JP4753650B2 - 切断装置および切断装置用カッターホルダ - Google Patents
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Description
その特許文献1には、同文献の第2図に明示されるように、電歪/磁歪型振動子15と、これと螺合するホーン17と、ホーン17の先端の溝部にろう付け若しくははんだ付により固定された切断刃19とからなる振動切断加工部21を使用し(符号はいずれも同文献中のもの)、切断刃に縦方向の振動を加えつつ、セラミックグリーンシート又はその積層体を切断してチップを作製する装置が記載されている。すなわち、特許文献1に開示の従来装置は、電歪/磁歪型振動子(振動発振源)からの振動を、ホーンにより拡大させて切断刃を共振させる超音波駆動方式の振動切断方法を採用するものである。
しかしながら、近時のセラミックグリーンシートの切断においては、該グリーンシートの組成改善により切断抵抗の大きな硬質材となっており、また、チップの微小化つまり縦横寸法が0.6mm×0.3mm、さらに0.4mm×0.2mmといった微小のチップ切断も要請されていることに伴って切断刃がより極薄化、例えば、刃先部の最大刃厚が約25μm〜50μm(シャンク部の厚みが約0.4mm〜1mm)の切断刃を使用する必要がある。そのため、上記従来装置を使用することによっては、切断刃の刃曲り(うねり)やセラミックグリーンシートのクラック発生を防止できないことが判明した。
なお、上記切断装置Aにおいて、駆動源としてサーボモータM1,M2を使用した場合を説明したが、それに限定されるものではなく、リニアモータ、エアーシリンダ、油圧サーボモータなど他の駆動方式を採用することも任意であり、また、支持機体3の具体的構造や移動方式、特に、支持機体3をY軸方向へ移動させることに代えて、回転テーブル1をY軸方向へ移動させてもよいことは勿論である。
カッターホルダ10は、金属製、例えばアルミニューム又はステンレス鋼、あるいはジュラルミンやチタン製とし、全体として略矩形状を呈するが、撓み変形するバネ性部位(弾性伸縮部位)11,11を介して連結された上半部の固定ブロック10aと下半部の刃板取付ブロック10bとに二分された形状とする。
すなわち、カッターホルダ10は、両ブロック10a,10bの中央部分を空洞にするとともに両ブロック間にわたって横U字形の薄肉なバネ性部位11,11を対称状に形成し、その各U字形の両端を連結部11a,11bとして固定ブロック10a、刃板取付ブロック10bに一体に連結し、両ブロック10a,10bの左右両側辺も間隙12,12を介して離間させた形状である。
また、カッターホルダ10は、刃板取付ブロック10bの左右両側辺の上面にそれぞれガイドポスト13を植設し、固定ブロック10aには、ガイドポスト13に対応する面にガイド孔14を開口するとともにガイドブッシュ14aを嵌入し、このガイドブッシュ14a内に前記ガイドポスト13をスライド自在に挿入している。
前記偏芯ボルト16は、押え板17に開口した窓孔19から操作できるようにし、押え板17を取り付けた後でもボルト18を緩め、偏芯ボルト16を操作して切断刃20を前記段差15aに密着できるようにしている。
切断刃20は、炭化タングステン−コバルト系などの超硬合金製とし、さらに好ましくは、表面に硬質被服層を形成したものを使用する。好ましい刃寸法を例示すれば、シャンク部の厚みが0.4〜1mm、刃先部の最大刃厚が25〜50μm、刃先角が15〜20度、刃渡りが20〜25cmのものを使用する。これらの寸法以外の場合には刃板取付ブロック10bを大小用意して対応する。
したがって、カッターホルダ10は、バネ性部位11,11が撓み変形する弾性伸縮によって刃板取付ブロック10bが縦方向へ微振動可能であるとともに前記ガイドポスト13とガイドブッシュ14aの案内により微振動時における刃板取付ブロック10bつまり切断刃20の直進性が担保される。
