JP2003255525A - 着色感光性組成物 - Google Patents

着色感光性組成物

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JP2003255525A
JP2003255525A JP2002058619A JP2002058619A JP2003255525A JP 2003255525 A JP2003255525 A JP 2003255525A JP 2002058619 A JP2002058619 A JP 2002058619A JP 2002058619 A JP2002058619 A JP 2002058619A JP 2003255525 A JP2003255525 A JP 2003255525A
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photosensitive composition
colored photosensitive
acid
pigment
examples
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JP2002058619A
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Yoshiko Yako
由子 八子
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Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パターン寸法の露光量依存性が小さい着色感
光性組成物、該着色感光性組成物を用いたカラーフィル
ターおよび液晶表示装置を提供する。 【解決手段】(A)着色剤、(B)バインダーポリマ
ー、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、
(E)溶剤および(F)イオウ系酸化防止剤を含有する
ことを特徴とする着色感光性組成物。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、着色感光性組成物
に関する。
【0002】
【従来の技術】着色剤により着色された感光性組成物で
ある着色感光性組成物は、カラー液晶表示装置、カラー
固体撮像装置などのカラーフィルタを構成する色画素ま
たはブラックマトリックスなどを形成するための原料と
して有用であり、従来から(A)着色剤、(B)バイン
ダーポリマー、(C)光重合性化合物、(D)光重合開
始剤および(E)溶剤を含有するものが知られている。
また、特開2002−22925号公報には、ヒンダー
ドフェノール系酸化防止剤を添加したカラーフィルタ用
着色感光性樹脂組成物は、特定の露光条件下におけるパ
ターンの寸法安定性に優れることが開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
着色感光性組成物をカラーフィルタの製造に用いた場
合、感度が高くなりすぎる傾向があるため、パターンが
得られないことがあった。そこで、感度を下げるため、
光重合開始剤を減量することが行われるが、そうすると
パターン寸法の露光量依存性が大きくなるという問題が
あった。そのため、一定の寸法のパターンを形成するた
めには露光量を正確にコントロールする必要があった
が、実用的にはそのような正確なコントロールは難しか
った。本発明の目的は、パターン寸法の露光量依存性が
小さい着色感光性組成物を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】そこで本発明者は、鋭意
検討した結果、(A)着色剤、(B)バインダーポリマ
ー、(C)光重合性化合物(D)光重合開始剤および
(E)溶剤からなる従来の着色感光性組成物に、(F)
イオウ系酸化防止剤を添加することによって、得られる
着色感光性組成物は、露光量依存性が小さい着色パター
ンを形成し得ることを見出し、本発明に至った。すなわ
ち本発明は、(A)着色剤、(B)バインダーポリマ
ー、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、
(E)溶剤および(F)イオウ系酸化防止剤を含有する
ことを特徴とする着色感光性組成物、該着色感光性組成
物からなる層を基板またはすでに形成された着色感光性
組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着
色感光性組成物から揮発成分を除去し、フォトマスクを
介して該層を露光し、現像する着色パターンの形成方
法、該製造方法により製造されたカラーフィルタおよび
該カラーフィルタを含む液晶表示装置を提供するもので
ある。
【0005】
【発明の実施の形態】本発明の着色感光性組成物に含有
される(A)着色剤は、有機物である有機着色剤であっ
てもよいし、無機物である無機着色剤であってもよい。
有機着色剤は、顔料であってもよいし、染料であっても
よいし、天然色素であってもよい。無機着色剤は、金属
酸化物、金属錯塩、硫酸バリウムの無機塩(体質顔料)
などの無機顔料であってもよい。こうした着色剤のなか
でも、耐熱性、発色性に優れる点で、有機着色剤、さら
には有機顔料が好ましく用いられる。有機顔料および無
機顔料として具体的には、カラーインデックス(The So
ciety of Dyers and Colourists出版)でピグメント(P
igment)に分類されている化合物が挙げられる。具体的
には、C.I.ピグメントイエロー1、C.I.ピグメ
ントイエロー3、C.I.ピグメントイエロー12、
C.I.ピグメントイエロー13、C.I.ピグメント
イエロー14、C.I.ピグメントイエロー15、C.
I.ピグメントイエロー16、C.I.ピグメントイエ
ロー17、C.I.ピグメントイエロー20、C.I.
ピグメントイエロー24、C.I.ピグメントイエロー
31、C.I.ピグメントイエロー53、C.I.ピグ
メントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー8
6、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.ピグメ
ントイエロー94、C.I.ピグメントイエロー10
9、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグ
メントイエロー117、C.I.ピグメントイエロー1
25、C.I.ピグメントイエロー128、C.I.ピ
グメントイエロー137、C.I.ピグメントイエロー
138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.
