CN101419404A - 用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物、滤色器和液晶显示元件 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物,该组合物的特征在于:含有(A)含有蓝色着色剂的着色剂;(B)碱溶性树脂;(C)多官能性单体;(D)含有选自下式(3)所示化合物、肟酯类化合物和联咪唑类化合物的至少一种的光聚合引发剂;(E)含有选自酚类抗氧化剂、磷类抗氧化剂和硫类抗氧化剂的至少一种的抗氧化剂;并且(E)成分的总含量相对于总计100质量份的(D)成分为1-100质量份。由此,可以更广泛地选择光聚合引发剂,提供可形成亮度高的、优异的蓝色像素的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物。式中,各符号的定义如说明书中所记载。
Description
技术领域
本发明涉及用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物、滤色器和液晶显示元件,更具体地说,涉及对于用在彩色摄像管元件、彩色液晶显示装置等中的滤色器的制造有用的、用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物;具备由该放射线敏感性组合物形成的着色层的滤色器;和具备该滤色器的液晶显示元件。
背景技术
作为使用着色放射线敏感性组合物形成滤色器的方法,已知有如下方法:在基板上或者是预先形成了所需图案的遮光层的基板上形成颜料分散型的着色放射线敏感性组合物的涂膜,经由具有规定图案的光掩模照射放射线(以下称为“曝光”),显影,溶解除去未曝光部分,然后进行后烘,由此获得各颜色的像素(例如参照专利文献1、专利文献2)。
近年来,人们强烈要求彩色摄像管元件、彩色液晶显示装置等的高品质化、以及反映用途的扩大、显示面板的高亮度化。因此,对于蓝色、红色或绿色的各放射线敏感性组合物,进行了各种提高亮度(Y值)的研究。但是,尤其是产生蓝色像素的放射线敏感性组合物,其可利用的颜料限于铜酞菁蓝,因此提高亮度的方法也必然受到限定。另外,放射线敏感性组合物中所含的光聚合引发剂或树脂成分的后烘步骤中的黄变是使蓝色滤色器的亮度降低的主要原因。
以上的背景中,作为提高蓝色滤色器亮度的方法之一,人们提出了在含有蓝色着色剂、碱溶性树脂、多官能性单体和光聚合引发剂的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物中,使用具有特定结构的苯乙酮类化合物和二苯甲酮类化合物作为光聚合引发剂(例如参照专利文献3)。
专利文献1:日本特开平2-144502号公报
专利文献2:日本特开平3-53201号公报
专利文献3:日本特开2001-147315号公报
发明内容
根据专利文献3记载的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物,可以提供高亮度且具有充分的颜色再现范围的显示面板,但是,如果使用其它光聚合引发剂代替上述特定的光聚合引发剂,则无法获得充分的亮度。另外,为了进一步提高灵敏度而将上述特定的光聚合引发剂与其它光聚合引发剂结合使用,则灵敏度虽然提高,但是亮度显著降低。因此,为实现高亮度,使用上述特定的光聚合引发剂是有效的,但是光聚合引发剂的选择幅度受到限制,则很难适应近年来降低曝光量、缩短生产节拍时间的动向等。因此,人们强烈要求使用更大范围的光聚合引发剂来研究制造可形成亮度高的优异蓝色像素的、用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物。
本发明的课题在于:提供可更广泛地选择光聚合引发剂、形成亮度高的优异蓝色像素的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物;具备由该放射线敏感性组合物形成的着色层的滤色器;以及具备该滤色器的液晶显示元件。
本发明人发现,在含有蓝色着色剂、碱溶性树脂、多官能性单体和光聚合引发剂的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物中,为了使用更大范围的光聚合引发剂来提供亮度高的、优异的蓝色像素,使该组合物中含有特定的抗氧化剂,同时使其含量在特定范围内即可。
即,本发明的第一方面提供用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物,该组合物的特征在于:含有
(A)含有蓝色着色剂的着色剂;
(B)碱溶性树脂;
(C)多官能性单体;
(D)含有选自下式(3)所示化合物、肟酯类化合物和联咪唑类化合物的至少一种的光聚合引发剂;
(E)含有选自酚类抗氧化剂、磷类抗氧化剂和硫类抗氧化剂的至少一种的抗氧化剂;
并且(E)成分的总含量相对于总计100质量份的(D)成分为1-100质量份。
式(3)中,R6相互独立,表示碳原子数1-4的烷基,R7和R8相互独立,表示氢原子或碳原子数1-4的烷基。
本发明的第二方面提供使用上述用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物形成的滤色器。
本发明的第三方面提供具备上述滤色器的液晶显示元件。
根据本发明,即使使用以往无法表现足够亮度的光聚合引发剂,也可以提供亮度高的优异的蓝色像素。根据本发明,即使与产生高亮度的光聚合引发剂结合使用,也可以抑制亮度的降低、提供以极高的水准兼顾亮度和灵敏度的蓝色像素。这样,与以往相比,可以更广泛地选择光聚合引发剂,因此可以适应近年来降低曝光量、缩短生产节拍时间的动向等。
因此,本发明的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物极适合在以电子工业领域中的彩色液晶显示面板用的滤色器为代表的液晶显示面板的制造中使用。
具体实施方式
以下对本发明进行详细说明。
用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物
-(A)着色剂-
本发明的着色剂以蓝色着色剂作为必须成分。
蓝色着色剂可根据滤色器的用途适当选择,可以是颜料、染料或天然色素的任意形式,还可以是有机类或无机类。
滤色器要求高精细的显色和耐热性,因此,本发明的蓝色着色剂优选显色性高且耐热性高的着色剂,尤其是耐热分解性高的着色剂。上述蓝色着色剂通常使用有机颜料或无机颜料,特别优选使用有机颜料。
本发明中使用的蓝色有机颜料例如有在色料索引(C.I.;TheSociety of Dyers and Colourists发行,以下相同)中分类为颜料蓝的化合物。具体有:C.I.颜料蓝15、C.I.颜料蓝15:3、C.I.颜料蓝15:4、C.I.颜料蓝15::6、C.I.颜料蓝60等带色料索引(C.I.)编号的有机颜料。这些蓝色有机颜料中,特别优选C.I.颜料蓝15:6。
蓝色无机颜料例如有群青、普鲁士蓝等。
本发明中,可以根据需要与蓝色颜料一起结合使用紫色颜料。
紫色颜料例如有在色料索引中分类为颜料紫的化合物。具体有:C.I.颜料紫1、C.I.颜料紫19、C.I.颜料紫23、C.I.颜料紫29、C.I.颜料紫32、C.I.颜料紫36、C.I.颜料紫38等带色料索引(C.I.)编号的有机颜料。这些紫色有机颜料中,特别优选C.I.颜料紫23。
本发明中,蓝色着色剂可以单独或两种以上混合使用。也可以将有机颜料和无机颜料结合使用,在形成像素时,优选使用一种以上的有机颜料。
本发明中,有机颜料可以根据需要,例如通过硫酸重结晶法、溶剂洗涤法或它们的组合等纯化使用。
各颜料可根据需要用聚合物对其颗粒表面进行改性后使用。对颜料的颗粒表面进行改性的聚合物例如有日本特开平8-259876号公报等中记载的聚合物、或市售的各种用于颜料分散的聚合物或低聚物等。
-(B)碱溶性树脂-
本发明的碱溶性树脂只要对于(A)着色剂发挥粘合剂作用,并且在制备滤色器时,对于在其显影处理步骤中使用的显影液、特别优选碱性显影液具有溶解性即可,没有特别限定。上述碱溶性树脂优选具有羧基的碱溶性树脂,特别优选具有一个以上羧基的烯属不饱和单体(以下称为“含羧基不饱和单体”)与可与其共聚的其它烯属不饱和单体(以下称为“共聚性不饱和单体”)的共聚物(以下称为“含羧基共聚物”)。
含羧基不饱和单体例如有:
(甲基)丙烯酸、巴豆酸、α-氯丙烯酸、肉桂酸等不饱和一羧酸类;
马来酸、马来酸酐、富马酸、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、中康酸等不饱和二羧酸或其酸酐类;
三元以上的不饱和多元羧酸或其酸酐类;
琥珀酸一[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、邻苯二甲酸一[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等二元以上的多元羧酸的一[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯类;
ω-羧基聚己内酯一(甲基)丙烯酸酯等两个末端具有羧基和羟基的聚合物的一(甲基)丙烯酸酯类等。
含羧基不饱和单体可以单独或两种以上混合使用。
本发明中,含羧基不饱和单体优选(甲基)丙烯酸、琥珀酸一[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、ω-羧基聚己内酯一(甲基)丙烯酸酯等,特别优选(甲基)丙烯酸。
