JP2009202126A - インクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法 - Google Patents
インクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009202126A JP2009202126A JP2008048942A JP2008048942A JP2009202126A JP 2009202126 A JP2009202126 A JP 2009202126A JP 2008048942 A JP2008048942 A JP 2008048942A JP 2008048942 A JP2008048942 A JP 2008048942A JP 2009202126 A JP2009202126 A JP 2009202126A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- liquid
- head
- flow path
- ink jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
【課題】沈降や凝集しやすい粒子を成分とする塗布液を使用した場合においても、ヘッド内の洗浄を確実に行う方法を提供する。
【解決手段】洗浄液をヘッドの塗布液供給口から流入し、塗布液流路を通してオリフィスの開口部から排出させる際に、塗布液を液滴として被着体上に吐出するための圧力発生手段を用いて、前記洗浄液に超音波振動を与える。
【選択図】図1
【解決手段】洗浄液をヘッドの塗布液供給口から流入し、塗布液流路を通してオリフィスの開口部から排出させる際に、塗布液を液滴として被着体上に吐出するための圧力発生手段を用いて、前記洗浄液に超音波振動を与える。
【選択図】図1
Description
本発明は、液滴を吐出するインクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法に係り、特にビーズなどの固体微粒子を混合、分散した塗布液を用いたインクジェット式液滴吐出装置に好適な洗浄方法に関するものである。
液晶表示装置などでは、2枚の液晶基板の隙間を一定に維持するために、微粒子状のスペーサを前記液晶基板の間に配置している。従来、スプレー式散布装置などを用いてスペーサを液晶基板上に散布していたが、この方法ではスペーサが不均一に散布され易く、液晶基板の間隔が一定に維持できなかったり、スペーサが多数個かたまったりして、表示品質の低下を招いていた。
このような欠点を解消するため、近年、インクジェット方式を応用した液滴吐出方法が開発され、多数の提案がなされている。この液滴吐出法によれば、所定の位置にスペーサを配置することができ、また多数のオリフィスを有する吐出ヘッドを用いれば、多数の指定位置に同時にスペーサを配置することができ、生産効率を高めることができるなどの特長を有している。
このインクジェット方式を用いた液滴吐出方法を用いた場合、インクの貯蔵タンクからインクジェットヘッドに至るインクの供給路の長さが一般に1〜10mと長いために、供給されるインク中の固体微粒子がインクの貯蔵タンクからヘッドへ到達するまでの間に沈降・凝集等を起こし、インクの供給路の内壁に付着してインクの供給路を汚染したり、インクの塊となってノズル内に留まって、目詰まりを発生させたり、インクの安定吐出を阻害したりするといった問題が見られることがあった。そのような問題に対処するために、定期的に或いは問題発生時にインクジェットヘッドを洗浄することが必要となる。
このインクジェットヘッドを洗浄する方法としては、洗浄液を加圧によって流路に通し、洗浄液とともにインク及び凝集物、付着物をヘッド外に押し出す方法が一般的である。より効果的に洗浄する方法としては、インクジェットヘッドをノズルが下向きになるように、治具を介しインク供給口側にチューブが来るよう配置し、洗浄液容器を超音波洗浄機内に入れ、超音波をかけながら送液ポンプより、洗浄液容器内の洗浄液を、インクジェットヘッドの内部を通過させ、廃液容器へと送液を行いながら洗浄する方法がある。(例えば、特許文献1参照)
