JPH04254802A - 光学素子 - Google Patents
光学素子Info
- Publication number
- JPH04254802A JPH04254802A JP3027793A JP2779391A JPH04254802A JP H04254802 A JPH04254802 A JP H04254802A JP 3027793 A JP3027793 A JP 3027793A JP 2779391 A JP2779391 A JP 2779391A JP H04254802 A JPH04254802 A JP H04254802A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- thin film
- base material
- glass base
- resin layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 67
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 73
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 55
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 47
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 46
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 45
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 45
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims abstract description 15
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 12
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000012788 optical film Substances 0.000 abstract description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910018404 Al2 O3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004366 ThF4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 229910002319 LaF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000535 Tan II Polymers 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BYMUNNMMXKDFEZ-UHFFFAOYSA-K trifluorolanthanum Chemical compound F[La](F)F BYMUNNMMXKDFEZ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガラス母材上に紫外線硬
化型樹脂よりなる樹脂層を有する光学素子に関する。
化型樹脂よりなる樹脂層を有する光学素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ガラス母材上に樹脂層を積層
した構成の非球面レンズが知られている。このような非
球面レンズの作成方法としては紫外線硬化型樹脂を用い
た所謂レプリカ法が一般的である。このレプリカ法は成
形容易な紫外線硬化型樹脂を用いて光学面を形成するた
め、所望形状の光学面を有する非球面レンズを比較的容
易に得ることができ、量産性に優れる方法である。また
、ガラス母材の屈折率を自由に選択できるため、光学設
計上の自由度も高く、非常に有利な方法である。
した構成の非球面レンズが知られている。このような非
球面レンズの作成方法としては紫外線硬化型樹脂を用い
