振器未被牢固地支撑，无法防止在共振器上产生横向抖动等异常振动。在共振器上产生的异常振动的大小虽然微小，但例如在以1mm以下的位置精度进行切断加工时，上述异常振动的大小为不能忽视的大小，通过施加有横向抖动等上述异常振动的状态的切断刃来切断对象物，从而产生上述不良情况。另外，图27至图29分别表示共振器的以往的支撑方法的一例，图27、图28、图29(a)表示局部剖视图，图29(b)表示膜片702的主视图。

另外，在切断刃通过螺钉安装于共振器的情况下，通过螺钉无法将切断刃牢固地固定于共振器，当从共振器施加振动时，在切断刃上产生微小的横向抖动。在切断刃上产生的横向抖动的大小虽然微小，但在需要以例如1mm以下的位置精度来切断对象物时，则不能忽视在切断刃上产生的横向抖动的大小，因在切断刃上产生的横向抖动，而在切断片上产生不能忽视的大小的不均，或在切断位置产生不能忽视的大小的错位。因此，在上述的现有的技术中，通过钎料或焊料将切断刃粘接于共振器而一体地安装，由此防止因从共振器施加振动而在切断刃上产生横向抖动的情况。

然而，如图30中示出现有的共振器的振动形态的一例那样，当切断刃802以刀尖与连接在共振器800的一端上的振动件801的箭头803所示的振动方向正交的方式粘接而安装在共振器800的另一端时，共振器800的另一端的宽度方向(图22中的纸面上的左右方向)上的振幅的大小的分布如实线804所示，成为中央部分的振幅大且两端部分的振幅小的大致山形状。因此，在切断刃802的宽度方向上的中央部分和两端部分施加的振动的振幅的大小不同，从而在切断刃802与共振器800的粘接部分的宽度方向上的中央部分和两端部分产生的应力的大小也差异较大。

这样，在切断刃802与共振器800的粘接部分产生在宽度方向上的中央部分和两端部分大小差异较大的应力，从而存在如下问题：对切断刃802和共振器800进行粘接的钎料或焊料局部损坏，或最坏的情况下，切断刃802从共振器800脱落。

另外，以往，完全未考虑切断刃的刀尖与台架的载置面的倾斜，在切断刃的刀尖与台架的载置面的倾斜不一致的状态下通过切断刃将载置在载置面上的对象物切断。因此，切断对象物时的切断刃向对象物的切入量在刀尖的整个宽度方向不一致，为了在切断刃向对象物的切入量小的部分也可靠地切断对象物，必须无益(無駄)地增大切断时的切断刃向对象物的压入量，从而存在切断刃向对象物的切入量(压入量)大引起的切断刃的磨损增大的问题。

另外，以往，为了防止切断对象物后，切断刃的刀尖与载置对象物的台架的载置面接触而使刀尖破损，在台架的载置面上设置用于避让刀尖的避让槽，这样的避让槽的槽宽度比切断刃的厚度形成得大。然而，近些年，伴随切断对象物变得非常薄，在对象物切断时，因在对象物的切断面与切断刃之间产生的摩擦力，而产生对象物的切断端被切断刃向按压方向压入而嵌入避让槽等问题，从而要求技术的改善。

发明内容

本发明鉴于上述的课题而提出，其目的在于提供一种能够防止在共振器上产生异常振动的情况，并且通过将宽度方向上调整了振幅的大小的振动施加给切断刃而能够精度良好地切断对象物的技术。

用于解决课题的手段

为了解决上述的课题，本发明涉及的振动切断装置对切断刃施加振动来切断对象物，所述振动切断装置的特征在于，具备：在一端连接有振动件，且在该振动件的相反侧的另一端的安装部安装有所述切断刃的共振器；具有把持所述共振器的被把持部的把持部，且支撑所述共振器的支撑机构，其中，在所述共振器的侧面至少穿透设置有一个长孔(技术方案1)。

在这样构成的发明中，通过把持部把持被把持部而将共振器支撑于支撑机构，从而将共振器不像以往那样经由具有弹性的振动吸收构件地通过支撑机构的把持部牢固地把持支撑，由此能够防止在共振器上产生向与振动件的本来的振动方向不同的方向的横向抖动等异常振动，其中，该振动件与共振器的一端连接。

另外，本申请发明者进行与振动件的振动共振的共振器的振动形态的观察，并且反复进行与共振器的振动形态相关的各种实验，其结果是，发现通过在共振器上穿透设置长孔，能够调整共振器的各部位的振动方向及振动的振幅的大小。本申请发明者着眼于该见解，将切断刃安装于共振器的安装部，并在共振器的侧面上至少穿透设置一个长孔。这样，通过在共振器上穿透设置的长孔，可调整共振器的另一端的切断刃的宽度方向上的振动的振幅的大小，因此能够将宽度方向上调整了振幅的大小的振动施加给切断刃，从而能够通过以适当的状态施加了振动的切断刃精度良好地切断对象物。此时，优选通过金属焊剂(ろう)或粘接剂(接着剤)等将切断刃固接而安装于共振器的安装部。

另外，本申请发明者对于如下技术进行各种研究：将共振器即使不像以往那样经由具有弹性的振动吸收构件地通过把持部牢固地把持，也不会妨碍共振器的振动，换言之，在不使共振器的固有频率变动的情况下牢固地支撑共振器。其结果是，本申请发明者发现，对数衰减率大的材质，或声速大的材质适合于把持共振器的把持部的材质。即，由于对数衰减率大的材质难以传递振动，可快速地吸收共振器的向与本来的振动方向不同的方向的异常振动，因此认为通过对数衰减率比0.01大且比1小的材质来形成支撑机构的把持部，从而可有效地抑制共振器的所述异常振动，并且能够在不妨碍共振器的振动的情况下支撑共振器。另外，声速大的材质的振动的传递速度快，可使共振器的所述异常振动快速扩散，认为通过声速比5900m/s大的材质形成支撑机构的把持部，从而可有效地抑制共振器的所述异常振动，并且能够在不妨碍共振器的振动的情况下支撑共振器。

在此，优选把持共振器的被把持部的支撑机构的把持部由对数衰减率比0.01大且比1小的材质形成。若这样，则在共振器与支撑机构接触的部位，把持部对所述异常振动的吸收速度快，能够通过把持部精度良好地吸收所述异常振动，并同时使共振器以所期望的振动稳定地振动。因此，能够对切断刃适当地施加振动。另外，共振器的形成被把持部的位置不局限于节点，可以为共振器的任意位置，由于能够在共振器的任意的位置设置被把持部，因此能够容易变更具备支撑共振器的支撑机构的装置的装置结构。并且，由于不像以往那样经由所述振动吸收构件也能够支撑共振器，因此能够减小支撑机构的大小或减少支撑机构的个数，从而能够容易进行装置的小型化或简化。

另外，把持共振器的被把持部的支撑机构的把持部也可以由声速比5900m/s大的材质形成。这样，在共振器与支撑机构接触的部位，把持部对所述异常振动的传递速度也快，能够通过把持部使所述异常振动精度良好地扩散，并使共振器以所期望的振动稳定地振动。因此，能够将振动适当地施加给切断刃。另外，共振器的形成被支撑部的位置不局限于节点，可以为共振器的任意位置，由于能够在共振器的任意的位置设置被把持部，因此能够容易变更具备支撑共振器的支撑机构的装置的装置结构。并且，由于不像以往那样经由所述振动吸收构件也能够支撑共振器，因此能够减小支撑机构的大小或减少支撑机构的个数，从而能够容易进行装置的小型化或简化。

另外，本申请发明者还进行了与共振器的被支撑部的形状相关的各种研究，其中共振器的被支撑部用于在不妨碍共振器的振动的情况下由支撑机构支撑。其结果是发现：通过支撑机构支撑共振器的更接近振动方向的中心轴上存在的节点的位置，在不妨碍共振器的振动的情况下支撑共振器是有效的。

因此，为了能够通过把持部把持更接近节点的位置，可以在共振器的与振动方向的中心轴上存在的节点的位置相当的共振器的外周面设置作为被把持部而形成的凹状的槽，并通过把持部来把持凹状的槽。这样，由于通过把持部把持更接近节点的位置，因此支撑机构把持被把持部而进行支撑，从而不会妨碍共振器的振动。

另外，通过施加了振动的状态的切断刃切断对象物，由此通过切断刃切断对象物时的切断阻力降低，因此能够使切断对象物时的切断刃向对象物的加压力更小。

另外，通过施加了振动的状态的切断刃切断对象物，由此可抑制对象物的切削屑向刀尖附着的情况，因此能够防止通过对象物的切削屑形成刀尖。

另外，共振器通过反复进行基于泊松(ポアソン)比的伸缩而进行振动，但例如在基于现有的螺钉形成的分摊紧固(割締め)等将切断刃安装于共振器的情况下，无法将共振器的振动如实地传递给切断刃。然而，根据上述的结构，由于通过金属焊剂或粘接剂等将切断刃固接于共振器，因此能够将共振器的振动状态如实地传递给切断刃。

此时，优选如技术方案2那样，所述安装部具备在所述共振器的另一端形成的嵌合槽，所述切断刃呈在一端侧缘部具有刀尖的矩形的平板状，从与所述刀尖相对的另一端侧嵌入到所述嵌合槽中，并且所述另一端侧的两侧面在整个宽度方向上与所述嵌合槽部分粘接而安装于所述共振器的所述安装部。

并且，期望在所述切断刃的所述另一端侧的两侧面或所述嵌合槽的两内侧面形成有跨整个所述宽度方向的凹槽(技术方案3)。

若这样构成，则在将切断刃粘接于共振器的嵌合槽时，在切断刃的另一端侧的两侧面或嵌合槽的两内侧面上跨整个宽度方向形成的凹槽中填充金属焊剂或焊料、热固化型粘接剂等粘接剂，因此能够可靠地将切断刃粘接于在共振器上形成的嵌合槽。

