CN101267894A - 涂布装置、分散液移动方法 - Google Patents

涂布装置、分散液移动方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101267894A
CN101267894A CNA2006800343700A CN200680034370A CN101267894A CN 101267894 A CN101267894 A CN 101267894A CN A2006800343700 A CNA2006800343700 A CN A2006800343700A CN 200680034370 A CN200680034370 A CN 200680034370A CN 101267894 A CN101267894 A CN 101267894A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
dispersion liquid
tank
circulating tank
coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2006800343700A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101267894B (zh
Inventor
滑川巧
马场惠
井上祐也
村田真朗
羽根功二
R·D·塔夫
R·R·麦卡
R·D·福克斯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Publication of CN101267894A publication Critical patent/CN101267894A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101267894B publication Critical patent/CN101267894B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/18—Ink recirculation systems
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13394—Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/2931—Diverse fluid containing pressure systems
    • Y10T137/3115—Gas pressure storage over or displacement of liquid
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/2931—Diverse fluid containing pressure systems
    • Y10T137/3115—Gas pressure storage over or displacement of liquid
    • Y10T137/3127—With gas maintenance or application
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/85954—Closed circulating system

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

本发明提供气泡发生较少的涂布装置。使供给侧的循环罐(31L)的内部空间压力为比大气压低但比缓冲罐(41a－41c)内部空间压力高的压力，供给分散液，使作为回收目的地的循环罐(31R)的内部压力比大气压低，回收喷出室(42a－42c)内部的分散液。分散液不与比大气压高的高压气体接触，因此气体的溶解少，不使用泵，因此没有气体卷入或固体微粒的变形。

Description

涂布装置、分散液移动方法
技术领域
本发明涉及喷墨方式的间隔物涂布装置，特别涉及循环式间隔物涂布装置。
背景技术
近年来，为了涂布液晶显示装置的间隔物，采用了应用喷墨打印机的喷墨方式的间隔物涂布装置。
图9(a)的符号111是间隔物涂布装置的一个例子，在底座105的上方位置配置有安装在保持框120上的喷头121，在底座105上配置液晶用的基板107，将喷头121与基板107沿着扫描方向109相对移动，同时由喷头121喷出分散有间隔物的分散液，则分散液弹落到在基板107表面的所要求的位置，间隔物以配置的方式构成。
图8是用于说明以往技术的间隔物涂布装置111的分散液供给系统的框图。
该间隔物涂布装置111中，喷头121由多个喷头组件121a-121c构成，各喷头组件121a-121c与位于底座105一侧的供给罐136连接。
供给罐136以与各喷头组件121a-121c喷出孔的位置相同的高度储存分散液138，打开供给罐136与各喷头组件121a-121c之间的阀，在供给罐136与各喷头组件121a-121c连接的状态下通过加压装置130将气体供给供给罐136的内部，则供给罐136内的压力升高，供给罐136内的分散液138被供给各喷头组件121a-121c。
各喷头组件121a-121c以与回收罐137连接，由供给罐136供给的分散液流入喷头组件121a-121c内，然后再返回至回收罐137中的方式构成。
回收罐137与供给罐136互相连接，回收到回收罐137的分散液139可以返回至供给罐136。
专利文献1：日本特开2004-50059号公报
专利文献2：日本特开2002-72218号公报
专利文献3：日本特开平11-7028号公报
发明内容
以往技术的涂布装置111中，如上所述，分散液通过加压供给各喷头组件121a-121c，因此气体容易溶解入分散液138中，其在喷头组件121a-121c内形成气泡并析出，可能发生喷出错误。
在分散液的供应中使用泵，则发生气体的卷入，除此之外还有间隔物变形、损坏的问题。
为解决上述课题，本发明是使喷头组件与基板相对移动、使分散有固体微粒的分散液弹落在基板的所要求的位置上的涂布装置，该涂布装置具有：配置在上述喷头组件外部的第一、第二循环罐；设于上述喷头组件的缓冲罐；流入口与上述缓冲罐相连接的喷出室；设于上述第一、第二循环罐与上述缓冲罐之间的主配管；设于上述喷出室的流出口与上述第一、第二循环罐之间的返回配管；设于上述主配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述缓冲罐连接的供给阀；设于上述返回配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述喷头组件连接的返回阀，以上述第一、第二循环罐和上述缓冲罐密闭，可以调控配置于上述各罐内部的上述分散液的上部空间压力的方式构成。
