CN107318269B - 太阳能电池及其制造方法、太阳能电池模块、以及布线板 - Google Patents

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Abstract

太阳能电池(100)在光电转换部(50)的第一主面上具备第一金属籽晶层(71)以及第一镀覆层(72)，在光电转换部(50)的第二主面上具备第二金属籽晶层(81)，在光电转换部(50)的第二主面的周缘以及侧面上具备第三金属籽晶层(91)以及第三镀覆层(92)。第一金属籽晶层(71)与第三金属籽晶层(91)导通，第二金属籽晶层(81)与第三金属籽晶层(91)不导通。通过对第一金属籽晶层(71)以及第三金属籽晶层(91)中的至少一方进行供电，能够同时形成第一镀覆层(72)以及第三镀覆层(92)。

Description

太阳能电池及其制造方法、太阳能电池模块、以及布线板
技术领域
本发明涉及太阳能电池及其制造方法、以及太阳能电池模块。并且，本发明涉及太阳能电池模块的形成所使用的布线板。
背景技术
对于太阳能电池而言，通过将基于朝由半导体接合等构成的光电转换部的光照射产生的载流子(电子以及空穴)向外部电路取出，来进行发电。对于在单晶硅基板上具有硅系薄膜以及透明电极层的异质结太阳能电池而言，在透明电极层上设置集电极(作为辅助电极的金属电极)，提高电流的取出效率。
一般的太阳能电池是在受光面具备一导电型(例如p型)用的集电极，在背面具备逆导电型(例如n型)用的背面电极的双面电极型太阳能电池。双面电极型太阳能电池的受光面侧的集电极一般通过用于收集由于光入射而生成的光载流子的多个指状电极、和用于将由指状电极收集的光载流子向外部取出的相对较粗的母线电极而构成。
通过将多个太阳能电池电连接，将太阳能电池模块化。在双面电极型太阳能电池的模块化中，通过经由接头线等互连部件将设置于受光面侧的母线电极与邻接的太阳能电池的背面电极连接，进行串联连接。
期待太阳能电池模块的进一步的高效率化，谋求光学损失的减少、模块可靠性的提高等。在太阳能电池的受光面侧形成有指状电极、母线电极等集电极的区域是通过遮光不使光入射至光电转换部，不有助于发电的区域。因此，谋求这些电极特别母线电极所引起的遮光损失的减少。
为了减少设置于受光面的电极所引起的遮光损失，开发在背面形成有p型电极以及n型电极这双方的所谓的背面电极型太阳能电池，专利文献1中提出有使用了布线板的背面电极型太阳能电池的模块化。但是，背面电极型太阳能电池与双面电极型太阳能电池相比，制造困难，生产成本高。
专利文献2中，公开有在受光面上不形成母线电极(主栅电极)而仅形成指状电极(次栅电极)，在受光面上以外的场所(例如，侧面以及背面上)形成了金属线等连接电极的太阳能电池。通过在该连接电极连接指状电极，能够减少受光面侧的遮光面积。作为与专利文献2相同的技术，在专利文献3以及4中，提出有通过使用糊剂在太阳能电池的一端部形成端面电极，在相同的背面侧将相互邻接的太阳能电池彼此连接的技术。对于专利文献2～4的太阳能电池而言，将由受光面侧的指状电极收集的光载流子从连接电极、端面电极向外部取出。因此，不需要将遮光面积大的母线电极设置在受光面上，能够减少因受光面侧的集电极产生的遮光损失。
专利文献1:日本特开2014-179406号公报
专利文献2:日本特开2014-116451号公报
专利文献3:日本特开平6-13634号公报
专利文献4:日本特开平8-78704号公报
专利文献2记载有在形成了受光面侧以及背面侧的电极后，使用成为连接电极的金属线将集电极与布线板连接。专利文献3以及4记载有在形成了受光面侧以及背面侧的电极后，通过在端面涂覆银糊剂而形成端面电极。为了制造专利文献2～4的太阳能电池，另外需要形成连接电极、端面电极的工序，因此与通常的太阳能电池相比，制造效率降低。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的，目的在于提供能够使连接电极的形成简单化的太阳能电池、以及使用了该太阳能电池的太阳能电池模块。并且，本发明提供用于太阳能电池的模块化的布线板。
本发明的太阳能电池具备光电转换部。光电转换部在导电型单晶硅基板的第一主面上依次具有第一导电型硅系薄膜以及第一透明电极层，在导电型单晶硅基板的第二主面上依次具备第二导电型硅系薄膜以及第二透明电极层。
本发明的太阳能电池在光电转换部的第一主面上具备第一导电型用的图案状的集电极，在光电转换部的第二主面上具备第二导电型用的背面电极，并且具备与集电极导通且不与背面电极导通的连接电极。集电极包括：设置在光电转换部的第一主面上的第一金属籽晶层、和设置在第一金属籽晶层上的第一镀覆层。背面电极包括设置在光电转换部的第二主面上的第二金属籽晶层。连接电极包括：设置在光电转换部的第二主面的周缘以及光电转换部的侧面上的第三金属籽晶层、和设置在第三金属籽晶层上的第三镀覆层。第三金属籽晶层与第一金属籽晶层导通，并且不与第二金属籽晶层导通。背面电极也可以还包括设置在第二金属籽晶层上的第二镀覆层。优选第二金属籽晶层与第三金属籽晶层以相同的材料作为主要成分，优选第一镀覆层与第三镀覆层以相同的材料作为主要成分。
本发明的制造方法具有：在光电转换部的第一主面上形成第一金属籽晶层的工序、在光电转换部的第二主面上形成第二金属籽晶层的工序、以及在光电转换部的第二主面的周缘以及光电转换部的侧面上形成第三金属籽晶层的工序。
第一金属籽晶层与第三金属籽晶层以彼此导通的方式形成。可以以使第一金属籽晶层与第三金属籽晶层相互接触的方式形成，也可以通过以使第一透明电极层与第三金属籽晶层相互接触的方式形成，由此经由第一透明电极层将第一金属籽晶层与第三金属籽晶层电连接。
第二金属籽晶层与第三金属籽晶层以彼此不导通的方式形成。即，第二金属籽晶层与第三金属籽晶层绝缘。在光电转换部的第二主面上设置了掩模的状态下，从光电转换部的第二主面侧形成金属层，由此能够使第二金属籽晶层与第三金属籽晶层同时并且以彼此不导通的方式形成。若这样，则形成有以相同的材料作为主要成分的第二金属籽晶层以及第三金属籽晶层。第一金属籽晶层优选使用含有树脂的糊剂而形成。