另外，还可以构成为，所述安装部具有切除所述共振器的另一端的端面的一部分而形成的截面L字状台阶部，所述切断刃沿着与所述共振器的振动方向平行的所述台阶部的安装面而固接(技术方案4)。

当这样构成时，切断刃只要通过金属焊剂或粘接剂等固接于安装面即可，且也不需要将切断刃嵌入槽，从而具有容易进行切断刃的固接这样的优点。并且，当使安装面为平面状或曲面状时，沿着上述平面状或曲面状的安装面来固接切断刃，且对安装面进行选择，使得能够将对象物切断成所期望的切断形状，由此能够将对象物切断成各种各样的形状。

另外，还可以构成为，所述安装部具备：截面L字状台阶部，其通过切除所述共振器的另一端的端面的一部分而形成；安装台座，在其和该台阶部的与所述共振器的振动方向平行的安装面之间夹持所述切断刃，其中，所述切断刃呈在一端侧缘部具有刀尖的平板状，在所述刀尖以外的部分固接于所述安装台座的状态下通过螺栓一起紧固于所述安装面而安装于所述安装部(技术方案5)。

当这样构成时，在将切断刃的刀尖以外的部分固接于安装台座的状态下将安装台座及切断刃通过螺栓一起紧固于安装面，因此能够更可靠地将切断刃安装于共振器。另外，切断刃的固接中可以使用粘接剂或金属焊剂。

另外，所述安装部还可以具备在一面设有所述切断刃且另一面安装于所述共振器的另一端的平板状的安装台座(技术方案6)。

当这样构成时，通过将在一面设有切断刃的平板状的安装台座的另一面安装于共振器的另一端，从而能够容易将切断刃安装于共振器。

另外，所述切断刃可以与所述安装台座一体地形成(技术方案7)。

当这样构成时，通过切断刃与安装台座一体地形成，由此切断刃向安装台座的安装状态变得牢固，能够抑制伴随共振器的超声波振动的切断刃的异常振动等，从而能够实现切断精度的提高。

另外，还可以构成为，多个所述安装台座设置于片状构件，在所述片状构件上设置的所述安装台座中任一个吸附于所述共振器的另一端(技术方案8)。

当这样构成时，通过将在片状构件上设置的多个安装台座中的任一个吸附于共振器的另一端，由此能够容易将切断刃安装于共振器。另外，在吸附于共振器的安装台座的切断刃因磨损等而损伤的情况下，通过将设有切断刃的另一安装台座吸附于共振器的另一端，由此能够容易更换安装在共振器上的切断刃。

另外，所述切断刃可以在所述刀尖具有尖头(技术方案9)。

当这样构成时，在切断时边使对象物相对于切断刃相对地移动边进行切断，由此能够将对象物切断成复杂的形状。

另外，所述长孔可以与所述振动件的振动方向平行(技术方案10)。

当这样构成时，能够调整共振器的夹着长孔的各部位的振动的振幅。

另外，所述长孔可以相对于所述振动件的振动方向倾斜(技术方案11)。

当这样构成时，能够将在连接振动件的共振器的一端侧的部位处振动方向与切断刃的刀尖大致正交的方向的振动转换成在夹着长孔的共振器的另一端侧的部位包含向与切断刃的刀尖大致平行的方向的振动成分的振动。因此，通过在从共振器向切断刃施加的振动上加上与刀尖大致平行的振动成分，由此切断刃以向上下方向及左右方向描绘圆弧的方式振动，因此通过切断刃例如以将切菜刀中的拉切和压切组合的状态切断对象物，从而通过切断刃切断对象物时的锋利度变得锐利，能够更精度良好地切断对象物。

另外，还可以构成为，所述振动切断装置具备：台架，其具有载置所述对象物的载置面和调整所述载置面的倾斜的仿形机构；移动机构，其以使所述刀尖与所述台架相面对的方式使由所述支撑机构支撑的所述共振器向所述台架接近或从所述台架离开；控制机构，其对所述仿形机构及所述移动机构进行控制，其中，所述控制机构通过所述移动机构使所述共振器与所述台架接近而使所述刀尖与所述载置面抵接，并通过所述仿形机构使所述刀尖与所述载置面的倾斜一致(技术方案12)。

若这样构成，则振动切断装置还具备：台架，其具有载置对象物的载置面和调整载置面的倾斜的仿形机构；移动机构，其以使刀尖与台架相面对的方式使由支撑机构支撑的共振器向台架接近或从台架离开；控制机构，其对仿形机构及所述移动机构进行控制，并且，由控制机构进行控制，从而通过移动机构使共振器与台架接近而使刀尖与载置面抵接，并通过仿形机构使刀尖与载置面的倾斜一致，因此能够在切断刃的刀尖与台架的载置面的倾斜大致一致的状态下通过切断刃切断对象物。

因此，切断对象物时的切断刃向对象物的切入量成为在刀尖的整个宽度方向上大致一致的状态，能够使切断对象物时的切断刃向对象物的压入量成为切断对象物所需要的最小的量，因此能够抑制切断刃磨损的情况。另外，例如，在切断近些年要求的比1mm薄的对象物的情况下，能够通过切断刃的最小的压入量切断对象物，因此与以往那样过度地将切断刃压入对象物的情况相比，能够精度良好地切断对象物。

另外，期望所述控制机构以使所述切断刃向所述对象物的加压力以规定值固定的方式通过所述移动机构使所述共振器向所述台架接近(技术方案13)。

本申请发明者对切断对象物时的切断刃的刀刃弯曲的原因进行了各种研究的结果是，发现切断刃向对象物的压入速度和切断刃向对象物的加压力非常重要。因此，当进行将切断刃向对象物的压入速度形成为使切断刃的刀刃弯曲的大小处于要求的切断精度的允许范围内的速度的控制时，切断刃向对象物的压入速度可能必要以上地变慢，这种情况下，对象物的切断加工中的作业效率降低。因此，以使切断刃向对象物的加压力以切断刃的刀刃弯曲的大小处于要求的切断精度的允许范围内的规定值固定的方式，通过移动机构使共振器向台架接近，由此通过控制加压力，使切断刃向对象物的压入速度自动地变动，因此能够以切断刃的刀刃弯曲处于所述允许范围内的最快的速度将切断刃的刀尖压入对象物，从而能够实现切断刃的刀刃弯曲处于所述允许范围内的状态下的对象物的切断加工中的作业效率的提高。

另外，还可以构成为，所述振动切断装置还具备台架，其具有设有载置所述对象物的载置面的缓冲层，且所述缓冲层通过所述切断刃能够切入的材质形成(技术方案14)。

当这样构成时，由于缓冲层通过切断刃能够切入的材质形成，因此即使切断对象物时切断刃的刀尖到达载置面，也可防止切断刃破损的情况。另外，在切断对象物之际，在载置对象物的缓冲层的载置面上形成切断刃产生的切痕时，形成的切痕作为用于使切断刃避让的避让槽而发挥功能，并且，由于通过切断刃形成的切痕的厚度为与切断刃的厚度大致相同的厚度，因此能够防止切断时被切断刃按压的对象物的切断端嵌入切痕，从而能够高精度地形成切断对象物得到的切断片。另外，在切断时，即使在载置面上形成的切痕的位置与切断刃的刀尖的位置产生位置错位的情况下，由于缓冲层由切断刃能够切入的材质形成，因此也能够防止切断刃发生破损的情况。

发明效果

根据本发明的技术方案1，通过把持部把持被把持部而将共振器支撑于支撑机构，从而将共振器不像以往那样经由具有弹性的振动吸收构件地通过支撑机构支撑，由此能够防止在共振器上产生向与振动件的本来的振动方向不同的方向的异常振动，其中，该振动件与共振器的一端连接。

另外，由于将切断刃安装于共振器的安装部，并在共振器的侧面至少穿透设置一个长孔，因此可调整共振器的另一端的切断刃的宽度方向上的振动的振幅的大小，从而能够将在宽度方向上调整了振幅的大小的振动施加给切断刃，因此能够通过以适当的状态施加了振动的切断刃精度良好地切断对象物。

根据本发明的技术方案2，与技术方案1同样，能够通过以适当的状态施加了振动的切断刃精度良好地切断对象物。

根据本发明的技术方案3，在将切断刃粘接于共振器的嵌合槽时，在切断刃的另一端侧的两侧面或嵌合槽的两内侧面跨整个宽度方向形成的凹槽中填充金属焊剂或焊料、热固化型粘接剂等粘接剂，因此能够可靠地将切断刃粘接于在共振器上形成的嵌合槽。

根据本发明的技术方案4，切断刃只要通过金属焊剂或粘接剂等固接于安装面即可，且也不需要将切断刃嵌入槽，从而能够容易进行切断刃的固接。并且，当使安装面为平面状或曲面状时，沿着上述平面状或曲面状的安装面固接切断刃，且对安装面进行选择，使得能够将对象物切断成所期望的切断形状，由此能够将对象物切断成各种各样的形状。

根据本发明的技术方案5，在将切断刃的刀尖以外的部分固接于安装台座的状态下将安装台座及切断刃通过螺栓一起紧固于安装面，因此能够更可靠地将切断刃安装于共振器。

根据本发明的技术方案6，通过将在一面设有切断刃的平板状的安装台座的另一面安装于共振器的另一端，从而能够容易将切断刃安装于共振器。

根据本发明的技术方案7，通过切断刃与安装台座一体地形成，由此切断刃向安装台座的安装状态变得牢固，能够抑制伴随共振器的超声波振动的切断刃的异常振动等，从而能够实现切断精度的提高。