本发明涉及涂布装置，该涂布装置以具有与上述第一、第二循环罐连接的给排气装置，可对上述第一、第二循环罐内上述分散液液面上方的空间供给加压气体以及进行真空排气的方式构成。
本发明又涉及涂布装置，其中，以真空泵和气体供给系统与上述缓冲罐连接，可以控制上述缓冲罐内上述分散液的液面上方空间压力的方式构成。
本发明还涉及涂布装置，其中，以由上述气体供给系统供给He的方式构成。
本发明又涉及涂布装置，其中，以在上述第一、第二循环罐之间设置移动用配管，上述分散液不经上述喷出室，可以在上述第一、第二循环罐之间移动的方式构成。
本发明还涉及具有聚集物分离用滤器的涂布装置，其中所述聚集物分离用滤器设置在上述移动用配管中，使上述固体微粒的单体通过，捕获上述固体微粒的聚集物。
本发明又涉及具有固体微粒除去用滤器的涂布装置，其中所述固体微粒除去用滤器设于上述移动用配管中，捕获上述固体微粒的单体。
本发明又涉及涂布装置，其中，分散液由循环罐供给喷出室的配管的至少一部分由不具有透液性而具有透气性、上述分散液流过的内管，和不具有透气性、上述内管插入连通的外管的双重配管构成，上述内管与上述外管之间可以进行真空排气。
本发明又涉及分散液移动方法，其是使上述任何涂布装置内部的循环液体移动的分散液移动方法，该方法是在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为供给源，在使上述供给阀为打开状态、与上述缓冲罐连接时，使上述作为供给源的循环罐内的压力为大气压或以下，同时使上述分散液从上述作为供给源的循环罐向上述缓冲罐内移动。
本发明又涉及分散液移动方法，其是使上述任何涂布装置内部的循环液移动的分散液移动方法，该方法是在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为回收目的地，在将上述返回阀打开的状态下、在与上述喷出室连接时使上述回收目的地的循环罐内的压力比大气压低，使上述喷出室内的上述分散液移动至上述回收目的地的循环罐中。
本发明又涉及分散液移动方法，其是使上述任何涂布装置内部的循环液移动的分散液移动方法，该方法是在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为供给源，使上述供给阀为打开的状态，与上述缓冲罐连接，以另一方作为回收目的地，使上述返回阀为打开状态，与上述喷出室连接，使上述供给源的循环罐内的上述分散液经过上述缓冲罐和上述喷出室移动至上述回收目的地的循环罐中。
本发明是如上述那样构成的，
在缓冲罐内的分散液上方空间(缓冲罐内空间)的压力比循环罐内分散液上方空间(循环罐内空间)的压力低的状态下，在循环罐与缓冲罐连接时，分散液由循环罐向缓冲罐供给。
在循环罐吸引喷出室内的分散液的力比缓冲罐吸引喷出室内的分散液的力大的状态下，在将循环罐与喷出室连接时，喷出室内的分散液被吸引到循环罐中。
分散液不与比大气压高的压力的气体接触，因此溶解于分散液中的气体少，气泡发生少。
在分散液的移动中不使用泵，因此不会由于泵而向分散液内卷入气体，可防止气泡发生。
不使用泵则不会有分散于分散液中的微粒的变形或破损。
可以使分散液循环，因此不会产生沉淀。
附图简述
图1是表示本发明的一个例子的涂布装置的循环系统图。
图2是用于说明分散液由第一循环罐流至第二循环罐的途径的图。
图3是用于说明分散液由第二循环罐流至第一循环罐的途径的图。
图4是用于说明流经聚集物分离用滤器的分散液的图。
图5是用于说明流经固体微粒除去用滤器的分散液的图。
图6是用于说明将分散液由喷出室直接返回缓冲罐的涂布装置的图。
图7是用于说明利用双重配管的脱气装置的图。
图8是用于说明以往技术的涂布装置的分散液循环途径的图。
图9(a)：以往技术的涂布装置的外观(b)：本发明的涂布装置的外观的一个例子
符号说明
7……基板
11……涂布装置
21……喷头
24……给排气装置
50……料筒
21a-21c……喷头组件
31L，31R……循环罐
37……主配管
38……返回配管
39……移动用配管
41a-41c……缓冲罐
42a-42c……喷出室
46……超声波施加装置
47……聚集物分离用滤器
49……固体微粒除去用滤器
57……气体供给系统
58……真空泵
vsL，vsR……供给泵
vrL，vrR……返回阀
具体实施方式
图9(b)的符号11是本发明的涂布装置的一个例子，在底座5上配置基板7。
底座5的上方配置保持框20。保持框20上安装有喷头21。
如图1所示，喷头21由多个喷头组件21a、21b、21c构成。各喷头组件21a-21c内分别设置缓冲罐41a-41c、喷出室42a-42c。
涂布装置11具有向喷头组件21a-21c供给分散液的循环系统。图1的符号10表示该循环系统，循环系统10中设置有第一、第二循环罐31L、31R。
第一、第二循环罐31L、31R配置于底座5的侧方或下方等对基板7的搬运没有障碍的位置，相对于底座5静止。
缓冲罐41a-41c设于喷出室42a-42c上方，缓冲罐41a-41c内储存有分散了固体微粒的分散液48a-48c。缓冲罐41a-41c内的分散液48a-48c在缓冲罐41a-41c的内部配置成在分散液48a-48c的液面上方形成空间的程度。
各缓冲罐41a-41c的顶面或壁面的上部位置分别连接真空泵58。真空泵与各缓冲罐41a-41c连接的位置是各缓冲罐41a-41c内部分散液液面上方，通过对各缓冲罐41a-41c内的分散液48a-48c液面上方的空间进行真空排气，可使该空间的压力降低，以此方式构成。
各缓冲罐41a-41c的顶面或壁面上部位置分别连接气体供给系统57。气体供给系统与各缓冲罐41a-41c的连接位置是各缓冲罐41a-41c内部的分散液液面上方，向各缓冲罐41a-41c内的分散液48a-48c液面上方的空间供给对分散液溶解度小的升压气体，使该空间的压力升高，以此方式构成。
缓冲罐41a-41c的底面或壁面下部等分散液的液面下方的位置设置供给口，喷出室42a-42c的壁面或顶面设置流入口。
缓冲罐41a-41c的供给口分别与喷出室42a-42c的流入口连接，可以使缓冲罐41a-41c内的分散液向喷出室42a-42c移动。