なお、上記バネ性部位11は、カッターホルダ10とは別体のバネ部材を上下両ブロック10a,10b間に介在させて連結するなど、刃板取付ブロック10bを固定ブロック10aに対して縦方向へ弾性的に微振動可能に連結するものであれば、その形状・構造に限定されるものではない。
磁歪センサー26は、バネ性部位11の弾性変位に伴う空隙25の変位量、つまり刃板取付ブロック10bの微振動時における振幅、結果として後述する積層型圧電素子の振幅を検出するものであり、一方を連結部11aの下面に、他方を連結部11bの上面に取り付けて対向状に配置し、空隙25の距離に応じた磁性変化により空隙25の変位量を検出するものである。また配線の断線その他の原因により2個の圧電素子24a,24bの何れかが、作動不能を検出したとき瞬時に破損防止の対策ができる。
なお、この磁歪センサー26の取り付け位置は、前記空隙25に限らず前記間隙12内に配置し、あるいはバネ性部位11の湾曲面に貼付するなど何れでもよく、また、バネ性部位11の縦方向の変位量を検出可能であれば、磁歪センサーに代えて、静電容量センサーなど他種のセンサーを用いることも自由である。
この圧電素子24a,24bは、素子収容空間23a,23bに取り付けるため、各上面を固定ブロック10aに、各下面を刃板取付ブロック10bにそれぞれ接着等により固定するが、各ブロック10a,10bとの間に緩衝材27a,27bを介在させる。具体的には、各圧電素子24a,24bの上下各面に緩衝材27a,27bを接着して設け(図5参照)、その緩衝材27a,27bを素子収容空間23a,23bの上面および下面を構成する固定ブロック10a、刃板取付ブロック10bの内壁面に接着等により取り付け固定する。
緩衝材27a,27bの上下各面、すなわち圧電素子24a,24bが接合する面と固定ブロック10a及び刃板取付ブロック10bが接合する面には、それぞれ微細な溝28を形成している(図5参照)。それによって、緩衝材27a,27bを圧電素子24a,24bまたは両ブロック10a,10bに接着する際に、余分な接着剤が溝28から排出するようにし、それらに確実に接着させる。なお、溝28は、図5(b)において緩衝材27bのみを図示するが、緩衝材27aの上下各面にも同様に形成している。
詳しくは、カッターホルダ10がサーボモータM1に設定された定量または可変な送り量で下降しながら切断刃20が微振動を付与しつつワークWを切断し、カッターホルダ10が上昇したところで、サーボモータM2によりカッターラム5をY軸方向へ定寸送りした後に再びカッターホルダ10が下降しながら前記切断動作をし、その切断動作をY軸方向の終端まで繰り返し、その後に、回転テーブル1を90度回転させた状態で再度前記と同様の切断動作を反復することによってワークWを格子状に切断して微小な(例えば、縦横寸法0.6mm×0.3mm)チップを作製する。
なお、上記切断刃20に微振動を付与することに加えて、刃板取付ブロック10bおよび押え板17に設けたヒータ21a,21bにより切断刃20を介してワークWを加熱するので、ワークWの切断抵抗をさらに軽減して切断性を高めている。
出力制御装置30は、圧電素子24a,24bを微伸縮動させるために駆動電圧をかける出力信号(波形・振幅・周波数)を制御するものであり、その波形として図7に例示するいずれの態様も使用することができるが、セラミックグリーンシートのような高硬度で脆性素材のワークを切断する場合には同図(e)の波形を使用することが好適である。
図8の方式は、圧電素子24a,24bの伸縮方向が同一になるよう制御するものであり、それによれば、通常の縦型振動による切断動作をする。一方、図9の方式は、圧電素子24a,24bの伸縮方向が反対になるよう制御するものであり、それによれば、例えば、包丁で物を切る場合に刃先側と刃元側を交互に着地させるシーソー型振動による切断動作をする。
