KR102408129B1 - 잉크젯 헤드 세정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템 - Google Patents

잉크젯 헤드 세정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템 Download PDF

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Abstract

미세 기포를 이용하여 노즐 내에 뭉쳐져 있는 잉크를 제거하는 잉크젯 헤드 세정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템을 제공한다. 상기 잉크젯 헤드 세정 장치는, 잉크를 저장하는 잉크 저장부; 노즐을 이용하여 잉크를 기판 상에 토출하는 잉크젯 헤드 유닛; 및 미세 기포를 생성하여 노즐로 제공하는 미세 기포 생성부를 포함하며, 미세 기포를 이용하여 노즐을 세정한다.

Description

잉크젯 헤드 세정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템 {Apparatus for cleaning inkjet head and system for treating substrate with the apparatus}
본 발명은 잉크젯 헤드를 이용하여 기판을 인쇄하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 잉크젯 헤드를 세정하는 장치를 구비하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display) 등의 디스플레이 장치를 제조하기 위해 투명 기판 상에 인쇄 공정(printing process)을 수행하는 경우, 잉크젯 헤드(inkjet head)를 구비하는 인쇄 장비가 사용될 수 있다.
한국공개특허 제10-2019-0118008호 (공개일: 2019.10.17.)
잉크젯 헤드는 기판을 인쇄하기 위해 기판 상에 잉크를 토출할 수 있다. 그런데 잉크의 내부에 포함된 나노 입자는 잉크젯 헤드의 노즐 내에서 잉크가 뭉치는 원인이 될 수 있다. 이러한 잉크의 뭉침 현상으로 인해 노즐이 막힐 수 있으며, 잉크의 미토출 및 오탄착이 유발될 수 있고, 픽셀 인쇄의 불량 원인으로 작용할 수 있다. 따라서 잉크젯 헤드의 노즐을 세정하는 것은 픽셀 프린팅에 있어서 매우 중요한 요인으로 작용할 수 있다.
잉크젯 헤드의 노즐을 세정하는 경우, 종래에는 잉크를 강한 압력으로 토출하여 노즐 내에 뭉쳐져 있는 잉크를 제거하였다. 그러나 이와 같은 방법은 세정 효과가 미비하며, 잉크의 소모량이 많은 문제점이 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 미세 기포를 이용하여 노즐 내에 뭉쳐져 있는 잉크를 제거하는 잉크젯 헤드 세정 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 미세 기포를 이용하여 노즐 내에 뭉쳐져 있는 잉크를 제거하는 잉크젯 헤드 세정 장치를 구비하는 기판 처리 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 잉크젯 헤드 세정 장치의 일 면(aspect)은, 잉크를 저장하는 잉크 저장부; 노즐을 이용하여 상기 잉크를 기판 상에 토출하는 잉크젯 헤드 유닛; 및 미세 기포를 생성하여 상기 노즐로 제공하는 미세 기포 생성부를 포함하며, 상기 미세 기포를 이용하여 상기 노즐을 세정한다.
상기 미세 기포 생성부는 상기 잉크가 상기 기판 상에 토출되지 않거나, 상기 잉크의 토출량이 기준량 이하인 경우, 상기 미세 기포를 생성하여 상기 노즐로 제공할 수 있다.
상기 미세 기포 생성부는 상기 잉크 저장부에서 상기 잉크젯 헤드 유닛으로 이동하는 상기 잉크에 경로를 제공하는 제1 유로에 연결되거나, 상기 잉크젯 헤드 유닛에서 상기 잉크 저장부로 이동하는 상기 잉크에 경로를 제공하는 제2 유로 및 상기 제1 유로에 각각 연결될 수 있다.
상기 잉크젯 헤드 세정 장치는, 상기 노즐을 세정하는 초음파 생성부를 더 포함할 수 있다.
상기 미세 기포 생성부는 상기 노즐의 일단부에 연결되고, 상기 초음파 생성부는 상기 노즐의 타단부에 연결될 수 있다.
상기 잉크젯 헤드 세정 장치는, 일단부가 상기 잉크 저장부에 연결되는 제1 배관; 일단부가 상기 잉크젯 헤드 유닛에 연결되고, 타단부가 상기 제1 배관과 결합되는 제2 배관; 및 일단부가 상기 미세 기포 생성부에 연결되고, 타단부가 상기 제1 배관 및 상기 제2 배관 중 어느 하나에 연결되는 제3 배관을 더 포함하며, 상기 제1 배관, 상기 제2 배관 및 상기 제3 배관은 Y자 형태로 형성되거나 T자 형태로 형성될 수 있다.
상기 잉크젯 헤드 세정 장치는, 상기 제1 배관 상에 설치되는 제1 밸브; 상기 제3 배관 상에 설치되는 제2 밸브; 및 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 개폐를 제어하는 제1 밸브 제어부를 더 포함하며, 상기 제1 밸브 제어부는 상기 미세 기포 생성부가 작동할 때 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 개폐를 제어할 수 있다.
상기 미세 기포 생성부는 솔벤트를 포함하는 세정액을 이용하여 상기 미세 기포를 생성할 수 있다.