た所謂レプリカ法が一般的である。このレプリカ法は成
形容易な紫外線硬化型樹脂を用いて光学面を形成するた
め、所望形状の光学面を有する非球面レンズを比較的容
易に得ることができ、量産性に優れる方法である。また
、ガラス母材の屈折率を自由に選択できるため、光学設
計上の自由度も高く、非常に有利な方法である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レプリ
カ法による光学素子の樹脂層上に反射防止膜を形成した
場合、ガラス母材と紫外線硬化型樹脂の屈折率が近接し
ていれば問題はないが、ガラス母材として例えば屈折率
１．６０〜１．８０程度のものを用いると、紫外線硬化
型樹脂の屈折率が通常１．４０〜１．５５程度であるの
で、ガラス母材と紫外線硬化型樹脂の屈折率が異なるこ
とに起因するガラス母材と樹脂層の境界面での反射のた
め、反射防止効果が充分に得られないという欠点があっ
た。
カ法による光学素子の樹脂層上に反射防止膜を形成した
場合、ガラス母材と紫外線硬化型樹脂の屈折率が近接し
ていれば問題はないが、ガラス母材として例えば屈折率
１．６０〜１．８０程度のものを用いると、紫外線硬化
型樹脂の屈折率が通常１．４０〜１．５５程度であるの
で、ガラス母材と紫外線硬化型樹脂の屈折率が異なるこ
とに起因するガラス母材と樹脂層の境界面での反射のた
め、反射防止効果が充分に得られないという欠点があっ
た。
【０００４】図１は従来のレプリカ法による光学素子の
構成図である。屈折率が１．８０のレンズ上１に屈折率
が１．４９、球面からの最大偏位量が２μｍである紫外
線硬化型樹脂よりなる非球面層２を形成し、更にその上
に光学的膜厚がλ０ ／４の酸化アルミニウムＡｌ２
Ｏ３ 、光学的膜厚がλ０ ／２の酸化ジルコニウムＺ
ｒＯ２、光学的膜厚がλ０ ／４のフッ化マグネシウム
ＭｇＦ２ を順次積層して反射防止膜３を設けている。 図２は非球面層の光学的膜厚が最も厚い２μｍの部所の
反射特性を示す図で、横軸に波長λ、縦軸に反射率Ｒを
とったものである。なお上記λ０ は基準（設計）波長
であり、ここではλ０ ＝５００ｎｍとしているのでＡ
ｌ２ Ｏ３ −ＺｒＯ２ −ＭｇＦ２ より構成される
層は１２５ｎｍ−２５０ｎｍ−１２５ｎｍの光学的膜厚
を有する。図２から明らかなようにガラス母材上に直接
非球面層を設け更にその上に反射防止のための薄膜層群
を設けた場合、残存の反射率が２％を越え、反射防止の
特性は良好とは言えなかった。
構成図である。屈折率が１．８０のレンズ上１に屈折率
が１．４９、球面からの最大偏位量が２μｍである紫外
線硬化型樹脂よりなる非球面層２を形成し、更にその上
に光学的膜厚がλ０ ／４の酸化アルミニウムＡｌ２
Ｏ３ 、光学的膜厚がλ０ ／２の酸化ジルコニウムＺ
ｒＯ２、光学的膜厚がλ０ ／４のフッ化マグネシウム
ＭｇＦ２ を順次積層して反射防止膜３を設けている。 図２は非球面層の光学的膜厚が最も厚い２μｍの部所の
反射特性を示す図で、横軸に波長λ、縦軸に反射率Ｒを
とったものである。なお上記λ０ は基準（設計）波長
であり、ここではλ０ ＝５００ｎｍとしているのでＡ
ｌ２ Ｏ３ −ＺｒＯ２ −ＭｇＦ２ より構成される
層は１２５ｎｍ−２５０ｎｍ−１２５ｎｍの光学的膜厚
を有する。図２から明らかなようにガラス母材上に直接
非球面層を設け更にその上に反射防止のための薄膜層群
を設けた場合、残存の反射率が２％を越え、反射防止の
特性は良好とは言えなかった。
【０００５】従って、本発明の目的は、レプリカ法によ
り形成され、反射防止効果の優れた光学素子を提供する
ことにある。
り形成され、反射防止効果の優れた光学素子を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明に従って
、ガラス母材上に、１層以上の等厚薄膜よりなる第１薄
膜群、該第１薄膜群上に設けられた紫外線硬化型樹脂よ
りなる樹脂層、該樹脂層上に設けられた１層以上の薄膜
よりなる第２薄膜群より構成される光学素子が提供され
る。
、ガラス母材上に、１層以上の等厚薄膜よりなる第１薄
膜群、該第１薄膜群上に設けられた紫外線硬化型樹脂よ
りなる樹脂層、該樹脂層上に設けられた１層以上の薄膜
よりなる第２薄膜群より構成される光学素子が提供され
る。
【０００７】尚本発明において等厚薄膜とは、第１薄膜
