KR20080066661A - 도포 장치 및 이를 이용한 분산액 이송 방법 - Google Patents

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KR20080066661A
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Abstract

기포의 발생이 적은 도포 장치를 제공한다.
공급측 순환 탱크(31L)의 내부 공간의 압력을 대기압보다는 낮지만 버퍼 탱크(41a~41c) 내부 공간의 압력보다도 높은 압력으로 하여 분산액을 공급하고, 회수처 순환 탱크(31R)의 내부 압력을 대기압보다도 낮게 하여 토출실(42a~42c) 내부의 분산액을 회수한다. 분산액이 대기압보다도 고압인 기체에 접촉하지 않기 때문에 기체의 용해가 적고, 펌프를 이용하지 않기 때문에 기체의 혼입이나 고체 미립자의 변형이 없다.
Figure P1020087006530
도포장치, 분산액, 순환 탱크, 버퍼 탱크, 분산 잉크, 스페이서, 컬러 필터 기판, 토출 장치

Description

도포 장치 및 이를 이용한 분산액 이송 방법{APPLICATOR AND METHOD FOR TRANSFERRING DISPERSION LIQUID}
본 발명은 잉크젯 방식의 스페이서 도포 장치에 관한 것으로, 특히, 순환식의 스페이서 도포 장치에 관한 것이다.
최근에는 액정 표시 장치의 스페이서를 도포하기 위하여, 잉크젯 프린터를 응용한 잉크젯 방식의 스페이서 도포 장치가 이용되고 있다.
도 9(a)의 부호(111)는 스페이서 도포 장치의 일예로서, 대(105)의 상방 위치에, 지지틀(120)에 장착된 잉크 헤드(121)가 배치되어 있고, 대(105) 상에 액정용의 기판(107)을 배치하여, 잉크 헤드(121)와 기판(107)을, 주사 방향(109)을 따라 상대적으로 이동시키면서 잉크 헤드(121)로부터 스페이서가 분산된 분산액을 토출시키면, 기판(107) 표면의 원하는 위치에 분산액이 착탄하여, 스페이서가 배치되도록 구성되어 있다.
도 8은 종래 기술의 스페이서 도포 장치(111)의 분산액의 공급계를 설명하기 위한 블록도이다.
이 스페이서 도포 장치(111)에서는, 잉크 헤드(121)는 복수의 헤드 모듈(121a~121c)로 구성되어 있고, 각 헤드 모듈(121a~121c)은 대(105) 측방 위치의 공급 탱크(136)에 접속되어 있다.
공급 탱크(136)는 각 헤드 모듈(121a~121c)의 토출공의 위치와 같은 높이까지 분산액(138)이 저장되어 있으며, 공급 탱크(136)와 각 헤드 모듈(121a~121c) 사이의 밸브를 열어 공급 탱크(136)와 각 헤드 모듈(121a~121c)을 접속한 상태에서, 가압 장치(130)에 의해 공급 탱크(136) 내부에 기체를 공급하면, 공급 탱크(136) 내의 압력이 상승하여, 공급 탱크(136) 내의 분산액(138)은 각 헤드 모듈(121a~121c)에 공급된다.
각 헤드 모듈(121a~121c)은 회수 탱크(137)에 접속되어 있어, 공급 탱크(136)로부터 공급된 분산액은 헤드 모듈(121a~121c) 내를 흐른 후, 회수 탱크(137)로 돌아가도록 구성되어 있다.
회수 탱크(137)와 공급 탱크(136)는 서로 접속되어 있어, 회수 탱크(137)에 회수된 분산액(139)을 공급 탱크(136)로 복귀시킬 수 있다.
특허 문헌 1: 일본 특허공개 2004-50059호 공보
특허 문헌 2: 일본 특허공개 2002-72218호 공보
특허 문헌 3: 일본 특허공개 평 11-7028호 공보
종래 기술의 도포 장치(111)에서는, 분산액은 상기와 같이 가압에 의해 각 헤드 모듈(121a~121c)에 공급되기 때문에 기체가 분산액(138) 중으로 녹아들기 쉽고, 그것이 헤드 모듈(121a~121c) 내에서 기포가 되어 석출되면, 토출 실패가 생기는 경우가 있었다.
또한, 분산액의 공급에 펌프를 이용하면, 기체의 혼입이 생기는 외에도, 스페이서가 변형되거나 손상되는 문제가 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 헤드 모듈과 기판을 상대적으로 이동시켜, 기판 상의 원하는 위치에 고체 미립자가 분산된 분산액을 착탄(着彈)시키는 도포 장치로서, 상기 헤드 모듈의 외부에 배치된 제 1, 제 2 순환 탱크와, 상기 헤드 모듈에 설치된 버퍼 탱크와, 유입구가 상기 버퍼 탱크에 접속된 토출실과, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크와 상기 버퍼 탱크 사이에 설치된 주배관과, 상기 토출실의 유출구와 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 사이에 설치된 리턴 배관과, 상기 주배관에 설치되며, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 중 적어도 한 쪽을 상기 버퍼 탱크에 접속시키는 공급 밸브와, 상기 리턴 배관에 설치되며, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 중 적어도 한 쪽을 상기 헤드 모듈에 접속시키는 리턴 밸브를 가지고, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크와 상기 버퍼 탱크는 밀폐되어, 상기 각 탱크의 내부에 배치된 상기 분산액의 상부 공간의 압력이 제어 가능하게 구성된 도포 장치이다.
또한, 본 발명은 상기 제 1, 제 2 순환 탱크에 접속된 급배기 장치를 구비하여, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 내의 상기 분산액 액면의 위쪽 공간에 대하여 가압 기체의 공급과 진공 배기가 가능하게 구성된 도포 장치이다.
또한 본 발명은, 상기 버퍼 탱크에는 진공 펌프와 가스 공급계가 접속되어, 상기 버퍼 탱크 내의 상기 분산액 액면의 위쪽 공간의 압력을 제어할 수 있도록 구성된 도포 장치이다.
또한, 본 발명은 상기 가스 공급계로부터 He가 공급되도록 구성된 도포 장치이다.
또한 본 발명은, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 사이에는 이동용 배관이 설치어, 상기 분산액이 상기 토출실을 지나지 않고 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 사이를 이동 가능하게 구성된 도포 장치이다.
또한 본 발명은, 상기 이동용 배관에 설치되어, 상기 고체 미립자의 단체(單體)는 통과시키고, 상기 고체 미립자의 응집체는 포집하는 응집체 분리용 필터를 갖는 도포 장치이다.
또한 본 발명은, 상기 이동용 배관에 설치되어, 상기 고체 미립자의 단체를 포집하는 고체 미립자 제거용 필터를 갖는 도포 장치이다.
또한 본 발명은, 분산액이 순환 탱크로부터 토출실로 공급되는 배관의 적어도 일부는, 통액성을 갖지 않고 통기성을 가지며 상기 분산액이 통과하는 내관과, 통기성을 갖지 않고 상기 내관이 삽입된 외관의 이중 배관으로 구성되고, 상기 내관과 상기 외관 사이는 진공 배기 가능하게 구성된 도포 장치이다.
또한 본 발명은, 상기 어느 한 도포 장치 내부의 순환액을 이동시키는 분산액 이동 방법으로서, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 중 어느 한 쪽을 공급원으로 하고, 상기 공급 밸브를 열림 상태로 하여 상기 버퍼 탱크에 접속할 때, 상기 공급원인 순환 탱크 내의 압력을 대기압 이하로 하면서, 상기 공급원의 순환 탱크로부터 상기 버퍼 탱크 내로 상기 분산액을 이동시키는 분산액 이동 방법이다.
또한 본 발명은, 상기 어느 한 도포 장치 내부의 순환액을 이동시키는 분산액 이동 방법으로서, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 중 어느 한 쪽을 회수처로 하고, 상기 리턴 밸브를 열림 상태로 하여 상기 토출실에 접속할 때, 상기 회수처인 순환 탱크 내의 압력을 대기압보다도 낮게 하여, 상기 토출실 내의 상기 분산액을 상기 회수처인 순환 탱크로 이동시키는 분산액 이동 방법이다.
또한 본 발명은, 상기 어느 한 도포 장치 내부의 순환액을 이동시키는 분산액 이동 방법으로서, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 중 어느 한 쪽을 공급원으로 하고, 상기 공급 밸브를 열림 상태로 하여 상기 버퍼 탱크에 접속하고, 다른 쪽을 회수처로 하고, 상기 리턴 밸브를 열림 상태로 하여 상기 토출실에 접속하여, 상기 공급원인 순환 탱크 내의 상기 분산액을 상기 버퍼 탱크와 상기 토출실을 통과시켜 상기 회수처인 순환 탱크로 이동시키는 분산액 이동 방법이다.
본 발명은 상기와 같이 구성되어 있어, 버퍼 탱크 내의 분산액 위쪽 공간(버퍼 탱크 내 공간)의 압력이 순환 탱크 내의 분산액 위쪽 공간(순환 탱크 내 공간)의 압력보다도 낮은 상태로 순환 탱크와 버퍼 탱크가 접속된 경우에, 순환 탱크로부터 버퍼 탱크에 분산액이 공급된다.
순환 탱크가 토출실 내의 분산액을 흡인하는 힘이, 버퍼 탱크가 토출실 내의 분산액을 흡인하는 힘보다도 큰 상태에서 순환 탱크와 토출실이 접속된 경우에는, 토출실 내의 분산액은 순환 탱크에 흡인된다.
분산액을 대기압보다도 높은 압력의 기체에 접촉시키기 않기 때문에, 분산액 중으로의 기체의 용해가 적어 기포 발생이 적다.
분산액의 이동에 펌프를 이용하지 않기 때문에, 펌프에 의한 분산액 내로의 기체의 혼입이 없어 기포의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 펌프를 이용하지 않으면, 분산액 중에 분산되어 있는 미립자의 변형이나 손상이 없다.
분산액을 순환시킬 수 있기 때문에 침강이 생기지 않는다.
도 1은 본 발명의 일예에 따른 도포 장치의 순환계를 나타내는 도면.
도 2는 분산액이 제 1 순환 탱크로부터 제 2 순환 탱크로 흐르는 경로를 설명하기 위한 도면.
도 3은 분산액이 제 2 순환 탱크로부터 제 1 순환 탱크로 흐르는 경로를 설명하기 위한 도면.
도 4는 응집체 분리용 필터를 흐르는 분산액을 설명하기 위한 도면.
도 5는 고체 미립자 제거용 필터를 흐르는 분산액을 설명하기 위한 도면.
도 6은 토출실로부터 직접 버퍼 탱크에 분산액을 복귀시키는 도포 장치를 설명하기 위한 도면.
도 7은 이중 배관에 의한 탈기 장치를 설명하기 위한 도면.
도 8은 종래 기술의 도포 장치의 분산액의 순환 경로를 설명하기 위한 도면.
도 9(a)는 종래 기술의 도포 장치의 외관도, 도 9(b)는 본 발명의 도포 장치 의 외관의 일예를 나타내는 도면.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
7 기판
11 도포 장치
21 잉크 헤드
24 급배기 장치
50 실린더
21a~21c 헤드 모듈
31L, 31R 순환 탱크
37 주배관
38 리턴 배관
39 이동용 배관
41a~41c 버퍼 탱크
42a~42c 토출실
46 초음파 인가 장치
47 응집체 분리용 필터
49 고체 미립자 제거용 필터
57 가스 공급계
58 진공 펌프
vsL, vsR 공급 밸브
vrL, vrR 리턴 밸브
도 9(b)의 부호(11)는 본 발명의 도포 장치의 일예로서, 대(5) 위에는 기판(7)이 배치되어 있다.
대(5)의 상방에는 지지틀(20)이 배치되어 있다. 지지틀(20)에는 잉크 헤드(21)가 장착되어 있다.
잉크 헤드(21)는 도 1에 나타내는 바와 같이 복수의 헤드 모듈(21a, 21b, 21c)로 구성되어 있다. 각 헤드 모듈(21a~21c) 내에는 버퍼 탱크(41a~41c)와, 토출실(42a~42c)이 각각 설치되어 있다.
도포 장치(11)는 헤드 모듈(21a~21c)에 분산액을 공급하는 순환계를 가지고 있다. 도 1의 부호 10은 그 순환계를 나타내고 있으며, 순환계(10)에는 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)가 설치되어 있다.
제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)는 대(5)의 측방이나 하방 등, 기판(7)의 운반에 지장이 없는 위치에 배치되어 있고, 대(5)에 대하여 정지(靜止)해 있다.
버퍼 탱크(41a~41c)는 토출실(42a~42c)보다도 상방에 배치되어 있고, 버퍼 탱크(41a~41c) 내에는 고체 미립자가 분산된 분산액(48a~48c)이 저장되어 있다. 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액(48a~48c)은 버퍼 탱크(41a~41c)의 내부에, 분산 액(48a~48c)의 액면 상방에 공간이 형성될 정도로 배치되어 있다.
각 버퍼 탱크(41a~41c)의 천정이나, 벽면 상부의 위치에는 진공 펌프(58)가 각각 접속되어 있다. 각 버퍼 탱크(41a~41c)에 대하여 진공 펌프가 접속된 위치는 각 버퍼 탱크(41a~41c) 내부의 분산액의 액면보다도 상방으로서, 각 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액(48a~48c)의 액면보다도 상방의 공간을 진공 배기하여, 그 공간의 압력을 저하시킬 수 있도록 구성되어 있다.
또한, 각 버퍼 탱크(41a~41c)의 천정이나 벽면 상부의 위치에는 가스 공급계(57)가 각각 접속되어 있다. 각 버퍼 탱크(41a~41c)에 대하여 가스 공급계(57)가 접속된 위치는 각 버퍼 탱크(41a~41c) 내부의 분산액의 액면보다도 상방으로서, 각 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액(48a~48c)의 액면보다도 상방의 공간에, 분산액에 대한 용해도가 작은 승압 기체를 공급하여, 그 공간의 압력을 상승시킬 수 있도록 구성되어 있다.
버퍼 탱크(41a~41c)의 저면이나 벽면 하부 등의, 분산액의 액면보다도 하방의 위치에는 공급구가 설치되어 있고, 토출실(42a~42c)의 벽면 또는 천정에는 유입구가 설치되어 있다.
버퍼 탱크(41a~41c)의 공급구는 토출실(42a~42c)의 유입구에 각각 접속되어 있어, 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액을 토출실(42a~42c)로 이동할 수 있도록 되어 있다.
토출실(42a~42c)은 그 저면이, 대(5) 상에 배치된 기판과 대면하는 위치에 배치되어 있다. 토출실(42a~42c)의 저면에는 다수의 토출공이 형성되어 있어, 토출 실(42a~42c) 내의 분산액은 토출공으로 대기와 접촉하고 있다.
버퍼 탱크(41a~41c) 내의 공간의 압력(PB)을 부압(PB<(대기압))으로 하여, 부압의 흡인력과 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액(48a~48c)의 중량이 균형이 잡혀 있는 상태로 한 경우에는 토출실(42a~42c) 내의 분산액은 토출공으로부터 낙하하지 않고, 따라서, 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액(48a~48c)도 토출실(42a~42c)로 이동하지 않는다.
각 토출실(42a~42c) 내에는 토출공에 대응하여 작은 방이 형성되어 있고, 각 작은 방마다 피에조 소자가 배치되어 있다.
피에조 소자에 전압이 인가되면, 압전 효과에 의한 피에조 소자 신축에 의해 각 작은 방 내의 분산액이 가압되어, 그 작은 방의 토출공으로부터 분산액이 기판(7) 표면을 향해 토출된다.
토출실(42a~42c) 내의 분산액이 토출되면 버퍼 탱크(41a~41c)로부터 분산액(48a~48c)이 토출된 양만큼 끌어 들여져 보충된다.
버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액의 액면이 저하되면, 버퍼 탱크(41a~41c) 내에 가스 공급계(57)로부터 승압 기체가 도입되거나, 또는 후술하는 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로부터 분산액이 보충되어, 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 공간의 압력은 일정하게 유지된다.
제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로부터 버퍼 탱크(41a~41c)로의 분산액의 이동은 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내의 분산액(23L, 23R)의 중량과, 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 압력과, 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 압력의 차의 힘에 의해 수행된다.
기판(7)과 지지틀(20)은 그 어느 한 쪽 또는 양쪽이 주사 방향(9)을 따라 이동하도록 구성되어 있다. 기판(7)이 정지하고, 지지틀(20)이 주사 방향(9)을 따라 이동할 수도 있고, 지지틀(20)이 정지하고, 기판(7)이 주사 방향(9)을 따라 이동할 수도 있다. 기판(7)과 지지틀(20)이 같은 방향, 또는 서로 다른 방향으로 주사 방향(9)을 따라 이동할 수도 있다. 어떤 방식이든, 잉크 헤드(21)는 지지틀(20)과 함께 이동한다.
그 결과, 기판(7)과 잉크 헤드(21), 즉 기판(7)과 버퍼 탱크(41a~41c) 및 토출실(42a~42c)은 상대 이동할 수 있다.
기판(7)과 잉크 헤드(21)를 상대 이동시켜, 잉크 헤드(21)가 기판(7) 상의 원하는 장소에 위치했을 때, 피에조 소자에 전압을 인가하여 토출공으로부터 분산액을 토출시키면, 토출된 분산액을 기판(7) 표면의 원하는 위치에 착탄시킬 수 있다.
분산액 중에는 스페이서나 안료 입자 등의 고체 미립자가 분산되어 있어, 착탄한 분산액 중의 분산 용매가 증발하면, 고체 미립자는 기판(7) 상에 정착한다.
순환계(10)와는 별도로 분산액 공급계(28)가 설치되어 있고, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)는 그 분산액 공급계(28)에 각각 접속되어 있다.
제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)와 분산액 공급계(28)를 접속하는 배관의 도 중에는 밸브(v1, v2)가 설치되어 있고, 그 밸브(v1, v2)를 열면, 고체 미립자가 분산된 분산액이 분산액 공급계(28)로부터 제 1, 제 2의 순환 탱크(31L, 31R)에 공급되도록 구성되어 있다.
도 1 및 후술하는 각 도면에서는 밸브의 열림 상태를 흰색, 닫힘 상태를 검은색으로 나타내며, 도 1에서는 제 1 순환 탱크(31L)에 접속된 밸브(v1)가 흰색으로 열림 상태, 제 2 순환 탱크(31R)에 접속된 밸브(v2)가 검은색으로 닫힘 상태이다.
제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)에는 전환 장치(22L, 22R)를 통하여 급배기 장치(24)가 접속되어 있다. 급배기 장치(24)에는 가스 공급계(44)와 진공 펌프(또는 진공 배기계; 45)가 설치되어 있고, 전환 장치(22L, 22R) 내의 밸브의 개폐를 조작함으로써, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)를 가스 공급계(44)에도 진공 펌프(45)에도 개별적으로 접속할 수 있도록 구성되어 있다. 한 쪽을 가스 공급계(44)에 접속하고, 다른 쪽을 진공 펌프(45)에 접속할 수도 있다.
제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)가 급배기 장치(24)에 접속된 위치는 천정이나 벽면의 상부로서, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내의 분산액(23L, 23R)의 액면보다도 상방이다.
제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)는 밀폐되어 있고, 전환 장치(22L, 22R)에 의해 가스 공급계(44)에 접속되고, 가스 공급계(44)로부터 승압 기체가 공급되면, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 내부의 공간의 압력이 상승한다.
전환 장치(22L, 22R)에 의해 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)가 진공 펌 프(45)에 접속되고, 진공 펌프(45)에 의해 분산액(23L, 23R)의 액면보다도 상부의 공간의 기체가 배기되면, 액면보다도 상부의 공간의 압력은 저하한다.
제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 저면, 또는 저면에 가까운 위치로서, 분산액(23L, 23R)의 액면보다도 하방 위치에는 공급구가 설치되어 있다.
각 버퍼 탱크(41a~41c)에는 각각 유입구가 설치되어 있고, 각 버퍼 탱크(41a~41c)의 유입구와 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 공급구 사이는 주배관(37)에 의해 접속되어 있다. 도면에서는 공급구는 주배관의 선단이다.
주배관(37)의 경로상의, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 공급구에 가까운 위치에는 제 1, 제 2 공급 밸브(vsL, vsR)가 각각 설치되고, 제 1, 제 2 공급 밸브(vsL, vsR)보다도 각 버퍼 탱크(41a~41c)의 유입구에 가까운 위치에는 유입 밸브(via~vic)가 각각 설치되어 있으며, 제 1, 제 2 공급 밸브(vsL, vsR) 중 어느 한 쪽을 열림 상태, 다른 쪽을 닫힘 상태로 함과 동시에, 공급하고자 하는 헤드 모듈(21a~21c)의 유입 밸브(via~vic)를 열림 상태로 하면, 열림 상태가 된 제 1, 제 2 공급 밸브(vsL, vsR)에 접속된 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)가 공급원이 되고, 열림 상태의 유입 밸브(via~vic)에 접속된 버퍼 탱크(41a~41c)가 공급처가 되어, 공급원과 공급처가 접속되도록 구성되어 있다.
제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 내부 공간의 압력(PS)은 승압 기체의 공급에 의해 제어 가능하고, 공급원이 되는 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 내부 공간의 압력(PS)을, 버퍼 탱크(41a~41c)의 내부 공간의 압력(PB)보다도 미리 고압으로 해 두면(PB<PS), 공급원의 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 내부의 분산액(23L, 23R)은 주배관(37)을 지나 공급처의 버퍼 탱크(41a~41c)로 유입한다.
버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액(48a~48c)이 소정량까지 저장되면, 분산액을 버퍼 탱크(41a~41c)로부터 토출실(42a~42c)로 공급 가능한 상태가 된다.
여기에서는 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)에 승압 기체를 공급하여도, 그 내부 압력(PS)은 대기압보다도 크게 해 두지 않아(PS≤(대기압)), 승압 기체가 분산액 중에 용해하지 않도록 되어 있다.
토출실(42a~42c) 내가 분산액으로 충만된 상태에서는 기판(7)의 표면에 토출액을 토출할 수 있다.
다음으로, 토출실(42a~42c)보다도 하류측을 설명한다.
토출실(42a~42c)에는 유출구가 각각 설치되어 있고, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)에는 각각 유입구가 설치되어 있다. 토출실(42)의 유출구와 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 유입구 사이에는 리턴 배관(38)이 설치되어 있다. 도면에서는 유입구는 리턴 배관(38)의 선단이다.
리턴 배관(38)의, 토출실(42a~42c)의 유출구에 가까운 위치에는 유출 밸브(voa~voc)가 각각 설치되어 있고, 유출 밸브(voa~voc)보다도 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 유입구에 가까운 위치에는 제 1, 제 2 리턴 밸브(vrL, vrR)가 각각 설치되어 있다.