喷出室42a-42c的底面配置在与配置于底座5上的基板相对的位置。在喷出室42a-42c的底面形成很多喷孔，喷出室42a-42c内的分散液通过喷孔与大气接触。
使缓冲罐41a-41c内的空间的压力PB为负压(PB＜(大气压))、在负压的吸引力与缓冲罐41a-41c内分散液48a-48c的重量平衡的状态下，喷出室42a-42c内的分散液不会由喷孔滴落，因此缓冲罐41a-41c内的分散液48a-48c也不会移动至喷出室42a-42c。
在各喷出室42a-42c内与喷孔对应地形成小室，各小室配置有压电元件。
向压电元件施加电压，则压电效果导致压电元件伸缩，由此各小室内的分散液被加压，分散液由该各小室的喷孔向基板7表面喷出。
喷出室42a-42c内的分散液喷出，则从缓冲罐41a-41c仅吸入分散液48a-48c被喷出的量，予以补充。
缓冲罐41a-41c内的分散液液面降低，则升压气体由气体供给系统57向缓冲罐41a-41c内导入，或者由后述第一或第二循环罐31L、31R补充分散液，缓冲罐41a-41c内的空间压力保持一定。
分散液由循环罐31L、31R向缓冲罐41a-41c的移动是根据第一或第二循环罐31L、31R内的分散液23L、23R的重量、第一或第二循环罐31L、31R的压力、和缓冲罐41a-41c内的压力差的力来进行的。
基板7与保持框20的构成是其中的任意一方或两方沿着扫描方向9移动。可以是基板7静止、保持框20沿着扫描方向9移动，也可以是保持框20静止，基板7沿着扫描方向9移动。还可以是基板20与保持框20同向或者不同向沿着扫描方向9移动。总之，喷头21与保持框20一起移动。
结果，基板7可与喷头21，即，基板7可与缓冲罐41a-41c和喷出室42a-42c相对移动。
使基板7与喷头21相对移动、在喷头21位于基板7上所要求的位置时，对压电元件施加电压，则分散液由喷出口喷出，可以使喷出的分散液弹落于基板7表面的所要求的位置。
分散液中分散有间隔物或颜料颗粒等固体微粒，如果弹落的分散液中的分散溶剂蒸发，则固体微粒牢固定于基板7上。
还可以与循环系统10分开设置分散液供给系统28，第一、第二循环罐31L、31R分别与该分散液供给系统28连接。
连接第一、第二循环罐31L、31R和分散液供给系统28的配管中途设有阀v1、v2，该阀v1、v2打开，则分散有固体微粒的分散液由分散液供给系统28供给第一、第二循环罐31L、31R。
图1及后述的各图中，阀的打开状态以白色表示，关闭状态以黑色表示，在图1中，与第一循环罐31L相连接的阀v1为白色，为打开状态，与第二循环罐31R连接的阀v2为黑色，为关闭状态。
给排气装置24经由切换装置22L、22R与第一、第二循环罐31L、31R连接。给排气装置24上设置气体供给系统44和真空泵(或真空排气系统)45，通过操作切换装置22L、22R内的阀的开闭，将第一、第二循环罐31L、31R与气体供给系统44和真空泵45均分别连接，以此方式构成。也可以将一方与气体供给系统44连接，将另一方与真空泵45连接。
第一、第二循环罐31L、31R与给排气装置24连接的位置是顶面或壁面的上部，在第一、第二循环罐31L、31R内的分散液23L、23R的液面上方。
第一、第二循环罐31L、31R密闭，通过切换装置22L、22R与气体供给系统44连接，升压气体由气体供给系统44供给，则第一、第二循环罐31L、31R的内部空间压力升高。
第一、第二循环罐31L、31R通过切换装置22L、22R与真空泵45连接，分散液23L、23R的液面上部的空间的气体通过真空泵45排出，则液面上部空间压力降低。
在第一、第二循环罐31L、31R的底面或靠近底面的位置、分散液23L、23R液面下方的位置设置有供给口。
在各缓冲罐41a-41c上分别设置流入口，各缓冲罐41a-41c的流入口与第一、第二循环罐31L、31R的供给口之间通过主配管37连接。图中，供给口是主配管的前端。
主配管37的管路上靠近第一、第二循环罐31L、31R供给口附近的位置分别设有第一、第二供给阀vsL、vsR，在比第一、第二供给阀vsL、vsR更靠近各缓冲罐41a-41c的流入口附近的位置分别设有流入阀via-vic，使第一、第二供给阀vsL、vsR中的任意一方为打开状态、另一方为关闭状态，同时使要供给的喷头组件21a-21c的流入阀via-vic为打开状态，则与打开状态的第一、第二供给阀vsL、vsR连接的第一、第二循环罐31L、31R成为供给源，与打开状态的流入阀via-vic连接的缓冲罐41a-41c成为供给目的地，供给源与供给目的地之间连接，以此方式构成。
循环罐31L、31R的内部空间压力PS可通过升压气体的供给进行控制，如果预先使作为供给源的第一或第二循环罐31L、31R的内部空间压力PS为比缓冲罐41a-41c的内部空间压力PB高(PB＜PS)，则供给源第一、第二循环罐31L、31R的内部分散液23L、23R经过主配管37流入到接收地缓冲罐41a-41c。
缓冲罐41a-41c内的分散液48a-48c储液至规定量，则形成可由缓冲罐41a-41c向喷出室42a-42c供给分散液的状态。
这里，即使向第一、第二循环罐31L、31R供给升压气体，其内部压力PS也不会比大气压大(PS≤(大气压))，升压气体不会溶解于分散液中。
在喷出室42a-42c内被分散液充满的状态下，可以向基板7的表面喷出喷出液。
下面，对喷出室42a-42c下游一侧进行说明。
流出口分别设于喷出室42a-42c上，第一、第二循环罐31L、31R分别设有流入口。喷出室42的流出口与第一、第二循环罐31L、31R的流入口之间设有返回配管38。图中，流入口是返回配管38的前端。
返回配管38在靠近喷出室42a-42c的流出口的位置分别设有流出阀voa-voc，在比流出阀voa-voc更靠近第一、第二循环罐31L、31R的流入口的位置分别设有第一、第二返回阀vrL、vrR。
返回阀vrL、vrR是第一、第二循环罐中使其至少一方与喷头组件连接的阀，第一、第二供给阀vsL、vsR中，任意一方为打开状态、另一方为关闭状态时，与关闭状态的供给阀vsL或vsR连接的第一或第二循环罐31L、31R成为回收目的地，使该回收目的地第一或第二循环罐31L、31R的返回阀vrL、vrR为打开状态、使所希望的流出阀voa-voc为打开状态，则与打开状态的流出阀voa-voc连接的喷出室42a、42b或42c成为返回源，作为返回源的喷出室42a、42b或42c与作为回收目的地的第一或第二循环罐31L、31R连接。全部的流出阀voa-voc为打开状态，则各喷出室42a-42c均成为返回源。
此时，如果是各喷出室42a-42c内的分散液在喷孔内与大气接触的状态，如果使回收目的地的第一或第二循环罐31L、31R的内部压力PR比大气压低(PR＜(大气压))，则作为返回源的喷出室42a-42c内的分散液可以移动至作为回收目的地的第一或第二循环罐31L、31R中。
如果使作为回收目的地的第一或第二循环罐31L、31R的压力比缓冲罐41a-41c内的压力低、使喷出室42a-42c的流出口的压力比流入口的压力低，则可以在喷出室42a-42c内使分散液从流入口流向流出口，分散液可以移动至作为回收目的地的循环罐31L、31R中。
这里，流出阀voa-voc是三通阀，流出阀voa-voc可以将喷出室42a-42c与第一或第二循环罐31L、31R连接，除此之外也可以使喷出室42a-42c与排放口连接。
本发明的涂布装置11中，在上述缓冲罐41a-41c中设置检测内部的分散液48a-48c液面高度的高度传感器、和测定分散液48a-48c液面上方空间压力的压力传感器，检测缓冲罐41a-41c内部的液面变化或液面上方空间的压力变化，由第一或第二循环罐31L、31R向内部补充分散液，使液面高度恒定；或者由气体供给系统57导入升压气体或通过真空泵58对缓冲罐41a-41c内的气体进行真空排气，使压力恒定，由此可防止缓冲罐41a-41c内的分散液48a-48c从喷出室42a-42c的喷孔滴落。
喷出室42a-42c内的分散液的一部分或全部移动至作为回收目的地的第一或第二循环罐31L、31R中时，缓冲罐41a-41c内的分散液移动至喷出室42a-42c。这种情况下，缓冲罐41a-41c内的分散液48a-48c的液面降低，缓冲罐41a-41c的内部空间压力降低。
这种情况下，可以使作为供给源的第一或第二循环罐31L、31R内的分散液移动至缓冲罐41a-41c内，因此，可以使分散液由供给源第一或第二循环罐31L、31R内经过缓冲罐41a-41c、喷出室42a-42c移动至作为回收目的地的第一或第二循环罐31L、31R中。这期间，可以使缓冲罐41a-41c内部的空间压力保持恒定值。
图2表示在第一循环罐31L作为供给源、第二循环罐31R作为回收目的地时(第一供给阀vsL与第二返回阀vrR为打开状态，第二供给阀vsR和第一返回阀vrL为关闭状态)分散液流动的状态。分散液由第一循环罐31L向第二循环罐32R移动。
图2和后述的图3-图5是用于说明分散液的流动情况的附图，分散液流经的配管用实线表示，其它配管用虚线表示。
图3与图2相反，是第一供给阀vsL和第二返回阀vrR为关闭状态、第二供给阀vsR和第一返回阀vrL为打开状态，第二循环罐31R为供给源、第一循环罐31L为回收目的地时，分散液流动的情况。
下面，对于使分散液在第一、第二循环罐31L、31R之间直接移动的路径进行说明。
第一、第二循环罐31L、31R中，在比第一、第二循环罐31L、31R内的分散液23L、23R液的液面低的位置设置第一、第二移动口，第一、第二移动口通过与主配管37或返回配管38不同的移动用配管39连接，通过移动用配管39与第一、第二循环罐31L、31R的内部连接。这里，第一、第二移动口由移动用配管39的前端构成。
将设于主配管37或返回配管38的各阀关闭，阻断第一、第二循环罐31L、31R与缓冲罐41a-41c之间的通过主配管37的连接，或者阻断第一、第二循环罐31L、31R与喷出室42a-42c之间的通过返回配管38的连接。
移动用配管39上设置有开关阀26，使该开关阀26为关闭状态，通过给排气装置24在第一循环罐31L的内部和第二循环罐31R的内部之间设置压力差，以高压力一侧的第一或第二循环罐31L、31R作为移动源，以低压一侧的第一或第二循环罐31L、31R作为移动目的地，打开开关阀26，则分散液由作为移动源的第一或第二循环罐31L、31R向作为移动目的地的第一或第二循环罐31L、31R流动。
移动用配管39的中途配置有滤器装置25。滤器装置25具有聚集物分离用滤器47和固体微粒除去用滤器49。聚集物分离用滤器47和固体微粒除去用滤器49并列配置于第一、第二循环罐31L、31R之间，分散液经由其中一方的滤器(47或49)、或两方滤器(47、49)，在第一、第二循环罐31L、31R之间移动，以此构成。
分散于分散液中的固体微粒在流过配管期间或储存在循环罐31L、31R等罐中期间发生聚集，形成粒径大的聚集物，聚集物分离用滤器47的过滤网眼成型为比固体微粒的大小要大，但是比固体微粒的聚集物要小，在分散液通过聚集物分离用滤器47时，聚集物被聚集物分离用滤器47捕获并除去。
聚集物分离用滤器47与超声波施加装置46连接，对聚集物分离用滤器47施加超声波，以此构成。
聚集物分离用滤器47上施加超声波，则被聚集物分离用滤器47捕获的聚集物可以解离，形成固体微粒单体，可以通过聚集物分离用滤器47，聚集物被分解，因此，分散液在流过移动用配管39内期间再生。
图4表示分散液在移动用配管39内由第二循环罐31R向第一循环罐31L经由聚集物分离用滤器47流动的状态。可以使被作为回收目的地的第一或第二循环罐31L、31R回收的分散液再生，同时返回至作为供给源的第一或第二循环罐31L、31R。
通过操作设于移动用配管39中的开关阀26，流过移动用配管39内的分散液无需通过聚集物分离用滤器47，可以通过与聚集物分离用滤器47并列设置的固体微粒除去用滤器49。
图5表示分散液在移动用配管39内由第二循环罐31R向第一循环罐31L并流经固体微粒除去用滤器49的状态。
固体微粒除去用滤器49的网眼比分散液中含有的微粒的大小要小，因此固体微粒无法通过固体微粒除去用滤器49。因此，分散液在流过固体微粒除去用滤器49时，固体微粒被全部捕获到固体微粒除去用滤器49中。
涂布装置11必须与多种分散液、例如分散有不同材料微粒的分散液或分散有不同粒径微粒的分散液对应。
使用固体微粒除去用滤器49、更换分散液的顺序如下说明，更换在涂布装置11内循环并由喷头21喷出的分散液时，必须首先是将配管37-39中的分散液或各罐31L、31R、41a-41c中的分散液由排放口等除去，清洗配管37-39或罐31L、31R、41a-41c，然后由分散液供给系统28向第一、第二循环罐31L、31R供给新种类的分散液。
该涂布装置11中，溶剂供给系统29与第一、第二循环罐31L、31R的任何一方或两方连接。该例子中，与第一循环罐31L连接，在将各罐31L、31R、41a-41c或喷头组件21a-21c或各配管37-39内的分散液由排放口排出、然后将另外的分散液配置在第一、第二循环罐31L、31R之前，打开溶剂供给系统29与第一循环罐31L之间的阀，由溶剂供给系统29向第一循环罐31L供给清洗液，代替分散液，使清洗液经由缓冲罐41a-41c和喷头组件21a-21c移动至第二循环罐31R，在将清洗液由第二循环罐31R经由移动用配管39返回至第一循环罐31L。