また、インクジェットヘッド内のインクを排出させる際、インクを吐出させるためにエネルギーを発生するエネルギー発生手段の駆動力が連続的に変化するよう駆動電圧或いはパルス幅を変化させながらエネルギー発生手段を駆動させる方法もある。(例えば、特許文献2参照)
特許第3179332号公報
特許第2659955号公報
また、インクジェットヘッド内のインクを排出させる際、インクを吐出させるためにエネルギーを発生するエネルギー発生手段の駆動力が連続的に変化するよう駆動電圧或いはパルス幅を変化させながらエネルギー発生手段を駆動させる方法もある。(例えば、特許文献2参照)
しかし、洗浄液を加圧によって流路に通す一般的な方法では、流路に流速の遅い領域が存在するヘッドの場合、流速の遅いよどみ部分に凝集物や付着物が残り、これを除去するためには多量の洗浄液と時間を必要とし、付着の程度によってはいくら行っても除去できない。超音波洗浄機を用いる方法では、超音波洗浄機を用意するということでコストの増加につながり、超音波洗浄機を設置する場所を確保する必要があるため装置の大型化を招いてしまう。また、エネルギー発生手段の駆動力を連続的に変化させる方法は、気泡の除去には効果があるが、強固に流路に付着したものへの効果は薄く、また、流路から剥された凝集物の大きいものはノズル付近に留まりかえってノズル詰りを引き起こしてしまう可能性もある。
本発明は、このような問題点を解決するもので、その目的とするところは、設備を追加することによってコストの増加や装置の大型化を招くことなく、また、固体微粒子の凝集物といった塊も確実に分散・除去できるインクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明の第1の手段は、塗布液を収容する圧力室と、その圧力室に連通したオリフィスと、吐出駆動パルス信号の印加により作動して前記圧力室の容積を膨張・収縮させ、前記オリフィスから前記塗布液を液滴として被着体上に吐出する圧力発生手段とを備えたインクジェットヘッドを用いて前記塗布液を前記被着体上に塗布するインクジェット式液滴吐出装置において、前記インクジェットヘッド内のインク流路に洗浄液を通して前記インク流路内を洗浄する際に前記圧力発生手段を用いて超音波振動を加える手段を有することを特徴とする。
本発明の第2の手段は、前記第1の手段において、前記吐出装置流路及び前記インクジェットヘッド内共通液流路の洗浄と前記インクジェットヘッド内の洗浄、前記吐出装置流路及び前記インクジェットヘッド内共通液流路の洗浄液の廃棄と前記インクジェットヘッド内の洗浄液の廃棄、を交互に複数回行うことを特徴とする。
本発明の第3の手段は、前記第1ないし第2の手段において、前記圧力発生手段に用いる駆動波形信号は、前記塗布液を吐出させる際に用いる吐出駆動波形信号の波形と同じで、電圧値を前記圧力発生手段に印加可能な最大値とし、波形周期を超音波振動の領域で行うことを特徴とする。
本発明の第4の手段は、前記第1ないし第2の手段において、前記塗布液が固体微粒子を混合、分散していることを特徴とする。
本発明の第5の手段は、前記第4の手段において、前記被着体が液晶基板であって、前記固体微粒子が2枚の前記液晶基板の隙間を維持するためのスペーサ微粒子であることを特徴とする。
本発明は前述のような構成になっており、超音波振動の発生は塗布液を吐出させる圧力発生手段を用いているので、新たな装置を追加する必要が無く、また、超音波振動を印加することにより凝集物の分散を行うので、流路の付着物が剥離した後にそれが凝集物としてノズルの目詰りを起こしてしまうという問題が発生することもない。
本発明の実施形態を図と共に説明する。図4ならびに図5は、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置本体の正面図ならびに側面図である。
これらの図に示すように、塗布ステージ51上には2本平行に延びたX軸リニアレール52が敷設、固定され、その上に2つのX軸リニアガイド53が取り付けられている。X軸リニアガイド53の上にステージベース54を介してテーブル55が固定されている。
テーブル55上には、スペーサ微粒子(ビーズ)を塗布する液晶用基板48が画素面を上にして載置され、例えば空気吸引機構などの位置決め手段(図示せず)によってテーブル55上の所定位置に固定されている。
