CN102362363A - 附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法 - Google Patents

附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102362363A
CN102362363A CN201080012960XA CN201080012960A CN102362363A CN 102362363 A CN102362363 A CN 102362363A CN 201080012960X A CN201080012960X A CN 201080012960XA CN 201080012960 A CN201080012960 A CN 201080012960A CN 102362363 A CN102362363 A CN 102362363A
Authority
CN
China
Prior art keywords
battery cell
solar battery
wiring substrate
back electrode
type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201080012960XA
Other languages
English (en)
Inventor
三上塁
安彦义哉
森井浩二郎
里村雅史
冈田英生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Publication of CN102362363A publication Critical patent/CN102362363A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02—Details
    • H01L31/0224—Electrodes
    • H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • H01L31/022441—Electrode arrangements specially adapted for back-contact solar cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
    • H01L31/048—Encapsulation of modules
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042—PV modules or arrays of single PV cells
    • H01L31/05—Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells
    • H01L31/0504—Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells specially adapted for series or parallel connection of solar cells in a module
    • H01L31/0516—Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells specially adapted for series or parallel connection of solar cells in a module specially adapted for interconnection of back-contact solar cells
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Abstract

本发明涉及一种附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法。该附配线基板的太阳能电池单元的制造方法包括将背面电极型太阳能电池单元(8)的至少部分边缘部粘接在配线基板(10)上的暂时固定工序；该太阳能电池组件的制造方法包括利用封装材料(18)将通过上述方法得到的附配线基板的太阳能电池单元封装在透明基板(17)上的工序；所述附配线基板的太阳能电池单元在背面电极型太阳能电池单元(8)与配线基板(10)之间设置第一粘接材料，并且在背面电极型太阳能电池单元(8)的至少部分边缘部上设置用于粘接背面电极型太阳能电池单元(8)和配线基板(10)的第二粘接材料；所述太阳能电池组件利用封装材料(18)将该附配线基板的太阳能电池单元封装在透明基板(17)上。

