CN102140675A - 泡生法制备大尺寸蓝宝石单晶的快速生长方法 - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201110072182XA CN102140675B (zh) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | 泡生法制备大尺寸蓝宝石单晶的快速生长方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201110072182XA CN102140675B (zh) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | 泡生法制备大尺寸蓝宝石单晶的快速生长方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102140675A true CN102140675A (zh) | 2011-08-03 |
CN102140675B CN102140675B (zh) | 2012-11-21 |
Family
ID=44408461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN201110072182XA Active CN102140675B (zh) | 2011-03-24 | 2011-03-24 | 泡生法制备大尺寸蓝宝石单晶的快速生长方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN102140675B (zh) |
Cited By (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102286781A (zh) * | 2011-09-15 | 2011-12-21 | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长用坩埚移动装置 |
CN102560623A (zh) * | 2012-02-09 | 2012-07-11 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 大尺寸蓝宝石单晶的制备方法 |
CN102634845A (zh) * | 2012-02-07 | 2012-08-15 | 徐州协鑫光电科技有限公司 | 泡生法生长蓝宝石单晶体中的升温化料的方法及其应用 |
CN102691103A (zh) * | 2012-06-14 | 2012-09-26 | 中国科学院半导体研究所 | 一种采用双重控制技术生长蓝宝石晶体的方法 |
CN102758255A (zh) * | 2012-08-02 | 2012-10-31 | 元亮科技有限公司 | 顶部籽晶温度梯度法生长大尺寸高温氧化物晶体的方法 |
CN102943303A (zh) * | 2012-11-14 | 2013-02-27 | 上海施科特光电材料有限公司 | 在采用泡生法生长蓝宝石过程中抑制气泡的方法 |
CN102978694A (zh) * | 2012-11-05 | 2013-03-20 | 浙江东海蓝玉光电科技有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长的改良泡生法 |
CN103014858A (zh) * | 2013-01-11 | 2013-04-03 | 焦作市光源晶电科技有限公司 | 一种蓝宝石化料工艺 |
CN103060911A (zh) * | 2013-01-04 | 2013-04-24 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种大尺寸高品质因素掺碳钛宝石激光晶体及其制备方法 |
CN103074671A (zh) * | 2012-11-05 | 2013-05-01 | 浙江东海蓝玉光电科技有限公司 | 一种减少大尺寸蓝宝石晶体气泡的泡生法 |
CN103290472A (zh) * | 2012-11-05 | 2013-09-11 | 浙江东海蓝玉光电科技有限公司 | 一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程中的冷却方法 |
CN103540998A (zh) * | 2013-08-20 | 2014-01-29 | 曾锡强 | 一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺 |
CN103614765A (zh) * | 2013-10-31 | 2014-03-05 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 石墨加热生长蓝宝石晶体的方法 |
CN103882520A (zh) * | 2014-04-04 | 2014-06-25 | 玉溪市明珠晶体材料有限公司 | 饰品级蓝宝石单晶体的生长方法 |
CN103882521A (zh) * | 2014-04-04 | 2014-06-25 | 玉溪市明珠晶体材料有限公司 | 饰品级红宝石单晶体的生长方法 |
CN103966661A (zh) * | 2014-04-08 | 2014-08-06 | 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 | 一种泡生法制备蓝宝石单晶的生长方法 |
CN104099660A (zh) * | 2014-07-02 | 2014-10-15 | 厦门润晶光电有限公司 | 大公斤数蓝宝石晶体的旋转扩肩稳定拉升法 |
CN104562198A (zh) * | 2014-12-12 | 2015-04-29 | 宁波循泽电子科技有限公司 | 一种改良泡生法的蓝宝石单晶生长方法 |
CN104695010A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-06-10 | 浙江东海蓝玉光电科技有限公司 | 一种快速制备大尺寸蓝宝石晶体改良泡生法 |
CN104775155A (zh) * | 2015-05-05 | 2015-07-15 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种彩色氧化铝宝石单晶的生长方法 |
CN104775158A (zh) * | 2015-05-05 | 2015-07-15 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种蓝宝石单晶的生长方法 |
CN104775157A (zh) * | 2015-05-05 | 2015-07-15 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种蓝色氧化铝宝石单晶的生长方法 |