本发明的制造方法还具有：在第一金属籽晶上通过镀覆法形成第一镀覆层的工序、和在第三金属籽晶层上通过镀覆法形成第三镀覆层的工序。通过对第一金属籽晶层以及第三金属籽晶层中的至少一方进行供电，同时形成第一镀覆层以及第三镀覆层。优选通过对第三金属籽晶层进行供电，同时形成第一镀覆层以及第三镀覆层。这样，形成以相同的材料作为主要成分的第一镀覆层以及第三镀覆层。本发明的制造方法也可以具有在第二金属籽晶层上通过镀覆法形成第二镀覆层的工序。
一实施方式中，光电转换部还具有第三透明电极层。第三透明电极层设置在第二导电型硅系薄膜的周缘以及导电型单晶硅基板的侧面上，并不与第二透明电极层导通。该情况下，第三金属籽晶层形成在第三透明电极层上。该实施方式中，第一金属籽晶层与第三透明电极层也可以以彼此接触的方式形成，第一透明电极层与第三透明电极层也可以以彼此接触的方式形成。
本发明涉及一种太阳能电池模块，是上述太阳能电池经由布线板而与其它太阳能电池或者外部电路连接构成的太阳能电池模块。并且，本发明涉及在侧面设置了连接电极的太阳能电池的模块化所使用的布线板。
本发明的太阳能电池模块的一方式具备：串联电连接的第一太阳能电池以及第二太阳能电池、和布线板。第一太阳能电池具备：设置在受光面上的集电极、设置在背面上的背面电极、以及连接电极。第二太阳能电池具备：设置在受光面上的集电极、和设置在背面上的背面电极。第一太阳能电池的集电极以及第二太阳能电池的集电极以图案状形成。第一太阳能电池的连接电极与集电极导通，并且不与背面电极导通。
第一太阳能电池的集电极以及第二太阳能电池的集电极均为第一导电型用的电极，第一太阳能电池的背面电极以及第二太阳能电池的背面电极均为第二导电型用的电极。第一太阳能电池以及第二太阳能电池均以背面电极与布线板的第一主面对置的方式配置。
本发明的布线板具备：绝缘性基材、第一背面布线、第一导通部以及第二导通部。在绝缘性基材设置有第一贯通孔以及第二贯通孔。第一背面布线设置在绝缘性基材的第二主面上。第一导通部设置于第一贯通孔内，第二导通部设置于第二贯通孔内。第一背面布线将第一导通部与第二导通部电连接。
在本发明的太阳能电池模块中，第一导通部与第一太阳能电池的连接电极电连接，第二导通部与第二太阳能电池的背面电极电连接。由此，第一太阳能电池的集电极与第二太阳能电池的背面电极经由第一太阳能电池的连接电极、第一导通部、第一背面布线以及第二导通部而电连接。
优选布线板在绝缘性基材的第一主面上具备第一表面布线以及第二表面布线。第一表面布线经由第一导通部而与第一背面布线电连接，第二表面布线经由第二导通部而与第一背面布线电连接。该情况下，第一太阳能电池的连接电极与第一表面布线连接，第二太阳能电池的背面电极与第二表面布线连接。由此，第一太阳能电池的集电极与第二太阳能电池的背面电极电连接。
一实施方式的太阳能电池模块还具备：与第一太阳能电池串联电连接的第三太阳能电池。第三太阳能电池与第一太阳能电池同样具备：第一导电型的集电极、第二导电型用的背面电极以及连接电极。第三太阳能电池以背面电极与布线板的第一主面对置的方式配置。在绝缘性基材还设置有第三贯通孔以及第四贯通孔。布线板还具备：设置在绝缘性基材的第二主面上的第二背面布线、设置于第三贯通孔内的第三导通部、以及设置于第四贯通孔内的第四导通部。第二背面布线将第三导通部与第四导通部电连接。
上述实施方式中，第三导通部与第一太阳能电池的背面电极电连接，第四导通部与第三太阳能电池的连接电极电连接。由此，第一太阳能电池的背面电极与第三太阳能电池的集电极经由第三导通部、第二背面布线、第四导通部以及第三太阳能电池的连接电极而电连接。
上述实施方式中，优选布线板在绝缘性基材的第一主面上具备第一表面布线、第二表面布线、第三表面布线以及第四表面布线。第一表面布线经由第一导通部而与第一背面布线电连接，第二表面布线经由第二导通部与而第一背面布线电连接，第三表面布线经由第三导通部而与第二背面布线电连接，第四表面布线经由第四导通部而与第二背面布线电连接。该情况下，第一太阳能电池的连接电极与第一表面布线连接，第二太阳能电池的背面电极与第二表面布线连接。由此，第一太阳能电池的集电极与第二太阳能电池的背面电极电连接。并且，第一太阳能电池的背面电极与第三表面布线连接，第三太阳能电池的连接电极与第四表面布线连接。由此，第一太阳能电池的背面电极与第三太阳能电池的集电极电连接。
优选第一表面布线以与第三表面布线隔开间隔的方式设置于第三表面布线的周围。一实施方式中，第一太阳能电池的连接电极设置在第一太阳能电池的背面的周缘以及第一太阳能电池的侧面上，设置于背面侧的周缘的连接电极与布线板接触。
通过设置连接电极，不需要将遮光面积大的母线电极设置在受光面上，因此能够减少因集电极引起的遮光损失。本发明的太阳能电池由于利用镀覆法能够同时形成连接电极以及集电极，因此能够使连接电极的形成工序简单化。通过利用镀覆法形成集电极以及连接电极，能够使集电极以及连接电极低电阻化。其结果，能够提高太阳能电池的转换效率。另外，通过经由连接电极将集电极与布线板电连接，不需要基于接头线等的连接，可容易地进行双面电极型太阳能电池的模块化。
附图说明
图1是本发明的一实施方式的太阳能电池的示意剖视图。
图2A是太阳能电池的第一主面侧的示意俯视图，B是太阳能电池的示意侧视图，C是太阳能电池的第二主面侧的示意俯视图。
图3是用于对太阳能电池的制造方法的一个例子进行说明的说明图。
图4是用于对太阳能电池的制造方法的一个例子进行说明的说明图。
图5是用于对太阳能电池的制造方法的一个例子进行说明的说明图。
图6是用于对太阳能电池的制造方法的一个例子进行说明的说明图。
图7是用于对太阳能电池的制造方法的一个例子进行说明的说明图。
图8是用于对太阳能电池的制造方法的一个例子进行说明的说明图。