Description

附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法
技术领域
本发明涉及附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法
背景技术
近年来，特别是基于保护地球环境的观点，将太阳能转换为电能的太阳能电池单元作为新一代能源的期待急剧提高。虽然太阳能电池单元的种类包括使用化合物半导体的太阳能电池单元、及使用有机材料的太阳能电池单元等形形色色的种类，但现在，使用硅晶体的太阳能电池单元已成为主流。
目前，制造及销售最多的太阳能电池单元是在太阳光射入侧的一面(受光侧)形成n电极、在与受光面相反侧的一面(背面)形成p电极而构成的双面电极型太阳能电池单元。
此外，例如在日本特开2005-310830号公报(专利文献1)中，公开了在太阳能电池单元的受光面不形成电极、而仅在太阳能电池单元的背面形成n电极及p电极的背面电极型太阳能电池单元。
对于上述专利文献1所公开的结构的背面电极型太阳能电池单元单体而言，其可利用的电能有限，因此，需要研究将多个上述结构的背面电极型太阳能电池单元进行电连接而形成太阳能电池组件的方法。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2005-310830号公报
专利文献2：日本特开2001-036118号公报
在此，作为通过将多个背面电极型太阳能电池单元进行电连接而形成太阳能电池组件的方法，可以考虑通过将附配线基板的太阳能电池单元封装在封装材料中而形成太阳能电池组件的方法，所述附配线基板的太阳能电池单元是背面电极型太阳能电池单元设置在配线基板上而形成的。
下面参照图8(a)及图8(b)的示意性剖面图，针对通过将上述的附配线基板的太阳能电池单元封装在封装材料中来制作太阳能电池组件的方法的一例进行说明。
首先，如图8(a)所示，通过在配线基板100上设置背面电极型太阳能电池单元80，制作附配线基板的太阳能电池单元。
在此，在附配线基板的太阳能电池单元中，第一导电型用电极6设置在第一导电型用配线12上，并且第二导电型用电极7设置在第二导电型用配线13上，其中，所述第一导电型用电极6与背面电极型太阳能电池单元80的半导体基板1背面的第一导电型杂质扩散区域2连接，所述第一导电型用配线12形成在配线基板100的绝缘基体材料11上，所述第二导电型用电极7与背面电极型太阳能电池单元80的半导体基板1背面的第二导电型杂质扩散区域3连接，所述第二导电型用配线13形成在配线基板100的绝缘基体材料11上。
需要说明的是，在背面电极型太阳能电池单元80的半导体基板1的受光面上形成了纹理结构，在其纹理结构上形成了防反射膜5。另外，在背面电极型太阳能电池单元80的半导体基板1的背面形成了钝化膜4。
接着，如图8(b)所示，将上述制作的附配线基板的太阳能电池单元夹在具有乙烯-醋酸乙烯酯等封装材料18的玻璃基板等透明基板17与具有封装材料18的聚脂膜等背膜19之间并进行加热，由此将构成附配线基板的太阳能电池单元的背面电极型太阳能电池单元80封装在封装材料18中，从而制作出太阳能电池组件。
根据上述方法，由于仅在配线基板100上设置背面电极型太阳能电池单元80就能够将多个背面电极型太阳能电池单元80进行电连接，因此，能够有效地制造太阳能电池组件。
然而，在上述方法中，如果在封装工序中对附配线基板的太阳能电池单元进行加热而未对背面电极型太阳能电池单元80与配线基板100进行物理固定，那么，由于背面电极型太阳能电池单元80的半导体基板1的热膨胀及封装材料18的流动化等，背面电极型太阳能电池单元80相对于配线基板100的相对位置有时会发生偏移。
此外，在日本特开2001-036118号公报(专利文献2)中，公开了通过将封装材料的一部分预先固化来进行固定、从而防止双面电极型太阳能电池单元位置偏移的方法。
更具体来说，在专利文献2所述的方法中，在双面电极型太阳能电池单元的受光面侧预先涂布紫外线固化树脂，然后再设置双面电极型太阳能电池单元，之后在双面电极型太阳能电池单元的背面侧涂布热固性液体树脂。然后，对紫外线固化树脂照射紫外线，使紫外线固化树脂固化，从而对双面电极型太阳能电池单元的位置进行固定，然后对热固性液体树脂进行加热，使热固性液体树脂固化，从而对双面电极型太阳能电池单元进行了封装。
然而，在专利文献2所述的方法中，从防止双面电极型太阳能电池单元的位置偏移的观点来看，需要提高用于固定双面电极型太阳能电池单元的紫外线固化树脂的交联度。但如果提高了紫外线固化树脂的交联度，则紫外线固化树脂与热固性液体树脂的附着性恶化，出现双面电极型太阳能电池单元的封装性降低的问题。
另外，在上述的附配线基板的太阳能电池单元中，因为必须使背面电极型太阳能电池单元80的电极间距相当狭窄、并且使背面电极型太阳能电池单元80与配线基板100的相对位置精度为相当高的精度，因此，迫切期待与此对应的附配线基板的太阳能电池单元及太阳能电池组件的结构以及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法。
发明内容
本发明鉴于上述问题而完成，本发明的目的在于提供能够有效地抑制背面电极型太阳能电池单元相对于配线基板的位置偏移的附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法。
本发明涉及制造附配线基板的太阳能电池单元的方法，所述附配线基板的太阳能电池单元具备背面电极型太阳能电池单元和配线基板，
所述背面电极型太阳能电池单元具有：形成了第一导电型杂质扩散区域及第二导电型杂质扩散区域的半导体基板、形成在对应第一导电型杂质扩散区域的半导体基板的一面侧上的第一导电型用电极、及形成在对应第二导电型杂质扩散区域的半导体基板的一面侧上的第二导电型用电极；
所述配线基板具有：绝缘基体材料、以及设置在绝缘基体材料上的第一导电型用配线和第二导电型用配线，
该方法包括如下工序：
设置工序，在配线基板上设置背面电极型太阳能电池单元，使得背面电极型太阳能电池单元的第一导电型用电极设置在配线基板的第一导电型用配线上、并且使背面电极型太阳能电池单元的第二导电型用电极设置在配线基板的第二导电型用配线上；以及
暂时固定工序，将背面电极型太阳能电池单元的至少部分边缘部粘接在配线基板上。
另外，在本发明的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法中，优选在所述设置工序之前具有在背面电极型太阳能电池单元和/或配线基板上预先涂布第一粘接材料的工序。在此，暂时固定工序优选包括将位于背面电极型太阳能电池单元的至少部分边缘部的第一粘接材料固化的工序。
另外，在本发明的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法中，优选暂时固定工序包括将含有紫外线固化树脂的第二粘接材料固化的工序，所述第二粘接材料设置在背面电极型太阳能电池单元的至少部分边缘部与配线基板之间。
另外，在本发明的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法中，优选暂时固定工序包括在背面电极型太阳能电池单元的至少部分边缘部与配线基板之间粘贴粘合带的工序。
另外，在本发明的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法中，优选背面电极型太阳能电池单元为具有由短边或圆弧构成的四个角的大致八角形的形状，并且背面电极型太阳能电池单元的边缘部包括四个角。
另外，本发明涉及太阳能电池组件的制造方法，该方法包括利用封装材料将附配线基板的太阳能电池单元封装在透明基板上的工序，所述附配线基板的太阳能电池单元是通过上述附配线基板的太阳能电池单元的制造方法制造的。
另外，本发明涉及附配线基板的太阳能电池单元，其具备背面电极型太阳能电池单元和配线基板，
所述背面电极型太阳能电池单元具有：形成了第一导电型杂质扩散区域及第二导电型杂质扩散区域的半导体基板、形成在对应第一导电型杂质扩散区域的半导体基板的一面侧上的第一导电型用电极、及形成在对应第二导电型杂质扩散区域的半导体基板的一面侧上的第二导电型用电极；