共聚性不饱和单体例如有以下:
N-苯基马来酰亚胺、N-邻羟基苯基马来酰亚胺、N-间羟基苯基马来酰亚胺、N-对羟基苯基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺基苯甲酸酯、N-琥珀酰亚胺基-4-马来酰亚胺基丁酸酯、N-琥珀酰亚胺基-6-马来酰亚胺基己酸酯、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺基丙酸酯、N-(吖啶基)马来酰亚胺等N-取代马来酰亚胺;
苯乙烯、α-甲基苯乙烯、邻乙烯基甲苯、间乙烯基甲苯、对乙烯基甲苯、对氯苯乙烯、邻甲氧基苯乙烯、间甲氧基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、邻乙烯基苯酚、间乙烯基苯酚、对乙烯基苯酚、对羟基-α-甲基苯乙烯、邻乙烯基苄基甲基醚、间乙烯基苄基甲基醚、对乙烯基苄基甲基醚、邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、对乙烯基苄基缩水甘油基醚等芳族乙烯基化合物;
茚、1-甲基茚等茚类;
(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基丙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基一缩二丙二醇酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02.6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、一(甲基)丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸4-羟基苯酯、对枯基酚的环氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯等不饱和羧酸酯;
(甲基)丙烯酸2-氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-氨基丙酯、(甲基)丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-二甲基氨基丙酯等不饱和羧酸氨基烷基酯类;
(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等不饱和羧酸缩水甘油酯类;
(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、偏二氰乙烯等氰化乙烯基化合物;
(甲基)丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、N-2-羟基乙基(甲基)丙烯酰胺等不饱和酰胺类;
乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯酯类;
乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基缩水甘油基醚等不饱和醚类;
1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯等脂族共轭二烯类;
聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷等聚合性分子链的末端具有一(甲基)丙烯酰基的大分子单体类。
这些共聚性不饱和单体可以单独或两种以上混合使用。
本发明中,共聚性不饱和单体优选N-取代马来酰亚胺、芳族乙烯基化合物、不饱和羧酸酯、聚合物分子链的末端具有一(甲基)丙烯酰基的大分子单体等,特别优选N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、对羟基-α-甲基苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、一(甲基)丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸4-羟基苯酯、对枯基酚的环氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯、聚苯乙烯大分子单体、聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体等。
含羧基共聚物的具体例子例如有以下:
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苄酯/一(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苯酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-间羟基苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-对羟基苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/α-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸正丁酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/对羟基-α-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸正丁酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/对枯烯基苯酚的环氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/一(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-对羟基苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/一(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯酯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/聚苯乙烯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯酯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸一[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸一[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-对羟基苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸一[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸一[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/琥珀酸一[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯一(甲基)丙烯酸酯/N-间羟基苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯一(甲基)丙烯酸酯/N-对羟基苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯一(甲基)丙烯酸酯/N-苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/一(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己内酯一(甲基)丙烯酸酯/N-对羟基苯基马来酰亚胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苄酯/一(甲基)丙烯酸甘油酯共聚物。
含羧基共聚物中含羧基不饱和单体的共聚比例通常为5-50质量%,优选10-40质量%。该共聚比例低于5质量%,则所得放射线敏感性组合物对碱性显影液的溶解性趋于降低;而超过50质量%,则对碱性显影液的溶解性过大,在用碱性显影液显影时,容易导致着色层从基板上脱落或着色层表面的膜粗糙。
本发明的碱溶性树脂通过凝胶渗透色谱(GPC,洗脱溶剂:四氢呋喃)测定的、经聚苯乙烯换算的重均分子量(以下称为“Mw”)通常为3,000-300,000,优选5,000-100,000。
本发明的碱溶性树脂通过凝胶渗透色谱(GPC,洗脱溶剂:四氢呋喃)测定的、经聚苯乙烯换算的数均分子量(以下称为“Mn”)通常为3,000-60,000,优选5,000-25,000。
本发明中,通过使用上述具有特定的Mw和Mn的碱溶性树脂,可得到显影性优异的放射线敏感性组合物,由此可以形成具有清晰的图案边缘的像素,同时在显影时,未曝光部分的基板上和遮光层上难以发生残渣、起脏、膜残留等。
本发明中碱溶性树脂的Mw和Mn之比(Mw/Mn)优选1-5,进一步优选1-4。