图9是用于对太阳能电池的制造方法的一个例子进行说明的说明图。
图10是在用于电镀法的盒设置了基板的状态的示意俯视图。
图11是表示一实施方式的太阳能电池模块的示意剖视图。
图12是用于对太阳能电池与布线板的电连接进行说明的示意图。
图13是表示太阳能电池与布线板的电连接的一实施方式的分解立体图。
图14是用于对太阳能电池与布线板的电连接的另一实施方式进行说明的分解立体图。
图15是用于对太阳能电池与布线板的电连接的又一实施方式进行说明的分解立体图。
具体实施方式
[太阳能电池]
本发明的太阳能电池被称为异质结太阳能电池，且是通过在导电型单晶硅基板的表面具有与单晶硅带隙不同的硅系薄膜而形成扩散电位的晶体硅太阳能电池。作为硅系薄膜，优选非晶体。其中，在用于形成扩散电位的导电型非晶硅系薄膜与单晶硅基板之间夹有较薄的本征的非晶硅层公知为转换效率最高的晶体硅太阳能电池的形态之一。
图1是本发明的一实施方式的太阳能电池的示意剖视图。太阳能电池100在基板1的第一主面(光入射侧的面、受光面)上依次具有第一导电型硅系薄膜3a以及第一透明电极层6a，且在基板1的第二主面(与第一主面相反的一侧的面、背面)上依次具有第二导电型硅系薄膜3b以及第二透明电极层6b，来作为光电转换部50。优选太阳能电池100在基板1与导电型硅系薄膜3a、3b之间具有本征硅系薄膜2a、2b。
对于图1所示的太阳能电池100而言，在从第一导电型硅系薄膜3a的周缘经由基板1的侧面直至第二导电型硅系薄膜3b的周缘的区域设置有第三透明电极层6c。第三透明电极层6c与第一透明电极层6a导通，而不与第二透明电极层6b导通。本说明书中，“周缘”是指周端以及相距周端规定距离(例如，几十μm～几mm左右)的区域。“周端”是指主面的端缘，此处是指主面上的硅系薄膜的端缘。形成在第一导电型硅系薄膜3a上的第三透明电极层6c的面积(距周端的距离)可以与形成在第二导电型硅系薄膜3b上的第三透明电极层6c的面积相同，也可以不同。
在第一透明电极层6a上设置有集电极7，在第二透明电极层6b上设置有背面电极8，在第三透明电极层6c上设置有连接电极9。连接电极9与集电极7导通，并且不与背面电极8导通。
在太阳能电池100中，集电极7是第一导电型用的电极，背面电极8是第二导电型用的电极。“第一导电型”是n型或者p型中的任一方。换句话说，集电极7是指n型用电极或者p型用电极中的任一方。第一导电型用的电极是用于对光电转换部的半导体接合的第一导电型层侧的载流子进行收集的电极。“第二导电型”是与“第一导电型”不同的导电型。例如，在“第一导电型”为p型的情况下，“第二导电型”为n型。
集电极7从光电转换部50侧依次包括第一金属籽晶层71以及第一镀覆层72。背面电极8从光电转换部50侧依次包括第二金属籽晶层81以及第二镀覆层82。背面电极8也可以仅包括金属籽晶层81。连接电极9从光电转换部50侧依次包括第三金属籽晶层91以及第三镀覆层92。
如后述那样，优选第二金属籽晶层81与第三金属籽晶层91将相同的材料作为主要成分。并且，优选第一镀覆层72与第三镀覆层92将相同的材料作为主要成分。第二镀覆层82可以将与第一镀覆层72以及第三镀覆层92相同的材料作为主要成分，也可以将不同的材料作为主要成分。本说明书中，“作为主要成分”是指含量大于50重量％，优选70重量％以上，更优选85重量％以上。
图2A是太阳能电池100的第一主面侧的示意俯视图，图2B是太阳能电池100的示意侧视图，图2C是太阳能电池100的第二主面侧的示意俯视图。图2A～C所示的例中，连接电极9设置于从太阳能电池100的第一主面的周缘经由侧面直至第二主面的周缘的区域。如上述那样，“周缘”是指从端以及相距周端规定距离的区域。形成于第一主面的连接电极的面积(距周端的距离)可以与形成于第二主面的连接电极的面积相同，也可以不同。
集电极7以规定的图案状形成在第一主面上。图2A所示的例中，集电极7具有由以隔开恒定间隔地相互平行地延伸的方式形成的多个指状电极7x、以及以与指状电极7x大致垂直的方式形成的多个指状电极7y构成的格子状图案。指状电极7x以及7y的两端与设置于第一主面的周缘的连接电极9连接，由此将集电极7与连接电极9电连接。
背面电极8不与连接电极9导通。图2C所示的例中，背面电极8以与连接电极9隔开间隔的方式形成在第二主面的周缘以外的区域。背面电极8优选形成为面状，但若与连接电极9绝缘，则背面电极也可以形成为图案状。
第一透明电极层6a优选形成在第一导电型硅系薄膜3a上的大致整个面。本说明书中，“大致整个面”是指主面的90％以上的区域，此处是指主面上的硅系薄膜的面积的90％以上的区域。图1中，以使第一透明电极层6a的侧面与第三透明电极层6c的侧面接触的方式示出，但优选在导电型硅系薄膜3a上的大致整个面形成有透明电极层6a，以与透明电极层6a重叠的方式形成有透明电极层6c。在第一透明电极层6a与第三透明电极层6c重叠的情况下，哪一个形成在上部都可以。
第二主面上的第二透明电极层6b以及第三透明电极层6c优选分别以与背面电极8以及连接电极9的形状对应的方式形成。即，透明电极层6b以不与透明电极层6c导通的方式设置，透明电极层6b优选与透明电极层6c隔开间隔而设置于背面的周缘以外的区域。
对于图1所示的太阳能电池100而言，将由第一主面侧的指状电极收集的光载流子从连接电极向外部取出。因此，不需要设置横穿第一主面上的母线电极，从而能够减少因第一主面侧的集电极引起的遮光损失。
[太阳能电池的制造方法]
太阳能电池100的制造方法具有：制作光电转换部50的工序、在光电转换部50的第一主面上形成图案状的集电极7的工序、在光电转换部50的第二主面上形成背面电极8的工序、以及在光电转换部50的第二主面的周缘以及光电转换部50的侧面上形成连接电极9的工序。形成集电极7的工序具有：在光电转换部50的第一主面上形成第一金属籽晶层71的工序、和在第一金属籽晶层71上通过镀覆法形成第一镀覆层72的工序。形成背面电极8的工序具有在光电转换部50的第二主面上形成第二金属籽晶层81的工序。形成背面电极8的工序也可以包括在第二金属籽晶层81上通过镀覆法形成第二镀覆层82的工序。形成连接电极9的工序具有：在光电转换部50的第二主面的周缘以及光电转换部50的侧面上形成第三金属籽晶层91的工序、和在第三金属籽晶层91上通过镀覆法形成第三镀覆层92的工序。