상기 잉크 저장부는 상기 잉크가 상기 잉크젯 헤드 유닛으로부터 회귀할 때 상기 잉크와 함께 이동하는 상기 미세 기포를 제거할 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 시스템의 일 면은, 베이스; 상기 베이스 상에 설치되며, 기판을 지지하는 기판 지지 유닛; 잉크를 저장하는 잉크 저장부, 노즐을 이용하여 상기 잉크를 기판 상에 토출하는 잉크젯 헤드 유닛, 및 미세 기포를 생성하여 상기 노즐로 제공하는 미세 기포 생성부를 포함하며, 상기 미세 기포를 이용하여 상기 노즐을 세정하는 잉크젯 헤드 세정 장치; 및 상기 잉크가 상기 잉크젯 헤드 유닛으로 이동하거나 상기 잉크젯 헤드 유닛으로부터 회귀할 수 있도록 상기 잉크 저장부에 압력을 제공하는 펌핑부를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 일실시 형태에 따른 인쇄 장비의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다.
도 2는 일실시 형태에 따른 인쇄 장비의 개략적인 구조를 보여주는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 4는 도 3의 잉크젯 헤드 세정 장치를 구성하는 미세 기포 생성부의 역할을 설명하기 위한 예시도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제5 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 작동 방법을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 10은 본 발명의 제5 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 작동 방법을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명은 미세 기포(예를 들어, 마이크로 버블(micro bubble))를 이용하여 잉크젯 헤드의 노즐 내에 뭉쳐져 있는 잉크를 제거하는 잉크젯 헤드 세정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다. 이하에서는 도면 등을 참조하여 본 발명을 자세하게 설명하기로 한다.
도 1은 일실시 형태에 따른 인쇄 장비의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다. 그리고 도 2는 일실시 형태에 따른 인쇄 장비의 개략적인 구조를 보여주는 평면도이다.
도 1 및 도 2에 따르면, 인쇄 장비(100)는 베이스(110), 기판 지지 유닛(120), 갠트리 유닛(130), 갠트리 이동 유닛(140), 잉크젯 헤드 유닛(150), 헤드 이동 유닛(160), 액적 토출량 측정 유닛(170) 및 노즐 검사 유닛(180)을 포함하여 구성될 수 있다.
베이스(110)는 일정한 두께를 가지는 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 베이스(110)의 상면에는 기판 지지 유닛(120)이 배치된다.
기판 지지 유닛(120)은 기판(S)이 놓이는 지지판(121)을 가진다. 지지판(121)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(121)의 하면에는 회전 구동 부재(122)가 연결된다. 회전 구동 부재(122)는 회전 모터일 수 있다. 회전 구동 부재(122)는 지지판(121)에 수직한 회전 중심축을 중심으로 지지판(121)을 회전시킨다.
지지판(121)이 회전 구동 부재(122)에 의해 회전되면, 기판(S)은 지지판(121)의 회전에 의해 회전될 수 있다. 액적이 도포될 기판(S)에 형성된 셀의 장변 방향이 제2 방향(20)을 향하는 경우, 회전 구동 부재(122)는 셀의 장변 방향이 제1 방향(10)을 향하도록 기판을 회전시킬 수 있다.
지지판(121)과 회전 구동 부재(122)는 직선 구동 부재(123)에 의해 제1 방향(10)으로 직선 이동될 수 있다. 직선 구동 부재(123)는 슬라이더(124)와 가이드 부재(125)를 포함한다. 회전 구동 부재(122)는 슬라이더(124)의 상면에 설치된다.
가이드 부재(125)는 베이스(110)의 상면 중심부에 제1 방향(10)으로 길게 연장된다. 슬라이더(124)에는 리니어 모터(미도시)가 내장될 수 있으며, 슬라이더(124)는 리니어 모터(미도시)에 의해 가이드 부재(125)를 따라 제1 방향(10)으로 직선 이동된다.
갠트리 유닛(130)은 지지판(121)이 이동되는 경로의 상부에 제공된다. 갠트리 유닛(130)은 베이스(110)의 상면으로부터 상측 방향으로 이격 배치되며, 갠트리 유닛(130)은 길이 방향이 제2 방향(20)을 향하도록 배치된다.
갠트리 이동 유닛(140)은 갠트리 유닛(130)을 제1 방향(10)으로 직선 이동시킨다. 갠트리 이동 유닛(140)은 제1 이동 유닛(141)과 제2 이동 유닛(142)을 포함한다.
제1 이동 유닛(141)은 갠트리 유닛(130)의 일단에 제공되고, 제2 이동 유닛(142)은 갠트리 유닛(130)의 타단에 제공된다. 제1 이동 유닛(141)은 베이스(110)의 일측에 제공된 가이드 레일(221)을 따라 슬라이딩 이동하고, 제2 이동 유닛(142)은 베이스(110)의 타측에 제공된 가이드 레일(222)을 따라 슬라이딩 이동하며 갠트리 유닛(130)를 제1 방향(10)으로 직선 이동시킨다.
잉크젯 헤드 유닛(150)은 헤드 이동 유닛(160)에 의해 갠트리 유닛(130)에 결합된다. 잉크젯 헤드 유닛(150)은 헤드 이동 유닛(160)에 의해 갠트리 유닛(130)의 길이 방향, 즉 제2 방향(20)으로 직선 이동할 수 있으며, 제3 방향(30)으로 직선 이동할 수도 있다. 또한 잉크젯 헤드 유닛(150)은 헤드 이동 유닛(160)에 대해 제3 방향(30)에 나란한 축을 중심으로 회전할 수 있다.