CN104790035A (zh) * | 2015-05-05 | 2015-07-22 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种红色氧化铝宝石单晶的生长方法 |
CN104911708A (zh) * | 2015-06-15 | 2015-09-16 | 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 | 泡生法制备方形蓝宝石晶体的生长方法 |
CN105177711A (zh) * | 2015-10-16 | 2015-12-23 | 吉爱华 | 蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺 |
CN105350072A (zh) * | 2015-11-06 | 2016-02-24 | 南京晶升能源设备有限公司 | 泡生法晶体生长单晶炉脱锅方法、温控方法和控制方法 |
CN105483818A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-04-13 | 邢台晶龙电子材料有限公司 | 一种m2型单晶硅放肩方法 |
CN105839177A (zh) * | 2016-04-08 | 2016-08-10 | 齐齐哈尔市泰兴机械加工有限责任公司 | 一种大尺寸单质晶体的分阶段提拉制备方法 |
CN106149048A (zh) * | 2015-07-02 | 2016-11-23 | 宁夏佳晶科技有限公司 | 一种ky法蓝宝石低真空晶体生长方法 |
CN106987902A (zh) * | 2017-03-20 | 2017-07-28 | 宁夏佳晶科技有限公司 | 一种用于人造蓝宝石的冷心放肩提拉制备方法 |
CN107059115A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-08-18 | 山西中聚晶科半导体有限公司 | 一种泡生法制备蓝宝石晶体的生长方法 |
CN107099839A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-08-29 | 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司 | 一种m向单晶蓝宝石的制备工艺及m向单晶蓝宝石 |
CN108315812A (zh) * | 2018-05-10 | 2018-07-24 | 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司 | 一种泡生法生长蓝宝石晶体的方法 |
CN111809237A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-10-23 | 有研光电新材料有限责任公司 | 用于在锗晶体生长过程中粘出脏料的方法 |
CN113564694A (zh) * | 2021-07-22 | 2021-10-29 | 东莞晶驰光电科技有限公司 | 蓝宝石晶体生长工艺 |
CN114875489A (zh) * | 2022-07-12 | 2022-08-09 | 太原源瀚科技有限责任公司 | 一种大尺寸蓝宝石晶锭的快速长晶工艺 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1544712A (zh) * | 2003-11-18 | 2004-11-10 | 陈迎春 | 综合熔体法生长晶体 |
CN101054725A (zh) * | 2007-02-07 | 2007-10-17 | 深圳市淼浩高新科技开发有限公司 | 一种铝酸锂晶体的生长方法 |
CN101054723A (zh) * | 2007-02-07 | 2007-10-17 | 深圳市淼浩高新科技开发有限公司 | 一种r面蓝宝石晶体的生长方法 |
CN101089241A (zh) * | 2006-06-13 | 2007-12-19 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种钒酸钾非线性光学晶体的生长方法 |
CN101580961A (zh) * | 2009-06-17 | 2009-11-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 还原性气氛泡生法生长晶体的方法 |
-
2011
- 2011-03-24 CN CN201110072182XA patent/CN102140675B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1544712A (zh) * | 2003-11-18 | 2004-11-10 | 陈迎春 | 综合熔体法生长晶体 |
CN101089241A (zh) * | 2006-06-13 | 2007-12-19 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种钒酸钾非线性光学晶体的生长方法 |
CN101054725A (zh) * | 2007-02-07 | 2007-10-17 | 深圳市淼浩高新科技开发有限公司 | 一种铝酸锂晶体的生长方法 |
CN101054723A (zh) * | 2007-02-07 | 2007-10-17 | 深圳市淼浩高新科技开发有限公司 | 一种r面蓝宝石晶体的生长方法 |
CN101580961A (zh) * | 2009-06-17 | 2009-11-18 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 还原性气氛泡生法生长晶体的方法 |
Cited By (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102286781B (zh) * | 2011-09-15 | 2013-10-30 | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长用坩埚移动装置 |
CN102286781A (zh) * | 2011-09-15 | 2011-12-21 | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长用坩埚移动装置 |
CN102634845A (zh) * | 2012-02-07 | 2012-08-15 | 徐州协鑫光电科技有限公司 | 泡生法生长蓝宝石单晶体中的升温化料的方法及其应用 |
CN102560623A (zh) * | 2012-02-09 | 2012-07-11 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 大尺寸蓝宝石单晶的制备方法 |
CN102560623B (zh) * | 2012-02-09 | 2015-06-24 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 大尺寸蓝宝石单晶的制备方法 |