ピグメントイエロー147、C.I.ピグメントイエロ
ー148、C.I.ピグメントイエロー150、C.
I.ピグメントイエロー153、C.I.ピグメントイ
エロー154、C.I.ピグメントイエロー166、
C.I.ピグメントイエロー173、C.I.ピグメントイ
エロー194、C.I.ピグメントイエロー214などの黄
色顔料、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピ
グメントオレンジ31、C.I.ピグメントオレンジ3
6、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメ
ントオレンジ40、C.I.ピグメントオレンジ42、
C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメント
オレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ55、C.
I.ピグメントオレンジ59、C.I.ピグメントオレ
ンジ61、C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.
ピグメントオレンジ65、C.I.ピグメントオレンジ
71、C.I.ピグメントオレンジ73などのオレンジ
色顔料、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメ
ントレッド97、C.I.ピグメントレッド105、
C.I.ピグメントレッド122、C.I.ピグメント
レッド123、C.I.ピグメントレッド144、C.
I.ピグメントレッド149、C.I.ピグメントレッ
ド166、C.I.ピグメントレッド168、C.I.
ピグメントレッド176、C.I.ピグメントレッド1
77、C.I.ピグメントレッド180、C.I.ピグ
メントレッド192、C.I.ピグメントレッド20
9、C.I.ピグメントレッド215、C.I.ピグメ
ントレッド216、C.I.ピグメントレッド224、
C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメント
レッド254、C.I.ピグメンレッド264、C.
I.ピグメントレッド265などの赤色顔料、C.I.
ピグメントブルー15、C.I.ピグメントブルー1
5:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.I.
ピグメントブルー15:6、C.I.ピグメントブルー
60などの青色顔料、C.I.ピグメントバイオレット
1、C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピ
グメントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオ
レット29、C.I.ピグメントバイオレット32、
C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.ピグメ
ントバイオレット38などの紫色顔料、C.I.ピグメ
ントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、
C.I.ピグメントグリーン37などの緑色顔料、C.
I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラ
ウン25などの茶色顔料、C.I.ピグメントブラック
1、C.I.ピグメントブラック7などの黒色顔料など
が挙げられる。好ましい顔料としては、C.I.ピグメ
ントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー13
9、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグ
メントレッド177、C.I.ピグメントレッド20
9、C.I.ピグメントレッド254、C.I.ピグメ
ントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:
6、C.I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピ
グメントグリーン36が挙げられる。これらの有機顔料
および無機顔料は、それぞれ単独で用いてもよいし、2
種以上を混合して用いてもよい。これらの有機顔料およ
び無機顔料のうち、有機顔料は必要に応じて、ロジン処
理、酸性基または塩基性基が導入された顔料誘導体など
を用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へ
のグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、
あるいは不純物を除去するための有機溶剤や水などによ
る洗浄処理が施されていてもよい。着色剤の含有量は、
着色感光性組成物の全固形分に対して質量分率で通常1
質量%以上60質量%以下、好ましくは3質量%以上5
0質量%以下の範囲で用いられる。
【0006】(B)バインダーポリマーは、着色剤を分
散することができ、着色感光性組成物層に、その光線未
照射領域を現像において除去し、光線照射領域を残す機
能を付与するポリマーが使用される。該バインダーポリ
マーとしては、例えばカルボキシル基を有する単量体単
位からなるポリマーであることが好ましい。カルボキシ
ル基を有する単量体としては、例えば不飽和モノカルボ
ン酸や不飽和ジカルボン酸などの分子中に少なくとも1
個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げら
れ、具体的にはアクリル酸、メタクリル酸、クロトン
酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などが挙げられ
る。これらのカルボキシル基を有する単量体は炭素−炭
素不飽和結合を有する化合物であり、それぞれ単独でま
たは2種以上を組み合わせて用いることができる。バイ
ンダーポリマーは、該カルボキシル基を有する単量体お
よび他の単量体の共重合体であることが好ましい。他の
単量体としては、炭素-炭素不飽和結合を有し、カルボ
キシル基を有する単量体と共重合し得る単量体であり、
具体的には、例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビ
ニルトルエンなどの芳香族ビニル化合物、メチル(メ
タ)アクリレートやエチル(メタ)アクリレート、ブチ
ル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートなど
の不飽和カルボン酸エステル化合物、アミノエチルアク
リレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステ
ル化合物、グリシジル(メタ)アクリレートなどの不飽
和カルボン酸グリシジルエステル化合物、酢酸ビニル、
プロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル化
合物、(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロ
ニトリルなどのシアン化ビニル化合物、3−メチル−3
−(メタ)アクリロキシメチルオキセタン、3−エチル
−3−(メタ)アクリロキシメチルオキセタン、3−メ
チル−3−(メタ)アクリロキシエチルオキセタン、3
−メチル−3−(メタ)アクリロキシエチルオキセタン
のような不飽和カルボン酸オキセタンエステル化合物な
どが挙げられる。これらの単量体はそれぞれ単独でまた
は2種以上を組み合わせて用いられる。該共重合体とし
ては、例えばベンジルメタクリレート/メタクリル酸共
重合体、スチレン/メタクリル酸共重合体、3−エチル
−3−メタクリロキシメチルオキセタン/ベンジルメタ
クリレート/メタクリル酸共重合体、3−エチル−3−
メタクリロキシメチルオキセタン/メチルメタクリレー
ト/メタクリル酸共重合体、3−エチル−3−メタクリ
ロキシメチルオキセタン/メチルメタクリレート/メタ
クリル酸/スチレン共重合体などが挙げられる。特に、
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体が好ま
しい。該共重合体におけるカルボキシル基を有する単量
体単位の含有量は質量分率で5〜50%、好ましくは1
0〜40%である。該バインダーポリマーは、ポリスチ
レンを標準としてゲルパーミエーションクロマトグラフ
ィー(GPC)で求められる重量平均分子量が5,00
0〜400,000の範囲、さらには10,000〜3
