JP2003052183A - 圧電アクチュエータおよびこれを用いた電子機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子機器に組み込んだ場合、回転の中心と被
変位部品の重心が異なることから生じるねじり応力に起
因する本来移動させるべき方向と異なる方向への変動を
抑制することのできる圧電アクチュエータを提供するこ
とを目的とするものである。 【解決手段】 圧電体からなる４つの梁１ａ，１ｂ，１
ｃ，１ｄを辺とする四角形の枠体からなり、対向する梁
１ａと１ｃ、１ｂと１ｄが同位相で伸縮すると同時に隣
り合う梁１ａ，１ｃと１ｂ，１ｄとが逆位相で伸縮する
構成とすることにより、対角にある２つの角部２ｂ，２
ｄが他の対角にある角部２ａ，２ｃに対して相対的に枠
体の内側の中央に中心を持つ回転変位を起こすため、圧
電アクチュエータの回転の中心と被変位部品の重心を合
わせることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は例えばハードディス
ク装置の磁気ヘッドに微小変位を与える圧電アクチュエ
ータおよびこれを用いた電子機器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の圧電アクチュエータは例えば特開
２００１−８４７２３に記載されているものが知られて
いる。

【０００３】図９は従来の圧電アクチュエータとそれを
用いたハードディスクの磁気ヘッド部の分解斜視図であ
る。

【０００４】図９において、圧電アクチュエータ１０１
は板状の２枚の圧電素子１０２ａ，１０２ｂを両端で固
定した構成とし、圧電素子１０２ａ，１０２ｂが互いに
逆位相で伸縮することにより圧電アクチュエータ１０１
が屈曲し、固定部１０３を中心に変位部１０４が横方向
に回転変位するものであった。なお、図９において１２
０はスライダーであり、１２１はサスペンション、１２
２は磁気ヘッドである。

【０００５】また、図１０は従来のハードディスクドラ
イブの模式図である。

【０００６】ハードディスクドライブは、ボード１１０
の上にディスク１１１を設置し、このボード１１０に設
けたスピンドルモータによりディスク１１１を回転させ
る。またボード１１０上には支持部１１３を有するアー
ムアクチュエータ１１４が設けられている。さらにスイ
ングアーム１１５の一端側を支持部１１３に接続し、他
端側の先端に磁気ヘッド部１１６を取り付けたものであ
った。そしてアームアクチュエータ１１４でスイングア
ーム１１５を介して磁気ヘッド部１１６を水平方向に移
動させて位置制御を行い、ディスク１１１への書き込み
および読み出しを行う。

【０００７】なお、上記の磁気ヘッド部１１６は図９に
示すように、スライダー１２０の上面に圧電アクチュエ
ータ１０１の変位部１０４を接着すると共に、この圧電
アクチュエータ１０１の固定部１０３の上面にサスペン
ション１２１を接着して固定し、またスライダー１２０
の一側面に磁気ヘッド１２２を取り付けたものであっ
た。圧電アクチュエータ１０１は圧電素子１０２ａ，１
０２ｂが互いに逆位相に伸縮することで屈曲し、磁気ヘ
ッド１２２を微小に変位させるというものであった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記圧電アクチュエー
タ１０１においては屈曲により横方向の回転変位を得る
ため、回転変位の中心とスライダー１２０の重心が異な
ることとなり、スライダー１２０の微小変位と同時にサ
スペンション１２１にねじり応力を与える。その結果、
スライダー１２０は上下方向にも動くことになる。

【０００９】また、磁気ヘッド１２２でディスク１１１
の磁気情報をできるだけ正確に読みとるために、ディス
ク１１１とスライダー１２０との距離は非常に短くなっ
ている。

【００１０】従ってスライダー１２０が上下方向に変動
するディスク１１１を損傷してしまうという問題点を有
していた。

【００１１】そこで本発明は、電子機器に組み込んだ場
合、回転変位の中心と被変位部品の重心が異なることか
ら生じるねじり応力に起因する従来の問題点を解決し、
本来移動させるべき方向と異なる方向への変動を抑制す
ることのできる圧電アクチュエータおよびこれを用いた
電子機器を提供することを目的とするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、以下の構成を有するものである。