如上所述，向第一或第二循环罐31L、31R的其中一方或两方供给清洗液(溶剂)，与分散液同样地进行循环，则各罐31L、31R、41a-41c或各配管37-39内被清洗，可以除去微粒。
清洗液由排放口排出后，如果将新的分散液配置在第一、第二循环罐31L、31R中，则更换前的分散液的固体微粒不会混入到更换后的分散液中。
在将分散液由排放口排出并更换清洗液之前，通过固体微粒除去用滤器49除去更换对象分散液的微粒，使分散溶剂循环，则首先可以通过分散液的分散溶剂清洗配管内。接着，将该分散溶剂排出后通过清洗液进行清洗，则可以节约清洗液。
在该例子中，在配管中途与配置有滤器装置25的移动用配管39并列地设置使滤器装置25迂回并连接第一、第二循环罐31L、31R的迂回用配管40。
迂回用配管40设有开关阀27，在该开关阀27关闭的状态下，分散液不会流入迂回用配管40中，在移动用配管39的开关阀26关闭的状态下，如果打开迂回用配管40的开关阀，则由于第一、第二循环罐31L、31R内的空间压力差，分散液在迂回用配管40内流动。与迂回用配管40连接的第一、第二循环罐31L、31R的迂回口也位于第一、第二循环罐31L、31R的液面下方。
底座5的一侧位置设置有清洗装置6，将喷头21由基板7上移动至清洗装置6中，在使喷出口闭塞的状态下可通过清洗装置6使清洗液或分散溶剂循环。
气体供给系统57经由阀与缓冲罐41a-41c连接，将喷头21由基板7上移动至清洗装置6中，在使喷出口不闭塞的状态下关闭返回配管38的流出阀voa-voc，打开气体供给系统57与缓冲罐41a-41c之间的阀，向缓冲罐41a-41c内导入清洗气体，使缓冲罐41a-41c内的压力与大气压相同或高于大气压，则可以使缓冲罐41a-41c内的分散液或清洗液由各喷头组件21a-21c的喷出口排出到清洗装置6中。
如以上说明，在本发明的涂布装置11中，在第一、第二循环罐31L、31R中，以一方为供给源，以另一方为回收目的地，由供给源的第一或第二循环罐31L、31R至回收目的地的第一或第二循环罐31L、31R，再返回至供给源的第一或第二循环罐31L、31R中，这样可以使分散液经由缓冲罐41a-41c和喷出室42a-42c流动，因此可以防止固体微粒在喷出室42a-42c内或配管内沉淀。
如果作为回收目的地的第一或第二循环罐31L、31R的分散液增加，则在以该第一或第二循环罐31L、31R作为供给源，使分散液经由缓冲罐41a-41c向喷出室42a-42c流动，并可将缓冲液经由聚集物分离用滤器47返回至作为供给源的第一或第二循环罐31L、31R。
第一、第二循环罐31L、31R内分别配置超声波振动子33L、33R，由超声波发声装置34L、34R向各超声波振动子33L、33R分别施加超声波，进行超声波振动，则第一、第二循环罐31L、31R内的分散液发生超声波振动，可防止固体微小颗粒的聚集，使形成的聚集物分离。
第一、第二循环罐31L、31R内分别配置含有磁石的转子35L、35R。第一、第二循环罐31L、31R的底面下方配置有与转子35L、35R磁结合的磁搅拌器36L、36R，搅拌器36L、36R动作，则转子35L、35R可以以所希望的速度旋转，搅拌第一、第二循环罐31L、31R内的分散液。由此可以防止固体微小颗粒的沉淀。
上述各配管37-40、特别是主配管37中的分散液由第一、第二循环罐31L、31R供给喷出室42a-42c的部分的全部或一部分制成双重配管，可以使流过双重配管内部的分散液脱气。优选制成双重配管的部分配置在喷出分散液之前，即配置在缓冲室41a-41c和喷出室42a-42c之间。
图7的符号60表示脱气用的双重配管。该双重配管60具有内管61、和位于内管61的周围并包围内管61侧面的外管62。内管61是插入到外管62的内部的状态。
内管61由具有透气性但不具有透液性的树脂(PTFA等)构成，外管62由不具有透气性和透液性的金属(SUS)制的管构成。内外管61、62具有柔软性，可弯曲。
内管61端部与外管62端部之间设有用于连接其它配管的连接部件691、692，内管61与外管62之间的缝隙空间63在内管61的两端位置通过连接部件691、692被封闭，形成密闭。
外管62设置有排气孔64，该排气孔64与真空泵68连接，形成可以对缝隙空间63进行真空排气的构成。
使分散液由内管61的两端661、662的其中一方向另一方流过其内部时，如果对缝隙空间63进行真空排气，则溶解于分散液的气体经由内管61被吸引到缝隙空间63，从分散液中除去。
上述升压气体使用氦气，氦气的溶解度低，因此可抑制气泡的发生。
上述说明中，设置了两个供给阀vsL、vsR，如果将第一、第二循环罐31L、31R其中一方或两方与主配管37连接，则阀的数目可以是一个，也可以是三个。
同样，返回阀vrL、vrR也不限定为两个，如果第一、第二循环罐31L、31R其中一方或两方与返回配管38连接，则阀的数目不限。
如图6所示，将未卷入气体的泵54a-54c连接在喷出室42a-42c下游的返回配管38、和缓冲室41a-41c与第一、第二循环罐31L、31R之间的主配管37之间，在喷出室42a-42c内流动，将由喷出室42a-42c排出的分散液由返回配管38返回至主配管37，则可以使由喷出室42a-42c排出的分散液返回至缓冲罐41a-41c。
产业实用性
本发明可适用于喷出分散有形成滤色器的分散颜料的油墨、在间隔物形成中使用的间隔物分散液、导电体·电介质·半导体·发光材料·电子释放材料等各种功能性固体的溶液等溶液的涂布装置。可用于全面涂布，也可以只向所需位置喷出、形成图案。
为喷出间隔物的涂布装置时，可用作配置于液晶显示器的滤色器基板与阵列基板之间配置间隔物的间隔物喷出装置。

Claims (11)

1.涂布装置，该涂布装置是使喷头组件与基板相对移动、使分散有固体微粒的分散液弹落在基板上的所希望的位置，该涂布装置具有：
配置在上述喷头组件外部的第一、第二循环罐；
设于上述喷头组件的缓冲罐；
流入口与上述缓冲罐相连接的喷出室；
设于上述第一、第二循环罐与上述缓冲罐之间的主配管；
设于上述喷出室的流出口与上述第一、第二循环罐之间的返回配管；
设于上述主配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述缓冲罐连接的供给阀；和
设于上述返回配管、使上述第一、第二循环罐中的至少一方与上述喷头组件连接的返回阀；