群が２層以上の場合において各膜の光学的膜厚が同じで
あることを意味するものである。
群が２層以上の場合において各膜の光学的膜厚が同じで
あることを意味するものである。
【０００８】上記第１薄膜群が単層よりなる場合、単層
薄膜の屈折率ｎはガラス母材の屈折率をｎｇ 、樹脂層
の屈折率をｎａ とすると ｎ≒平方根（ｎｇ ｎａ
） であることが好ましい。更に、このとき単層薄
膜の幾何学的膜厚ｄ１ は基準波長をλ０ とすると
ｄ１ ≒（λ０ ／４）ｎ であることが反射防止
のため好ましい。
薄膜の屈折率ｎはガラス母材の屈折率をｎｇ 、樹脂層
の屈折率をｎａ とすると ｎ≒平方根（ｎｇ ｎａ
） であることが好ましい。更に、このとき単層薄
膜の幾何学的膜厚ｄ１ は基準波長をλ０ とすると
ｄ１ ≒（λ０ ／４）ｎ であることが反射防止
のため好ましい。
【０００９】上記第１薄膜群が２層よりなる場合、該２
層のガラス母材側の薄膜層の屈折率をｎ１ 、樹脂層側
の屈折率をｎ２ とすると ｎｇ ＜ｎ１ かつｎ２
＜ｎａ 又はｎｇ ＞ｎ１ かつｎ２ ＞ｎａ
を満足することが好ましい。
層のガラス母材側の薄膜層の屈折率をｎ１ 、樹脂層側
の屈折率をｎ２ とすると ｎｇ ＜ｎ１ かつｎ２
＜ｎａ 又はｎｇ ＞ｎ１ かつｎ２ ＞ｎａ
を満足することが好ましい。
【００１０】更に、このとき屈折率ｎ１ の膜厚をｄ１
、屈折率ｎ２ の膜厚をｄ２ として ｎａ ｎｇ ＝ｎ１ ｎ２
ｔａｎ２ （δ／２）＝ｎ１ ｎ２ （ｎｇ −ｎａ
）／（ｎ２２ｎｇ −ｎ１２ｎａ ） 但し、δ
＝δ１ ＝δ２ δ１ ＝（４π／λ０ ）ｎ１ ｄ１
δ２ ＝（４π／λ０ ）ｎ２ ｄ２ なる関係
を満足することが反射防止のため好ましい。ここでλ０
は基準波長である。
、屈折率ｎ２ の膜厚をｄ２ として ｎａ ｎｇ ＝ｎ１ ｎ２
ｔａｎ２ （δ／２）＝ｎ１ ｎ２ （ｎｇ −ｎａ
）／（ｎ２２ｎｇ −ｎ１２ｎａ ） 但し、δ
＝δ１ ＝δ２ δ１ ＝（４π／λ０ ）ｎ１ ｄ１
δ２ ＝（４π／λ０ ）ｎ２ ｄ２ なる関係
を満足することが反射防止のため好ましい。ここでλ０
は基準波長である。
【００１１】本発明による光学素子は、ガラス母材上と
紫外線硬化型樹脂層との間に等厚薄膜よりなる薄膜層を
設けることにより、屈折率の異なるガラス母材と紫外線
硬化樹脂層との間で生じる有害な反射を効果的に除去し
て、透過率の優れた光学素子を得るものである。
紫外線硬化型樹脂層との間に等厚薄膜よりなる薄膜層を
設けることにより、屈折率の異なるガラス母材と紫外線
硬化樹脂層との間で生じる有害な反射を効果的に除去し
て、透過率の優れた光学素子を得るものである。
【００１２】
【実施例】以下、実施例を示して具体的に本発明を説明
する。
する。
【００１３】［実施例１］図３は本発明による光学素子
の一実施例で、第１薄膜群４が単層の場合を示す構成図
である。構成は屈折率が１．６０のガラス母材（オハラ
製ＳＫ１４）１上に、第１薄膜群として屈折率が１．５
４の単層膜（ＴｈＦ４ ）４を光学的膜厚で１２５ｎｍ
蒸着し、その上に屈折率が１．４９のウレタンアクリレ
ート系組成物からなる樹脂層２を非球面形状（球面から
の最大偏位量２μｍ，最小偏位量０μｍ）に設け、更に
その上に第２薄膜群３として３層反射防止膜、即ち樹脂
層側からＡｌ２ Ｏ３ を光学的膜厚で１２５ｎｍ，Ｚ
ｒＯ２ を２５０ｎｍ，ＭｇＦ２ を１２５ｎｍ順次積
層したものである。
の一実施例で、第１薄膜群４が単層の場合を示す構成図
である。構成は屈折率が１．６０のガラス母材（オハラ
製ＳＫ１４）１上に、第１薄膜群として屈折率が１．５
４の単層膜（ＴｈＦ４ ）４を光学的膜厚で１２５ｎｍ
蒸着し、その上に屈折率が１．４９のウレタンアクリレ
ート系組成物からなる樹脂層２を非球面形状（球面から
の最大偏位量２μｍ，最小偏位量０μｍ）に設け、更に
その上に第２薄膜群３として３層反射防止膜、即ち樹脂
層側からＡｌ２ Ｏ３ を光学的膜厚で１２５ｎｍ，Ｚ
ｒＯ２ を２５０ｎｍ，ＭｇＦ２ を１２５ｎｍ順次積
層したものである。
【００１４】図４に非球面層の光学的膜厚が最も厚い２
μｍの部所で測定した反射特性を示す。尚非球面層の最
も厚い部所での反射特性で評価する理由は、この部所で
の特性が最も悪く、この部所より膜厚が薄い部所では反