塗布ステージ51の左右両側面から上方に向けて支柱56,56が延びており、支柱56,56の上端部にガイド支持部材57が架設されている。ガイド支持部材57の前面に2本の平行に延びたY軸リニアガイド58が水平方向に固定されて、そのY軸リニアガイド58にY軸ベース59が摺動可能に支持されている。さらにY軸ベース59上に、垂直方向に延びるZ軸ベース60が固定され、Z軸ベース60上にZ軸リニアガイド61(図4参照)が摺動可能に支持されている。
前記Y軸ベース59ならびにZ軸ベース60上には、図5に示すように塗布液吐出機構62が搭載されている。この塗布液吐出機構62中の塗布液供給ボックス63はY軸ベース59上に搭載され、塗布液供給ボックス63は図4に示すように塗布液循環供給部2とカートリッジ部3とを有している。一方、塗布液吐出機構62中のヘッド部4は、ヘッドブロック64を介して前記Z軸リニアガイド61(Z軸ベース60)上に搭載されている。
前記液晶用基板48を搭載したテーブル55は、モータ(図示せず)を駆動源として前記X軸リニアレール52上を往復移動する。前記Z軸ベース60を搭載したY軸ベース59は、モータ(図示せず)を駆動源として前記Y軸リニアガイド58上を往復移動する。また前記ヘッド部4を搭載したZ軸リニアガイド61は、モータ(図示せず)を駆動源として前記Z軸ベース60上を往復移動する。
ヘッド部4と液晶用基板48との距離は、Z軸ベース60上でのZ軸リニアガイド61の位置調整により適正に設定される。そして液晶用基板48を搭載したテーブル55が往復移動する間に、初期に設定された吐出タイミングによりヘッド部4から塗布液が液滴となって液晶用基板48の所定位置に吐出され、着弾した液滴内には所定個数のスペーサ微粒子が含まれている。
液晶用基板48の往復移動により必要個所に液滴が着弾されると、塗布液吐出機構62はY軸上を次の塗布領域まで移動する。これらの動作の繰り返しにより、液晶用基板48の全面にスペーサ微粒子を含有した液滴が着弾されて、スペーサ微粒子の接着が行なわれてから、液晶表示装置の次の組立工程に搬送される。
ヘッド部4を洗浄する際には、図4に示すようにテーブル55が通過しない位置で廃液受け114の真上にヘッド部4が来る位置に塗布液吐出機構62を退避させる。そして、カートリッジ部3からヘッド部4へインクを供給する塗布液供給管中に設けた流路切替え部(図示せず)により、洗浄液タンク(図示せず)からの洗浄液をヘッド部4に送液する。ヘッド部4のオリフィスから排出された洗浄液は、廃液受け114で受けた後、配管を通して廃液タンク115に回収される。
図6ないし図8はオンデマンド型ヘッド部の詳細を示す図で、図6はヘッド部の分解斜視図、図7はヘッド部の組立後の断面図、図8は図7A−A線上の断面図である。
これらの図において符号71はオリフィス、72はオリフィスプレート、73は圧力室、74は圧力室プレート、75はリストリクタ、76はリストリクタプレート、77はダイヤフラム、78はフィルタ、79はダイヤフレームプレート、80は穴部、81はサポートプレート、82は共通液通路、83はハウジング、84は接着剤、85は圧電アクチュエータ、86は圧電振動子、87は外部電極、88は導電性接着剤、89は支持基板、90は個別電極、91は共通電極、92はスルーホール、93は液導入パイプである。
このオンデマンド型のヘッド部は図6に示すように、オリフィスプレート72、圧力室プレート74、リストリクタプレート76、ダイヤフレームプレート79、サポートプレート81、ハウジング83、圧電アクチュエータ85などから構成されている。
一列に多数のオリフィス71を形成したオリフィスプレート72は、ニッケル材の電鋳加工法、ステンレス鋼材などの精密プレス加工法またはレーザ加工法などによって製作される。圧力室プレート74には、前記オリフィス71に対応した個数の圧力室73が形成され、前記オリフィス71と連通している。リストリクタプレート76は図8に示すように共通液通路82と前記圧力室73を連通し、圧力室73への液流入量を制御するリストリクタ75が形成されている。圧力室プレート74とリストリクタプレート76は、ステンレス鋼材のエッチング加工法またはニッケル材の電鋳加工法などによって製作される。