以上述第一、第二循环罐和上述缓冲罐密闭，可以控制配置于上述各罐内部的上述分散液的上部空间压力的方式构成。
2.权利要求1的涂布装置，该涂布装置以具有与上述第一、第二循环罐连接的给排气装置，可对上述第一、第二循环罐内上述分散液液面上方的空间供给加压气体以及进行真空排气的方式构成。
3.权利要求1的涂布装置，其中，以真空泵和气体供给系统与上述缓冲罐连接，可以控制上述缓冲罐内上述分散液的液面上方空间的压力的方式构成。
4.权利要求3的涂布装置，其中，以由上述气体供给系统供给He的方式构成。
5.权利要求1的涂布装置，其中，以在上述第一、第二循环罐之间设置移动用配管，上述分散液不经上述喷出室，可以在上述第一、第二循环罐之间移动的方式构成。
6.权利要求5的涂布装置，该涂布装置具有聚集物分离用滤器，该聚集物分离用滤器设置在上述移动用配管中，使上述固体微粒的单体通过，捕获上述固体微粒的聚集物。
7.权利要求5的涂布装置，该涂布装置具有固体微粒除去用滤器，该固体微粒除去用滤器设于上述移动用配管中，捕获上述固体微粒的单体。
8.权利要求1的涂布装置，其中，分散液由循环罐供给喷出室的配管的至少一部分由不具有透液性而具有透气性、上述分散液流过的内管，和不具有透气性、上述内管插入连通的外管的双重配管构成，上述内管与上述外管之间是以能够进行真空排气的方式构成。
9.分散液移动方法，该方法是使权利要求1的涂布装置内部的循环液体移动的分散液移动方法，
在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为供给源，在使上述供给阀为打开状态，并与上述缓冲罐连接时，
使上述作为供给源的循环罐内的压力为大气压或以下，同时使上述分散液从上述作为供给源的循环罐向上述缓冲罐内移动。
10.分散液移动方法，该方法是使权利要求1的涂布装置内部的循环液体移动的分散液移动方法，
在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为回收目的地，在使上述返回阀为打开状态，并与上述喷出室连接时，
使上述作为回收目的地的循环罐内的压力比大气压低，使上述喷出室内的上述分散液移动至上述作为回收目的地的循环罐中。
11.分散液移动方法，该方法是使权利要求1的涂布装置内部的循环液体移动的分散液移动方法，
在上述第一、第二循环罐中，以其中任意一方作为供给源，使上述供给阀为打开状态，并与上述缓冲罐连接，
以另一方作为回收目的地，使上述返回阀为打开状态，并与上述喷出室连接，
使上述作为供给源的循环罐内的上述分散液流过上述缓冲罐和上述喷出室移动至上述作为回收目的地的循环罐中。
CN2006800343700A 2005-11-10 2006-10-26 涂布装置、分散液移动方法 Active CN101267894B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP325990/2005 2005-11-10
JP2005325990 2005-11-10
PCT/JP2006/321329 WO2007055102A1 (ja) 2005-11-10 2006-10-26 塗布装置、分散液移動方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101267894A true CN101267894A (zh) 2008-09-17
CN101267894B CN101267894B (zh) 2010-11-03

Family

ID=38023108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2006800343700A Active CN101267894B (zh) 2005-11-10 2006-10-26 涂布装置、分散液移动方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8171876B2 (zh)
EP (1) EP1946849B1 (zh)
JP (1) JP4647665B2 (zh)
KR (1) KR101003702B1 (zh)
CN (1) CN101267894B (zh)
TW (1) TWI398304B (zh)
WO (1) WO2007055102A1 (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102834271A (zh) * 2010-02-01 2012-12-19 马肯依玛士公司 形成连续喷墨打印机盒且在所述盒内部和周围具有减小的溶剂蒸气浓度的装置
CN106391358A (zh) * 2015-07-28 2017-02-15 株式会社思可林集团 涂布装置及涂布方法
CN111511475A (zh) * 2017-12-19 2020-08-07 武藏工业株式会社 液滴吐出装置及液滴吐出方法
CN114025968A (zh) * 2019-07-10 2022-02-08 株式会社日立产机系统 喷墨记录装置和喷墨记录装置的控制方法

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007136417A (ja) * 2005-11-22 2007-06-07 Ulvac Japan Ltd 塗布装置
JP4710673B2 (ja) * 2006-03-17 2011-06-29 リコープリンティングシステムズ株式会社 液滴吐出装置
JP4828287B2 (ja) * 2006-04-10 2011-11-30 リコープリンティングシステムズ株式会社 液滴吐出装置ならびにそれの運転方法
KR20110011695A (ko) 2008-05-19 2011-02-08 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 박층을 용액 코팅하는 장치 및 방법
JP5488052B2 (ja) 2010-03-01 2014-05-14 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置
US20120262523A1 (en) * 2011-04-14 2012-10-18 Levi Yaakov Ink tank system
