KR20070101135A - 액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 운전 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 카트리지의 교환이 용이하며, 사용 편리성이 양호한 액적(液滴) 토출(吐出) 장치 및 그 운전 방법을 제공한다. 탱크(6, 7)를 가지는 카트리지부(3)와, 도포액을 액적으로 하여 피착체(被着體)에 토출하는 헤드부(4)와, 탱크(6)의 도포액을 헤드부(4)에 공급하여, 헤드부(4)를 통과한 도포액을 탱크(7)로 되돌리는 도포액 공급 순환부(2)와, 도포액 공급 순환부(2)를 통하여 세정액을 헤드부(4)에 공급하는 세정액 공급부(29)와, 도포액 공급 순환부(2)의 일부로부터 폐액(廢液)을 배출하는 폐액 배출부(33)와, 세정액 공급부(2)로부터 공급하는 세정액으로 도포액 공급 순환부(2)와 헤드부(4)를 세정할 때 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압하고, 도포액 공급 순환부(2)에 의해 도포액을 순환시킬 때 탱크(6, 7) 내를 감압(減壓)하는 압력 전환부를 구비하고, 카트리지부(3)가 도포액 공급 순환부(2)에 교환 가능하게 접속되어 있다.

액적 토출 장치, 운전 방법, 카트리지부, 도포액 공급 순환부

Description

액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 운전 방법 {DROPLET EJECTION DEVICE AND DROPLET EJECTION METHOD}

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 액적 토출 장치의 계통도이다.

도 2는 상기 액적 토출 장치의 개략 블록도이다.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 관한 액적 토출 장치의 계통도이다.

도 4는 본 발명의 실시예에 관한 액적 토출 장치의 정면도이다.

도 5는 상기 액적 토출 장치의 측면도이다.

도 6은 본 발명의 실시예에 관한 헤드부의 분해 사시도이다.

도 7은 그 헤드부의 조립 후의 단면도이다.

도 8은 도 7의 A-A선 상의 단면도이다.

도 9는 헤드와 스페이서를 도포한 액정용 컬러 필터 기판과의 관계를 나타낸 평면도이다.

도 10은 종래 제안된 잉크젯 기록 장치의 설명도이다.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]

(1): 압력 전환부, (2): 도포액 순환 공급부, (3): 카트리지부,

(4): 헤드부, (5): 카트리지, (5a): 제1 카트리지,

(5b): 제2 카트리지, (6): 메인 탱크, (7): 서브 탱크,

(8): 메인 탱크용 가압·감압관, (9): 메인 탱크용 매니폴드,

(10): 메인 탱크용 버퍼, (11): 메인 탱크용 펌프,

(12): 메인 탱크용 전환 밸브, (13): 탱크 간 이송관,

(14): 탱크 간 이송용 펌프, (15): 서브 탱크용 가압·감압관,

(16): 서브 탱크용 매니폴드, (17): 서브 탱크용 버퍼,

(18): 서브 탱크용 펌프, (19): 서브 탱크용 전환 밸브,

(20): 도포액 공급관, (21): 도포액 공급관용 전환 밸브,

(22): 도포액 회수관, (23): 도포액 회수관용 전환 밸브,

(24a)~(24d): 헤드, (25): 액면 센서, (26): 도포액,

(27): 교반자, (28): 세정액 공급관, (29): 세정액 탱크, (30): 세정액, (31): 액면 센서, (32): 폐액관, (33): 폐액 탱크, (34): 액면 센서, (35): 가압 가스, (36): 가압용 매니폴드, (37): 가압 가스용 배관,

(38): 도포액·세정액·가압 가스 전환 밸브, (39): 헤드 접속관,

(40): 세정액·가압 가스 전환 밸브, (41): 압력 센서,

(42): 도포액·폐액 전환 밸브, (43): 제1 차단 밸브,

(44): 폐액측 관체, (45): 회수측 관체, (46): 제2 차단 밸브,

(47): 제2 차단 밸브, (48): 액정용 기판, (49a)~(49f): 접속부.

[특허 문헌 1] 일본국 특개 2005-067134호 공보

[특허 문헌 2] 일본국 특개 2003-165233호 공보

[특허 문헌 3] 일본국 특개 2003-300331호 공보

[특허 문헌 4] 국제 공개 WO 2002/90117호 공보

[특허 문헌 5] 일본국 특개평 05-281562호 공보

[특허 문헌 6] 일본국 특개평 11-007028호 공보

본 발명은, 액적(液滴)을 토출(吐出)하는 액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 운전 방법에 관한 것이며, 특히 예를 들면, 비즈(beads) 등의 고체 입자를 혼합, 분산한 도포액을 토출하는데 바람직한 액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 운전 방법에 관한 것이다.

액정 표시 장치 등에서는, 2개의 액정 기판의 간극을 일정하게 유지하기 위하여, 미립자형의 스페이서를 상기 액정 기판의 사이에 배치하고 있다. 종래, 스프레이식 살포(撒布) 장치 등을 사용하여 스페이서를 액정 기판 상에 살포하고 있었지만, 이 방법에서는 스페이서가 불균일하게 살포되기 쉽고, 액정 기판의 간격을 일정하게 유지할 수 없고, 스페이서가 다수개 쌓이거나 하여, 표시 품질의 저하를 초래하였다.

이와 같은 문제점을 해소하기 위하여, 최근, 잉크젯 방식을 응용한 액적 토출법이 개발되고, 다수 제안되어 있다. 이 액적 토출법에 의하면, 소정의 위치에 대략 필요 개수의 스페이서를 배치할 수 있고, 또 다수의 오리피스(orifice)를 가지는 토출 헤드를 사용하면, 다수의 지정 위치에 동시에 스페이서를 배치할 수 있어, 생산 효율을 높일 수 있는 등의 장점을 가지고 있다.

통상의 잉크젯 기록 장치에 있어서, 잉크 탱크와 기록 헤드를 접속하는 튜브의 처리를 간략화하는 동시에, 튜브 내에 체류하는 잉크의 관성력에 의한 기록 헤드로의 영향을 경감시키기 위해, 도 10에 나타낸 바와 같은 잉크젯 기록 장치가 제안되어 있다(상기 특허 문헌 1 참조).

이 잉크젯 기록 장치는 기록 헤드 유닛(100)을 가지고, 이 기록 헤드 유닛(100)은, 기록용지(도시하지 않음)의 반송 방향 X와 직교하는 방향(주주사(主走射) 방향) Y으로 연장되는 유닛 구동용 볼나사(101)와 나사 결합되어 있고, 그것과 평행으로 연장되는 2개의 가이드 레일(102)에 의해 슬라이드 이동 가능하게 지지되어 있다. 상기 볼나사(101)에는 유닛 구동용 모터(도시하지 않음)가 연결되고, 그 모터의 회전에 의해 볼나사(101)를 통하여 상기 기록 헤드 유닛(100)이 주주사 방향 Y으로 왕복 이동한다.

기록 헤드 유닛(100)은 판형의 지지 부재(103)를 가지고, 그 지지 부재(103)의 대략 중앙부에 기록 헤드(104)가 고정되고, 그보다 도면을 향해 우측에 잉크 공급 서브 탱크(105)가, 기록 헤드(104)보다 도면을 향해 좌측에 잉크 회수 서브 탱크(106)가, 각각 배치되어 있다.

상기 잉크 공급 서브 탱크(105)는 상하 방향으로 연장된 잉크 공급 서브 탱크용 볼나사(107)로 나사 결합되어 있고, 그 볼나사(107)에 잉크 공급 서브 탱크용 구동 모터(108)가 연결되어 있다. 그리고, 상기 볼나사(107)와 구동 모터(108)에 의해, 잉크 공급 서브 탱크(105)가 기록 헤드(104)보다 높은 위치로 조정되어 있다.

상기 잉크 회수 서브 탱크(106)는 상하 방향으로 연장된 잉크 회수 서브 탱크용 볼나사(109)로 나사 결합되어 있고, 그 볼나사(109)에 잉크 회수 서브 탱크용 구동 모터(110)가 연결되어 있다. 그리고, 상기 볼나사(109)와 구동 모터(110)에 의해, 잉크 회수 서브 탱크(106)가 기록 헤드(104)보다 낮은 위치로 조정되어 있다.

프린터 본체(도시하지 않음)의 하부에는, 잉크(111)(컬러 프린터의 경우에는 C, M, Y, K의 4색의 개별의 잉크)를 수용한 메인 탱크(112)와, 그 잉크(111)를 잉크 공급관(113)을 통해 기록 헤드 유닛(100) 상의 잉크 공급 서브 탱크(105)에 공급하는 억양용(抑揚用) 펌프(113)가 설치되어 있다.