ダイヤフレームプレート79には圧電振動子86の圧力を効率良く圧力室73に伝達するためのダイヤフラム77と、共通液通路82からリストリクタ75に流入する液中のゴミなどを除くフィルタ78が形成されている。ダイヤフレームプレート79は、ステンレス鋼材のエッチング加工法またはニッケル材の電鋳加工法などによって製作される。
サポートプレート81はダイヤフラム77と圧電振動子86を接着剤84で固定するとき、ダイヤフラム77の振動系固定端の位置を規制し、かつ接着個所からはみ出した接着剤がダイヤフラム77の上で広がるのを規制する穴部80が形成されている。サポートプレート81は、ステンレス鋼材のエッチング加工法またはニッケル材の電鋳加工法などによって製作される。金属または合成樹脂で製作されるハウジング83には共通液通路82が設けられており、この共通液通路82に図示しない塗布液供給管あるいはヘッド接続管が接続されている。
塗布液供給管あるいはヘッド接続管から供給された塗布液は、ヘッドの共通液通路82の途中でフィルタ78を通過して、リストリクタ75、圧力室73、オリフィス71へと順に流れる。個別電極90と共通電極91との間に所定のパルス電圧を印加することにより圧電振動子86が伸縮し、パルス電圧の印加を止めると圧電振動子86は伸縮前の状態に戻る。このような圧電振動子86の変形により圧力室73内の塗布液に瞬間的に圧力が加わり、オリフィス71から塗布液が液滴となって液晶用基板48上に着弾する。
図9は、ヘッドとスペーサを塗布した液晶用カラーフィルタ基板との関係を示す平面図である。同図に示すように液晶用カラーフィルタ基板48の表面には、R,G,Bの画素セル95が規則正しく形成されており、その液晶用カラーフィルタ基板48の遮光膜96の交叉部分に複数個のスペーサ97が塗布される。
同図に示すように、ヘッド24上にはオリフィス71がP1のピッチで形成されているのに対して、基板48上に接着されるスペーサ97のピッチP2は液晶表示装置の種類によって異なる。そのためヘッド24の傾斜角度θを調整して、ヘッド24による吐出間隔をスペーサ97のピッチP2に合わせている。
図5に示すようにヘッド部4は、液晶用基板48と対向するように下向きに配置されており、そのためオリフィス71が最下位置にあって、塗布液中のスペーサ微粒子は塗布液よりも比重が大きいから、吐出動作を行わない休止期間中にオリフィス71の開口部内にスペーサ微粒子の凝集物が集合し易い状態にあり、この凝集物により、目詰まりを発生させ、あるいは、インクの安定吐出を阻害させてしまう。
スペーサ粒子の径は、例えば、VA方式やTN方式のように液晶表示装置の種類などによって異なるが、通常、2μm〜5μm程度のものが用いられ、ヘッド24のオリフィスから吐出可能な径である。このスペーサ粒子は、有機液体、水あるいは有機液体と水との混合液などの分散液に、例えば0.5重量%〜20重量%程度の濃度で分散される。
本実施形態では、数種類の有機液体を混合して安定吐出が可能なように粘度を10mPa・s程度に調整した分散液を用い、これに直径が2.7μmのプラスチックビーズを2.3重量%分散させたものを塗布液として使用する。必要に応じてスペーサ粒子の分散性を良好に維持するための分散剤、あるいはスペーサ粒子を基板表面に接着する接着剤などを添加することもできる。
図1は、本発明の実施形態に係るインクジェット式液滴吐出装置の塗布液流路及び洗浄液流路の系統図である。インクはインクカートリッジ部3から液流通管101、102を通ってヘッド24に供給され、塗布に使用されなかったインクは液流通管103、104を通って塗布液循環供給部2に回収され、圧送ポンプ10で前記インクカートリッジ部2に戻される。液晶用基板48に塗布する場合には、上述のようにインクが循環されている状態で以下に示す処理を行う。画像展開メモリ(図示せず)で、塗布条件の設定に関するデータを元に画像展開を行い、オリフィスの配列に合わせてデータの並び替えを行う。並び替えられた塗布データは、オリフィス毎の塗布タイミング信号に同期してヘッドドライバ11に転送される。ヘッドドライバ11ではドライブ信号12を生成し、これをヘッド24に出力する。また、駆動波形生成回路13では、駆動波形生成信号に基いてヘッド24の圧力発生手段を駆動する駆動波形信号14を生成し、これをヘッド24に出力する。これらの出力により、図9に示すように、液晶用基板48の所定位置に液滴が着弾されることとなる。