射特性がこれよりも良好なためである。図４から明らか
なように、所望の波長領域において残存反射率をほぼ０
．５％以内に抑えることができ、図２の特性曲線と比較
すれば本発明の反射防止効果が著しく優れている。
μｍの部所で測定した反射特性を示す。尚非球面層の最
も厚い部所での反射特性で評価する理由は、この部所で
の特性が最も悪く、この部所より膜厚が薄い部所では反
射特性がこれよりも良好なためである。図４から明らか
なように、所望の波長領域において残存反射率をほぼ０
．５％以内に抑えることができ、図２の特性曲線と比較
すれば本発明の反射防止効果が著しく優れている。
【００１５】［実施例２］実施例１においてガラス母材
を屈折率が１．７０のガラス母材（オハラ製ＢａＳＦ８
）に代え、第１薄膜群を屈折率が１．５９の単層膜（Ｌ
ａＦ３ ）に代えた他は実施例１と同様にして光学素子
を作成し、その反射特性を測定した。図５に特性図を示
す。
を屈折率が１．７０のガラス母材（オハラ製ＢａＳＦ８
）に代え、第１薄膜群を屈折率が１．５９の単層膜（Ｌ
ａＦ３ ）に代えた他は実施例１と同様にして光学素子
を作成し、その反射特性を測定した。図５に特性図を示
す。
【００１６】［実施例３］実施例１においてガラス母材
を屈折率が１．８０のガラス母材（オハラ製ＬａＳＦＯ
３）に代え、第１薄膜群を屈折率が１．６４の単層膜（
Ａｌ２ Ｏ３ ）に代えた他は実施例１と同様にして光
学素子を作成し、その反射特性を測定した。図６に特性
図を示す。
を屈折率が１．８０のガラス母材（オハラ製ＬａＳＦＯ
３）に代え、第１薄膜群を屈折率が１．６４の単層膜（
Ａｌ２ Ｏ３ ）に代えた他は実施例１と同様にして光
学素子を作成し、その反射特性を測定した。図６に特性
図を示す。
【００１７】［実施例４］実施例３において、更に樹脂
層の最大偏位量を１μｍ又は３μｍ（最小偏位量はいず
れも０μｍ）に変えた他は実施例３と同様にして光学素
子を作成し、その反射特性を測定した。図７に１μｍ（
実線）と３μｍ（破線）の場合の特性図を示す。
層の最大偏位量を１μｍ又は３μｍ（最小偏位量はいず
れも０μｍ）に変えた他は実施例３と同様にして光学素
子を作成し、その反射特性を測定した。図７に１μｍ（
実線）と３μｍ（破線）の場合の特性図を示す。
【００１８】［実施例５］（１） 第１薄膜群が２層の
場合である。図８は本発明による光学素子の一実施例で
、第１薄膜群４が２層からなる場合を示す構成図である
。構成は屈折率が１．６０のガラス母材（オハラ製ＳＫ
１４）１上に、第１薄膜群として順次屈折率が１．５７
の膜（ＴｈＯＦ２ ）を光学的膜厚で１２５ｎｍ、屈折
率が１．５２の膜（ショット製８３２９）を光学的膜厚
で１２５ｎｍ蒸着し、その上に屈折率が１．４９のウレ
タンアクリレート系組成物からなる樹脂層２を非球面形
状（球面からの最大偏位量２μｍ，最小偏位量０μｍ）
に設け、更にその上に第２薄膜群３として３層反射防止
膜、即ち樹脂層側からＡｌ２ Ｏ３ を光学的膜厚で１
２５ｎｍ，ＺｒＯ２ を２５０ｎｍ，ＭｇＦ２ を１２
５ｎｍ順次積層した。
場合である。図８は本発明による光学素子の一実施例で
、第１薄膜群４が２層からなる場合を示す構成図である
。構成は屈折率が１．６０のガラス母材（オハラ製ＳＫ
１４）１上に、第１薄膜群として順次屈折率が１．５７
の膜（ＴｈＯＦ２ ）を光学的膜厚で１２５ｎｍ、屈折
率が１．５２の膜（ショット製８３２９）を光学的膜厚
で１２５ｎｍ蒸着し、その上に屈折率が１．４９のウレ
タンアクリレート系組成物からなる樹脂層２を非球面形
状（球面からの最大偏位量２μｍ，最小偏位量０μｍ）
に設け、更にその上に第２薄膜群３として３層反射防止
膜、即ち樹脂層側からＡｌ２ Ｏ３ を光学的膜厚で１
２５ｎｍ，ＺｒＯ２ を２５０ｎｍ，ＭｇＦ２ を１２
５ｎｍ順次積層した。
【００１９】（２） また、第１薄膜群として順次屈折
率が１．５４７の膜（ＴｈＯＦ２ ）を光学的膜厚で１
２５ｎｍ、屈折率が１．５４１の膜（ＴｈＯＦ２ ）を
光学的膜厚で１２５ｎｍ蒸着した他は上記と同様にして
光学素子を作成した図９に非球面層の光学的膜厚が最も
厚い２μｍの部所で測定した反射特性を、（１） を実
線で（２） を破線で示す。図９から明らかなように、
第１薄膜群が２層からなる場合にも反射防止効果が著し
く優れている。
率が１．５４７の膜（ＴｈＯＦ２ ）を光学的膜厚で１