本发明中,碱溶性树脂可以单独或两种以上混合使用。
本发明的碱溶性树脂的含量(换算为固态成分)相对于100质量份(A)着色剂通常为10-1,000质量份,优选20-500质量份。碱溶性树脂的含量低于10质量份,则例如碱显影性降低,在未曝光部分的基板上或遮光层上发生起脏或膜残留;而超过1,000质量份,则着色剂浓度相对降低,因此难以实现薄膜的目标色浓度。
-(C)多官能性单体-
本发明的多官能性单体含有具2个以上聚合性不饱和键的单体。
多官能性单体例如有:
乙二醇、丙二醇等亚烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯类;
聚乙二醇、聚丙二醇等聚亚烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯类;
甘油、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等三元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯类或它们的二羧酸改性物;
聚酯、环氧树脂、氨基甲酸酯树脂、醇酸树脂、有机硅树脂、螺烷树脂等低聚(甲基)丙烯酸酯类;
两末端为羟基聚-1,3-丁二烯、两末端为羟基聚异戊二烯、两末端为羟基聚己内酯等两末端为羟基化聚合物的二(甲基)丙烯酸酯类;
磷酸三[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等。
这些多官能性单体中,优选三元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯类或它们的二羧酸改性物。具体来说,优选三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、三丙烯酸季戊四醇酯、三甲基丙烯酸季戊四醇酯、四丙烯酸季戊四醇酯、四甲基丙烯酸季戊四醇酯、五丙烯酸二季戊四醇酯、五甲基丙烯酸二季戊四醇酯、六丙烯酸二季戊四醇酯、六甲基丙烯酸二季戊四醇酯、下式(4)所示的化合物、下式(5)所示的化合物等。
其中,三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸季戊四醇酯、六丙烯酸二季戊四醇酯以及上式(4)和(5)所示的化合物可以使着色层的强度高、着色层的表面平滑性优异、且难以在未曝光部分的基板上和遮光层上发生起脏、膜残留等,因此特别优选。
多官能性单体可以单独或两种以上混合使用。
本发明中,也可以将多官能性单体的一部分置换为具有一个聚合性不饱和键的单官能性单体。
上述单官能性单体例如有:与在(B)碱溶性树脂中所例举的含羧基不饱和单体或共聚性不饱和单体同样的化合物;或者N-(甲基)丙烯酰基吗啉、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基-ε-己内酰胺;以及作为市售商品的M-5600(商品名,东亚合成(株)制备)等。
这些单官能性单体可以单独或两种以上混合使用。
单官能性单体的使用比例相对于多官能性单体和单官能性单体的总质量通常为90质量%以下,优选50质量%以下。单官能性单体的使用比例超过90质量%,则所得着色层的强度或表面平滑性可能不足。
本发明中,多官能性单体的含量相对于100质量份(换算为固态成分)(B)碱溶性树脂通常为5-500质量份,优选20-300质量份。该含量低于5质量份,则着色层的强度或表面平滑性有降低倾向,而超过500质量份,则碱显影性趋于降低,在未曝光部分的基板上或遮光层上容易发生起脏、膜残留等。需说明的是,将多官能性单体和单官能性单体结合使用时,单官能性单体的质量包括在多官能性单体的质量中。
-(D)光聚合引发剂-
光聚合引发剂是通过可见光、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等的曝光,能够产生可引发(C)多官能性单体以及根据情况使用的单官能性单体的聚合的活性种子的化合物。
本发明的光聚合引发剂以选自上式(3)所示的化合物(以下有时称为“苯乙酮类化合物”)、肟酯类化合物和联咪唑类化合物的至少一种作为必须成分。由此,灵敏度可进一步提高,因此可得到即使在低曝光量下也不会发生底切、具有良好的边缘形状的像素。
本发明中,光聚合引发剂的总含量相对于100质量份(C)多官能性单体通常是0.01-200质量份,优选1-120质量份,特别优选1-100质量份。光聚合引发剂的总含量低于0.01质量份,则曝光导致的固化不足,难以获得像素图案按照规定的排列配置的图案阵列;而超过200质量份,则形成的着色层在显影时容易从基板上脱落,容易在未曝光部分的基板上或遮光层上发生起脏、膜残留等。需说明的是,将多官能性单体和单官能性单体结合使用时,单官能性单体的质量包括在多官能性单体的质量中。
上式(3)中的符号的定义如下说明。
R6、R7和R8中的碳原子数1-4的烷基可以是直链状或支链状,例如有:甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基。
式(3)中,R6优选甲基、乙基,特别是甲基,R7和R8特别优选氢原子、甲基、乙基。
式(3)所示的苯乙酮类化合物的具体例子有:
2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-苄基-2-二乙基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-(4-乙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-(4-正丙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-(4-正丁基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-(4-甲基苄基)-2-(二乙基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-(4-乙基苄基)-2-(二乙基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-(4-正丙基苄基)-2-(二乙基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-(4-正丁基苄基)-2-(二乙基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-乙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-异丙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-正丁基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-异丁基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-异丙基苄基)-2-[正丁基甲基氨基]-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-正丁基苄基)-2-[正丁基甲基氨基]-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-异丙基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)戊烷-1-酮、2-(4-异丁基苄基)-2-[正丁基甲基氨基]-1-(4-吗啉代苯基)戊烷-1-酮等。
这些苯乙酮类化合物中,优选2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮等。
苯乙酮类化合物可以单独或两种以上混合使用。
本发明中,使用苯乙酮类化合物作为光聚合引发剂时,其含量相对于100质量份(C)多官能性单体通常为0.01-80质量份,优选1-70质量份,进一步优选1-60质量份。需说明的是,将多官能性单体与单官能性单体结合使用时,单官能性单体的质量包括在多官能性单体的质量中。
肟酯类化合物是具有肟酯结构(>C=N-O-CO-)的化合物。肟酯类化合物例如有下式(1)或(2)所示的化合物。
式(1)和(2)中,
R1相互独立,表示碳原子数1-20的烷基、碳原子数3-8的环烷基或苯基,
R2和R3相互独立,表示氢原子、碳原子数1-20的烷基、碳原子数3-8的环烷基、可被取代的苯基或碳原子数7-20的一价脂环式基团(上述环烷基除外),
R4相互独立,表示碳原子数1-12的烷基、碳原子数3-8的环烷基、碳原子数1-12的烷氧基或碳原子数3-8的环烷基氧基,
R5相互独立,表示碳原子数4-20的一价含氧杂环基、碳原子数4-20的一价含氮杂环基或碳原子数4-20的一价含硫杂环基,
k表示1-5的整数,
j、m和n相互独立,表示0-5的整数,
p表示0-6的整数,
(n+j)≦5,(m+k)≦5。
以下说明上式(1)和(2)中的符号的定义。
R1、R2和R3中的碳原子数1-20的烷基可以是直链状也可以是支链状,优选碳原子数1-12(更优选1-4)的烷基。具体来说有:甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基等。
R1-R4中的碳原子数3-8的环烷基优选碳原子数5-6的环烷基,具体有:环戊基、环己基等。
