CN101271166B - 反射防止膜、光学元件及光学系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种反射防止膜(C1)，其是由设置在光学基板(100)和粘接层(200)之间的合计6层而构成的多层膜，从粘接层(200)侧依次层叠第1层(1)至第6层(6)的各层。作为反射防止膜(C1)的整体折射率，比光学基板(100)的折射率低，且比粘接层(200)的折射率高。第1层(1)及第3层(3)为例如对d线显示出1.35以上1.50以下的折射率的低折射率层。第2层(2)、第4层(4)及第6层(6)为例如对d线显示出1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率层。第5层(5)为例如对d线显示出1.70以上2.50以下的范围内表示比中间折射率层高的折射率的高折射率层。从而即使在接合具有较高折射率的光学部件的情况，也能够在充分宽的带域显示出较低的反射率。

Description

反射防止膜、光学元件及光学系统 

技术领域

本发明提供一种例如形成于透镜和滤光片等光学部件彼此之间的接合面，对规定的带域的光发挥反射防止效果的反射防止膜、具备其的光学元件以及光学系统。

背景技术

通常，在照相用摄像机或广播用摄像机等摄像装置的光路上配置多个透镜或棱镜，或者滤光片等光学部件。这些光学部件有通过由透明的树脂而成的粘接层而被相接合的情况，但此时，在粘接层和光学部件的接合界面，入射光的一部分成为反射光，而发生成为影像模糊和重影的原因的可能性。而且，具有在接合界面的反射率依赖于入射光的波长的分布，而且，按照各光学部件的构成材料显示其反射率不同的波长依赖性，因此，色度平衡劣化，有必要调整摄像装置整体的白平衡。

由此，以往以来，在光学部件和粘接层之间设置反射防止膜。

该反射防止膜是组合具有相互不同的折射率的介电膜的多层膜，熟知的有，例如在下述专利文献1、2公开的内容。

【专利文献1】专利公开2001-74903号公报

【专利文献2】专利公开2006-284656号公报

然而，近年来，多使用采用对d线(波长λ＝587.56nm)的折射率Nd具有2.0左右的高折射率的玻璃的光学系统，在上述专利文献1、2公开的反射防止膜，在被视为一般的可视区域的带域的上下限附近(即400nm附近以及700nm附近)，难以充分地减低反射率。于是考虑通过由比以往具有更高的折射率的树脂材料构成粘接层实现减低反射率的方法，但是在实际上不存在折射率Nd超过1.6的那样的适当的树脂。从而，要求一种即使贴合折射率为2.0附近的玻璃时，也能发挥出色的光透过性的反射防止膜。

发明内容

本发明鉴于上述问题点而提出的，其第1目的在于，提供一种在接合具有更高的折射率的光学部件时，在充分宽的带域表示更低的反射率的反射防止膜。本发明的第2目的在于，提供一种，具备该种反射防止膜的光学元件及光学系统。

本发明的一种光学元件，备有：光学构件；其它光学构件；粘结层；设置在所述光学部件和所述粘接层之间并至少包含从上述粘接层侧依次层叠的第1至第6层的多层膜，所述光学构件和所述其它光学构件通过该粘结层而接合，上述多层膜的整体的等价折射率，比上述光学部件的折射率低，且比上述粘接层的折射率高，上述第2、第4及第6层的折射率比上述第1及第3层的折射率高，且比上述第5层的折射率低。而且，本发明的光学元件，是通过粘接层，接合对d线具有1.75以上2.10以下的折射率的光学部件和其他光学部件而构成的，在光学部件和粘接层之间设有本发明的反射防止膜。而且本发明的光学系统，具备本发明的光学元件。

在本发明的反射防止膜、光学元件及光学系统中，从粘接层侧依次至少包含第1至第6层的多层膜，具有光学部件和粘接层的中间的折射率，第2、第4及第6层的折射率比第1及第3层的折射率高，且比第5层的折射率低，因此，即使基板的折射率Nd超过2.0时，也在较宽的带域中充分地降低反射率分布，进一步满足以下所有的条件式(1)～(6)为理想。