【００１３】本発明の請求項１に記載の発明は、特に、
圧電体からなる４つの梁を辺とする四角形の枠体からな
り、前記４つの梁は対向する梁が同位相で伸縮し隣り合
う梁が逆位相で伸縮する構成とした圧電アクチュエータ
であり、対向する梁が同位相で伸縮するとともに隣り合
う梁が逆位相で伸縮することで一方の対角に対して他方
の対角が相対的に枠体の内側中心部分を中心として回転
変位を起こすため、被変位部品の重心と回転変位の中心
を合わせやすいという作用効果が得られる。

【００１４】本発明は請求項２に記載の発明は、特に、
枠体の４つの角部は、対角に位置する２つの角部を固定
部とし、他の対角に位置する２つの角部を変位部とした
請求項１に記載の圧電アクチュエータであり、対角に位
置する２つの角部で被変位部品を支持することにより被
変位部品に回転変位を確実に伝え、駆動できるという作
用効果が得られる。

【００１５】本発明の請求項３に記載の発明は、特に、
枠体の各梁の長さはその梁の幅より大きく、幅の６倍以
下とした請求項１に記載の圧電アクチュエータであり、
各梁の長さがその梁の幅より大きいため、梁の幅伸縮を
抑えながら梁の長さ伸縮を効果的に起こしやすいと同時
に、各梁の長さがその梁の幅の６倍以下であるため梁に
十分な強度を持たせやすく信頼性の高い圧電アクチュエ
ータが得られるという作用効果が得られる。

【００１６】本発明の請求項４に記載の発明は、特に、
枠体の４つの内角はそれぞれ対向する２つの内角の角度
をほぼ同じとした請求項１に記載の圧電アクチュエータ
であり、対向する２つの内角がほぼ同じであるため、枠
体の対角線がほぼ中心で交わり、１つの対角が他の対角
に対して相対的に起こす回転変位の中心と枠体の中心を
合わせやすいという作用効果が得られる。

【００１７】本発明の請求項５に記載の発明は、特に、
枠体の各梁はその対向する梁とほぼ同じ長さとした請求
項１に記載の圧電アクチュエータであり、対向する梁の
長さがほぼ同じため、４つの梁で形成される４角形の枠
体の対角線がほぼ中心で交わり、一方の対角が他の対角
に対して相対的に起こす回転変位の中心と枠体の中心を
合わせやすいという作用効果が得られる。

【００１８】本発明の請求項６に記載の発明は、特に、
枠体は一体の板状圧電セラミックスで構成した請求項１
に記載の圧電アクチュエータであり、接続部が無いた
め、小型化が容易で安定した特性が得られるという作用
効果が得られる。

【００１９】本発明の請求項７に記載の発明は、特に、
枠体は４つの内角部分を曲面とした請求項６に記載の圧
電アクチュエータであり、破壊の発生しやすい狭角部分
への応力集中が緩和できるため、角の部分から破壊が発
生しにくく、圧電アクチュエータとしての信頼性が向上
するという作用効果が得られる。

【００２０】本発明の請求項８に記載の発明は、特に、
枠体は板状圧電セラミックス全体を厚み方向に分極し、
梁の両面に駆動用電極を形成した請求項６に記載の圧電
アクチュエータであり、圧電セラミックスの分極時に分
極の有無による歪みを生じにくいとともに、伸縮が梁で
のみ発生するため、圧電アクチュエータが動作時に不要
な歪を起こしにくいという作用効果が得られる。

【００２１】本発明の請求項９に記載の発明は、特に、
枠体はそれぞれの部位の断面の角部分が曲線となる構成
とした請求項１に記載の圧電アクチュエータであり、角
部分から破壊が発生しにくく、圧電アクチュエータとし
ての信頼性が向上するという作用効果が得られる。