CN102691103A (zh) * | 2012-06-14 | 2012-09-26 | 中国科学院半导体研究所 | 一种采用双重控制技术生长蓝宝石晶体的方法 |
CN102691103B (zh) * | 2012-06-14 | 2015-04-15 | 中国科学院半导体研究所 | 一种采用双重控制技术生长蓝宝石晶体的方法 |
CN102758255A (zh) * | 2012-08-02 | 2012-10-31 | 元亮科技有限公司 | 顶部籽晶温度梯度法生长大尺寸高温氧化物晶体的方法 |
CN102758255B (zh) * | 2012-08-02 | 2015-05-27 | 元亮科技有限公司 | 顶部籽晶温度梯度法生长大尺寸高温氧化物晶体的方法 |
CN102978694A (zh) * | 2012-11-05 | 2013-03-20 | 浙江东海蓝玉光电科技有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长的改良泡生法 |
CN103290472A (zh) * | 2012-11-05 | 2013-09-11 | 浙江东海蓝玉光电科技有限公司 | 一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程中的冷却方法 |
CN103074671A (zh) * | 2012-11-05 | 2013-05-01 | 浙江东海蓝玉光电科技有限公司 | 一种减少大尺寸蓝宝石晶体气泡的泡生法 |
CN103074671B (zh) * | 2012-11-05 | 2015-10-28 | 浙江东海蓝玉光电科技有限公司 | 一种减少大尺寸蓝宝石晶体气泡的泡生法 |
CN102943303A (zh) * | 2012-11-14 | 2013-02-27 | 上海施科特光电材料有限公司 | 在采用泡生法生长蓝宝石过程中抑制气泡的方法 |
CN103060911A (zh) * | 2013-01-04 | 2013-04-24 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种大尺寸高品质因素掺碳钛宝石激光晶体及其制备方法 |
CN103014858A (zh) * | 2013-01-11 | 2013-04-03 | 焦作市光源晶电科技有限公司 | 一种蓝宝石化料工艺 |
CN103540998A (zh) * | 2013-08-20 | 2014-01-29 | 曾锡强 | 一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺 |
CN103614765A (zh) * | 2013-10-31 | 2014-03-05 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 石墨加热生长蓝宝石晶体的方法 |
CN103882521A (zh) * | 2014-04-04 | 2014-06-25 | 玉溪市明珠晶体材料有限公司 | 饰品级红宝石单晶体的生长方法 |
CN103882520A (zh) * | 2014-04-04 | 2014-06-25 | 玉溪市明珠晶体材料有限公司 | 饰品级蓝宝石单晶体的生长方法 |
CN103966661A (zh) * | 2014-04-08 | 2014-08-06 | 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 | 一种泡生法制备蓝宝石单晶的生长方法 |
CN103966661B (zh) * | 2014-04-08 | 2016-06-29 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | 一种泡生法制备蓝宝石单晶的生长方法 |
CN104099660A (zh) * | 2014-07-02 | 2014-10-15 | 厦门润晶光电有限公司 | 大公斤数蓝宝石晶体的旋转扩肩稳定拉升法 |
CN104099660B (zh) * | 2014-07-02 | 2017-06-27 | 厦门润晶光电集团有限公司 | 大公斤数蓝宝石晶体的旋转扩肩稳定拉升法 |
CN104562198A (zh) * | 2014-12-12 | 2015-04-29 | 宁波循泽电子科技有限公司 | 一种改良泡生法的蓝宝石单晶生长方法 |
CN104562198B (zh) * | 2014-12-12 | 2017-04-12 | 宁波循泽电子科技有限公司 | 一种改良泡生法的蓝宝石单晶生长方法 |
CN104695010B (zh) * | 2014-12-26 | 2017-05-03 | 江西东海蓝玉光电科技有限公司 | 一种快速制备大尺寸蓝宝石晶体改良泡生法 |
CN104695010A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-06-10 | 浙江东海蓝玉光电科技有限公司 | 一种快速制备大尺寸蓝宝石晶体改良泡生法 |
CN104775157A (zh) * | 2015-05-05 | 2015-07-15 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种蓝色氧化铝宝石单晶的生长方法 |
CN104775158A (zh) * | 2015-05-05 | 2015-07-15 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种蓝宝石单晶的生长方法 |
CN104775157B (zh) * | 2015-05-05 | 2017-11-14 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种蓝色氧化铝宝石单晶的生长方法 |
CN104790035A (zh) * | 2015-05-05 | 2015-07-22 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种红色氧化铝宝石单晶的生长方法 |
CN104775155A (zh) * | 2015-05-05 | 2015-07-15 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 一种彩色氧化铝宝石单晶的生长方法 |
CN104911708B (zh) * | 2015-06-15 | 2017-10-27 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | 泡生法制备方形蓝宝石晶体的生长方法 |
CN104911708A (zh) * | 2015-06-15 | 2015-09-16 | 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司 | 泡生法制备方形蓝宝石晶体的生长方法 |
CN106149048A (zh) * | 2015-07-02 | 2016-11-23 | 宁夏佳晶科技有限公司 | 一种ky法蓝宝石低真空晶体生长方法 |