0.06×λ0≤N1·d1≤0.11×λ0……(1)

0.07×λ0≤N2·d2≤0.13×λ0……(2)

0.06×λ0≤N3·d3≤0.18×λ0……(3)

0.31×λ0≤N4·d4≤0.43×λ0……(4)

0.04×λ0≤N5·d5≤0.09×λ0……(5)

0.06×λ0≤N6·d6≤0.18×λ0……(6)

此处，λ0为中心波长，N1～N6为第1至第6层的对中心波长λ0的折射率，d1～d6为第1至第6层的物理性膜厚。

在本发明的反射防止膜、光学元件及光学系统中，也可以在上述第6层的光学部件侧，依次层叠第7层和第8层。在此，第7层的折射率最好比第1至第4及第6层高，第8层的折射率最好比第1及第3层的折射率高，且比第5及第7层的折射率还低，此时，同时满足以下的条件式(7)及(8)为佳。此处，N7及N8分别为第7层及第8层的对中心波长λ0的折射率，d7及d8分别为第7层及第8层的物理性膜厚。

0.05×λ0≤N7·d7≤0.14×λ0……(7)

0.04×λ0≤N8·d8≤0.07×λ0……(8)

在本发明的反射防止膜、光学元件及光学系统中，第1及第3层，由对d线显示出1.35以上1.50以下的折射率的低折射率材料而构成，第2、第4、第6及第8层，由对d线显示出1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率材料而构成，第5及第7层，由对d线显示出在1.70以上2.50以下的范围内比中间折射率材料高的折射率的高折射率材料而成为理想。

在本发明的反射防止膜、光学元件及光学系统，作为低折射率材料使用包含MgF₂、SiO₂及AlF₃中的至少一种材料，作为中间折射率材料使用包含PrAlO₃、La_2XAl_2YO_3(X+Y)、Al₂O₃、GeO₂、及Y₂O₃中的至少一种材料，作为高折射率材料使用包含LaTiO₃、ZrO₂、TiO₂、Ta₂O₅、Nb₂O₅、HfO₂及CeO₂中的至少一种材料。

根据本发明的反射防止膜，由具有光学部件和粘接层的中间的折射率，并且由包含第1至第6层的多层膜而构成，将该多层膜的第2、第4及第6层的折射率设定为比第1及第3层的折射率高，且比第5层的折射率低，因此，光学部件的折射率例如在2.0左右时，也能在充分宽的带域发现较低的反射率。从而，根据装载于包含使用该种反射防止膜的光学元件(例如接合透镜等)的照相用摄像机或广播用摄像机等的光学系统，能够抑制发生画面闪烁和重影，并能够获得更出色的色度平衡性。