根据本发明的技术方案8，通过将在片状构件上设置的多个安装台座中的任一个吸附于共振器的另一端，由此能够容易将切断刃安装于共振器。另外，在吸附于共振器的安装台座的切断刃因磨损等而损伤的情况下，通过将设有切断刃的另一安装台座吸附于共振器的另一端，由此能够容易更换安装在共振器上的切断刃。

根据本发明的技术方案9，在切断时边使对象物相对于切断刃相对地移动边进行切断，由此能够将对象物切断成复杂的形状。

根据本发明的技术方案10，能够调整共振器的夹着长孔的各部位的振动的振幅。

根据本发明的技术方案11，能够将在连接振动件的共振器的一端侧的部位处振动方向与切断刃的刀尖大致正交的方向的振动转换成在夹着长孔的共振器的另一端侧的部位包含向与切断刃的刀尖大致平行的方向的振动成分的振动，通过在从共振器向切断刃施加的振动上加上与刀尖大致平行的振动成分，由此切断刃以向上下方向及左右方向描绘圆弧的方式振动，因此例如以将切菜刀中的拉切和压切组合的状态通过切断刃切断对象物，从而通过切断刃切断对象物时的锋利度变得锐利，能够更精度良好地切断对象物。

根据本发明的技术方案12，能够在切断刃的刀尖与台架的载置面的倾斜大致一致的状态下通过切断刃切断对象物，且切断对象物时的切断刃向对象物的切入量成为在刀尖的整宽度方向上大致一致的状态，因此能够使切断对象物时的切断刃向对象物的压入量成为切断对象物所需要的最小的量，从而能够抑制切断刃发生磨损。

根据本发明的技术方案13，以使切断刃向对象物的加压力以切断刃的刀刃弯曲的大小处于要求的切断精度的允许范围内的规定值固定的方式，通过移动机构使共振器向台架接近，由此通过控制加压力，使切断刃向对象物的压入速度自动地变动，因此能够以切断刃的刀刃弯曲处于所述允许范围内的最快的速度将切断刃的刀尖压入对象物，从而能够实现切断刃的刀刃弯曲处于所述允许范围内的状态下的对象物的切断加工中的作业效率的提高。

根据本发明的技术方案14，由于缓冲层由切断刃能够切入的材质形成，因此即使切断对象物时切断刃的刀尖到达载置面，也可防止切断刃破损的情况，并且，在切断对象物之际，在载置对象物的缓冲层的载置面上形成切断刃产生的切痕时，形成的切痕作为用于使切断刃避让的避让槽而发挥功能，并且，由于在载置对象物的缓冲层的载置面上形成具有与切断刃的厚度大致相同的厚度的切痕，因此能够防止切断时被切断刃按压的对象物的切断端嵌入切痕，从而能够高精度地形成切断对象物得到的切断片。

附图说明

图1是表示本发明的振动切断装置的第一实施方式的图。

图2是图1的主要部分放大图。

图3是表示图1的共振器的图。

图4是构成共振器的珩磨头的放大图。

图5是表示图3所示的共振器由支撑机构支撑的状态的图。

图6是表示图1的动作的一例的流程图。

图7是表示共振器的第一变形例的图。

图8是表示共振器的第二变形例的图。

图9是表示切断刃的第一变形例的图。

图10是表示本发明的振动切断装置的第二实施方式的共振器的图。

图11是本发明的振动切断装置的第三实施方式的主要部分放大图。

图12是表示本发明的振动切断装置的第四实施方式的图。

图13是表示本发明的振动切断装置的第五实施方式的共振器的图。

图14是表示切断刃的第二变形例的图。

图15是表示本发明的振动切断装置的第六实施方式的共振器的图。

图16是表示共振器的第三变形例的图。

图17是表示本发明的振动切断装置的第七实施方式的共振器的图。

图18是表示本发明的振动切断装置的第八实施方式的主要部分放大图。

图19是本发明的振动切断装置的第九实施方式的主要部分放大图。

图20是表示共振器的第四变形例的图。

图21是表示共振器的第五变形例的图。

图22是表示共振器的第六变形例的图。

图23是表示共振器的第七变形例的图。

图24是共振器的第七变形例中的安装台座的保持方法的另一例。

图25是本发明的振动切断装置的第十实施方式的主要部分放大图。

图26是表示本发明的振动切断装置的第十一实施方式的共振器的图。

图27表示共振器的现有的支撑方法的一例。

图28表示共振器的现有的支撑方法的一例。

图29表示共振器的现有的支撑方法的一例。

图30表示现有的共振器的振动形态的一例。

具体实施方式

<第一实施方式>

参照图1至图6，对本发明的振动切断装置的第一实施方式进行说明。

图1是从侧面观察本发明的振动切断装置1的第一实施方式而得到的图。图2是将图1的主要部分放大而得到的立体图。图3是表示图1的共振器21的图。图4是将构成共振器21的珩磨头26上下反转后的状态的放大图，(a)是立体图，(b)是侧视图，(c)是主视图。图5是图3所示的共振器21由支撑机构24支撑而形成为横倒状态的图，(a)是侧视图，(b)是(a)的A-A线向视剖视图。图6是表示图1的动作的一例的流程图。

(装置结构)

图1所示的振动切断装置1是对在一端侧形成有刀尖23a的平板状的切断刃23施加振动来将在台架3的载置面31上载置的切断的对象物切断的装置，其具备：设有共振器21的头部2；在载置面31上载置切断的对象物的台架3；沿上下方向驱动由支撑机构24支撑的共振器21的驱动机构4(相当于本发明的“移动机构”)；识别在台架3的载置面31上载置的对象物与在共振器21上安装的切断刃23的刀尖23a的相对位置的位置识别机构5；进行振动切断装置1的各部分的控制的控制装置6。

如图2所示，头部2具备：在一端连接有振动件22，且在振动件22的相反侧的另一端安装有切断刃23的共振器21；支撑共振器21的支撑机构24。并且，从与由控制装置6控制的振动件22的超声波振动共振的共振器21，将在共振器21的中心轴的方向上振动的超声波振动施加给切断刃23。对于头部2的结构及动作，在后面进行详细地说明。

台架3具备：载置陶瓷生料薄片的层叠体、半导体晶片、电路基板、由合成树脂构成的层叠基板、金属板、硅、铁素体(フエライト)、石英、玻璃、陶瓷、树脂板、单层的金属薄膜、金属薄膜的层叠体等切断的对象物的载置面31；调整载置面31的倾斜的仿形(倣い)机构32。另外，台架3具备能够向X-Y方向平行移动及向θ方向旋转移动的移动轴，通过控制装置6进行控制，由此能够进行在共振器21上安装的切断刃23的刀尖23a与在载置面31上载置的对象物的相对的位置调整。

另外，在载置面31上设有用于保持切断的对象物的保持机构(图示省略)。作为保持机构的结构，只要是能够将对象物保持于载置面31的结构即可，可以为任意结构，可以为基于真空吸附机构的结构、基于机械式的装夹功能的结构等。另外，也可以不设置保持机构，而仅将对象物载置在载置面31上。

另外，在本实施方式中，仿形机构32是通过使仿形的对象物与台架3的载置面31抵接而产生的力矩来使载置面31的倾斜仿照仿形的对象物的倾斜的机构，在载置面31成为规定的倾斜的状态下，基于控制装置6的控制，能够维持该载置面31的倾斜。即，在例如通过使安装于共振器21上的切断刃23的刀尖23a与载置面31抵接而使载置面31的倾斜仿照刀尖23a的倾斜的状态下，仿形机构32能够基于控制装置6的控制，而维持为使载置面31的倾斜与刀尖23a的倾斜一致的状态。

另外，作为仿形机构32的结构，只要是所谓的能够将载置面31的倾斜维持为规定的倾斜的通常的仿形机构即可，没有限定为上述的结构，可以为任意的仿形机构，例如，可以为如下这样能够通过致动器进行载置面31的倾斜调整的仿形机构：通过还作为压力检测机构发挥功能的压电元件来形成压电致动器，并以使由配设在载置面31下方的至少三个部位的压电致动器分别检测出的压力一致的方式通过控制装置6来驱动压电致动器，由此能够调整载置面31的倾斜。

驱动机构4是以使安装在共振器21上切断刃23的刀尖23a与台架3的载置面31相面对的方式使由支撑机构24支撑的共振器21向台架3接近或从台架3离开的机构，该驱动机构4具备驱动电动机41和滚珠丝杠42。并且，在架台11上竖立设置的支柱12上结合有引导件43a，驱动机构4经由框架44与支柱12及引导件43a连结。

并且，驱动电动机41由控制装置6控制而进行旋转，从而使得引导件43a与设置在支撑机构24上的引导件43b滑动接触，同时与滚珠丝杠42螺合的支撑机构24上下移动，由此，由支撑机构24支撑的共振器21向台架3接近或从台架3离开。

另外，驱动机构4基于控制装置6的控制，来调整驱动电动机41的驱动转矩，从而能够以规定的加压力使由支撑机构24支撑的共振器21向台架3接近。

另外，在支柱12上设有线性编码器45，由此来检测头部2的高度，从而基于线性编码器45的检测信号，通过控制装置6来控制驱动电动机41，由此能够调整头部2的高度。

位置识别机构5具备：双视野光学系统透镜51；由CCD或CMOS等摄像机构形成的相机52；以及使双视野光学系统透镜51向水平方向及上下方向移动的驱动部(图示省略)。并且，驱动部将双视野光学系统透镜51插入到相面对配置的载置面31上的对象物与切断刃23的刀尖23a之间，藉此，位置识别机构5来识别在对象物上设置的位置识别用的对准标志和刀尖23a。另外，作为位置识别机构5的结构，不局限于此，只要能够识别相面对配置的载置面31上的对象物与刀尖23a的相对位置，则怎样构成位置识别机构5都可以。