메인 탱크(112)에 수용되어 있는 잉크(111)는, 억양용 펌프(113)에 의해 잉크 공급관(114)을 통하여 잉크 공급 서브 탱크(105)에 공급된다. 그 잉크 공급 서브 탱크(105)에 수용된 잉크는 연락관(115)을 통하여 기록 헤드(104)에 흘러내리고, 그 일부는 기록 헤드(104)로부터 액적으로 되어 기록용지(도시하지 않음) 상에 토출되어 잉크의 도트를 형성한다. 이 기록 헤드 유닛(100)을 기록용지에 대하여 상대적으로 2차원 주사함으로써, 기록용지 상에 정보가 기록된다.

토출되지 않았던 잉크는 연락관(115)을 통하여 잉크 회수 서브 탱크(106)에 흘러내려 고이고, 거기에 고인 잉크는 잉크 회수관(116)을 통하여 메인 탱크(112) 로 되돌아온다.

이와 같이 잉크(111)는, 메인 탱크(112)→잉크 공급관(114)(억양용 펌프(113)→잉크 공급 서브 탱크(105)→연락관(115)→기록 헤드(104)→연락관(115)→잉크 회수 서브 탱크(106)→잉크 회수관(116)→메인 탱크(112)의 유로(流路)를 순환하는 시스템으로 되어 있다.

그리고, 이 외에 잉크젯 기록 장치에 관하여는 예를 들면 상기와 같은 특허 문헌 2~ 특허 문헌 4를 들 수가 있고, 또 액정 스페이서의 토출 장치에 관하여는 예를 들면 상기와 같은 특허 문헌 5, 특허 문헌 6을 들 수 있다.

전술한 잉크젯 기록 장치에서는, 도포액(이 경우에는 잉크)의 종류 등이 도중에 변경된 경우의 대책에 대하여는 고려되어 있지 않다. 예를 들면, 전술한 바와 같이 액정 표시 장치에서는 2개의 액정 기판의 사이에 미립자형의 스페이서가 개재되지만, 이 스페이서를 액정 기판 상에 착탄(着彈)시키기 위해 액정 표시 장치의 제조 라인 중에 잉크젯 기록 장치의 기구를 응용한 액적(스페이서) 토출 장치를 설치하는 경우가 있다.

그런데, 액정 표시 장치의 제조 라인에서는 제조할 액정 표시 장치의 종류 등이 변경되면, 그에 따라 사용하는 스페이서의 직경 등이 상이하므로, 제조 도중에 스페이서를 혼합 분산한 도포액의 종류가 변경이 되는 경우가 자주 발생한다. 이와 같은 상황 하에 있어서, 전술한 잉크젯 기록 장치의 기구를 응용한 액적(스페이서) 토출 장치에서는 도포액의 변경 처리를 스무스하게 행할 수 없어, 조작이 번 잡하고 생산 효율이 나쁜 등의 문제가 있다.

본 발명의 목적은, 이와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하고, 카트리지의 교환이 용이하고, 사용 편리성이 양호한 액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 운전 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 제1 수단은,

도포액을 수용한 탱크를 가지는 카트리지부와,

상기 도포액을 액적으로 하여 피착체(被着體)에 토출하는 헤드부와,

상기 탱크에 있는 도포액을 상기 헤드부에 공급하여, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 탱크로 되돌림으로써 도포액을 순환시키는 도포액 공급 순환부와,

상기 도포액 공급 순환부를 통하여 세정액을 상기 헤드부에 공급하는 세정액 공급부와,

상기 도포액 공급 순환부의 일부로부터 폐액(廢液)을 배출하는 폐액 배출부와,

상기 세정액 공급부로부터 공급하는 세정액으로 상기 도포액 공급 순환부 및 상기 헤드부를 세정할 때 상기 세정액 공급부 내를 가압(加壓) 가스로 가압하고, 상기 도포액 공급 순환부에 의해 도포액을 순환시킬 때 상기 탱크 내를 감압(減壓)하는 전환부를 구비하고,

상기 카트리지부가 상기 도포액 공급 순환부에 대하여 교환 가능하도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제2 수단은, 상기 제1 수단에 있어서, 상기 카트리지부에 상기 탱크를 가지는 카트리지가 복수개 설치되고, 각 카트리지가 상기 도포액 공급 순환부에 대하여 전환 가능하게 병렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제3 수단은 상기 제1 또는 제2 수단에 있어서, 상기 카트리지부가 상기 헤드부보다 높은 위치에 설치되고,

상기 카트리지부가 도포액을 상기 헤드부에 공급하는 메인 탱크와, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 되돌리는 서브 탱크를 가지고,

상기 메인 탱크와 서브 탱크는, 상기 도포액 공급 순환부의 이송용 펌프가 부착된 탱크 간 이송관에 의해 접속되고,

상기 도포액 공급 순환부에 의해 도포액을 순환시킬 때 상기 압력 전환부에 의해 상기 서브 탱크의 내압이 상기 메인 탱크의 내압보다 낮게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제4 수단은 상기 제1 수단에 있어서, 상기 헤드부에 복수개의 헤드가 설치되고, 이들 복수개의 헤드가 헤드 접속관에 의해 직렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제5 수단은 상기 제1 내지 제4 수단에 있어서, 상기 도포액이 고체 입자를 혼합, 분산한 도포액인 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제6 수단은 상기 제5 수단에 있어서, 상기 피착체가 액정용 기판으로서, 상기 고체 입자가 2개의 액정용 기판의 간극을 유지하는 스페이서인 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제7 수단은,

도포액을 액적으로 하여 피착체에 토출하는 헤드부와,

상기 도포액을 수용하는 메인 탱크와 상기 헤드부를 통과한 도포액을 되돌리는 서브 탱크를 가지고, 상기 서브 탱크로부터 메인 탱크로 도포액을 이송할 수 있도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속된 카트리지부와,

상기 메인 탱크에 있는 도포액을 상기 헤드부에 공급하여, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌림으로써 도포액을 순환시키는 도포액 순환부와,

상기 도포액 공급 순환부를 통하여 세정액을 상기 헤드부에 공급하는 세정액 공급부와,

상기 도포액 공급 순환부의 일부로부터 폐액을 배출하는 폐액 배출부와,

상기 세정액으로 상기 도포액 공급 순환부 및 상기 헤드부를 세정할 때 상기 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압하고, 상기 도포액 공급 순환부에 의해 도포액을 순환시킬 때 상기 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압하도록 압력을 전환하는 압력 전환부를 구비하고,

상기 압력 전환부에 의해 상기 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압함으로써, 상기 세정액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 세정액을 도포액 공급 순환부를 거쳐 상기 폐액 배출부에 흐르게 하여, 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 내재(內在)되어 있는 공기를 세정액으로 치환(置換)하는 공기·세정액 치환 스텝과,

그 공기·세정액 치환 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 상기 메인 탱크 내를 가압하여, 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 도포액 공급 순환부를 거쳐 상기 폐액 배출부에 흐르게 하여, 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 내재되어 있는 세정액을 도포액으로 치환하는 세정액·도포액 치환 스텝과,

그 세정액·도포액 치환 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 상기 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압으로 하여, 상기 메인 탱크 내의 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌리고, 상기 도포액의 순환 중에 도포액을 상기 헤드부로부터 액적으로 하여 피착체에 토출하는 도포액 공급 순환 스텝을 행하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제8 수단은 상기 제7 수단에 있어서, 상기 카트리지부가 상기 헤드부보다 높은 위치에 설치되어, 상기 도포액 공급 순환 스텝 시에 상기 압력 전환부에 의해 상기 서브 탱크의 내압이 상기 메인 탱크의 내압보다 낮게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제9 수단은, 도포액을 액적으로 하여 피착체에 토출하는 헤드부와,

상기 도포액을 수용하는 메인 탱크와 상기 헤드부를 통과한 도포액을 되돌리는 서브 탱크를 가지고, 상기 서브 탱크로부터 메인 탱크로 도포액을 이송할 수 있도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속된 카트리지부와,

상기 메인 탱크에 있는 도포액을 상기 헤드부에 공급하여, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌림으로써 도포액을 순환시키는 도포액 공급 순환부와,

상기 도포액 공급 순환부를 통하여 세정액을 상기 헤드부에 공급하는 세정액 공급부와,

상기 도포액 공급 순환부의 일부로부터 폐액을 배출하는 폐액 배출부와,

상기 세정액으로 상기 도포액 공급 순환부 및 상기 헤드부를 세정할 때 상기 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압하고, 상기 도포액 공급 순환부에 의해 도포액을 순환시킬 때 상기 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압하도록 압력을 전환하는 압력 전환부를 구비하고,