CN105177711A (zh) * | 2015-10-16 | 2015-12-23 | 吉爱华 | 蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺 |
CN105350072A (zh) * | 2015-11-06 | 2016-02-24 | 南京晶升能源设备有限公司 | 泡生法晶体生长单晶炉脱锅方法、温控方法和控制方法 |
CN105483818A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-04-13 | 邢台晶龙电子材料有限公司 | 一种m2型单晶硅放肩方法 |
CN105839177A (zh) * | 2016-04-08 | 2016-08-10 | 齐齐哈尔市泰兴机械加工有限责任公司 | 一种大尺寸单质晶体的分阶段提拉制备方法 |
CN105839177B (zh) * | 2016-04-08 | 2018-06-19 | 齐齐哈尔市泰兴机械加工有限责任公司 | 一种大尺寸单晶体的分阶段提拉制备方法 |
CN106987902A (zh) * | 2017-03-20 | 2017-07-28 | 宁夏佳晶科技有限公司 | 一种用于人造蓝宝石的冷心放肩提拉制备方法 |
CN107059115A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-08-18 | 山西中聚晶科半导体有限公司 | 一种泡生法制备蓝宝石晶体的生长方法 |
CN107099839A (zh) * | 2017-05-16 | 2017-08-29 | 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司 | 一种m向单晶蓝宝石的制备工艺及m向单晶蓝宝石 |
CN108315812A (zh) * | 2018-05-10 | 2018-07-24 | 内蒙古恒嘉晶体材料有限公司 | 一种泡生法生长蓝宝石晶体的方法 |
CN111809237A (zh) * | 2020-06-03 | 2020-10-23 | 有研光电新材料有限责任公司 | 用于在锗晶体生长过程中粘出脏料的方法 |
CN111809237B (zh) * | 2020-06-03 | 2021-10-08 | 有研光电新材料有限责任公司 | 用于在锗晶体生长过程中粘出脏料的方法 |
CN113564694A (zh) * | 2021-07-22 | 2021-10-29 | 东莞晶驰光电科技有限公司 | 蓝宝石晶体生长工艺 |
CN114875489A (zh) * | 2022-07-12 | 2022-08-09 | 太原源瀚科技有限责任公司 | 一种大尺寸蓝宝石晶锭的快速长晶工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102140675B (zh) | 2012-11-21 |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
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CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 150001 room 3, unit 101, building B1, Li Hua District, Daowai District, Heilongjiang, Harbin, China Patentee after: HARBIN AURORA OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. Address before: 150001 room 3, unit 101, building B1, Li Hua District, Daowai District, Heilongjiang, Harbin, China Patentee before: Harbin Aurora Optoelectronics Technology Co., Ltd. |
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PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: Kyropoulos method for quickly growing large-size sapphire single crystal Effective date of registration: 20180929 Granted publication date: 20121121 Pledgee: Longjiang bank Limited by Share Ltd Harbin Development Zone sub branch Pledgor: HARBIN AURORA OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. Registration number: 2018990000856 Denomination of invention: Kyropoulos method for quickly growing large-size sapphire single crystal Effective date of registration: 20180929 Granted publication date: 20121121 Pledgee: Longjiang bank Limited by Share Ltd Harbin Development Zone sub branch Pledgor: HARBIN AURORA OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. Registration number: 2018990000856 |
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PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20200509 Granted publication date: 20121121 Pledgee: Longjiang bank Limited by Share Ltd Harbin Development Zone sub branch Pledgor: HARBIN AURORA OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: 2018990000856 |
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PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |