JP4828287B2 - 液滴吐出装置ならびにそれの運転方法 - Google Patents
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Description
前記塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部と、
前記タンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記タンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液供給循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液供給部から供給する洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記タンク内を減圧する圧力切替部とを備えるとともに、
前記カートリッジ部が前記塗布液供給循環部に対して交換できるように接続されており、
前記カートリッジ部に前記タンクを有するカートリッジが複数設けられ、各カートリッジが前記塗布液供給循環部に対して切り替え可能に並列に接続されていることを特徴とするものである。
前記塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部と、
前記タンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記タンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液供給循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液供給部から供給する洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記タンク内を減圧する圧力切替部とを備えるとともに、
前記カートリッジ部が前記塗布液供給循環部に対して交換できるように接続されており、
前記カートリッジ部が前記ヘッド部よりも高い位置に設置されて、
前記カートリッジ部が塗布液を前記ヘッド部に供給するメインタンクと、前記ヘッド部を通過した塗布液を戻すサブタンクを有し、
前記メインタンクとサブタンクは、前記塗布液供給循環部の移送用ポンプ付きタンク間移送管で接続されて、
前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記圧力切替部で前記サブタンクの内圧が前記メインタンクの内圧よりも低く維持されていることを特徴とするものである。
前記塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部と、
前記タンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記タンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液供給循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液供給部から供給する洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記タンク内を減圧する圧力切替部とを備えるとともに、
前記カートリッジ部が前記塗布液供給循環部に対して交換できるように接続されており、
前記ヘッド部に複数のヘッドが設けられて、それら複数のヘッドがヘッド接続管によって直列に接続されていることを特徴とするものである。
前記カートリッジ部が塗布液を前記ヘッド部に供給するメインタンクと、前記ヘッド部を通過した塗布液を戻すサブタンクを有し、
前記メインタンクとサブタンクは、前記塗布液供給循環部の移送用ポンプ付きタンク間移送管で接続されて、
前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記圧力切替部で前記サブタンクの内圧が前記メインタンクの内圧よりも低く維持されていることを特徴とするものである。
前記塗布液を収容するメインタンクと前記ヘッド部を通過した塗布液を戻すサブタンクを有し、前記サブタンクからメインタンクに塗布液を移送できるようにサブタンクとメインタンクが接続されたカートリッジ部と、
前記メインタンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記メインタンク内ならびにサブタンク内を減圧するように圧力を切り替える圧力切替部とを備え、
前記圧力切替部で前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧することにより、前記洗浄液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した洗浄液を塗布液供給循環部を経て前記廃液排出部に流して、前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に内在している空気を洗浄液に置換する空気・洗浄液置換工程と、
その空気・洗浄液置換工程の後に、前記圧力切替部で前記メインタンク内を加圧して、塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を塗布液供給循環部を経て前記廃液排出部に流して、前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に内在している洗浄液を塗布液に置換する洗浄液・塗布液置換工程と、
その洗浄液・塗布液置換工程の後に、前記圧力切替部で前記メインタンク内ならびにサブタンク内を減圧にして、前記メインタンク内の塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すとともに、その塗布液の循環中に塗布液を前記ヘッド部から液滴として被着体に吐出する塗布液供給循環工程と
を実施することを特徴とするものである。
前記塗布液供給循環工程時に前記圧力切替部で前記サブタンクの内圧が前記メインタンクの内圧よりも低く維持されていることを特徴とするものである。
前記塗布液を収容するメインタンクと前記ヘッド部を通過した塗布液を戻すサブタンクを有し、前記サブタンクからメインタンクに塗布液を移送できるようにサブタンクとメインタンクが接続されたカートリッジ部と、
前記メインタンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液供給循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記メインタンク内ならびにサブタンク内を減圧するように圧力を切り替える圧力切替部とを備えるとともに、
前記カートリッジ部が前記メインタンクとサブタンクを有する第1カートリッジと前記メインタンクとサブタンクを有する第2カートリッジとを少なくとも備えて、前記第1カートリッジと第2カートリッジが前記塗布液供給循環部に対して切り替えできるようにサブタンクとメインタンクが接続されており、
前記第1カートリッジと第2カートリッジに収容されている前記塗布液の組成が同じ場合に、
前記第1カートリッジを前記塗布液供給循環部に接続して、前記圧力切替部で前記第1カートリッジのメインタンク内ならびにサブタンク内を減圧にして、前記メインタンク内の塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すとともに、その塗布液の循環中に塗布液を前記ヘッド部から液滴として被着体に吐出する塗布液供給循環工程と、
その塗布液供給循環工程の途中で前記第1カートリッジ側の塗布液量が少なくなると、前記塗布液供給循環部による第1カートリッジからの塗布液の供給循環を停止する停止工程と、
その停止工程後に、前記塗布液供給循環部の接続を前記第1カートリッジから前記第2カートリッジに切り替える切替工程と、
その切替工程後に、前記圧力切替部で前記第2カートリッジのメインタンク内ならびにサブタンク内を減圧にして、前記メインタンク内の塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すとともに、その塗布液の循環中に塗布液を前記ヘッド部から液滴として被着体に吐出する塗布液供給循環工程を引き続いて実施することを特徴とするものである。
前記塗布液を収容するメインタンクと前記ヘッド部を通過した塗布液を戻すサブタンクを有し、前記サブタンクからメインタンクに塗布液を移送できるようにサブタンクとメインタンクが接続されたカートリッジ部と、
前記メインタンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液供給循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記メインタンク内ならびにサブタンク内を減圧するように圧力を切り替える圧力切替部とを備えるとともに、
前記カートリッジ部が前記メインタンクとサブタンクを有する第1カートリッジと前記メインタンクとサブタンクを有する第2カートリッジとを少なくとも備えて、前記第1カートリッジと第2カートリッジが前記塗布液供給循環部に対して切り替えできるようにサブタンクとメインタンクが接続されており、
前記第1カートリッジと第2カートリッジに収容されている前記塗布液の組成が異なる場合に、
前記第1カートリッジを前記塗布液供給循環部に接続して、前記圧力切替部で前記第1カートリッジのメインタンク内ならびにサブタンク内を減圧にして、前記メインタンク内の塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すとともに、その塗布液の循環中に塗布液を前記ヘッド部から液滴として被着体に吐出する塗布液供給循環工程と、
その塗布液供給循環工程の途中で前記第1カートリッジ側の塗布液量が少なくなると、前記塗布液供給循環部による第1カートリッジからの塗布液の供給循環を停止する停止工程と、
その停止工程後に、前記塗布液供給循環部の接続を前記第1カートリッジから前記第2カートリッジに切り替える切替工程と、
その切替工程後に、前記圧力切替部で加圧ガスを前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通して、前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に内在している塗布液を排出する塗布液排出工程と、
その塗布液排出工程の後に、前記圧力切替部で前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧することにより、前記洗浄液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した洗浄液を前記廃液排出部に排出して、前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部を洗浄する洗浄工程と、
その洗浄工程後に、前記圧力切替部で前記第2カートリッジのメインタンク内ならびにサブタンク内を減圧にして、前記メインタンク内の新たな塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すとともに、その塗布液の循環中に塗布液を前記ヘッド部から液滴として被着体に吐出する新たな塗布液塗布液供給循環工程と
を実施することを特徴とするものである。
第1カートリッジ5aを液滴吐出装置に装着した状態では、塗布液供給管20、各ヘッド24a〜24d、ヘッド接続管39ならびに塗布液回収管22内などには空気が存在しているから、この空気を排除するためまず空気を洗浄液30と置換する。
前述のようにカートリッジ部3はヘッド部4よりも高い位置に設置しており、両者の間に水頭差が生じている。本発明はこの水頭差を利用して、塗布液26を記録ヘッド4から吐出しているときも常に塗布液26を前記循環経路を通して循環させて、塗布液成分の沈降、本実施形態ではスペーサ粒子の沈降を抑制するものである。
次に第1カートリッジ5aから第2カートリッジ5bへの切替操作について説明する。第1カートリッジ5a側におけるメインタンク6の液面が所定の位置よりも下がったことを液面センサ25で検出すると、第1カートリッジ5a側の塗布液26が消費したと判断する。
これらの図に示すように、塗布ステージ51上には2本平行に延びたX軸リニアレール52が敷設、固定され、その上に2つのX軸リニアガイド53が取り付けられている。X軸リニアガイド53の上にステージベース54を介してテーブル55が固定されている。
Claims (10)
- 塗布液を収容したタンクを有するカートリッジ部と、
前記塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部と、
前記タンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記タンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液供給循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液供給部から供給する洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記タンク内を減圧する圧力切替部とを備えるとともに、
前記カートリッジ部が前記塗布液供給循環部に対して交換できるように接続されており、
前記カートリッジ部に前記タンクを有するカートリッジが複数設けられ、各カートリッジが前記塗布液供給循環部に対して切り替え可能に並列に接続されていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 塗布液を収容したタンクを有するカートリッジ部と、
前記塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部と、
前記タンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記タンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液供給循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液供給部から供給する洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記タンク内を減圧する圧力切替部とを備えるとともに、
前記カートリッジ部が前記塗布液供給循環部に対して交換できるように接続されており、
前記カートリッジ部が前記ヘッド部よりも高い位置に設置されて、
前記カートリッジ部が塗布液を前記ヘッド部に供給するメインタンクと、前記ヘッド部を通過した塗布液を戻すサブタンクを有し、
前記メインタンクとサブタンクは、前記塗布液供給循環部の移送用ポンプ付きタンク間移送管で接続されて、
前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記圧力切替部で前記サブタンクの内圧が前記メインタンクの内圧よりも低く維持されていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 塗布液を収容したタンクを有するカートリッジ部と、
前記塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部と、
前記タンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記タンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液供給循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液供給部から供給する洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記タンク内を減圧する圧力切替部とを備えるとともに、
前記カートリッジ部が前記塗布液供給循環部に対して交換できるように接続されており、
前記ヘッド部に複数のヘッドが設けられて、それら複数のヘッドがヘッド接続管によって直列に接続されていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1記載の液滴吐出装置において、前記カートリッジ部が前記ヘッド部よりも高い位置に設置されて、
前記カートリッジ部が塗布液を前記ヘッド部に供給するメインタンクと、前記ヘッド部を通過した塗布液を戻すサブタンクを有し、
前記メインタンクとサブタンクは、前記塗布液供給循環部の移送用ポンプ付きタンク間移送管で接続されて、
前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記圧力切替部で前記サブタンクの内圧が前記メインタンクの内圧よりも低く維持されていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項記載の液滴吐出装置において、前記塗布液が固体粒子を混合、分散した塗布液であることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項5記載の液滴吐出装置において、前記被着体が液晶用基板であって、前記固体粒子が2枚の液晶用基板の隙間を保持するスペーサであることを特徴とする液滴吐出装置。
- 塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部と、
前記塗布液を収容するメインタンクと前記ヘッド部を通過した塗布液を戻すサブタンクを有し、前記サブタンクからメインタンクに塗布液を移送できるようにサブタンクとメインタンクが接続されたカートリッジ部と、
前記メインタンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記メインタンク内ならびにサブタンク内を減圧するように圧力を切り替える圧力切替部とを備え、
前記圧力切替部で前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧することにより、前記洗浄液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した洗浄液を塗布液供給循環部を経て前記廃液排出部に流して、前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に内在している空気を洗浄液に置換する空気・洗浄液置換工程と、
その空気・洗浄液置換工程の後に、前記圧力切替部で前記メインタンク内を加圧して、塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を塗布液供給循環部を経て前記廃液排出部に流して、前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に内在している洗浄液を塗布液に置換する洗浄液・塗布液置換工程と、
その洗浄液・塗布液置換工程の後に、前記圧力切替部で前記メインタンク内ならびにサブタンク内を減圧にして、前記メインタンク内の塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すとともに、その塗布液の循環中に塗布液を前記ヘッド部から液滴として被着体に吐出する塗布液供給循環工程と
を実施することを特徴とする液滴吐出装置の運転方法。 - 請求項7記載の液滴吐出装置の運転方法において、前記カートリッジ部が前記ヘッド部よりも高い位置に設置されて、
前記塗布液供給循環工程時に前記圧力切替部で前記サブタンクの内圧が前記メインタンクの内圧よりも低く維持されていることを特徴とする液滴吐出装置の運転方法。 - 塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部と、
前記塗布液を収容するメインタンクと前記ヘッド部を通過した塗布液を戻すサブタンクを有し、前記サブタンクからメインタンクに塗布液を移送できるようにサブタンクとメインタンクが接続されたカートリッジ部と、
前記メインタンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液供給循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記メインタンク内ならびにサブタンク内を減圧するように圧力を切り替える圧力切替部とを備えるとともに、
前記カートリッジ部が前記メインタンクとサブタンクを有する第1カートリッジと前記メインタンクとサブタンクを有する第2カートリッジとを少なくとも備えて、前記第1カートリッジと第2カートリッジが前記塗布液供給循環部に対して切り替えできるようにサブタンクとメインタンクが接続されており、
前記第1カートリッジと第2カートリッジに収容されている前記塗布液の組成が同じ場合に、
前記第1カートリッジを前記塗布液供給循環部に接続して、前記圧力切替部で前記第1カートリッジのメインタンク内ならびにサブタンク内を減圧にして、前記メインタンク内の塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すとともに、その塗布液の循環中に塗布液を前記ヘッド部から液滴として被着体に吐出する塗布液供給循環工程と、
その塗布液供給循環工程の途中で前記第1カートリッジ側の塗布液量が少なくなると、前記塗布液供給循環部による第1カートリッジからの塗布液の供給循環を停止する停止工程と、
その停止工程後に、前記塗布液供給循環部の接続を前記第1カートリッジから前記第2カートリッジに切り替える切替工程と、
その切替工程後に、前記圧力切替部で前記第2カートリッジのメインタンク内ならびにサブタンク内を減圧にして、前記メインタンク内の塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すとともに、その塗布液の循環中に塗布液を前記ヘッド部から液滴として被着体に吐出する塗布液供給循環工程を引き続いて実施することを特徴とする液滴吐出装置の運転方法。 - 塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部と、
前記塗布液を収容するメインタンクと前記ヘッド部を通過した塗布液を戻すサブタンクを有し、前記サブタンクからメインタンクに塗布液を移送できるようにサブタンクとメインタンクが接続されたカートリッジ部と、
前記メインタンクにある塗布液を前記ヘッド部に供給して、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すことにより塗布液を循環する塗布液供給循環部と、
前記塗布液供給循環部を介して洗浄液を前記ヘッド部に供給する洗浄液供給部と、
前記塗布液供給循環部の一部から廃液を排出する廃液排出部と、
前記洗浄液で前記塗布液供給循環部ならびに前記ヘッド部を洗浄する際に前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、前記塗布液供給循環部により塗布液を循環する際に前記メインタンク内ならびにサブタンク内を減圧するように圧力を切り替える圧力切替部とを備えるとともに、
前記カートリッジ部が前記メインタンクとサブタンクを有する第1カートリッジと前記メインタンクとサブタンクを有する第2カートリッジとを少なくとも備えて、前記第1カートリッジと第2カートリッジが前記塗布液供給循環部に対して切り替えできるようにサブタンクとメインタンクが接続されており、
前記第1カートリッジと第2カートリッジに収容されている前記塗布液の組成が異なる場合に、
前記第1カートリッジを前記塗布液供給循環部に接続して、前記圧力切替部で前記第1カートリッジのメインタンク内ならびにサブタンク内を減圧にして、前記メインタンク内の塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すとともに、その塗布液の循環中に塗布液を前記ヘッド部から液滴として被着体に吐出する塗布液供給循環工程と、
その塗布液供給循環工程の途中で前記第1カートリッジ側の塗布液量が少なくなると、前記塗布液供給循環部による第1カートリッジからの塗布液の供給循環を停止する停止工程と、
その停止工程後に、前記塗布液供給循環部の接続を前記第1カートリッジから前記第2カートリッジに切り替える切替工程と、
その切替工程後に、前記圧力切替部で加圧ガスを前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通して、前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に内在している塗布液を排出する塗布液排出工程と、
その塗布液排出工程の後に、前記圧力切替部で前記洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧することにより、前記洗浄液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した洗浄液を前記廃液排出部に排出して、前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部を洗浄する洗浄工程と、
その洗浄工程後に、前記圧力切替部で前記第2カートリッジのメインタンク内ならびにサブタンク内を減圧にして、前記メインタンク内の新たな塗布液を前記塗布液供給循環部から前記ヘッド部に通し、そのヘッド部を通過した塗布液を前記サブタンクに戻すとともに、その塗布液の循環中に塗布液を前記ヘッド部から液滴として被着体に吐出する新たな塗布液塗布液供給循環工程と
を実施することを特徴とする液滴吐出装置の運転方法。
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