附图说明

图1是作为本发明的第1实施方式的反射防止膜的剖面图。

图2是作为本发明的第2实施方式的反射防止膜的剖面图。

图3是作为本发明的第3实施方式的变焦透镜的剖面图。

图4(A)～(B)是对应于图1所示的反射防止膜的实施例1-1的基本数据及反射率分布图。

图5(A)～(B)是对应于图1所示的反射防止膜的实施例1-2的基本数据及反射率分布图。

图6(A)～(B)是对应于图1所示的反射防止膜的实施例1-3的基本数据及反射率分布图。

图7(A)～(B)是对应于图1所示的反射防止膜的实施例1-4的基本数据及反射率分布图。

图8(A)～(B)是对应于图1所示的反射防止膜的实施例1-5的基本数据及反射率分布图。

图9(A)～(B)是对应于图1所示的反射防止膜的实施例1-6的基本数据及反射率分布图。

图10是概括图5至图9所示的实施例1-1～1-6的所有反射率分布的特性图。

图11(A)～(B)是对应于图2所示的反射防止膜的实施例2-1的基本数据及反射率分布图。

图12(A)～(B)是对应于图2所示的反射防止膜的实施例2-2的基本数据及反射率分布图。

图13(A)～(B)是对应于图2所示的反射防止膜的实施例2-3的基本数据及反射率分布图。

图14(A)～(B)是对应于图2所示的反射防止膜的实施例2-4的基本数据及反射率分布图。

图15(A)～(B)是对应于图2所示的反射防止膜的实施例2-5的基本数据及反射率分布图。

图16(A)～(B)是对应于图2所示的反射防止膜的实施例2-6的基本数据及反射率分布图。

图17是概括图11至图16所示的实施例2-1～2-6的所有反射率分布的特性图。

图18是作为比较例的反射防止膜的剖面图。

图19(A)～(B)是对应于图18所示的反射防止膜的比较例1-1的基本数据及反射率分布图。

图20(A)～(B)是对应于图18所示的反射防止膜的比较例1-2的基本数据及反射率分布图。

图21(A)～(B)是对应于图18所示的反射防止膜的比较例1-3的基本数据及反射率分布图。

图22(A)～(B)是对应于图18所示的反射防止膜的比较例1-4的基本数据及反射率分布图。

图23(A)～(B)是对应于图18所示的反射防止膜的比较例1-5的基本数据及反射率分布图。

图24是概括图19至图23所示的比较例1-1～1-5的所有反射率分布的特性图。

图中：1～8-第1层～第8层，C1、C2-反射防止膜，G1～G5-第1～第5透镜组，St-光阑，100-光学基板，100S-表面，200-粘接层。

具体实施方式

以下，参照附图分别详细说明本发明的几个实施方式。

[第1实施方式]

图1是表示作为本发明的第1实施方式的反射防止膜C1的构成的概略剖面图。图1的反射防止膜C1对应于后述的第1数值实施例(图4～图10)。

反射防止膜C1是具有设置在光学基板100和粘接层200之间，并具有从粘接层200侧依次层叠的第1～第6层1～6的多层膜。作为反射防止膜C1的整体的等价折射率被设定为比光学基板100的折射率低，且比粘接层200的折射率高。另外，在图1中，使设有反射防止膜C1的光学基板100的表面100S为平面，但不限于此，使之为曲面也可以。即，也可以是作为光学基板100使用具有球面或非球面的透镜，在其球面或非球面之上设置反射防止膜C1。

光学基板100，由玻璃或结晶材料等透明材料而构成。具体而言，由对d线(波长λ＝587.56nm)表示例如1.75以上2.10以下的折射率的SF-14、SF6(以上都为德国肖特公司(独国シヨツト社))、LASF-N17、S-NPH2、S-TIH53、S-LAH79(以上都为小原公司(オハラ社))等构成为理想。

粘接层200例如由环氧树脂类的粘接剂而构成，例如对d线表现出1.45以上1.60以下的折射率。

第1层1及第3层3，是由例如对d线显示出1.35以上1.50以下的折射率的低折射率材料而成的低折射率层。而且，第2层2、第4层4及第6层6是由例如对d线显示出1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率材料 而成的中间折射率层。而且，第5层5是由例如对d线显示出1.70以上2.50以下的范围内比中间折射率高的折射率的高折射率材料而成的高折射率层。

作为低折射率材料可以使用例如氟化镁(MgF₂)、二氧化硅(SiO₂)及氟化铝(AlF₃)、以及这些的混合物及化合物。而且，作为中间折射率材料，例如可以使用铝酸镨(PrAlO₃)、铝酸镧(La_2XAl_2YO_3(X+Y))、三氧化二铝(Al₂O₃)、氧化锗(GeO₂)、氧化钇(Y₂O₃)、它们的混合物及化合物。而且，作为高折射率材料，例如可以使用钛酸镧(LaTiO₃)、氧化锆(ZrO₂)、二氧化钛(TiO₂)、五氧化二钽(Ta₂O₅)、五氧化二铌(Nb₂O₅)、氧化铪(HfO₂)、氧化铈(CeO₂)、它们的混合物及化合物。

对于第1层1～第6层6，满足以下所有条件式(1)～(6)的方式构成为理想。此处，λ0为中心波长(单位：nm)，N1～N6为在从第1层1～第6层6的对中心波长λ0的折射率，d1～d6为在从第1层1～第6层6的物理性膜厚(单位：nm)。