【００２２】本発明の請求項１０に記載の発明は、特
に、枠体は角部の厚みが梁の厚みより厚い構成とした請
求項１に記載の圧電アクチュエータであり、支持部分で
ある角部の厚みが厚いため、支持部分を被支持部に接着
するときに接着剤が梁に流れ込みにくく梁の伸縮を阻害
しにくいという作用効果が得られる。

【００２３】本発明の請求項１１に記載の発明は、特
に、請求項１に記載の圧電アクチュエータを用いて被変
位部品を駆動する電子機器であり、一方の対角が他の対
角に対して相対的に起こす回転変位の中心と被変位部品
の重心を合わせやすいアクチュエータを用いるため、回
転変位の中心と被変位部品の重心が異なることから生じ
るねじり応力に起因する本来移動させるべき方向と異な
る方向への変動が起こりにくい電子機器を得られるとい
う作用効果がある。

【００２４】本発明の請求項１２に記載の発明は、特
に、請求項２に記載の圧電アクチュエータと固定部品の
被変位部品とを有し、前記圧電アクチュエータの４つの
角部のうち、対角に位置する２つの角部の一方の面に被
変位部品を保持し、他の対角の位置する２つの角部の他
方の面を固定部品に取り付けた電子機器であり、固定部
品と被変位部品を圧電アクチュエータのそれぞれ別の面
で保持しているため、変位部に固定する被変位部品の接
着自由度が高く、変位部の中心を被変位部品の重心位置
に合わせて接着することが容易で、回転変位の中心と被
変位部品の重心を一致させやすく、回転変位の中心と被
変位部品の重心が異なることから生じるねじり応力に起
因する本来移動させるべき方向と異なる方向への変動が
起こりにくい電子機器を得られるという作用効果が得ら
れる。

【００２５】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）以下、実施の形
態１を用いて、本発明の特に請求項１〜１０に記載の発
明について説明する。

【００２６】図１および図２は本発明の実施の形態１に
おける圧電アクチュエータの平面図であり、図２は図１
の裏面の平面図である。また、図３および図４は本発明
の実施の形態１における圧電アクチュエータの断面図で
あり、図３は図１における一点鎖線Ａ−Ａ'部での断面
を示す断面図、図４は図１における破線Ｂ−Ｂ'部での
断面を示す断面図である。

【００２７】図１〜図４において、１ａ，１ｂ，１ｃ，
１ｄは梁、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは角部、３ａ，３ｃ
は駆動用電極としての第１の電極、３ｂ，３ｄは駆動用
電極としての第２の電極、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４
ａ'，４ｂ'，４ｃ'，４ｄ'は樹脂層である。

【００２８】図１〜図４を参照して本発明の実施の形態
１における圧電アクチュエータの構成を説明する。図１
〜図４に示すように、本発明の実施の形態１における圧
電アクチュエータは、４つの梁１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ
を辺とする四角形の枠体であり、各梁１ａ，１ｂ，１
ｃ，１ｄの長さは全て同一の長さとし各梁の幅より大き
くした。

【００２９】また、枠体の一方の面に第１の電極３ａ，
３ｃを、裏面には第２の電極３ｂ，３ｄを設け、第１の
電極３ａは梁１ａ，１ｂおよび角部２ａに、第１の電極
３ｃは梁１ｃ，１ｄおよび角部２ｃに、第２の電極３ｂ
は梁１ｂ，１ｃおよび角部２ｂに、第２の電極３ｄは梁
１ａ，１ｄおよび角部２ｄに設けてあり、第１の電極３
ａと３ｃとの間に電圧を印加した時、第２の電極３ｂ，
３ｄは中間電極として機能し、対向する梁の１ａと１
ｃ、１ｂと１ｄは、それぞれ同位相で伸縮するとともに
隣り合う梁の１ａ、１ｃと１ｂ、１ｄとは逆位相で伸縮
する構成とした。

【００３０】さらに、枠体の角部２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄには、樹脂層４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ａ'，４
ｂ'，４ｃ'，４ｄ'を設け、角部２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄが４つの梁１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの厚みより厚い構
成とした。