상기 카트리지부가 적어도, 상기 메인 탱크와 서브 탱크를 가지는 제1 카트리지와 상기 메인 탱크와 서브 탱크를 가지는 제2 카트리지를 구비하고, 상기 제1 카트리지와 제2 카트리지가 상기 도포액 공급 순환부에 대하여 전환 가능하도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속되어 있고,

상기 제1 카트리지와 제2 카트리지에 수용되어 있는 상기 도포액의 조성이 같은 경우 상기 제1 카트리지를 상기 도포액 공급 순환부에 접속하고, 상기 압력 전환부에 의해 상기 제1 카트리지의 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압으로 하여, 상기 메인 탱크 내의 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌리고, 상기 도포액의 순환 중에 도포액을 상기 헤드부로부터 액적으로 하여 피착체에 토출하는 도포액 공급 순환 스텝과,

상기 도포액 공급 순환 스텝의 도중에 상기 제1 카트리지 측의 도포액량이 적어지면, 상기 도포액 공급 순환부에 의한 제1 카트리지로부터의 도포액의 공급 순환을 정지시키는 정지 스텝과,

상기 정지 스텝 후에, 상기 도포액 공급 순환부의 접속을 상기 제1 카트리지로부터 상기 제2 서브 탱크 내를 감압으로 하여, 상기 메인 탱크 내의 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌리고, 상기 도포액의 순환 중에 도포액을 상기 헤드부로부터 액적으로 하여 피착체에 토출하는 도포액 공급 순환 스텝을 계속하여 행하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제10 수단은,

도포액을 액적으로 하여 피착체에 토출하는 헤드부와,

상기 도포액을 수용하는 메인 탱크와 상기 헤드부를 통과한 도포액을 되돌리는 서브 탱크를 가지고, 상기 서브 탱크로부터 메인 탱크로 도포액을 이송할 수 있도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속된 카트리지부와,

상기 메인 탱크에 있는 도포액을 상기 헤드부에 공급하여, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌림으로써 도포액을 순환시키는 도포액 공급 순환부와,

상기 도포액 공급 순환부를 통하여 세정액을 상기 헤드부에 공급하는 세정액 공급부와,

상기 도포액 공급 순환부의 일부로부터 폐액을 배출하는 폐액 배출부와,

상기 세정액으로 상기 도포액 공급 순환부 및 상기 헤드부를 세정할 때 상기 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압하고, 상기 도포액 공급 순환부에 의해 도포액을 순환시킬 때 상기 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압하도록 압력을 전환하는 압력 전환부를 구비하고,

상기 카트리지부는 적어도, 상기 메인 탱크와 서브 탱크를 가지는 제1 카트리지와 상기 메인 탱크와 서브 탱크를 가지는 제2 카트리지를 구비하고, 상기 제1 카트리지와 제2 카트리지가 상기 도포액 공급 순환부에 대하여 전환 가능하도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속되어 있고,

상기 제1 카트리지와 제2 카트리지에 수용되어 있는 상기 도포액의 조성이 상이한 경우 상기 제1 카트리지를 상기 도포액 공급 순환부에 접속하고, 상기 압력 전환부에 의해 상기 제1 카트리지의 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압으로 하여, 상기 메인 탱크 내의 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌리고, 상기 도포액의 순환 중에 도포액을 상기 헤드부로부터 액적으로 하여 피착체에 토출하는 도포액 공급 순환 스텝과,

상기 도포액 공급 순환 스텝의 도중에 상기 제1 카트리지 측의 도포액량이 적어지면, 상기 도포액 공급 순환부에 의한 제1 카트리지로부터의 도포액의 공급 순환을 정지시키는 정지 스텝과,

상기 정지 스텝 후에, 상기 도포액 공급 순환부의 접속을 상기 제1 카트리지 로부터 상기 제2 카트리지로 전환하는 전환 스텝과,

상기 전환 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 가압 가스를 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 내재되어 있는 도포액을 배출하는 도포액 배출 스텝과,

상기 도포액 배출 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 상기 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압함으로써, 상기 세정액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 세정액을 상기 폐액 배출부에 배출하여, 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부를 세정하는 세정 스텝과,

상기 세정 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 상기 제2 카트리지의 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압으로 하여, 상기 메인 탱크 내의 새로운 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌리고, 상기 도포액의 순환 중에 도포액을 상기 헤드부로부터 액적으로 하여 피착체에 토출하는 새로운 도포액 공급 순환 스텝을 행하는 것을 특징으로 하는 것이다.

다음에, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 제1 실시예에 관한 액적 토출 장치의 계통도, 도 2는 상기 액적 토출 장치의 개략 블록도이다.

먼저, 이 액적 토출 장치의 개략 구성을 도 2와 함께 설명한다. 동 도면에 나타낸 바와 같이 액적 토출 장치는, 기능적으로 크게 나누어 압력 전환부(1)와 도포액 공급 순환부(2)와 카트리지부(3)와 헤드부(4)로 구성되고, 개략적으로는 도면 에 나타낸 바와 같은 접속 관계로 되어 있다.

상기 카트리지부(2)는, 상기 헤드부(4)보다 높은 위치에 설치되어 있다. 또 상기 카트리지부(2)는, 제1 카트리지(5a)와 제2 카트리지(5b)의 2개를 탑재하고 있고, 제1 카트리지(5a)와 제2 카트리지(5b)는 장치 본체에 대하여 교환 가능(착탈 가능)이 되어 있다. 또 이 제1 카트리지(5a)와 제2 카트리지(5b)는, 상기 도포액 공급 순환부(2)에 대하여 병렬로 접속되어, 서로 전환 가능하게 되어 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이 상기 카트리지(5a, 5b)는, 토출 전의 도포액을 수용하는 메인 탱크(6)와, 도포액 회수용의 서브 탱크(도포액 순환용 버퍼 탱크)(7)를 각각 가지고 있다. 메인 탱크(6)에는 메인 탱크용 가압·감압관(8)이 접속되고, 이것은 도포액 공급 순환부(2)를 통하고, 상기 압력 전환부(1)에 설치되어 있는 메인 탱크용 매니폴드(9)에 접속되어 있다. 메인 탱크용 매니폴드(9)는, 메인 탱크용 압력 버퍼(10)를 통하여 메인 탱크용 펌프(11)에 접속되어 있다. 상기 제1 카트리지(5a)로부터 나온 메인 탱크용 가압·감압관(8)과 상기 제2 카트리지(5b)로부터 나온 메인 탱크용 가압·감압관(8)의 접합부에는, 3방향 밸브로 이루어지는 메인 탱크용 전환 밸브(12)가 접속되어 있다.

서브 탱크(7)로부터 메인 탱크(6)를 향해 탱크 간 이송관(13)이 연장되어 있고, 그 도중에 탱크 간 이송용 펌프(14)가 개재되어 있다.

서브 탱크(7)에는 서브 탱크용 가압·감압관(15)이 접속되고, 이것은 도포액 공급 순환부(2)를 통하여, 상기 압력 전환부(1)에 설치되어 있는 서브 탱크용 매니폴드(16)에 접속되어 있다. 서브 탱크용 매니폴드(16)는, 서브 탱크용 압력 버 퍼(17)를 통하여 서브 탱크용 펌프(18)에 접속되어 있다. 상기 제1 카트리지(5a)로부터 나온 서브 탱크용 가압·감압관(15)과 상기 제2 카트리지(5b)로부터 나온 서브 탱크용 가압·감압관(15)의 접합부에는, 3방향 밸브로 이루어지는 서브 탱크용 전환 밸브(19)가 접속되어 있다.

메인 탱크(6)로부터 헤드부(4)를 향해 도포액 공급관(20)이 연장되어 있고, 상기 제1 카트리지(5a)로부터 나온 도포액 공급관(20)과 상기 제2 카트리지(5b)로부터 나온 도포액 공급관(20)의 접합부에는, 3방향 밸브로 이루어지는 카트리지 전환 밸브(21)가 접속되어 있다.

헤드부(4)로부터 도포액 공급 순환부(2)를 통하여 서브 탱크(7) 측에 도포액 회수관(22)이 연장되어 있고, 상기 제1 카트리지(5a) 측으로 연장되는 도포액 회수관(22)과 상기 제2 카트리지(5b) 측으로 연장되는 도포액 회수관(22)과의 분기부에, 3방향 밸브로 이루어지는 도포액 회수용 전환 밸브(23)가 접속되어 있다.