00,000の範囲にあるのが好ましい。バインダーポ
リマーは、感光性組成物の全固形分に対して質量分率で
通常5〜90%の範囲、好ましくは20〜70%の範囲
で用いられる。
【0007】(C)光重合性化合物は、光を照射される
ことによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、
酸などによって重合し得る化合物であって、例えば重合
性炭素−炭素不飽和結合を有する化合物が挙げられる。
該化合物は、単官能の光重合性化合物であってもよい
し、2官能または3官能以上の多官能の光重合性化合物
であってもよい。単官能光重合性化合物としては、例え
ばノニルフェニルカルビトールアクリレート、2−ヒド
ロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−エ
チルヘキシルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキ
シエチルアクリレート、N−ビニルピロリドンなどが挙
げられる。2官能光重合性化合物としては、例えば1,
6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、エチレ
ングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグ
リコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのビス
(アクリロイロキシエチル)エーテル、3−メチルペン
タンジオールジ(メタ)アクリレートなどが挙げられ
る。3官能以上の光重合性化合物としては、例えばトリ
メチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタ
エリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリ
スリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリ
スリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどが挙げられ
る。好ましい光重合性化合物としては、ジペンタエリス
リトールヘキサ(メタ)アクリレートである。該光重合
性化合物はそれぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせ
て用いられるが、2官能以上の光重合性化合物が好まし
く用いられ、2種以上の光重合性化合物を用いる場合に
は少なくとも1種は2官能以上の光重合性化合物を用い
ることが好ましい。該光重合性化合物の使用量は、バイ
ンダーポリマーおよび光重合性化合物の合計量100質
量部あたり通常は0.1質量部以上70質量部以下、好
ましくは1質量部以上60質量部以下である。
【0008】(D)光重合開始剤は、光を照射されるこ
とによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生剤
が挙げられ、例えば、アセトフェノン系化合物、ベンゾ
イン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサント
ン系化合物、トリアジン系化合物などが挙げられる。ア
セトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシア
セトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェ
ニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、
2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(2−ヒドロ
キシエトキシ)フェニル〕プロパン−1−オン、1−ヒ
ドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−
2−モルホリノ−1−(4−メチルチオフェニル)プロ
パン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−
1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2
−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビ
ニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなど
が挙げられる。ベンゾイン系化合物としては、例えば、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエ
チルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベン
ゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。ベンゾフ
ェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o
−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェ
ノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルフ
ァイド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチ
ルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6
−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。チオキ
サントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピル
チオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、
2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチ
オキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサン
トンなどが挙げられる。トリアジン系化合物としては、
例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4
−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,
4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナ
フチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(ト
リクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリ
アジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4
−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,
4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチ
ルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリア
ジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−
(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリア
ジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−
(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニ
ル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリク
ロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニ
ル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げら
れる。活性ラジカル発生剤として、例えば、2,4,6
−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイ
ド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エ
チルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンス
レンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル
酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもでき
る。活性ラジカル発生剤として、市販のものを用いるこ
ともできる。市販の光重合開始剤としては、例えば、商
品名「Irgacure-907」(アセトフェノン系光重合開始
剤、Ciba Specialty Chemicals社製)などが挙げられ
る。これらの光重合開始剤はそれぞれ単独でまたは2種
以上を組み合わせて用いることができる。光重合開始剤
の使用量は、バインダーポリマーおよび光重合性化合物
の合計量100質量部に対して通常1質量部以上30質
量部以下、好ましくは3質量部以上20質量部以下であ
る。
【0009】本発明の着色感光性組成物は、光重合開始
助剤を含有していてもよい。光重合開始助剤は、光重合
開始剤と組み合わせて、光重合開始剤によって開始した
光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合
物である。光重合開始助剤としては、例えばアミン系化
合物、アルコキシアントラセン系化合物などが挙げられ
る。アミン系化合物としては、例えばトリエタノールア
ミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノー
ルアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジ
メチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息
香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、
4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,
N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチ
ルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、
4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノン
などが挙げられる。アルコキシアントラセン系化合物と
しては、例えば9,10−ジメトキシアントラセン、2
−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,1
0−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−
ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。光重合開始
助剤として市販のものを用いることもでき、市販の光重
合開始助剤としては、例えば商品名「EAB-F」(保土谷
化学工業(株)製)などが挙げられる。該光重合開始助
剤を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤1モルあ
たり通常10モル以下、好ましくは0.01モル以上5
モル以下である。光重合開始剤および光重合開始助剤を
用いる場合の使用量は、その合計量がバインダーポリマ
ーおよび光重合性化合物の合計量100質量部に対して
通常1質量部以上30質量部以下、好ましくは3質量部
以上20質量部以下である。
【0010】本発明の着色感光性組成物は(E)溶剤を
含む。溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテ
ル、エチレングリコールモノプロピルエーテルおよびエ
チレングリコールモノブチルエーテルなどのエチレング
リコールモノアルキルエーテル類、ジエチレングリコー
ルジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエ
ーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジ
エチレングリコールジブチルエーテルなどのジエチレン
グリコールジアルキルエーテル類、メチルセロソルブア
セテート、エチルセロソルブアセテートなどのエチレン
グリコールアルキルエーテルアセテート類、プロピレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレン
グリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレン
グリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシ
ブチルアセテート、メトキシペンチルアセテートなどの
アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、
ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどの芳香
族炭化水素類、アニソール、フェネトール、メチルアニ
ソールなどの芳香族脂肪族エーテル類、アセトン、2−
ブタノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘプ
タノン、4−メチル−2−ペンタノン、シクロヘキサノ
ンなどのケトン類、エタノール、プロパノール、ブタノ
ール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレング
リコール、グリセリンなどのアルコール類、3−エトキ
シプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチ
ル、乳酸エチル、2−ヒドロキシイソ酪酸メチルなどの
エステル類、γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類
などが挙げられる。こうした溶剤は、それぞれ単独でま
たは2種類以上を組み合わせて用いることができ、着色
感光性組成物における溶剤の含有量が質量分率で通常5
0質量%以上90質量%以下、好ましくは60質量%以
上85質量%以下となるように使用される。
【0011】(F)イオウ系酸化防止剤としては、イオ
ウ系酸化防止剤として公知の化合物を用いることができ
る。該化合物としては、例えば、ジラウリル−3,3’
−チオジプロピオネート、ジミリスチル−3,3’−チ
オジプロピオネート、ジステアリル−3,3’−チオジ
プロピオネート、ペンタエリスリチル−テトラキス(3
−ラウリルチオプロピオネート)、2−メルカプトベン
ズイミダゾールなどが挙げられる。また、チオプロピオ
ネート基およびチオジプロピオネート基からなる群から
選ばれる少なくとも1種の基を有する化合物が好ましい
化合物として挙げられる。該化合物としては、例えば、
ジラウリル−3,3’−チオジプロピオネート、ジミリ
スチル−3,3’−チオジプロピオネート、ジステアリ
ル−3,3’−チオジプロピオネート、ペンタエリスリ
チル−テトラキス(3−ラウリルチオプロピオネート)
などが挙げられ、とりわけ好ましくはペンタエリスリチ
ル−テトラキス(3−ラウリルチオプロピオネート)が
挙げられる。該イオウ系酸化防止剤は単独でも、2種以
上を混合しても使用できる。混合して使用する場合、そ
の比率は、着色剤の種類や添加量、光重合開始剤の種類
や添加量、色画素の製造条件などによって適宜選択する
ことができる。該イオウ系酸化防止剤の使用量は、着色
剤の種類や添加量、光重合開始剤の種類や添加量、色画
素の製造条件などによって適宜選択することができる
が、光重合開始剤に対して通常質量分率で0.01%以
上30%以下、好ましくは0.05%以上10%以下、
とりわけ好ましくは0.1%以上5%以下である。
【0012】本発明の着色感光性組成物は、その他の添
加剤を含有していてもよい。添加剤としては、例えば、
充填剤、バインダーポリマー以外の高分子化合物、界面
活性剤、密着促進剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ
化合物、硬化剤などが挙げられる。
【0013】充填剤としては、例えば、ガラス、アルミ
ナなどが挙げられる。
【0014】バインダーポリマー以外の高分子化合物と
しては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル
酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポ
リフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【0015】界面活性剤としては、例えば、ノニオン系
界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活
性剤および両性界面活性剤などが挙げられる。
【0016】密着促進剤としては、例えば、ビニルトリ
メトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルト
リス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミ
ノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラ
ン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルト
リメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシ
ラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2
−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメト
キシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラ
ン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタ
クリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプ
トプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【0017】凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリ
ル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【0018】有機酸としては、例えば、ぎ酸、酢酸、プ
ロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジ
エチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノ
カルボン酸類、しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタ
ル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライ
ン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチ
ルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テト
ラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタ
コン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコ
ン酸などの脂肪族ジカルボン酸類、トリカルバリル酸、
アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン
酸類、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、
メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類、フタル
酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボ
ン酸類、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン
酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類など
が挙げられる。
【0019】有機アミノ化合物としては、例えば、n―
プロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブチルアミ
ン、i−ブチルアミン、sec−ブチル、t−ブチルア
ミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミン、n−
ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノニルアミ
ン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミン、n−ド
デシルアミンなどのモノアルキルアミン類、シクロヘキ
シルアミン、2−メチルシクロヘキシルアミン、3−メ
チルシクロヘキシルアミン、4−メチルシクロヘキシル
アミンなどのモノシクロアルキルアミン類、メチルエチ
ルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピルアミ
ン、エチルn−プロピルアミン、ジn−プロピルアミ
ン、ジi−プロピルアミン、ジn−ブチルアミン、ジi
−ブチルアミン、sジec−ブチルアミン、ジt−ブチ
ルアミン、ジn−ペンチルアミン、ジn−ヘキシルアミ
ンなどのジアルキルアミン類、メチルシクロヘキシルア
ミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキル
モノシクロアルキルアミン類、ジシクロヘキシルアミン
などのジシクロアルキルアミン類、ジメチルエチルアミ
ン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチ
ルn−プロピルアミン、ジエチルn−プロピルアミン、
メチルジn−プロピルアミン、エチルジn−プロピルア
ミン、トリn−プロピルアミン、トリi−プロピルアミ
ン、トリn−ブチルアミン、トリi−ブチルアミン、ト
リsec−ブチルアミン、トリt−ブチルアミン、トリ
n−ペンチルアミン、トリn−ヘキシルアミンなどのト
リアルキルアミン類、ジメチルシクロヘキシルアミン、
ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシ
クロアルキルアミン類、メチルジシクロヘキシルアミ
ン、エチルジシクロヘキシルアミンなどのモノアルキル
ジシクロアルキルアミン類、トリシクロヘキシルアミン
などのトリシクロアルキルアミン類、2−アミノエタノ
ール、3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2
−プロパノール、4−アミノ−1−ブタノール、5−ア
ミノ−1−ペンタノール、6−アミノ−1−ヘキサノー
ルなどのモノアルカノールアミン類、4−アミノ−1−
シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミ
ン類、ジエタノールアミン、ジn−プロパノールアミ
ン、ジi−プロパノールアミン、ジn−ブタノールアミ
ン、ジi−ブタノールアミン、ジn−ペンタノールアミ
ンジアルカノールアミン類、ジn−ヘキサノールアミン
などのジアルカノールアミン類、ジ(4−シクロヘキサ
ノール)アミンなどのジシクロアルカノールアミン類、
トリエタノールアミン、トリn−プロパノールアミン、
トリi−プロパノールアミン、トリn−ブタノールアミ
ン、トリi−ブタノールアミン、トリn−ペンタノール
アミン、トリn−ヘキサノールアミンなどのトリアルカ
ノールアミン類、トリ(4−シクロヘキサノール)アミ
ンなどのトリシクロアルカノールアミン類、3−アミノ
−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1,3−プ
ロパンジオール、4−アミノ−1,2−ブタンジオー
ル、4−アミノ−1,3−ブタンジオール、3−ジメチ
ルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジエチルア
ミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチルアミノ
−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルアミノ−
1,3−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオー
ル類、4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオール、
4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオールなどのア
ミノシクロアルカンジオール類、1−アミノシクロペン
タノンメタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノ
ールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール
類、1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミ
ノシクロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシ
クロペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペ
ンタンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサン
メタノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノ
ールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類、
β−アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−
アミノ酪酸、2−アミノイソ酢酸、3−アミノイソ酢
酸、2−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノ
カプロン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1
−アミノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロ
ヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類、アニリ
ン、o−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メ
チルアニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピル
アニリン、p−i−プロピルアニリン、p−n−ブチル
アニリン、p−t−ブチルアニリン、1−ナフチルアミ
ン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、
N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメ
チルアニリンなどの芳香族アミン類、o−アミノベンジ
ルアルコール、m−アミノベンジルアルコール、p−ア
ミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジル
アルコール、p−ジエチルアミノベンジルアルコールな
どのアミノベンジルアルコール類、o−アミノフェノー
ル、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p
−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェ
ノールなどのアミノフェノール類、m−アミノ安息香
酸、p−アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香
酸、p−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸
類などが挙げられる。
【0020】硬化剤は、現像後の加熱処理によって色画
素等を硬化させてその機械的強度を向上するために用い
られる。こうした硬化剤としては、例えば、加熱される
ことによってバインダーポリマーのカルボキシル基と反
応してバインダーポリマーを架橋させ得る化合物が挙げ
られ、バインダーポリマーを架橋させることにより色画
素等を硬化させる。また、加熱されることによってそれ
単独で重合し得る化合物であってもよく、単独で重合す
ることにより色画素等が硬化する。こうした化合物とし
ては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物など
が挙げられる。
【0021】エポキシ化合物としては、例えば、ビスフ
ェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系
エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素
化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポ
キシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキ
シ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系
樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポ
キシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エ
ポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環
族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)
重合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエ
ポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)
重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げら
れる。
【0022】オキセタン化合物としては、例えば、カー
ボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、
アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセ
タン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなど
が挙げられる。
【0023】本発明の着色感光性組成物は、硬化剤と共
にエポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオ
キセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいても
よい。こうした化合物としては、例えば、多価カルボン
酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げら
れる。
【0024】多価カルボン酸類としては、例えば、フタ
ル酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレ
フタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,
5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,
4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多
価カルボン酸類、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、
1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン
酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸
類、ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒ
ドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒド
ロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカル
ボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、
シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シ
クロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボ
ン酸類などが挙げられる。
【0025】多価カルボン酸無水物類としては、例え
ば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリ
ット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物
類、無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン
酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、
無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボ
ン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、無
水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒド
ロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカ
ルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカル
ボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水
物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸
二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環
族多価カルボン酸無水物類、エチレングリコールビスト
リメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水
物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げ
られる。
【0026】カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂
硬化剤として市販されているものを用いてもよい。こう
したエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名「ア
デカハードナーEH−700」(旭電化工業(株)
製)、商品名「リカシッドHH」(新日本理化(株)
製)、商品名「MH−700」(新日本理化(株)製)
などが挙げられる。こうした硬化剤は、それぞれ単独で
または2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0027】本発明の着色感光性組成物は、例えば、溶
剤中で着色剤、バインダーポリマー、光重合性化合物、
光重合開始剤およびイオウ系酸化防止剤を混合すること
により製造でき、添加剤を含む場合には、溶剤中で混合
すればよい。
【0028】本発明の着色感光性組成物を用いてパター
ンを形成する方法としては、具体的には、本発明の着色
感光性組成物を、基板または基板の上に先に形成した固
体の着色感光性組成物層(以下、これを基板等というこ
とがある。)の上に塗布し、塗布された着色感光性組成
物から溶剤など揮発成分を除去し、フォトマスクを介し
て揮発成分が除去された層を露光したのち、現像する方
法が挙げられる。
【0029】基板としては、例えば、ガラス基板、シリ
コン基板、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、
芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイ
ミド基板などの表面が平坦な基板が挙げられる。こうし
た基板は、シランカップリング剤などの薬品による薬品
処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、スパ
ッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理などの前
処理が施されていてもよい。基板としてシリコン基板な
どを用いる場合、該シリコン基板などの表面には電荷結
合素子(CCD)、薄膜トランジスタ(TFT、Thin F
ilm Transistor)などが形成されていてもよい。
【0030】該基板の上に着色感光性組成物を塗布する
には、例えば、本発明の着色感光性組成物を回転塗布法
(スピンコート法)、流延塗布法、ロール塗布法、スリ
ット&スピンコート法などの通常の塗布方法で基板等の
上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を加熱により揮
発させればよい。このようにして、基板等の上に着色感
光性組成物の固形分からなる層が形成される。
【0031】次いで、着色感光性組成物の固形分からな
る層(以下、これを着色感光性組成物層ということがあ
る。)を露光する。露光するには、例えば、フォトマス
クを介して光線を照射すればよい。光線としては通常、
g線(波長436nm)、i線(波長365nm)と呼
ばれる紫外線などが用いられる。光線はフォトマスクを
介して照射されるが、ここでフォトマスクは、例えば、
ガラス板の表面に光線を遮蔽する遮光層が設けられたも
のである。ガラス板のうちの遮光層が設けられていない
部分は光線が透過する透光部であって、この透光部のパ
ターンに従ったパターンで着色感光性組成物層が露光さ
れて、光線が照射されなかった未照射領域と、光線が照
射された照射領域とが生ずる。照射領域における光線の
照射量は、バインダーポリマーの重量平均分子量、単量
体比、含有量、光重合性化合物の種類や含有量、光重合
開始剤の種類や含有量、光重合開始助剤の種類や含有量
などによって適宜選択される。
【0032】本発明の着色感光性組成物は、パターン寸
法の露光量依存性が小さいので好ましい。具体的には、
本発明の着色感光性組成物を、基板または先に形成され
た着色感光性組成物の固型分からなる層の上に塗布し、
塗布された着色感光性組成物から揮発成分を除去し、パ
ターン寸法100μmのフォトマスクを介して、200
mJ/cm2で露光した時のパターン寸法(d(20
0))に対する800mJ/cm2で露光した時のパタ
ーン寸法(d(800))の比(d(800)/d(2
00))が1.00以上1.10以下である組成物が好
ましい。d(800)/d(200)が1.00以上
1.10以下であると、パターン寸法の露光量依存性が
より小さいパターンを形成できるので好ましい。
【0033】露光後、現像する。現像するには、例え
ば、露光後の着色感光性組成物層を現像液と接触させれ
ばよく、具体的にはその表面上に着色感光性組成物層が
形成された状態の基板を現像液に浸漬すればよい。現像
液としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアン
モニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化合物の
水溶液などが挙げられる。現像によって、着色感光性組
成物層のうちの光線が照射されなかった未照射領域は除
去される。その一方で、光線照射領域はそのまま残って
パターンを構成する。
【0034】現像後、通常は水洗し、乾燥することによ
り、目的とするパターンを得ることができる。乾燥後、
加熱してもよい。パターンを加熱することによって硬化
して、その機械的強度が向上する傾向にあり、着色感光
性組成物として硬化剤を含有するものを用いた場合に
は、機械的強度をより向上することができる。加熱温度
は通常180℃以上、好ましくは200℃以上であり、
通常250℃以下である。
【0035】また、他の色の色画素やブラックマトリッ
クスを形成してカラーフィルタを得るには、着色剤の色
を代えながら上記操作を行うことによって、順次各色の
色画素やブラックマトリックスを形成すればよい。
【0036】本発明の着色感光性組成物は、カラーフィ
ルタの各画素の400−700nmにおける平均透過率
が、その画素の厚さに係わらず、45%以上である画素
の形成に用いると、高感度で、露光量依存性が小さい傾
向にあり、好ましい。特に、本発明の着色感光性組成物
は、反射型カラーフィルタの製造に用いると、露光量依
存性が小さい傾向にあり、好ましい。このようにして得
られるカラーフィルタは、パターンを含むものであり、
該カラーフィルターを使用することにより、好適な液晶
表示装置が得られる。
【0037】
【実施例】上記において、本発明の実施の形態について
説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態