【００３１】次に、本発明の実施の形態１における圧電
アクチュエータの製造方法について説明する。

【００３２】まず、全体を厚み方向に分極した厚み０．
１ｍｍ、幅１０ｍｍ、長さ１０ｍｍのチタン酸ジルコン
酸鉛系の板状圧電セラミックスを準備した。この板状圧
電セラミックスの片面に第１の電極３ａ，３ｃを、その
裏面に第２の電極３ｂ，３ｄを形成した。この時、各電
極３ａ，３ｃ，３ｂ，３ｄはクロム５００Å、銀１００
００Åをスパッタにて形成した。また図１および図２に
示したように、第１の電極３ａと第２の電極３ｄとが最
終的に梁１ａとなる部分で、第１の電極３ａと第２の電
極３ｂとが最終的に梁１ｂとなる部分で、第１の電極３
ｃと第２の電極３ｂとが最終的に梁１ｃとなる部分で、
および第１の電極３ｃと第２の電極３ｄとが最終的に梁
１ｄとなる部分でのみ重なるように部分形成した。また
この時、完成品を多数個得るため、幅１０ｍｍ、長さ１
０ｍｍの板状圧電セラミックス上に各電極３ａ，３ｃ，
３ｂ，３ｄのパターンを縦９列、横９列となるよう並べ
て形成した。

【００３３】続いて、角部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの両
面に厚み１０μｍのエポキシ系の樹脂層４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ，４ａ'，４ｂ'，４ｃ'，４ｄ'をスクリーン印
刷法により形成し、角部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄとなる
部分の厚みが梁１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄとなる部分の厚
みより厚くなるようにした。

【００３４】次に、電極３ａ，３ｃ，３ｂ，３ｄおよび
樹脂層４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ａ'，４ｂ'，４
ｃ'，４ｄ'を形成した圧電セラミック板を超音波加工に
て四角形のくりぬき加工をし枠体の内側部分を形成し
た。このとき、枠体の内側部分の寸法は０．６ｍｍ角と
し、４つの内角の角度はいずれもほぼ９０°とした。ま
た、枠体の４つの内角部分が曲面になるよう、また、枠
体の各部位の断面の角部分が曲線になるように加工し
た。

【００３５】最後に、ダイヤモンド切断機で切断すると
ともに各部位の断面の角部分が曲線になるように加工
し、各梁１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの幅が０．２ｍｍ、長
さが０．６ｍｍで、外形が１ｍｍ角の枠体である本発明
の実施の形態１における圧電アクチュエータ１２を得
た。

【００３６】次に、以上のように構成された本発明の実
施の形態１における圧電アクチュエータ１２の動作につ
いて、図１〜図４および図５を参照して説明する。

【００３７】なお、図５は本発明の実施の形態１におい
て行った動作測定を説明するための模式図である。

【００３８】図５のように、上記図１〜図４の圧電アク
チュエータ１２の角部２ｂ，２ｄの樹脂層４ｂ'，４ｄ'
部分を大理石のベース１１に接着固定した。さらに、圧
電アクチュエータ１２の角部２ａ，２ｃの樹脂層４ａ，
４ｃ部分に、厚み０．１ｍｍ、幅１ｍｍ、長さ６ｍｍの
アルミナ棒１３のその厚み方向の面を接着して固定し
た。このとき、圧電アクチュエータ１２の重心５ｐとア
ルミナ棒１３の重心が一致するように接着した。

【００３９】次に、図１〜図４の圧電アクチュエータ１
２の第１の電極３ａと３ｃとの間に１０Ｖ、１ｋＨｚの
交流電圧を加えた。その結果、梁１ａと梁１ｃ、梁１
ｂ、梁１ｄは、それぞれ同位相で伸縮するとともに、梁
１ａ、梁１ｃと梁１ｂ、梁１ｄとは逆位相で伸縮し、圧
電アクチュエータ１２の角部２ａ，２ｃは角部２ｂ，２
ｄに対して同じ回転変位方向に応力を受け、圧電アクチ
ュエータ１２の重心５ｐを中心に回転振動した。この回
転振動を小野測器製のレーザードップラー変位計１４を
用いてアルミナ棒１３の重心位置から両端に２．５ｍｍ
離れた点Ｃ，Ｄの変位を測定した。その結果、Ｃ，Ｄ点
ともに±１μｍの変位を起こしており、アルミナ棒１３
がその重心を中心に±０．０２°回転振動した。

【００４０】以上のように、本発明の実施の形態１にお
ける圧電アクチュエータ１２は、４つの梁１ａ，１ｂ，
１ｃ，１ｄを辺とする四角形の枠体であり、対向する梁
１ａと１ｃ、１ｂと１ｄが同位相で伸縮すると同時に隣
り合う梁１ａ、１ｃと１ｂ、１ｄとが逆位相で伸縮する
ため、固定部とした対角にある２つの角部２ｂ，２ｄに
対して、他の対角に位置する２つの角部２ａ，２ｃを変
位部としてこれに固定した被変位部品であるアルミナ棒
１３は枠体の内側の中央を中心として相対的に回転変位
を起こすことができた。

【００４１】また、４つの梁１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの
長さを各梁の幅の３倍とし、枠体は４つの内角部分を曲
面で構成し、枠体の各部位の断面の角部分が曲線構成を
したことにより、効率的な梁の長さ方向の伸縮振動を起
こすことができ、同時に梁が十分な強度を持ち、かけ、
割れ等の破壊の発生が防止でき信頼性の高い圧電アクチ
ュエータ１２が得られた。

【００４２】なお上記では、各梁１ａ，１ｂ，１ｃ，１
ｄの長さはその梁の幅の３倍としたが、梁の長さは、幅
に対する比が大きいほど伸縮を効率的に生ずるが強度が
低下し、逆に幅に対する比が小さいほど強度は確保でき
るが伸縮の効率が低下するので、枠体の各梁の長さはそ
の梁の幅より大きく幅の６倍以下が好ましい。

【００４３】また、４つの梁１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの
長さをほぼ同じにし、枠体の４つの内角の角度をいずれ
もほぼ９０°としそれぞれ対向する２つの内角の角度を
ほぼ同じにしたことにより、変位部である対角にある２
つの角部２ａ，２ｃが固定部とした対角にある２つの角
部２ｂ，２ｄに対して相対的に起こす回転変位の中心を
枠体である圧電アクチュエータ１２の重心５ｐに一致さ
せることができ、回転変位の中心と被変位部品であるア
ルミナ棒１３の重心を合わせることができた。

【００４４】また、枠体である圧電アクチュエータ１２
を一体の板状圧電セラミックスで構成したことにより上
記したような非常に小さな圧電アクチュエータを得るこ
とができた。

【００４５】また、枠体である圧電アクチュエータ１２
を全体を厚み方向に分極した板状圧電セラミックスによ
り構成し、梁１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの両面に駆動用電
極３ａ〜３ｄを設けたため、反りなどの変形が無く、梁
の伸縮時にも反りが起こりにくく効率的に回転変位を生
ずる圧電アクチュエータが得られた。

【００４６】また、角部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの両面
に樹脂層４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ａ'，４ｂ'，４
ｃ'，４ｄ'を形成して、角部２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの
厚みを梁１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの厚みより厚くしたた
め、固定部とした角部２ｂ，２ｄを支持体である大理石
のベース１１に接着固定する際、および変位部とした角
部２ａ，２ｃに被変位部品であるアルミナ棒１３を接着
固定する際に接着剤が梁部分に流れ込むことなく接着固
定ができ、梁の伸縮の自由が確保できた。

【００４７】（実施の形態２）以下、実施の形態２を用
いて、本発明の特に請求項１１，１２に記載の発明につ
いて説明する。

【００４８】図６，図７および図８を参照して本発明の
実施の形態２について説明する。

【００４９】図６は本発明の実施の形態２における圧電
アクチュエータを用いたハードディスクドライブの磁気
ヘッド部の分解斜視図である。

【００５０】図６において、１２は図１〜図４に示した
本発明の実施の形態１の圧電アクチュエータである。こ
の圧電アクチュエータ１２の下面には磁気ヘッド２１を
実装したスライダー２２を圧電アクチュエータ１２の重
心５ｐとスライダー２２の重心２４ｐが一致するように
圧電アクチュエータ１２の角部２ｂ，２ｄの樹脂層４
ｂ'，４ｄ'（図示せず）の部分で接着固定している。ま
た、圧電アクチュエータ１２の上面の角部２ａ，２ｃの
樹脂層４ａ，４ｃ（図示せず）の部分でサスペンション
２３に接着固定している。

【００５１】図７は本発明の実施の形態２におけるハー
ドディスクドライブの模式図である。図７において、３
１はボード、３２はディスク、３３はスピンドルモー
タ、３４はアーム支持部、３５はアームアクチュエー
タ、３６はスイングアーム、３７は図６に示した磁気ヘ
ッド部である。

【００５２】図７に示すハードディスクドライブは、ボ
ード３１の上にディスク３２を設置し、このディスク３
２の中央部に設けたスピンドルモータ３３によりディス
ク３２を回転させる。また、ボード３１上にはアーム支
持部３４を有するアームアクチュエータ３５が設けられ
ている。さらにスイングアーム３６の一端側をアーム支
持部３４に接続し、他端側の先端に磁気ヘッド部３７を
取付けたものである。磁気ヘッド部３７は図６に示すよ
うに磁気ヘッド２１、スライダー２２、圧電アクチュエ
ータ１２およびサスペンション２３で構成した。

【００５３】次に、上記図７のハードディスクドライブ
を用いて、図６の本発明の実施の形態２における磁気ヘ
ッド部３７の動作を確認した。図８に示したフローチャ
ートにより、磁気ヘッド部３７の動作確認を行った結
果、本発明の実施の形態２においては、圧電アクチュエ
ータ１２の回転変位の中心とスライダー２２の重心が一
致しているため、サスペンション２３にねじり応力が加
わることがなく、したがって磁気ヘッド２１の上下動も
発生せず、安定した姿勢で磁気ヘッド部３７を動作させ
ることができた。

【００５４】また、圧電アクチュエータ１２の角部２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの両面に樹脂層４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ，４ａ'，４ｂ'，４ｃ'，４ｄ'を形成し、角部
２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの厚みを梁１ａ，１ｂ，１ｃ，
１ｄの厚みより厚くしたため、圧電アクチュエータ１２
をスライダー２２およびサスペンション２３に接着固定
する際の圧電アクチュエータ１２の梁への接着樹脂の回
り込みはなく、梁の伸縮の自由が確保でき、角部２ｂ，
２ｄで効率的に回転変位を起こすことができた。

【００５５】なお、上記実施の形態１および２では角部
２ａ，２ｃを固定部とし角部２ｂ，２ｄを変位部として
被変位部品に接着固定したが、逆に接着固定をしても同
様の効果が得られる。

【００５６】また、上記実施の形態２においては電子機
器の一例としてハードディスクドライブを用いて説明し
たが、他にもＤＶＤ、ＣＣＤカメラ、ビデオカメラなど
被検知物に対して圧電アクチュエータを取り付けた検知
体を相対的に回転変位させる際、微小移動制御とともに
姿勢制御が必要な電子機器において同様の効果を有する
ものである。

【００５７】

【発明の効果】以上本発明によると、圧電体からなる４
つの梁を辺とする四角形の枠体からなり、前記４つの梁
は対向する梁が同位相で伸縮し隣り合う梁が逆位相で伸
縮する構成とし、枠体の４つの角部は、対角に位置する
２つの角部を固定部とし、他の対角に位置する２つの角
部を変位部としたので、一方の対角に対して他方の対角
が枠体の内側の中央を中心として相対的に回転変位を起
こすため、被変位部品の重心と回転変位の中心を合わせ
やすく、上下変位などの本来移動させるべき方向と異な
る方向の変動のない圧電アクチュエータとなる。また、
本発明の圧電アクチュエータを用いることにより、小型
で高精度な微小位置制御が可能な電子機器となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１における圧電アクチュエ
ータの平面図

【図２】同圧電アクチュエータの裏面の平面図

【図３】同圧電アクチュエータのＡ−Ａ'部での断面図

【図４】同圧電アクチュエータのＢ−Ｂ'部での断面図

【図５】本発明の実施の形態１における動作測定を説明
するための模式図

【図６】本発明の実施の形態２における圧電アクチュエ
ータを用いたハードディスクドライブの磁気ヘッド部の
分解斜視図

【図７】本発明の実施の形態２におけるハードディスク
ドライブの模式図

【図８】本発明の実施の形態２におけるハードディスク
ドライブの動作確認のフローチャート

【図９】従来の圧電アクチュエータとそれを用いたハー
ドディスクドライブの磁気ヘッド部の分解斜視図

【図１０】従来のハードディスクドライブの模式図

【符号の説明】

１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ 梁 ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ 角部 ３ａ，３ｃ 第１の電極 ３ｂ，３ｄ 第２の電極 ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ａ'，４ｂ'，４ｃ'，４ｄ'
樹脂層 ５ｐ 圧電アクチュエータの重心 １１ 大理石のベース １２ 圧電アクチュエータ １３ アルミナ棒 １４ レーザドップラー変位計 ２１ 磁気ヘッド ２２ スライダー ２３ サスペンション ２４ｐ スライダの重心 ３１ ボード ３２ ディスク ３３ スピンドルモータ ３４ アーム支持部 ３５ アームアクチュエータ ３６ スイングアーム ３７ 磁気へッド部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 南 誠一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA18 DA19 DA26 EA02 EA03 5D096 NN03 NN07

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電体からなる４つの梁を辺とする四角
   形の枠体からなり、前記４つの梁は対向する梁が同位相
   で伸縮し隣り合う梁が逆位相で伸縮する構成とした圧電
   アクチュエータ。
2. 【請求項２】 枠体の４つの角部は、対角に位置する２
   つの角部を固定部とし、他の対角に位置する２つの角部
   を変位部とした請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
3. 【請求項３】 枠体の各梁の長さはその梁の幅より大き
   く、幅の６倍以下とした請求項１に記載の圧電アクチュ
   エータ。
4. 【請求項４】 枠体の４つの内角はそれぞれ対向する２
   つの内角の角度をほぼ同じとした請求項１に記載の圧電
   アクチュエータ。
5. 【請求項５】 枠体の各梁はその対向する梁とほぼ同じ
   長さとした請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
6. 【請求項６】 枠体は一体の板状圧電セラミックスで構
   成した請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
7. 【請求項７】 枠体は４つの内角部分を曲面とした請求
   項６に記載の圧電アクチュエータ。
8. 【請求項８】 枠体は板状圧電セラミックス全体を厚み
   方向に分極し、梁の両面に駆動用電極を形成した請求項
   ６に記載の圧電アクチュエータ。
9. 【請求項９】 枠体はそれぞれの部位の断面の角部分が
   曲線となる構成とした請求項１に記載の圧電アクチュエ
   ータ。
10. 【請求項１０】 枠体は角部の厚みが梁の厚みより厚い
    構成とした請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
11. 【請求項１１】 請求項１に記載の圧電アクチュエータ
    を用いて被変位部品を駆動する電子機器。
12. 【請求項１２】 請求項２に記載の圧電アクチュエータ
    と固定部品と被変位部品とを有し、前記圧電アクチュエ
    ータの４つの角部のうち、対角に位置する２つの角部の
    一方の面に被変位部品を保持し、他の対角に位置する２
    つの角部の他方の面を固定部品に取り付けた電子機器。