JPH05346186A - 低脈動式開閉バルブ装置 - Google Patents
低脈動式開閉バルブ装置Info
- Publication number
- JPH05346186A JPH05346186A JP15388392A JP15388392A JPH05346186A JP H05346186 A JPH05346186 A JP H05346186A JP 15388392 A JP15388392 A JP 15388392A JP 15388392 A JP15388392 A JP 15388392A JP H05346186 A JPH05346186 A JP H05346186A
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- pressure sensor
- pressure
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 バルブの開閉によるフィルタに生じる急激な
圧力変動を押さえ、ごみの捕捉の低下を防止した低脈動
式開閉バルブ装置を提供する。 【構成】 装置制御部39からコントローラ35にバルブ25
の開放の指令が入ると、コントローラ35は、バルブ25を
一定開度だけ開放する。バルブ25の開放によりエアー供
給源21から流通路22にエアーを供給し、フィルタユニッ
ト28にエアー流通を行なうと、フィルタユニット28の上
下流にある１次側圧力センサ31および２次側圧力センサ
32の部分の圧力が上昇する。２次側圧力センサ32の部分
の圧力が１次側圧力センサ31の部分の圧力に平衡する
と、コントローラ35は再びバルブ25を一定開度だけ追加
開放する。１次側圧力センサ31で検出した圧力に、２次
側圧力センサ32で検出する圧力が追随する毎に、バルブ
25を順次開放して最終到達圧力まで繰り返し、緩やかに
エアブローノズル24の圧力を段階的に高める。
圧力変動を押さえ、ごみの捕捉の低下を防止した低脈動
式開閉バルブ装置を提供する。 【構成】 装置制御部39からコントローラ35にバルブ25
の開放の指令が入ると、コントローラ35は、バルブ25を
一定開度だけ開放する。バルブ25の開放によりエアー供
給源21から流通路22にエアーを供給し、フィルタユニッ
ト28にエアー流通を行なうと、フィルタユニット28の上
下流にある１次側圧力センサ31および２次側圧力センサ
32の部分の圧力が上昇する。２次側圧力センサ32の部分
の圧力が１次側圧力センサ31の部分の圧力に平衡する
と、コントローラ35は再びバルブ25を一定開度だけ追加
開放する。１次側圧力センサ31で検出した圧力に、２次
側圧力センサ32で検出する圧力が追随する毎に、バルブ
25を順次開放して最終到達圧力まで繰り返し、緩やかに
エアブローノズル24の圧力を段階的に高める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体の流通の開閉を行
ない、流体の流通を行なう際に生じる急激な圧力変動が
フィルタに生ずることを防止する低脈動式バルブ装置に
関する。
ない、流体の流通を行なう際に生じる急激な圧力変動が
フィルタに生ずることを防止する低脈動式バルブ装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の低脈動式開閉バルブ装置
としては、たとえば図２に示す構成のものが知られてい
る。
としては、たとえば図２に示す構成のものが知られてい
る。
【０００３】この従来の低脈動式開閉バルブ装置は、図
２に示すように、流体を供給する流通路１に、エアオペ
レイトバルブ２が取り付けられている。また、このエア
オペレイトバルブ２は、弁３を有するとともに、この弁
３により供給量を調整される供給口４および排出口５、
弁３の動作速度を制御する第１の制御用供給口６および
第２の制御用供給口７が設けられている。そして、エア
オペレイトバルブ２の供給口４および排出口５はそれぞ
れ流通路１に接続され、排出口５はフィルタ８を介して
エアブロー９に接続されている。
２に示すように、流体を供給する流通路１に、エアオペ
レイトバルブ２が取り付けられている。また、このエア
オペレイトバルブ２は、弁３を有するとともに、この弁
３により供給量を調整される供給口４および排出口５、
弁３の動作速度を制御する第１の制御用供給口６および
第２の制御用供給口７が設けられている。そして、エア
オペレイトバルブ２の供給口４および排出口５はそれぞ
れ流通路１に接続され、排出口５はフィルタ８を介して
エアブロー９に接続されている。