R2和R3中的苯基的取代基例如有:甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基等碳原子数1-6的烷基;环戊基、环己基等碳原子数3-6的环烷基;甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基等碳原子数1-6的烷氧基;环戊基氧基、环己基氧基等碳原子数3-6的环烷基氧基;苯基;氟原子、氯原子等卤素原子等。
R2和R3中的碳原子数7-20的一价脂环式基团(上述环烷基除外)例如有:具有1-烷基环烷骨架的基团、具有双环烷骨架的基团、具有三环烷骨架的基团、具有螺烷骨架的基团、具有萜烯骨架的基团、具有金刚烷骨架的基团等。
R4中的碳原子数1-12的烷基可以是支链状或直链状,优选碳原子数1-6(更优选1-4)的烷基。
R4中的碳原子数1-12的烷氧基优选碳原子数1-6(更优选1-4)的烷氧基。具体有:甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基、正戊基氧基、正己基氧基、正庚基氧基、正辛基氧基、正壬基氧基、正癸基氧基、正十一烷基氧基、正十二烷基氧基等。
R4的碳原子数3-8的环烷基氧基优选碳原子数5-6的环烷基氧基。具体来说有环戊基氧基、环己基氧基等。
R5中的碳原子数4-20的一价含氧杂环基、碳原子数4-20的一价含氮杂环基或碳原子数4-20的一价含硫杂环基例如有:四氢噻吩基、氮杂基、二氢氮杂基、二氧杂戊环基、三嗪基、氧硫杂环己基、噻唑基、噁二嗪基、二氧杂茚满基、二硫杂萘基、呋喃基、噻吩基、吡咯基、噁唑基、异噁唑基、噻唑基、异噻唑基、吡唑基、呋咱基、吡喃基、吡啶基、哒嗪基、嘧啶基、吡嗪基、吡咯啉基、吗啉基、哌嗪基、奎宁环基、吲哚基、异吲哚基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、吲哚嗪基、色烯基、喹啉基、异喹啉基、嘌呤基、喹唑啉基、噌啉基、酞嗪基、蝶啶基、咔唑基、吖啶基、菲啶基、噻吨基、吩嗪基、吩噻嗪基、吩噻噁基、吩噁嗪基、噻蒽基、四氢呋喃基、四氢吡喃基等。
式(1)和式(2)中,R1特别优选甲基、乙基等,R2和R3特别优选氢原子、甲基、乙基等。R4特别优选甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、甲氧基、乙氧基等,R4优选在芳环的邻位取代。R5优选四氢呋喃基、四氢吡喃基等。
式(1)中,n优选为0、1或2,特别优选为1。j优选为0或1,特别优选为0。
式(2)中,m优选为0、1或2,特别优选为1。k优选为1,p优选为0、1或2,特别优选为1。
式(1)所示的肟酯类化合物的具体例子例如有以下:
1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9H-咔唑-3-基]-1,2-壬烷-2-肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9H-咔唑-3-基]-1,2-壬烷-2-肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9H-咔唑-3-基]-1,2-戊烷-2-肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9H-咔唑-3-基]-辛烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-正丁基-6-(2-乙基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)苯甲酰基}-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟。
式(2)所示的肟酯类化合物的具体例子例如有以下:
1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基甲氧基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基甲氧基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯甲酰基}-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟。
式(1)或(2)所示的化合物以外的肟酯类化合物例如有以下:
1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基)-1,2-辛二酮肟、1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基)-1,2-丁二酮肟、1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-乙酰基)-1,2-丁二酮肟、1-[4-(甲硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基)-1,2-辛二酮肟、1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-(4-甲基苯甲酰基))-1,2-辛二酮肟。
这些肟酯类化合物中,优选式(1)或(2)所示的化合物,特别优选1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟、1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯甲酰基}-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰基)乙酮肟等。
这些肟酯类化合物的灵敏度极高,即使低曝光量也可以在不发生边缘缺损和底切的情况下形成图案。
肟酯类化合物可以单独或两种以上混合使用。
本发明中,使用肟酯类化合物作为光聚合引发剂时,其含量相对于100质量份(C)多官能性单体优选0.01-60质量份,进一步优选1-50质量份,特别优选1-40质量份。需说明的是,将多官能性单体与单官能性单体结合使用时,单官能性单体的质量也包括在多官能性单体的质量中。
联咪唑类化合物是具有至少一种下式(6)、式(7)或式(8)所示的骨架的化合物。
其具体例子例如有:2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2’-联咪唑等双(卤素取代苯基)四(烷氧基羰基苯基)联咪唑;
2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑等双(卤素取代苯基)四苯基联咪唑。
这些联咪唑类化合物中,优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑以及2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑,特别优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑。
联咪唑类化合物对溶剂的溶解性优异,不会产生未溶解物、析出物等杂质,并且灵敏度高。并且,联咪唑类化合物以低能量的曝光即可充分进行固化反应,同时对比度高,未曝光部分不会发生固化反应。因此,曝光后的涂膜可以明确地分成对显影液呈不溶性的固化部分和对显影液具有高溶解性的未固化部分。由此,可以形成没有底切、像素图案按照规定排列配置的高精细图案阵列。
联咪唑类化合物可以单独或两种以上混合使用。
本发明中,使用联咪唑类化合物作为光聚合引发剂时,其含量相对于100质量份(C)多官能性单体通常为0.01-40质量份,优选1-30质量份,进一步优选1-20质量份。需说明的是,将多官能性单体与单官能性单体结合使用时,单官能性单体的质量包括在多官能性单体的质量中。
本发明中,使用联咪唑类化合物作为光聚合引发剂时,与下述的氢供体结合使用则可以进一步提高灵敏度,因此优选。
这里所述的“氢供体”是指可向通过曝光由联咪唑类化合物产生的自由基供给氢原子的化合物。
本发明的氢供体优选下述定义的硫醇类化合物、胺类化合物等。
硫醇类化合物是指以苯环或杂环作为母核,具有一个以上、优选1-3个、进一步优选1-2个与该母核直接结合的巯基的化合物(以下称为“硫醇类氢供体”)。
胺类化合物是指以苯环或杂环作为母核,具有1个以上、优选1-3个、进一步优选1-2个与该母核直接结合的氨基的化合物(以下称为“胺类氢供体”)。
需说明的是,这些氢供体也可以同时具有巯基和氨基。
以下更具体地说明氢供体。
硫醇类氢供体可以具有各1个以上的苯环或杂环,还可以具有苯环和杂环两者。具有2个以上这些环时,可以形成稠合环。
硫醇类氢供体具有两个以上巯基时,只要残留至少一个游离巯基,其余的巯基的1个以上则可以被烷基、芳烷基或芳基取代。并且,只要残留至少一个游离巯基,则可以具有两个硫原子经由亚烷基等二价有机基团而结合的结构单元、或者是两个硫原子以二硫化物的形式结合的结构单元。
硫醇类氢供体在巯基以外的位置还可以被羧基、烷氧基羰基、取代烷氧基羰基、苯氧基羰基、取代苯氧基羰基、腈基等取代。
上述硫醇类氢供体的具体例子有:2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑、2-巯基-2,5-二甲基氨基吡啶等巯基取代杂环化合物。