２５ｎｍ、屈折率が１．５４１の膜（ＴｈＯＦ２ ）を
光学的膜厚で１２５ｎｍ蒸着した他は上記と同様にして
光学素子を作成した図９に非球面層の光学的膜厚が最も
厚い２μｍの部所で測定した反射特性を、（１） を実
線で（２） を破線で示す。図９から明らかなように、
第１薄膜群が２層からなる場合にも反射防止効果が著し
く優れている。
【００２０】［実施例６］（１） 実施例５においてガ
ラス母材を屈折率が１．７０のガラス母材（オハラ製Ｂ
ａＳＦ８）に代え、第１薄膜群をガラス母材側から屈折
率が１．６４の膜（Ａｌ２ Ｏ３ ）、屈折率が１．５
４（ＴｈＯＦ４ ）に代えた他は実施例５と同様にして
光学素子を作成し、その反射特性を測定した。
ラス母材を屈折率が１．７０のガラス母材（オハラ製Ｂ
ａＳＦ８）に代え、第１薄膜群をガラス母材側から屈折
率が１．６４の膜（Ａｌ２ Ｏ３ ）、屈折率が１．５
４（ＴｈＯＦ４ ）に代えた他は実施例５と同様にして
光学素子を作成し、その反射特性を測定した。
【００２１】（２） また、上記においてガラス母材側
から順次屈折率が１．６１９の膜（Ａｌ２ Ｏ３ ）、
屈折率が１．５６４の膜（ＴｈＯＦ２ ）を蒸着した。
から順次屈折率が１．６１９の膜（Ａｌ２ Ｏ３ ）、
屈折率が１．５６４の膜（ＴｈＯＦ２ ）を蒸着した。
【００２２】図１０に反射特性を（１） を実線で（２
） を破線で示す。
） を破線で示す。
【００２３】［実施例７］（１） 実施例５においてガ
ラス母材を屈折率が１．８０のガラス母材（オハラ製Ｌ
ａＳＦＯ３）に代え、第１薄膜群をガラス母材側から屈
折率が１．７２の膜（Ａｌ２ Ｏ３ ＋ＺｒＯ２ 混合
物）、屈折率が１．５６の膜（ＴｈＯＦ２ ）に代えた
他は実施例５と同様にして光学素子を作成し、その反射
特性を測定した。
ラス母材を屈折率が１．８０のガラス母材（オハラ製Ｌ
ａＳＦＯ３）に代え、第１薄膜群をガラス母材側から屈
折率が１．７２の膜（Ａｌ２ Ｏ３ ＋ＺｒＯ２ 混合
物）、屈折率が１．５６の膜（ＴｈＯＦ２ ）に代えた
他は実施例５と同様にして光学素子を作成し、その反射
特性を測定した。
【００２４】（２） また、上記においてガラス母材側
から順次屈折率が１．６９の膜（Ａｌ２Ｏ３ ＋ＺｒＯ
２ 混合物）、屈折率が１．５８７の膜（ＬａＦ３ ）
を蒸着した。
から順次屈折率が１．６９の膜（Ａｌ２Ｏ３ ＋ＺｒＯ
２ 混合物）、屈折率が１．５８７の膜（ＬａＦ３ ）
を蒸着した。
【００２５】図１１に反射特性を（１） を実線で（２
） を破線で示す。
） を破線で示す。
【００２６】［実施例８］樹脂層の最大偏位量が大きく
、第１薄膜群が単層の場合である。構成は屈折率が１．
６０のガラス母材（オハラ製ＳＫ１４）１上に、第１薄
膜群として屈折率が１．５４の単層膜（ＴｈＦ４ ）４
を光学的膜厚で１２５ｎｍ蒸着し、その上に屈折率が１
．４９のウレタンアクリレート系組成物からなる樹脂層
２を非球面形状（球面からの最大偏位量１００μｍ，最
小偏位量５０μｍ）に設け、更にその上に第２薄膜群３
として３層反射防止膜、即ち樹脂層側からＡｌ２ Ｏ３
を光学的膜厚で１２５ｎｍ，ＺｒＯ２ を２５０ｎｍ
，ＭｇＦ２ を１２５ｎｍ順次積層したものである。
、第１薄膜群が単層の場合である。構成は屈折率が１．
６０のガラス母材（オハラ製ＳＫ１４）１上に、第１薄
膜群として屈折率が１．５４の単層膜（ＴｈＦ４ ）４
を光学的膜厚で１２５ｎｍ蒸着し、その上に屈折率が１
．４９のウレタンアクリレート系組成物からなる樹脂層
２を非球面形状（球面からの最大偏位量１００μｍ，最
小偏位量５０μｍ）に設け、更にその上に第２薄膜群３
として３層反射防止膜、即ち樹脂層側からＡｌ２ Ｏ３
を光学的膜厚で１２５ｎｍ，ＺｒＯ２ を２５０ｎｍ
，ＭｇＦ２ を１２５ｎｍ順次積層したものである。
【００２７】図１２に非球面層の光学的膜厚が最も厚い
１００μｍの部所で測定した反射特性を示す。図１２か
ら明らかなように、最大偏位量が大きく第１薄膜群が単
層からなる場合にも反射防止効果が著しく優れている。
１００μｍの部所で測定した反射特性を示す。図１２か
ら明らかなように、最大偏位量が大きく第１薄膜群が単
層からなる場合にも反射防止効果が著しく優れている。
【００２８】［実施例９］実施例８においてガラス母材
を屈折率が１．７０のガラス母材（オハラ製ＢａＳＦ８