控制装置6具备用于进行振动切断装置1整体的控制的操作面板(图示省略)，其进行利用向振动件22施加的电压值或电流值来算出的超声波能量的大小、台架3所具备的仿形机构3的自由可动状态及不可动状态的切换、基于线性编码器45的检测信号的驱动电动机41的控制、驱动电动机41的驱动转矩的控制、位置识别机构5的移动控制、基于位置识别机构5的检测信号的台架3的水平方向及旋转方向上的移动控制等控制，从而调整头部2的图1中的箭头Z方向的高度，或调整切断刃23的刀尖23a与载置面31上的对象物的相对位置。

(头部2的结构)

接着，对头部2所具备的共振器21及支撑机构24进行说明。

如图2及图3所示，共振器21具备增压器25和珩磨头26，增压器25的另一端与珩磨头26的一端以相互的中心轴成为同轴的方式通过无头螺钉(無頭ねじ)进行连结。

如图3所示，增压器(ブ一スタ)25以增压器25的大致中央的位置f2和两端位置f0及f4成为最大振幅点的方式形成为共振频率的一个波长的长度。此时，从最大振幅点离开1/4波长的位置f1及f3分别相当于第一及第二最小振幅点。另外，增压器25形成为从位置f4侧观察到的截面为圆形的圆柱状。并且，在增压器25的一端即位置f0以与增压器25的中心轴同轴的方式通过无头螺钉连接有振动件22。

另外，如图3所示，在增压器25的第一最小振幅点即位置f1及第二最小振幅点即位置f3处的增压器25的外周面分别形成凹状的槽，由此形成用于把持增压器25(共振器21)的被把持部25a。另外，在本实施方式中，如图5(b)所示，以与增压器25的中心轴大致正交的截面形状为八边形形状的方式形成被把持部25a，但也可以以截面形状为圆形状或其它的多边形形状的方式形成被把持部25a。

如图3所示，珩磨头(ホ一ン)26以珩磨头26的两端位置f4、f6成为最大振幅点的方式形成为共振频率的半波长的长度。此时，珩磨头26的大致中央的位置f5相当于第三最小振幅点。另外，如图4(a)所示，珩磨头26形成为长方体形状。并且，如图4(b)所示，在珩磨头26的另一端的安装部形成有嵌合槽26a，在平板状的切断刃23的与形成有刀尖23a的一端相对的另一端侧的两侧面形成有跨整个宽度方向的凹槽23b。并且，切断刃23从另一端侧嵌入嵌合槽26a，且另一端侧的两侧面在整个宽度方向上与嵌合槽26a部分粘接而安装于珩磨头26。

另外，在珩磨头26的侧面上与振动件22的振动方向即增压器25及珩磨头26的中心轴方向大致平行地穿透设置有两个长孔26b。

在这样构成的共振器21中，振动件22由控制装置6控制而产生超声波振动，由此，共振器21沿其中心轴方向振动。此时，如图4(c)中粗箭头所示，在本实施方式中，由于在珩磨头26上与振动方向大致平行地穿透设置有两个长孔26b，因此可调整珩磨头26的夹着长孔26b的各部位26c～26e处的振动的相位及振幅。因此，如该图(c)中实线26f所示，振动的振幅跨珩磨头26的另一端的整个宽度方向而成为大致相同的大小，从而将在整个宽度方向上调整了振幅的大小的振动施加给切断刃23。

另外，切断刃23可以由高碳素钢、碳素工具钢、合金工具钢、高速度钢、烧结高速度钢、超硬合金、陶瓷、金属陶瓷、工业用金刚石等各种材质形成，根据切断对象的种类或要求的切断片的大小将刃厚形成为几μm～约200μm。另外，切断刃23通过具有热固化性或热可塑性的性质的树脂粘接剂、Ni、Cu、Ag等金属焊剂、焊料等粘接材料而粘接于共振器7。另外，通过化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)，利用氮化钛、碳氮化钛、氮化铝钛(チタンアルミナイトライド)、氮化铬铝(アルミクロムナイトライド)等硬质物质来涂覆切断刃23的刀尖23。

如图5所示，支撑机构24具备基部27和夹紧机构28(相当于本发明的“把持部”)，通过夹紧机构28把持增压器25的被把持部25a，由此来支撑共振器21。

如图2所示，在基部27上形成有与驱动机构4的滚珠丝杠42螺合的螺纹孔27a。

另外，夹紧机构28以能够把持在增压器25上形成的两个被把持部25a的方式设置在基部27的两处，且分别具备第一构件28a及第二构件28b。另外，如图5(b)所示，在第一构件28a及第二构件28b上分别设有与被把持部25a的截面形状匹配的凹部。并且，将由基部27支撑的夹紧机构28的第一构件28a和第二构件28b嵌插在形成被把持部25a的凹状的槽中，从而通过第一构件28a及第二构件28b的凹部夹持被把持部25a，并利用螺栓28c固定第一构件28a及第二构件28b，由此通过夹紧机构28把持被把持部25a。

如以上那样，共振器21以共振器21的中心轴的方向为与螺纹孔27a大致相同方向、即共振器21的中心轴的方向与基于驱动机构4使共振器21移动的移动方向(图1中的箭头Z方向)大致成为同方向，且切断刃23的刀尖23a与台架3相面对的方式由支撑机构24支撑。并且，通过驱动机构4使基部27向下移动，从而共振器21一体地接近台架3，由此，由驱动机构4施加的加压力从切断刃23的刀尖23a施加给载置在台架3的载置面31上的切断的对象物，从而通过切断刃23来切断该对象物。

另外，夹紧机构28由在纯Ti、Ti合金、杜拉铝(ジユラルミン)、作为双晶型减振合金的一种的Mn-Cu合金、Mn-Cu合金中进一步添加Ni、Fe等而得到的Mn-Cu-Ni-Fe合金、片状石墨铸铁、铁素体系不锈钢等对数衰减率比0.01大且比1小的材质形成，优选由对数衰减率为0.1以上的材质形成。

另一方面，作为Al合金的杜拉铝、Ti合金等即使对数衰减率为0.01以下，只要为声速比5900m/s大的材质，优选声速为6000m/s以上的材质，则也能够形成夹紧机构28。

在本实施方式中，夹紧机构28整体由对数衰减率及声速这两方满足上述的条件的双晶型减振合金(例如，上述的Mn-Cu-Ni-Fe合金)形成，通过这样形成的夹紧机构28把持增压器25的被把持部25a来支撑共振器21。

然而，双晶型减振合金是当被施加载荷时，在材料内部产生双晶，且根据载荷的大小而双晶的大小变化或移动的材料。并且，通过双晶的产生和移动，将动能转换为热能来吸收载荷，因此当对双晶型减振合金施加振动时，在材料内部吸收振动，来抑制振动的传递。因此，作为抑制振动的材料而在各种领域中使用。

另一方面，由于本实施方式的振动切断装置为利用共振器的超声波振动的装置，因此要抑制基于振动件22的振动而产生的与共振器21的本来的振动没有关系的异常振动等，需要共振器21自身以规定的频率稳定地振动。因而，推测当将双晶型减振合金作为共振器21的支撑构件使用时，共振器21自身的振动也被抑制，因此以往双晶型减振合金未被作为支撑共振器21的支撑机构的材料使用。

但是，本申请发明者进行各种实验的结果是，发现若将双晶型减振合金作为支撑共振器21的支撑机构的构件使用，则在共振器21上产生的横向抖动等异常振动等被抑制，而共振器21自身的振动不受妨碍，共振器21以规定的频率稳定地振动。考虑这是由于，双晶型减振合金对于所谓的超声波的频带的振动，追随其频率而在材料内部连续不断地产生微小的双晶的缘故。因此，双晶型减振合金适合作为对发生超声波振动的共振器21进行支撑的支撑机构的构件。另外，最优选通过在作为双晶型减振合金的一种的Mn-Cu合金中进一步添加Ni、Fe等而得到Mn-Cu-Ni-Fe合金来形成夹紧机构28。

另外，夹紧机构28的材质不局限于双晶型减振合金，只要是对数衰减率为0.01～1的范围的材质、或者声速比5900m/s大的材质即可，可以使用任何材质，且只要至少夹紧机构28的与共振器21的被把持部25a接触的部分由上述的材质形成，则支撑机构24的形状、大小等可以任意形成。

另外，支撑共振器21的支撑机构24的结构不局限于图5所示那样的把持在增压器25上形成的被把持部25a并通过螺栓28c固定的夹紧机构28，只要是将被把持部25c不像以往那样经由具有弹性的振动吸收构件来把持并支撑的结构即可，可以为任意的结构，例如，可以是构成为能够进行电控制的机械的夹紧机构或能够通过单触连接(ワンタツチ)来安装的夹紧机构等。

另外，在共振器21上形成的被把持部的位置不局限于最小振幅点f1、f3，可以在共振器21的任意的位置形成被把持部。另外，被把持部25a的形状不局限于凹形状，可以形成为任意的形状，例如，形成为凸形状等。

(切断动作)

接下来，参照图6，说明对在台架3的载置面31上载置的切断的对象物进行切断的动作的一例。

首先，通过控制装置6，使仿形机构32成为自由可动状态，并驱动驱动机构4，从而使待机位置的共振器21向台架接近移动，使切断刃23的刀尖23a与载置面31抵接。并且，通过刀尖23a与载置面31抵接产生的力矩而使仿形机构32可动，从而使载置面31的倾斜仿照刀尖23a的倾斜，由此若刀尖23a的倾斜与载置面31的倾斜一致，则将仿形机构32控制成不可动状态而固定载置面31的倾斜(步骤S1)。然后，驱动驱动机构4而使共振器21移动到上方的待机位置。