리턴 밸브(vrL, vrR)는 제 1, 제 2 순환 탱크 중 적어도 한 쪽을 헤드 모듈(21a~21c)에 접속시키는 밸브이며, 제 1, 제 2 공급 밸브(vsL, vsR) 중 어느 한 쪽이 열림 상태, 다른 쪽이 닫힘 상태일 때, 닫힘 상태의 공급 밸브(vsL 또는 vsR)에 접속된 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)가 회수처가 되고, 그 회수처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 리턴 밸브(vrL 또는 vrR)를 열림 상태로 하고, 원하는 유출 밸브(voa~voc)를 열림 상태로 하면, 열림 상태의 유출 밸브(voa~voc)에 접속된 토출실(42a, 42b 또는 42c)이 반환원이 되어, 반환원인 토출실(42a, 42b 또는 42c)과 회수처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)가 접속된다. 모든 유출 밸브(voa~voc)가 열림 상태이면, 각 토출실(42a~42c)이 반환원이 된다.
이 때, 각 토출실(42a~42c) 내의 분산액이 토출공 내에서 대기와 접촉하고 있는 상태이면, 회수처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내부의 압력(PR)을 대기압보다도 낮게 하면(PR<(대기압)), 반환원의 토출실(42a~42c) 내의 분산액은 회수처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로 이동할 수 있다.
회수처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 압력을 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 압력보다도 낮게 하고, 토출실(42a~42c)의 유출구의 압력이 유입구의 압력보다도 낮아지도록 하면, 토출실(42a~42c) 내에서 분산액을 유입구로부터 유출구를 향해 흘려보내, 분산액을 회수처인 순환 탱크(31L, 31R)로 이동시킬 수 있다.
또한, 여기에서는 유출 밸브(voa~voc)는 삼방 밸브이고, 유출 밸브(voa~voc)는 토출실(42a~42c)을 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)에 접속하는 외에, 토출실(42a~42c)을 드레인에도 접속할 수 있다.
본 발명의 도포 장치(11)에서는 상기 버퍼 탱크(41a~41c)에, 내부의 분산액(48a~48c)의 액면의 높이를 검출하는 높이 센서와, 분산액(48a~48c) 액면의 상방의 공간의 압력을 측정하는 압력 센서가 설치되어 있어, 버퍼 탱크(41a~41c) 내부의 액면의 변화나 액면보다도 상방의 공간의 압력 변화를 검출하여, 액면 높이가 일정해지도록 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로부터 분산액을 내부에 보충하거나, 압력이 일정해지도록 가스 공급계(57)로부터의 승압 기체의 도입이나, 진공 펌프(58)에 의한 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 기체의 진공 배기를 수행하고 있으며, 이로 인해, 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액(48a~48c)이 토출실(42a~42c)의 토출공으로부터 낙하하는 것을 방지하고 있다.
토출실(42a~42c) 내의 분산액의 일부 또는 전부가 회수처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로 이동하는 경우, 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액이 토출실(42a~42c)로 이동한다. 이 경우, 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액(48a~48c)의 액면이 저하하여, 버퍼 탱크(41a~41c)의 내부 공간의 압력이 저하한다.
이 경우, 공급원인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내의 분산액을 버퍼 탱크(41a~41c)로 이동시킬 수 있기 때문에, 공급원인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내로부터 버퍼 탱크(41a~41c)와 토출실(42a~42c)을 지나, 회수처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로 분산액을 이동시킬 수 있다. 그동안, 버퍼 탱크(41a~41c)의 내부 공간의 압력을 소정치로 유지할 수 있다.
도 2는 제 1 순환 탱크(31L)가 공급원, 제 2 순환 탱크(31R)가 회수처로 되었을 때(제 1 공급 밸브(vsL)와 제 2 리턴 밸브(vrR)가 열림 상태, 제 2 공급 밸브(vsR)와 제 1 리턴 밸브(vrL)가 닫힘 상태)에 분산액이 흐르는 상태를 도시하고 있다. 분산액은 제 1 순환 탱크(31L)로부터 제 2 순환 탱크(32R)를 향해 흐른다.
도 2 및 후술하는 도 3~도 5는 분산액의 흐름을 설명하기 위한 도면으로서, 분산액이 흐르는 배관을 실선으로 나타내고, 그 외의 배관을 파선으로 나타내고 있다.
도 3은 도 2와는 역으로, 제 1 공급 밸브(vsL)와 제 2 리턴 밸브(vrR)가 닫힘 상태, 제 2 공급 밸브(vsR)와 제 1 리턴 밸브(vrL)가 열림 상태이고, 제 2 순환 탱크(31R)가 공급원, 제 1 순환 탱크(31L)가 회수처가 되어 분산액이 흐르는 경우이다.
다음으로, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 사이를 분산액을 직접 이동하는 경로에 대하여 설명한다.
제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)에는 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내의 분산액(23L, 23R)의 액면보다도 낮은 위치에 제 1, 제 2 이동구가 설치되어 있고, 제 1, 제 2 이동구는 주배관(37)이나 리턴 배관(38)과는 별도의 이동용 배관(39)에 의해 접속되며, 이동용 배관(39)에 의해 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 내부가 접속되어 있다. 여기에서는 제 1, 제 2 이동구는 이동용 배관(39)의 선단으로 구성되어 있다.
주배관(37)이나 리턴 배관(38)에 설치된 각 밸브를 닫아, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)와 버퍼 탱크(41a~41c)간의 주배관(37)에 의한 접속이나, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)와 토출실(42a~42c)간의 리턴 배관(38)에 의한 접속을 차단한다.
이동용 배관(39)에는 개폐 밸브(26)가 설치되어 있으며, 이 개폐 밸브(26)를 닫힘 상태로 하고, 급배기 장치(24)에 의해 제 1 순환 탱크(31L)의 내부와 제 2 순환 탱크(31R)의 내부 사이에 압력차를 두어, 고압력측인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)를 이동원, 저압력측인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)를 이동처로 하여 개폐 밸브(26)를 열면, 이동원인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로부터 이동처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)를 향해 분산액이 흐른다.
이동용 배관(39)의 도중에는 필터 장치(25)가 배치되어 있다. 필터 장치(25)는 응집체 분리용 필터(47)와 고체 미립자 제거용 필터(49)를 가지고 있다. 응집체 분리용 필터(47)와 고체 미립자 제거용 필터(49)는 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 사이에 병렬로 배치되어 있고, 어느 한 쪽의 필터(47 또는 49) 또는 양쪽 필터(47, 49)를 지나 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 사이에서 분산액이 이동할 수 있도록 구성되어 있다.
분산액 중에 분산된 고체 미립자는 배관 내를 흐르는 동안이나, 순환 탱크(31L, 31R) 등의 탱크 중에 저장되어 있는 동안에 응집하여 입경이 큰 응집체를 형성하는 경우가 있는데, 응집체 분리용 필터(47)의 필터 눈은 고체 미립자의 크기보다도 크지만, 고체 미립자의 응집체보다도 작게 성형되어 있어, 분산액이 응집체 분리용 필터(47)를 통과할 때에, 응집체는 응집체 분리용 필터(47)에 포집되어 제거되도록 되어 있다.
또한, 응집체 분리용 필터(47)는 초음파 인가 장치(46)에 접속되어 있어, 응집체 분리용 필터(47)에 초음파가 인가되도록 구성되어 있다.
응집체 분리용 필터(47)에 초음파가 인가되면, 응집체 분리용 필터(47)에 포집된 응집체가 분리되어 고체 미립자 단체가 되고, 응집체 분리용 필터(47)를 통과하게 되어 응집체가 분해되기 때문에, 분산액은 이동용 배관(39) 내를 흐르는 동안에 재생되게 된다.
도 4는 분산액이 이동용 배관(39) 내를, 제 2 순환 탱크(31R)로부터 제 1 순환 탱크(31L)를 향해 응집체 분리용 필터(47)를 지나 흐르고 있는 상태를 나타내고 있다. 회수처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)에 회수된 분산액을 재생하면서 공급원인 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로 복귀시킬 수 있다.
또한, 이동용 배관(39)에 설치된 개폐 밸브(26)를 조작함으로써, 이동용 배관(39) 내를 흐르는 분산액은 응집체 분리용 필터(47)를 지나지 않고, 응집체 분리용 필터(47)와 병렬로 설치된 고체 미립자 제거용 필터(49)를 지나도록 할 수 있다.
도 5는 분산액이 이동용 배관(39) 내를, 제 2 순환 탱크(31R)로부터 제 1 순환 탱크(31L)를 향해 고체 미립자 제거용 필터(49)를 지나 흐르고 있는 상태를 나 타내고 있다.
고체 미립자 제거용 필터(49)의 눈은 분산액 중에 포함되는 미립자의 크기보다도 작아, 고체 미립자는 고체 미립자 제거용 필터(49)를 통과할 수 없다. 따라서, 분산액이 고체 미립자 제거용 필터(49)를 지날 때, 고체 미립자는 고체 미립자 제거용 필터(49)에 전부 포집된다.
도포 장치(11)는 복수 종류의 분산액, 예를 들면 서로 다른 재료의 미립자가 분산된 분산액이나, 서로 다른 입경의 미립자가 분산된 분산액에 대응할 필요가 있다.
고체 미립자 제거용 필터(49)를 이용하여 분산액을 교환하는 순서를 설명하면, 도포 장치(11) 내를 순환하여 잉크 헤드(21)로부터 토출되는 분산액을 교환할 때에는, 먼저 배관(37~39) 중에 있는 분산액이나 각 탱크(31L, 31R, 41a~41c) 중에 있는 분산액을 드레인 등으로부터 제거하고, 배관(37~39)이나 탱크(31L, 31R, 41a~41c)를 세척한 후, 분산액 공급계(28)로부터 새로운 종류의 분산액을 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)에 공급할 필요가 있다.
이 도포 장치(11)에서는 용제 공급계(29)가 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 중 어느 한 쪽 또는 양쪽에 접속되어 있다. 이 예에서는 제 1 순환 탱크(31L)에 접속되어 있고, 각 탱크(31L, 31R, 41a~41c)나 헤드 모듈(21a~21c)이나 각 배관(37~39) 내의 분산액을 드레인에 배출한 후, 별도의 분산액을 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)에 배치하기 전에, 용제 공급계(29)와 제 1 순환 탱크(31L) 사이의 밸브를 열어 제 1 순환 탱크(31L)에 용제 공급계(29)로부터 세정액을 공급하여, 분 산액 대신에 세정액을 버퍼 탱크(41a~41c)와 헤드 모듈(21a~21c)을 통과시켜 제 2 순환 탱크(31R)로 이동시키고, 제 2 순환 탱크(31R)로부터 이동용 배관(39)을 통과시켜 세정액을 제 1 순환 탱크(31L)로 복귀시킨다.
이와 같이, 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 중 어느 한 쪽 또는 양쪽에 세정액(용제)을 공급하여 분산액과 마찬가지로 순환시키면, 각 탱크(31L, 31R, 41a~41c)나 각 배관(37~39) 내는 세정되어 미립자가 제거된다.
세정액을 드레인으로부터 배출한 후, 새로운 분산액을 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)에 배치하면, 교환 전의 분산액의 고체 미립자가 교환한 분산액 중으로 혼입하는 일이 없다.
분산액을 드레인에 배출하고 세정액으로 교환하기 전에, 고체 미립자 제거용 필터(49)에 의해 교환 대상인 분산액의 미립자를 제거하고 분산 용매를 순환시키면, 먼저 분산액의 분산 용매에 의해 배관 내가 세정된다. 다음으로, 그 분산 용매를 배출한 후, 세정액에 의한 세정을 수행하면 세정액을 절약할 수 있다.
또한, 이 예에서는 배관 도중에 필터 장치(25)가 배치된 이동용 배관(39)에 대하여 병렬로, 필터 장치(25)를 우회하여 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)를 접속하는 우회용 배관(40)이 설치되어 있다.