【０００４】また、エアオペレイトバルブ２の弁３の第
１の制御用供給口６および第２の制御用供給口７にそれ
ぞれエアー供給用の制御管11を接続して、この制御管11
にスピードコントロールバルブ12，13を設ける。
１の制御用供給口６および第２の制御用供給口７にそれ
ぞれエアー供給用の制御管11を接続して、この制御管11
にスピードコントロールバルブ12，13を設ける。
【０００５】そして、弁３を動作させる場合には、弁３
を作動させる制御管11のエアー供給量をスピードコント
ロールバルブ12，13で制御し、弁３を駆動させるエアー
流量を絞ることにより弁３の開閉速度を緩やかにして、
流通路１に流れる流体の流通を行なう際に生じる急激な
圧力変動を押さえて、フィルタ８にかかる流体の急激な
圧力変動を押さえている。
を作動させる制御管11のエアー供給量をスピードコント
ロールバルブ12，13で制御し、弁３を駆動させるエアー
流量を絞ることにより弁３の開閉速度を緩やかにして、
流通路１に流れる流体の流通を行なう際に生じる急激な
圧力変動を押さえて、フィルタ８にかかる流体の急激な
圧力変動を押さえている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】また、一般に不連続な
繊維状態構造のフィルタ８の場合に、フィルタ８に急激
な脈動が生じると、ごみの捕捉効果が低下し、さらに、
フィルタ８の内部に捕捉されたごみが流出し下流を汚染
してしまう。
繊維状態構造のフィルタ８の場合に、フィルタ８に急激
な脈動が生じると、ごみの捕捉効果が低下し、さらに、
フィルタ８の内部に捕捉されたごみが流出し下流を汚染
してしまう。
【０００７】しかしながら、ごみの捕捉効果の低下を防
止するために、フィルタ８を有する流体の流通路１の開
閉を行なう場合には、脈動が生じないようにしている
が、図２に示すような従来のエアオペレイトバルブ２で
は、制御管11に流れるエアー流量を制御するために、開
閉速度の調整に限界があり、必ずしも急激な圧力変動を
押さえることができず、フィルタ８に脈動が生じ、ごみ
の捕捉効果が低下する問題を有している。
止するために、フィルタ８を有する流体の流通路１の開
閉を行なう場合には、脈動が生じないようにしている
が、図２に示すような従来のエアオペレイトバルブ２で
は、制御管11に流れるエアー流量を制御するために、開
閉速度の調整に限界があり、必ずしも急激な圧力変動を
押さえることができず、フィルタ８に脈動が生じ、ごみ
の捕捉効果が低下する問題を有している。
【０００８】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、バルブの開閉によるフィルタに生じる急激な圧力変
動を押さえ、ごみの捕捉の低下を防止した低脈動式開閉
バルブ装置を提供することを目的とする。
で、バルブの開閉によるフィルタに生じる急激な圧力変
動を押さえ、ごみの捕捉の低下を防止した低脈動式開閉
バルブ装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の低脈動式開閉バ
ルブ装置は、流通路に設けられ電気信号により開閉量が
調整可能なバルブと、前記流通路に設けられたフィルタ
ユニットと、前記流通路の前記フィルタユニットより上
流の圧力値の変動に対して追随的に信号を出力する１次
側圧力センサと、前記流通路の前記フィルタユニットよ
り下流の圧力値の変動に対して追随的に信号を出力する
２次側圧力センサと、前記１次側圧力センサおよび前記
２次側圧力センサの出力信号により前記バルブの開閉量
を制御するコントローラとを具備したものである。
ルブ装置は、流通路に設けられ電気信号により開閉量が
調整可能なバルブと、前記流通路に設けられたフィルタ
ユニットと、前記流通路の前記フィルタユニットより上
流の圧力値の変動に対して追随的に信号を出力する１次
側圧力センサと、前記流通路の前記フィルタユニットよ
り下流の圧力値の変動に対して追随的に信号を出力する
２次側圧力センサと、前記１次側圧力センサおよび前記
２次側圧力センサの出力信号により前記バルブの開閉量
を制御するコントローラとを具備したものである。
【００１０】
【作用】本発明は、フィルタユニットの流通路の上流側
に１次側圧力センサを、フィルタユニットの流通路の下
流側に２次側圧力センサを設け、バルブを開閉する際に
は、１次側圧力センサ部ではバルブの開閉の段階ごとの
到達圧力を検出し、２次側圧力センサ部ではフィルタユ
ニットの下流側の圧力を検出し、これら１次側圧力セン
サおよび２次側圧力センサにより追随的に信号を出力