0.06×λ0≤N1·d1≤0.11×λ0……(1)

0.07×λ0≤N2·d2≤0.13×λ0……(2)

0.06×λ0≤N3·d3≤0.18×λ0……(3)

0.31×λ0≤N4·d4≤0.43×λ0……(4)

0.04×λ0≤N5·d5≤0.09×λ0……(5)

0.06×λ0≤N6·d6≤0.18×λ0……(6)

如此，根据本实施方式的反射防止膜C1，从粘接层200侧依次由第1层1～第6层6而成的多层膜，作为整体具有光学基板100和粘接层200的中间折射率，第2层2、第4层4、和第6层6的折射率被设定为，都比第1层1及第3层3的折射率高，且比第5层5的折射率低，因此，即使光学基板100的折射率Nd在2.0左右，也可以在较宽的带域充分降低反射率。而且，通过满足各条件式(1)～(6)，可以谋求光学膜厚N·d的最佳化，因此，可以更加提高上述的效果。具体而言，在例如对于d线的折射率为2.00的光学基板100和对d线显示出例如1.50以上1.60以下的折射率的粘接层200之间设置反射防止膜C1时，至少可以在400nm～700nm的带域中以垂直入射抑制为0.02％以下的反射率。从而，将该反射防止膜C1适用在照相用摄像机或广播用摄像机等光学系统时，通过降低入射光的反射，抑制像面模糊和重影的发生的同时，可以获得更出色的色度平衡。

而且，反射防止膜的反射率分布有入射角越大，越向短波长侧移动的倾向。从而，根据本实施方式的反射防止膜C1，可以在比以往更宽的带域减低反射率，因此，也可以对应于具有入射角更大的入射光。

而且，一般，在透镜面等曲面上形成多层膜时，存在如下倾向：即在该曲面的曲率比较大的区域，多层膜的厚度比此以外的区域(曲率比较小的领域)更易变薄。然而，若为本实施方式的反射防止膜C1，可以在比以往更宽的带域内发现充分低的反射率，因此，如上述，即使在其厚度上稍微发生不均匀也能维持良好的光学特性。

[第2实施方式]

图2是表示作为本发明的第2实施方式的反射防止膜C2的构成的概略剖面图。图2的反射防止膜C2对应于后述的第2数值实施例(图10～图16)。

反射防止膜C2，除了是由合计8层而成的多层膜外，具有与上述第1实施方式的反射防止膜C1同样的构成。即，反射防止膜C2，在反射防止膜C1的第6层6的光学基板100侧追加层叠第7层7和第8层8。从而，在以下主要记载有关第7层7和第8层8的说明，对于其他说明适当省略。

第8层8与第2层2、第4层4及第6层6同样，是由例如对d线显示出1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率材料而成的中间折射率层。与此对应，第7层7与第5层5同样，是由例如对d线显示出在1.70以上2.50以下的范围内比上述中间折射率层高的折射率的高折射率层。

对于第7层7及第8层8被构成为，使得同时满足以下的条件式(7)及条件式为理想(8)。

0.05×λ0≤N7·d7≤0.14×λ0……(7)

0.04×λ0≤N8·d8≤0.07×λ0……(8)

如此，根据本实施方式的反射防止膜C2，从粘接层200侧依次由第1层1～第8层8而成的多层膜，作为整体具有光学基板100和粘接层200的中间折射率，第2层2、第4层4、第6层6及第8层8的各折射率被设定为，都比第1层1及第3层3的各折射率高，且比第5层5及第7层7的各折射率低，因此，即使光学基板100的折射率Nd在2.0左右，也可以在比第1实施方式的反射防止膜C1更宽的带域充分降低反射率。而且，通过满足各条件式(1)～(8)，可以谋求光学膜厚N·d的最佳化，因此，可以更加提高上述的效果。具体而言，在例如对于d线的折射率Nd为2.00的光学基板100和对d线显示出例如1.50以 上1.60以下的折射率的粘接层200之间设置反射防止膜C2时，至少可以在400nm～950nm的宽带域以垂直入射抑制到0.02％以下的反射率。

