JP5307358B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
前記塗布ヘッドのノズル出口が開口しているノズル面を前記溶液の溶質を溶解する溶剤を収容する溶剤槽内の前記溶剤に浸漬させた状態で、しかも前記第一の開閉弁は開、前記第二の開閉弁は閉の状態で、前記複数のノズルのうち選択されたノズルに対応する前記圧電素子を、前記基板に対する溶液の塗布段階での周波数よりも高い周波数で駆動させる制御装置を有するようにしたものである。
前記塗布ヘッドのノズル出口が開口しているノズル面を、前記溶剤の溶質を溶解する溶剤に浸漬させ、この状態で、前記複数のノズルのうち選択されたノズルに対応する前記圧電素子を塗布段階での周波数よりも高い周波数で駆動するようにしたものである。
この検出の結果、不吐出が生じたノズルが有った場合に、前記塗布ヘッドのノズル出口が開口しているノズル面を前記溶剤に浸漬させた状態で、前記不吐出が生じたノズルに対応する前記圧電素子を塗布段階での周波数よりも高い周波数で駆動させるようにしたものである。
12A ノズル面
24 ノズル
25 圧電素子
41 ブレード(拭き取り手段)
50 ノズル内異物除去手段
51 溶剤槽
Claims (2)
- 水平に支持されるベースと、このベース上にて移動可能に配置され上面にて基板を保持する搬送テーブルと、この搬送テーブルの搬送経路に配置され、前記搬送テーブルに保持された前記基板に対し溶液を塗布する塗布ヘッドとを有し、前記塗布ヘッドは、複数のノズルと、これらのノズルにそれぞれ対応する圧電素子と、この圧電素子の駆動によって前記ノズルから吐出される前記溶液を溜める液室と、この液室に対して第一の開閉弁を介して前記溶液を供給する給液管、この液室に対して第二の開閉弁を介して前記溶液を回収する回収管とを備え、前記圧電素子の駆動により、前記塗布ヘッド内の溶液を前記ノズルから吐出させて前記基板に塗布する塗布装置において、
前記塗布ヘッドのノズル出口が開口しているノズル面を前記溶液の溶質を溶解する溶剤を収容する溶剤槽内の前記溶剤に浸漬させた状態で、しかも前記第一の開閉弁は開、前記第二の開閉弁は閉の状態で、前記複数のノズルのうち選択されたノズルに対応する前記圧電素子を、前記基板に対する溶液の塗布段階での周波数よりも高い周波数で駆動させる制御装置を有することを特徴とする塗布装置。 - 前記ノズルからの溶液の不吐出を検出する検出装置を更に有し、
前記制御装置は、検出装置による検出の結果、不吐出が生じたノズルが有ると判定した場合に、前記ノズル面を前記溶剤槽内の溶剤に浸漬させた状態で、前記不吐出が生じたノズルに対応する前記圧電素子を塗布段階での周波数よりも高い周波数で駆動させることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
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JP2007151914A JP5307358B2 (ja) | 2007-06-07 | 2007-06-07 | 塗布装置 |
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ID=40231485
Family Applications (1)
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