JP2012227413A (ja) * 2011-04-21 2012-11-15 Mitsubishi Electric Corp 封止樹脂の塗布装置及び発光装置の製造方法
JP5671414B2 (ja) * 2011-06-24 2015-02-18 株式会社日立製作所 液晶材料塗布装置及び液晶材料塗布方法
JP5741549B2 (ja) * 2012-10-09 2015-07-01 東京エレクトロン株式会社 処理液供給方法、処理液供給装置及び記憶媒体
DE102013103964A1 (de) * 2013-04-19 2014-10-23 Océ Printing Systems GmbH & Co. KG Anordnung zum Wiederaufbereiten und Rückführen von Trägerflüssigkeit in einem Drucker oder Kopierer sowie zugehöriges Verfahren
ITUD20130154A1 (it) * 2013-11-20 2015-05-21 Neolt S P A In Concordato Preventi Vo Apparato di stampa e relativo procedimento
KR101629789B1 (ko) * 2015-02-12 2016-06-14 (주)신성이엔지 용제 이송 시스템
JP6538878B2 (ja) * 2015-06-30 2019-07-03 ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル．ピー．Ｈｅｗｌｅｔｔ‐Ｐａｃｋａｒｄ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｃｏｍｐａｎｙ， Ｌ．Ｐ． 印刷流体の循環
US9707765B2 (en) * 2015-11-23 2017-07-18 Xerox Corporation Inhibiting sediment formation in a MICR ink tank
EP3442801B1 (en) * 2016-04-14 2022-06-29 Canon Production Printing Holding B.V. Ink jet printer
US10792930B2 (en) * 2017-09-29 2020-10-06 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection apparatus and liquid ejection head
US11684947B2 (en) * 2018-11-09 2023-06-27 Illinois Tool Works Inc. Modular fluid application device for varying fluid coat weight
JP7321052B2 (ja) * 2019-10-17 2023-08-04 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置および装置洗浄方法
CN110733254B (zh) * 2019-12-20 2020-03-31 广东希望高科数字技术有限公司 一种扫描式印花机的墨路系统
JP6893276B1 (ja) * 2020-02-21 2021-06-23 花王株式会社 粉粒体散布装置及び粉粒体の散布方法
DE102021119858A1 (de) * 2021-07-30 2023-02-02 Koenig & Bauer Ag Verfahren zum Wechsel mindestens eines Druckfluids und Verfahren zur Reinigung und/oder Wartung eines Druckfluidversorgungssystems und Druckmaschine

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH084773B2 (ja) * 1986-11-10 1996-01-24 ノードソン株式会社 分散型液体の吐出方法とその装置
JPS6417028A (en) 1987-07-10 1989-01-20 Canon Kk Liquid crystal phase grating
SE465756B (sv) * 1990-03-02 1991-10-28 Qenico Ab Anordning foer flaeckvis applicering av loedpasta, lim, e d, paa ett substrat
EP0655518B1 (en) * 1993-11-30 1997-10-22 DANIELI & C. OFFICINE MECCANICHE S.p.A. System to re-circulate treatment material in processes of surface treatment and finishing
JPH08215626A (ja) * 1995-02-15 1996-08-27 Mitsubishi Chem Corp 塗工方法及び塗工装置
JPH0975827A (ja) * 1995-09-08 1997-03-25 Basf Corp 自動計量供給装置の再循環装置及び方法
JPH11319685A (ja) * 1998-05-18 1999-11-24 Futaba Corp 液体供給装置
JP2002072218A (ja) 2000-08-24 2002-03-12 Lac:Kk スペーサー散布方法及び装置
WO2002100196A1 (fr) * 2001-06-08 2002-12-19 Japan Tobacco Inc. Applicateur de corps fluide
JP2003030000A (ja) 2001-07-17 2003-01-31 Mitsubishi Electric Corp 自己診断回路のテストパターン発生回路及び発生方法
JP2003275659A (ja) * 2002-01-17 2003-09-30 Shibaura Mechatronics Corp 塗付装置及び塗布装置の気泡抜き方法
JP4108353B2 (ja) * 2002-03-29 2008-06-25 ノードソン コーポレーション 液体吐出方法及び装置