それらの切断方式は、ワークの組成に基づく硬度や脆性など切断特性を考慮して適宜に選択し、また、一回の切断工程において前記縦型振動とシーソー型振動の両切断方式を組み合わせることもよい。さらに、一つのワークを切断する場合に、切断初期部分、切断途中部分、切断終期部分において切断方式および周波数・振幅などをワークの切断特性や切断厚さに応じたプログラムに設定することもよく、それにより、切断中のクラック発生を防止し得て切断精度、歩留まりをさらに向上させることもできる。
そして、比較値が許容範囲内であれば切断動作を続行するが、比較値が許容範囲から外れた場合、すなわち圧電素子24a,24bの振幅が過大または過小な場合には、警報信号を出力して警報ランプ等を点灯させ、あるいはそれと共にカッターラム5を上昇させた後に切断装置Aを停止させるようにする。それにより、切断動作が中断されるので不良品の発生を未然に防止して歩留まりを向上させ、また、切断刃20の損傷を防止することができる。なお、切断装置Aを停止することに代えて、出力制御装置30において出力信号を変更することにより、検出データが設定データに自動補正されるようにしてもよいことは勿論である。
10:カッターホルダ 10a:固定ブロック 10b:刃板取付ブロック
11:バネ性変位部(弾性伸縮部位) 13:ガイドポスト
15:取付面 17:押え板 20:切断刃
23a,23b:素子収容空間 24a,24b:積層型圧電素子
26:磁歪センサー 27a,27b:緩衝材
Claims (8)
- 昇降動可能なラムに追従して昇降動するカッターホルダに平刃状の切断刃を取り付け、前記カッターホルダの刃板取付ブロックを縦方向に微振動可能に構成するとともに前記カッターホルダに積層型の圧電素子を内設し、その圧電素子の下面側を前記刃板取付ブロックに接合させ、前記カッターホルダの下降動作と協働して前記圧電素子により切断刃に縦方向の微振動を付与しながら切断動作させる切断装置において、
前記刃板取付ブロックが、前記ラムに固定される固定ブロックの下位に弾性伸縮部位を介して連接され、その固定ブロックと前記刃板取付ブロックとの間に2個の前記圧電素子が内設され、
前記弾性伸縮部位が前記カッターホルダの中央部に配置され、前記弾性伸縮部位の両側における前記固定ブロックと前記刃板取付ブロックとの間の間隙に、前記圧電素子が各1個配置されるとともに、前記刃板取付ブロックの変位量を検出するセンサーが各1個配置されることを特徴とする切断装置。 - 前記固定ブロックと前記刃板取付ブロックとに渉ってガイドポストが植設され、そのガイドポストにより前記刃板取付ブロックの伸縮方向が案内されるようにしたことを特徴とする請求項1の切断装置。
- 2個の前記圧電素子の伸縮方向が同一になるよう制御することを特徴とする請求項1又は2記載の切断装置。
- 2個の前記圧電素子の伸縮方向が反対になるよう制御することを特徴とする請求項1又は2記載の切断装置。
- 2個の前記圧電素子の伸縮方向を同一方向と反対方向とに適時に組み合わせ制御することを特徴とする請求項1又は2記載の切断装置。
- 弾性伸縮部位を介し固定ブロックと刃板取付ブロックとを上下一体に連結することにより全体として矩形状に構成し、その両ブロック間に2つの素子収容空間を設けて各素子収容空間に積層型圧電素子を与圧状態で縦方向へ伸縮可能に取り付け、前記刃板取付ブロックには、該ブロックと押え板とにより平刃状の切断刃を着脱可能に挟着固定し、
前記積層型圧電素子が、上面側と下面側にそれぞれ緩衝材を介して前記固定ブロックと前記刃板取付ブロックとに接合され、上下の前記緩衝材は、そのリブの向きを90度違えて配置していることを特徴とする切断装置用カッターホルダ。 - 前記固定ブロックと前記刃板取付ブロックとに渉ってガイドポストが植設されていることを特徴とする請求項6記載の切断装置用カッターホルダ。
- 前記固定ブロックと前記刃板取付ブロックとの間に両ブロック間の変位量を検出するセンサーを設けていることを特徴とする請求項6又は7記載の切断装置用カッターホルダ。
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