）に代え、第１薄膜群を屈折率が１．５９の単層膜（Ｌ
ａＦ３ ）に代えた他は実施例８と同様にして光学素子
を作成し、その反射特性を測定した。図１３に特性図を
示す。
を屈折率が１．７０のガラス母材（オハラ製ＢａＳＦ８
）に代え、第１薄膜群を屈折率が１．５９の単層膜（Ｌ
ａＦ３ ）に代えた他は実施例８と同様にして光学素子
を作成し、その反射特性を測定した。図１３に特性図を
示す。
【００２９】［実施例１０］実施例８においてガラス母
材を屈折率が１．８０のガラス母材（オハラ製ＬａＳＦ
Ｏ３）に代え、第１薄膜群を屈折率が１．６４の単層膜
（Ａｌ２ Ｏ３ ）に代えた他は実施例８と同様にして
光学素子を作成し、その反射特性を測定した。図１４に
特性図を示す。
材を屈折率が１．８０のガラス母材（オハラ製ＬａＳＦ
Ｏ３）に代え、第１薄膜群を屈折率が１．６４の単層膜
（Ａｌ２ Ｏ３ ）に代えた他は実施例８と同様にして
光学素子を作成し、その反射特性を測定した。図１４に
特性図を示す。
【００３０】［実施例１１］樹脂層の最大偏位量が大き
く第１薄膜群が２層の場合である。構成は屈折率が１．
６０のガラス母材（オハラ製ＳＫ１４）１上に、第１薄
膜群として順次屈折率が１．５７の膜（ＴｈＯＦ２ ）
を光学的膜厚で１２５ｎｍ、屈折率が１．５２の膜（シ
ョット製８３２９）を光学的膜厚で１２５ｎｍ蒸着し、
その上に屈折率が１．４９のウレタンアクリレート系組
成物からなる樹脂層２を非球面形状（球面からの最大偏
位量１００μｍ，最小偏位量５０μｍ）に設け、更にそ
の上に第２薄膜群３として３層反射防止膜、即ち樹脂層
側からＡｌ２ Ｏ３ を光学的膜厚で１２５ｎｍ，Ｚｒ
Ｏ２ を２５０ｎｍ，ＭｇＦ２ を１２５ｎｍ順次積層
した。
く第１薄膜群が２層の場合である。構成は屈折率が１．
６０のガラス母材（オハラ製ＳＫ１４）１上に、第１薄
膜群として順次屈折率が１．５７の膜（ＴｈＯＦ２ ）
を光学的膜厚で１２５ｎｍ、屈折率が１．５２の膜（シ
ョット製８３２９）を光学的膜厚で１２５ｎｍ蒸着し、
その上に屈折率が１．４９のウレタンアクリレート系組
成物からなる樹脂層２を非球面形状（球面からの最大偏
位量１００μｍ，最小偏位量５０μｍ）に設け、更にそ
の上に第２薄膜群３として３層反射防止膜、即ち樹脂層
側からＡｌ２ Ｏ３ を光学的膜厚で１２５ｎｍ，Ｚｒ
Ｏ２ を２５０ｎｍ，ＭｇＦ２ を１２５ｎｍ順次積層
した。
【００３１】図１５に非球面層の光学的膜厚が最も厚い
１００μｍの部所で測定した反射特性を示す。図１５か
ら明らかなように、最大偏位量が大きく第１薄膜群が２
層からなる場合にも反射防止効果が著しく優れている。
１００μｍの部所で測定した反射特性を示す。図１５か
ら明らかなように、最大偏位量が大きく第１薄膜群が２
層からなる場合にも反射防止効果が著しく優れている。
【００３２】［実施例１２］実施例１１においてガラス
母材を屈折率が１．７０のガラス母材（オハラ製ＢａＳ
Ｆ８）に代え、第１薄膜群をガラス母材側から屈折率が
１．６４の膜（Ａｌ２ Ｏ３ ）、屈折率が１．５４（
ＴｈＯＦ４ ）に代えた他は実施例１１と同様にして光
学素子を作成し、その反射特性を測定した。図１６に特
性図を示す。 ［実施例１３］実施例１１においてガラス母材を屈折率
が１．８０のガラス母材（オハラ製ＬａＳＦＯ３）に代
え、第１薄膜群をガラス母材側から屈折率が１．７２の
膜（Ａｌ２ Ｏ３ ＋ＺｒＯ２ 混合物）、屈折率が１
．５６の膜（ＴｈＯＦ２ ）に代えた他は実施例１１と
同様にして光学素子を作成し、その反射特性を測定した
。図１７に特性図を示す。
母材を屈折率が１．７０のガラス母材（オハラ製ＢａＳ
Ｆ８）に代え、第１薄膜群をガラス母材側から屈折率が
１．６４の膜（Ａｌ２ Ｏ３ ）、屈折率が１．５４（
ＴｈＯＦ４ ）に代えた他は実施例１１と同様にして光
学素子を作成し、その反射特性を測定した。図１６に特
性図を示す。 ［実施例１３］実施例１１においてガラス母材を屈折率
が１．８０のガラス母材（オハラ製ＬａＳＦＯ３）に代
え、第１薄膜群をガラス母材側から屈折率が１．７２の
膜（Ａｌ２ Ｏ３ ＋ＺｒＯ２ 混合物）、屈折率が１
．５６の膜（ＴｈＯＦ２ ）に代えた他は実施例１１と
同様にして光学素子を作成し、その反射特性を測定した
。図１７に特性図を示す。
【００３３】
【発明の効果】以上、本発明による光学素子は、ガラス