所述配线基板具有：绝缘基体材料、以及设置在绝缘基体材料上的第一导电型用配线和第二导电型用配线，
其中，在配线基板上设置背面电极型太阳能电池单元，使得背面电极型太阳能电池单元的第一导电型用电极与配线基板的第一导电型用配线电连接、并且使背面电极型太阳能电池单元的第二导电型用电极与配线基板的第二导电型用配线电连接；在背面电极型太阳能电池单元与配线基板之间设置第一粘接材料，并且在背面电极型太阳能电池单元的至少部分边缘部上设置用于将背面电极型太阳能电池单元与配线基板粘接的第二粘接材料。
此外，本发明涉及太阳能电池组件，其中，利用封装材料将上述附配线基板的太阳能电池单元封装在透明基板上。
根据本发明，可以提供能够有效地抑制背面电极型太阳能电池单元相对于配线基板的位置偏移的附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法。
附图说明
图1是本发明的太阳能电池组件的一例的示意性剖面图；
图2(a)～(g)是针对本发明的太阳能电池组件所使用的背面电极型太阳能电池单元的制造方法的一例进行图解的示意性剖面图；
图3是本发明的太阳能电池组件所使用的背面电极型太阳能电池单元的背面的一例的示意性俯视图；
图4(a)～(d)是针对本发明的太阳能电池组件所使用的配线基板的制造方法的一例进行图解的示意性剖面图；
图5是本发明的太阳能电池组件所使用的配线基板的一例的示意性俯视图；
图6(a)～(d)是针对本发明的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法的一例进行图解的示意性剖面图；
图7是图解本发明中紫外线固化树脂的涂布位置的一例的示意性俯视图；
图8(a)及(b)是针对通过将附配线基板的太阳能电池单元封装在封装材料中而制作太阳能电池组件的方法的一例进行图解的示意性剖面图。
附图标记说明
1半导体基板；1a切片损伤层；2第一导电型杂质扩散区域；3第二导电型杂质扩散区域；4钝化膜；4a，4b接触孔；5防反射膜；6第一导电型用电极；7第二导电型用电极；8，80背面电极型太阳能电池单元；10，100配线基板；11绝缘基体材料；12，12a第一导电型用配线；13，13a第二导电型用配线；14连接用配线；16连接材料；17透明基板；18封装材料；19背膜；20紫外线固化树脂；41导电层；42抗蚀图案；43箭头；60第一导电型用集电电极；70第二导电型用集电电极。
具体实施方式
以下说明本发明的实施方式。需要说明的是，在本发明的附图中，相同的附图标记表示相同部分或相当的部分。
图1示出的是本发明的太阳能电池组件的一例的示意性剖面图。图1所示结构的太阳能电池组件如下构成：将附配线基板的太阳能电池单元封装在玻璃基板等透明基板17与聚酯膜等背膜19之间的乙烯-乙酸乙烯酯等的封装材料18中，所述附配线基板的太阳能电池单元是在配线基板10上设置有背面电极型太阳能电池单元8而构成的。
在此，背面电极型太阳能电池单元8包括：半导体基板1、形成在半导体基板1背面的第一导电型杂质扩散区域2及第二导电型杂质扩散区域3、与第一导电型杂质扩散区域2连接而形成的第一导电型用电极6、和与第二导电型杂质扩散区域3连接而形成的第二导电型用电极7。
另外，在背面电极型太阳能电池单元8的半导体基板1的受光面上形成有纹理结构等凹凸结构，且形成防反射膜5以覆盖其凹凸结构。另外，在背面电极型太阳能电池单元8的半导体基板1的背面上形成有钝化膜4。
需要说明的是，在该例中，第一导电型杂质扩散区域2及第二导电型杂质扩散区域3分别形成为在图1的纸面的表面侧和/或背面侧延伸的带状，并且第一导电型杂质扩散区域2和第二导电型杂质扩散区域3在半导体基板1的背面交替地隔开规定的间隔而配置。
此外，在该例中，第一导电型用电极6及第二导电型用电极7也分别形成为在图1的纸面的表面侧和/或背面侧延伸的带状，并且第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别通过设置在钝化膜4上的开口部，沿半导体基板1背面的第一导电型杂质扩散区域2及第二导电型杂质扩散区域3，分别与第一导电型杂质扩散区域2及第二导电型杂质扩散区域3连接而形成。
另一方面，配线基板10包括：绝缘基体材料11、和在绝缘基体材料11的表面上形成为规定形状的第一导电型用配线12及第二导电型用配线13。
另外，配线基板10的绝缘基体材料11上的第一导电型用配线12形成为与背面电极型太阳能电池单元8背面的第一导电型用电极6逐条互相相向的形状。
另外，配线基板10的绝缘基体材料11上的第二导电型用配线13形成为与背面电极型太阳能电池单元8背面的第二导电型用电极7逐条互相相向的形状。
需要说明的是，在该例中，第一导电型用配线12及第二导电型用配线13也分别形成为在图1的纸面的表面侧和/或背面侧延伸的带状。
而且，上述的背面电极型太阳能电池单元8与上述的配线基板10通过设置在背面电极型太阳能电池单元8的至少部分边缘部的紫外线固化树脂20而接合，并且还通过在设置了紫外线固化树脂20的背面电极型太阳能电池单元8的边缘部内侧的背面电极型太阳能电池单元8与配线基板10之间的区域所设置的连接材料16而接合。
下面针对图1所示结构的太阳能电池组件的制造方法的一例进行说明。下面首先对背面电极型太阳能电池单元8的形成方法进行说明，然后说明配线基板10的形成方法，接着针对背面电极型太阳能电池单元8与配线基板10粘接而形成附配线基板的太阳能电池单元的方法进行说明。但在本发明中，对于背面电极型太阳能电池单元8与配线10的形成顺序没有特别限定。
首先，如图2(a)的示意性剖面图所示，例如通过从铸锭上进行切片等，准备在半导体基板1的表面形成了切片损伤层1a的半导体基板1。在此，作为半导体基板1，例如可以采用由具有n型或p型中的任一种导电型的多晶硅或单晶硅等构成的硅基板。
接着，如图2(b)的示意性剖面图所示，除去半导体基板1表面的切片损伤层1a。在此，切片损伤层1a的除去可以通过下述方法进行，例如，在半导体基板1由上述硅基板构成的情况下，可以利用氢氟酸水溶液与硝酸的混酸或氢氧化钠等碱性溶液对上述切割后的硅基板的表面进行蚀刻等。
在此，对除去切片损伤层1a后的半导体基板1的大小及形状也没有特别限定，半导体基板1的厚度可以为例如50μm以上且400μm以下，特别优选为160μm左右。
接着，如图2(c)的示意性剖面图所示，在半导体基板1的背面分别形成第一导电型杂质扩散区域2及第二导电型杂质扩散区域3。在此，第一导电型杂质扩散区域2例如可以通过使用含有第一导电型杂质的气体的气相扩散等方法而形成，第二导电型杂质扩散区域3例如可以通过使用含有第二导电型杂质的气体的气相扩散等方法而形成。
在此，第一导电型杂质扩散区域2含有第一导电型杂质，只要是显示n型或p型的导电型的区域就没有特别限定。另外，作为第一导电型杂质，当第一导电型为n型时，例如可以使用磷等n型杂质；当第一导电型为p型时，例如可以使用硼或铝等p型杂质。
另外，第二导电型杂质扩散区域3含有第二导电型杂质，只要是显示与第一导电型杂质扩散区域2相反的导电型的区域就没有特别限定。另外，作为第二导电型杂质，当第二导电型为n型时，例如可以使用磷等n型杂质；当第二导电型为p型时，例如可以使用硼或铝等p型杂质。
需要说明的是，第一导电型也可为n型或p型中的任一种导电型，第二导电型只要是与第一导电型相反的导电型即可。即，第一导电型为n型时，第二导电型为p型；第一导电型为p型时，第二导电型为n型。
另外，作为含有第一导电型杂质的气体，当第一导电型为n型时，例如可以使用POCl3这样的含有磷等n型杂质的气体；当第一导电型为p型时，例如可以使用BBr3这样的含有硼等p型杂质的气体。
另外，作为含有第二导电型杂质的气体，当第二导电型为n型时，例如可以使用POCl3这样的含有磷等n型杂质的气体；当第二导电型为p型时，例如可以使用BBr3这样的含有硼等p型杂质的气体。
接着，如图2(d)的示意性剖面图所示，在半导体基板1的背面形成钝化膜4。在此，钝化膜4可以通过例如热氧化法或等离子体CVD(化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition))法等方法形成。