상기 헤드부(4)에는 4개의 헤드(24a)~(24d)가 직선 상에 배열하여 배치되고, 각 헤드(24a)~(24d)는 헤드 접속관(39)에 의해 직렬로 접속되어 있다.

메인 탱크(6)의 상부에는 초음파를 이용한 액면 센서(25)가 고정되고, 메인 탱크(6) 내의 도포액(26)의 액면(잔존량)이 감시되고 있다. 메인 탱크(6) 및 서브 탱크(7)에는, 외부로부터 교번(交番) 자계(磁界)를 가함으로써 스스로 회전하는 자성체로 이루어지는 교반자(攪拌子)(27)가 들어 있고, 교번 자계가 부여되는 방법에 따라 교반자(27)의 회전수를 적정하게 조정할 수 있다. 이 교반자(27)의 회전에 따른 교반 작용에 의해, 도포액(26) 중의 고체 미립자(스페이서 미립자)의 침강을 보다 확실하게 방지하고 있다.

도포액 공급 순환부(2)에는, 세정액 공급관(28)을 통하여 세정액 탱크(29)가 접속되고, 탱크 내에는 예를 들면, 이소프로필 알코올 등의 세정액(30)이 수용되어고 있다. 세정액 탱크(29) 내의 세정액(30)의 액면(잔존량)은, 액면 센서(31)에 의해 감시되고 있다.

상기 도포액 회수관(22)의 도중에 폐액관(32)이 접속되어 있고, 폐액관(32)은 폐액 탱크(33)까지 연장되어 있다. 탱크 내의 폐액량은, 액면 센서(34)에 의해 감시되고 있다.

질소 또는 공기 등으로 이루어지는 가압 가스(35)는, 가압용 매니폴드(36)를 통하여, 각 가압 가스용 배관(37)에 의해 메인 탱크용 매니폴드(9), 서브 탱크용 매니폴드(16), 도포액 공급관(20) 및 세정액 탱크(29) 측에 공급되도록 되어 있다.

상기 가압 가스용 배관(37)의 도포액 공급관(20)과의 접합부에는, 3방향 밸브로 이루어지는 도포액·세정액·가압 가스 전환 밸브(38)가 설치되어 있다. 또, 상기 가압 가스용 배관(37)과 세정액 공급관(28)과의 접합부에는, 3방향 밸브로 이루어지는 세정액·가압 가스 전환 밸브(40)가 설치되어 있다. 상기 메인 탱크용 매니폴드(9), 서브 탱크용 매니폴드(16) 및 가압용 매니폴드(36)에는, 각각 압력 센서(41)가 부설되어 있다.

상기 도포액 공급용 전환 밸브(21)로부터 나온 도포액 공급관(20)과 폐액관(32)의 접합부에는, 3방향 밸브로 이루어지는 도포액·폐액 전환 밸브(42)가 설치되어 있다. 도포액 공급관(20) 상의 상기 도포액·폐액 전환 밸브(42)와 헤드 부(4) 사이에는, 2방향 밸브로 이루어지는 제1 차단 밸브(43)가 설치되어 있다. 헤드부(4)로부터 나온 도포액 회수관(22)은, 폐액관(32)과의 접합부 부근에서, 폐액관(32) 측으로 연장된 폐액측 관체(44)와, 도포액 회수용 전환 밸브(23) 측으로 연장된 회수측 관체(46)의 2개로 분기되어 있다. 그리고, 상기 폐액측 관체(44) 상에 2방향 밸브로 이루어지는 제2 차단 밸브(46)가 설치되고, 회수측 관체(46) 상에 2방향 밸브로 이루어지는 제3 차단 밸브(47)가 설치되고, 도면에 나타낸 바와 같이 헤드부(4)로부터 나온 도포액 회수관(22)이 제2 차단 밸브(46)와 제3 차단 밸브(47) 사이에 접속되어 있다.

도면에 나타낸 바와 같이, 제1 카트리지(5a) 및 제2 카트리지(5b) 모두, 메인 탱크(6)→도포액 공급관(20)→헤드(24a)~(24d)→도포액 회수관(22)→서브 탱크(7)→탱크 간 이송관(13)(탱크 간 이송용 펌프(14))에 의해 도포액(26)의 순환 경로가 형성되어 있다.

제1 카트리지(5a)와 제2 카트리지(5b)는 모두 장치 본체에 대하여 교환 가능하게 되어 있고, 도면 중의 (49a)는 메인 탱크(6)와 도포액 공급관(20)과의 접속부, (49b)는 메인 탱크(6)와 메인 탱크용 가압·감압관(8)과의 접속부, (49c)는 메인 탱크(6)와 탱크용 이송관(13)의 출구측과의 접속부, (49d)는 서브 탱크(7)와 탱크용 이송관(13)의 입구측과의 접속부, (49e)는 서브 탱크(7)와 서브 탱크용 가압·감압관(15)와의 접속부, (49f)는 서브 탱크(7)와 도포액 회수관(22)과의 접속부이다. 이들 접속부(49a)~(49f)에 있어서, 상기 카트리지(5a, 5b)가 장치 본체에 대하여 교환 가능하도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속되어 있다.

제1 카트리지(5a) 및 제2 카트리지(5b)의 메인 탱크(6)와 서브 탱크(7)에는, 소정량의 도포액(26)이 주입되어 있다. 본 실시예는, 액정 표시 장치의 기판 간의 스페이서로서 사용하는 예를 들면, 비즈 등으로 이루어지는 구형의 스페이서 입자를 기판 상에 착탄(着彈)시키는 액적 토출 장치를 예로 나타내고 있다.

스페이서 입자의 직경은 예를 들면, VA 방식이나 TN 방식과 같이 액정 표시 장치의 종류 등에 따라 상이하지만, 통상, 2㎛~5㎛ 정도의 것이 사용되고, 헤드(24)의 오리피스로부터 토출 가능한 직경이다. 이 스페이서 입자는, 유기 액체, 물 또는 유기 액체와 물과의 혼합액 등의 분산액에, 예를 들면, 0.5중량%~ 20중량%정도의 농도로 분산된다.

본 실시예에서는, 물과 에틸렌글리콜을 혼합하여 안정적인 토출이 가능하도록 점도를 10mPa·s 정도로 조정한 분산액을 사용하고, 이것에 직경이 3.5㎛의 유리 비즈를 1.2중량% 분산시킨 것을 사용한다. 필요에 따라 스페이서 입자의 분산 성을 양호하게 유지하기 위한 분산제, 또는 스페이서 입자를 기판 표면에 접착하는 접착제 등을 첨가할 수도 있다.

다음에, 이 액적 토출 장치의 제조작에 대하여 설명한다. 먼저, 제1 카트리지(5a)를 사용하여 도포액(26)을 토출하는 경우에 대하여 설명한다.

(도포액의 충전 조작)

제1 카트리지(5a)를 액적 토출 장치에 장착한 상태에서는, 도포액 공급관(20), 각 헤드(24a)~(24d), 헤드 접속관(39) 및 도포액 회수관(22) 내 등에는 공기가 존재하고 있으므로, 이 공기를 배제하기 위해 먼저 공기를 세정액(30)으로 치 환한다.

메인 탱크(6)로부터 전환 밸브(38)까지의 사이의 도포액 공급관(20) 내에는 아직 공기가 남아 있기 때문에, 전환 밸브(38)의 A측을 열어 B측을 닫고, 전환 밸브(21)는 그대로 하여 두고, 전환 밸브(42)의 A측을 닫아 B측을 열고, 차단 밸브(43)를 닫는다. 또 전환 밸브(12)의 A측을 열어 B측을 닫는다.

그리고, 가압 가스(35)를 가압 가스용 배관(37), 메인 탱크용 매니폴드(9), 메인 탱크용 가압·감압관(8)을 통해 메인 탱크(6) 내에 공급하여 내압을 높이고, 그 내압에 의해 도포액(26)을 도포액 공급관(20) 및 폐액관(32)을 통해 유통시킴으로써, 그 사이(메인 탱크(6)로부터 전환 밸브(38) 사이)의 경로에 도포액(26)을 충전한다.

그러므로, 전환 밸브(40)의 A측을 열어 B측을 닫고, 전환 밸브(38)의 A측을 닫아 B측을 열고, 전환 밸브(21)의 A측을 열어 B측을 닫고, 전환 밸브(42)의 A측을 열어 B측을 닫고, 차단 밸브(43)를 열고, 차단 밸브(46)를 열고, 차단 밸브(47)를 닫는다.