잉크젯 헤드 유닛(150)은 기판(S)에 액적을 토출한다. 잉크젯 헤드 유닛(150)은 복수 개 제공될 수 있다. 잉크젯 헤드 유닛(150)은 예를 들어, 제1 헤드 유닛(151), 제2 헤드 유닛(152), 제3 헤드 유닛(153) 등 세 개 제공될 수 있다. 복수 개의 잉크젯 헤드 유닛(150)은 제2 방향(20)으로 일렬로 나란하게 갠트리 유닛(130)에 결합된다.
잉크젯 헤드 유닛(150)은 액적을 토출하는 복수 개의 노즐(미도시) 및 복수 개의 노즐이 형성되어 있는 노즐 플레이트(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다. 잉크젯 헤드 유닛(150)에는 예를 들어, 128개의 노즐 또는 256개의 노즐이 제공될 수 있다.
잉크젯 헤드 유닛(150)에는 복수 개의 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 제공될 수 있다. 복수 개의 노즐의 액적 토출량은 압전 소자에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
헤드 이동 유닛(160)은 잉크젯 헤드 유닛(150)에 각각 제공될 수 있다. 본 실시예의 경우, 세 개의 잉크젯 헤드 유닛(151, 152, 153)이 제공된 예를 들어 설명하고 있으므로, 헤드 이동 유닛(160) 또한 헤드의 수에 대응하도록 세 개가 제공될 수 있다. 이와 달리 헤드 이동 유닛(160)은 단일 개 제공될 수 있으며, 이 경우 잉크젯 헤드 유닛(150)은 개별 이동이 아니라 일체로 이동될 수 있다.
액적 토출량 측정 유닛(170)은 잉크젯 헤드 유닛(150)의 액적 토출량을 측정한다. 액적 토출량 측정 유닛(170)은 베이스(110) 상의 기판 지지 유닛(120)의 일측에 배치될 수 있다.
액적 토출량 측정 유닛(170)은 잉크젯 헤드 유닛(150)마다 전체 노즐로부터 토출되는 액적량을 측정한다. 잉크젯 헤드 유닛(150)의 액적 토출량 측정을 통해, 잉크젯 헤드 유닛(150)의 전체 노즐의 이상 유무를 거시적으로 확인할 수 있다. 즉, 잉크젯 헤드 유닛(150)의 액적 토출량이 기준치를 벗어나면, 잉크젯 헤드 유닛(150) 중 적어도 하나에 이상이 있음을 알 수 있다.
잉크젯 헤드 유닛(150)은 갠트리 이동 유닛(140)과 헤드 이동 유닛(160)에 의해 제1 방향(10)과 제2 방향(20)으로 이동되어 액적 토출량 측정 유닛(170)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(160)은 잉크젯 헤드 유닛(150)을 제3 방향(30)으로 이동시켜 잉크젯 헤드 유닛(150)과 액적 토출량 측정 유닛(170) 간 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
노즐 검사 유닛(180)은 광학 검사를 통해 잉크젯 헤드 유닛(150)에 제공된 개별 노즐의 이상 유무를 확인한다. 액적 토출량 측정 유닛(170)에서 거시적인 노즐의 이상 유무를 확인한 결과, 불특정의 노즐에 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 노즐 검사 유닛(180)은 개별 노즐의 이상 유무를 확인하면서 노즐에 대한 전수 검사를 진행할 수 있다.
노즐 검사 유닛(180)은 베이스(110) 상의 기판 지지 유닛(120) 일측에 배치될 수 있다. 잉크젯 헤드 유닛(150)은 갠트리 이동 유닛(140)과 헤드 이동 유닛(160)에 의해 제1 방향(10)과 제2 방향(20)으로 이동되어 노즐 검사 유닛(180)의 상부에 위치할 수 있다. 헤드 이동 유닛(160)은 잉크젯 헤드 유닛(150)을 제3 방향(30)으로 이동시켜 잉크젯 헤드 유닛(150)과 노즐 검사 유닛(180)과의 상하 방향 거리를 조절할 수 있다.
한편, 인쇄 장비(100)는 액적 공급 장치(210)를 더 포함할 수 있다.
액적 공급 장치(210)는 갠트리 유닛(130)의 상부 및 측부에 설치될 수 있다. 이러한 액적 공급 장치(210)는 액적 공급 모듈(211)과 압력 조절 모듈(212)을 포함한다.
액적 공급 모듈(211)과 압력 조절 모듈(212)은 갠트리 유닛(130)에 결합될 수 있다. 액적 공급 모듈(211)은 액적 공급 장치(210)로부터 액적을 공급받고, 액적을 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 공급한다. 압력 조절 모듈(212)은 액적 공급 모듈(211)에 양압 또는 음압을 제공하여 액적 공급 모듈(211)의 압력을 조절한다.
다음으로 잉크젯 헤드 유닛(150)의 복수 개의 노즐 내에 축적되어 있는 잉크를 제거하기 위한 잉크젯 헤드 세정 장치에 대하여 설명한다. 잉크젯 헤드 세정 장치는 미세 기포(예를 들어, 마이크로 버블)을 이용하여 복수 개의 노즐 내에 축적되어 있는 잉크를 제거할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 3에 따르면, 잉크젯 헤드 세정 장치(300)는 잉크젯 헤드 유닛(150), 잉크 저장부(310), 펌핑부(320) 및 미세 기포 생성부(330)를 포함하여 구성될 수 있다.
잉크 저장부(310)는 기판 상에 토출되는 잉크를 저장하는 것이다. 이러한 잉크 저장부(310)는 상호 결합되어 있는 제1 배관(341) 및 제2 배관(342)을 통해 잉크젯 헤드 유닛(150)과 연결될 수 있다. 본 실시예에서는 도 2의 액적 공급 모듈(211)이 잉크 저장부(310)로 구현될 수 있다.
펌핑부(320)는 잉크 저장부(310)에 저장되어 있는 잉크를 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동시키기 위해 잉크 저장부(310)에 압력을 제공하는 것이다. 본 실시예에서는 도 2의 압력 조절 모듈(212)이 펌핑부(320)로 구현될 수 있다.
미세 기포 생성부(330)는 미세 기포를 생성하여 잉크젯 헤드 유닛(150)에 제공하는 것이다. 도 4는 도 3의 잉크젯 헤드 세정 장치를 구성하는 미세 기포 생성부의 역할을 설명하기 위한 예시도이다. 이하 설명은 도 4를 참조한다.
잉크 저장부(310)에 저장되어 있는 잉크가 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동하는 경우, 잉크 내부에 포함되어 있는 몇몇 나노 입자(410)는 뭉쳐져 있는 상태로 잉크젯 헤드 유닛(150)의 노즐(430)로 이동할 수 있다. 이와 같이 뭉쳐져 있는 상태로 노즐(430)로 이동된 나노 입자(410)는 잉크의 토출이 어렵도록 노즐(430)을 폐쇄시키는 문제를 유발할 수 있다.
본 실시예에서는 미세 기포 생성부(330)가 미세 기포(420)를 생성하여 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 제공할 수 있다. 미세 기포(420)는 노즐(430) 내에서 뭉쳐져 있는 나노 입자(410)에 흡착된 후 이들을 분해시켜 노즐(430)이 폐쇄되는 문제를 해결할 수 있다.
다시 도 3을 참조하여 설명한다.
미세 기포 생성부(330)는 미세 기포로 마이크로미터(㎛) 크기의 버블 즉, 마이크로 버블(micro bubble)을 생성하여 잉크젯 헤드 유닛(150)의 노즐(430)에 공급할 수 있다. 이 경우, 미세 기포 생성부(330)는 마이크로 버블 발생기로 구현될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 미세 기포 생성부(330)는 미세 기포로 나노미터(nm) 크기의 나노 버블(nano bubble)을 생성하여 잉크젯 헤드 유닛(150)의 노즐(430)에 공급하는 것도 가능하다.
미세 기포 생성부(330)는 세정액을 이용하여 미세 기포를 생성할 수 있다. 미세 기포 생성에 이용되는 세정액은 솔벤트(solvent)를 기반으로 제조될 수 있다.
미세 기포 생성부(330)는 잉크젯 헤드 유닛(150)에 미세 기포를 제공하기 위해, 상호 결합되어 있는 제2 배관(342) 및 제3 배관(343)을 통해 잉크젯 헤드 유닛(150)에 연결될 수 있다. 이 경우, 제1 배관(341), 제2 배관(342) 및 제3 배관(343)은 Y자 형태로 상호 결합될 수 있다.
미세 기포 생성부(330)는 제1 배관(341), 제2 배관(342) 및 제3 배관(343)이 하나로 결합된 Y자 배관에 연결되어 잉크젯 헤드 유닛(150)에 미세 기포를 직접 토출할 수 있다. 이때 미세 기포 생성부(330)로부터 공급된 미세 기포가 잉크젯 헤드 유닛(150)의 내부로 이동하여 뭉쳐져 있는 나노 입자를 분해할 수 있다.
그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 배관(341), 제2 배관(342) 및 제3 배관(343)은 도 5에 도시된 바와 같이 T자 형태로 상호 결합되는 것도 가능하다. 도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다.
다시 도 3을 참조하여 설명한다.
미세 기포 생성부(330)는 제2 배관(342) 및 제3 배관(343)을 통해 잉크젯 헤드 유닛(150)의 상부에 연결될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 미세 기포 생성부(330)는 노즐이 외부로 노출되어 있는 잉크젯 헤드 유닛(150)의 하부에 연결되는 것도 가능하다.
미세 기포 생성부(330)는 잉크젯 헤드 유닛(150)의 노즐이 막혔을 때에 작동할 수 있다. 본 실시예에서는 잉크젯 헤드 유닛(150)을 이용하여 테스트용 기판 상에 잉크를 토출시킨 후, 잉크가 토출되지 않는 노즐을 불량 노즐로 판단하여, 미세 기포 생성부(330)를 이용하여 해당 노즐을 세정할 수 있다.
한편, 미세 기포 생성부(330)는 토출되는 잉크의 양이 기준값 이하인 경우, 이 노즐을 불량 노즐로 판단하여, 미세 기포 생성부(330)를 이용하여 해당 노즐을 세정하는 것도 가능하다. 또한 미세 기포 생성부(330)는 노즐이 막히는 문제가 발생하지 않더라도 주기적으로 잉크젯 헤드 유닛(150)을 세정하는 것도 가능하다.