这些硫醇类氢供体中,优选2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑,特别优选2-巯基苯并噻唑。
胺类氢供体可以具有各一个以上的苯环或杂环,还可以具有苯环和杂环两者。具有两个以上这些环时,可以形成稠合环。
胺类氢供体的1个以上的氨基可以被烷基或取代烷基取代,在氨基以外的位置还可以被羧基、烷氧基羰基、取代烷氧基羰基、苯氧基羰基、取代苯氧基羰基、腈基等取代。
上述胺类氢供体的具体例子有:4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等氨基取代二苯甲酮类;4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苄腈等。
这些胺类氢供体中,优选4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
需说明的是,即使在联咪唑类化合物以外的光聚合引发剂的情况下,胺类氢供体也具有作为敏化剂的作用。
本发明中,氢供体可以单独或两种以上混合使用。尤其是将一种以上的硫醇类氢供体与一种以上的胺类氢供体组合使用,可以使形成的着色层在显影时难以从基板上脱落,另外,着色层强度和灵敏度也高,因此优选。
硫醇类氢供体与胺类氢供体的组合的具体例子有:2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等。其中更优选的组合是2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选的组合是2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
硫醇类氢供体与胺类氢供体的组合中,硫醇类氢供体与胺类氢供体的质量比通常为1:1-1:4,优选1:1-1:3。
本发明中,将氢供体与联咪唑类化合物结合使用时,氢供体的配合量相对于100质量份(C)多官能性单体优选0.01-40质量份,进一步优选1-30质量份,特别优选1-20质量份。氢供体的配合量低于0.01质量份,则灵敏度的改良效果有降低倾向;而超过40质量份,则所形成的着色层在显影时容易从基板上脱落。需说明的是,多官能性单体与单官能性单体结合使用时,单官能性单体的质量包括在多官能性单体的质量中。
本发明中,(D)光聚合引发剂可以在使用上述光聚合引发剂的同时,结合使用其它光聚合引发剂(以下有时称为“其它光聚合引发剂”)。其它光聚合引发剂例如有:式(3)所示的化合物以外的苯乙酮类化合物、苯偶姻类化合物、α-二酮类化合物、多核醌类化合物、呫吨酮类化合物、膦类化合物、三嗪类化合物等。
本发明中,这些其它光聚合引发剂可以单独或两种以上混合使用。
式(3)所示的化合物以外的苯乙酮类化合物例如有:2,2-二甲氧基苯乙酮、2,2-二乙氧基苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、4-(2-羟基乙氧基)苯基-(2-羟基-2-丙基)酮、1-羟基环己基苯基酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮等,除此之外还有2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉基丙烷-1-酮等具有吗啉基的苯乙酮类化合物。
这些苯乙酮类化合物中,优选2-甲基-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉基-1-丙烷-1-酮、4-(2-羟基乙氧基)苯基-(2-羟基-2-丙基)酮等。
苯偶姻类化合物例如有:苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚、苯偶姻异丁基醚、2-苯偶姻苯甲酸甲酯等。
α-二酮类化合物例如有:丁二酮、联苯酰、甲基苯甲酰基甲酸酯等。
多核醌类化合物例如有:蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、1,4-萘醌等。
呫吨酮类化合物例如有呫吨酮;噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮等噻吨酮类。
膦类化合物例如有:双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦等。
三嗪类化合物例如有:2,4,6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪等具有卤代甲基的化合物等。
这些三嗪类化合物中,特别优选2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪等。
-(E)抗氧化剂-
本发明中,(E)抗氧化剂含有选自酚类抗氧化剂、磷类抗氧化剂和硫类抗氧化剂的至少一种。将这些特定的抗氧化剂与上述特定的光聚合引发剂组合,可以抑制以往使用上述特定的光聚合引发剂时出现的问题——亮度降低,使用特定的光聚合引发剂形成的像素可以表现最大限度的亮度。这是由于,特定的抗氧化剂抑制了后烘步骤导致的特定的光聚合引发剂的黄变。本发明人确认:上述效果是在这些特定的抗氧化剂与上述特定的光聚合引发剂组合时首次奏效的,而在与上述其它光聚合引发剂组合时,则对亮度等没有任何影响。
酚类抗氧化剂可以使用公知的化合物。具体有3,9-双[2-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酰氧基]-1,1-二甲基乙氧基]-2,4,8,10-四氧杂螺[5.5]十一烷、四[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸]季戊四醇酯等具有螺环骨架的酚化合物;
1,3,5,-三甲基-2,4,6-三(3’,5’-二叔丁基-4-羟基苄基)苯、双[3-(3-叔丁基-5-甲基-4-羟基苯基)丙酸]三甘醇酯、4,4’-硫代双(6-叔丁基-3-甲基苯酚)、三-(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-三聚异氰酸酯、1,3,5-三(4-叔丁基-3-羟基-2,6-二甲基苄基)-三聚异氰酸酯、双[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸]1,6-己二醇酯、双[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸]2,2-硫代-二亚乙基酯、N,N’-亚己基双(3,5-二叔丁基-4-羟基-氢化肉桂酰胺)、1,3,5-三甲基-2,4,6-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)苯、2,4-双[(辛硫基)甲基]-邻甲酚、双[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸]1,6-己二醇酯、[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸十八烷基酯、2,2’-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、4,4’-亚丁基-双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、1,1,3-三(2-甲基-4-羟基-5-叔丁基苯基)丁烷、1,3,5-三(4-羟基苄基)苯和四[3-(3,5’-二叔丁基-4’-羟基苯基丙酸亚甲基酯)]甲烷等。
其中,从耐热性和防止热变色的角度考虑,优选3,9-双[2-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酰氧基]-1,1-二甲基乙氧基]-2,4,8,10-四氧杂螺[5.5]十一烷、1,3,5-三甲基-2,4,6-三(3’,5’-二叔丁基-4-羟基苄基)苯、四[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸]季戊四醇酯、双[3-(3-叔丁基-5-甲基-4-羟基苯基)丙酸]三甘醇酯、4,4’-硫代双(6-叔丁基-3-甲基苯酚)、三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-三聚异氰酸酯、1,3,5-三(4-叔丁基-3-羟基-2,6-二甲基苄基)-三聚异氰酸酯、双[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸]1,6-己二醇酯、双[3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸]2,2-硫代-二亚乙基酯、N,N’-亚己基双(3,5-二叔丁基-4-羟基-氢化肉桂酰胺)、1,3,5-三甲基-2,4,6-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)苯、2,4-双[(辛硫基)甲基]-邻甲酚等。
酚类抗氧化剂可以单独或两种以上混合使用。
磷类抗氧化剂可以使用公知的化合物。具体有:3,9-双(2,6-二叔丁基-4-甲基苯氧基)-2,4,8,10-四氧杂-3,9-二磷杂螺[5.5]十一烷、二亚磷酸二异癸基季戊四醇酯、二亚磷酸双(2,4-二叔丁基苯基)季戊四醇酯等具有螺环骨架的亚磷酸酯化合物;