は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実
施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の
範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均
等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものであ
る。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明する
が、本発明はこれらの実施例によって限定されるもので
はない。
【0038】実施例1 下記の成分を混合して、赤色の着色感光性組成物を得
た。なお、単位は質量部である。 (A)C.I.ピグメントレッド209 36.9部 C.I.ピグメントイエロー138 0.3部 (B)バインダー樹脂(メタクリル酸/ベンジルメタクリレート=27/73、 重量平均分子量=22,000) 50部 (C)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 50部 (D)2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン −1−オン 6部 4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 3部 (E)ペンタエリスリチル−テトラキス(3−ラウリルチオプロピオネート) 0.48部 (F)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 723部 添加剤として分散剤 1.7部
【0039】得られた着色感光性組成物を、ガラス基板
(コーニング#7059)に、スピンコーターにより塗
布した後、塗膜を100℃で3分間プリベークして乾燥
させた。次いで、この乾燥塗膜に対し、100μmライ
ンアンドスペースパターンを形成するためのフォトマス
クを介して、超高圧水銀灯によりそれぞれ200mJ/cm
2 と800mJ/cm2で露光を行った後、現像液(質量分
率で、水酸化カリウムを0.05%およびブチルナフタ
レンスルホン酸ナトリウムを0.2%それぞれ含む水溶
液)に浸漬して現像し、水洗後、220℃で20分間ポ
ストベークを行い、赤色画像を得た。得られた画像の膜
厚は、1.1μmで、その400−700nmの平均透
過率は69.1%であった。この赤色画素の100μm
ラインパターンの線幅をSEMにより測定したところ、
200mJ/cm2では105μm、800mJ/cm2では10
6μmで、(d(800)/d(200))は1.01
と露光量の違いによる線幅依存性は非常に小さいことが
わかった。
【0040】比較例1 下記の成分を混合して、青色の着色感光性組成物を得
た。 (A)C.I.ピグメントブルー15:6 14部 (B)バインダー樹脂(メタクリル酸/ベンジルメタクリレート=30/70、 重量平均分子量=23,000) 50部 (C)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 50部 (D)2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン −1−オン 12部 2,4−ジエチルチオキサントン 4部 (E)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 642部 添加剤として分散剤 0.6部
【0041】得られた着色感光性組成物を、実施例1と
同様の操作により、画像を得た。得られた画像の膜厚
は、1.1μmで、その400−700nmの平均透過
率は55.6%であった。得られた各画素の100μm
ラインパターンの線幅をSEMにより測定したところ、
200mJ/cm2では109μmであったが、800mJ/c
m2では解像しないほど線太りが発生し、露光量の違いに
よるパターンの寸法への影響は非常に大きかった。
【0042】比較例2 下記の成分を混合して、赤色の着色感光性組成物を得
た。 (A)C.I.ピグメントレッド209 36.9部 C.I.ピグメントイエロー138 0.3部 (B)バインダー樹脂(メタクリル酸/ベンジルメタクリレート=30/70、 重量平均分子量=25,000) 50部 (C)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 50部 (D)2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン −1−オン 6部 2,4−ジエチルチオキサントン 3部 (E)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 723部 添加剤として分散剤 1.7部
【0043】得られた着色感光性組成物を、実施例1と
同様の操作により、画像を得た。得られた画像の膜厚
は、1.0μmで、その400−700nmの平均透過
率は70.0%であった。得られた各画素の100μm
ラインパターンの線幅をSEMにより測定したところ、
200mJ/cm2では109μmであったが、800mJ/c
m2では解像しないほど線太りが発生し、露光量の違いに
よるパターンの寸法への影響は非常に大きかった。
【発明の効果】本発明の着色感光性組成物によれば、高
感度でパターン寸法の露光量依存性が小さいパターンを
形成できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 5/20 101 G02B 5/20 101 G03F 7/027 502 G03F 7/027 502 7/033 7/033 Fターム(参考) 2H025 AA01 AB13 AC01 AD01 BC14 BC32 BC42 BC51 CA01 CA27 CA28 CB10 CB13 CB14 CB43 CC01 CC03 FA03 FA17 2H048 BA02 BA48 BB42 4J011 PA45 PA63 PA69 PA70 PB24 PB39 PC08 4J026 AA43 AA52 BA17 BA30 DB05 DB36 FA05 GA02

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(A)着色剤、(B)バインダーポリマ
    ー、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、
    (E)溶剤および(F)イオウ系酸化防止剤を含有する
    ことを特徴とする着色感光性組成物。
  2. 【請求項2】(F)イオウ系酸化防止剤が、チオプロピ
    オネート基およびチオジプロピオネート基からなる群か
    ら選ばれる少なくとも1種の基を有する請求項1に記載
    の着色感光性組成物。
  3. 【請求項3】(F)イオウ系酸化防止剤が、ペンタエリ
    スリチル−テトラキス(3−ラウリルチオプロピオネー
    ト)である請求項1または2に記載の着色感光性組成
    物。
  4. 【請求項4】(F)イオウ系酸化防止剤の含有量が、
    (D)光重合開始剤の含有量に対して、質量分率で0.
    1%以上30%以下である請求項1〜3のいずれかに記
    載の着色感光性組成物。
  5. 【請求項5】着色感光性組成物を、基板または先に形成
    された着色感光性組成物の固型分からなる層の上に塗布
    し、塗布された着色感光性組成物から揮発成分を除去
    し、線幅100μmのフォトマスクを介して、200m
    J/cm2で露光した時の線幅(d(200))に対す
    る800mJ/cm2で露光した時の線幅(d(80
    0))の比(d(800)/d(200))が1.00
    以上1.10以下となる請求項1〜4のいずれかに記載
    の着色感光性組成物。
  6. 【請求項6】請求項1〜5のいずれかに記載の着色感光
    性組成物からなる層を基板またはすでに形成された着色
    感光性組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布さ
    れた着色感光性組成物から揮発成分を除去し、フォトマ
    スクを介して該層を露光し、現像する着色パターンの形
    成方法。
  7. 【請求項7】請求項6の方法により製造されたカラーフ
    ィルタ。
  8. 【請求項8】請求項7に記載されたカラーフィルタを含
    む液晶表示装置。
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