し、このフィルタユニットの下流側の圧力をフィルタユ
ニットの上流側の圧力に追随させながら、コントローラ
でバルブを開閉することにより、フィルタユニットが受
ける脈動は小さくなり、ごみの捕捉の低下を防止する。
に１次側圧力センサを、フィルタユニットの流通路の下
流側に２次側圧力センサを設け、バルブを開閉する際に
は、１次側圧力センサ部ではバルブの開閉の段階ごとの
到達圧力を検出し、２次側圧力センサ部ではフィルタユ
ニットの下流側の圧力を検出し、これら１次側圧力セン
サおよび２次側圧力センサにより追随的に信号を出力
し、このフィルタユニットの下流側の圧力をフィルタユ
ニットの上流側の圧力に追随させながら、コントローラ
でバルブを開閉することにより、フィルタユニットが受
ける脈動は小さくなり、ごみの捕捉の低下を防止する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の低脈動式開閉バルブ装置の一
実施例を、図１に示す液晶基板製造設備を参照して説明
する。
実施例を、図１に示す液晶基板製造設備を参照して説明
する。
【００１２】図１において、21はエアーを供給するエア
ー供給源で、このエアー供給源21には流通路22が接続さ
れ、この流通路22は低脈動式開閉バルブ装置23を介して
エアーを噴出するエアブローノズル24に接続され、この
エアブローノズル24により液晶基板Ｂにエアーを噴出す
るようになっている。
ー供給源で、このエアー供給源21には流通路22が接続さ
れ、この流通路22は低脈動式開閉バルブ装置23を介して
エアーを噴出するエアブローノズル24に接続され、この
エアブローノズル24により液晶基板Ｂにエアーを噴出す
るようになっている。
【００１３】また、低脈動式開閉バルブ装置23はバルブ
25を有し、このバルブ25に設けられた供給口26が流通路
22の上流側に接続され、同様にバルブ25に設けられた排
出口27は流通路22の下流側に接続されている。さらに、
このバルブ25の下流側流通路22にはフィルタユニット28
が設けられている。
25を有し、このバルブ25に設けられた供給口26が流通路
22の上流側に接続され、同様にバルブ25に設けられた排
出口27は流通路22の下流側に接続されている。さらに、
このバルブ25の下流側流通路22にはフィルタユニット28
が設けられている。
【００１４】そして、流通路22のバルブ25およびフィル
タユニット28の間には、圧力値の変動に追随して信号を
出力する１次側圧力センサ31が設けられ、フィルタユニ
ット28の下流側には同様に圧力の変動に追随して信号を
出力する２次側圧力センサ32が設けられている。また、
これら１次側圧力センサ31および２次側圧力センサ32
は、それぞれ信号線33，34を介してバルブ25を制御する
コントローラ35に接続されている。
タユニット28の間には、圧力値の変動に追随して信号を
出力する１次側圧力センサ31が設けられ、フィルタユニ
ット28の下流側には同様に圧力の変動に追随して信号を
出力する２次側圧力センサ32が設けられている。また、
これら１次側圧力センサ31および２次側圧力センサ32
は、それぞれ信号線33，34を介してバルブ25を制御する
コントローラ35に接続されている。
【００１５】さらに、コントローラ35は動力線36を介し
て電源37に接続されるとともに、開閉用の信号を伝送す
る信号線38を介してバルブ25に接続されている。また、
コントローラ35は、装置制御部39にて制御されるように
なっている。
て電源37に接続されるとともに、開閉用の信号を伝送す
る信号線38を介してバルブ25に接続されている。また、
コントローラ35は、装置制御部39にて制御されるように
なっている。
【００１６】次に、上記実施例の動作について説明す
る。
る。
【００１７】まず、装置制御部39からコントローラ35に
バルブ25の開放の指令が入ると、コントローラ35は信号
線38を介してバルブ25に出力を行ない、バルブ25が予め
設定した一定開度だけ開放される。すると、バルブ25の
開放によりエアー供給源21から流通路22にエアーが供給
され、バルブ25を介してフィルタユニット28へのエアー
流通が行なわれ、１次側圧力センサ31および２次側圧力
センサ32の部分の圧力が上昇する。
バルブ25の開放の指令が入ると、コントローラ35は信号
線38を介してバルブ25に出力を行ない、バルブ25が予め
設定した一定開度だけ開放される。すると、バルブ25の
開放によりエアー供給源21から流通路22にエアーが供給
され、バルブ25を介してフィルタユニット28へのエアー
