WO2015170534A1 - Matériau de cible de pulvérisation cathodique - Google Patents

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Abstract

La présente invention concerne un matériau de cible de pulvérisation cathodique qui est adapté à la formation d'une couche noircie d'un film de capteur pour des panneaux tactiles capacitifs, et qui peut être déchargé au moyen d'une alimentation en courant continu. La présente invention concerne un matériau de cible de pulvérisation cathodique qui est caractérisé en ce qu'il comprend : une structure mélangée composée d'une phase métallique à base de cuivre et d'une phase d'oxyde ; une teneur en oxygène de 5 % par atome à 30 % par atome ; une densité relative supérieure ou égale à 85 % ; et une résistivité apparente inférieure ou égale à 1,0 × 10-2 Ωcm. Il est préférable que la phase métallique à base de cuivre présente un diamètre de particule moyen de 0,5 µm à 10,0 µm et que la phase d'oxyde présente un diamètre moyen de particule de 0,05 µm à 7,0 µm.
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