[第3实施方式]

图3表示本发明的第3实施方式的变焦透镜的构成例。在该变焦透镜，设置上述第1实施方式的反射防止膜C1或第2实施方式的反射防止膜C2。

在图3中，符号Ri，表示以最靠近物体侧的构成要素的面为第1个并随着朝向像侧(成像侧)依次增加的方式附上符号的第i个面的曲率半径。符号Di表示第i个面和第i+1个面的光轴Z1上的面间隔。另外，符号Di只对随着变倍发生变化的部分的面间隔附上符号。而且，图3表示在广角端的透镜配置。

该变焦透镜装载于数码静态摄像机等摄像设备，沿光轴Z1从物体侧依次配置有第1至第5透镜组G1～G5。在此，第1及第4的透镜组G1、G4具有负的折射力，第3及第5透镜组G3、G5具有正的折射力。另外，第2透镜组G2由用于弯曲光路的棱镜L21而成，而不具有折射力。而且，在第3透镜组G3设有孔径光阑St。

在该变焦透镜的成像面(摄像面)Simg上，例如配置有未图示的摄像元件。在第5透镜组G5和摄像面Simg之间，根据安装透镜的摄像机侧的构成，配置各种光学部件GC。作为光学部件GC，例如配置摄像面保护用玻璃罩和各种光学滤光片等的平板状的部件。

在该变焦透镜中，在变焦时，第1透镜组G1、第2透镜组G2及第5透镜组G5总是为固定，而第3透镜组G3及第4透镜组G4在光轴Z1上分别进行移动。第3透镜组G3和第4透镜组G4随着从广角端向望远端进行变倍，如图3的箭头所示，在光轴Z1上向物体侧移动。

第4透镜组G4具有由2片透镜L41、L42而成的接合透镜L40和1片负透镜L43。透镜L41、L42，都由例如具有折射率Nd为1.75以上2.10以下的折射率的硝材等而构成。在图3虽省略图示，但是，在透镜L41和透镜L42的接合界面设置图1所示的反射防止膜C1(或图2所示的反射防止膜C2)以及粘接层200。具体而言，在透镜L41的像侧的面及透镜L42的物体侧的面分别设置反射防止膜C1(或反射防止膜C2)，这些由粘接层200而被接合。

如此，由于在接合透镜L40的接合界面设置反射防止膜C1(或反射防止膜C2)，因此，即使透镜L41、透镜L42的折射率Nd为2.0左右，也可以在比 以往更宽的带域获得更低的反射率。从而，在包含该接合透镜L40的本实施方式的变焦透镜中，通过减低入射光的反射，能够在抑制画面模糊和重影的同时，获得更加出色的色度平衡。

而且，在该变焦透镜，通过设置反射防止膜C1(或反射防止膜C2)，能够在抑制红外区的重影的同时，可以在从近红外区至可视区的宽带域提高透过率。

另外，也可以只在透镜L41的像侧的面或透镜L42的物体侧的面的任一方设置反射防止膜C1(或反射防止膜C2)，但是，由于设置双方时易获得上述的效果，所以理想。

【实施例】

接着，说明本实施方式所涉及的反射防止膜的具体数值实施例。另外，在此的反射率都是进行垂直入射时的值。

<第1数值实施例>

在图4～图9表示第1数值实施例(实施例1-1～1-6)。在此，图4(A)、图5(A)、图6(A)、图7(A)、图8(A)及图9(A)分别表示对应于图1所示的反射防止膜C1的实施例1-1～1-6的基本数据。而且，图4(B)、图5(B)、图6(B)、图7(B)、图8(B)及图9(B)分别表示实施例1-1～1-6的反射率分布。