필요한 시기(예를 들어, 잉크젯 헤드 유닛(150)의 노즐(430)이 막혔을 때)에 미세 기포를 잉크젯 헤드 유닛(150)에 공급하기 위해, 잉크 저장부(310), 미세 기포 생성부(330) 및 잉크젯 헤드 유닛(150)을 연결하는 배관 상에는 밸브가 설치될 수 있다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다. 이하 설명은 도 6을 참조한다.
제1 밸브(351)는 잉크 저장부(310)와 잉크젯 헤드 유닛(150)을 연결하는 배관 상에 설치되는 것이다. 구체적으로, 제1 밸브(351)는 잉크 저장부(310)와 제2 배관(342)을 상호 연결하는 제1 배관(341) 상에 설치될 수 있다. 제1 밸브(351)는 이와 같이 설치되어, 제1 배관(341)을 개폐시킬 수 있다.
제2 밸브(352)는 미세 기포 생성부(330)와 잉크젯 헤드 유닛(150)을 연결하는 배관 상에 설치되는 것이다. 구체적으로, 제2 밸브(352)는 미세 기포 생성부(330)와 제2 배관(342)을 상호 연결하는 제3 배관(343) 상에 설치될 수 있다. 제2 밸브(352)는 이와 같이 설치되어, 제3 배관(343)을 개폐시킬 수 있다.
제1 밸브 제어부(353)는 제1 밸브(351)와 제2 밸브(352)의 개폐를 제어하는 것이다. 이러한 제1 밸브 제어부(353)는 온/오프(ON/OFF) 스위치 형태로 구현될 수 있다.
제1 밸브 제어부(353)는 잉크젯 헤드 유닛(150)의 작동 여부에 따라 제1 밸브(351)와 제2 밸브(352) 중 적어도 하나의 밸브의 개폐를 제어할 수 있다. 예를 들어, 잉크젯 헤드 유닛(150)을 이용하여 기판 상에 액적을 토출하려는 경우, 제1 밸브 제어부(353)는 제1 밸브(351)를 개방시키고(ON), 제2 밸브(352)를 폐쇄시킬 수 있다(OFF). 반면, 잉크젯 헤드 유닛(150)을 세정하려는 경우, 제1 밸브 제어부(353)는 제1 밸브(351)를 폐쇄시키고(OFF), 제2 밸브(352)를 개방시킬 수 있다(ON).
한편, 잉크젯 헤드 유닛(150)을 이용하여 기판을 인쇄하는 경우와 잉크젯 헤드 유닛(150)을 세정하는 경우에 각기 다른 잉크를 사용할 수 있다. 제1 밸브 제어부(353)는 기판을 인쇄할 때와 다른 잉크를 이용하여 잉크젯 헤드 유닛(150)을 세정하는 경우, 제1 밸브(351)와 제2 밸브(352)를 모두 개방시킬 수도 있다.
한편, 본 실시예에서는 제2 밸브(352)만 설치되고, 제1 밸브 제어부(353)는 제2 밸브(352)의 개폐를 제어하는 것도 가능하다.
잉크 저장부(310)에 저장되어 있는 잉크는 기판 상에 액적으로 토출되기 위해 잉크 저장부(310)에서 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동될 수 있다. 이때, 잉크 일부는 잉크젯 헤드 유닛(150)을 통해 기판 상에 액적으로 토출되며, 그 나머지는 잉크 저장부(310)로 다시 이동될 수 있다. 잉크젯 헤드 유닛(150)은 이를 위해 주입단과 배출단을 구비할 수 있다.
잉크젯 헤드 유닛(150)의 주입단과 배출단은 잉크젯 헤드 유닛(150)의 내부에 형성되는 유로가 다를 수 있다. 따라서 본 실시예에서는 잉크젯 헤드 유닛(150)의 세정 효과를 극대화하기 위해, 주입단과 배출단에 각각 연결되도록 미세 기포 생성부(330)를 설치할 수 있다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다. 이하 설명은 도 7을 참조한다.
이하 설명에서는 잉크젯 헤드 유닛(150)의 주입단(361)에 연결되어 있는 미세 기포 생성부(330)를 제1 미세 기포 생성부(331)로 정의하고, 잉크젯 헤드 유닛(150)의 배출단(362)에 연결되어 있는 미세 기포 생성부(330)를 제2 미세 기포 생성부(332)로 정의한다.
제1 미세 기포 생성부(331)는 잉크가 잉크 저장부(310)에서 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동할 수 있도록 경로를 제공하는 배관 상에 연결되어, 잉크젯 헤드 유닛(150)의 주입단(361)에 연결될 수 있다. 구체적으로, 제1 미세 기포 생성부(331)는 상호 연결되어 있는 제2 배관(342) 및 제3 배관(343)을 통해 잉크젯 헤드 유닛(150)의 주입단(361)에 연결될 수 있다. 제1 미세 기포 생성부(331)는 이와 같이 구성되어, 잉크젯 헤드 유닛(150)의 주입단(361)에 미세 기포를 공급하여 잉크젯 헤드 유닛(150)에 형성되어 있는 노즐이 세정되도록 할 수 있다.