流通が行なわれ、１次側圧力センサ31および２次側圧力
センサ32の部分の圧力が上昇する。
【００１８】そして、このとき、仮にたとえば１次側圧
力センサ31の部分の圧力設定を０．２Kg／cm2 に設定し
ておき、１次側圧力センサ31で０．２Kg／cm2 が検出さ
れると、２次側圧力センサ32の部分の圧力が０．２Kg／
cm2 に上昇するまで、バルブ25の開度はそのままの状態
を維持して保持される。
力センサ31の部分の圧力設定を０．２Kg／cm2 に設定し
ておき、１次側圧力センサ31で０．２Kg／cm2 が検出さ
れると、２次側圧力センサ32の部分の圧力が０．２Kg／
cm2 に上昇するまで、バルブ25の開度はそのままの状態
を維持して保持される。
【００１９】その後、２次側圧力センサ32の部分の圧力
が０．２Kg／cm2 に到達した時点で、コントローラ35が
１次側圧力センサ31および２次側圧力センサ32の部分の
圧力が平衡したことを感知し、再びバルブ25を設定した
一定開度だけ追加開放し、１次側圧力センサ31および２
次側圧力センサ32の部分の圧力を上昇させる。ここで、
再度このバルブ25が所定量解放された段階で、１次側圧
力センサ31の部分に設定され１次側圧力センサ31で検出
された圧力に、２次側圧力センサ32で検出される圧力が
追随するまでバルブ25の開度は保持される。
が０．２Kg／cm2 に到達した時点で、コントローラ35が
１次側圧力センサ31および２次側圧力センサ32の部分の
圧力が平衡したことを感知し、再びバルブ25を設定した
一定開度だけ追加開放し、１次側圧力センサ31および２
次側圧力センサ32の部分の圧力を上昇させる。ここで、
再度このバルブ25が所定量解放された段階で、１次側圧
力センサ31の部分に設定され１次側圧力センサ31で検出
された圧力に、２次側圧力センサ32で検出される圧力が
追随するまでバルブ25の開度は保持される。
【００２０】このように、１次側圧力センサ31で検出さ
れた圧力に、２次側圧力センサ32で検出される圧力が追
随する毎に、バルブ25を順次開放する動作をエアブロー
ノズル24が必要とする圧力の最終到達圧力まで繰り返
し、緩やかにエアブローノズル24の圧力を段階的に高め
ながら、液晶基板Ｂにエアブローを行なう。
れた圧力に、２次側圧力センサ32で検出される圧力が追
随する毎に、バルブ25を順次開放する動作をエアブロー
ノズル24が必要とする圧力の最終到達圧力まで繰り返
し、緩やかにエアブローノズル24の圧力を段階的に高め
ながら、液晶基板Ｂにエアブローを行なう。
【００２１】このように、フィルタユニット28の両端の
圧力を検出しながら、エアブローノズル24の圧力上昇を
行なうため、フィルタユニット28内を通過するエアーの
流速変化が緩やかになり、脈動によるフィルタの捕捉効
果の低下およびフィルタユニット28が捕捉したゴミの下
流側への再流出を防止することが可能となる。
圧力を検出しながら、エアブローノズル24の圧力上昇を
行なうため、フィルタユニット28内を通過するエアーの
流速変化が緩やかになり、脈動によるフィルタの捕捉効
果の低下およびフィルタユニット28が捕捉したゴミの下
流側への再流出を防止することが可能となる。
【００２２】
【発明の効果】本発明の低脈流式開閉バルブ装置によれ
ば、フィルタユニットの流通路の上流側に１次側圧力セ
ンサを、フィルタユニットの流通路の下流側に２次側圧
力センサを設け、バルブを開閉する際には、１次側圧力
センサ部ではバルブの開閉の段階ごとの到達圧力を検出
し、２次側圧力センサ部ではフィルタユニットの下流側
の圧力を検出し、これら１次側圧力センサおよび２次側
圧力センサにより追随的に信号を出力し、このフィルタ
ユニットの下流側の圧力をフィルタユニットの上流側の
圧力に追随させながら、コントローラでバルブを開閉す
ることにより、フィルタユニットが受ける脈動は小さく
なり、ごみの捕捉の低下を防止できる。
ば、フィルタユニットの流通路の上流側に１次側圧力セ
ンサを、フィルタユニットの流通路の下流側に２次側圧
力センサを設け、バルブを開閉する際には、１次側圧力
センサ部ではバルブの開閉の段階ごとの到達圧力を検出
し、２次側圧力センサ部ではフィルタユニットの下流側
の圧力を検出し、これら１次側圧力センサおよび２次側
圧力センサにより追随的に信号を出力し、このフィルタ
ユニットの下流側の圧力をフィルタユニットの上流側の
圧力に追随させながら、コントローラでバルブを開閉す
ることにより、フィルタユニットが受ける脈動は小さく
なり、ごみの捕捉の低下を防止できる。