以下，参照图3～图9，对图1所示的太阳能电池100的制造方法的优选的实施方式进行说明。图3～图9中，A是第一主面侧的示意俯视图，B是示意侧视图，C是第二主面侧的示意俯视图。
(光电转换部50的制作)
如图3A～图3C所示，在单晶硅基板1的第一主面上形成第一导电型硅系薄膜3a，在第二主面上形成第二导电型硅系薄膜3b。上述导电型硅系薄膜中的任一方为p型，另一方为n型。
单晶硅基板1的导电型可以为n型也可以为p型。在对空穴与电子进行了比较的情况下，电子移动度更大，因此在硅基板1为n型单晶硅基板的情况下，转换特性格外高。硅基板1至少在第一主面侧优选在双面具有纹理。纹理例如使用各向异性蚀刻技术而形成。通过各向异性蚀刻而形成的纹理具有四棱锤状的凹凸构造。
硅基板1的厚度没有特别限定，优选为10μm～150μm，更优选为30μm～120μm。通过使硅基板的厚度为150μm以下，能够减少硅的使用量，因此能够实现低成本化。另外，硅基板的厚度越小，硅基板内的光生载流子的再结合减少，因此具有太阳能电池的开放端电压(Voc)提高的趋势。硅基板的厚度由表面侧的纹理的凸部侧顶点与第二主面侧的凸部顶点之间的距离来定义。
如图3A～图3C所示，优选在单晶硅基板1与导电型硅系薄膜3a、3b之间形成本征硅系薄膜2a、2b。通过在单晶硅基板的表面设置本征硅系薄膜，能够抑制杂质向单晶硅基板的扩散并且有效地进行表面钝化。为了有效地进行单晶硅基板1的表面钝化，本征硅系薄膜2a、2b优选为本征非晶硅薄膜。
作为上述本征硅系薄膜2a、2b的制膜方法，优选等离子体CVD法。作为等离子体CVD法的本征硅系薄膜的制膜条件，优选使用基板温度100～300℃，压力20～2600Pa，高频功率密度0.004～0.8W/cm2。作为硅系薄膜的形成所使用的原料气体，优选使用SiH4、Si2H6等含硅气体和H2的混合气体。
作为p型或者n型的导电型硅系薄膜3a、3b，使用非晶硅、微晶硅(包含非晶硅和结晶质硅的材料)、非晶硅合金、微晶硅合金等。作为硅合金，可举出氧化硅、碳化硅、氮化硅、硅锗等。这些中，导电型硅系薄膜优选非晶硅薄膜。
导电型硅系薄膜3a、3b也与本征硅系薄膜2a、2b相同，优选通过等离子体CVD法来制膜。导电型硅系薄膜的制膜时，作为用于调整导电型(n型或者p型)的掺杂剂气体，使用PH3、B2H6等。导电型决定杂质的添加量为微量即可，因此优选使用预先用SiH4、H2稀释而得的掺杂剂气体。在导电型硅系薄膜的制膜时，通过添加含有CO2、CH4、NH3、GeH4等异种元素的气体，也能够使硅系薄膜合金化而变更能隙。
在第一导电型硅系薄膜3a上形成有透明电极层6a(图4A～图4C)。透明电极层6a优选形成于第一导电型硅系薄膜3a上的大致整个面。
在第二导电型硅系薄膜3b上形成有透明电极层6b，在第二导电型硅系薄膜3b的周缘以及基板1的侧面形成有透明电极层6c(图5A～图5C)。通过以上，制作光电转换部50。如图5A以及图5B所示，透明电极层6c也可以形成于第一导电型硅系薄膜3a的周缘。透明电极层6b以不与透明电极层6c导通的方式设置。具体而言，透明电极层6b优选以与透明电极层6c隔开间隔的方式设置于第二导电型硅系薄膜3b的周缘以外的区域。
透明电极层6a、6b、6c优选以导电性氧化物作为主要成分。作为导电性氧化物例如能够将氧化锌、氧化铟、氧化锡等单独使用或者作为复合氧化物使用。从导电性、光学特性以及长期可靠性的观点出发，优选铟系氧化物，其中更优选使用以氧化铟锡(ITO)为主要成分的材料。透明电极层6a、6b的膜厚从透明性、导电性以及光反射减少的观点出发，优选为10nm以上且140nm以下。
这些的透明电极层通过干法工艺(CVD法、溅射法、离子镀法等PVD法)来制膜。以铟系氧化物为主要成分的透明电极层的制膜优选溅射法、离子镀法等PVD法。
透明电极层6b以及6c优选使用掩模来制膜。具体而言，优选在光电转换部50的第二主面上设置掩模，在透明电极层6b与6c之间的绝缘区域被掩模遮挡的状态下从第二主面侧进行制膜。该情况下，能够同时形成透明电极层6b、6c并且能够在透明电极层6b与6c之间设置未形成有电极层的区域。
在图5A～图5C所示的例子中，透明电极层6c不只是形成于第二主面侧的周缘，通过制膜时的绕回(回り込み)也形成于基板的侧面以及第一主面侧的周缘。由此，透明电极层6c与透明电极层6a连接。
从生产率的观点出发，如上述那样，优选使用掩模同时形成透明电极层6b以及6c，但也可以通过其它的工序形成透明电极层6b以及6c。透明电极层6a的制膜优选不使用掩模，但也可以使用掩模。在任一情况下，透明电极层6a与透明电极层6b以彼此不接触的方式形成。
(金属籽晶层的形成)
如图6A～图6C所示，在透明电极层6b上形成金属籽晶层81，在透明电极层6c上形成金属籽晶层91。金属籽晶层81以及91分别形成于透明电极层6b以及6c上的大致整个面。
作为在透明电极层6b、6c上的大致整个面形成金属籽晶层81、91的方法，可举出各种PVD法、CVD法等干法工艺、糊剂的涂覆、镀覆法等。作为金属籽晶层81、91的材料，优选使用从近红外开始红外域的波长区域的光的反射率高，并且导电性、化学的稳定性高的材料。作为满足这样的特性的材料，可举出银、铜、铝等。
与透明电极层6b以及6c相同，金属籽晶层81以及91优选使用掩模来制膜。具体而言，优选使用与形成透明电极层6b以及6c时相同的掩模，在金属籽晶层81与金属籽晶层91之间的绝缘区域被掩模遮挡的状态下从第二主面侧进行金属层的形成。该情况下，能够同时形成以相同的材料为主要成分的金属籽晶层81以及91。通过使用掩模，在金属籽晶层81与91之间形成未形成有金属层的区域。