接下来，在台架3的载置面31上载置印刷电路板的层叠体等切断的对象物(工件)(步骤S2)，并在刀尖23a与台架4之间插入位置识别机构5，由此来识别刀尖23a与载置面31上的对象物的相对位置，并基于识别出的相对位置来驱动台架3，从而将刀尖23a与载置面31上的对象物对准(步骤S3)。

然后，通过驱动机构4使共振器21开始向下方移动(步骤S4)，并对振动件22施加驱动信号，由此使共振器21开始振动(步骤S5)。此时，控制驱动机构4的驱动电动机41的驱动转矩，从而以使切断刃23向载置面31上的对象物的加压力以规定值固定的方式通过驱动机构4使共振器21向台架3接近移动(步骤S6)。

然后，若对象物的切断结束，则将共振器21移动到上方的待机位置，并驱动台架3来使对象物的位置向接下来的切断位置移动(步骤S8)。此时，到在对象物上设定的全部的切断位置的切断结束之前，重复执行步骤S3～步骤S7的动作(步骤S8中为否)，若对象物的全部的切断位置的切断结束，则结束处理(步骤S8中为是)。

另外，对于切断刃23向载置面31上的对象物的加压力的大小来说，例如，可以进行对象物的试验切断来测定在对象物切断时产生的刀刃弯曲的大小，从而以使切断时产生的刀刃弯曲的大小处于要求的切断精度的允许范围内的方式来设定加压力。

(共振器的第一变形例)

图7是表示共振器的第一变形例的图，(a)是立体图，(b)是局部剖视图。如图7(a)所示，第一变形例中的共振器121通过形成为长方体形状的珩磨头126构成，在珩磨头126的一端连接有振动件22，在振动件22的相反侧的另一端与上述的实施方式同样地安装切断刃23。

另外，与上述的实施方式同样，在珩磨头126的侧面与振动件22的振动方向即珩磨头126的中心轴方向大致平行地穿透设置有两个长孔126b，来调整珩磨头126的另一端的宽度方向上的振动的振幅的大小。因此，将调整了宽度方向上的振幅的大小的振动施加给切断刃23。

另外，珩磨头126与图3所示的珩磨头26同样，以珩磨头126的两端位置成为最大振幅点的方式形成为共振频率的半波长的长度。此时，珩磨头126的大致中央的位置相当于最小振幅点。另外，在珩磨头126的最小振幅点即大致中央的位置处的珩磨头126的外周面形成有凸状的被把持部126c。并且，如图7(b)所示，在珩磨头126的外周面形成的凸状的被把持部126c通过被支撑机构124夹紧而被把持支撑。其它的结构及动作与上述的实施方式相同，因此省略其结构及动作的说明。

(共振器的第二变形例)

图8是表示共振器的第二变形例的图，(a)是立体图，(b)是局部放大图。如图8(a)所示，第二变形例中的共振器221由形成为长方体形状的珩磨头226构成，在珩磨头226的一端连接有振动件22，在振动件22的相反侧的另一端与上述的实施方式同样地安装切断刃23。

另外，与上述的实施方式同样，在珩磨头226的侧面与振动件22的振动方向即珩磨头226的中心轴方向大致平行地穿透设置有两个长孔226b，来调整珩磨头226的另一端的宽度方向上的振动的振幅的大小。因此，将调整了宽度方向上的振幅的大小的振动施加给切断刃23。

另外，珩磨头226与图3所示的珩磨头26同样，以珩磨头226的两端位置成为最大振幅点的方式形成为共振频率的半波长的长度。此时，珩磨头226的大致中央的位置相当于最小振幅点。另外，在珩磨头226的最小振幅点即大致中央的位置处的珩磨头226的外周面形成有凹状的被把持部226c。并且，如图8(b)所示，在珩磨头226的外周面形成的凹状的被把持部226c由支撑机构224所具有的构件夹紧，并通过螺钉224a将构件固定而被把持支撑。其它的结构及动作与上述的实施方式相同，因此省略其结构及动作的说明。

(切断刃的第一变形例)

图9是表示切断刃的第一变形例的图，(a)是将珩磨头上下翻转后的状态的立体图，(b)是仰视图。另外，在图9中，以共振器421的下方成为上侧的方式进行描绘。如图9(a)、(b)所示，在该变形例中的共振器421所具备的形成为长方体形状的珩磨头426的另一端，与上述的实施方式同样地安装有从下方观察到的刀尖123a的形状形成为曲线状的切断刃123。

通过这样形成切断刃123，能够将金属的薄膜等精度良好地切断成规定形状。

如以上所示，根据上述的实施方式，通过夹紧机构28(支撑机构124、224)把持被把持部25a(被把持部126c、226c)而将共振器21(共振器121、221、421)支撑于支撑机构24(支撑机构124、224)，从而将共振器21(共振器121、221、421)不像以往那样经由具有弹性的振动吸收构件地由支撑机构24(支撑机构124、224)来支撑，由此能够防止在共振器21(共振器121、221、421)上产生向与振动件22的本来的振动方向不同的方向的横向抖动等异常振动，其中，该振动件22与共振器21(共振器121、221、421)的一端连接。

另外，虽然平板状的切断刃23(切断刃123)从与形成有刀尖23a(刀尖123a)的一端侧相对的另一端侧嵌入到在共振器21(共振器121、221、421)的另一端形成的嵌合槽26a中，并且切断刃23(切断刃123)的另一端侧的两侧面在整个宽度方向上与嵌合槽26a部分粘接而安于共振器21(共振器121、221、421)，但由于在共振器21(共振器121、221、421)的侧面至少穿透设置有一个长孔26b(长孔126b、226b)，因此可调整共振器21(共振器121、221、421)的另一端的切断刃23(切断刃123)的宽度方向上的振动的振幅的大小，从而能够将在宽度方向上调整了振幅的大小的振动施加给切断刃23(切断刃123)，因此能够通过以适当的状态施加了振动的切断刃23(切断刃123)精度良好地切断对象物。

另外，也可以使夹着共振器21(共振器121、221、421)的长孔26b(长孔126b、226b)的各部位的振动的相位相反，并且也可以适当地调整各部位的振动的振幅。

另外，在将切断刃23(切断刃123)粘接于共振器21(共振器121、221、421)的嵌合槽26a时，由于在切断刃23(切断刃123)的另一端侧的两侧面跨整个宽度方向而形成的凹槽23b中填充有金属焊剂或焊料、热固化型粘接剂等粘接剂，因此能够可靠地将切断刃23(切断刃123)粘接于在共振器21(共振器121、221、421)上形成的嵌合槽26a。

另外，能够在切断刃23(切断刃123)的刀尖23a(刀尖123a)与台架3的载置面31的倾斜大致一致的状态下通过切断刃23(切断刃123)切断对象物，且切断对象物时的切断刃23(切断刃123)向对象物的切入量形成为在刀尖23a(刀尖123a)的整个宽度方向上大致一致的状态，因此能够将切断对象物时的切断刃23(切断刃123)向对象物的压入量形成为切断对象物所需要的最小的量，从而能够抑制切断刃23(切断刃123)发生磨损的情况。

另外，通过驱动机构4使共振器21(共振器121、221、421)向台架3接近，以使得，切断刃23(切断刃123)向对象物的加压力以切断刃23(切断刃123)的刀刃弯曲的大小处于要求的切断精度中的允许范围内的规定值固定，从而通过控制加压力，使切断刃23(切断刃123)向对象物的压入速度自动地变动，因此以切断刃23(切断刃123)的刀刃弯曲的大小处于所述允许范围内的最快的速度将切断刃23(切断刃123)向对象物压入，从而能够实现切断刃23的刀刃弯曲处于所述允许范围内的状态下的对象物的切断加工的作业效率的提高。

<第二实施方式>

参照图10，对本发明的振动切断装置的第二实施方式进行说明。图10是表示本发明的振动切断装置1的第二实施方式的共振器321的图。如图10所示，本实施方式的共振器321与上述第一实施方式的共振器21的不同点在于，在共振器321所具备的珩磨头326的侧面穿透设置有相对于振动件22的振动方向倾斜的长孔326b。其它的结构及动作与上述第一实施方式相同，因此，以下，以与第一实施方式的不同点为中心进行说明，对于与上述的实施方式相同的结构及动作，通过标注同一符号而省略该结构及动作的说明。

如图10所示，本实施方式中的共振器321具备形成为长方体形状的珩磨头326，在珩磨头326的另一端与上述第一实施方式同样地安装有切断刃23。

另外，在珩磨头326的侧面穿透设置有相对于振动件22的振动方向倾斜角度α(约45°)的长孔326b，来调整珩磨头326的另一端的宽度方向上的振动的振幅的大小及方向。即，能够将在与切断刃23相反侧的珩磨头326的一端侧的部位处振动方向与切断刃23的刀尖23a大致正交的箭头326c的方向的振动转换成在夹着长孔326b的珩磨头326的另一端侧的部位包含向与切断刃23的刀尖23a大致平行的箭头326d的方向的振动成分的振动。因此，将调整了宽度方向上的振幅的大小及方向的振动施加给切断刃23。

如以上那样，根据本实施方式，能够起到与上述第一实施方式同样的效果，并且通过在从珩磨头326施加给切断刃23的振动上加上与刀尖23a大致平行的振动成分，由此如图9的单点划线326e所包围的区域的箭头所示，切断刃23向上下方向及左右方向以描绘圆弧的方式进行振动，例如，以将切菜刀中的拉切和压切组合的状态通过切断刃23切断对象物，因此通过切断刃23切断对象物时的锋利度变得锐利，能够更精度良好地切断对象物。

<第三实施方式>

参照图11，对本发明的振动切断装置的第三实施方式进行说明。图11是本发明的振动切断装置1的第三实施方式的珩磨头26及台架3的主要部分放大图，(a)～(c)分别表示不同的状态。如图11(a)～(c)所示，本实施方式的台架3与上述第一实施方式的台架3不同点在于，台架3具备缓冲层33，该缓冲层33设有载置切断对象物的载置面31a。其它的结构及动作与上述第一实施方式相同，因此，以下，以与第一实施方式的不同点为中心进行说明，对于与上述的实施方式相同的结构及动作，通过标注同一符号而省略该结构及动作的说明。