2,2’-亚甲基双(4,6-二叔丁基-1-苯基氧基)(2-乙基己基氧基)磷、6-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙氧基]-2,4,8,10-四叔丁基二苯并[d,f][1,3,2]二氧杂磷杂环庚烯、亚磷酸三苯酯、亚磷酸二苯基异癸酯、亚磷酸苯基二异癸酯、亚磷酸4,4’-亚丁基-双(3-甲基-6-叔丁基苯基二(十三烷基))酯、亚磷酸十八烷基酯、亚磷酸三(壬基苯基)酯、9,10-二氢-9-氧杂-10-磷杂菲-10-氧化物、10-(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-9,10-二氢-9-氧杂-10-磷杂菲-10-氧化物、10-癸氧基-9,10-二氢-9-氧杂-10-磷杂菲-10-氧化物、亚磷酸三(2,4-二叔丁基苯基)酯、亚磷酸环新戊烷四基双(2,4-二叔丁基苯基)酯、亚磷酸环新戊烷四基双(2,6-二叔丁基苯基)酯、亚磷酸2,2-亚甲基双(4,6-二叔丁基苯基)辛基酯、亚磷酸三(2,4-二叔丁基苯基)酯、双亚膦酸四(2,4-二叔丁基苯基)[1,1-联苯基]-4,4’-二基酯、双[2,4-双(1,1-二甲基乙基)-6-甲基苯基]乙基酯、膦酸等。
这些磷类抗氧化剂中,从耐热性和防止热变色的角度考虑,优选2,2’-亚甲基双(4,6-二叔丁基-1-苯基氧基)(2-乙基己基氧基)磷、3,9-双(2,6-二叔丁基-4-甲基苯氧基)-2,4,8,10-四氧杂-3,9-二磷杂螺[5.5]十一烷、6-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙氧基]-2,4,8,10-四叔丁基二苯并[d,f][1,3,2]二氧杂磷杂环庚烯等。
磷类抗氧化剂可以单独或两种以上混合使用。
硫类抗氧化剂可以使用公知的化合物。具体有:双[3-(十二烷硫基)丙酸]2,2-双({[3-(十二烷硫基)丙酰基]氧基}甲基)-1,3-丙烷二基酯、2-巯基苯并咪唑、3,3’-硫代二丙酸二月桂基酯、3,3’-硫代二丙酸二肉豆蔻酯、3,3’-硫代二丙酸二硬脂基酯、四(3-月桂基硫代丙酸)季戊四醇酯等具有硫醚结构的化合物;2-巯基苯并咪唑等。
这些硫类抗氧化剂中,从耐热性和防止热变色的角度考虑,优选双[3-(十二烷硫基)丙酸]2,2-双({[3-(十二烷硫基)丙酰基]氧基}甲基)-1,3-丙烷二基酯、2-巯基苯并咪唑等。
硫类抗氧化剂可以单独或两种以上混合使用。
本发明中,从抑制亮度降低、兼顾亮度和灵敏度的角度考虑,优选使用下述(E-1)或(E-2)作为抗氧化剂。
(E-1)选自磷类抗氧化剂和硫类抗氧化剂的至少一种;
(E-2)磷类抗氧化剂或硫类抗氧化剂与酚类抗氧化剂的组合。
本发明中,抗氧化剂的总含量相对于总计100质量份的(D)光聚合引发剂通常为1-100质量份,优选2-80质量份,特别优选4-60质量份。所述总含量低于1质量份,则无法获得所需效果;而超过100质量份,则出现不溶物或显影后残渣。
-添加剂-
本发明的放射线敏感性组合物中还可以根据需要含有各种添加剂。
添加剂有有机酸或有机氨基化合物(上述氢供体除外)等。这些化合物是具有进一步改善放射线敏感性组合物对碱性显影液的溶解特性、且进一步抑制显影后未溶解物的残留的作用等的成分。
有机酸优选分子中具有一个以上羧基的脂族羧酸或含苯基羧酸。
脂族羧酸的例子例如有:
甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、三甲基乙酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛酸等一元羧酸类;
草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、巴西二酸、甲基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、二甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、环己烷二甲酸、衣康酸、柠康酸、马来酸、富马酸、中康酸等二元羧酸类;
均丙三甲酸、乌头酸、樟脑三酸等三元羧酸类等。
含苯基羧酸例如有:羧基直接与苯基结合的化合物、羧基经由碳链与苯基结合的羧酸等。
含苯基羧酸的例子例如有:
苯甲酸、甲苯酸、枯茗酸、2,3-二甲基苯甲酸、莱林酸等芳族一元羧酸类;
邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、亚肉桂基丙二酸等芳族二元羧酸类;
偏苯三酸、均苯三酸、偏苯四甲酸、均苯四甲酸等三元以上的芳族多元羧酸类;或
苯基乙酸、氢化阿托酸、氢化肉桂酸、扁桃酸、苯基琥珀酸、阿托酸、肉桂酸、亚肉桂基乙酸、香豆酸、伞形酸等。
这些有机酸中,从碱溶解性、对后述溶剂的溶解性、防止在未曝光部分的基板上或遮光层上的起脏或膜残留等角度考虑,脂族羧酸优选脂族二羧酸类,特别优选丙二酸、己二酸、衣康酸、柠康酸、富马酸、中康酸等。含苯基羧酸优选芳族二羧酸类,特别优选邻苯二甲酸。
有机酸可以单独或两种以上混合使用。
有机酸的含量相对于放射线敏感性组合物的总质量(换算成固态成分)通常为15质量%以下,优选10质量%以下。有机酸的含量超过15质量%,则着色层与基板的贴合性有降低倾向。
有机氨基化合物优选分子中具有一个以上氨基的脂族胺或含苯基胺。
脂族胺的例子例如有以下:
正丙基胺、异丙基胺、正丁基胺、异丁基胺、仲丁基胺、叔丁基胺、正戊基胺、正己基胺、正庚基胺、正辛基胺、正壬基胺、正癸基胺、正十一烷基胺、正十二烷基胺、环己基胺、2-甲基环己基胺、3-甲基环己基胺、4-甲基环己基胺、2-乙基环己基胺、3-乙基环己基胺、4-乙基环己基胺等一(环)烷基胺类:
甲基乙基胺、二乙基胺、甲基正丙基胺、乙基正丙基胺、二正丙基胺、二异丙基胺、二正丁基胺、二异丁基胺、二仲丁基胺、二叔丁基胺、二正戊基胺、二正己基胺、甲基环己基胺、乙基环己基胺、二环己基胺等二(环)烷基胺类;
二甲基乙基胺、甲基二乙基胺、三乙基胺、二甲基正丙基胺、二乙基正丙基胺、甲基二正丙基胺、乙基二正丙基胺、三正丙基胺、三异丙基胺、三正丁基胺、三异丁基胺、三仲丁基胺、三叔丁基胺、三正戊基胺、三正己基胺、二甲基环己基胺、二乙基环己基胺、甲基二环己基胺、乙基二环己基胺、三环己基胺等三(环)烷基胺类;
2-氨基乙醇、3-氨基-1-丙醇、1-氨基-2-丙醇、4-氨基-1-丁醇、5-氨基-1-戊醇、6-氨基-1-己醇、4-氨基-1-环己醇等一(环)烷醇胺类;
二乙醇胺、二正丙醇胺、二异丙醇胺、二正丁醇胺、二异丁醇胺、二正戊醇胺、二正己醇胺、二(4-环己醇)胺等二(环)烷醇胺类;
三乙醇胺、三正丙醇胺、三异丙醇胺、三正丁醇胺、三异丁醇胺、三正戊醇胺、三正己醇胺、三(4-环己醇)胺等三(环)烷醇胺类;
3-氨基-1,2-丙二醇、2-氨基-1,3-丙二醇、4-氨基-1,2-丁二醇、4-氨基-1,3-丁二醇、4-氨基-1,2-环己二醇、4-氨基-1,3-环己二醇、3-二甲基氨基-1,2-丙二醇、3-二乙基氨基-1,2-丙二醇、2-二甲基氨基-1,3-丙二醇、2-二乙基氨基-1,3-丙二醇等氨基(环)烷二醇类;
1-氨基环戊烷甲醇、4-氨基环戊烷甲醇、1-氨基环己烷甲醇、4-氨基环己烷甲醇、4-二甲基氨基环戊烷甲醇、4-二乙基氨基环戊烷甲醇、4-二甲基氨基环己烷甲醇、4-二乙基氨基环己烷甲醇等含氨基的环烷甲醇类;
β-丙氨酸、2-氨基丁酸、3-氨基丁酸、4-氨基丁酸、2-氨基异丁酸、3-氨基异丁酸、2-氨基戊酸、5-氨基戊酸、6-氨基己酸、1-氨基环丙烷羧酸、1-氨基环己烷羧酸、4-氨基环己烷羧酸等氨基羧酸类。
含苯基胺例如有氨基直接与苯基结合的化合物、氨基经由碳链与苯基结合的化合物等。
含苯基胺的例子例如有:
苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、4-乙基苯胺、4-正丙基苯胺、4-异丙基苯胺、4-正丁基苯胺、4-叔丁基苯胺、1-萘基胺、2-萘基胺、N,N-二甲基苯胺、N,N-二乙基苯胺、4-甲基-N,N-二甲基苯胺等芳族胺类;
2-氨基苄醇、3-氨基苄醇、4-氨基苄醇、4-二甲基氨基苄醇、4-二乙基氨基苄醇等氨基苄醇类;
2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚、4-二甲基氨基苯酚、4-二乙基氨基苯酚等氨基苯酚类等。
这些有机氨基化合物中,从对后述的溶剂的溶解性、防止未曝光部分的基板上或遮光层上的起脏或膜残留等的角度考虑,脂族胺优选一(环)烷醇胺类和氨基(环)烷二醇类,特别优选2-氨基乙醇、3-氨基-1-丙醇、5-氨基-1-戊醇、3-氨基-1,2-丙二醇、2-氨基-1,3-丙二醇、4-氨基-1,2-丁二醇等。含苯基胺优选氨基苯酚类,特别优选2-氨基苯酚、3-氨基苯酚、4-氨基苯酚等。
有机氨基化合物可以单独或两种以上混合使用。
有机氨基化合物的含量相对于放射线敏感性组合物的总质量(换算为固态成分)通常为15质量%以下,优选10质量%以下。有机氨基化合物的含量超过15质量%,则着色层与基板的贴合性有降低倾向。
上述以外的添加剂例如有:
铜酞菁衍生物等蓝色颜料衍生物或黄色颜料衍生物等分散助剂;
玻璃、氧化铝等填充剂;
聚乙烯醇、聚乙二醇一烷基醚类、聚(丙烯酸氟烷基酯)类等高分子化合物;
非离子、阳离子、阴离子等表面活性剂;
乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷等贴合促进剂;