在图6A～图6C所示的例中，金属籽晶层91不只是形成于第二主面侧的周缘，由于制膜时的绕回，也形成于光电转换部的侧面以及第一主面侧的周缘。由此，金属籽晶层91与透明电极层6a连接。
从生产率的观点出发，如上述那样，优选使用掩模同时形成金属籽晶层81以及91，但也可以通过其它的工序形成金属籽晶层81以及91。
如图7A～图7C所示，在透明电极层6a上形成图案状的金属籽晶层71。例如，通过利用喷墨、丝网印刷、喷射等来印刷导电性糊剂，从而形成图案状的金属籽晶。从生产率的观点出发优选丝网印刷。在丝网印刷中，优选使用通过丝网印刷来印刷由金属粒子和树脂粘合剂构成的导电性糊剂的工序。
(镀覆层的形成)
如图8A～图8C所示，以金属籽晶层71为起点，通过镀覆法形成镀覆层72。由此，形成包括金属籽晶层71以及镀覆层72的集电极7。为了抑制金属向透明电极层6a上的析出，优选在透明电极层6a上形成绝缘层。
从生产率的观点出发，镀覆层72优选通过电镀法形成。对于电镀法而言，能够提高金属的析出速度，因此能够在短时间内形成镀覆层72。对于电镀法而言，将形成有金属籽晶层的基板和阳极(镀覆用电极)浸于镀覆液，在基板与阳极之间施加电压，由此在金属籽晶层上析出金属。
本发明中，优选对与金属籽晶层71导通的金属籽晶层91进行供电。通过对金属籽晶层91进行供电，能够在金属籽晶层91以及金属籽晶层71上同时形成镀覆层92以及72。换句话说，镀覆层72与镀覆层92将相同的材料作为主要成分。其结果，包括金属籽晶层71以及镀覆层72的集电极7、与包括金属籽晶层91以及镀覆层92的连接电极9同时形成。
在通过镀覆法形成仅包括指状电极的集电极的情况下，与母线电极相比，指状电极较细，因此在指状电极的金属籽晶层上设置供电点较困难。另外，从减少第一主面侧的遮光损失的观点出发，优选尽量使集电极的电极图案细线化，但集电极越细，对第一主面(金属籽晶层71)进行供电越困难。与此相对，通过对侧面(金属籽晶层91)进行供电，不只是能够在金属籽晶层91上形成镀覆层92，也能够在金属籽晶层71上形成镀覆层72。并且，通过对侧面(金属籽晶层91)进行供电，即使在使第一主面侧的金属籽晶层71细线化的情况下，电流也稳定地在金属籽晶层71流过，因此能够使镀覆层72的膜厚均匀。其结果，能够形成具有均匀的膜厚的集电极7。
一般，构成透明电极层的金属氧化物具有容易溶解于镀覆液的性质。上述的方法中，通过金属籽晶层或者绝缘层来覆盖透明电极层，因此能够抑制镀覆时的透明电极层的溶解。
在通过电镀法形成集电极的情况下，例如也能够使用图10所示的那样的盒10。盒10能够收纳多个基板12，在与基板12的两侧面(金属籽晶层91)接触的区域设置有供电部件11。如图10所示，在形成有金属籽晶层的多个基板12以主面彼此对置的方式以近似等间隔并且近似平行地配置于盒10内后，将盒10浸于镀覆液中。经由供电部件11，能够对多个基板的金属籽晶层91均匀地供电，因此能够使形成在金属籽晶层91、71上的镀覆层92、72的膜厚均匀化。
除了对金属籽晶层91进行供电之外，也可以对金属籽晶层71进行供电。例如，在使用上述的盒10的情况下，也可以在与基板12的第一主面(金属籽晶层71)接触的区域进一步设置有供电部件。另外，也可以仅对金属籽晶层71进行供电。
为了在金属籽晶层71上通过镀覆法形成镀覆层72，需要使金属籽晶层与镀覆液导通。因此，需要在金属籽晶层71上的绝缘层设置开口。作为在绝缘层形成开口的方法，可举出使用抗蚀剂对绝缘层进行刻画图案的方法。另外，也可以通过激光照射、机械开孔、化学蚀刻等方法，在绝缘层形成开口。
除了上述之外，作为经由绝缘层的开口形成镀覆层的方法，例如能够采用下述的技术。
在透明电极上形成绝缘层后，设置贯通绝缘层的槽而使透明电极层的表面或者侧面露出，通过光镀覆等在透明电极层的露出面析出金属籽晶层后，以该金属籽晶为起点通过镀覆形成镀覆层(参照日本特开2011-199045号)。
在具有凹凸的金属籽晶层上形成绝缘层，由此使绝缘层不连续，因此形成开口。以该开口为起点通过镀覆形成镀覆层(WO2011/045287号)。
在含有低熔点材料的金属籽晶层上形成绝缘层后、或者绝缘层形成时，通过加热使低熔点材料热流动，在金属籽晶层上的绝缘层形成开口，以该开口为起点通过镀覆形成镀覆层(WO2013/077038号)。
形成自组织化单分子膜作为绝缘层后，将金属籽晶层上的自组织化单分子膜剥离除去，由此在绝缘层形成有开口(成为金属籽晶层露出的状态)。以露出的金属籽晶层为起点通过镀覆形成镀覆层(WO2014/097829号)。该方法中，在透明电极层上形成有自组织化单分子膜，因此可抑制镀覆层向透明电极层上的析出。
根据这些方法，不需要使用抗蚀剂，因此在材料成本以及工序成本方面更有利。另外，通过设置低电阻的金属籽晶层，能够减少透明电极层与集电极之间的接触电阻。
如图9A～图9C所示，也可以以金属籽晶层81为起点通过镀覆法形成镀覆层82。由此，形成包括金属籽晶层81以及镀覆层82的背面电极8。
在通过镀覆法形成背面电极的情况下，优选在用于形成集电极7的供电(朝金属籽晶层91以及/或者金属籽晶层71的供电)结束后，对金属籽晶层81进行供电，用于形成集电极7的供电和朝金属籽晶层81的供电可以同时，也可以在用于形成集电极7的供电之前对金属籽晶层81进行供电。
通过以上的工序，能够制造太阳能电池100。此外，太阳能电池100的制造方法不限定于图3～图9的顺序。例如，也可以在从第二主面侧形成了透明电极层6b以及透明电极层6c后，形成第一主面侧的透明电极层6a，也可以在从第二主面侧形成了金属籽晶层81以及金属籽晶层91后，形成第一主面侧的透明电极层6a。
上述的例中，作为背面电极8对包括金属籽晶层81以及镀覆层82的例子进行了说明，但仅通过金属籽晶层81也可作为背面电极8发挥功能。因此，也可以省略图9A～图9C所示的镀覆层82形成。