在此，作为钝化膜4，例如可以使用氧化硅膜、氮化硅膜、或氧化硅膜与氮化硅膜的叠层体等，但并不限定于这些。
另外，钝化膜4的厚度例如可以为0.05μm以上且1μm以下，特别优选为0.2μm左右。
接着，如图2(e)的示意性剖面图所示，在半导体基板1的整个受光面上形成纹理结构等凹凸结构，然后在其凹凸结构上形成防反射膜5。
在此，纹理结构例如可以通过对半导体基板1的受光面进行蚀刻而形成。例如，当半导体基板1为硅基板时，可以通过使用蚀刻液对半导体基板1的受光面进行蚀刻来形成纹理结构，所述蚀刻液是将在例如氢氧化钠或氢氧化钾等的碱水溶液中添加了异丙醇的液体加热至例如70℃以上且80℃以下而得到的。
此外，防反射膜5可以通过例如等离子体CVD法等形成。需要说明的是，作为防反射膜5，例如可以使用氮化硅膜等，但并不限定于此。
接着，如图2(f)的示意性剖面图所示，通过除去半导体基板1背面的钝化膜4的一部分，形成接触孔4a及接触孔4b。在此，形成接触孔4a使得第一导电型杂质扩散区域2的至少部分表面露出，形成接触孔4b使得第二导电型杂质扩散区域3的至少部分表面露出。
另外，接触孔4a及接触孔4b可分别通过下述方法等形成，即，例如使用光刻技术，在钝化膜4上形成在对应接触孔4a及接触孔4b的形成位置的部分具有开口的抗蚀图案，然后利用蚀刻等从抗蚀图案的开口除去钝化膜4的方法；或者在对应接触孔4a及接触孔4b的形成位置的钝化膜4的部分涂布蚀刻膏，然后通过加热来蚀刻除去钝化膜4的方法等。
接着，如图2(g)的示意性剖面图所示，形成第一导电型用电极6和第二导电型用电极7，所述第一导电型用电极6通过接触孔4a与第一导电型杂质扩散区域2连接，所述第二导电型用电极7通过接触孔4b与第二导电型杂质扩散区域3连接，由此制作出背面电极型太阳能电池单元8。
在此，作为第一导电型用电极6及第二导电型用电极7，例如可以使用由银等金属制成的电极。
图3示出的是按照上述说明制作的背面电极型太阳能电池单元8的背面的一例的示意性俯视图。在此，在背面电极型太阳能电池单元8的背面，第一导电型用电极6及第二导电型用电极7分别形成为带状。而且，带状的多个第一导电型用电极6分别与一个带状的第一导电型用集电电极60连接，带状的多个第二导电型用电极7分别与一个带状的第二导电型用集电电极70连接。需要说明的是，在该例中，第一导电型用集电电极60在与带状的第一导电型用电极6的纵长方向垂直的方向上延伸而形成，第二导电型用集电电极70在与带状的第二导电型用电极7的纵长方向垂直的方向上延伸而形成。
因此，在图3所示结构的背面电极型太阳能电池单元8的背面，通过一个第一导电型用集电电极60与多个第一导电型用电极6形成一个梳形电极，通过一个第二导电型用集电电极70与多个第二导电型用电极7形成一个梳形电极。而且，相当于该梳形电极的梳齿的第一导电型用电极6与第二导电型用电极7相互相向、逐条啮合所述梳齿而配置。并且在带状的第一导电型用电极6所连接的半导体基板1的背面部分配置一条带状的第一导电型杂质扩散区域2，在带状的第二导电型用电极7所连接的半导体基板1的背面部分配置一条带状的第二导电型杂质扩散区域3。
另外，配线基板10例如可如下制作。首先，如图4(a)的示意性剖面图所示，在绝缘基体材料11的表面上形成导电层41。在此，作为绝缘基体材料11，例如可以使用由聚酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚酰亚胺等树脂构成的基板，但并不限定于此。
另外，绝缘基体材料11的厚度可以为例如10μm以上且200μm以下，特别优选为25μm左右。
另外，作为导电层41，例如可以使用由铜等金属形成的层，但并不限定于此。
接着，如图4(b)的示意性剖面图所示，在绝缘基体材料11表面的导电层41上形成抗蚀图案42。在此，所形成的抗蚀图案42为在第一导电型用配线12及第二导电型用配线13的形成位置以外的位置上具有开口的形状。作为构成抗蚀图案42的抗蚀剂，例如可以使用目前已公知的材料，通过丝网印刷、分配器(dipenser)涂布或喷墨涂布等方法进行涂布。
接着，如图4(c)的示意性剖面图所示，按照箭头43的方向除去从抗蚀图案42所露出的部分的导电层41，由此形成导电层41的图案，由导电层41的剩余部分形成第一导电型用配线12及第二导电型用配线13。
在此，导电层41的除去例如可通过使用酸或碱的溶液的湿式蚀刻等进行。
接着，如图4(d)的示意性剖面图所示，从第一导电型用配线12的表面及第二导电型用配线13的表面除去所有的抗蚀图案42，由此制作出配线基板10。
图5示出的是按照上述说明制作的配线基板10的表面的一例的示意性俯视图。在此，在配线基板10的绝缘基体材料11的表面上，第一导电型用配线12及第二导电型用配线13分别形成为带状。而且在配线基板10的绝缘基体材料11的表面上形成带状的连接用配线14，通过连接用配线14将第一导电型用配线12和第二导电型用配线13电连接。需要说明的是，与第一导电型用配线12及第二导电型用配线13同样地，连接用配线14例如可以由导电层41的剩余部分形成。
通过形成这样的结构，除分别位于配线基板10终端的梳形第一导电型用配线12a及梳形第二导电型用配线13a以外、邻接的第一导电型用配线12和第二导电型用配线13都通过连接用配线14进行电连接，因此，在配线基板10上邻接设置的背面电极型太阳能电池单元彼此之间相互电连接。由此，设置在配线基板10上的所有背面电极型太阳能电池单元都串联地电连接。
另外，附配线基板的太阳能电池单元例如可如下制作。
首先，如图6(a)的示意性剖面图所示，在上述制作的配线基板10的表面上涂布连接材料16。在此，连接材料16例如可以利用丝网印刷、分配器涂布或喷墨涂布等方法进行涂布。另外，作为连接材料16，例如可以使用热固性树脂等。作为热固性树脂，可以不受特别限制地使用具有电绝缘性、并通过加热而固化的树脂，例如可以使用目前已公知的热固性树脂。
另外，作为连接材料16，例如可以使用导电性的连接材料。在此，作为导电性的连接材料，例如可以使用含有用来与上述热固性树脂良好地电连接的导电性粒子的ACP(Anisotropic Conductive Paste)、共晶焊料、或导电性粘接剂等。当使用导电性的连接材料作为连接材料16时，连接材料16优选仅对配线基板10的绝缘基体材料11上的配线表面进行涂布。
接着，如图6(b)的示意性剖面图所示，在配线基板10上设置背面电极型太阳能电池单元8。
在此，如图6(c)的示意性剖面图所示，背面电极型太阳能电池单元8按照如下的方式设置在配线基板10上，即，在配线基板10的第一导电型用配线12上设置背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6、并且在配线基板10的第二导电型用配线13上设置背面电极型太阳能电池单元8的第二导电型用电极7。此时，位于背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6与配线基板10的第一导电型用配线12之间的连接材料16、以及位于背面电极型太阳能电池单元8的第二导电型用电极7与配线基板10的第二导电型用配线13之间的连接材料16分别被推向外侧。由此，第一导电型用电极6与第一导电型用配线12接触，从而确保其电连接；并且第二导电型用电极7与配线基板10的第二导电型用配线13也接触，从而确保其电连接。
然后，如图6(d)的示意性剖面图所示，在配线基板10上设置有背面电极型太阳能电池单元8的状态下，在背面电极型太阳能电池单元8的至少部分边缘部上涂布紫外线固化树脂20。在此，紫外线固化树脂20可以通过例如丝网印刷、分配器涂布或喷墨涂布等方法进行涂布。另外，作为紫外线固化树脂20，可以不受特别限制地使用通过照射紫外线(波长为1nm～400nm左右的光)而固化的树脂，例如，可以使用目前已公知的紫外线固化树脂。
图7示出的是图解本发明中紫外线固化树脂的涂布位置的一例的示意性俯视图。在此，紫外线固化树脂20分别涂布在背面电极型太阳能电池单元8的四个角的一部分，四个角分别相当于作为背面电极型太阳能电池单元8的平面形状的八角形的短边。