图4(A)、图5(A)、图6(A)、图7(A)、图8(A)及图9(A)分别表示各层的构成材料、对d线的折射率N、物理性膜厚d(单位：nm)及光学膜厚(单位：nm)。在构成材料的栏的“sub-h4”，表示以LaTiO₃为主成分的材料H4(德国默克(独国メルク)公司)。而且，在光学膜厚N·d栏表示的中心波长λ0全部设为520nm。从各图可以得知，各层的折射率N及光学膜厚N·d的值满足所有条件式(1)～(8)。另一方面，在图4(B)、图5(B)、图6(B)、图7(B)、图8(B)及图9(B)表示以纵轴为反射率(％)，横轴为测定时的波长λ(nm)，各实施例的反射率(％)的波长依赖性。图10概括表示图4(B)、图5(B)、图6(B)、图7(B)、图8(B)及图9(B)的图表。从各图可以得知，在所有图的约为400nm至650nm宽带域内反射率小于0.02％。尤其，除实施例1-6，即若光学基板100的折射率N为1.80以上，则在约为400nm至700nm的宽带域的反射率被控制为不足0.01％。

<第2数值实施例>

在图11～图16表示第2数值实施例(实施例2-1～2-6)。

在此，图11(A)、图12(A)、图13(A)、图14(A)、图15(A)及图16(A)分别表示对应于图2所示的反射防止膜C2的实施例2-1～2-6的基本数据。在光学膜厚N·d栏表示的中心波长λ0全部设为520nm。从各图可以得知，各层的折射率N及光学膜厚N·d的值满足所有条件式(1)～(8)。

另一方面，图11(B)、图12(B)、图13(B)、图14(B)、图15(B)及图16(B)分别表示实施例2-1～2-6的反射率分布。图17概括表示图11(B)、图12(B)、图13(B)、图14(B)、图15(B)及图16(B)的图表。从各图可以得知，在所有图的约为400nm至900nm宽带域内反射率不足0.02％。尤其，除实施例2-6，即若光学基板100的折射率N为1.80以上，则在约为400nm至850nm的宽带域的反射率被控制为不足0.01％。

<比较例>

在此，作为对于上述第1及第2数值实施例的比较例，在图19～图23表示具有图18所示的反射防止膜C101的构成的比较例1-1～1-5。在图18，反射防止膜C101的整体具有光学基板100和粘接层200的中间折射率。第1层11及第2层12皆是由例如对d线显示出1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率材料而成的中间折射率层，但第2层12具有比第1层11更高的折射率。具体而言，比较例1-1～1-5的基本数据如图19(A)、图20(A)、图21(A)、图22(A)及图23(A)所示。在第1层11使用Al₂O₃、在第2层12使用在“sub-m2”表示的以铝酸镧(La₂O₃·3.3Al₂O₃)为主成分的材料M2(德国默克公司)。另外，在光学膜厚N·d栏表示的中心波长λ0全部设为520nm。

另一方面，图19(B)、图20(B)、图21(B)、图22(B)及图23(B)分别表示比较例1-1～1-5的反射率分布。图24概括表示图19(B)、图20(B)、图21(B)、图22(B)及图23(B)的图表。

从各图可以得知，除光学基板100的折射率约为1.85的比较例1-4外，在所有图都约为400nm至650nm宽带域内反射率大大超过0.02％。在比较例1-4也成为，波长400nm的折射率超过0.03％，且在波长700nm的折射率超过0.01％的结果。

从以上的各基本数据及各反射率分布图可以得知，在各实施例与2层构成的比较例相比，反射率分布得到很大的改善。即，根据本发明的反射防止膜，可以在比以往更宽的带域充分降低反射率，并确认可以把其反射率的分 布充分地平坦化。

以上例举实施方式及实施例说明了本发明，但是本发明不限定于上述实施方式及实施例，可以进行各种变形。例如，各层及各基板的折射率及光学膜厚的值不限定于上述各数值实施例所示的值，还可以取其他的值。而且，对于构成各层及各基板的材料种类，不限定于上述各数值实施例所示的材料种类，还可以利用其他的材料种类。

而且，基于等价膜理论，也可以由多层膜构成各层。即，通过对称层叠2种类的折射率膜，也可以以在光学上作为单层使用的方式构成。

Claims (9)