2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮类等紫外线吸收剂;
聚丙烯酸钠等抗凝剂;
1,1’-偶氮二(环己烷-1-腈)、2-苯基偶氮-4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈等热自由基发生剂等。
-溶剂-
本发明的放射线敏感性组合物以上述(A)-(E)成分作为必须成分,根据情况含有上述添加剂成分,但通常是配合溶剂制成液状组合物的。
溶剂只要是分散或溶解构成放射线敏感性组合物的各成分、且不与这些成分反应、具有适度的挥发性即可,可以适当选择使用。
上述溶剂可例举:
乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、乙二醇一正丙基醚、乙二醇一正丁基醚、二甘醇一甲醚、二甘醇一乙醚、二甘醇一正丙基醚、二甘醇一正丁基醚、三甘醇一甲醚、三甘醇一乙醚、丙二醇一甲醚、丙二醇一乙醚、丙二醇一正丙醚、丙二醇一正丁基醚、一缩二丙二醇一甲醚、一缩二丙二醇一乙醚、一缩二丙二醇一正丙基醚、一缩二丙二醇一正丁基醚、二缩三丙二醇一甲醚、二缩三丙二醇一乙醚等(聚)亚烷基二醇一烷基醚类;
乙二醇一甲醚乙酸酯、乙二醇一乙醚乙酸酯、二甘醇一甲醚乙酸酯、二甘醇一乙醚乙酸酯、丙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙酸酯等(聚)亚烷基二醇一烷基醚乙酸酯类;
二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙醚、二甘醇二乙醚、四氢呋喃等其它醚类;
甲基乙基酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮类;
乳酸甲酯、乳酸乙酯等乳酸烷基酯类;
2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、乙酸3-甲氧基丁基酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁基酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁基酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它酯类;
甲苯、二甲苯等芳族烃类;
N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等酰胺或内酰胺类。
这些溶剂中,从溶解性、颜料分散性、涂布性等角度考虑,优选丙二醇一甲醚、乙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙酸酯、二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙醚、环己酮、2-庚酮、3-庚酮、乳酸乙酯、3-甲氧基丙酸乙基酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸3-甲氧基丁基酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁基酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯等。
溶剂可以单独或两种以上混合使用。
也可以与上述溶剂一起结合使用苄基乙醚、二正己基醚、丙酮基丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄基醇、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、乙二醇一苯基醚乙酸酯等高沸点溶剂。
这些高沸点溶剂可以单独或两种以上混合使用。
溶剂的含量没有特别限定,从所得放射线敏感性组合物的涂布性、稳定性等角度考虑,希望溶剂的含量使除去该组合物的溶剂之外的各成分的总浓度通常为5-50质量%,优选10-40质量%。
-制备方法-
本发明的放射线敏感性组合物可按照适当的方法制备,例如,使用颜料作为着色剂时,优选如下制备:在溶剂中、在分散剂存在下,将该颜料用珠磨机、辊磨机等粉碎,同时混合/分散,制成颜料分散液,将其与(B)成分、(C)成分、(D)成分和(E)成分,以及根据需要进一步添加的追加溶剂或添加剂混合。
分散剂例如有氨基甲酸酯类分散剂、聚乙烯亚胺类分散剂、聚氧乙烯烷基醚类分散剂、聚氧乙烯烷基苯基醚类分散剂、聚乙二醇二酯类分散剂、失水山梨醇脂肪酸酯类分散剂、脂肪酸改性聚酯类分散剂、丙烯酸类分散剂等。
上述分散剂的具体例子有:商品名EFKA(EFKA Chemicals b.v.(EFKA)制备)、Disperbyk(BYK Chemie(BYK)制备)、Disparone(楠本化成(株)制备)、Solsperse(Lubrizol制备)、KP(信越化学工业(株)制备)、Polyflow(共荣社化学(株)制备)、FTOP(Tochem Products制备)、Megafac(大日本油墨化学工业(株)制备)、Florard(住友3M(株)制备)、Asahi guard、Surflon(以上为旭硝子(株)制备)等。
这些分散剂可以单独或两种以上混合使用。
制备颜料分散液时分散剂的用量相对于100质量份颜料通常为100质量份以下,优选0.5-100质量份,进一步优选1-70质量份,特别优选10-50质量份。分散剂的用量过多,则显影性等可能受损。
制备颜料分散液时使用的溶剂例如可以是与上述溶剂同样的溶剂。
制备颜料分散液时溶剂的用量相对于100质量份颜料通常为200-1,200质量份,优选300-1,000质量份。
使用珠磨机制备颜料分散液时,例如采用以下方法:使用直径0.5-10mm左右的玻璃珠或氧化钛珠等,将含有颜料、溶剂和分散剂的颜料分散液优选用冷却水等边冷却边进行混合/分散。
此时,珠的填充率通常是磨机容量的50-80体积%,颜料混合液的注入量通常为磨机容量的20-50体积%左右。处理时间通常为2-50小时,优选2-25小时。
使用辊磨机制备时,例如采用以下方法:使用三辊磨机或二辊磨机等,将颜料混合液优选用冷却水等边冷却边进行处理。
此时,辊间距优选为10μm以下,剪切力通常为108dyn/秒左右。处理时间通常为2-50小时,优选2-25小时。
滤色器
本发明的滤色器是使用本发明的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物形成的。
以下,对形成本发明的滤色器的方法进行说明。
首先,根据需要在基板的表面形成遮光层,以区划形成像素的部分,在该基板上涂布本发明的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物的液状组合物,然后进行预烘,使溶剂蒸发,形成涂膜。
接着,经由光掩模对该涂膜进行曝光,然后使用碱性显影液进行显影,溶解除去涂膜的未曝光部分。然后通过后烘形成蓝色的像素图案按规定的排列配置的像素阵列。
然后使用含有绿色或红色着色剂的各放射线敏感性组合物的液状组合物,与上述同样地进行各液状组合物的涂布、预烘、曝光、显影和后烘,在同一基板上依次形成绿色的像素阵列和红色的像素阵列,得到红色、绿色和蓝色三原色的像素阵列在基板上配置的滤色器。不过,本发明中形成各色像素的顺序不限于上述。
形成滤色器时所使用的基板例如可以是玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺等。
也可根据需要对这些基板实施使用硅烷偶联剂等的试剂处理、等离子体处理、离子电镀处理、溅射、气相反应法、真空蒸镀等适当的前处理。
将放射线敏感性组合物的液状组合物涂布在基板上时,可以采用喷涂法、辊涂法、旋涂法、缝型模涂布法、棒涂法、喷墨法等适当的涂布方法,特别优选旋涂法、缝型模涂布法。
涂布厚度按照干燥后的膜厚通常为0.1-10μm,优选0.2-8.0μm,特别优选0.2-6.0μm。
形成滤色器时使用的放射线例如可使用可见光、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等,优选波长在190-450nm范围的放射线。
放射线的曝光量优选10-10,000J/m2。
碱性显影液例如优选碳酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化四甲基铵、胆碱、1,8-二氮杂双环-[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮杂双环-[4.3.0]-5-壬烯等的水溶液。
碱性显影液中也可以适当添加例如甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂或表面活性剂等。需说明的是,碱显影后通常进行水洗。
显影处理法可采用喷淋显影法、喷雾显影法、浸渍显影法、水坑式显影法等。显影条件优选在常温下为5-300秒。
后烘的条件优选在180-230℃下进行20-40分钟左右。
上述形成的像素的膜厚通常为0.5-5.0μm,优选1.5-3.0μm。
上述得到的本发明的滤色器例如在透射式或反射式彩色液晶显示元件、彩色摄像管元件、彩色传感器等中极为有用。
液晶显示元件
本发明的液晶显示元件具备本发明的滤色器。