그리고, 가압 가스(35)를 가압 가스용 배관(37)을 통해 세정액 탱크(29) 내에 공급하여 내압을 높이고, 그 내압에 의해 세정액 탱크(29) 내의 세정액(30)을 세정액 공급관(28), 가압 가스용 배관(37)의 일부, 도포액 공급관(20), 각 헤드(24a)~(24d), 헤드 접속관(39), 도포액 회수관(22)의 일부, 폐액관(32)을 통해 흐르게 함으로써, 그 사이의 공기를 세정액(30)으로 치환한다. 세정액(30)을 소정 시간 유통시킴으로써, 헤드부(4)를 포함하는 순환 경로가 세정액으로 채워진다.

다음에, 전환 밸브(42)의 A측을 열어 B측을 닫고, 차단 밸브(43)를 연다. 그리고, 가압 가스(35)를 메인 탱크(6) 내에 공급하여 내압을 높이고, 그 내압에 의해 도포액(26)을 도포액 공급관(20), 각 헤드(24a)~(24d), 헤드 접속관(39), 도포액 회수관(22)의 일부, 폐액관(32)을 통해 유통시킴으로써 세정액(30)을 도포액(26)으로 치환한다. 또한, 차단 밸브(46)를 닫고, 차단 밸브(47)를 열어, 회수측 관체(45) 내 및 그 앞의 서브 탱크(7)에 연장되어 있는 도포액 회수관(22) 내에 도포액(26)을 압송한다. 이로써, 도포액(26)의 충전 조작을 종료하고, 계속 도포액(26)의 토출 조작으로 이행한다.

(도포액의 토출 조작)

전술한 바와 같이, 카트리지부(3)는 헤드부(4)보다 높은 위치에 설치하고 있고, 양자 간에 수두차(水頭差)가 생기고 있다. 본 발명은 이 수두차를 이용하여, 도포액(26)을 기록 헤드(4)로부터 토출하고 있을 때에도 항상 도포액(26)을 상기 순환 경로를 통해 순환시켜, 도포액 성분의 침강, 본 실시예에서는 스페이서 입자의 침강을 억제하는 것이다.

그런데, 카트리지부(3)를 헤드부(4)보다 높은 위치에 설치한 것만으로는, 상기 수두차의 영향에 의해 헤드 오리피스에서의 메니스커스를 양호하게 유지할 수 없고, 종래 기술과 같이 액누출이 생긴다. 그래서, 본 발명에서는, 헤드 오리피스에서의 메니스커스를 양호하게 유지하면서, 또한, 도포액(26)을 순환시킬 수 있는 조건에 적합하도록, 메인 탱크(6) 내 및 서브 탱크(7) 내를 감압 상태로 하고 있다.

구체적으로는, 도포액 회수용 전환 밸브(23)의 A측을 열어 B측을 닫고, 제2 차단 밸브(46)를 닫고, 제3 차단 밸브(47)를 열고, 메인 탱크용 전환 밸브(12)로 서브 탱크용 전환 밸브(19)의 A측을 열어 B측을 닫는다. 그리고, 메인 탱크용 펌프(11)와 서브 탱크용 펌프(18)를 구동하고, 메인 탱크용 가압·감압관(8)과 서브 탱크용 가압·감압관(15)을 통하여, 메인 탱크(6) 내와 서브 탱크(7) 내를 각각 감압 상태로 한다. 서브 탱크(7)의 내압은 메인 탱크(6)의 내압보다 항상 낮아지도록 압력 전환부(1)에 의해 컨트롤되고 있고, 양자의 압력차는 도포액(26)의 양이 변화되어도 항상 일정하게 유지되고 있다. 도포액(26)의 잔존량은, 액면 센서(25)로 검출할 수 있다.

본 실시예에서는 도 1에 나타낸 바와 같이, 헤드(24)의 토출면과 메인 탱크(6)의 저면과의 단차 H는 약 700mm, 메인 탱크(6)의 내압은 약 -8kPa, 서브 탱크(7)의 내압은 약 -11kPa이며, 양 탱크(6, 7)의 압력차는 약 3kPa로 설정되어 있다. 메인 탱크(6) 내의 도포액(26)의 양에 의해 메인 탱크(6)의 내압은 약 ± 0.5kPa 내에서 변동되고, 그 변동에 대응하여 서브 탱크(7)의 내압이 컨트롤 되도록 되어 있다.

또한, 도면에 나타낸 바와 같이, 서브 탱크(7)의 액면은 메인 탱크(6)의 액면보다 항상 낮아지도록 탱크 간 이송용 펌프(14)의 구동에 의해 컨트롤되고 있어고, 메인 탱크(6)과 서브 탱크(7)의 액면 차이에 의해 도포액(26)의 순환이 스무스하게 행해진다.

메인 탱크(6) 내의 도포액(26)은 상기 수두차에 의해 도포액 공급관(20)을 통하여 헤드부(4)에 공급되고, 각 헤드(24)의 압력실에 유입되고, 압전(壓電) 진동자의 구동에 의해 오리피스로부터 액적(液滴)으로 되어 액정용 기판(48)의 소정 위치 상에 토출된다. 이 착탄된 액적 중에 대략 소정 개수(본 실시예에서는 3~ 5개)의 스페이서 입자가 포함되어 있다. 그리고, 헤드(24)의 내부 구조에 대하여는 다음에, 설명한다.

토출되지 않았던 도포액(26)은 다음의 헤드(24)로 흘러 그 일부가 토출되고, 최종적으로 토출되지 않은 남은 도포액(26)은 도포액 회수관(22)을 통하여 서브 탱크(7)에 보내진다. 서브 탱크(7) 내의 도포액(26)은, 탱크 간 이송용 펌프(14)의 구동에 의해 탱크 간 이송관(13)을 통해 메인 탱크(6)로 되돌려진다. 이 탱크 간 이송용 펌프(14)의 회전 제어에 의해, 메인 탱크(6)와 서브 탱크(7)의 액면 차 H는 항상 적정하게 유지되고 있다. 도포액(26)을 토출하지 않을 때는 헤드(24)의 압전 진동자는 구동되고 있지 않으므로, 도포액(26)은 각 헤드(24a)~(24d)의 내부를 빠져나가게 된다.

이와 같이 도포액(26)은 토출될 때도 토출되지 않을 때도 순환하고 있고, 항상 유동(流動) 상태에 있으므로, 도포액 구성 성분, 특히 본 실시예의 경우에는 스페이서 입자가 침강하는 것이 억제된다. 또한, 본 실시예에서는 메인 탱크(6) 및 서브 탱크(7) 내에서 교반자(27)가 각각 회전하고 있으므로, 스페이서 입자의 침강이 또한, 억제된다.

(카트리지의 전환 조작)

다음에, 제1 카트리지(5a)로부터 제2 카트리지(5b)로의 전환 조작에 대하여 설명한다. 제1 카트리지(5a) 측에 있어서의 메인 탱크(6)의 액면이 소정의 위치보다 내려간 것을 액면 센서(25)에 의해 검출하면, 제1 카트리지(5a) 측의 도포액(26)이 소비된 것으로 판단한다.

제1 카트리지(5a)와 제2 카트리지(5b)의 도포액(26)이 같은 조성의 경우, 헤드부(4)를 포함하는 순환 경로 중에는 이미 도포액(26)이 충전되어 있지만, 제2 카트리지(5b) 측에는, 메인 탱크(6)로부터 전환 밸브(38b)까지의 사이의 도포액 공급관(20b)로 전환 밸브(23)으로부터 서브 탱크(7b)까지의 경로에게는 아직 공기가 남아 있다.

그러므로, 전환 밸브(12, 19, 21, 23, 42)의 A측을 닫고, B측을 열고, 전환 밸브(38)의 A측을 열고, B측을 닫는다. 그리고, 가압 가스(35)를 가압 가스용 배관(37), 메인 탱크용 매니폴드(9), 메인 탱크용 가압·감압관(8)을 통해 메인 탱크(6b) 내에 공급하여 내압을 높이고, 그 내압에 의해 도포액(26)을 도포액 공급관(20b) 및 폐액관(32)를 통해 유통시킴으로써, 메인 탱크(6)로부터 전환 밸브(38b)까지의 사이의 도포액 공급관(20b) 내의 공기를 배출한다. 그 후, 전환 밸브(42)의 A측을 열고, B측을 닫고, 전환 밸브(23)로부터 서브 탱크(7b)까지의 경로로 압송한다. 이로써, 카트리지의 전환 조작을 종료한다. 이 도포액(26)의 토출 동작은, 제1 카트리지(5a)의 경우와 같으므로, 중복되는 설명은 생략한다.