通过像这种在背面电极型太阳能电池单元8的角上涂布紫外线固化树脂20，与在不是背面电极型太阳能电池单元8的角的区域(在该例中是作为背面电极型太阳能电池单元8的平面形状的八角形的长边)上涂布紫外线固化树脂20的情况相比，能够在配线基板10上缩小与上下方向及左右方向邻接的背面电极型太阳能电池单元8彼此之间的间隔。
因此，在该情况下能够更紧密地配置背面电极型太阳能电池单元8，因此能够提高附配线基板的太阳能电池单元及太阳能电池组件的单位面积的受光面面积，从而能够分别提高附配线基板的太阳能电池单元及太阳能电池组件的特性。
需要说明的是，在上述说明中针对在背面电极型太阳能电池单元8的四个角的各自的一部分上涂布紫外线固化树脂20的情况进行了说明，但也可以对背面电极型太阳能电池单元8的四个角中至少一个角的全部涂布紫外线固化树脂20。
另外，在上述说明中针对在背面电极型太阳能电池单元8的四个角的所有角上涂布紫外线固化树脂20的情况进行了说明，但也可在背面电极型太阳能电池单元8的四个角中至少一个角上涂布紫外线固化树脂20。
另外，在上述说明中针对背面电极型太阳能电池单元8的四个角相当于八角形的短边的情况进行了说明，但该四个角的至少一个角也可以是例如圆弧状等的弧。
然后，通过对紫外线固化树脂20照射紫外线，使紫外线固化树脂20固化，由此，将配线基板10和背面电极型太阳能电池单元8接合而暂时固定。
然后，如图1所示，将上述制作的附配线基板的太阳能电池单元夹在具有乙烯-乙酸乙烯酯等封装材料18的玻璃基板等透明基板17与具有封装材料18的聚脂膜等背膜19之间并进行加热，由此将构成附配线基板的太阳能电池单元的背面电极型太阳能电池单元8封装在封装材料18中，由此制作太阳能电池组件。
此时，当位于附配线基板的太阳能电池单元的背面电极型太阳能电池单元8与配线基板10之间的连接材料16由热固性树脂构成时，加热连接材料16因加热而固化，从而将背面电极型太阳能电池单元8与配线基板10接合。
如上所述，在背面电极型太阳能电池单元8的至少部分边缘部上涂布紫外线固化树脂20，并且对紫外线固化树脂照射紫外线，由此使紫外线固化树脂固化，将背面电极型太阳能电池单元8和配线基板10暂时固定。然后，用封装材料18进行封装，所以，即使在封装工序中对附配线基板的太阳能电池单元进行了加热，由于背面电极型太阳能电池单元8的半导体基板1的热膨胀及封装材料18的流动化等，也能够抑制背面电极型太阳能电池单元8相对于配线基板10的相对位置的偏移。
因此，即使在背面电极型太阳能电池单元8的邻接的第一导电型用电极6与第二导电型用电极7之间的电极间距非常狭小的情况下，也能够将背面电极型太阳能电池单元8相对于配线基板10的相对位置精度保持在相当高的精度上，因此，能够大幅度提高附配线基板的太阳能电池单元及太阳能电池组件的制造效率。
由于紫外线固化树脂20能够通过调整紫外线的照射位置或照射量来适当调整固化位置和固化的程度，因此能够个别地调整背面电极型太阳能电池单元8的暂时固定状态，使太阳能电池组件的品质稳定。另外，优选使用固化后为无色透明的材质的紫外线固化树脂20，因为在该情况下不会破坏太阳能电池组件的外观。
此外，还可以使用粘合带等来代替紫外线固化树脂20。因为粘合带在设置时形状不发生改变，因此能够精度良好地确定暂时固定所使用的背面电极型太阳能电池单元8的边缘部，将暂时固定所未使用的区域作为发电区域来利用，因此，能够进一步提高背面电极型太阳能电池单元8的发电效率。
需要说明的是，将背面电极型太阳能电池单元8暂时固定在配线基板10上的粘接材料不限定于上述的紫外线固化树脂20和粘合带，还包括能粘接背面电极型太阳能电池单元8和配线基板10的所有的物质。
另外，对于用来暂时固定背面电极型太阳能电池单元8和配线基板10的粘接材料的设置而言，不限定于在配线基板10上设置有背面电极型太阳能电池单元8的状态下通过涂布或粘贴等而设置的方式，也包括通过在配线基板10或背面电极型太阳能电池单元8上粘贴等而预先设置的方式。例如，如图6(d)所示，在按照粘接材料的一部分覆盖背面电极型太阳能电池单元10的受光面的一部分的方式设置粘接材料的情况下，能够在配线基板10上设置有背面电极型太阳能电池单元8的状态下设置粘接材料。另外，例如在不易从太阳能电池组件的受光面看到粘接材料、或使粘接材料尽量不从背面电极型太阳能电池单元8的受光面突出的情况下，可以在配线基板10或背面电极型太阳能电池单元8上预先设置粘接材料、然后在配线基板10上设置背面电极型太阳能电池单元8。
另外，也可以仅使位于背面电极型太阳能电池单元8的至少部分边缘部的连接材料16固化，将背面电极型太阳能电池单元8的至少部分边缘部与配线基板10粘接而进行暂时固定。在该情况下，由于不需要使用紫外线固化树脂20和粘合带等部件，因此能够有效地降低太阳能电池组件的制造成本。
无论使用哪种方法，为了使背面电极型太阳能电池单元8的第一导电型用电极6与配线基板10的第一导电型用配线12电连接、并且使背面电极型太阳能电池单元8的第二导电型用电极7与配线基板10的第二导电型用配线13电连接，可以将背面电极型太阳能电池单元8暂时固定在配线基板10上，并能够使背面电极型太阳能电池单元8位置吻合地设置在配线基板10上的状态保持至之后的封装工序。
此外，在本发明的背面电极型太阳能电池单元的概念中，不仅只包括仅在上述半导体基板的一个表面侧(背面侧)形成第一导电型用电极及第二导电型用电极这两者的结构，还包括所有的MWT(Metal Wrap Through)单元(在半导体基板所设有的贯通孔上设置电极的一部分的结构的太阳能电池单元)等所谓的背接触式太阳能电池单元(从与太阳能电池单元的受光面相反侧的背面侧输出电流的结构的太阳能电池单元)。
另外，在本发明的附配线基板的太阳能电池单元的概念中，不仅包括将多个背面电极型太阳能电池单元设置在配线基板上的结构，还包括将一个背面电极型太阳能电池单元设置在配线基板上的结构。
实施例
<实施例>
首先，在具有具备规定形状的配线图案的绝缘基板的配线基板的表面上涂布热固性树脂。
接着，为了使背面电极型太阳能电池单元的电极设置在配线基板的配线上，在配线基板上设置了具有八角形状的表面的背面电极型太阳能电池单元。
然后，以在配线基板上设置有背面电极型太阳能电池单元的状态，在相当于背面电极型太阳能电池单元的边缘部的角的八角形短边上分别涂布紫外线固化树脂。
然后，对紫外线固化树脂照射紫外线，使紫外线固化树脂固化，由此，将配线基板与背面电极型太阳能电池单元接合而暂时固定。
然后，将上述制作的附配线基板的太阳能电池单元夹在具有乙烯-乙酸乙烯酯的玻璃基板与具有乙烯-乙酸乙烯酯的聚脂膜之间并进行加热，由此进行将构成附配线基板的太阳能电池单元的背面电极型太阳能电池单元封装在封装材料中的封装处理工序，从而制作了太阳能电池组件。
此时，在上述的封装处理工序前与封装处理工序后分别测定背面电极型太阳能电池单元相对于配线基板的相对位置，计算出封装处理工序前的相对位置与封装处理工序后的相对位置之差作为位置偏移量，其结果如表1所示。
另外，表1中的位置偏移量平均值表示一块背面电极型太阳能电池单元在8个位置的位置偏移量的平均值。另外，表1中的位置偏移量最大值表示一块背面电极型太阳能电池单元在8个位置的位置偏移量的最大值。
<比较例>
作为比较例，除了未进行上述的紫外线固化树脂的涂布及固化以外，其它都与实施例相同，计算出位置偏移量平均值及位置偏移量最大值，其结果如表1所示。
[表1]
  位置偏移量平均值   位置偏移量最大值
  实施例   30μm   55μm
  比较例   50μm   145μm
如表1所示，实施例中的位置偏移量平均值为30μm，比较例中的位置偏移量平均值为50μm。
另外，如表1所示，实施例中的位置偏移量最大值为55μm，比较例中的位置偏移量最大值为145μm。
因此，在采用紫外线固化树脂进行暂时固定的实施例中，与未采用紫外线固化树脂进行暂时固定的比较例相比，确认到位置偏移量平均值能够降低20μm、位置偏移量最大值能够降低90μm。
本次公开的实施方式及实施例在所有方面都仅仅是举例而不应该认为是限定。本发明的范围不是上述的说明而是由权利要求书来表示，其包括与权利要求范围等同的含义及在其范围内的所有变更。
工业实用性
本发明可以适用于附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法。

Claims (9)

1.一种附配线基板的太阳能电池单元的制造方法，所述附配线基板的太阳能电池单元具备背面电极型太阳能电池单元(8)和配线基板(10)，
所述背面电极型太阳能电池单元(8)具有：形成了第一导电型杂质扩散区域(2)及第二导电型杂质扩散区域(3)的半导体基板(1)、与所述第一导电型杂质扩散区域(2)对应而形在所述半导体基板(1)的一面侧上的第一导电型用电极(6)、及与所述第二导电型杂质扩散区域(3)对应而形成在所述半导体基板(1)的所述一面侧上的第二导电型用电极(7)；
所述配线基板(10)具有：绝缘基体材料(11)、和设置在所述绝缘基体材料(11)上的第一导电型用配线(12，12a)及第二导电型用配线(13，13a)，
所述附配线基板的太阳能电池单元的制造方法包括下述工序：
设置工序，在所述配线基板(10)上设置所述背面电极型太阳能电池单元(8)，使得所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第一导电型用电极(6)设置在所述配线基板(10)的所述第一导电型用配线(12，12a)上、并且使所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第二导电型用电极(7)设置在所述配线基板(10)的所述第二导电型用配线(13，13a)上；以及
暂时固定工序，将所述背面电极型太阳能电池单元(8)的至少部分边缘部粘接在所述配线基板(10)上。
2.根据权利要求1所述的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法，其中，在所述设置工序之前具有在所述背面电极型太阳能电池单元(8)和/或所述配线基板(10)上预先涂布第一粘接剂的工序。
3.根据权利要求2所述的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法，其中，所述暂时固定工序包括将位于所述背面电极型太阳能电池单元(8)的至少部分边缘部的所述第一粘接材料固化的工序。
4.根据权利要求1所述的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法，其中，所述暂时固定工序包括将含有紫外线固化树脂(20)的第二粘接材料固化的工序，所述第二粘接材料设置在所述背面电极型太阳能电池单元(8)的至少部分边缘部与所述配线基板(10)之间。
5.根据权利要求1所述的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法，其中，所述暂时固定工序包括在所述背面电极型太阳能电池单元(8)的至少部分边缘部与所述配线基板(10)之间粘贴粘合带的工序。
6.根据权利要求1所述的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法，其中，所述背面电极型太阳能电池单元(8)为具有由短边或圆弧构成的四个角的大致八角形的形状，且所述背面电极型太阳能电池单元(8)的边缘部包括所述四个角。
7.一种太阳能电池组件的制造方法，该方法包括利用封装材料(18)将附配线基板的太阳能电池单元封装在透明基板(17)上的工序，所述附配线基板的太阳能电池单元是通过权利要求1所述的附配线基板的太阳能电池单元的制造方法制造的。
8.一种附配线基板的太阳能电池单元，该附配线基板的太阳能电池单元具备背面电极型太阳能电池单元(8)和配线基板(10)，
所述背面电极型太阳能电池单元(8)具有：形成了第一导电型杂质扩散区域(2)及第二导电型杂质扩散区域(3)的半导体基板(1)、与所述第一导电型杂质扩散区域(2)对应而形成在所述半导体基板(1)的一面侧上的第一导电型用电极(6)、及与所述第二导电型杂质扩散区域(3)对应而形成在所述半导体基板(1)的所述一面侧上的第二导电型用电极(7)；
所述配线基板(10)具有：绝缘基体材料(11)、和设置在所述绝缘基体材料(11)上的第一导电型用配线(12，12a)及第二导电型用配线(13，13a)，
其中，
在所述配线基板(10)上设置所述背面电极型太阳能电池单元(8)，使得所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第一导电型用电极(6)与所述配线基板(10)的所述第一导电型用配线(12，12a)电连接、并且使所述背面电极型太阳能电池单元(8)的所述第二导电型用电极(7)与所述配线基板(10)的所述第二导电型用配线(13，13a)电连接；并且，
在所述背面电极型太阳能电池单元(8)与所述配线基板(10)之间设置第一粘接材料，并且在所述背面电极型太阳能电池单元(8)的至少部分边缘部上设置用于粘接所述背面电极型太阳能电池单元(8)与所述配线基板(10)的第二粘接材料。
9.一种太阳能电池组件，其中，利用封装材料(18)将权利要求8所述的附配线基板的太阳能电池单元封装在透明基板(17)上。
CN201080012960XA 2009-03-23 2010-03-08 附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法 Pending CN102362363A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009069880 2009-03-23
JP2009-069880 2009-03-23
PCT/JP2010/053777 WO2010110036A1 (ja) 2009-03-23 2010-03-08 配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102362363A true CN102362363A (zh) 2012-02-22

Family

ID=42780730

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201080012960XA Pending CN102362363A (zh) 2009-03-23 2010-03-08 附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法

Country Status (6)

Country Link
US (2) US20120006380A1 (zh)
EP (1) EP2413379A4 (zh)
JP (2) JP5450595B2 (zh)
KR (1) KR20110129973A (zh)
CN (1) CN102362363A (zh)
WO (1) WO2010110036A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI562389B (en) * 2016-02-03 2016-12-11 Win Win Prec Technology Co Ltd High power solar cell module

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202009018249U1 (de) * 2009-07-10 2011-05-19 EppsteinFOILS GmbH & Co.KG, 65817 Verbundsystem für Photovoltaik-Module
JP4678698B2 (ja) * 2009-09-15 2011-04-27 シャープ株式会社 太陽電池モジュールおよびその製造方法
JP5159860B2 (ja) * 2010-10-21 2013-03-13 シャープ株式会社 配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュール、配線シート付き太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法
KR101444793B1 (ko) 2011-06-09 2014-09-29 주식회사 에스에너지 후면 전극형 태양전지 모듈 및 그 제조방법
EP2731147B1 (en) * 2011-07-04 2021-03-24 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Solar cell module
US9293619B2 (en) * 2011-11-20 2016-03-22 Solexel, Inc. Smart photovoltaic cells and modules
KR101226113B1 (ko) * 2012-03-20 2013-01-24 주식회사 에스에너지 후면전극형 태양전지 모듈 및 그 제조방법
JPWO2013183148A1 (ja) * 2012-06-07 2016-01-21 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 太陽電池、太陽電池モジュール、太陽電池の製造方法及び太陽電池モジュールの製造方法
US9082925B2 (en) * 2013-03-13 2015-07-14 Sunpower Corporation Methods for wet chemistry polishing for improved low viscosity printing in solar cell fabrication

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06244444A (ja) * 1993-02-18 1994-09-02 Hitachi Ltd 光閉込め構造及びそれを用いた受光素子
JPH08298334A (ja) * 1995-04-26 1996-11-12 Mitsubishi Electric Corp 太陽電池板
JPH11330517A (ja) * 1998-05-12 1999-11-30 Hitachi Cable Ltd 太陽電池，及び太陽電池モジュール
JP2001036118A (ja) * 1999-07-16 2001-02-09 Sharp Corp 太陽電池モジュールおよびその製造方法
JP2005340362A (ja) * 2004-05-25 2005-12-08 Sharp Corp 太陽電池セルおよび太陽電池モジュール
CN101373780A (zh) * 2007-08-24 2009-02-25 三洋电机株式会社 太阳能电池和太阳能电池模块

