CN101903284A - 填充装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种减小过滤抗蚀剂液的过滤器14前后压力变动的填充装置。该装置具备：存积有抗蚀剂液的填充液罐2、通过供给泵10将从该填充液罐2送出的抗蚀剂液输送至填充喷嘴8的填充液通路4、从填充液通路4中途的分支部18分支出并连通至填充液罐2的回收通路16、设置在比填充液通路4的分支部18更下游侧(填充液通路4的下游部4B)的填充阀12、设置在回收通路16上的回收阀20、设置在上述泵10和分支部18之间的过滤器14、分别驱动填充阀12和回收阀20的伺服电机、控制伺服电机以调整填充阀12和回收阀20的开度的控制装置24；并且该装置控制回收阀20的开度，以使过滤器14的上游侧和下游侧的压力不变动。

Description

填充装置
技术领域
本发明涉及将透过过滤器除去了杂质的抗蚀剂液填充在容器内的填充装置，尤其涉及可降低填充动作所产生的过滤器前后压力差的填充装置。
背景技术
抗蚀剂液的填充装置中，在液体通路内配置过滤器以捕获抗蚀剂液中所含的杂质(例如，参照专利文献1或专利文献2)。专利文献1记载的光致抗蚀剂涂布装置是“对于从光致抗蚀剂加仑瓶(gallon bottle)21起经三通阀13、泵3、过滤器单元4、三通阀14到达涂布喷嘴5的供给用配管2，设置了从三通阀14直接回到三通阀13的循环用配管8”。该装置中，“涂布停止时使光致抗蚀剂在从三通阀13、泵3、过滤器单元4、三通阀14经循环用配管8回到三通阀13的环状线路内循环而不让光致抗蚀剂停滞”。
另外，专利文献2中记载了“一种降低微粒量的光致抗蚀剂组合物的制备方法，其特征在于：该方法使光致抗蚀剂组合物通过过滤器，再将通过后的光致抗蚀剂组合物引导至该过滤器中，通过使其在封闭系统内循环来除去该光致抗蚀剂组合物中的微粒”。该方法中，在进行填充前使光致抗蚀剂组合物通过过滤器从而将光致抗蚀剂组合物中的杂质除去。
专利文献1：日本特开平10-172881号公报
专利文献2：日本特开2002-62667号公报
发明内容
上述各引用文献中记载的发明的结构，是利用泵输送抗蚀剂液使其通过过滤器以除去杂质等。当不进行这种填充动作时，即使通过过滤器除去抗蚀剂液的杂质等而使杂质减少，在进行填充时，填充阀的开闭动作也会导致过滤器的上游侧和下游侧产生压力变动，如果这种压力变动大，则存在有时抗蚀剂液中的杂质通过过滤器流向下游侧的问题。
本发明是为了解决上述课题而完成的，目的在于提供一种填充装置，该填充装置通过尽量抑制由填充阀的开闭动作而产生的过滤器的上游侧和下游侧之间的压力变动，可以提高过滤器对抗蚀剂液的过滤准确度。
本发明的特征在于，填充装置具备：存积有填充液的填充液罐、连通该填充液罐和填充喷嘴的填充液通路、从该填充液通路分支出并使填充液回流到上述填充液罐中的回收通路、设置在比上述填充液通路与回收通路的分支部更下游侧的填充阀、设置在上述回收通路中的回收阀、设置在填充液通路中并输送填充液罐内的填充液的供给泵、设置在填充液通路的供给泵与上述分支部之间的过滤器、分别设置在上述填充阀和回收阀中并调整各阀的开度的驱动设备(手段)、控制这些驱动设备的控制设备；上述控制设备控制上述回收阀的开度，以使上述过滤器的上游侧压力和下游侧压力在填充动作中不会根据上述填充阀的开闭动作而变动。
权利要求2记载的发明，其特征在于：设置记忆填充阀开度与回收阀开度的关系的记忆设备，根据该关系来控制填充阀和回收阀的开度。
权利要求3记载的发明，其特征在于：在上述过滤器的上游侧和下游侧设置压力检测设备，根据检测出的压力来控制回收阀的开度。
本发明的填充装置控制上述回收阀的开度，以使过滤器的上游侧和下游侧的压力在填充动作中不会根据上述填充阀的开闭动作而变动，因此可以提高抗蚀剂液通过过滤器时的过滤准确度。
附图说明
图1是表示简化的填充装置结构的概略结构图。(实施例1)
图2是控制上述填充装置的一个例子的图。
图3是表示简化的其它实施例涉及的填充装置结构的概略结构图。(实施例2)
符号说明
2    填充液罐
4     填充液通路
4A    填充液通路的上游侧(上游部)
4B    填充液通路的下游侧(下游部)
8     填充喷嘴
10    供给泵
12    填充阀
14    过滤器
16    回收通路
18    分支部
20    回收阀
24    控制设备(控制装置)
26    压力检测设备(压力计)
28    压力检测设备(压力计)
具体实施方式