母材上と紫外線硬化型樹脂層との間に等厚薄膜よりなる
薄膜層を設けることにより、屈折率の異なるガラス母材
と紫外線硬化樹脂層との間で生じる有害な反射を効果的
に除去して、透過率の優れた光学素子が得ることができ
る。
母材上と紫外線硬化型樹脂層との間に等厚薄膜よりなる
薄膜層を設けることにより、屈折率の異なるガラス母材
と紫外線硬化樹脂層との間で生じる有害な反射を効果的
に除去して、透過率の優れた光学素子が得ることができ
る。
【図１】従来の光学素子の模式断面図である。
【図２】従来の光学素子の反射特性図である。
【図３】本発明の光学素子の模式断面図である。
【図４】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図５】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図６】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図７】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図８】本発明の光学素子の模式断面図である。
【図９】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図１０】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図１１】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図１２】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図１３】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図１４】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図１５】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図１６】本発明の光学素子の反射特性図である。
【図１７】本発明の光学素子の反射特性図である。
１ ガラス母材
２ 樹脂層
３ 第２薄膜群
４ 第１膜群
Claims (4)
- 【請求項１】 ガラス母材上に、１層以上の等厚薄膜
よりなる第１薄膜群、該第１薄膜群上に設けられた紫外
線硬化型樹脂よりなる樹脂層、該樹脂層上に設けられた
１層以上の薄膜よりなる第２薄膜群より構成される光学
素子。 - 【請求項２】 上記第１薄膜群は単層よりなり、該単
層の屈折率ｎは、上記ガラス母材の屈折率をｎｇ 、上
記樹脂層の屈折率をｎａ とすると平方根（ｎｇ ｎａ
）にほぼ等しく、その膜厚は基準波長λ０ の１／４
にほぼ等しい請求項１記載の光学素子。 - 【請求項３】 上記第１薄膜群は２層よりなり、該２
層の上記ガラス母材側の薄膜層の屈折率をｎ１ 、樹脂
層側の屈折率をｎ２ 、上記ガラス母材の屈折率ｎｇ
、上記樹脂層の屈折率をｎａ とするとｎｇ ＜ｎ１
，ｎ２ ＜ｎａ 又はｎｇ ＞ｎ１，ｎ２ ＞ｎａ を
満足する請求項１記載の光学素子。 - 【請求項４】 上記２層の薄膜層は膜厚がほぼ等しく
、その膜厚は基準波長λ０ のほぼ１／４である請求項
１記載の光学素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3027793A JPH04254802A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | 光学素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3027793A JPH04254802A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | 光学素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04254802A true JPH04254802A (ja) | 1992-09-10 |
Family