【図１】本発明の低脈動式開閉バルブ装置の一実施例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図２】従来の低脈動式開閉バルブ装置を示すブロック
図である。
図である。
23 低脈動式開閉バルブ装置 25 バルブ 28 フィルタユニット 31 １次側圧力センサ 32 ２次側圧力センサ 35 コントローラ
Claims (1)
- 【請求項１】 流通路に設けられ電気信号により開閉量
が調整可能なバルブと、 前記流通路に設けられたフィルタユニットと、 前記流通路の前記フィルタユニットより上流の圧力値の
変動に対して追随的に信号を出力する１次側圧力センサ
と、 前記流通路の前記フィルタユニットより下流の圧力値の
変動に対して追随的に信号を出力する２次側圧力センサ
と、 前記１次側圧力センサおよび前記２次側圧力センサの出
力信号により前記バルブの開閉量を制御するコントロー
ラとを具備したことを特徴とする低脈動式開閉バルブ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15388392A JPH05346186A (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 低脈動式開閉バルブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15388392A JPH05346186A (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 低脈動式開閉バルブ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05346186A true JPH05346186A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=15572200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15388392A Pending JPH05346186A (ja) | 1992-06-12 | 1992-06-12 | 低脈動式開閉バルブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05346186A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009041490A1 (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | 充填装置 |
| JP2011114067A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Jsr Corp | リソグラフィ組成物の充填装置、及びリソグラフィ組成物の充填方法 |
-
1992
- 1992-06-12 JP JP15388392A patent/JPH05346186A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009041490A1 (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | 充填装置 |
| JP2009083882A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 充填装置 |
| US8409431B2 (en) | 2007-09-28 | 2013-04-02 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Charging apparatus |
| TWI452005B (zh) * | 2007-09-28 | 2014-09-11 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 填充裝置 |
| KR101523402B1 (ko) * | 2007-09-28 | 2015-05-27 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 충전 장치 |
| JP2011114067A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Jsr Corp | リソグラフィ組成物の充填装置、及びリソグラフィ組成物の充填方法 |
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