填充装置具备：存积有填充液的填充液罐、将填充液从该填充液罐输送至填充喷嘴的填充液通路、在填充液通路内输送上述填充液罐的填充液的供给泵、从该填充液通路分支出并使填充液回流到上述填充液罐中的回收通路、设置在比填充液通路的分支部更下游侧的填充阀、调整该填充阀的开度的驱动设备、设置在上述回收通路的回收阀、调整该回收阀的开度的驱动设备、控制这些驱动设备的动作的控制设备、设置在供给泵和上述填充液通路与回收通路的分支部之间的过滤器；在填充动作中通过控制上述回收阀的开度，使上述过滤器的上游侧和下游侧的压力不会根据上述填充阀的开闭动作而变动，从而实现降低过滤器的上游侧和下游侧的压力差的目的。
实施例1
以下通过附图所示的实施例对本发明进行进一步说明。图1是表示本发明一个实施例涉及的简化的填充装置结构的概略结构图。图中，2为存积有填充液(本实施例为抗蚀剂液)的填充液罐，经由填充液通路4连通至将抗蚀剂液填充到容器6内的填充喷嘴8。该填充液通路4中设置有输送填充液罐2内的抗蚀剂液的供给泵10、以及连通/切断填充液通路4的填充阀12。通过作为驱动设备的伺服电机(未图示)使该填充阀12开闭，从而可以正确调整阀的开度。另外，在上述供给泵10和填充阀12之间，设置有过滤由供给泵10送出的抗蚀剂液的过滤器14。
该填充装置还设置有从上述填充液通路4的中途(过滤器14与填充阀12之间)分支出的回收通路16，该回收通路16使送入填充液通路4内的抗蚀剂液回流到填充液罐2中。另外，以填充液通路4与回收通路16连接的分支部18为基准将填充液罐2侧称为上游部4A、填充喷嘴8侧称为下游部4B。上述回收通路16中设置有回收阀20，该回收阀20控制回收通路16的开闭，使送入填充液通路4上游部4A的抗蚀剂液全部或部分回流。该回收阀20也通过未图示的作为驱动设备的伺服电机而开闭，从而可以正确调整阀的开度。
填充了抗蚀剂液的容器6通过负载传感器22测定填充重量，其检测信号被输入控制设备(控制装置)24中。控制装置24通过来自该负载传感器22的信号，来控制作为上述填充阀12和回收阀20的驱动设备的伺服电机以调整阀的开度。
根据填充的液体种类，在该填充装置中，设定通过供给泵10的驱动从填充液罐2输送至填充液通路(填充液通路的上游部4A)的填充液的流量。另外，预先通过实验求出填充阀12开度与回收阀20开度的关系，将其关系记忆在设置于上述控制装置24中的记忆设备内。流经通路的填充液的压力根据通路的直径、长度等条件而不同，因此在该条件下，求出打开填充阀12时，要怎样控制回收阀20的开度才能抑制过滤器14前后的压力变动、或者收集数据求出不产生压力变动的关系(填充阀12与回收阀20的开度的关系)。
图2是表示可以降低过滤器14前后压力变动的、填充阀12开度与回收阀20开度的关系的一个例子的图。如该图所示，只要能控制填充阀12和回收阀20的开度，就可以降低过滤器14上游侧压力和下游侧压力的变动。例如，在本实施例中，将过滤器14的上游侧压力设定为200KPa、将过滤器14的下游侧压力设定为170Kpa，控制填充阀12和回收阀20的开度，以使该压力不变动。另外，使此时供给泵10产生的流量一定。这样通过维持设定的过滤器14上游侧和下游侧压力的值而使压力不变动，从而可提高过滤器14对抗蚀剂液的过滤准确度。
实施例2
图3是本发明第二实施例涉及的填充装置的概略结构图，结构与上述第一实施例基本相同，因此相同或相当的部分标上同一符号并省略对其说明，仅对不同的部分进行说明。本实施例中，在设置于填充液通路4的过滤器14的上游侧和下游侧分别设置压力检测设备(压力计)26、28，对被供给泵10从填充液罐2输送至填充液通路4上游部4A并通过过滤器14的填充液的、过滤器14上游侧的压力和下游侧的压力进行测定。然后根据测定的压力控制回收阀20的开度。本实施例也可减小过滤器14上游侧和下游侧的压力变动，还可提高过滤器14对抗蚀剂液的过滤准确度。

Claims (3)

1.一种填充装置，其特征在于：
该装置具备：存积有填充液的填充液罐、连通该填充液罐和填充喷嘴的填充液通路、从该填充液通路分支出并使填充液回流到所述填充液罐中的回收通路、设置在比所述填充液通路与回收通路的分支部更下游侧的填充阀、设置在所述回收通路中的回收阀、设置在填充液通路中并输送填充液罐内的填充液的供给泵、设置在填充液通路的供给泵与所述分支部之间的过滤器、分别设置在所述填充阀和回收阀中并调整各阀的开度的驱动设备、控制这些驱动设备的控制设备；
所述控制设备控制所述回收阀的开度，以使所述过滤器的上游侧压力和下游侧压力在填充动作中不根据所述填充阀的开闭动作而变动。
2.如权利要求1所述的填充装置，其特征在于：在填充装置设置记忆填充阀开度与回收阀开度的关系的记忆设备，根据所述关系来控制填充阀和回收阀的开度。
3.如权利要求1所述的填充装置，其特征在于：在所述过滤器的上游侧和下游侧设置压力检测设备，根据检测出的压力来控制回收阀的开度。
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