上述中，对以金属籽晶层71与金属籽晶层91相互接触并且透明电极层6a与透明电极层6c相互接触的方式设置的例子进行了说明，但若金属籽晶层71与金属籽晶层91导通则能够同时形成镀覆层72以及92。换句话说，以金属籽晶层71以及透明电极层6a中的至少一方与金属籽晶层91以及透明电极层6c中的至少一方接触的方式形成即可。若金属籽晶层71与金属籽晶层91导通，则也可以不在基板1的侧面形成透明电极层6c，也可以不形成透明电极层6c本身。该情况下，以金属籽晶层71以及透明电极层6a中的至少一方与金属籽晶层91接触的方式形成即可。
形成图案状的集电极7的方法不局限于如上述那样在透明电极层6a上形成图案状的金属籽晶层71，并在其上形成镀覆层72的方法，也可以使用抗蚀剂形成集电极。在使用抗蚀剂的情况下，例如能够通过以下的方法在金属籽晶层71上形成镀覆层。首先，在透明电极层6a上的大致整个面形成了金属籽晶层71后，形成具有与集电极的形状对应的开口的抗蚀剂层。在金属籽晶层71露出的抗蚀剂开口形成镀覆层72。其后，除去抗蚀剂层，除去未形成有镀覆层72的金属籽晶层71。通过以上，形成图案状的集电极7。
[太阳能电池模块]
本发明的太阳能电池优选实际使用时通过密封件密封而模块化。太阳能电池的模块化通过适当地的方法进行。太阳能电池模块的构成未特别限定，但优选上述的太阳能电池经由布线板与其它的太阳能电池或者外部电路连接。
图11是一实施方式的太阳能电池模块的示意剖视图。图11所示的太阳能电池模块200具备第一太阳能电池101以及第二太阳能电池102。通过与第一太阳能电池以及第二太阳能电池的背面侧接触设置的布线板300，使太阳能电池101、102串联连接。
在太阳能电池101、102的受光面侧以及背面侧分别配置有保护件201以及202。在受光面侧保护件201与背面侧保护件202之间设置有密封件203，通过密封件203将太阳能电池101、102密封。
在太阳能电池模块的制作中，首先，制作使多个太阳能电池经由布线板300而彼此连接的带布线板的太阳能电池。该带布线板的太阳能电池经由密封件203被受光面侧保护件201以及背面侧保护件202夹持，而形成太阳能电池模块。此时，如图11所示，优选在受光面侧保护件201上依次层叠密封件203、带布线板的太阳能电池、密封件203以及背面侧保护件202而构成层叠体。其后，优选通过以规定条件对上述层叠体进行加热，使密封件203固化。而且，通过安装铝框架(未图示)等能够制作太阳能电池模块200。
受光面侧保护件201优选配置于太阳能电池101、102的各自的受光面侧(光入射面侧)，保护太阳能电池模块的表面。作为受光面侧保护件，能够使用具有透光性以及遮水性的玻璃、透光性塑料等。背面侧保护件202优选配置于太阳能电池101、102的各自的背面侧，保护太阳能电池模块的背面。作为背面侧保护件，能够使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等树脂膜、具有用树脂膜夹持铝箔而得的构造的层叠膜等。
密封件203在受光面侧保护件201与背面侧保护件202之间对带布线板的太阳能电池进行密封。受光面侧保护件与太阳能电池之间的密封件可以是同背面侧保护件与太阳能电池之间的密封件相同的种类，也可以是不同种类。作为密封件，能够使用乙烯-醋酸乙烯共聚物树脂(EVA)、乙烯-丙烯酸乙酯共聚物树脂(EEA)、聚乙烯醇缩丁醛树脂(PVB)、硅、聚氨酯、丙烯酸、环氧等的透光性的树脂。作为密封件203，也能够使用烯烃系密封件。烯烃系密封件与由EVA等构成的密封件相比，水蒸气透过率低，因此能够抑制水向模块内的侵入。作为烯烃系密封件的材料，能够使用非交联烯烃以及交联烯烃的任一种。
如以上那样能够制作太阳能电池模块200，但太阳能电池模块的基本的构成以及制作方法不限定于上述。
[太阳能电池与布线板的电连接]
图12是用于对太阳能电池与布线板的电连接进行说明的示意图。图12中，摘录图11所示的构成中的太阳能电池与布线板的电连接所需要的构成而进行图示。
与图1所示的太阳能电池100相同，图12所示的太阳能电池101、102各自具备：设置在受光面上的集电极7a、7b、和设置在背面上的背面电极8a、8b。太阳能电池101、102以背面电极8a、8b与布线板300的第一主面对置的方式配置。第一太阳能电池101还具备连接电极9a。连接电极9a与集电极7a连接，并且与背面电极8a绝缘。
在太阳能电池101、102中，集电极7a、7b均为第一导电型用的电极，背面电极8a、8b均为第二导电型用的电极。太阳能电池101的第一导电型与太阳能电池102的第一导电型是相同的导电型。即，若太阳能电池101的受光面侧为p型则太阳能电池102的受光面侧也为p型。
布线板300具备设置有第一贯通孔411以及第二贯通孔412的绝缘性基材330。通过在第一贯通孔411内以及第二贯通孔412内填充导电性材料等，分别形成第一导通部401以及第二导通部402。在绝缘性基材330的第二主面上设置有第一背面布线321。
如图12所示，第一背面布线321以使第一导通部401与第二导通部402导通的方式形成。第一导通部401与第一太阳能电池101的连接电极9a导通，第二导通部402与第二太阳能电池102的背面电极8b导通。其结果，第一太阳能电池101的集电极7a与第二太阳能电池102的背面电极8b经由连接电极9a、第一导通部401、第一背面布线321以及第二导通部402而导通，第一太阳能电池101与第二太阳能电池102串联连接。
图13是表示构成太阳能电池模块的太阳能电池与布线板的电连接的一实施方式的分解立体图。图13除了太阳能电池101、102之外还示出第三太阳能电池103。并且，图13所示的形态中，布线板300除了绝缘性基材330以及第一背面布线321之外还具备第二背面布线322、第三背面布线323以及表面布线311～316。
与第一太阳能电池101相同，第三太阳能电池103具备：设置在受光面上的集电极7c、设置在背面上的背面电极8c、以及连接电极9c。第三太阳能电池103的集电极7c是第一导电型用的电极，背面电极8c是第二导电型用的电极。太阳能电池101～103的第一导电型均为相同的导电型。太阳能电池101、102、103以背面电极8a、8b、8c与布线板300的第一主面对置的方式配置。
与图12所示的形态相同，在图13中，布线板300的绝缘性基材330也具有多个贯通孔411～415。通过在第一贯通孔411内、第二贯通孔412内、第三贯通孔413内、第四贯通孔414内以及第五贯通孔415内填充有导电性部件等，分别形成第一导通部401、第二导通部402、第三导通部403、第四导通部404以及第五导通部405。在绝缘性基材330的第二主面上设置有背面布线321～323，在绝缘性基材330的第一主面上设置有表面布线311～316。背面布线321～323以彼此绝缘的方式(不导通的方式)形成。
图13中，第一表面布线311经由布线板300的第一导通部401与第一背面布线321导通(A-A线)，第二表面布线312经由布线板300的第二导通部402与第一背面布线321导通(B-B线)。第一太阳能电池101的连接电极9a与第一表面布线311连接，第二太阳能电池102的背面电极8b与第二表面布线312连接。其结果，第一太阳能电池101的集电极7a与第二太阳能电池102的背面电极8b经由连接电极9a、第一表面布线311、第一导通部401、第一背面布线321、第二导通部402以及第二表面布线312而导通。
第三表面布线313经由布线板300的第三导通部403而与第二背面布线322导通(B-B线)，第四表面布线314经由布线板300的第四导通部404与第二背面布线322导通(A-A线)。第一太阳能电池101的背面电极8a与第三表面布线313连接，第三太阳能电池103的连接电极9c与第四表面布线314连接。其结果，第一太阳能电池101的背面电极8a与第三太阳能电池103的集电极7c经由第三表面布线313、第三导通部403、第二背面布线322、第四导通部404、第四表面布线314以及连接电极9c而导通。
根据以上内容，第一太阳能电池101的集电极7a与第二太阳能电池102的背面电极8b导通，第一太阳能电池101的背面电极8a与第三太阳能电池103的集电极7c导通。由此，太阳能电池101、102、103串联连接。
图13中，第五表面布线315经由布线板300的第五导通部405与第三背面布线323导通(A-A线)。图13虽未示出，但通过第二太阳能电池102的连接电极9b与第五表面布线315连接，第二太阳能电池102的集电极7b与其它太阳能电池或者外部电路导通。同样，通过第三太阳能电池103的背面电极8c与第六表面布线316连接，第三太阳能电池103的背面电极8c与其它太阳能电池或者外部电路导通。
如图13所示，布线板300在太阳能电池的连接电极以及背面电极的正下方的第一主面上具备表面布线，由此经由表面布线，能够将连接电极以及背面电极与布线板的导通部电连接。因此，可容易地进行太阳能电池与布线板的连接。布线板300的表面布线的图案形状优选以与太阳能电池的背面电极以及连接电极的图案形状对应的方式形成。表面布线311以与表面布线313绝缘的方式设置。表面布线311优选以与表面布线313隔开间隔且包围表面布线313的周围的方式连续地形成。表面布线312与315的关系也同表面布线314与316的关系相同。
通过使用图13所示的布线板300，经由设置于布线板的贯通孔内的导通部、和布线板的表面布线、背面布线，将太阳能电池的受光面侧的集电极与邻接的太阳能电池的背面电极电连接，从而能够将多个太阳能电池串联连接。
[布线板]
构成本发明的太阳能电池模块的布线板例如能够像以下那样制造。首先，准备绝缘性基材。作为绝缘性基材，只要是电绝缘性的材料就没有特别限定，例如能够使用玻璃板、环氧树脂板等硬质材料、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亚胺(PI)等的树脂膜等。绝缘性基材的厚度未特别限定，例如在10μm～5mm左右的范围，根据材料的特性等选择即可。
在绝缘性基材的规定的位置形成贯通孔，形成导通部。作为形成贯通孔的方法未特别限定，可举出激光照射、机械开孔等方法。作为形成导通部的方法，例如可举出在贯通孔内填充导电性糊剂的方法、通孔镀覆等。
在背面侧的主面上形成背面布线，根据需要在绝缘性基材的受光面侧的主面上形成表面布线。表面布线以及背面布线的布线材料只要是导电性的材料就未特别限定，例如能够使用铜、铝、银等。另外，表面布线以及背面布线也可以分别为一层，也可以为两层以上。在基材上形成布线图案的方法未特别限定，可举出制作印刷布线板时所使用的减色法、半加成法等方法。
[其他实施方式]
以上，对本发明优选的实施方式的太阳能电池、以及具备该太阳能电池的太阳能电池模块进行了说明，但本发明不限定于上述的实施方式。只要可得到本发明的效果，太阳能电池的构成(集电极、背面电极以及背面电极的形状等)能够采用任意的构成。另外，太阳能电池模块的构成(太阳能电池的电连接、布线板的构成等)也能够采用任意的构成。
本发明的布线板也能够应用于异质结太阳能电池以外的太阳能电池的模块化。只要是使用晶体硅太阳能电池、GaAs等硅以外的半导体基板的太阳能电池等、通过布线将多个太阳能电池间相互连接的类型，无论怎样的太阳能电池均能够应用。
作为太阳能电池模块的构造，图13中，对在太阳能电池101、102、103的四边设置有连接电极的构造进行了说明，但例如图14、15所示，也可以是设置于太阳能电池111、112、113的三边的连接电极与布线板350、360连接的构造。从低电阻化的观点出发，优选图13所示那样的使用太阳能电池的四边与布线板连接的构造。在通过镀覆法形成集电极的情况下，在太阳能电池的四边设置有连接电极更容易使镀覆层的膜厚均匀。另一方面，例如在太阳能电池的平面形状为大致长方形的情况下，能够使沿短边方向延伸的集电极较短，因此即使使用太阳能电池的三边与布线板连接也可使太阳能电池模块充分发挥功能，另外，也能够使镀覆层的膜厚均匀。此外，“大致长方形”除了完全的长方形以外至少还包括缺少一个顶点的形状等。