우회용 배관(40)에는 개폐 밸브(27)가 설치되어 있고, 그 개폐 밸브(27)가 닫힌 상태에서는 우회용 배관(40)에는 분산액은 흐르지 않고, 이동용 배관(39)의 개폐 밸브(26)가 닫힌 상태에서 우회용 배관(40)의 개폐 밸브가 열리면, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내의 공간의 압력차에 의해 분산액이 우회용 배관(40) 내를 흐른다. 우회용 배관(40)이 접속된 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 우회구도 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 액면보다도 하방에 위치되어 있다.
또한, 대(5)의 측방 위치에는 세정 장치(6)가 설치되어 있고, 잉크 헤드(21)를 기판(7) 상으로부터 세정 장치(6) 상으로 이동시켜, 세정 장치(6)에 의해 토출공을 폐색시킨 상태에서 세정액이나 분산 용매를 순환시킬 수도 있다.
또한, 버퍼 탱크(41a~41c)에는 밸브를 통하여 가스 공급계(57)가 접속되어 있고, 잉크 헤드(21)를 기판(7) 상으로부터 세정 장치(6) 상으로 이동시켜, 토출공을 폐색시키지 않는 상태에서, 리턴 배관(38)의 유출 밸브(voa~voc)를 닫고 가스 공급계(57)와 버퍼 탱크(41a~41c) 사이의 밸브를 열어 버퍼 탱크(41a~41c) 내에 퍼지 가스를 도입하여, 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 압력을 대기압과 같거나 그 이상의 압력으로 하면, 버퍼 탱크(41a~41c) 내의 분산액이나 세정액을 각 헤드 모듈(21a~21c)의 토출공으로부터 세정 장치(6) 중으로 배출시킬 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 도포 장치(11)에서는 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 중 한 쪽을 공급원, 다른 쪽을 회수처로 하여, 공급원인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로부터 회수처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)까지, 더 나아가 공급원인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로 되돌아갈 때까지, 버퍼 탱크(41a~41c)와 토출실(42a~42c)을 지나 분산액을 흐르게 할 수 있기 때문에, 고체 미립자가 토출실(42a~42c) 내나 배관 내로 침강하는 것을 방지할 수 있다.
회수처인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 분산액이 증가하면, 이번에는 그 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)를 공급원으로 하여, 버퍼 탱크(41a~41c)를 통하여 토출실(42a~42c)에 분산액을 흐르게 할 수가 있으며, 응집체 분리용 필터(47)를 통과시켜 분산액을 공급원인 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로 복귀시킬 수 있다.
또한, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내에는 초음파 진동자(33L, 33R)가 각각 배치되어 있어, 초음파 발생 장치(34L, 34R)로부터 각 초음파 진동자(33L, 33R)에 각각 초음파를 인가하여 초음파 진동시키면, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내의 분산액이 초음파 진동하여 고체 미소 입자의 응집은 방지되고, 형성되어 버린 응집체는 분리된다.
또한, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내에는 자석으로 이루어지는 회전자(35L, 35R)가 각각 배치되어 있다. 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)의 저면보다도 하방에는 회전자(35L, 35R)와 자기적으로 결합된 스텔라(36L, 36R)가 배치되어 있고, 스텔라(36L, 36R)를 동작시키면 회전자(35L, 35R)는 원하는 속도로 회전하여 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 내의 분산액이 교반된다. 이로 인해, 고체 미소 입자의 침강이 방지된다.
또한, 상기 각 배관(37~40), 특히 주배관(37) 중의 분산액이 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R)로부터 토출실(42a~42c)에 공급되는 부분의 전부 또는 일부를 이중 배관으로 하여, 이중 배관의 내부를 흐르는 분산액을 탈기할 수 있다. 이중 배관으로 하는 부분은 분산액이 토출되기 직전, 즉, 버퍼실(41a~41c)과 토출 실(42a~42c) 사이에 배치하는 것이 바람직하다.
도 7의 부호 60은 탈기용의 이중 배관을 나타내고 있다. 이 이중 배관(60)은 내관(61)과, 내관(61)의 주위에 위치하며 내관(61)의 측면을 둘러싸는 외관(62)을 가지고 있다. 내관(61)은 외관(62)의 내부에 삽입된 상태로 되어 있다.
내관(61)은 통기성을 갖지만 통액성은 갖지 않는 수지(PTFA 등)로 구성되어 있고, 외관(62)은 통기성도 통액성도 갖지 않는 금속(SUS)제의 관으로 구성되어 있다. 내외관(61, 62)은 유연성을 가지고 있어 구부릴 수 있다.
내관(61) 단부와 외관(62) 단부 사이에는 다른 배관과 접속하기 위한 접속 부재(691, 692)가 설치되어 있고, 내관(61)과 외관(62) 사이의 극간 공간(63)은 내관(61)의 양단 위치에서 접속 부재(691, 692)에 의해 폐색되어 밀폐되어 있다.
외관(62)에는 배기공(64)이 설치되어 있고, 이 배기공(64)은 진공 펌프(68)에 접속되어 극간 공간(63)을 진공 배기할 수 있도록 구성되어 있다.
내관(61)의 양단(661, 662)의 한 쪽에서 다른 쪽을 향해 그 내부를 분산액이 흐를 때, 극간 공간(63)을 진공 배기하면, 분산액에 용해되어 있는 기체가 내관(61)을 지나 극간 공간(63)에 흡인되어 분산액으로부터 제거된다.
또한, 상술한 승압 기체로는 He 가스가 이용되고 있는데, He 가스는 용해도가 낮기 때문에 기포의 발생이 억제되고 있다.
또한, 상기 설명에서는 공급 밸브(vsL, vsR)를 2개 설치하였으나, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 중 어느 한 쪽 또는 양쪽을 주배관(37)에 접속할 수만 있으 면 밸브의 수는 한 개라도 3개 이상이라도 상관없다.