ヘッド部4を洗浄する際には、まず、三方弁111の液流通管101側を閉じ(液流通管108側を開け)、二方弁113を閉じて、インクの循環を停止する。次に、二方弁112を開けて、液流通管内の液体は廃液タンク115に廃棄される流路を形成する。まず、三方弁110の空気流通管109側を開け(液流通管105側を閉じ)、圧縮空気により液流通管102,103内のインクを廃液として液流通管106を経由して廃液タンクに115に廃棄する。次に、三方弁110の空気流通管109側を閉じ(液流通管105側を開け)、空気加圧により洗浄液タンク内の洗浄液を加圧して、洗浄液を液流通管105、108、102を経由してヘッド24、液流通管103まで通過させた後、廃液として液流通管103を経由して廃液タンク115に廃棄することで、流路及びヘッド24内の共通液通路部を洗浄する。本実施形態では、洗浄液として、塗布液成分に含まれる有機液体を使用した。これは、洗浄液が流路中に排出しきれずにわずかに残ったとしても、塗布への影響を考慮しなくて済むためである。続いて、洗浄液タンク内の空気加圧は維持したまま、ニ方弁112を閉じてヘッド24のオリフィス穴から洗浄液を排出させる。このオリフィス穴からの洗浄液排出のタイミングにあわせてヘッド24の圧力発生手段を超音波駆動させるように、ヘッドドライバ11ではドライブ信号12を生成し、また、駆動波形生成回路13では駆動波形信号14を生成し、ヘッド24に出力する。このヘッド24の圧力発生手段に加える電圧は、ヘッドの破壊や寿命低下を招かない範囲で最大値とすることが望ましい。これにより、ヘッド内の洗浄液は超音波振動してヘッド24内を洗浄する。洗浄後の廃液は、廃液受け114で受けて液流通管107を経由して廃液タンク115に廃棄される。次に、三方弁110の空気流通管109側を開け(液流通管105側を閉じ)、ニ方弁112を開けて、流路及びヘッド内の共通液通路部の洗浄液を廃液として液流通管106を経由して廃液タンクに115に廃棄する。さらに、ニ方弁112を閉じてヘッド24に残る洗浄液をオリフィス穴から排出させる。以上の、流路及び共通液流路の洗浄とヘッド内の洗浄、流路及び共通液流路の洗浄液の廃棄とヘッド内の洗浄液の廃棄、を交互に複数回行うことにより、洗浄液の使用量を減らし、かつ確実に洗浄を行うことができる。
図2は、本発明の実施形態に係る駆動波形信号の周波数と廃液中に含まれる固体微粒子の数との関係を示す特性図である。洗浄液を加圧によりヘッド流路内に通すのみの一般的な方法によって洗浄を行った後、ヘッド24の圧力発生手段を用いた振動を加えながら洗浄液をヘッド流路内に通し、その際に発生した廃液から一滴取り、その中に含まれている固体微粒子の数を測定した。この測定される固体微粒子数が多いほど、一般的な洗浄のみでは取り除くことのできなかった固体微粒子を排出できたことになるので、洗浄効果が高いということを示している。この図から分かるように、周波数が30kHz付近での洗浄効果が高く、それより低い周波数や高い周波数では洗浄効果が得られなくなっていくことがわかる。
図3は、洗浄後のインクジェットヘッド内部の固体微粒子残留状況を示した写真である。
洗浄液による洗浄後、ヘッド24を分解し、オリフィスプレート72の流路面側のオリフィス71付近を観察した。超音波駆動なしは、洗浄液を加圧によりヘッド流路内に通すのみの一般的な方法によって洗浄を行った場合であり、超音波駆動ありは、ヘッド24の圧力発生手段を用いて30kHzの超音波振動を加えながら洗浄液をヘッド流路内に通して洗浄を行った場合である。この図から分かるように、超音波駆動なしでは、オリフィス付近にかなりの固体微粒子が残留しているが、超音波駆動ありでは固体微粒子の残留は見られなかった。
洗浄液による洗浄後、ヘッド24を分解し、オリフィスプレート72の流路面側のオリフィス71付近を観察した。超音波駆動なしは、洗浄液を加圧によりヘッド流路内に通すのみの一般的な方法によって洗浄を行った場合であり、超音波駆動ありは、ヘッド24の圧力発生手段を用いて30kHzの超音波振動を加えながら洗浄液をヘッド流路内に通して洗浄を行った場合である。この図から分かるように、超音波駆動なしでは、オリフィス付近にかなりの固体微粒子が残留しているが、超音波駆動ありでは固体微粒子の残留は見られなかった。
前記実施形態では液晶表示装置の製造の場合について説明したが本発明はこれに限定されるものではなく、例えばエレクトロルミネッセンスの製造、あるいは酸化チタン粒子を含有したインクを印刷するプリント配線基板の製造、沈降や凝集しやすい高濃度の電子部品用インクを使用して製造する積層セラミック電子部品や高周波電子部品の如き電子部品の製造など他の技術分野においても適用可能である。
また実施形態では固体微粒子を混合分散した塗布液を吐出する場合について説明したが本発明はこれに限定されるものではなく、例えばインクジェット記録装置などの固体微粒子を含有しない塗布液を吐出する場合にも適用可能である。
2:塗布液循環供給部、3:カートリッジ部、4:ヘッド部、11:ヘッドドライバ、12:ドライブ信号、13:駆動波形生成回路、14:駆動波形信号、24:吐出ヘッド、48:液晶用基板、51:塗布ステージ、52:X軸リニアレール、53:X軸リニアガイド、54:ステージベース、55:テーブル、56:支柱、57:ガイド支持部材、58:Y軸リニアガイド、59:Y軸ベース、60:Z軸ベース、61:Z軸リニアガイド、62:塗布液吐出機構、63:塗布液供給ボックス、64:ヘッドブロック、71:オリフィス、72:オリフィスプレート、73:圧力室、74:圧力室プレート、75:リストリクタ、76:リストリクタプレート、77:ダイヤフラム、78:フィルタ、79:ダイヤフレームプレート、80:穴部、81:サポートプレート、82:共通液通路、83:ハウジング、84:接着剤、85:圧電アクチュエータ、86:圧電振動子、87:外部電極、88:導電性接着剤、89:支持基板、90:個別電極、91:共通電極、92:スルーホール、93:液導入パイプ、95:画素セル、96:遮光膜、97:スペーサ、101,102,103,104,105,106,107,108:液流通管、109:空気流通管、110,111:三方弁、112,113:ニ方弁、114:廃液受け、115:廃液タンク、116:洗浄液タンク。
Claims (5)
- 塗布液を収容する圧力室と、その圧力室に連通したオリフィスと、吐出駆動波形信号の印加により作動して前記圧力室の容積を膨張・収縮させて、前記オリフィスから前記塗布液を液滴として被着体上に吐出する圧力発生手段とを備えたインクジェットヘッドを用いて前記塗布液を前記被着体上に塗布するインクジェット式液滴吐出装置において、
前記インクジェットヘッド内のインク流路に洗浄液を通して前記インク流路内を洗浄する際に、前記圧力発生手段を用いて超音波振動を加える手段を有することを特徴とするインクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法。 - 請求項1記載の洗浄方法において、前記吐出装置流路及び前記インクジェットヘッド内共通液流路の洗浄と前記インクジェットヘッド内の洗浄、前記吐出装置流路及び前記インクジェットヘッド内共通液流路の洗浄液の廃棄と前記インクジェットヘッド内の洗浄液の廃棄、を交互に複数回行うことを特徴とするインクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法。
- 請求項1ないし2のいずれか1項記載の洗浄方法において、前記圧力発生手段に用いる駆動波形信号は、前記塗布液を吐出させる際に用いる吐出駆動波形信号の波形と同じで、電圧値を前記圧力発生手段に印加可能な最大値とし、波形周期を超音波振動の領域で行うことを特徴とするインクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項記載の洗浄方法において、前記塗布液が固体微粒子を混合、分散していることを特徴とするインクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法。