如图11(b)、(c)所示，缓冲层33由切断刃23能够切入的聚酰亚胺(ポリイミド)等树脂材料形成。并且，如图11(b)所示，通过驱动机构4使切断刃23向下移动来使刀尖23a切入缓冲层33，由此在缓冲层33的载置面31a上形成由切断刃23产生的切痕31b(参照图11(c))。

因此，根据本实施方式，能够起到与上述第一实施方式同样的效果，并且在载置对象物的缓冲层33的载置面31a上形成由切断刃23产生的切痕31b，且由切断刃23形成的切痕31b的厚度为与切断刃23的厚度大致相同的厚度，因此能够防止切断对象物时由切断刃23按压的对象物的切断端嵌入到切痕31b中的情况，从而能够高精度地形成切断对象物所得到的切断片。

另外，在切断时，即使在载置面31a上形成的切痕31b的位置与切断刃23的刀尖23a的位置发生位置错位的情况下，由于缓冲层33由切断刃23能够切入的材质形成，因此也能够防止切断刃23破损的情况。

另外，缓冲层33的材质不局限于上述的材质，缓冲层33可以由聚对苯二甲酸乙酯(ポリエチレンテレフタレ一ト)或纸等切断刃能够切入的各种材质形成。

<第四实施方式>

参照图12，对本发明的振动切断装置的第四实施方式进行说明。图12是表示本发明的振动切断装置1的第四实施方式的图。如图12所示，本实施方式与上述第一实施方式不同点在于，在经由弹簧等施力机构27c与基部27a连结的基部27b上设有夹紧机构28。其它的结构及动作与上述第一实施方式相同，因此，以下，以与第一实施方式的不同点为中心进行说明，对于与上述的实施方式相同的结构及动作，通过标注同一符号而省略该结构及动作的说明。

如图12所示，基部27a设置成使在基部27a形成的螺纹孔(图示省略)与滚珠丝杠(ボルねじ)42螺合，通过控制装置6对驱动机构4进行驱动控制，从而使得与滚珠丝杠42螺合的基部27a上下移动。并且，基部27b设置成在形成于基部27b的插通孔(图示省略)中穿过滚珠丝杠42，且经由施力机构27c与基部27a连结。

施力机构27具有抵消除了基部27a之外的头部2的自重的功能，由此，共振器21(基部27b)在被施力机构27向上方牵引的状态下由支撑机构24支撑。

另外，在基部27a与基部27b的连结部分设有由负荷传感器(ロ一ドセル)等构成的压力检测机构29，从而能够检测切断刃23向对象物的加压力。并且，控制装置6通过基于压力检测机构29的检测信号来控制驱动机构4，由此能够控制切断刃23向对象物的加压力。

如以上那样，根据本实施方式，能够起到与上述第一实施方式同样的效果，并且通过进行基于压力检测机构29的检测信号的驱动机构4的反馈控制，能够不受在滚珠丝杠42与基部27a的螺合部分产生的摩擦力等影响，而将切断刃23向对象物的加压力控制成规定的加压力。

<第五实施方式>

参照图13，对本发明的振动切断装置的第五实施方式进行说明。图13是表示本发明的振动切断装置1的第五实施方式的图。如图13所示，本实施方式与上述第一实施方式不同点在于，将作为安装部的珩磨头26的另一端的端面的一部分切除而形成截面L字状台阶部(段部)26m，矩形的平板状的切断刃231沿着与珩磨头26的振动方向平行的台阶部26m的安装面26n而通过粘接剂进行固接，其它的结构及动作与上述第一实施方式相同，因此，以下，通过标注与上述第一实施方式相同的符号而省略该结构及动作的说明。

如图13所示，在作为安装部的珩磨头26的另一端将其端面的一部分切除而形成截面L字状台阶部26m，在台阶部26m的与珩磨头26的振动方向平行的安装面26n上通过粘接剂来固接切断刃231。此时，切断刃231以除了其一端侧缘部的刀尖231a之外的另一端侧的一侧侧面与安装面26n抵接的状态粘接而安装于珩磨头26。另外，切断刃231不局限于通过粘接剂进行固接，也可以通过金属焊剂进行固接。

因此，根据本实施方式，不需要在珩磨头26的另一端的安装部形成用于嵌合切断刃231的槽，通过粘接剂等就能够将切断刃简单地安装于安装面。

(切断刃的第二变形例)

图14表示第五实施方式中的切断刃231的安装的变形例，(a)是珩磨头的主视图，(b)是仰视图。如图14所示，在作为安装部的珩磨头26的另一端将其端面的后侧及右侧的一部分切除而形成截面L字状台阶部26p。并且，切断刃231的除了右端部之外的部分通过粘接剂固接于台阶部26p中的与珩磨头26的振动方向平行的后侧的安装面26q，切断刃231的右端部沿着在珩磨头26的另一端面的右端部设置、且具有与珩磨头26的振动方向平行的弯曲的引导面26r的引导部26s的引导面26r，通过粘接剂进行固接。因此，实际上，以保留引导部26s的方式通过切削等切除珩磨头26的另一端的端面来形成台阶部26p。

因此，切断刃231以右端部弯曲的状态安装于珩磨头26，从而适合将对象物切断成这样弯曲的形状的情况。另外，在切断刃231的端部要向原来的形状复原的方向上通过引导部26s来保持弯曲的切断刃231的端部，由此能够将切断刃231的端部保持为弯曲的状态，因此能够防止因切断中的振动而使得切断刃231从弯曲的部位剥离。另外，在图14中，26t是在作为安装部的珩磨头26的另一端的端面前部的两个部位形成的切口部，以使施加给在弯曲的状态下安装于珩磨头26的切断刃231的振动的振幅在刀尖整体上一样的方式来形成切口部。另外，切断刃231不局限于通过粘接剂进行固接，也可以通过金属焊剂进行固接。

<第六实施方式>

参照图15，对本发明的振动切断装置的第六实施方式进行说明。图15是表示本发明的振动切断装置1的第六实施方式的图。如图15所示，本实施方式与上述第五实施方式不同点在于，在将切断刃231除刀尖231a以外的部分粘接于安装台座26u的状态下，通过螺栓将切断刃231与安装台座26u一起紧固于台阶部26m的安装面26n而将切断刃23安装于珩磨头26，其它的结构及动作与上述第五实施方式相同，因此，以下通过标注与第五实施方式相同的符号而省略其结构及动作的说明。另外，图15表示将珩磨头26的另一端附近上下反转后的状态，(a)是立体图，(b)是将一部分分解而得到的立体图。

如图15所示，设置安装台座26u，在该安装台座26u与台阶部26m的与珩磨头26的振动方向平行的安装面26n之间夹持切断刃231，其中，该台阶部26m在作为安装部的珩磨头26的另一端的端面形成，切断刃231的刀尖231a以外的部分通过粘接剂粘接于安装台座26u的与安装面26n相对的面侧，并形成有多个(在此为三个)与粘接状态的切断刃231及安装台座26u连通的螺栓插通孔26v，并且在安装面26n的与各螺栓插通孔26v相面对的位置形成有内螺纹26w，将螺栓(未图示)穿过/螺合于各螺栓插通孔26v及内螺纹26w，从而切断刃231的刀尖231a以外的部分在粘接于安装台座26u的状态下通过螺栓一起紧固而安装于安装面26n。另外，切断刃231不局限于通过粘接剂进行固接，也可以通过金属焊剂进行固接。另外，在图15中，说明了从安装台座26u的侧面穿过螺栓的例子，但螺栓也可以与珩磨头26的台阶部26m螺合而将安装台座26u固接于珩磨头26，这种情况下，不需要在与安装台座26u固接的切断刃231上形成螺栓插通孔。

因此，根据上述的实施方式，在安装台座26u上粘接了切断刃231的刀尖231a以外的部分的状态下，通过螺栓将安装台座26u及切断刃231固接于安装面26n，因此能够更可靠地将切断刃231安装于珩磨头26。

(共振器的第三变形例)

图16是表示第六实施方式中的珩磨头26的第三变形例的图，(a)表示将珩磨头26的另一端附近上下反转后的状态，(a)是立体图，(b)是将一部分分解而得到的立体图。如图16所示，可以在安装台座26u的左侧面形成冷却风的送风路26x，并形成将该送风路26x和多个(在此为四个)吹出孔26z连通的送风路26y，其中，这多个吹出孔26z形成在安装台座26u的下表面，向切断刃231的刀尖231a附近吹出冷却风。这样，从未图示的送风源向送风路26x(26y)送入冷却风，并从各吹出孔26z朝向刀尖231a输送冷却风，由此能够将因切断时的摩擦而温度上升了的切断刃231的刀尖231a冷却，从而能够抑制温度上升引起的切断刃231的破损/磨损/变质而实现切断刃231的长寿命化，并能够抑制切断效率的降低。另外，此时，为了使从吹出孔26z吹出的冷却风效率良好地吹向切断刃231，可以以使送风路26y的吹出孔26z侧接近切断刃231侧的方式仅将送风路26y的接近吹出孔26z的部分或将送风路26y整体倾斜形成。另外，这样的冷却方法也能够适用于上述的第一～第五实施方式中的珩磨头。另外，还可以将送风路26x、26y及吹出孔26z设置在珩磨头26的主体侧。并且，通过经由吹出孔26z从送风路26x、26y进行吸引，还能够将切断对象物时的切断屑、灰尘或尘埃等吸引而除去。

<第七实施方式>

参照图17，对本发明的振动切断装置的第七实施方式进行说明。图17是表示本发明的振动切断装置1的第七实施方式的图。如图17所示，本实施方式与上述第一实施方式不同点在于，在切断刃23的刀尖23a的前端部分设有尖的尖头23a1。

因此，根据上述的实施方式，通过在切断时边将对象物相对于切断刃23相对地移动边进行切断，从而能够将对象物切断成复杂的形状，还能够进行微细的形状的切断。另外，通过变更切断刃23的刀尖23a相对于对象物的上下位置，能够改变刀尖23a的实际的使用部位，因此能够将刀尖23a分成多个区域进行使用，能够延长切断刃23的使用寿命。另外，即使是刀尖23a不具有尖头23a1的矩形平板状的切断刃23，通过使切断刃23以相对于对象物倾斜的状态进行切断，也能够得到与上述的切断刃23的长寿命化同等的效果。

<第八实施方式>

参照图18，对本发明的振动切断装置的第八实施方式进行说明。图18是表示本发明的振动切断装置1的第八实施方式的主要部分放大图。如图18所示，本实施方式与上述的第一实施方式不同点在于，用于调整切断刃23的θ方向上的刀尖23a的朝向的杆100经由在夹紧机构28上形成的贯通孔而安装于共振器21，其它的结构及动作与上述的第一实施方式相同，因此，以下，通过标注与上述第一实施方式相同的符号而省略该结构及动作的说明。

当这样构成时，通过在松开夹紧机构28的螺栓28c的状态下将杆100沿θ方向转动，从而能够调整切断刃23的θ方向上的刀尖23a的朝向，因此能够容易对刀尖23a的朝向和在台架3上载置的切断对象物的朝向进行微调整。并且，若结束刀尖23a的朝向和在台架3上载置的切断对象物的朝向的微调整，则可以再次紧固夹紧机构28的螺栓28c来把持共振器21。另外，在本实施方式中，构成为通过手动转动杆100，但也可以通过液压工作缸或电动机等致动器来转动杆100。

<第九实施方式>

参照图19，对本发明的振动切断装置的第九实施方式进行说明。图19是表示本发明的振动切断装置1的第九实施方式的图，(a)是主要部分放大图，(b)表示将珩磨头26的另一端附近上下反转后的状态，(c)是台架3及切断刃331附近的局部剖开放大图。如图19所示，本实施方式与上述第六实施方式不同点在于，作为安装部的安装台座126u形成为平板状，在安装台座126u的一面设有切断刃331，安装台座126u以从另一面侧埋入在珩磨头26的另一端面设置的安装槽126m中的状态进行安装。

另外，在安装台座126u的一面设置的切断刃331以其刀尖331a具有规定的轮廓形状的方式形成。因此，通过利用切断刃331将例如片状的切断对象物切断，从而能够将该片状切断的对象物剪断成规定的轮廓形状。其它的结构及动作与上述的第六实施方式相同，因此，以下，通过标注同一符号或相当符号而省略该结构及动作的说明。

如图19(b)、(c)所示，切断刃331呈在一端缘部具有刀尖331a的筒状，从与刀尖331a相对的另一端侧嵌入到在安装台座126u的一面设置的嵌合槽(图示省略)中，并且通过粘接剂或金属焊剂等进行固接而安装。并且，在珩磨头26的另一端面设有呈与平板状的安装台座126u大致同形状的安装槽126m，安装有切断刃331的安装台座126u通过粘接剂或金属焊剂等以埋入到安装槽126m中的状态进行固接，而切断刃331安装在珩磨头26的另一端。

另外，如图19(a)所示，在本实施方式中，以同时具有粘接/绝缘的功能的薄膜状连接材料即NCF(Non Conductive Film)400为切断对象物，剪断成切断刃331的刀尖331a所具有的轮廓形状。NCF400在两面通过由聚酯或聚乙烯等形成的分型薄膜401、402保护的状态下卷绕而保持于卷轴(图示省略)，并通过被输送辊403及从动辊404夹持，而从卷轴向台架3的位置送入必要的量。

另外，如图19(a)所示，通过将保护NCF400的上表面的分型薄膜402在按压辊405的位置剥离，从而将仅剥离了上表面侧的分型薄膜402的状态的NCF400配置在台架3的载置面31上。然后，通过驱动机构4使切断刃331下降，将NCF400剪断加工成切断刃331的刀尖331a所具有的规定的轮廓形状。

剪断加工后的NCF400由输送辊403及从动辊404从台架3的位置移动，在输送辊403及从动辊404的位置，将NCF400和分型薄膜401剥离，由此形成为NCF400的切断物保留在分型薄膜401上的状态。然后，在取出位置P，将在下表面侧的分型薄膜401上保留的NCF400的切断物取出而切断处理结束。另外，通过NCF400的下表面侧在由分型薄膜401保护的状态下进行切断处理，从而使得切断NCF400后的切断刃331的刀尖331a切入分型薄膜401而被保护，因此不需要在台架3的载置面31上设置缓冲件等刀尖331a的保护构件。

另外，作为片状的切断的对象物，切断了NCF400，但切断的对象物不局限于此，只要是能够剪断的片状的构件即可，可以为Cu等的金属箔等。

如以上那样，在本实施方式中，能够起到与上述的第六实施方式同样的效果，通过将在一面设有切断刃331的平板状的安装台座126u的另一面安装在珩磨头26的另一端，从而能够容易将切断刃331安装于珩磨头26(共振器)。

另外，在本实施方式中，将切断刃331通过嵌入到在安装台座126u的一面上设置的嵌合槽中来进行安装，但切断刃331也可以与安装台座126u一体地形成。当这样构成时，通过切断刃331与安装台座126u一体地形成，切断刃331向安装台座126u的安装状态变得牢固，能够抑制伴随珩磨头26的超声波振动的切断刃331的异常振动等，从而能够实现切断精度的提高。

(共振器的第四变形例)

图20是表示第九实施方式中的珩磨头26的第四变形例的图，(a)是仰视图，(b)是将珩磨头26上下反转后的状态的局部剖开主视图，(c)是将珩磨头26上下反转后的状态的局部剖开侧视图。在该第四变形例中，在比上述的安装台座126u形成得大型的平板状的安装台座226u上安装切断刃331，通过将安装台座226u利用粘接剂或金属焊剂等固接于珩磨头26的另一端面，从而将切断刃331安装在珩磨头26的另一端。其它的结构由于为与上述第九实施方式同样的结构，因此通过标注同一符号而省略该结构的说明。

(共振器的第五变形例)

图21是表示第九实施方式中的珩磨头26的第五变形例的图，(a)是仰视图，(b)是将珩磨头26上下反转后的状态的从正面观察到的剖视图，(c)是将珩磨头26上下反转后的状态的侧剖视图。

在该第五变形例中，将在珩磨头26的安装槽126m的底面设置的吸附孔410和在珩磨头26的侧面设置的吸引孔411连通的吸引孔412形成在珩磨头26上。并且，通过图示省略的吸引机构从吸引孔411进行吸引，由此设有切断刃331的安装台座126u被吸附而安装在珩磨头26的安装槽126m上。

当这样构成时，通过将安装有切断刃331的安装台座126u吸附到在珩磨头26的另一端面形成的安装槽126m中，从而能够容易在珩磨头26上安装切断刃331。另外，在吸附于珩磨头26的安装台座126u上设置的切断刃331因磨损等而劣化的情况下，通过将设有新的切断刃331的安装台座126u吸附到安装槽126m上，从而能够简单地更换切断刃331。

另外，也可以在珩磨头26的另一端面不设置安装槽126m，而在该珩磨头26的另一端面上直接吸附安装台座126u。其它的结构由于为与上述第九实施方式同样的结构，因此通过标注同一符号而省略该结构的说明。

(共振器的第六变形例)

图22是表示第九实施方式中的珩磨头26的第六变形例的图，(a)是仰视图，(b)是将珩磨头26上下反转后的状态的从正面观察到的剖视图，(c)是将珩磨头26上下反转后的状态的侧剖视图。在该第六变形例中，在比上述的安装台座126u形成得大型的平板状的安装台座226u上安装切断刃331。

另外，在安装台座226u的切断刃331的两侧设有螺栓插通孔420，且在珩磨头26的另一端面的与螺栓插通孔420相面对的位置设有内螺纹421。

并且，通过将螺栓(图示省略)穿过/螺合于各螺栓插通孔420及内螺纹421而将安装台座226u安装于珩磨头26的另一端面，由此将切断刃331安装于珩磨头26。当这样构成时，在安装于珩磨头26的安装台座226u上设置的切断刃331因磨损等而劣化的情况下，通过螺栓来安装设有新的切断刃331的安装台座226u，由此能够简单地更换切断刃331。其它的结构由于为与上述第九实施方式同样的结构，因此通过标注同一符号而省略该结构的说明。

(共振器的第七变形例)

图23是表示第九实施方式中的珩磨头26的第七变形例的图，(a)是仰视图，(b)是将珩磨头26上下反转后的状态的从正面观察到的剖视图，(b)是将珩磨头26上下反转后的状态的侧剖视图。

在该第七变形例中，将在珩磨头26的另一端面设置的吸附孔410和在珩磨头26的侧面设置的吸引孔411连通的吸引孔412形成在珩磨头26上。另外，将设有切断刃331的多个安装台座126u保持在由PET薄膜等形成的片状的保持构件430上，并通过图示省略的吸引机构从吸引孔411进行吸引，由此将在保持构件430上设置的安装台座126u中的任一个从片状的保持构件430的背面侧吸附于珩磨头26的另一端。

另外，如图24所示，可以在安装台座326u的外周设置凸缘部326u1，并将凸缘部326u1卡止于在片状的保持构件430上形成的保持孔430a的外周，由此来保持安装台座326u。另外，图24是共振器的第七变形例中的安装台座的保持方法的另一例。

当这样构成时，通过将在片状的保持构件430上设置的多个安装台座126u、326u中的任一个吸附于珩磨头26的另一端，由此能够容易将切断刃331安装于珩磨头26。另外，在吸附于珩磨头26的安装台座126u、326u的切断刃331因磨损等而损伤或劣化了的情况下，通过将设有新的切断刃331的另一安装台座126u、326u吸附于珩磨头26的另一端，从而能够容易更换在珩磨头26上安装的切断刃331。其它的结构由于为与上述第九实施方式同样的结构，因此通过标注同一符号而省略该结构的说明。

<第十实施方式>

参照25，对本发明的振动切断装置的第十实施方式进行说明。图25是本发明的振动切断装置1的第十实施方式的主要部分放大图，(a)是表示切断的对象物配置在切断刃331的下方的状态的图，(b)是表示将切断的对象物切断后的状态的图。如图25所示，本实施方式与上述第九实施方式不同点在于，在安装台座126u的切断刃331的安装面上设有由海绵或弹簧等弹性构件形成的按压构件440。其它的结构及动作由于与上述第九实施方式同样，因此，以下，通过标注同一符号或相当符号而省略该结构及动作的说明。

在本实施方式中，作为切断的对象物，例如将铜箔406粘贴在PET薄膜407上而得到的片状的构件通过切断刃331来切断。即，如图25(a)所示，在将铜箔406(PET薄膜407)配置在切断刃331的下方的台架3的载置面31上的状态下通过驱动机构4使切断刃331下降时，首先，按压构件440最初与铜箔406接触。如图25(b)所示，当克服按压构件440所具有的弹力的同时使切断刃331进一步下降时，按压构件440被压缩，并且切断刃331的刀尖331a从按压构件440突出而将铜箔406切断。

然后，在将铜箔406切断后，通过驱动机构4使切断刃331上升时，铜箔406在被按压构件440向台架3侧按压的同时切断刃331上升。因此，能够使剪断成切断刃331的刀尖331a所具有的规定的轮廓形状的铜箔406可靠地保留在台架3上，能够防止剪断后的铜箔406向切断刃331的内侧嵌入的情况。

另外，在切断铜箔406时，切断刃331的刀尖331a通过切入PET薄膜407而被保护，因此不需要在台架3的载置面31上设置缓冲件等刀尖331a的保护构件。

<第十一实施方式>

参照图26，对本发明的振动切断装置的第十一实施方式进行说明。图26是表示本发明的振动切断装置的第十一实施方式的共振器的图，(a)是仰视图，(b)是将珩磨头26上下反转后的状态的从正面观察到的剖视图，(c)是将珩磨头26上下反转后的状态的侧剖视图。如图26所示，本实施方式与上述的第九实施方式不同点在于，通过在珩磨头26上一体地形成切断刃223，从而将具有刀尖223a的切断刃223安装在珩磨头26的另一端的安装部上。其它的结构及动作由于与上述第九实施方式同样，因此，以下，通过标注同一符号或相当符号而省略该结构及动作的说明。

另外，本发明不局限于上述的实施方式，在不脱离其主旨的限度内，在上述的实施方式以外也能够进行各种变更，例如在上述的实施方式中，在珩磨头上形成有两个长孔，但只要将至少一个长孔形成在共振器上即可，可以根据共振器的机构，适当调整长孔的大小及个数、长孔的形成方向等结构，从而对切断刃23、123适当地施加振动。

另外，在上述的实施方式中，对切断刃23施加超声波振动，但作为对切断刃23、231施加的振动，不局限于超声波振动，也可以将低频振动或例如约100Hz的低频振动和超声波振动叠加后的振动等施加给切断刃23、231。这样，通过对切断刃23、231施加低频振动，对象物的切屑等变得难以附着于切断刃23。

另外，共振器的三个部位以上的位置由支撑机构支撑即可，且至少夹紧机构(把持部)的与被把持部接触的部分由上述的材质形成即可。另外，共振器的形状、材质、大小等不局限于上述的例子，可以任意设置。

另外，在上述的实施方式中，构成为通过驱动机构4的驱动电动机41使共振器移动，但可以通过利用了基于气缸所得到的流体压力的致动器或直线电动机等使共振器移动。

另外，在上述的实施方式中，在平板状的切断刃23(切断刃123)的与形成有刀尖23a(刀尖123a)的一端相对的另一端侧的两侧面形成有跨整个宽度方向的凹槽23b，但也可以通过在珩磨头的另一端形成的嵌合槽的两内侧面上形成跨整个宽度方向的凹槽，将切断刃23(切断刃123)从另一端侧嵌入到嵌合槽中，并使切断刃23(切断刃123)的另一端侧的两侧面在整个宽度方向上与嵌合槽部分粘接而将切断刃23(切断刃123)安装于珩磨头。另外，也可以在切断刃的另一端侧的两侧面及形成于珩磨头的另一端的嵌合槽的两内侧面这两方上形成跨整个宽度方向的凹槽。

另外，虽然未图示，但也可以设置旋转自如地保持于珩磨头的另一端的短圆柱状的旋转保持机构，并在该旋转保持机构的周面安装环状的切断刃。这样，通过在对切断刃施加超声波振动的同时使切断刃旋转，从而能够将对象物切断加工成所期望的形状。

另外，在上述的第九至第十一实施方式中，在共振器的另一端面安装具有规定的轮廓形状的刀尖的切断刃时，在该切断刃的宽度方向及进深(奥行き)方向的大小(俯视下的面积)与共振器的另一端面的面积相比充分小，且施加在切断刃上的振动的振幅的大小在切断刃的整体差异不大的情况下，未必需要在共振器上设置长孔。

工业实用性

本发明能够广泛地适用于对切断刃施加振动来切断对象物的技术。

符号说明：

1振动切断装置

3台架

4驱动机构(移动机构)

6控制装置(控制机构)

21、121、221、321、421共振器

22振动件

23、123、223、231、331切断刃

23a、123a、223a、231a、331a刀尖

23a1尖头

23b凹槽

24支撑机构

25a、126c、226c  被把持部

26a嵌合槽

26b、126b、226b、326b长孔

26m、26p  台阶部

26n、26q  安装面

26u、126u、226u、326u安装台座

28夹紧机构(把持部)

31、31a载置面

31b切痕(切込)

32仿形机构

33缓冲层

430保持构件(片状构件)

Claims (14)

1.一种振动切断装置，通过对切断刃施加振动来切断对象物，其特征在于，

具备：

共振器，其在一端连接有振动件，且在该振动件的相反侧的另一端的安装部安装有所述切断刃；以及

支撑机构，其具有把持所述共振器的被把持部的把持部，且支撑所述共振器，

在所述共振器的侧面至少穿透设置有一个长孔。

2.根据权利要求1所述的振动切断装置，其特征在于，

所述安装部具备在所述共振器的另一端形成的嵌合槽，

所述切断刃呈在一端侧缘部具有刀尖的矩形的平板状，从与所述刀尖相对的另一端侧嵌入到所述嵌合槽中，并且所述另一端侧的两侧面在整个宽度方向上与所述嵌合槽部分粘接而安装于所述共振器的所述安装部。

3.根据权利要求2所述的振动切断装置，其特征在于，

在所述切断刃的所述另一端侧的两侧面或所述嵌合槽的两内侧面形成有跨整个所述宽度方向的凹槽。

4.根据权利要求1所述的振动切断装置，其特征在于，

所述安装部具有切除所述共振器的另一端的端面的一部分而形成的截面L字状台阶部，

所述切断刃沿着与所述共振器的振动方向平行的所述台阶部的安装面而固接。

5.根据权利要求1所述的振动切断装置，其特征在于，

所述安装部具备：截面L字状台阶部，其通过切除所述共振器的另一端的端面的一部分而形成；以及安装台座，其在与该台阶部的和所述共振器的振动方向平行的安装面之间夹持所述切断刃，

所述切断刃呈在一端侧缘部具有刀尖的平板状，在所述刀尖以外的部分固接于所述安装台座的状态下通过螺栓一起紧固于所述安装面而安装于所述安装部。

6.根据权利要求1所述的振动切断装置，其特征在于，

所述安装部具备在一面设置所述切断刃、且另一面安装于所述共振器的另一端的平板状的安装台座。

7.根据权利要求6所述的振动切断装置，其特征在于，

所述切断刃与所述安装台座一体地形成。

8.根据权利要求7所述的振动切断装置，其特征在于，

多个所述安装台座设置于片状构件，在所述片状构件上设置的所述安装台座中任一个吸附于所述共振器的另一端。

9.根据权利要求2至5中任一项所述的振动切断装置，其特征在于，

所述切断刃在所述刀尖具有尖头。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的振动切断装置，其特征在于，

所述长孔与所述振动件的振动方向平行。

11.根据权利要求1至9中任一项所述的振动切断装置，其特征在于，

所述长孔相对于所述振动件的振动方向倾斜。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的振动切断装置，其特征在于，还具备：

台架，其具有载置所述对象物的载置面和调整所述载置面的倾斜的仿形机构；

移动机构，其以使所述刀尖与所述台架相面对的方式使由所述支撑机构支撑的所述共振器向所述台架接近或从所述台架离开；

控制机构，其对所述仿形机构及所述移动机构进行控制，

所述控制机构通过所述移动机构使所述共振器与所述台架接近而使所述刀尖与所述载置面抵接，并通过所述仿形机构使所述刀尖与所述载置面的倾斜一致。

13.根据权利要求12所述的振动切断装置，其特征在于，

所述控制机构以使所述切断刃向所述对象物的加压力以规定值固定的方式通过所述移动机构使所述共振器向所述台架接近。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的振动切断装置，其特征在于，

还具备台架，其具有设有载置所述对象物的载置面的缓冲层，

所述缓冲层由所述切断刃能够切入的材质形成。

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