마찬가지로, 리턴 밸브(vrL, vrR)도 2개로 한정되는 것이 아니라, 제 1, 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 중 어느 한 쪽 또는 양쪽을 리턴 배관(38)에 접속할 수만 있으면 밸브의 수는 상관없다.
또한, 도 6에 나타내는 바와 같이, 기체 혼입이 없는 펌프(54a~54c)를, 토출실(42a~42c)보다도 하류의 리턴 배관(38)과, 버퍼실(41a~41c)과 제 1 또는 제 2 순환 탱크(31L, 31R) 사이의 주배관(37) 사이에 접속하여, 토출실(42a~42c) 내를 흘러 토출실(42a~42c)로부터 배출된 분산액을 리턴 배관(38)으로부터 주배관(37)으로 복귀시킴으로써, 토출실(42a~42c)로부터 배출된 분산액을 버퍼 탱크(41a~41c)에 복귀시킬 수도 있다.
컬러 필터 형성용의 안료 분산 잉크, 스페이서 형성에 사용하는 스페이서 분산액, 도전체·유전체·반도체·발광 재료·전자 방출 재료 등의 각종 기능성 고체를 분산시킨 용액 등의 용액을 토출하는 도포 장치에 적용할 수 있다. 전면 도포용으로 이용할 수도 있고, 소정 개소에만 토출하여 패턴을 형성할 수도 있다.
스페이서를 토출하는 도포 장치의 경우, 액정 디스플레이의 컬러 필터 기판과 어레이 기판간에 스페이서를 배치하는 스페이서 토출 장치에도 이용할 수 있다.

Claims (11)

  1. 헤드 모듈과 기판을 상대적으로 이동시켜, 기판 상의 원하는 위치에 고체 미립자가 분산된 분산액을 착탄(着彈)시키는 도포 장치로서,
    상기 헤드 모듈의 외부에 배치된 제 1, 제 2 순환 탱크;
    상기 헤드 모듈에 설치된 버퍼 탱크;
    유입구가 상기 버퍼 탱크에 접속된 토출실;
    상기 제 1, 제 2 순환 탱크와 상기 버퍼 탱크 사이에 설치된 주배관;
    상기 토출실의 유출구와 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 사이에 설치된 리턴 배관;
    상기 주배관에 설치되며, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 중 적어도 한 쪽을 상기 버퍼 탱크에 접속시키는 공급 밸브; 및
    상기 리턴 배관에 설치되며, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 중 적어도 한 쪽을 상기 헤드 모듈에 접속시키는 리턴 밸브;를 가지고,
    상기 제 1, 제 2 순환 탱크와 상기 버퍼 탱크는 밀폐되어, 상기 각 탱크의 내부에 배치된 상기 분산액의 상부 공간의 압력이 제어 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 순환 탱크에 접속된 급배기 장치를 구비하여, 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 내의 상기 분산액 액면의 위쪽 공간에 대하여 가압 기체의 공급과 진공 배기가 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크에는 진공 펌프와 가스 공급계가 접속되어, 상기 버퍼 탱크 내의 상기 분산액 액면의 위쪽 공간의 압력을 제어할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 가스 공급계로부터 He가 공급되도록 구성된 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 순환 탱크 사이에는 이동용 배관이 설치되어, 상기 분산액이 상기 토출실을 지나지 않고 상기 제 1, 제 2 순환 탱크 사이를 이동 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 이동용 배관에 설치되어, 상기 고체 미립자의 단체(單體)는 통과시키고, 상기 고체 미립자의 응집체는 포집하는 응집체 분리용 필터를 갖는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 이동용 배관에 설치되어, 상기 고체 미립자의 단체를 포집하는 고체 미립자 제거용 필터를 갖는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    분산액이 순환 탱크로부터 토출실로 공급되는 배관의 적어도 일부는, 통액성을 갖지 않고 통기성을 가지며 상기 분산액이 통과하는 내관과, 통기성을 갖지 않고 상기 내관이 삽입된 외관의 이중 배관으로 구성되고, 상기 내관과 상기 외관 사이는 진공 배기 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  9. 제 1항에 기재된 도포 장치 내부의 순환액을 이동시키는 분산액 이동 방법으로서,
    상기 제 1, 제 2 순환 탱크 중 어느 한 쪽을 공급원으로 하고, 상기 공급 밸브를 열림 상태로 하여 상기 버퍼 탱크에 접속할 때,
    상기 공급원인 순환 탱크 내의 압력을 대기압 이하로 하면서, 상기 공급원의 순환 탱크로부터 상기 버퍼 탱크 내로 상기 분산액을 이동시키는 것을 특징으로 하는 분산액 이동 방법.
  10. 제 1항에 기재된 도포 장치 내부의 순환액을 이동시키는 분산액 이동 방법으로서,
    상기 제 1, 제 2 순환 탱크 중 어느 한 쪽을 회수처로 하고, 상기 리턴 밸브를 열림 상태로 하여 상기 토출실에 접속할 때,
    상기 회수처인 순환 탱크 내의 압력을 대기압보다도 낮게 하여, 상기 토출실 내의 상기 분산액을 상기 회수처인 순환 탱크로 이동시키는 것을 특징으로 하는 분산액 이동 방법.
  11. 제 1항에 기재된 도포 장치 내부의 순환액을 이동시키는 분산액 이동 방법으로서,
    상기 제 1, 제 2 순환 탱크 중 어느 한 쪽을 공급원으로 하고, 상기 공급 밸브를 열림 상태로 하여 상기 버퍼 탱크에 접속하고,
    다른 쪽을 회수처로 하고, 상기 리턴 밸브를 열림 상태로 하여 상기 토출실에 접속하여,
    상기 공급원인 순환 탱크 내의 상기 분산액을 상기 버퍼 탱크와 상기 토출실을 통과시켜 상기 회수처인 순환 탱크로 이동시키는 것을 특징으로 하는 분산액 이동 방법.
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