- 請求項4記載の洗浄方法において、前記被着体が液晶基板であって、前記固体微粒子が2枚の前記液晶基板の隙間を維持するためのスペーサ微粒子であることを特徴とするインクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008048942A JP2009202126A (ja) | 2008-02-29 | 2008-02-29 | インクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008048942A JP2009202126A (ja) | 2008-02-29 | 2008-02-29 | インクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009202126A true JP2009202126A (ja) | 2009-09-10 |
Family
ID=41144924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008048942A Pending JP2009202126A (ja) | 2008-02-29 | 2008-02-29 | インクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009202126A (ja) |
-
2008
- 2008-02-29 JP JP2008048942A patent/JP2009202126A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100898921B1 (ko) | 액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 운전 방법 | |
TWI530326B (zh) | 液滴噴出裝置之控制方法、液滴噴出裝置 | |
JP7119479B2 (ja) | 液体噴射装置 | |
JP4710673B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
CN101049761A (zh) | 一种压电式喷墨打印机的打印头清洗方法及装置 | |
JP2007021760A (ja) | 薄膜形成装置 | |
JP5293179B2 (ja) | 液体塗布装置 | |
JP2003072104A (ja) | 吐出用ヘッドおよび吐出装置 | |
JP2009018587A (ja) | 吐出装置 | |
JP6707891B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 | |
JP6980991B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 | |
CN109895505B (zh) | 一种超声防堵塞的电喷印喷嘴装置及方法 | |
JP2008273144A (ja) | インクジェットヘッドのメンテナンス装置およびインクジェットヘッドのメンテナンス方法 | |
JP2009202126A (ja) | インクジェット式液滴吐出装置の洗浄方法 | |
KR100528585B1 (ko) | 제막 장치와 그 액상체 충전 방법 및 디바이스 제조방법과 디바이스 제조 장치 및 디바이스 | |
JP5286757B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
CN111267490A (zh) | 喷墨头、喷墨涂敷装置以及喷墨涂敷方法 | |
JP4455313B2 (ja) | 印刷装置 | |
JP5169120B2 (ja) | 液滴塗布装置 | |
JP4923690B2 (ja) | 液滴吐出方法 | |
JP2010000443A (ja) | 液滴吐出装置の吐出不良ノズル回復方法 | |
JP5307358B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP2016087822A (ja) | インクジェット装置とインクジェット方法 | |
KR101880219B1 (ko) | 노즐 세정 모듈 및 그를 구비한 노즐젯 시스템 | |
JP2009160558A (ja) | 液滴吐出装置 |