JP5428800B2 - リソグラフィ組成物の充填装置、及びリソグラフィ組成物の充填方法 - Google Patents
リソグラフィ組成物の充填装置、及びリソグラフィ組成物の充填方法 Download PDFInfo
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Description
[2] 前記充填流量調整部制御手段は、前記容器に充填される前記リソグラフィ組成物の充填重量に基づいて、前記充填手段の充填流量を調整する前記[1]に記載のリソグラフィ組成物の充填装置。
[3] 前記充填流量調整部制御手段は、前記総充填流量を、一定となるように調整する前記[1]または[2]に記載のリソグラフィ組成物の充填装置。
[7] 前記容器に充填される前記リソグラフィ組成物の充填重量に基づいて、前記充填手段の充填流量を調整する前記[6]に記載のリソグラフィ組成物の充填方法。
[8] 前記総充填流量を、一定となるように調整する前記[6]または[7]に記載のリソグラフィ組成物の充填方法。
本実施例で用いた充填装置を図1に示す。図1の充填装置1は、ろ過ユニット6を備える充填ライン8と、連設されたタンク3と、充填ライン8の下流側に設けられた充填ノズル14a,14bと、流量計12、制御装置9と、ロードセル10を有する。充填ノズル14a,14bで容器13に充填した。ろ過ユニット6に備えられたフィルター6fは、PP製(孔径;0.02μm、ろ布面積;4.4m2)であった。
薬液投入ノズル2によりタンク3内にレジスト組成物32Lを装填した。該レジスト組成物は、ヒドロキシスチレン、tert−ブトキシカルボニルヒドロキシスチレンの共重合体、及び酸発生剤(トリフェニルスルホニウムトリフレート)を含有するプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液である。ロータリーポンプ(ジャブスコ製)を用いて、該レジスト組成物を送液し、フィルター6fに通液させた後、充填ノズル14a,14bから、2本の4L容器13に上記レジスト組成物を充填した。循環流量は、100L/hrで行い、充填流量は15L/hrで一定となるように制御した。充填がノズルで重なる場合はその総充填流量が15L/hrとなるようにした。リソグラフィ組成物が充填される容器13は、ロードセル10によって充填重量を測定し、その検出信号が制御装置に入力される。
1本目;0〜240秒(充填ノズル14a)
2本目;200〜440秒(充填ノズル14b)
3本目;400〜640秒(充填ノズル14a)
4本目;600〜840秒(充填ノズル14b)
5本目;800〜1040秒(充填ノズル14a)
6本目;1000〜1240秒(充填ノズル14b)
7本目;1200〜1440秒(充填ノズル14a)
8本目;1400〜1640秒(充填ノズル14b)
ポンプをダイヤフラムポンプ(イワキ製)とし、充填ノズルを2本ずつ同時に稼動させ、実施例1と同様の方法により、レジスト組成物を容器13に充填し、レジスト組成物中の異物数を測定した。その結果を表1に示す。
1本目;0〜240秒(充填ノズル14a)
2本目;0〜240秒(充填ノズル14b)
3本目;300〜540秒(充填ノズル14a)
4本目;300〜540秒(充填ノズル14b)
5本目;600〜840秒(充填ノズル14a)
6本目;600〜840秒(充填ノズル14b)
7本目;900〜1140秒(充填ノズル14a)
8本目;900〜1140秒(充填ノズル14b)
Claims (12)
- リソグラフィ組成物を供給する供給手段と、
前記供給手段から排出された前記リソグラフィ組成物を送液する流路部と、
前記流路部中に備えられ、前記リソグラフィ組成物を送液するための送液手段と、
前記流路部中に備えられ、前記リソグラフィ組成物をろ過するためのフィルターを備えたろ過手段と、
前記流路部の下流に前記リソグラフィ組成物を容器に充填するための複数の充填手段と、を有し、さらに、
複数の前記充填手段の各々に、充填流量を調整するための充填流量調整部と、
前記充填流量調整部を制御して、複数の前記充填手段からの総充填流量を調整する充填流量調整部制御手段と、
を有し、
前記充填流量調整部は、異なる大きさの2種類以上のバルブを備えるリソグラフィ組成物の充填装置。 - 前記充填流量調整部制御手段は、前記容器に充填される前記リソグラフィ組成物の充填重量に基づいて、前記充填手段の充填流量を調整する請求項1に記載のリソグラフィ組成物の充填装置。
- 前記充填流量調整部制御手段は、前記総充填流量を、一定となるように調整する請求項1または2に記載のリソグラフィ組成物の充填装置。
- 前記充填流量調整部制御手段が、前記バルブの開度を調整することにより前記総充填流量が所定の範囲内となるように調整する請求項1〜3のいずれか一項に記載のリソグラフィ組成物の充填装置。
- 前記充填流量調整部制御手段は、前記容器への前記リソグラフィ組成物の充填動作中に前記流路部を流通する前記リソグラフィ組成物の流量が前記充填手段の開閉により所定の範囲内となるように、各前記充填手段の充填流量を制御する請求項1〜4のいずれか一項に記載のリソグラフィ組成物の充填装置。
- リソグラフィ組成物を供給する供給手段から排出された前記リソグラフィ組成物を流路部にて送液し、前記流路部中に備えられた、前記リソグラフィ組成物をろ過するためのフィルターを備えたろ過手段にて前記リソグラフィ組成物をろ過し、前記流路部の下流に備えられた複数の充填手段にて前記リソグラフィ組成物を容器に充填するリソグラフィ組成物の充填方法であって、
前記充填手段は、異なる大きさの2種類以上のバルブを備え、前記充填手段の充填流量を調整することにより、複数の前記充填手段からの総充填流量を調整して前記リソグラフィ組成物を容器に充填するリソグラフィ組成物の充填方法。 - 前記容器に充填される前記リソグラフィ組成物の充填重量に基づいて、前記充填手段の充填流量を調整する請求項6に記載のリソグラフィ組成物の充填方法。
- 前記総充填流量を、一定となるように調整する請求項6または7に記載のリソグラフィ組成物の充填方法。
- 前記バルブの開度を調整することにより前記総充填流量が所定の範囲内となるように調整する請求項6〜8のいずれか一項に記載のリソグラフィ組成物の充填方法。
- 前記容器への前記リソグラフィ組成物の充填動作中に前記流路部を流通する前記リソグラフィの流量が前記充填手段の開閉により所定の範囲内となるように、各前記充填手段の充填流量を制御する請求項6〜9のいずれか一項に記載のリソグラフィ組成物の充填方法。
- 前記容器へ充填終了後新たな容器へ取り替え、一度用いた前記充填手段を再度使用し新たな前記容器に充填する請求項6〜10のいずれか1項に記載のリソグラフィ組成物の充填方法。
- 複数の前記充填手段のうち第1の充填手段から前記容器への前記リソグラフィ組成物の充填を開始し、順に前記充填手段により前記容器への充填を行い、最終の前記充填手段による充填を終了する前に、前記第1の充填手段の前記容器を新たな容器へ取り替え、再び前記第1の充填手段から前記容器へ充填する請求項11に記載のリソグラフィ組成物の充填方法。
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