제1 카트리지(5a)와 제2 카트리지(5b)에서 도포액(26)의 조성이 상이한 경우, 예를 들면, 제조하는 액정 디스플레이의 종류가 변경되고, 그에 따라 도포액(26) 중의 스페이서 입자(비즈)의 직경이 상이한 경우, 헤드부(4)를 포함하는 순 환 유로 중에는 전(前)의 종류의 도포액(26a)이 충전되어 있기 때문에, 그것을 완전히 배제하지 않으면 안된다.

그러므로, 먼저 전환 밸브(38)의 A측을 닫아 B측을 열고, 전환 밸브(21)의 A측을 열어 B측을 닫고, 전환 밸브(42)의 A측을 열어 B측을 닫고, 제1 차단 밸브(43) 및 제3 차단 밸브(47)를 열고, 제2 차단 밸브(46)를 닫고, 전환 밸브(23)의 A측을 열어 B측을 닫은 상태로 한다. 그리고, 전환 밸브(40)의 A측을 닫아 B측을 여는 것에 의해, 가압 가스(35)를 가압 가스용 배관(37)을 통해 도포액 공급관(20)으로 압송한다. 이로써, 전환 밸브(38) 이후의 도포액 공급관(20), 각 헤드(24a)~(24d), 헤드 접속관(39) 및 제1 카트리지(5a)의 서브 탱크(7)까지의 도포액 회수관(22) 내에 남아 있는 도포액(26a)이 서브 탱크(7)로 배출된다.

다음에, 전환 밸브(40) 이외의 밸브는 전술한 도포액(26a)의 배출 시와 같은 상태로 하여, 전환 밸브(40)의 A측을 열어 B측을 닫아서, 이번은 세정액(30)을 압송한다. 이로써, 전환 밸브(38) 이후의 도포액 공급관(20), 각 헤드(24a)~(24d), 헤드 접속관(39) 및 제1 카트리지(5a)의 서브 탱크(7)까지의 도포액 회수관(22)이 세정되고, 그 폐액이 서브 탱크(7)로 배출된다. 이와 같이 도포액(26)의 종류를 변경하는 경우 등의 때에는, 그 전에 사용하고 있던 카트리지(5)의 서브 탱크(7)는 폐액 탱크로서 이용된다.

이같이 하여, 지금까지 사용하고 있던 순환 유로에서의 도포액(26a)의 배출 및 세정이 종료된 후, 제1 카트리지(5a) 측의 전환 밸브(38)의 A측을 닫아 B측을 열고, 제2 카트리지(5b) 측의 전환 밸브(38)의 A측을 열어 B측을 닫고, 전환 밸 브(21)의 A측을 닫아 B측을 열고, 전환 밸브(23)의 A측을 닫아 B측을 연다.

이 밸브 조작에 의해 헤드부(4)를 포함하는 순환 유로가 제2 카트리지(5b) 측에 접속되고, 이 상태로 제2 카트리지(5b) 측에서의 도포액(26b)의 충전이 행해진다. 도포액(26b)의 토출 동작은 전술한 바와 같으므로, 중복되는 설명은 생략한다.

도 3은, 본 발명의 제2 실시예에 관한 액적 토출 장치의 계통도이다. 본 실시예에서 상기 제1 실시예와 상위한 점은, 각 헤드(42a)~(24d)가 헤드 접속관(39)에 의해 병렬로 접속되어 있는 점이다.

도 1에 나타낸 바와 같이 각 헤드(42a)~(24d)가 직렬로 접속되어 있는 경우, 각 헤드(42a)~(24d)에 있어서 세정액으로부터 도포액으로의 치환 및 도포액의 순환이 균일하게 행해지는 장점을 가지고 있다. 한편, 도 3에 나타낸 바와 같이 각 헤드(42a)~(24d)가 병렬로 접속되어 있는 경우, 각 헤드(42a)~(24d)에 있어서 도포액의 토출량을 많이 하는 것이 가능하며, 또 토출 속도를 빨리할 수 있다는 장점을 가지고 있다.

도 4 및 도 5는, 본 발명의 실시예에 관한 액적 토출 장치의 정면도 및 측면도이다.

이들 도면에 나타낸 바와 같이, 도포 스테이지(51) 상에는 2개 평행으로 연장된 X축 리니어 레일(52)이 부설(敷設), 고정되고, 그 위에 2개의 X축 리니어 가이드(53)가 장착되어 있다. X축 리니어 가이드(53) 상에 스테이지 베이스(54)를 통하여 테이블(55)이 고정되어 있다.

테이블(55) 상에는, 스페이서 미립자(비즈)를 도포하는 액정용 기판(48)이 배향면을 위로 하여 탑재되고, 예를 들면, 공기 흡인 기구 등의 위치 결정 수단(도시하지 않음)에 의해 테이블(55) 상의 소정 위치에 고정되어 있다.

도포 스테이지(51)의 좌우 양쪽 면으로부터 위쪽으로 향하여 지주(56, 56)가 연장되어 있고, 지주(56, 56)의 상단부에 가이드 지지 부재(57)가 가설되어 있다. 가이드 지지 부재(57)의 앞면에 2개의 평행으로 연장된 Y축 리니어 가이드(58)가 수평 방향으로 고정되어, 그 Y축 리니어 가이드(58)에 Y축 베이스(59)가 슬라이드 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한, Y축 베이스(59) 상에, 수직 방향으로 연장되는 Z축 베이스(60)가 고정되고, Z축 베이스(60) 상에 Z축 리니어 가이드(61)(도 4 참조)가 슬라이드 이동 가능하게 지지되어 있다.

상기 Y축 베이스(59) 및 Z축 베이스(60) 상에는, 도 5에 나타낸 바와 같이 도포액 토출 기구(62)가 탑재되어 있다. 이 도포액 토출 기구(62) 중의 도포액 공급 박스(63)는 Y축 베이스(59) 상에 탑재되고, 도포액 공급 박스(63)는 도 4에 나타낸 바와 같이 상기 도포액 순환 공급부(2)와 카트리지부(3)를 가지고 있다. 본 실시예에서는 상기 카트리지부(3)로서 메인 탱크(6)와 서브 탱크(7) 세트를 2세트 탑재하고 있지만, 상기 세트를 1세트 탑재할 수도 있다. 한편, 도포액 토출 기구(62) 중의 헤드부(4)는, 헤드 블록(64)을 통하여 상기 Z축 리니어 가이드(61)(Z축 베이스(60)) 상에 탑재되어 있다.

상기 액정용 기판(48)을 탑재한 테이블(55)는, 예를 들면, 리니어 모터(도시하지 않음)를 구동원으로 하여 상기 X축 리니어 레일(52) 상을 왕복 이동한다. 상 기 Z축 베이스(60)을 탑재한 Y축 베이스(59)는, 예를 들면, 리니어 모터(도시하지 않음)를 구동원으로 하여 상기 Y축 리니어 가이드(58) 상을 왕복 이동한다. 또 상기 헤드부(4)를 탑재한 Z축 리니어 가이드(61)는, 예를 들면, 리니어 모터(도시하지 않음)를 구동원으로 하여 상기 Z축 베이스(60) 상을 왕복 이동한다.

이들 도면에도 나타낸 바와 같이, 도포액 공급 박스(63)(도포액 순환 공급부(2), 카트리지부(3)는 헤드부(4)보다 높은 위치에 설치되어 있고, 따라서, 카트리지부(3)로부터 도포액 순환 공급부(2)를 경유하여 도포액 공급관(예를 들면, 플렉시블 튜브)을 통하여 헤드부(4) 내에 도포액이 자연스럽게 공급되는 동시에, 헤드부(4) 내의 도포액은 카트리지부(3)와의 액면차를 이용하여 항상 가압 상태로 된다. 그러므로 헤드부(4)에 있어서 도포액의 누출이 생길 우려가 있으므로, 도시하지 않은 압력 전환부(1)에 의해 카트리지부(3) 내를 감압 상태로 제어하고 있다.

헤드부(4)와 액정용 기판(48)의 거리는, Z축 베이스(60) 상에서의 Z축 리니어 가이드(61)의 위치 조정에 따라 적정하게 설정된다. 그리고, 액정용 기판(48)을 탑재한 테이블(55)이 왕복 이동하는 사이에, 초기에 설정된 토출 타이밍에 의해 헤드부(4)로부터 도포액이 액적으로 되어 액정용 기판(48)의 소정 위치에 토출되고, 착탄된 액적 내에는 소정 개수의 스페이서 미립자가 포함되어 있다.

1회의 액정용 기판(48)의 왕복 이동에 의해 필요 개소에 액적이 착탄되면, 도포액 토출 기구(62)는 Y축 상을 다음의 도포 영역까지 이동한다. 이들 동작의 반복에 의해, 액정용 기판(48)의 전체면에 스페이서 미립자를 함유한 액적이 착탄되어, 스페이서 미립자의 접착이 행해지므로, 액정 표시 장치의 다음의 조립 스텝 으로 반송된다.

도 6 내지 도 8은 온디맨드형 헤드부의 상세를 나타낸 도면이며, 도 6은 헤드부의 분해 사시도, 도 7은 헤드부의 조립 후의 단면도, 도 8은 도 7의 A-A선 상의 단면도이다.

이들 도면에 있어서 부호(71)은 오리피스, (72)는 오리피스 플레이트, (73)은 압력실, (74)는 압력실 플레이트, (75)는 리스트릭터(restrictor), (76)은 리스트릭터 플레이트, (77)은 다이어프램, (78)은 필터, (79)는 다이어 프레임 플레이트, (80)은 구멍 부분, (81)은 서포트 플레이트, (82)는 공통액 통로, (83)은 하우징, (84)는 접착제, (85)는 압전 액츄에이터, (86)은 압전 진동자, (87)은 외부 전극, (88)은 도전성 접착제, (89)는 지지 기판, (90)은 개별 전극, (91)은 공통 전극, (92)는 스루홀, (93)은 액도입 파이프이다.

이 온디맨드형의 헤드부는 도 6에 나타낸 바와 같이, 오리피스 플레이트(72), 압력실 플레이트(74), 리스트릭터 플레이트(76), 다이어 프레임 플레이트(79), 서포트 플레이트(81), 하우징(83), 압전 액츄에이터(85) 등으로 구성되어 있다.

일렬로 다수의 오리피스(71)를 형성한 오리피스 플레이트(72)는, 니켈재의 전기 주조(鑄造) 가공법, 스테인레스강재 등의 정밀 프레스 가공법 또는 레이저 가공법 등에 의해 제작된다. 압력실 플레이트(74)에는, 상기 오리피스(71)에 대응한 개수의 압력실(73)이 형성되고, 상기 오리피스(71)와 연통되어 있다. 리스트릭터 플레이트(76)는 도 7에 나타낸 바와 같이 공통액 통로(82)와 상기 압력실(73)을 연 통시키고, 압력실(73)으로의 액유입량을 제어하는 리스트릭터(75)가 설치되어 있다. 압력실 플레이트(74)와 리스트릭터 플레이트(76)는, 스테인레스강재의 에칭 가공법 또는 니켈재의 전기 주조 가공법 등에 의해 제작된다.

다이어 프레임 플레이트(79)에는 압전 진동자(86)의 압력을 양호한 효율로 압력실(73)에 전달하기 위한 다이어프램(77)과, 공통액 통로(82)로부터 리스트릭터(75)에 유입되는 액 중의 오물 등을 제거하는 필터(78)가 설치되어 있다. 다이어 프레임 플레이트(79)는, 스테인레스강재의 에칭 가공법 또는 니켈재의 전기 주조 가공법 등에 의해 제작된다.

서포트 플레이트(81)는 다이어프램(77)과 압전 진동자(86)를 접착제(84)로 고정할 때, 다이어프램(77)의 진동계 고정단의 위치를 규제하고, 또한 접착 개소로부터 넘친 접착제가 다이어프램(77)의 상에서 넓어지는 것을 규제하는 구멍 부분(80)이 형성되어 있다. 서포트 플레이트(81)는, 스테인레스강재의 에칭 가공법 또는 니켈재의 전기 주조 가공법 등에 의해 제작된다. 금속 또는 합성 수지로 제작되는 하우징(83)에는 공통액 통로(82)가 설치되어 있고, 이 공통액 통로(82)에 전술한 도포액 공급관(20) 또는 헤드 접속관(39)이 접속되어 있다.

도포액 공급관(20) 또는 헤드 접속관(39)으로부터 공급된 도포액은, 헤드의 공통액 통로(82)의 도중에 필터(78)를 통과하여, 리스트릭터(75), 압력실(73), 오리피스(71)로 차례로 흐른다. 개별 전극(90)과 공통 전극(91) 사이에 소정의 펄스 전압을 인가함으로써 압전 진동자(86)가 신축되고, 펄스 전압의 인가를 멈추면압전 진동자(86)는 신축 전의 상태로 되돌아온다. 이와 같은 압전 진동자(86)의 변형에 의해 압력실(73) 내의 도포액에 순간적으로 압력이 가해져, 오리피스(71)로부터 도포액이 액적으로 되어 액정용 기판(48) 상에 착탄된다.

도 9는, 헤드와 스페이서를 도포한 액정용 컬러 필터 기판과의 관계를 나타낸 평면도이다. 동 도면에 나타낸 바와 같이 액정용 컬러 필터 기판(48)의 표면에는, R, G, B의 화소셀(95)이 규칙적으로 정확하게 형성되어 있고, 그 액정용 컬러 필터 기판(48)의 차광막(96)의 교차 부분에 복수개의 스페이서(97)가 도포된다.

동 도면에 나타낸 바와 같이, 헤드(24) 상에는 오리피스(71)가 P1의 피치에서 형성되어 있는 것에 대하여, 기판(48) 상에 접착되는 스페이서(97)의 피치 P2는 액정 표시 장치의 종류에 따라 상이하다. 그러므로 헤드(24)의 경사 각도θ를 조정하여, 헤드(24)에 의한 토출 간격을 스페이서(97)의 피치 P2에 맞추고 있다.

상기 실시예에서는 액정 표시 장치의 제조의 경우에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 일렉트로 발광의 제조, 또는 산화 티탄 입자를 함유한 잉크를 인쇄하는 프린트 배선 기판의 제조, 침강이나 응집되기 쉬운 고농도의 전자 부품용 잉크를 사용하여 제조하는 적층 세라믹 전자 부품이나 고주파 전자 부품과 같은 전자 부품의 제조 등 다른 기술 분야에 있어서도 적용가능하다.

또한, 실시예에서는 고체 미립자를 혼합 분산한 도포액을 토출하는 경우에 대하여 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 잉크젯 기록 장치 등의 고체 미립자를 함유하지 않은 도포액을 토출하는 경우에도 적용가능하다.

본 발명은 전술한 바와 같은 구성으로 되어 있고, 도포액 공급 순환부, 헤드부 및 압력 전환부를 공통으로 사용하여, 도포액의 조성과 같은 물건, 조성이 상이한 물건을 포함하여 카트리지의 교환이 용이하며, 사용 편리성이 양호하다.

Claims (10)

1. 도포액을 수용한 탱크를 가지는 카트리지부와,

   상기 도포액을 액적(液滴)으로 하여 피착체(被着體)에 토출(吐出)하는 헤드부와,

   상기 탱크에 있는 도포액을 상기 헤드부에 공급하여, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 탱크로 되돌림으로써 도포액을 순환시키는 도포액 공급 순환부와,

   상기 도포액 공급 순환부를 통하여 세정액을 상기 헤드부에 공급하는 세정액 공급부와,

   상기 도포액 공급 순환부의 일부로부터 폐액(廢液)을 배출하는 폐액 배출부와,

   상기 세정액 공급부로부터 공급하는 세정액으로 상기 도포액 공급 순환부 및 상기 헤드부를 세정할 때 상기 세정액 공급부 내를 가압(加壓) 가스로 가압하고, 상기 도포액 공급 순환부에 의해 도포액을 순환시킬 때 상기 탱크 내를 감압(減壓)하는 압력 전환부

   를 구비하고,

   상기 카트리지부는 상기 도포액 공급 순환부에 대하여 교환 가능하도록 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 카트리지부에 상기 탱크를 가지는 카트리지가 복수개 설치되고, 각 카트리지는 상기 도포액 공급 순환부에 대하여 전환 가능하게 병렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 카트리지부가 상기 헤드부보다 높은 위치에 설치되고,

   상기 카트리지부는 도포액을 상기 헤드부에 공급하는 메인 탱크와, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 되돌리는 서브 탱크를 가지고,

   상기 메인 탱크와 서브 탱크는, 상기 도포액 공급 순환부의 이송용 펌프가 부착된 탱크 간 이송관에 의해 접속되어, 상기 도포액 공급 순환부에 의해 도포액을 순환시킬 때 상기 압력 전환부에 의해 상기 서브 탱크의 내압이 상기 메인 탱크의 내압보다 낮게 유지되고 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 헤드부에 복수개의 헤드가 설치되고, 이들 복수개의 헤드는 헤드 접속관에 의해 직렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 도포액은 고체 입자를 혼합, 분산한 도포액인 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
6. 제5항에 있어서,

   상기 피착체가 액정용 기판으로서, 상기 고체 입자가 2개의 액정용 기판의 간극을 유지하는 스페이서인 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
7. 도포액을 액적으로 하여 피착체에 토출하는 헤드부와,

   상기 도포액을 수용하는 메인 탱크와 상기 헤드부를 통과한 도포액을 되돌리는 서브 탱크를 가지고, 상기 서브 탱크로부터 메인 탱크로 도포액을 이송할 수 있도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속된 카트리지부와,

   상기 메인 탱크에 있는 도포액을 상기 헤드부에 공급하여, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌림으로써 도포액을 순환시키는 도포액 순환부와,

   상기 도포액 공급 순환부를 통하여 세정액을 상기 헤드부에 공급하는 세정액 공급부와,

   상기 도포액 공급 순환부의 일부로부터 폐액을 배출하는 폐액 배출부와,

   상기 세정액으로 상기 도포액 공급 순환부 및 상기 헤드부를 세정할 때 상기 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압하고, 상기 도포액 공급 순환부에 의해 도포액을 순환시킬 때 상기 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압하도록 압력을 전환하는 압력 전환부를 구비하고,

   상기 압력 전환부에 의해 상기 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압함으로 써, 상기 세정액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 세정액을 도포액 공급 순환부를 거쳐 상기 폐액 배출부에 흐르게 하여, 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 내재되어 있는 공기를 세정액으로 치환(置換)하는 공기·세정액 치환 스텝과,

   상기 공기·세정액 치환 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 상기 메인 탱크 내를 가압하여, 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 도포액 공급 순환부를 거쳐 상기 폐액 배출부에 흐르게 하여, 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 내재되어 있는 세정액을 도포액으로 치환하는 세정액·도포액 치환 스텝과,

   상기 세정액·도포액 치환 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 상기 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압으로 하여, 상기 메인 탱크 내의 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌리고, 상기 도포액의 순환 중에 도포액을 상기 헤드부로부터 액적으로 하여 피착체에 토출하는 도포액 공급 순환 스텝

   을 포함하는 액적 토출 장치의 운전 방법.
8. 제7항에 있어서,

   상기 카트리지부는 상기 헤드부보다 높은 위치에 설치되고, 상기 도포액 공급 순환 스텝 시에 상기 압력 전환부에 의해 상기 서브 탱크의 내압이 상기 메인 탱크의 내압보다 낮게 유지되고 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치의 운전 방법.
9. 도포액을 액적으로 하여 피착체에 토출하는 헤드부와,

   상기 도포액을 수용하는 메인 탱크와 상기 헤드부를 통과한 도포액을 되돌리는 서브 탱크를 가지고, 상기 서브 탱크로부터 메인 탱크로 도포액을 이송할 수 있도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속된 카트리지부와,

   상기 메인 탱크에 있는 도포액을 상기 헤드부에 공급하여, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌림으로써 도포액을 순환시키는 도포액 공급 순환부와,

   상기 도포액 공급 순환부를 통하여 세정액을 상기 헤드부에 공급하는 세정액 공급부와,

   상기 도포액 공급 순환부의 일부로부터 폐액을 배출하는 폐액 배출부와,

   상기 세정액으로 상기 도포액 공급 순환부 및 상기 헤드부를 세정할 때 상기 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압하고, 상기 도포액 공급 순환부에 의해 도포액을 순환시킬 때 상기 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압하도록 압력을 전환하는 압력 전환부를 구비하고,

   상기 카트리지부는 적어도, 상기 메인 탱크와 서브 탱크를 가지는 제1 카트리지와 상기 메인 탱크와 서브 탱크를 가지는 제2 카트리지를 구비하며, 상기 제1 카트리지와 제2 카트리지가 상기 도포액 공급 순환부에 대하여 전환 가능하도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속되어 있고,

   상기 제1 카트리지와 제2 카트리지에 수용되어 있는 상기 도포액의 조성이 같은 경우 상기 제1 카트리지를 상기 도포액 공급 순환부에 접속하고, 상기 압력 전환부에 의해 상기 제1 카트리지의 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압으로 하여, 상기 메인 탱크 내의 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌리고, 상기 도포액의 순환 중에 도포액을 상기 헤드부로부터 액적으로 하여 피착체에 토출하는 도포액 공급 순환 스텝과,

   상기 도포액 공급 순환 스텝의 도중에 상기 제1 카트리지 측의 도포액량이 적어지면, 상기 도포액 공급 순환부에 의한 제1 카트리지로부터의 도포액의 공급 순환을 정지시키는 정지 스텝과,

   상기 정지 스텝 후에, 상기 도포액 공급 순환부의 접속을 상기 제1 카트리지로부터 상기 제2 카트리지로 전환하는 전환 스텝과,

   상기 전환 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 상기 제2 카트리지의 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압으로 하여, 상기 메인 탱크 내의 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌리고, 상기 도포액의 순환 중에 도포액을 상기 헤드부로부터 액적으로 하여 피착체에 토출하는 도포액 공급 순환 스텝을 계속하여 행하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치의 운전 방법.
10. 도포액을 액적으로 하여 피착체에 토출하는 헤드부와,

    상기 도포액을 수용하는 메인 탱크와 상기 헤드부를 통과한 도포액을 되돌리는 서브 탱크를 가지고, 상기 서브 탱크로부터 메인 탱크로 도포액을 이송할 수 있도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속된 카트리지부와,

    상기 메인 탱크에 있는 도포액을 상기 헤드부에 공급하여, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌림으로써 도포액을 순환시키는 도포액 공급 순환부와,

    상기 도포액 공급 순환부를 통하여 세정액을 상기 헤드부에 공급하는 세정액 공급부와,

    상기 도포액 공급 순환부의 일부로부터 폐액을 배출하는 폐액 배출부와,

    상기 세정액으로 상기 도포액 공급 순환부 및 상기 헤드부를 세정할 때 상기 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압하고, 상기 도포액 공급 순환부에 의해 도포액을 순환시킬 때 상기 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압하도록 압력을 전환하는 압력 전환부를 구비하고,

    상기 카트리지부는 적어도, 상기 메인 탱크와 서브 탱크를 가지는 제1 카트리지와 상기 메인 탱크와 서브 탱크를 가지는 제2 카트리지를 구비하며, 상기 제1 카트리지와 제2 카트리지가 상기 도포액 공급 순환부에 대하여 전환 가능하도록 서브 탱크와 메인 탱크가 접속되어 있고,

    상기 제1 카트리지와 제2 카트리지에 수용되어 있는 상기 도포액의 조성이 상이한 경우 상기 제1 카트리지를 상기 도포액 공급 순환부에 접속하고, 상기 압력 전환부에 의해 상기 제1 카트리지의 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압으로 하 여, 상기 메인 탱크 내의 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌리고, 상기 도포액의 순환 중에 도포액을 상기 헤드부로부터 액적으로 하여 피착체에 토출하는 도포액 공급 순환 스텝과,

    상기 도포액 공급 순환 스텝의 도중에 상기 제1 카트리지 측의 도포액량이 적어지면, 상기 도포액 공급 순환부에 의한 제1 카트리지로부터의 도포액의 공급 순환을 정지시키는 정지 스텝과,

    상기 정지 스텝 후에, 상기 도포액 공급 순환부의 접속을 상기 제1 카트리지로부터 상기 제2 카트리지로 전환하는 전환 스텝과,

    상기 전환 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 가압 가스를 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 내재되어 있는 도포액을 배출하는 도포액 배출 스텝과,

    상기 도포액 배출 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 상기 세정액 공급부 내를 가압 가스로 가압함으로써, 상기 세정액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 세정액을 상기 폐액 배출부에 배출하여, 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부를 세정하는 세정 스텝과,

    상기 세정 스텝 후에, 상기 압력 전환부에 의해 상기 제2 카트리지의 메인 탱크 내 및 서브 탱크 내를 감압으로 하여, 상기 메인 탱크 내의 새로운 도포액을 상기 도포액 공급 순환부로부터 상기 헤드부에 통하게 하고, 상기 헤드부를 통과한 도포액을 상기 서브 탱크로 되돌리고, 상기 도포액의 순환 중에 도포액을 상기 헤 드부로부터 액적으로 하여 피착체에 토출하는 새로운 도포액 공급 순환 스텝

    을 행하는 액적 토출 장치의 운전 방법.

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