JP4133063B2 (ja) 2002-07-19 2008-08-13 芝浦メカトロニクス株式会社 溶液の塗布装置及び供給方法
JP4254437B2 (ja) * 2002-10-15 2009-04-15 セイコーエプソン株式会社 液状体の充填方法、液状体の充填装置、及び吐出装置
JP3919112B2 (ja) * 2004-02-27 2007-05-23 東芝テック株式会社 インクジェット記録装置
TWI362059B (en) * 2004-11-25 2012-04-11 Az Electronic Mat Ip Japan Kk Photoresist coating solution supply system and method for supplying photoresist coating solution using thereof, and photoresist coating system using thereof
JP5116471B2 (ja) * 2005-08-15 2013-01-09 キヤノン株式会社 液体塗布装置およびインクジェット記録装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102834271A (zh) * 2010-02-01 2012-12-19 马肯依玛士公司 形成连续喷墨打印机盒且在所述盒内部和周围具有减小的溶剂蒸气浓度的装置
CN102834271B (zh) * 2010-02-01 2014-12-31 马肯依玛士公司 形成连续喷墨打印机盒且在所述盒内部和周围具有减小的溶剂蒸气浓度的装置
US8955948B2 (en) 2010-02-01 2015-02-17 Markem-Imaje Device forming a continuous inkjet printer cabinet with reduced concentrations of solvent vapor inside and around the cabinet
CN106391358A (zh) * 2015-07-28 2017-02-15 株式会社思可林集团 涂布装置及涂布方法
CN106391358B (zh) * 2015-07-28 2020-12-22 株式会社思可林集团 涂布装置及涂布方法
CN111511475A (zh) * 2017-12-19 2020-08-07 武藏工业株式会社 液滴吐出装置及液滴吐出方法
CN114025968A (zh) * 2019-07-10 2022-02-08 株式会社日立产机系统 喷墨记录装置和喷墨记录装置的控制方法
CN114025968B (zh) * 2019-07-10 2024-03-22 株式会社日立产机系统 喷墨记录装置和喷墨记录装置的控制方法

Also Published As

Publication number Publication date
US8171876B2 (en) 2012-05-08
JP4647665B2 (ja) 2011-03-09
EP1946849B1 (en) 2014-03-05
US20080210160A1 (en) 2008-09-04
CN101267894B (zh) 2010-11-03
WO2007055102A1 (ja) 2007-05-18
JPWO2007055102A1 (ja) 2009-04-30
EP1946849A1 (en) 2008-07-23
KR20080066661A (ko) 2008-07-16
KR101003702B1 (ko) 2010-12-27
TWI398304B (zh) 2013-06-11
EP1946849A4 (en) 2013-05-29
TW200722185A (en) 2007-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101267894B (zh) 涂布装置、分散液移动方法
CN207291314U (zh) 油墨供应单元
US20170182787A1 (en) Method and device for regulating an ink circuit pump
CN103057275B (zh) 用于储存并输送液体的容器及连续喷墨打印机
CN102381038B (zh) 用于清除油墨和将油墨供给喷墨式印刷设备的方法和设备
JP2005246854A (ja) インクジェット記録装置
JP2002527273A (ja) インク供給システム
WO2005108096A1 (en) Inkjet printhead shut down method
CN101659156A (zh) 液体喷射装置
US20090145299A1 (en) Liquid supply apparatus and liquid ejecting apparatus
CN104411500B (zh) 液体管理系统
US20100020126A1 (en) Liquid supply device and liquid ejecting apparatus
CN113291060A (zh) 打印机的供墨系统及供墨方法
CN103826862B (zh) 喷墨打印装置
CN101665030B (zh) 液体供给装置及液体喷射装置
JP2002522279A (ja) 媒体上に直接印刷するインクジェットプリンタ
CN113829757B (zh) 一种工业打印机的墨水系统
JP4746305B2 (ja) ヘッドモジュール
US20240109107A1 (en) Coating material supply device and coating machine
JP6671898B2 (ja) インクジェット記録装置及び液体供給方法
CN108068461A (zh) 带有循环系统的数码打印机
CN108357213A (zh) 液体喷出装置及液体喷出装置的驱动方法
CN102275388A (zh) 流体喷射装置
US10752006B2 (en) Flow path structure body, liquid ejecting apparatus, and liquid ejecting method
CN215904155U (zh) 一种工业打印机的墨水系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant