CN102851638B - 掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩模组件，其被构造成防止掩模热变形并保持多个分开的图案掩模之间的间隙。根据一个实施例，该掩模组件包括：开口掩模，其具有在行或列上排列的多个第一开口；图案掩模，其包括多个单位图案掩模。在一些实施例中，可相对于开口掩模固定单位图案掩模的端部，该单位图案掩模包括被构造成与开口掩模的多个第一开口对齐的多个掩模图案单元。在一些实施例中，拉力被施加到单位图案掩模。

Description

掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件

本申请是申请日为2005年11月17日、申请号为200510123318.X、题为“掩模组件以及使用该掩模组件的掩模框组件”的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种用于沉积有机电致发光(EL)装置中的薄膜的掩模组件以及一种使用该掩模组件的掩模框组件。

背景技术

自发射的有机电致发光(EL)装置提供等离子体显示面板(PDP)的优点，例如视角宽、对比度高和响应速度快。因此，有机EL装置被认为是下一代平板显示装置。典型地，有机EL装置包括阳极、阴极和在这两个电极之间具有发光层的有机层。由于有机层易受湿度的影响而不能以通常的光刻方法来形成，所以通过沉积的方式来形成有机层。

图1是用于沉积有机EL装置中包括的薄膜的传统的掩模框组件的分解透视图。

参照图1，传统的掩模10由金属薄板11形成并包括多个掩模图案单元12。掩模图案单元12使得在母板(未示出)上能够制造包括有机EL装置的多个单元装置。各掩模图案单元12与单元装置对应。各掩模图案单元12包括与将沉积在母板上的单元装置的形状和图案对应的多个开口12a。

如图1中的箭头所指，通过在x方向和y方向上施加拉力将掩模10固定在框20上。框20包括左右支撑条21、上下支撑条22和开口23。

当掩模10固定在框20上时，应当使拉力均匀地施加到掩模10，而且开口12a的宽度应当保持在预定的公差内。

即使当掩模固定在框上时，按照传统设计的掩模的重力也会使其下垂。为了防止掩模下垂，在掩模上施加拉力，这会导致框20的左右支撑条21向内弯曲，上下支撑条22向外弯曲，如图2所示。也有可能，左右支撑条21会向外弯曲，上下支撑条22会向内弯曲。

如上所述，即使当掩模10固定在框20上并施加均匀的拉力时，开口12a的形状也会扭曲。这会在形成于基板上的单元装置的电极图案(未示出)与掩模图案单元12的开口12a之间产生误差。

为了解决上面的问题，韩国公布的第2003-0046090号和第2003-0093959号专利公开了一种用于沉积有机EL装置的薄膜的掩模框组件，其中，图案掩模分为多个单位图案掩模，分开的单位图案掩模的两端被固定到框，并在框上施加拉力。

根据传统的掩模框组件，分开的单位图案掩模被焊接到框上，以防止掩模图案单元的开口由于拉力而变形。然而，在坚固性方面和在固定到框上的相邻的单位图案掩模之间保持期望的间隙方面仍存在问题。

发明内容

本发明提供了一种掩模组件以及一种使用该掩模组件的掩模框组件，其中，该掩模组件通过将单位图案掩模附于开口掩模上而能够保持单位图案掩模之间的间隙和坚固性，该开口掩模包括在行或列上的单元装置处的开口。

根据本发明的一方面，提供了一种用于沉积平板显示器的薄膜的掩模组件，该掩模组件包括：开口掩模，包括在行或列上排列的多个第一开口；图案掩模，包括多个单位图案掩模，各单位图案掩模的两端固定在开口掩模的行方向或列方向上，从而使拉力施加到单位图案掩模，其中，单位图案掩模包括与开口掩模的多个第一开口对应的多个掩模图案单元。

单位图案掩模可包括与开口掩模的多个第一开口中排列在行方向上的第一开口对应的多个掩模图案单元。各掩模图案单元可包括在开口掩模的列方向上排列且在列方向上具有长边的多个第二开口。掩模图案单元可包括多个第二开口，所述第二开口的图案与平板显示器的薄膜的图案相同。

单位图案掩模可形成为带状，并在开口掩模的行方向上附于开口掩模上。单位图案掩模可包括与开口掩模的第一开口中排列在行方向上的第一开口对应的多个掩模图案单元。各掩模图案单元可包括在列方向上延长且在行方向上排列的多个槽。

根据本发明的另一方面，提供了一种用于沉积平板显示器的薄膜的掩模框组件，该掩模框组件包括：框，包括第一开口；第一掩模，包括排列在第一开口内的多个第二开口；第二掩模，包括多个单位图案掩模，所述单位图案掩模的两端在第一掩模的列或行方向上固定到第一掩模上，用于使拉力施加到第二掩模，其中，第二掩模包括与第一掩模的第二开口对应的多个掩模图案单元。

第二掩模可包括与第一掩模的第二开口中排列在第一掩模的行方向上的第二开口对应的多个掩模图案单元。各掩模图案单元可包括在第一掩模的列方向上延长且在第一掩模的行方向上排列的多个第三开口。所述各掩模图案单元可包括多个第三开口，所述第三开口的图案与平板显示器的薄膜的图案相同。

单位图案掩模可形成为带状，并在第一掩模的行方向上附于第一掩模上。单位图案掩模可包括与第二开口对应且在第一掩模的行方向上排列的多个掩模图案单元。所述各掩模图案单元可包括在第一掩模的列方向上延长且在第一掩模的行方向上排列的多个槽。

附图说明

通过参照附图来详细描述本发明的示例性实施例，本发明的上述和/或其他方面将会变得更加清楚，附图中：

图1是用于沉积有机电致发光(EL)装置的薄膜的传统的掩模框组件的分解透视图；

图2是用于沉积有机EL装置的薄膜的传统的掩模框组件的平面图；

图3是根据本发明一个实施例的开口掩模的透视图；

图4是根据本发明一个实施例的开口掩模和单位图案掩模的分解透视图；

图5是根据本发明一个实施例的单位图案掩模的透视图；

图6是根据本发明一个实施例的掩模框组件的平面图；

图7是根据本发明一个实施例的掩模框组件的局部分解透视图。

具体实施方式

图3是作为本发明的一些实施例中使用的用于沉积有机电致发光(EL)装置的薄膜的掩模组件的一部分的开口掩模的一个实施例。

参照图3，开口掩模30的一个实施例包括与将形成在母板(未示出)上的多个单元装置对应的多个开口33。这里，母板指利用掩模组件可在其上形成有机EL装置的基板。在一些实施例中，在利用掩模成型之后，通过划线从母板切割各单元装置以形成一个有机EL装置。

在本发明的一些实施例中，开口掩模30包括相对于彼此平行的多个肋36，多个肋36的排列方式为在各肋36之间隔开相等的间隙。肋36在列方向(根据图3的坐标系的y方向)上延伸，多个肋37相对于彼此平行，且其排列方式为在各肋37之间隔开相等的间隙。肋37可在行方向(根据图3的坐标系的x方向)上延伸。通常，肋36和肋37彼此相交以形成多个开口33，如图3所示。标号31(图3中)表示在外面部分处的肋的一个实施例。通常，开口掩模30的开口33排列成与将形成在母板上的单元装置的图案对应。

参照图4，本发明的一些实施例包括开口掩模30和图案掩模40。在一些实施例中，图案掩模40包括多个单位图案掩模45。通常，各单位图案掩模45形成为矩形形状的薄板。然而，值得提醒的是，单位图案掩模45可以以其它形状形成。通常，单位图案掩模45包括沿着单位图案掩模45的长度在行方向(x方向)上排列的多个掩模图案单元41。

在一些实施例中，掩模图案单元41被构造成与将形成在母板上的各有机EL装置的期望的图案对应。通常，掩模图案单元41包括呈矩形形状并在列方向(y方向)上跨过单位图案掩模45的宽度的部分延伸的多个开口41a，如图5中所示。然而，掩模图案单元41和开口41a可以具有不同的形状和取向。掩模图案单元41的开口41a可通过遮蔽单元41b分离。通常，遮蔽单元41b相对于彼此平行延长，并沿着单位图案掩模45的宽度在列方向(y方向)上延伸。

在本发明的一个实施例中，多个掩模图案单元41沿着各单位图案掩模45的长度(行，x方向)排列。通常，掩模图案单元41在单位图案掩模45上的排列方式为，掩模图案单元41基本与开口掩模30的开口33对齐。通常，各单位图案掩模45的端部由开口掩模30支撑。见图4。通常，该端部是延长的单位图案掩模45的矩形的短边或长边。在一些实施例中，在开口掩模30上对单位图案掩模45的端部的支撑使得拉力被施加到单位图案掩模45。

通常，单位图案掩模45被焊接到开口掩模30上，从而掩模图案单元41与开口33基本对齐。有利的方面是，这便利了图案掩模40相对于开口掩模30的放置。此外，这提供了图案掩模40的提高了的稳定性，而且能以提高了的精度排列掩模图案。在一些实施例中，这使得单位图案掩模45之间的距离保持在预定的范围内。

这里，单位图案掩模45在与掩模图案单元41的遮蔽单元41b相交的方向上由开口掩模30来支撑，并通过肋36来保持单位图案掩模45之间的距离。

当通过焊接使单位图案掩模45附于开口掩模时，单位图案掩模45的掩模图案单元41与开口掩模30的开口33对应，因而，易于相对于开口掩模30排列图案掩模40，而且提高了这种排列的稳定性。因此，可保持单位图案掩模45之间的间隙。

在本发明的一个实施例中，图案掩模40的单位图案掩模45形成为带状的薄板。然而，单位图案掩模45可以以其它各种形状形成。

此外，单位图案掩模45的掩模图案单元41在单位图案掩模45的宽度方向(y方向)上形成为槽。然而，掩模图案单元41可以以其它各种开口图案形成。

参照图6和图7，在一些实施例中，掩模框组件100包括由框50支撑的开口掩模30和图案掩模40，这就使拉力施加到框50和图案掩模40。通常，框50包括上下支撑部分、左右支撑部分和单个开口51。在一些实施例中，框50，例如图7中所表示的框，用作用于掩模框组件100的框结构。然而，各种结构的框只要能够支撑掩模组件就可以使用。

在掩模框组件100的一些实施例中，如图4所示，多个单位图案掩模45在行方向上由开口掩模30来支撑。通常，开口掩模30的开口33的排列方式为，由与开口掩模30的边缘最接近的开口33的外面边缘限定的周边与框50的开口51对应。

在一些实施例中，本发明用于沉积有机EL装置中的薄膜。然而，本发明可用于沉积各种平板显示器例如液晶显示(LCD)设备的电极图案。也值得提醒的是，本发明能用于沉积其它用途的薄膜。

如上所述，本发明的一些实施例包括：单位图案掩模，在行方向(x方向)上由开口掩模支撑；掩模图案单元，在行方向(x方向)上排列在单位图案掩模上；掩模图案单元内的开口，在列方向(y方向)上形成为槽。然而，掩模图案单元内的开口可在行方向(x方向)上形成为槽。单位图案掩模在列方向(y方向)上可由开口掩模来支撑，单位图案掩模的掩模图案单元可在行方向(x方向)上排列，掩模图案单元的开口可在行方向(x方向)上或在列方向(y方向)上形成为槽。

本发明的优点之一是，单位图案掩模45之间的间隙可保持在预定的范围内，因而提高了掩模的稳定性。

尽管已经参照本发明的示例性实施例示出和描述了本发明，但是本领域的普通技术人员应该明白，在不脱离由权利要求限定的本发明的精神和范围的情况下，可以在形式和细节上进行各种改变。

本申请要求于2004年11月18日提交到韩国知识产权局的韩国专利申请第10-2004-0094505号的优先权，该申请的内容通过引用全部公开于此。

Claims (2)

1.一种用于沉积平板显示器的薄膜的掩模组件，所述掩模组件包括：

开口掩模，包括在行或列上排列的多个第一开口，所述行形成在第一方向上，所述列形成在第二方向上；

图案掩模，包括沿所述第二方向排列的多个单位图案掩模；

其中，在所述第一方向上通过焊接将各单位图案掩模的两端固定到所述开口掩模，而使拉力施加到各单位图案掩模，

其中，所述单位图案掩模延长并附于所述开口掩模，使得所述延长的边取向为所述第一方向，

其中，各单位图案掩模包括与所述第一开口的单个行对应的多个掩模图案单元，

其中，各掩模图案单元包括多个槽，所述多个槽沿所述第二方向延长且局部延伸并沿着所述第一方向排列，

其中，所述多个单位图案掩模彼此分开。

2.一种用于沉积平板显示器的薄膜的掩模框组件，所述掩模框组件包括：

框，包括第一开口；

第一掩模，包括在行和列上排列的多个第二开口，所述行形成在第一方向上，所述列形成在所述第二方向上，排列所述第二开口使其安装在由所述第一开口的周边限定的区域内；

第二掩模，包括沿所述第二方向排列且彼此分开的多个单位图案掩模，其中，各单位图案掩模包括与所述第一掩模的所述多个第二开口对应的多个掩模图案单元；

其中，通过焊接将各单位图案掩模的两端在所述第一方向上固定到所述第一掩模，而使拉力施加到各单位图案掩模，

其中，所述单位图案掩模在所述第一掩模的所述第一方向上延长并附于所述第一掩模，

其中，所述单位图案掩模包括与所述第二开口的行对应的多个掩模图案单元，

其中，各掩模图案单元包括多个延长的槽，所述槽沿所述第二方向延伸。