连接电极优选设置在太阳能电池的第一主面的整个周缘、以及第二主面的整个周缘，但也可以设置于各主面的周缘的一部分。另外，连接电极只要与集电极连接，也可以不设置于太阳能电池的第一主面的周缘。连接电极优选与太阳能电池的侧面连续地设置，但也可以在太阳能电池的侧面不连续地设置。
太阳能电池的集电极只要以图案状形成，其形状未特别限定。本发明中，能够通过连接电极收集电流，因此优选第一主面侧不包括母线电极。如图2A所示，集电极优选包括多个指状电极。在集电极包括多个指状电极的情况下，多个指状电极也可以仅沿一方向延伸，但优选多个指状电极交叉。若多个指状电极交叉并具有交点，则即使在指状电极的一部分断线的情况下，也能够抑制模块特性的降低。其中，如图2A所示，优选多个指状电极以格子状设置。
在使用布线板使本发明的太阳能电池模块化时，布线板的构成(绝缘性基材、表面布线以及背面布线的形状等)不限定于上述，也能够采用任意的构成。
如图13所示，表面布线311优选以包围表面布线313的方式连续地形成。与太阳能电池的连接电极接触的表面布线优选以将设置于多个贯通孔的导通部连结的方式连续地设置，但也可以是穿孔线状等不连续形状。表面布线经由绝缘性基材的导通部与背面布线导通即可，因此也可以仅设置在导通部上。
如图13所示，表面布线313优选以面状形成。与太阳能电池的背面电极接触的表面布线的形状优选与背面电极的形状对应，但也可以不同。例如，也可以构成为太阳能电池的背面电极以图案状形成，表面布线以面状形成，也可以构成为太阳能电池的背面电极以面状形成，表面布线以图案状形成。另外，也可以同与太阳能电池的连接电极接触的表面布线相同，与背面电极接触的表面布线仅设置在导通部上。只要太阳能电池的连接电极或者背面电极经由绝缘性基材的导通部而与背面布线导通，布线板也可以不具备表面布线。
在使本发明的太阳能电池模块化时，如图11～图15所示，优选经由布线板与其它太阳能电池等连接，但也可以取代布线板，经由接头线等互连部件而与其它太阳能电池等连接。
在使太阳能电池模块化时，优选将多个本发明的太阳能电池连接，但也可以混有具有与本发明的太阳能电池不同的构成的太阳能电池。另外，在太阳能电池模块具备三个以上的太阳能电池的情况下，也可以构成为全部的太阳能电池串联连接，也可以构成为部分并联连接。例如，在太阳能电池模块具备三个太阳能电池的情况下，如图13所示那样，也可以构成为三个太阳能电池串联连接，也可以将串联连接与并列连接组合。该情况下，以并联的方式连接的太阳能电池也可以仅经由布线板的表面布线而连接。
附图标记的说明
1...导电型单晶硅基板；2a、2b...本征硅系薄膜；3a、3b...导电型硅系薄膜；6a、6b、6c...透明电极层；7、7a、7b、7c...集电极；8、8a、8b、8c...背面电极；9、9a、9b、9c...连接电极；50...光电转换部；71、81、91...金属籽晶层；72、82、92...镀覆层；100、101、102、103、111、112、113...太阳能电池；200...太阳能电池模块；201...受光面侧保护件；202...背面侧保护件；203...密封件；300、350、360...布线板；311、312、313、314、315、316...表面布线；321、322、323...背面布线；330...绝缘性基材；401、402、403、404、405...导通部；411、412、413、414、415...贯通孔。

Claims (5)

1.一种太阳能电池的制造方法，所述太阳能电池具备光电转换部，该光电转换部在导电型单晶硅基板（1）的第一主面上依次具有第一导电型硅系薄膜（3a）以及第一透明电极层（6a），在所述导电型单晶硅基板的第二主面上依次具有第二导电型硅系薄膜（3b）以及第二透明电极层（6b），
其中，
所述太阳能电池的制造方法具有：
在所述光电转换部的第一主面上形成第一金属籽晶层（71）的工序；
在所述光电转换部的第二主面上形成第二金属籽晶层（81）的工序；以及
在所述光电转换部的第二主面的周缘以及所述光电转换部的侧面上形成第三金属籽晶层（91）的工序，
所述第一金属籽晶层、所述第二金属籽晶层以及所述第三金属籽晶层以所述第一金属籽晶层与所述第三金属籽晶层导通且所述第二金属籽晶层与所述第三金属籽晶层不导通的方式形成，
通过对所述第一金属籽晶层以及所述第三金属籽晶层中的至少一方进行供电，来同时形成所述第一金属籽晶层上的第一镀覆层（72）以及所述第三金属籽晶层上的第三镀覆层（92）。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中，
在所述光电转换部的第二主面上设置了掩模的状态下，从所述光电转换部的第二主面侧形成金属层，由此同时形成所述第二金属籽晶层以及所述第三金属籽晶层。
3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池的制造方法，其中，
通过对所述第三金属籽晶层进行供电，来同时形成所述第一镀覆层以及所述第三镀覆层。
4.根据权利要求1或2所述的太阳能电池的制造方法，其中，
还具有在所述第二金属籽晶层上通过镀覆法形成第二镀覆层（82）的工序。
5.根据权利要求1或2所述的太阳能电池的制造方法，其中，
所述光电转换部还具有第三透明电极层（6c），
所述第三透明电极层设置在所述第二导电型硅系薄膜的周缘以及所述导电型单晶硅基板的侧面上，并不与所述第二透明电极层导通，
所述第三金属籽晶层形成在所述第三透明电极层上，
所述第一透明电极层以及所述第一金属籽晶层中的至少任一方与所述第三透明电极层以相互接触的方式形成。
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