1.一种光学元件，其特征在于，

备有：

光学构件；

其它光学构件；

粘结层；

设置在所述光学构件和所述粘接层之间并至少包含从上述粘接层侧依次层叠的第1至第6层的多层膜，

所述光学构件和所述其它光学构件通过该粘结层而接合，

上述多层膜的整体的等价折射率，比上述光学构件的折射率低，且比上述粘接层的折射率高，

上述第2、第4及第6层的折射率比上述第1及第3层的折射率高，且比上述第5层的折射率低，

进一步满足以下所有的条件式(1)～(6)：

0.06×λ0≤N1·d1≤0.11×λ0……(1)

0.07×λ0≤N2·d2≤0.13×λ0……(2)

0.06×λ0≤N3·d3≤0.18×λ0……(3)

0.31×λ0≤N4·d4≤0.43×λ0……(4)

0.04×λ0≤N5·d5≤0.09×λ0……(5)

0.06×λ0≤N6·d6≤0.18×λ0……(6)

这里，

λ0：中心波长

N1～N6：在从第1至第6层对中心波长λ0的折射率；

d1～d6：从第1至第6层的物理性膜厚。

2.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于，

上述第1及第3层，由对d线显示出1.35以上1.50以下的折射率的低折射率材料而构成，

上述第2、第4及第6层，由对d线显示出1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率材料而成，

上述第5层，由对d线显示出1.70以上2.50以下的范围内比上述中间折射率材料更高的折射率的高折射率材料而构成。

3.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于，

在上述第6层的光学构件侧，依次层叠有第7层和第8层，

上述第7层的折射率比上述第1至第4及第6层的高，

上述第8层的折射率比上述第1及第3层的折射率高，且比上述第5及第7层的折射率低。

4.根据权利要求3所述的光学元件，其特征在于，

而且，同时满足以下的条件式(7)及(8)，

0.05×λ0≤N7·d7≤0.14×λ0……(7)

0.04×λ0≤N8·d8≤0.07×λ0……(8)

其中，

λ0：中心波长，

N7、N8：第7层和第8层的对中心波长λ0的折射率，

d7、d8：第7层及第8层的物理膜厚。

5.根据权利要求3或4所述的光学元件，其特征在于，

上述第1及第3层，由对d线显示出1.35以上1.50以下的折射率的低折射率材料而构成，

上述第2、第4、第6及第8层，由对d线显示出1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率材料而构成，

上述第5及第7层，由对d线显示出1.70以上2.50以下的范围内比上述中间折射率材料还高的折射率的高折射率材料而成。

6.根据权利要求2所述的光学元件，其特征在于，

上述低折射率材料包含氟化镁(MgF₂)、二氧化硅(SiO₂)及氟化铝(AlF₃)中的至少一种，

上述中间折射率材料包含铝酸镨(PrAlO₃)、由La₂O₃·3.3Al₂O₃所表示的铝酸镧、三氧化二铝(Al₂O₃)、由GeO₂表示的氧化锗、三氧化二钇(Y₂O₃)中的至少一种，

上述高折射率材料包含由LaTiO₃表示的钛酸镧、氧化锆(ZrO₂)、二氧化钛(TiO₂)、五氧化二钽(Ta₂O₅)、五氧化二铌(Nb₂O₅)、氧化铪(HfO₂)、二氧化铈(CeO₂)中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的光学元件，其特征在于，

上述光学构件对d线显示出1.75以上2.10以下的折射率，

上述粘接层对d线显示出1.45以上1.60以下的折射率。

8.根据权利1所述的光学元件，其特征在于，

上述其它光学构件对d线具有1.75以上2.10以下的折射率，

光学元件，在所述其它光学构件和所述粘结层之间还具有其它反射防止膜，

该其它反射防止膜具有多层膜，所述多层膜从所述粘结层侧至少含有顺次层积的第9～第14层，

所述其它反射防止膜的多层膜整体的等价折射率，比所述其它光学构件的折射率低，且比所述粘结层的折射率高，

所述第10、第12和第14层的折射率比所述第9和第11层的折射率高，且比所述第13层的折射率低。

9.一种光学系统，其特征在于，

具备权利要求7或8所述的光学元件。

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