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2532104B2 (ja) 1987-09-10 1996-09-11 日本特殊陶業株式会社 ガス検出器
US5296043A (en) * 1990-02-16 1994-03-22 Canon Kabushiki Kaisha Multi-cells integrated solar cell module and process for producing the same
JP2535655B2 (ja) 1990-08-13 1996-09-18 富士通株式会社 辞書検索方式
JP2532104Y2 (ja) * 1991-01-30 1997-04-09 三洋電機株式会社 太陽電池装置
JPH05299686A (ja) * 1992-04-24 1993-11-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 太陽電池モジュールの製造法
DE19711319C1 (de) * 1997-03-18 1998-03-12 Daimler Benz Aerospace Ag Solarmodul und Verfahren zu seiner Herstellung
JP3672436B2 (ja) 1998-05-19 2005-07-20 シャープ株式会社 太陽電池セルの製造方法
JP2002198384A (ja) * 2000-12-27 2002-07-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置及び半導体装置の製造方法
US6476314B2 (en) * 2001-03-20 2002-11-05 The Boeing Company Solar tile and associated method for fabricating the same
JP3821661B2 (ja) * 2001-04-23 2006-09-13 シャープ株式会社 太陽電池モジュール及びその製造方法
JP2003128881A (ja) * 2001-10-18 2003-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
JP2004221406A (ja) * 2003-01-16 2004-08-05 Sharp Corp 太陽電池モジュール
JP2005310830A (ja) 2004-04-16 2005-11-04 Sharp Corp 太陽電池および太陽電池の製造方法
US7390961B2 (en) * 2004-06-04 2008-06-24 Sunpower Corporation Interconnection of solar cells in a solar cell module
FR2877144B1 (fr) * 2004-10-22 2006-12-08 Solarforce Soc Par Actions Sim Structure multicouche monolithique pour la connexion de cellules a semi-conducteur
US7866035B2 (en) * 2006-08-25 2011-01-11 Coolearth Solar Water-cooled photovoltaic receiver and assembly method
US20090032087A1 (en) * 2007-02-06 2009-02-05 Kalejs Juris P Manufacturing processes for light concentrating solar module
JP5687837B2 (ja) * 2007-02-16 2015-03-25 ナノグラム・コーポレイションＮａｎｏＧｒａｍ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ 太陽電池構造体、光起電モジュール及びこれらに対応する方法
JP2009043842A (ja) * 2007-08-07 2009-02-26 Sharp Corp 太陽電池モジュール
US20090050190A1 (en) 2007-08-24 2009-02-26 Sanyo Electric Co., Ltd. Solar cell and solar cell module
CN101855730A (zh) 2007-11-09 2010-10-06 夏普株式会社 太阳能电池模块以及太阳能电池模块的制造方法
JP2009182244A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Sharp Corp 太陽電池モジュールの製造方法
US20120012180A1 (en) * 2009-03-25 2012-01-19 Yoshiya Abiko Back electrode type solar cell, connecting sheet, solar cell with connecting sheet, solar cell module, method of manufacturing solar cell with connecting sheet, and method of manufacturing solar cell module

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06244444A (ja) * 1993-02-18 1994-09-02 Hitachi Ltd 光閉込め構造及びそれを用いた受光素子
JPH08298334A (ja) * 1995-04-26 1996-11-12 Mitsubishi Electric Corp 太陽電池板
JPH11330517A (ja) * 1998-05-12 1999-11-30 Hitachi Cable Ltd 太陽電池，及び太陽電池モジュール
JP2001036118A (ja) * 1999-07-16 2001-02-09 Sharp Corp 太陽電池モジュールおよびその製造方法
JP2005340362A (ja) * 2004-05-25 2005-12-08 Sharp Corp 太陽電池セルおよび太陽電池モジュール
CN101373780A (zh) * 2007-08-24 2009-02-25 三洋电机株式会社 太阳能电池和太阳能电池模块

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI562389B (en) * 2016-02-03 2016-12-11 Win Win Prec Technology Co Ltd High power solar cell module

Also Published As

Publication number Publication date
EP2413379A4 (en) 2017-05-31
JP5450595B2 (ja) 2014-03-26
US20120006380A1 (en) 2012-01-12
WO2010110036A1 (ja) 2010-09-30
KR20110129973A (ko) 2011-12-02
JP2014030060A (ja) 2014-02-13
US20140377902A1 (en) 2014-12-25
EP2413379A1 (en) 2012-02-01
JPWO2010110036A1 (ja) 2012-09-27
US9263603B2 (en) 2016-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102362363A (zh) 附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池组件及附配线基板的太阳能电池单元的制造方法
KR101485623B1 (ko) 태양 전지 모듈 및 태양 전지
CN103229307B (zh) 背面电极型太阳能电池单元、带有配线板的背面电极型太阳能电池单元、太阳能电池模块、带有配线板的背面电极型太阳能电池单元的制造方法及太阳能电池模块的制造方法
WO2011052597A1 (ja) 太陽電池素子および太陽電池モジュール
CN102414835A (zh) 背面电极型太阳能电池单元、配线基板、附配线基板的太阳能电池单元、太阳能电池模块、附配线基板的太阳能电池单元的制造方法及太阳能电池模块的制造方法
US20120080069A1 (en) Solar cell module
JP5273728B2 (ja) 配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュール
US20120240984A1 (en) Solar cell module and method for manufacturing the same
US20230044021A1 (en) Solar cells having junctions retracted from cleaved edges
CN107318269B (zh) 太阳能电池及其制造方法、太阳能电池模块、以及布线板
JP2008010857A (ja) 太陽電池モジュール
JP2011134999A (ja) 太陽電池モジュール
US9048360B2 (en) Solar cell, solar cell with interconnection sheet attached and solar cell module
JP5149339B2 (ja) 配線付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線付き太陽電池セルの製造方法
JP2011054660A (ja) 太陽電池ストリング及びそれを用いた太陽電池モジュール
JP6298152B2 (ja) 太陽電池およびこれを用いた太陽電池モジュール
JP2011091316A (ja) 太陽電池素子および太陽電池モジュール
JP5349664B2 (ja) 太陽電池モジュールおよび太陽電池モジュールの製造方法
JP6817722B2 (ja) 配線シート付き裏面電極型太陽電池セル
JP5219984B2 (ja) 太陽電池モジュール
JP2013187381A (ja) 裏面電極型太陽電池セル、配線シート付き裏面電極型太陽電池セル、太陽電池モジュール、裏面電極型太陽電池セルの製造方法、配線シート付き裏面電極型太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法
JP2016100494A (ja) 配線シート付き裏面電極型太陽電池セル
KR20110081677A (ko) 태양전지 및 그 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20120222