제2 미세 기포 생성부(332)는 잉크가 잉크젯 헤드 유닛(150)에서 잉크 저장부(310)로 이동할 수 있도록 경로를 제공하는 배관 상에 연결되어, 잉크젯 헤드 유닛(150)의 배출단(362)에 연결될 수 있다. 구체적으로, 제2 미세 기포 생성부(332)는 상호 연결되어 있는 제5 배관(345) 및 제6 배관(346)을 통해 잉크젯 헤드 유닛(150)의 배출단(362)에 연결될 수 있다. 제2 미세 기포 생성부(332)는 이와 같이 구성되어, 잉크젯 헤드 유닛(150)의 배출단(362)에 미세 기포를 공급하여 잉크젯 헤드 유닛(150)에 형성되어 있는 노즐이 세정되도록 할 수 있다.
잉크 저장부(310), 제1 미세 기포 생성부(331) 및 잉크젯 헤드 유닛(150)이 Y자형 배관(또는 T자형 배관)으로 연결되는 경우, 잉크 저장부(310)는 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 잉크를 공급하기 위해 제1 배관(341)을 통해 제2 배관(342)과 연결될 수 있다. 또한, 잉크 저장부(310), 제2 미세 기포 생성부(332) 및 잉크젯 헤드 유닛(150)이 Y자형 배관(또는 T자형 배관)으로 연결되는 경우, 잉크 저장부(310)는 잉크젯 헤드 유닛(150)으로부터 배출되는 잉크를 수거하기 위해 제4 배관(344)을 통해 제5 배관(345)과 연결될 수 있다.
이 경우, 잉크나 미세 기포의 흐름을 제어하기 위해, 도 8에 도시된 바와 같이 제1 배관(341), 제3 배관(343), 제4 배관(344) 및 제6 배관(346) 상에 제1 밸브(351), 제2 밸브(352), 제3 밸브(354) 및 제4 밸브(355)가 각각 설치될 수 있다.
도 8은 본 발명의 제5 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다. 이하 설명은 도 8을 참조한다.
제1 밸브(351)는 잉크 저장부(310)와 제2 배관(342)을 연결하는 제1 배관(341) 상에 설치되어, 제1 배관(341)을 통해 잉크 저장부(310)에서 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동하는 잉크의 흐름을 제어한다.
제2 밸브(352)는 제1 미세 기포 생성부(331)와 제2 배관(342)을 연결하는 제3 배관(343) 상에 설치되어, 제3 배관(343)을 통해 제1 미세 기포 생성부(331)에서 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동하는 미세 기포의 흐름을 제어한다.
제3 밸브(354)는 잉크 저장부(310)와 제5 배관(345)을 연결하는 제4 배관(344) 상에 설치되어, 제4 배관(344)을 통해 잉크젯 헤드 유닛(150)에서 잉크 저장부(310)로 이동하는 잉크의 흐름을 제어한다.
제4 밸브(355)는 제2 미세 기포 생성부(332)와 제5 배관(345)을 연결하는 제6 배관(346) 상에 설치되어, 제6 배관(346)을 통해 제2 미세 기포 생성부(332)에서 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동하는 미세 기포의 흐름을 제어한다.
제1 밸브 제어부(353)는 제1 밸브(351) 및 제2 밸브(352)의 개폐를 제어하는 것이다. 이러한 제1 밸브 제어부(353)는 제1 배관(341), 제2 배관(342) 및 제3 배관(343)이 만나는 지점 상에 설치될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 밸브 제어부(353)는 본 실시예에서 제1 밸브(351) 및 제2 밸브(352)의 개폐를 제어할 수 있다면 어느 곳에 설치되어도 무방하다.
제2 밸브 제어부(356)는 제3 밸브(354) 및 제4 밸브(355)의 개폐를 제어하는 것이다. 이러한 제2 밸브 제어부(356)는 제4 배관(344), 제5 배관(345) 및 제6 배관(346)이 만나는 지점 상에 설치될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제2 밸브 제어부(356)는 본 실시예에서 제3 밸브(354) 및 제4 밸브(355)의 개폐를 제어할 수 있다면 어느 곳에 설치되어도 무방하다.
한편, 본 실시예에서는 제1 밸브 제어부(353)와 제2 밸브 제어부(356) 중 어느 하나의 밸브 제어부만 구비되어, 이 밸브 제어부가 제1 밸브(351), 제2 밸브(352), 제3 밸브(354) 및 제4 밸브(355)의 개폐를 제어하는 것도 가능하다.
다음으로 잉크젯 헤드 세정 장치(300)의 작동 방법에 대하여 설명한다.
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 작동 방법을 설명하기 위한 제1 예시도이며, 도 10은 본 발명의 제5 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 작동 방법을 설명하기 위한 제2 예시도이다. 이하 설명은 도 9 및 도 10을 참조한다.
먼저 도 9를 참조하면, 기판을 인쇄하고자 하는 경우, 잉크 저장부(310)에 저장되어 있는 잉크를 기판 상에 토출하기 위해, 제1 밸브 제어부(353)는 제1 밸브(351)를 개방시키고, 제2 밸브(352)를 폐쇄시킨다. 그러면 잉크가 잉크 저장부(310)에서 잉크젯 헤드 유닛(150)의 주입단(361)으로 이동되며, 잉크젯 헤드 유닛(150)는 잉크를 기판 상에 토출시킨다.
잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동된 잉크는 기판 상에 모두 토출되지 않으며, 이에 따라 잉크는 잉크젯 헤드 유닛(150) 상에 잔존할 수 있다. 펌핑부(320)는 압력을 제공하여 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동되었으나 기판 상으로 토출되지 않은 잉크를 잉크 저장부(310)로 수거한다. 이때 제2 밸브 제어부(356)는 제3 밸브(354)를 개방시키고, 제4 밸브(355)를 폐쇄시켜, 잉크가 잉크젯 헤드 유닛(150)의 배출단(362)에서 잉크 저장부(310)로 이동될 수 있도록 한다.
다음으로 도 10을 참조하면, 기판에 대한 인쇄가 종료되었거나, 잉크가 기판 상에 정상적으로 토출되지 않는 경우, 제1 밸브 제어부(353)는 제1 밸브(351)를 폐쇄시키고, 제2 밸브(352)를 개방시킨다. 그러면 제1 미세 기포 생성부(331)에 의해 생성되는 미세 기포가 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동되어 잉크젯 헤드 유닛(150) 내의 노즐을 세정할 수 있다.
마찬가지로, 제2 밸브 제어부(356)는 제3 밸브(354)를 폐쇄시키고, 제4 밸브(355)를 개방시킨다. 그러면 제2 미세 기포 생성부(332)에 의해 생성되는 미세 기포가 잉크젯 헤드 유닛(150)으로 이동되어 잉크젯 헤드 유닛(150) 내의 노즐을 세정할 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 잉크가 정상적으로 토출되지 않는 노즐의 위치를 고려하여 제1 미세 기포 생성부(331)와 제2 미세 기포 생성부(332) 중 어느 하나의 미세 기포 생성부만 작동시키는 것도 가능하다.
한편, 펌핑부(320)에 의해 잉크젯 헤드 유닛(150)에 잔존하는 잉크가 잉크 저장부(310)로 이동하는 경우, 미세 기포도 잉크와 함께 잉크 저장부(310)로 이동할 수 있다. 본 실시예에서는 잉크 저장부(310)에 미세 기포 제거부를 설치하여, 잉크 저장부(310) 내에서 미세 기포가 제거될 수 있도록 하는 것도 가능하다.
한편, 잉크젯 헤드 세정 장치(300)는 미세 기포 생성부(330) 외에 초음파 발생부를 더 포함하는 것도 가능하다. 이하에서는 이에 대해 설명한다.
도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치의 구조를 개략적으로 보여주는 도면이다. 이하 설명은 도 11을 참조한다.
초음파 생성부(370)는 미세 기포 생성부(330)와 더불어 잉크젯 헤드 유닛(150)의 노즐을 세정하는 것이다. 이러한 초음파 생성부(370)는 짧은 펄스를 생성하여 잉크젯 헤드 유닛(150)의 노즐을 세정할 수 있다.
초음파 생성부(370)는 노즐이 외부로 노출되는 잉크젯 헤드 유닛(150)의 하부에서 노즐의 일단부에 근접하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 미세 기포 생성부(330)는 잉크젯 헤드 유닛(150)의 상부에서 노즐의 타단부와 연결될 수 있다. 본 실시예에서는 이와 같이 초음파 생성부(370)와 미세 기포 생성부(330)가 노즐의 양단부에 연결되어 동시에 작동함으로써 세정 효과를 극대화할 수 있다.
한편, 초음파 생성부(370)는 세정 효과가 우수한 측면이 있으나, 노즐을 손상시킬 수도 있다. 따라서 본 실시예에서는 미세 기포 생성부(330)를 이용하여 잉크젯 헤드 유닛(150)을 세정한 후, 여전히 잉크가 기판 상에 토출되지 않으면, 초음파 생성부(370)를 이용하여 잉크젯 헤드 유닛(150)을 세정하는 것도 가능하다.
또한, 미세 기포 생성부(330)와 초음파 생성부(370)를 동시에 이용하는 경우, 미세 기포 생성부(330)보다 짧은 시간동안 초음파 생성부(370)를 작동시켜 잉크젯 헤드 유닛(150)을 세정하는 것도 가능하다.
이상 도 3 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 다양한 실시 형태에 따른 잉크젯 헤드 세정 장치(300)에 대하여 설명하였다.
본 실시예에서는 세정 효과를 극대화하기 위하여 미세 기포, 특히 마이크로 버블을 적용한다. 마이크로 버블은 자체 미세한 진동과 세정 표면적 증가 그리고 버블 표면의 라디칼로 인하여 세정력이 우수함이 입증되었다. 이와 같이 마이크로 버블을 이용하면 잉크젯 헤드 유닛(150)의 노즐에 끼인 나노 입자를 효과적으로 제거할 수 있다.
잉크젯 헤드 유닛(150)은 주입단(361)과 배출단(362)이 있다. 주입단(361)과 배출단(362)은 잉크젯 헤드 유닛(150)의 내부에 형성된 유로가 다르기 때문에 세정 효과를 극대화하기 위해 미세 기포 생성부(330)를 각각 설치할 수 있다.
또한 잉크 저장부(310), 미세 기포 생성부(330) 및 잉크젯 헤드 유닛(150)을 연결하는 Y자 배관은 프린팅 동작할 때와 세정할 때 각각 다른 잉크를 사용하기 때문에 자동으로 ON/OFF가 가능한 장치를 적용할 수 있다.
또한 미세 기포 생성부(330)는 버블 사이즈에 국한되지 않으며, 잉크젯 헤드 유닛(150)의 주입/배출 혹은 하단부(노즐)에 결합될 수 있다. 또한 잉크 저장부(310)에 결합되어 입자의 운동 효과를 극대화할 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 인쇄 장비 150: 잉크젯 헤드 유닛
300: 잉크젯 헤드 세정 장치 310: 잉크 저장부
320: 펌핑부 330, 331, 332: 미세 기포 생성부
341, 342, 343, 344, 345, 346: 배관
351, 352, 354, 355: 밸브 353, 356: 밸브 제어부
361: 주입단 362: 배출단
370: 초음파 생성부 410: 나노 입자
420: 미세 기포 430: 노즐

Claims (10)

  1. 잉크를 저장하는 잉크 저장부;
    노즐을 이용하여 상기 잉크를 기판 상에 토출하는 잉크젯 헤드 유닛; 및
    미세 기포를 직접 생성하여 상기 노즐로 제공하며, 상기 잉크젯 헤드 유닛으로의 잉크 유입 경로에 연결되는 제1 미세 기포 생성부 및 상기 잉크젯 헤드 유닛으로부터의 잉크 배출 경로에 연결되는 제2 미세 기포 생성부를 포함하는 미세 기포 생성부를 포함하며,
    상기 미세 기포를 이용하여 상기 노즐을 세정하고,
    세정 대상 노즐의 위치에 따라 상기 제1 미세 기포 생성부 및 상기 제2 미세 기포 생성부 중 적어도 하나의 미세 기포 생성부가 작동하고,
    상기 미세 기포는 마이크로 버블 또는 나노 버블인 잉크젯 헤드 세정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세 기포 생성부는 상기 잉크가 상기 기판 상에 토출되지 않거나, 상기 잉크의 토출량이 기준량 이하인 경우, 상기 미세 기포를 생성하여 상기 노즐로 제공하는 잉크젯 헤드 세정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세 기포 생성부는 상기 잉크 저장부에서 상기 잉크젯 헤드 유닛으로 이동하는 상기 잉크에 경로를 제공하는 제1 유로에 연결되거나, 상기 잉크젯 헤드 유닛에서 상기 잉크 저장부로 이동하는 상기 잉크에 경로를 제공하는 제2 유로 및 상기 제1 유로에 각각 연결되는 잉크젯 헤드 세정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐을 세정하는 초음파 생성부를 더 포함하는 잉크젯 헤드 세정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 미세 기포 생성부는 상기 노즐의 일단부에 연결되고,
    상기 초음파 생성부는 상기 노즐의 타단부에 연결되는 잉크젯 헤드 세정 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    일단부가 상기 잉크 저장부에 연결되는 제1 배관;
    일단부가 상기 잉크젯 헤드 유닛에 연결되고, 타단부가 상기 제1 배관과 결합되는 제2 배관; 및
    일단부가 상기 미세 기포 생성부에 연결되고, 타단부가 상기 제1 배관 및 상기 제2 배관 중 어느 하나에 연결되는 제3 배관을 더 포함하며,
    상기 제1 배관, 상기 제2 배관 및 상기 제3 배관은 Y자 형태로 형성되거나 T자 형태로 형성되는 잉크젯 헤드 세정 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 배관 상에 설치되는 제1 밸브;
    상기 제3 배관 상에 설치되는 제2 밸브; 및
    상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 개폐를 제어하는 제1 밸브 제어부를 더 포함하며,
    상기 제1 밸브 제어부는 상기 미세 기포 생성부가 작동할 때 상기 제1 밸브 및 상기 제2 밸브의 개폐를 제어하는 잉크젯 헤드 세정 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 미세 기포 생성부는 솔벤트를 포함하는 세정액을 이용하여 상기 미세 기포를 생성하는 잉크젯 헤드 세정 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 잉크 저장부는 상기 잉크가 상기 잉크젯 헤드 유닛으로부터 회귀할 때 상기 잉크와 함께 이동하는 상기 미세 기포를 제거하는 잉크젯 헤드 세정 장치.
  10. 베이스;
    상기 베이스 상에 설치되며, 기판을 지지하는 기판 지지 유닛;
    잉크를 저장하는 잉크 저장부, 노즐을 이용하여 상기 잉크를 기판 상에 토출하는 잉크젯 헤드 유닛, 및 미세 기포를 직접 생성하여 상기 노즐로 제공하며, 상기 잉크젯 헤드 유닛으로의 잉크 유입 경로에 연결되는 제1 미세 기포 생성부 및 상기 잉크젯 헤드 유닛으로부터의 잉크 배출 경로에 연결되는 제2 미세 기포 생성부를 포함하는 미세 기포 생성부를 포함하며, 상기 미세 기포를 이용하여 상기 노즐을 세정하는 잉크젯 헤드 세정 장치; 및
    상기 잉크가 상기 잉크젯 헤드 유닛으로 이동하거나 상기 잉크젯 헤드 유닛으로부터 회귀할 수 있도록 상기 잉크 저장부에 압력을 제공하는 펌핑부를 포함하며,
    세정 대상 노즐의 위치에 따라 상기 제1 미세 기포 생성부 및 상기 제2 미세 기포 생성부 중 적어도 하나의 미세 기포 생성부가 작동하고,
    상기 미세 기포는 마이크로 버블 또는 나노 버블인 기판 처리 시스템.
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