JP6533805B2 - スパッタリングターゲット、スパッタリングターゲットの製造方法、非晶質膜、非晶質膜の製造方法、結晶質膜及び結晶質膜の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明のスパッタリングターゲットは一側面において、In、Ta及びTiを含む酸化物のターゲットであって、Ta及びTiの含有量がそれぞれ原子比(at%)で、Ta/(In+Ta+Ti)=0.08〜0.45at%、及び、Ti/(In+Ta+Ti)=0.03〜1.25at%を満たすスパッタリングターゲットである。当該スパッタリングターゲットはInの酸化物を主とする酸化物のターゲットである。
また、本発明のスパッタリングターゲットは別の一側面において、In、Ta、Ti及びSnを含む酸化物のターゲットであって、Ta、Ti及びSnの含有量がそれぞれ原子比(at%)で、Ta/(In+Ta+Ti+Sn)=0.08〜0.45at%、Ti/(In+Ta+Ti+Sn)=0.03〜1.25at%、及び、Sn/(In+Ta+Ti+Sn)=0.04〜0.40at%を満たすスパッタリングターゲットである。当該スパッタリングターゲットはInの酸化物を主とする酸化物のターゲットである。
次に、本発明のターゲットの製造方法について説明する。まず、本発明のIn、Ta及びTiを含むスパッタリングターゲットについては、原料である酸化インジウム粉末、酸化タンタル粉末、酸化チタン粉末を所定の割合で秤量し、混合する。
また、本発明のIn、Ta、Ti及びSnを含むスパッタリングターゲットについては、原料である酸化インジウム粉末、酸化タンタル粉末、酸化チタン粉末、酸化スズ粉末を所定の割合で秤量し、混合する。
上記スパッタリングターゲットを用いて、適切なスパッタ条件で基板をスパッタすることで原料であるスパッタリングターゲットと同じ組成を有する非晶質膜を作製することができる。
上記の様にして得られた非晶質膜を180℃以上でアニールすることで結晶化し、原料である酸化物ターゲットと同じ組成を有する結晶質膜を作製することができる。結晶化に関しては、X線回折(XRD)測定で、ピークを確認できるか否かで判断する。当該「ピーク」は、例えば、立方晶系(Ia−3)In2O3の最大ピーク(222)面を選択し、この(222)面が表れる30°〜31°間での最大強度が、30°及び31°でのピーク強度平均の1.5倍以内に収まっている際には、In2O3のピークは存在しない非晶質であると判断できる。
上記X線回折(XRD)の測定条件は以下のように設定することができる。
・株式会社リガク製の装置Ultima(X線源:Cu線)
・管電圧:40kV
・管電流:30mA
・スキャンスピード:5°/min
・ステップ:0.2°
ピーク強度は、X線回折で得られたデータからバックグラウンドを除去して、それぞれのピーク強度を算出する。バックグラウンド除去は、PDXL(Sonneveld−Visser法)を使用する。
実施例1〜25及び比較例1〜8として、表1〜4に記載の組成、平均粒径D50及びBET比表面積を有する酸化インジウム粉末、酸化タンタル粉末、酸化チタン粉末、酸化スズ粉末の混合粉を準備し、当該混合粉の微粉砕を行った。
−スパッタリングターゲットの各元素の原子比(at%)−
スパッタリングターゲットのTa、Ti、Snの原子比(at%)は、ICP法を用いて測定することで得た。また、In原子比(at%)は、全体からTa、Ti、Snの原子比(at%)を引くことで得た。
スパッタリングターゲットのFE−EPMAによる面分析を行った。具体的には、スパッタリングターゲットについて、FE−EPMAによるTa又はTi又はSnの面分析で組成像を観察したときに、母相となるIn2O3+SnO2相とその中にTa又はTi又はSnと濃度が高い相を確認した。次に、この濃度が高い相及び周囲の相のTa又はTi又はSnの濃度分析値を比較し、濃度が高い相/周囲の相が5倍以上となる相をTa又はTi又はSnの濃度が高い相と定義した。また、この「Ta又はTi又はSnの濃度が高い相」を副相と定義し、周囲の相を主相と定義した。そして、副相で最大径5μm以上である相について、50μm×50μmの視野で何個存在するか評価した。
スパッタリングターゲットの相対密度を測定した。相対密度は(実測密度/真密度)×100(%)で算出した。ここで、「実測密度」の測定はアルキメデス法を用いた。「真密度」は、原料に用いた各酸化物の混合比から加重平均によって代替した。なお、ターゲットにおいては各元素の分析値(重量%比)から、各酸化物であるIn2O3、SnO2、TiO2、Ta2O5に換算して計算する。各酸化物の密度は、In2O3:7.18g/cm3、SnO2:6.95g/cm3、Ta2O5:8.74g/cm3、TiO2:4.26g/cm3を用いた。
スパッタリングターゲットのバルク抵抗を四探針法により測定した。使用した装置は以下の通りである。
・エスピイエス株式会社製抵抗測定器(形式番号Σ―5+、製造番号15008279)
・プローブ:四探針プローブ(FELL−TL−100−SB−Σ―5+)
・測定治具:RG−5
製造条件及び評価結果を表1〜4に示す。
Claims (18)
- In、Ta及びTiを含む酸化物のターゲットであって、Ta及びTiの含有量がそれぞれ原子比(at%)で、Ta/(In+Ta+Ti)=0.08〜0.45at%、及び、Ti/(In+Ta+Ti)=0.03〜1.25at%を満たすスパッタリングターゲット。
- 相対密度で98.5%以上である請求項1に記載のスパッタリングターゲット。
- 相対密度で98.8%以上である請求項1に記載のスパッタリングターゲット。
- 相対密度で98.9%以上である請求項1に記載のスパッタリングターゲット。
- FE−EPMAによる面分析でTaまたはTiの濃度が高い相で、最大径5μm以上である相が、50μm×50μmのSEM像での視野で3個以下である請求項1〜4のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 原料粉を成型した後、昇温速度1〜5℃/分で1300〜1400℃まで加熱し、当該温度を5〜60時間保持した後、降温速度0.1〜3℃/分で降温させることで焼結を行う請求項1〜5のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記原料粉にTa2O5及びTiO2が含まれ、前記Ta2O5及び前記TiO2の平均粒径D50がいずれも2.0μm以下であり、且つ、BET比表面積が2.0m2/g以上である請求項6に記載のスパッタリングターゲットの製造方法。
- In、Ta、Ti及びSnを含む酸化物のターゲットであって、Ta、Ti及びSnの含有量がそれぞれ原子比(at%)で、Ta/(In+Ta+Ti+Sn)=0.08〜0.45at%、Ti/(In+Ta+Ti+Sn)=0.03〜1.25at%、及び、Sn/(In+Ta+Ti+Sn)=0.04〜0.40at%を満たすスパッタリングターゲット。
- 相対密度で98.5%以上である請求項8に記載のスパッタリングターゲット。
- 相対密度で98.8%以上である請求項8に記載のスパッタリングターゲット。
- 相対密度で98.9%以上である請求項8に記載のスパッタリングターゲット。
- FE−EPMAによる面分析で、Ta、TiまたはSnの濃度が高い相で、最大径5μm以上である相が最大径5μm以上である相が、50μm×50μmのSEM像での視野で3個以下である請求項8〜11のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 原料粉を成型した後、昇温速度1〜5℃/分で1300〜1400℃まで加熱し、当該温度を5〜60時間保持した後、降温速度0.1〜3℃/分で降温させることで焼結を行う請求項8〜12のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記原料粉にTa2O5、TiO2及びSnO2が含まれ、前記Ta2O5、前記TiO2及び前記SnO2の平均粒径D50がいずれも2.0μm以下であり、且つ、BET比表面積が2.0m2/g以上である請求項13に記載のスパッタリングターゲットの製造方法。
- 請求項1〜5及び8〜12のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲットを用いて基板をスパッタすることで非晶質膜を作製する非晶質膜の製造方法。
- 請求項1または8に記載のスパッタリングターゲットと同じ組成を有する非晶質膜。
- 請求項16に記載の非晶質膜をアニールすることによって、非晶質膜を結晶化させる結晶質膜の製造方法。
- 請求項1または8に記載のスパッタリングターゲットと同じ組成を有する結晶質膜。
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