ID=12230855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3027793A Pending JPH04254802A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | 光学素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04254802A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006220739A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Casio Comput Co Ltd | セラミックスハイブリッドレンズ |
-
1991
- 1991-01-30 JP JP3027793A patent/JPH04254802A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006220739A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Casio Comput Co Ltd | セラミックスハイブリッドレンズ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5071225A (en) | Beam splitter for producing a plurality of splitted light beams for each of wavelength components of an incident light beam | |
| JP4958594B2 (ja) | 反射防止膜、光学素子および光学系 | |
| US9817155B2 (en) | Optical lens with scratch-resistant anti-reflective layer | |
| EP2708922B1 (en) | Anti-reflection coating, optical member having it, and optical equipment comprising such optical member | |
| JP6051710B2 (ja) | 反射防止膜、それを用いた光学部材、及び光学機器 | |
| US7773301B2 (en) | Antireflection film | |
| US3829197A (en) | Antireflective multilayer coating on a highly refractive substrate | |
| US3799653A (en) | Multi-layer anti-reflection coating | |
| JP2620712B2 (ja) | ２波長反射防止多層膜 | |
| JPH05215915A (ja) | 多層反射増加膜 | |
| JP2005165249A (ja) | 反射防止膜及びこれを備える光学レンズ並びに光学レンズユニット | |
| JP2007333806A (ja) | 反射防止膜および光学部材 | |
| US6280848B1 (en) | Antireflection coating | |
| JPS5498257A (en) | Aspherical antireflection film | |
| JPH04254802A (ja) | 光学素子 | |
| JP2001100002A (ja) | 反射防止膜及びそれを用いた光学部材 | |
| JPH052101A (ja) | 光学部品 | |
| JP2000347002A (ja) | 反射防止膜 | |
| JP2002267801A (ja) | 反射防止膜及びそれを用いた光学部材 | |
| JPS61159602A (ja) | 多層反射防止膜 | |
| JP2001013305A (ja) | 反射防止膜及び光学装置 | |
| JPS62127701A (ja) | 反射防止膜 | |
| JP3113371B2 (ja) | 多層反射防止膜 | |
| JP2624827B2 (ja) | ハーフミラー | |
| JP2017219653A (ja) | 反射防止膜およびそれを有する光学素子、光学系、光学機器 |