作为本发明的液晶显示元件的一个实施方案,通过使用本发明的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物,如上所述,在薄膜晶体管基板阵列上形成像素和/或黑底,可以制作具有特别优异的特性的液晶显示元件。
实施例
以下给出实施例,进一步具体说明本发明的实施方案。不过,本发明并不限于下述实施例。
本实施例中所使用的光聚合引发剂和抗氧化剂如下所示。
光聚合引发剂
(d-1):2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉基丙烷-1-酮(IRUGACURE907、Ciba Specialty Chemicals制备)
(d-2):2,2’-双(2-氯苯基)-4,5,4’,5’-四苯基-1,2’-联咪唑
(d-3):2,4-二乙基噻吨酮
(d-4):2-巯基苯并噻唑
(d-5):2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮(IRUGACURE 369、Ciba Specialty Chemicals制备)
(d-6):1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙烷-1-酮肟-O-乙酸酯(IRUGACURE OXE-02、Ciba Specialty Chemicals制备)
抗氧化剂
(e-1):2,2’-亚甲基双(4,6-二叔丁基-1-苯基氧基)(2-乙基己基氧基)磷(商品名Adekastab HP-10、株式会社ADEKA制备)
(e-2):3,9-双(2,6-二叔丁基-4-甲基苯氧基)-2,4,8,10-四氧杂-3,9-二磷杂螺[5.5]十一烷(Adekastab PEP-36、株式会社ADEKA制备)
(e-3):3,9-双[2-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酰氧基]-1,1-二甲基乙氧基]-2,4,8,10-四氧杂螺[5.5]十一烷(Adekastab AO-80、株式会社ADEKA制备)
(e-4):2,2-双({[3-(十二烷硫基)丙酰基]氧基}甲基)-1,3-丙烷二基-双[3-(十二烷硫基)丙酸酯](Adekastab AO-412S、株式会社ADEKA制备)
(B)碱溶性树脂的制备例
合成例1
向具备冷凝管、搅拌机的烧瓶中加入1质量份2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)和200质量份丙二醇一甲醚乙酸酯,接着加入15质量份甲基丙烯酸、15质量份苯乙烯、35质量份甲基丙烯酸苄酯、10质量份一甲基丙烯酸甘油酯、25质量份N-苯基马来酰亚胺和2.5质量份链转移剂α-甲基苯乙烯二聚体,进行氮置换,然后缓慢搅拌,将反应溶液的温度升温至80℃,保持该温度,聚合3小时。然后将反应溶液的温度升温至100℃,加入0.5质量份2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈),再聚合1小时,得到(B)碱溶性树脂的溶液(固态成分浓度=33.0%)。
该(B)碱溶性树脂的Mw=10,000,Mn=6,000。该(B)碱溶性树脂称为“树脂(b)”。
实施例1
将12质量份作为(A)着色剂的C.I.颜料蓝15:6/C.I.颜料紫23=80/20(质量比)的混合物、3.8质量份(换算为固态成分)作为分散剂的BYK2001(Disperbyk,BYK Chemie(BYK)制备)、0.8质量份Solsperse12000以及83.4质量份作为溶剂的丙二醇一甲醚乙酸酯通过珠磨机进行处理,制备颜料分散液。
接着,将360质量份该颜料分散液、作为(B)碱溶性树脂的70质量份(换算为固态成分)树脂(b)、作为(C)多官能性单体的80质量份六丙烯酸二季戊四醇酯、作为(D)光聚合引发剂的30质量份(d-1)、3质量份(d-2)、10质量份(d-3)和1.5质量份(d-4)、作为(E)抗氧化剂的2.5质量份(e-1)、作为添加剂的0.3质量份含全氟烷基的低聚物(商品名Megafac R08-MH,大日本油墨(株)制备)以及0.4质量份3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(商品名SilaAce S710,Chisso(株)制备)、以及作为溶剂的900质量份丙二醇一甲醚乙酸酯混合,制备液状的放射线敏感性组合物(B1)。
像素阵列的形成
使用旋涂机,改变转数,在表面形成有防止钠离子溶出的SiO2膜的钠玻璃基板上涂布放射线敏感性组合物(B1),共涂布三片,然后在80℃的清洁烘箱内预烘10分钟,形成膜厚在1.5-2.5μm范围的不同的三片涂膜。
接着,将这些基板冷却至室温,然后用高压汞灯、以5000J/m2的曝光量经由光掩模对涂膜曝光含有365nm、405nm和436nm各波长的放射线。接着,将基板在25℃的0.1质量%氢氧化四甲基铵的水溶液中浸渍1分钟,进行显影处理,用超纯水洗涤,风干。然后在230℃下后烘30分钟,制作形成了各边长为20μm×20μm的蓝色像素图案的像素阵列。
色度的评价
对于所得像素,使用色彩分析仪(东京电色(株)制的TC-1800M),以C光源、2度视野测定CIE表色系的色度坐标值(x,y)和亮度(Y),求出(x,y)=(0.141,0.089)下的亮度(Y)。Y值越大则表示亮度越高。评价结果如表1所示。
实施例2
使用2.5质量份抗氧化剂(e-2)代替2.5质量份抗氧化剂(e-1),除此之外与实施例1同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
实施例3
使用2.5质量份抗氧化剂(e-3)代替2.5质量份抗氧化剂(e-1),除此之外与实施例1同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
实施例4
使用1.9质量份抗氧化剂(e-1)和0.6质量份抗氧化剂(e-3)代替2.5质量份抗氧化剂(e-1),除此之外与实施例1同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
实施例5
使用0.6质量份抗氧化剂(e-3)和1.9质量份抗氧化剂(e-4)代替2.5质量份抗氧化剂(e-1),除此之外与实施例1同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
实施例6
使用20质量份引发剂(d-5)代替引发剂(d-1)、(d-2)、(d-3)和(d-4),除此之外与实施例1同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
实施例7
使用0.6质量份抗氧化剂(e-3)和1.9质量份抗氧化剂(e-4)代替2.5质量份抗氧化剂(e-1),除此之外与实施例6同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
实施例8
使用10质量份引发剂(d-6)代替引发剂(d-1)、(d-2)、(d-3)和(d-4),除此之外与实施例5同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
比较例1
除2.5质量份抗氧化剂(e-1)之外与实施例1同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
比较例2
除2.5质量份抗氧化剂(e-1)之外与实施例6同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
比较例3
除1质量份抗氧化剂(e-3)和1.9质量份抗氧化剂(e-4)之外与实施例8同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
参考例
只使用30质量份(d-1)作为光聚合引发剂,除2.5质量份抗氧化剂(e-1)之外与实施例1同样,在基板上形成蓝色的像素,进行评价。结果如表1所示。
[表1]
参考例是使用专利文献3的光聚合引发剂(d-1)的高亮度蓝色像素,该蓝色像素的Y值为9.6。为了进一步提高灵敏度,将三种光聚合引发剂(d-2)-(d-4)与该光聚合引发剂(d-1)组合,则Y值降低至9.4(比较例1)。
与此相对,实施例1-5是为了进一步提高灵敏度而将三种光聚合引发剂(d-2)-(d-4)与光聚合引发剂(d-1)组合,再组合特定的抗氧化剂,确认得到不逊色于参考例的Y值(9.5-9.6)。这样,在实施例1-5中,通过将特定的光聚合引发剂与特定的抗氧化剂组合,可以抑制亮度的降低,可得到以高水准兼顾亮度和灵敏度的蓝色像素。
实施例6-7中,通过将特定的抗氧化剂与在比较例2-3中单独使用时无法获得充分的亮度(Y值)的光聚合引发剂组合,确认得到高亮度的蓝色像素。
Claims (4)
2.权利要求1的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物,其中,(E)成分为选自磷类抗氧化剂和硫类抗氧化剂的至少一种,或者是其与酚类抗氧化剂的组合。
3.滤色器,该滤色器是使用权利要求1或2的用于蓝色滤色器的放射线敏感性组合物形成的。
4.液晶显示元件,该液晶显示元件具备权利要求3的滤色器。
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C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant |