WO2008032455A1 - Appareil de transfert de substrats et procédé de transfert de substrats - Google Patents

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WO2008032455A1
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glass plate
branch
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Kensuke Hirata
Tomoo Mizuno
Susumu Murayama
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Ihi Corporation
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Definitions

  • the present invention relates to a substrate transfer apparatus and a substrate transfer method for transferring a substrate such as a semiconductor wafer or a glass plate for a flat panel display, for example.
  • a substrate transfer device installed in a factory that manufactures semiconductor devices, a factory that manufactures flat panel displays such as liquid crystal devices, PDPs, and EL devices, it transfers substrates such as semiconductor wafers and glass plates, Using a loader, a robot arm, or the like, the substrate is transferred between various processing apparatuses such as a thin film forming apparatus, an etching apparatus, and a test apparatus, and a transfer path.
  • the substrate is generally transported in a state where the substrate is housed in a cassette capable of housing a plurality of substrates (see Patent Document 1).
  • Patent Document 1 JP-A-9-58844
  • a substrate transport apparatus that transports a substrate stored in a cassette
  • the substrate is transported on the main compressor. Stop the conveyance of the cassette to be transferred, rotate the cassette, and then transfer it to the branching conveyor.
  • the present invention has been made in view of the above-described problems.
  • the main compressor and the branch competitor are provided.
  • the purpose is to improve the substrate transfer speed.
  • the substrate transport apparatus maintains a main conveyor that transports a single wafer, a main conveyor force, a branch conveyor that branches horizontally, and the orientation of the substrate in the traveling direction. And a board delivery section for delivering the board from the main competitor to the branch competitor or from the branch competitor to the main competitor while rotating the board horizontally so as not to change.
  • the orientation of the substrate in the traveling direction is maintained by the substrate delivery section when the substrate is delivered from the main competitor to the branch competitor or from the branch competitor to the main competitor.
  • the substrate is transferred while the substrate is rotated horizontally (so that it does not change).
  • the substrate delivery unit includes a head unit that grips an outer edge of the substrate, and a drive unit that rotates the head unit horizontally around a predetermined rotation axis. And an arm part having one end connected to the head part and the other end connected to the drive part.
  • the substrate transfer apparatus of the present invention it is possible to employ a configuration in which a support portion that supports a downward force of the substrate is also provided during the transfer of the substrate by the substrate transfer portion.
  • the substrate transport method of the present invention the substrate is transported by a main conveyor, and the substrate on the main competitor is rotated horizontally so that the orientation of the substrate with respect to the traveling direction is maintained. However, it is passed from the main conveyor to the branching conveyor that branches horizontally.
  • the substrate is transferred from the main competitor to the branch competitor while being horizontally rotated so that the direction of the substrate relative to the traveling direction does not change.
  • the substrate transport method of the present invention the substrate is transported by a branch competitor that branches horizontally from the main competitor, and the substrate on the branch competitor is maintained in an orientation with respect to the traveling direction of the substrate. It is passed to the main competitor while being rotated horizontally.
  • the substrate is transferred from the branch competitor to the main competitor while being horizontally rotated so that the direction of the substrate relative to the traveling direction does not change.
  • the substrate is transferred from the main competitor to the branching compressor or the branching compo- nant force main forceer while being horizontally rotated so that the direction of the substrate with respect to the traveling direction is maintained (does not change). Therefore, it is possible to transfer the substrate at a high speed without having to stop the substrate on the main competitor or the branch competitor. Therefore, according to the present invention, the main compressor can be changed without changing the traveling direction of the substrate. When the board is transferred between the main conveyor and the branch conveyor, the board transfer speed between the main conveyor and the branch conveyor can be improved.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a substrate transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram showing a detailed configuration of the main competitor.
  • FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a branching portion with a plate delivery portion of the branching competitor.
  • FIG. 4A is a diagram showing an operation of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention (when the glass plate is drawn from the main competitor into the branching competitor).
  • FIG. 4B is a diagram showing an operation of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention (when the glass plate is pulled from the main competitor to the branching competitor).
  • FIG. 4C is a diagram showing an operation of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention (when the glass plate is drawn from the main competitor into the branching competitor).
  • FIG. 4D is a diagram showing an operation of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment of the present invention (when the glass plate is pulled from the main competitor to the branching competitor).
  • FIG. 5A is a diagram showing an operation of the plate transport apparatus according to the first embodiment of the basic invention (when a glass plate is transferred from a branching competitor to a main competitor).
  • FIG. 5B is a diagram showing the operation of the plate transport apparatus 1 according to the first embodiment of the basic invention (when the glass plate is transferred from the branching competitor to the main competitor).
  • FIG. 5C is a diagram showing an operation of the plate transport apparatus 1 according to the first embodiment of the basic invention (when the glass plate is transferred from the branching competitor to the main competitor).
  • FIG. 5D is a diagram showing the operation of the plate transport apparatus 1 according to the first embodiment of the basic invention (when the glass plate is transferred from the branching competitor to the main competitor).
  • FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a branching portion with a plate delivery portion of a branching competitor in a substrate transport apparatus according to a second embodiment of the present invention.
  • P Glass plate (substrate), 1 ... Substrate transfer device, 10 ... Main compressor, 12 ... Air floating unit (supporting part), 15 ... Conveyor part, 20 ... Branching compressor, 40 ... Plate delivery part (substrate receiving part) Crossing part), 41 ... arm part, 42 ... head part, 43 ... motor (drive part), 200 — Free roller unit (supporting part)
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment.
  • the substrate transport device 1 is a device that transports glass plates P one by one in a factory that manufactures flat panel displays such as liquid crystal devices, PDPs, and EL devices.
  • the main competitor 10 is a device that places the glass plate P horizontally and transports it at a constant speed in the direction along the surface of the glass plate P.
  • the main compressor 10 floats the glass plate P by air and supports it in a non-contact manner. It consists of a levitation unit 12 (support) and a competitor 15 (see Fig. 2 and Fig. 3).
  • the function of the support portion in the present invention is incorporated in a part of the main converter 10.
  • the main compressor 10 is arranged in a substantially straight line on the floor surface in the clean nolem of the factory. Then, the plurality of locations of the main competitor 10 are connected to the one-force main compressor 10 of the branch competitor 20 substantially orthogonally and horizontally.
  • the branch competitor 20 is a device that horizontally places the glass plate P and conveys it at a constant speed in the direction along the surface thereof. Part) and the competition part 15 etc. As described above, in the present embodiment, the function of the support portion in the present invention is also incorporated into a part of the branch competitor 20.
  • Various processing apparatuses such as a thin film forming apparatus 5, an etching apparatus 6, and a test apparatus 7 are arranged and connected to the other end side of the branch competitor 20.
  • Each of the various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6 and the test apparatus 7 has two branching components 20 arranged in parallel.
  • the branching conveyor 21 is a conveyor for carrying the glass plate P into the thin film forming apparatus 5
  • the branching competitor 22 is made of glass. This is a conveyor for unloading the plate P from the thin film forming apparatus 5.
  • branch conveyors 23 and 25 are used to carry the glass plate P into the etching apparatus 6 and the test apparatus 7, and the branch competitors 24 and 26 (branch conveyor 20) are etched. It is a conveyor for unloading the glass plate P from the device 6 and the test device 7.
  • the branch conveyors 21, 23, and 25 that carry the glass plate P into various processing devices are upstream of the main conveyor 10 with respect to the branch competitors 22, 24, and 26 that carry the glass plate P out of the various processing devices. Placed on the side.
  • the plate delivery unit 40 is provided on the upstream side of the main compressor 10 with respect to the branching conveyors 21, 23, and 25 for loading the glass plate P into each processing apparatus, and the branching conveyor 22 for unloading the glass plate P from various processing apparatuses. , 24 and 26 are installed on the downstream side of main compressor 10 respectively.
  • These plate delivery sections 40 rotate the glass plate P horizontally so that the direction of the glass plate P with respect to the traveling direction does not change, while moving from the main conveyor 10 to the branching conveyor 20 or from the branching conveyor 20 force.
  • the glass plate P is delivered to the main competitor 10.
  • FIG. 2 is a diagram showing a detailed configuration of the main competitor 10.
  • the main competitor 10 is a device that conveys the glass plate P in one horizontal direction while floating with the air, and includes a plurality of air floating units 12, a compressor unit 15, and the like.
  • the air levitation unit 12 is a member having a planar upper surface, and a plurality of fluid ejection holes 13 for ejecting compressed air are formed on the upper surface (mounting surface) with a substantially uniform arrangement density. ing.
  • the air levitation unit 12 is formed in a rectangular shape in plan view, and is provided so that its longitudinal direction coincides with the conveyance direction of the glass plate P. Also, the air levitation unit 12 short The direction (width direction) is formed slightly narrower than the width direction of glass plate P (direction perpendicular to the transport direction).
  • the compressed air is supplied from the compressed air supply device (not shown) to the air levitation unit 12, so that the compressed air is ejected from the fluid ejection holes 13.
  • the glass plate P placed on the air levitation unit 12 is floated by the compressed air ejected from each fluid ejection hole 13 and can be supported in a non-contact manner.
  • the competitor section 15 includes a plurality of rollers 16 and a benolet 17 attached around the plurality of rollers 16. Further, f is provided on the surface of the benore 17 and is provided at equal intervals in the longitudinal direction of the plurality of protrusions 18 of the benolet 17 (conveying direction of the main compressor 10).
  • the compressor unit 15 is arranged on both sides of the air levitation unit 12 along the conveying direction of the glass plate P.
  • the arrangement interval (distance) between the pair of competitor sections 15 is substantially the same as the width direction of the glass plate P.
  • the upper ends of the rollers 16 of the compressor section 15 are arranged so as to be positioned on the same horizontal plane, whereby the protrusion 18 provided on the surface of the belt 17 is positioned slightly above the upper surface of the air levitation unit 12.
  • the protrusions 18 come into contact with the outer edges (both ends in the width direction) of the lower surface of the glass plate P placed on the air levitation unit 12.
  • Each roller 16 of the compressor section 15 is a motor (not shown). For example, they rotate in the same direction at the same rotational speed.
  • the glass plate P can be transported along the air levitation unit 12 by the conveyor unit 15 while being supported by the air levitation unit 12 in a non-contact manner.
  • the competitor unit 15 is configured to be movable in the vertical direction by a lifting device (not shown).
  • each projection 18 is positioned slightly above the upper surface of the air levitation unit 12. In this case, the projection 18 of the competitor portion 15 abuts on the lower surface of the glass plate P, and the glass plate P can be conveyed.
  • the projections 18 are positioned below the upper surface of the air levitation unit 12.
  • the compressor section 15 each projection 18
  • the glass plate P is completely non-contact supported on the air levitation unit 12. Therefore, unless an external force is applied to the glass plate P, the glass plate P is held in a stopped state on the air levitation unit 12.
  • the main compressor 10 is configured by connecting a plurality of air levitation units 12 and a compressor section 15. That is, each air levitation unit 12 and each competitor section 15 are arranged close to each other and arranged in the horizontal direction. At this time, the upper surface (mounting surface) of each air levitation unit 12 is adjusted so as to be positioned on the same horizontal plane.
  • the branch competitor 20 is also constituted by an air levitation unit 12 and a competitor unit 15 provided in the main competitor 10. As shown in FIG. 1, in the present embodiment, the branching compressor 20 is composed of a single air levitation unit 12 and two competitor sections 15 arranged with the air levitation unit 12 interposed therebetween. Further, a plurality of air levitation units 12 and a competitor unit 15 may be used.
  • FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a branch portion between the main competitor 10 and the branch competitor 21.
  • a plate delivery section 40 is installed upstream of the main competitor 10 with respect to the branch competitor 21.
  • the plate delivery unit 40 includes an arm unit 41, a head unit 42, and a motor 43 (drive unit).
  • the arm part 41 is installed horizontally, with one end connected to the head part 42 and the other end connected to the motor 43.
  • the head portion 42 is configured to be able to grip the outer edge portion of the glass plate P, specifically, the vicinity of one side in the width direction of the glass plate P.
  • the glass plate P may be gripped by adsorbing and holding the side surface of the glass plate P, or the glass plate P may be gripped by sandwiching the upper and lower surfaces of the glass plate P.
  • the motor 43 rotates the head unit 42 horizontally around the vertical rotation axis L, and rotates the head unit 42 in the arrow direction (and the reverse arrow direction) shown in FIG. Move.
  • the plate delivery section 40 having such a configuration rotates the glass plate P on the main competitor 10 so that the orientation of the glass plate P with respect to the traveling direction does not change. Passed to branch competitor 20 while moving.
  • the plate delivery section 40 installed on the upstream side of the main compressor 10 with respect to the branch competitors 23 and 25 has the same configuration, and the glass plate P on the main competitor 10 is moved forward by the glass plate P. It is handed over to the branching conveyor 20 while rotating so that the direction relative to the direction does not change.
  • the plate delivery section 40 installed on the downstream side of the main compressor 10 with respect to the branch conveyors 22, 24, 26 is also configured in the same manner as the plate delivery section 40 shown in FIG. 3 is different from the plate delivery section 40 shown in FIG. 3 in that the plate P is delivered to the main compressor 10 while rotating so that the direction of the glass plate P relative to the traveling direction does not change.
  • compressed air is supplied to the air levitation units 12 of the main competitor 10 and the branch competitor 20, and the compressed air is ejected from the fluid ejection holes 13. Further, the compressor unit 15 is driven to rotate each roller 16 at a constant rotational speed. At this time, each of the competitors 15 is raised by an elevator device (not shown).
  • the glass plates P are conveyed by a single sheet.
  • the head portion 42 that holds the glass plate P is rotated in the horizontal plane by the motor 43 via the arm portion 41, thereby The lath plate P is transported from the main competitor 10 to the branch competitor 20.
  • the moving direction force of the glass plate P The force that changes from the moving direction of the main compressor 10 to the moving direction of the branching compressors 21, 2, 3, and 25 is rotated. The beginning does not change.
  • the glass plate P on the main competitor 10 is delivered to the branch competitor 20 while being rotated horizontally so that the direction of the glass plate P with respect to the traveling direction does not change.
  • the glass plate P is prevented in order to prevent the glass plate P and the competitor portion 15 from rubbing. It is preferable to stop driving of the compressor unit 15 when gripping the outer edge of the compressor. However, when the glass plate P comes out so that it does not rub against the platen portion 15 (for example, when the head unit 42 can hold the glass plate P and simultaneously lower the plater portion 15, the platen portion 15 is lowered. If the head portion 42 can grip the glass plate P after that, the outer edge of the glass plate P is not necessarily gripped if the head portion can move in the same direction as the rotation direction of the competitor portion 15). It is not necessary to stop the driving of the compressor section 15 at this time.
  • the glass plate and the competitor portion 15 are rubbed as in the case of holding the outer edge of the glass plate P described above. In order to prevent this, it is preferable to stop the driving of the compressor section 15.
  • the glass plate P is transported by the branch competitor 20 and delivered to various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7.
  • each processing equipment thin film forming equipment 5, etching equipment 6, testing equipment 7 etc.
  • the glass plate P is subjected to predetermined processing in each processing apparatus, it is carried out of the processing apparatus.
  • the operation of transferring the glass plate P from the branch competitor 20 to the main competitor 10 is substantially the reverse of the operation of transferring the glass plate P from the main competitor 10 to the branch competitor 20.
  • compressed air is supplied to each air levitation unit 12 of the main competitor 10 and the branch competitor 20, and the compressed air is ejected from each fluid ejection hole 13. Further, the compressor unit 15 is driven to rotate each roller 16 at a constant rotational speed. At this time, the competitor unit 15 is raised by a lifting device (not shown).
  • the glass plate P is delivered from the various processing apparatuses such as the thin film forming apparatus 5, the etching apparatus 6, and the test apparatus 7 to the branch competitor 20.
  • the glass plate P is transported by the branching conveyor 20 and moved to a position where the head part 42 of the plate delivery part 40 can reach.
  • the head part 42 of the plate delivery part 40 grips the outer edge of the glass plate P on the branching compressor 20.
  • the compressor section 15 of the main competitor 10 and the branch competitor 20 is lowered by a lifting device (not shown).
  • the glass plate P is levitated and supported by the compressed air ejected from each fluid ejection hole 13 of each air levitation unit 12. And, as shown in FIGS.
  • the glass plate P The head portion 42 that grips the glass plate P is rotated in the horizontal plane by the motor 43 via the arm portion 41, so that the force on the glass plate P is also transferred onto the main competitor 10.
  • the advancing direction of the glass plate P changes from the advancing direction of the branch competitors 22, 24, and 26 to the advancing direction of the main competitor 10, but since the glass plate P is rotated, the advancing direction of the glass plate P The head of for does not change.
  • the glass plate P on the branch competitor 20 rotates horizontally so that the direction of the glass plate P with respect to the traveling direction does not change. In the meantime, it is passed to the main competitor 10.
  • the substrate transport apparatus 1 includes the main competitor 10 that transports the glass plate P in a single sheet, the branch competitor 20 that branches horizontally with respect to the main competitor 10, and the glass plate P.
  • the glass plate P is rotated horizontally so that the direction of the glass plate P with respect to the traveling direction does not change, while the main compressor 10 force, etc.
  • Branch competitor 20 or branch competitor 20 force is delivered to main competitor 10. Therefore, the glass plate P can be transferred at high speed without having to stop the glass plate P on the main competitor 10 or the branch competitor 20 in order to match the direction of the glass plate P with respect to the traveling direction. Therefore, according to the substrate transfer apparatus 1 and the substrate transfer method according to the present embodiment, when the glass plate P is transferred between the main competitor 10 and the branch competitor 20 without changing the traveling direction of the glass plate P. In addition, it is possible to improve the delivery speed of the glass plate P between the main competitor 10 and the branch competitor 20.
  • the glass plate P that is transferred between the main competitor 10 and the branch competitor 20 using each air levitation unit 12 that ejects compressed air is disposed from below. Supported.
  • the glass plate P is transferred between the main competitor 10 and the branch competitor 20 in a state where there is no frictional resistance. For this reason, even if the delivery speed is increased, the glass plate P is not damaged by the impact.
  • FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a branch portion between the main competitor 10 and the branch competitor 21 in the substrate transport apparatus of the present embodiment.
  • the main converter 10 and the branch converter 21 are replaced with a spherical free roller 300 (supporting portion) instead of the air levitation unit 12 in the first embodiment.
  • the substrate transport apparatus of the present embodiment having such a configuration, when the glass plate P is transferred between the main competitor 10 and the branch competitor 20, the glass plate is moved from below by the spherical free rollers 300. Supported.
  • the glass plate P when the glass plate P is transferred between the main competitor 10 and the branch competitor 20, similarly to the substrate transport apparatus 1 of the first embodiment, the glass plate P is transferred. P can be prevented from bending.
  • the present invention is not limited to this, but can be applied to a configuration in which the main competitor 10 and the branch competitor 20 are arranged at different angles.
  • the glass plate P when the glass plate P is transferred between the main compressor 10 and the branch competitor 20 by lowering the compressor unit 15 by a lifting device (not shown), the glass plate P
  • the configuration is such that contact with the compressor section 15 can be prevented.
  • the present invention is not limited to this, and instead of lowering the competitor portion 15, the air levitation unit 12 may rise to prevent the glass plate and the competitor portion 15 from contacting each other. Les.
  • the upper surface of the air levitation unit 12 of the delivery-side competitor is positioned so as to be flush with the upper surface of the air levitation unit 12 after being lifted.
  • the force described for the case where the glass plate P is conveyed sheet by sheet is not limited to this.
  • a thin plate member such as a semiconductor wafer may be used.
  • branch competitor 20 may be further connected to the downstream side (the other end side) of the branch competitor 20.
  • a stocker for temporarily storing a plurality of substrates such as a glass plate P may be arranged.
  • One branching compressor 20 may be a case where the glass plate P is carried in and out.
  • the glass plate P is floated and supported using compressed air.
  • the present invention is not limited to this.
  • the glass plate p may be levitated and supported by applying a vibration wave propagating in space to the glass plate p.
  • the substrate transfer apparatus and the substrate transfer method according to the present invention provide a method for transferring a substrate between the main competitor and the branch competitor when the substrate is transferred between the main competitor and the branch competitor without changing the traveling direction of the substrate. It can be used to improve delivery speed.

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Description

明 細 書
基板搬送装置及び基板搬送方法
技術分野
[0001] 本発明は、例えば半導体ウェハやフラットパネルディスプレイ用ガラスプレート等の 基板を枚葉搬送するための基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。
本願は、 2006年 9月 11日に出願された特願 2006— 245829号に対し優先権を 主張し、その内容をここに援用する。
背景技術
[0002] 半導体装置を製造する工場や、液晶装置、 PDP、 EL装置等のフラットパネルディ スプレイを製造する工場等に設置される基板搬送装置においては、半導体ウェハや ガラスプレート等の基板を搬送し、ローダやロボットアーム等を用いて、薄膜形成装 置、エッチング装置、試験装置等の各種処理装置と、搬送経路との間で基板の受け 渡しが行われている。このような基板搬送装置では、基板は、基板を複数枚収容可 能なカセットに収容された状態で搬送されるのが一般的である（特許文献 1参照）。
[0003] さて、近年は、液晶テレビ等のフラットパネルディスプレイの大画面化に伴って、基 板が大型化している。このため、基板を収容するカセット等も大型化'重量化し、搬送 速度が低下することで、例えば仕掛在庫の増大を招く等、効率的な搬送が困難にな りつつある。
このため、基板を一枚ずつ高速に搬送する枚葉搬送が注目されてレ、る（特許文献 1 参照）。
特許文献 1 :特開平 9一 58844号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] し力 ながら、基板が枚葉搬送される場合には、カセットによって搬送する場合と比 較して搬送する個体数が増加する。このため、従来と同等もしくはそれ以上の処理速 度を実現するためには、より基板を高速搬送する必要がある。
特に、メインコンペャと、このメインコンペャと水平分岐する分岐コンペャとの間にお ける基板の受け渡し速度は、基板の高速搬送を実現させるにあたって非常に重要と なってくる。このため、メインコンペャと分岐コンペャ間における基板の受け渡し速度 を向上させる技術が望まれている。
[0005] また、ガラスプレートを枚葉搬送する基板搬送装置では、メインコンペャと分岐コン べャとの間において、進行方向に対する向きを変化させることなく基板を受け渡す必 要が出てくる場合がある。
基板をカセットに収納して搬送する従来の基板搬送装置では、例えば、メインコン べャから分岐コンペャに、進行方向に対する向きを変化させることなく基板を受け渡 す場合には、メインコンペャ上を搬送されるカセットの搬送を一旦停止し、カセットを 回動させた後に分岐コンべャに受け渡してレ、る。
ところが、基板を枚葉搬送する基板搬送装置において、同様の方法にて基板の受 け渡しを行うと、基板の搬送を停止する工程と停止された基板を分岐コンペャに受け 渡す工程とを行う必要があることから、メインコンペャと分岐コンペャ間における基板 の受け渡しに時間がかかる。
課題を解決するための手段
[0006] 本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、基板の進行方向を変化させ ることなくメインコンペャと分岐コンペャとの間にて基板を受け渡す場合において、メ インコンペャと分岐コンペャ間における基板の受け渡し速度を向上させることを目的 とする。
上記目的を達成するために、本発明の基板搬送装置は、基板を枚葉搬送するメイ ンコンべャと、前記メインコンペャ力 水平に分岐する分岐コンペャと、前記基板の 進行方向に対する向きが維持される（変化しない）ように前記基板を水平に回動させ ながら、前記メインコンペャから前記分岐コンペャに、あるいは、前記分岐コンペャか ら前記メインコンペャに前記基板を受け渡す基板受渡部と、を備える。
[0007] この基板搬送装置によれば、上記メインコンペャから上記分岐コンペャあるいは上 記分岐コンペャから上記メインコンペャへの基板の受け渡しの際に、基板受渡部に よって、基板の進行方向に対する向きが維持される（変化しないよう）に基板が水平 に回動されながら基板の受け渡しが行われる。 [0008] また、本発明の基板搬送装置においては、前記基板受渡部は、前記基板の外縁を 把持するヘッド部と、該ヘッド部を所定の回動軸を中心として水平に回動させる駆動 部と、前記ヘッド部に一端が接続されるとともに前記駆動部に他端部が接続されるァ ーム部と、を備えるという構成を採用することができる。
[0009] また、本発明の基板搬送装置においては、前記基板受渡部による前記基板の受け 渡しの間に前記基板を下方力も支持する支持部を備えるという構成を採用することが できる。
[0010] また、本発明の基板搬送装置においては、上記支持部が、圧縮空気を用いて上記 基板を浮上させつつ支持するという構成を採用することができる。
[0011] 次に、本発明の基板搬送方法は、基板がメインコンペャにより枚葉搬送され、前記 メインコンペャ上の前記基板が、前記基板の進行方向に対する向きが維持されるよう に水平に回動させられながら、前記メインコンペャから水平に分岐する分岐コンべャ に渡される。
[0012] この基板搬送方法によれば、基板の進行方向に対する向きが変化しないように基 板が水平に回動されながら、メインコンペャから分岐コンペャに受け渡される。
[0013] 次に、本発明の基板搬送方法は、基板が、メインコンペャから水平に分岐する分岐 コンペャにより搬送され、前記分岐コンペャ上の前記基板が、前記基板の進行方向 に対する向きが維持されるように水平に回動させられながら、前記メインコンペャに渡 される。
[0014] この基板搬送方法によれば、基板の進行方向に対する向きが変化しないように基 板が水平に回動されながら、分岐コンペャからメインコンペャに受け渡される。
発明の効果
[0015] 本発明によれば、基板の進行方向に対する向きが維持される（変化しない）ように 基板が水平に回動されながら、メインコンペャから分岐コンペャあるいは分岐コンペ ャ力 メインコンペャに受け渡される。このため、メインコンペャあるいは分岐コンペャ 上において基板を停止させる必要はなぐ基板の受け渡しを高速に行うことができる したがって、本発明によれば、基板の進行方向を変化させることなくメインコンペャ と分岐コンペャとの間にて基板を受け渡す場合において、メインコンペャと分岐コン べャ間における基板の受け渡し速度を向上させることが可能となる。
図面の簡単な説明
[0016] [図 1]図 1は、本発明の第 1実施形態に係る基板搬送装置を示す模式図である。
[図 2]図 2は、メインコンペャの詳細構成を示す図である。
[図 3]図 3は、分岐コンペャのプレート引渡部との分岐部分の構成を示す図である。
[図 4A]図 4Aは、本発明の第 1実施形態に係る基板搬送装置の動作 (ガラスプレート をメインコンペャから分岐コンペャに引き込む場合）を示す図である。
[図 4B]図 4Bは、本発明の第 1実施形態に係る基板搬送装置の動作 (ガラスプレート をメインコンペャから分岐コンペャに引き込む場合）を示す図である。
[図 4C]図 4Cは、本発明の第 1実施形態に係る基板搬送装置の動作 (ガラスプレート をメインコンペャから分岐コンペャに引き込む場合）を示す図である。
[図 4D]図 4Dは、本発明の第 1実施形態に係る基板搬送装置の動作 (ガラスプレート をメインコンペャから分岐コンペャに引き込む場合）を示す図である。
[図 5A]図 5Aは、基本発明の第 1実施形態に係る板搬送装置の動作 (ガラスプレート を分岐コンペャからメインコンペャに受け渡す場合）を示す図である。
[図 5B]図 5Bは、基本発明の第 1実施形態に係る板搬送装置 1の動作 (ガラスプレー トを分岐コンペャからメインコンペャに受け渡す場合）を示す図である。
[図 5C]図 5Cは、基本発明の第 1実施形態に係る板搬送装置 1の動作 (ガラスプレー トを分岐コンペャからメインコンペャに受け渡す場合）を示す図である。
[図 5D]図 5Dは、基本発明の第 1実施形態に係る板搬送装置 1の動作 (ガラスプレー トを分岐コンペャからメインコンペャに受け渡す場合）を示す図である。
[図 6]図 6は、本発明の第 2実施形態に係る基板搬送装置における、分岐コンペャの プレート引渡部との分岐部分の構成を示す図である。
符号の説明
[0017] P…ガラスプレート（基板）、 1…基板搬送装置、 10…メインコンペャ、 12…ェ ァ浮上ユニット（支持部）、 15…コンベア部、 20…分岐コンペャ、 40…プレート 引渡部（基板受渡部）、 41…アーム部、 42…ヘッド部、 43…モータ（駆動部）、 200……フリーローラユニット（支持部）
発明を実施するための最良の形態
[0018] 以下、図面を参照して、本発明に係る基板搬送装置及び基板搬送方法の一実施 形態について説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさと するために、各部材の縮尺を適宜変更している。
[0019] (第 1実施形態）
図 1は、本第 1実施形態に係る基板搬送装置 1を示す模式図である。
基板搬送装置 1は、液晶装置、 PDP、 EL装置等のフラットパネルディスプレイを製 造する工場において、ガラスプレート Pを一枚ずつ枚葉搬送する装置であって、メイ ンコンペャ 10と、メインコンペャ 10に対して水平面内において分岐する複数の分岐 コンペャ 20と、メインコンペャ 10と分岐コンペャ 20との間においてガラスプレート Pの 受け渡しを行うプレート受渡部 40と、これらを統括的に制御する不図示の制御部等 を備えている。
[0020] メインコンペャ 10は、ガラスプレート Pを水平に載置しつつ、その表面沿った方向に 、一定速度で搬送する装置であって、ガラスプレート Pを空気により浮上させて非接 触支持するエア浮上ユニット 12 (支持部）とコンペャ部 15等から構成される（図 2及び 図 3参照）。このように、本実施形態においては、本発明における支持部の機能がメイ ンコンべャ 10の一部に組み込まれている。
メインコンペャ 10は、工場のクリーンノレーム内の床面に略直線状に配置される。そ して、メインコンペャ 10の複数箇所には、分岐コンペャ 20の一端力メインコンペャ 10 に対して略直交かつ水平に連結される。
[0021] 分岐コンペャ 20は、メインコンペャ 10と同様に、ガラスプレート Pを水平に載置しつ つ、その表面に沿った方向に一定速度で搬送する装置であって、エア浮上ユニット 1 2 (支持部）と、コンペャ部 15等から構成される。このように、本実施形態においては、 本発明における支持部の機能が分岐コンペャ 20の一部にも組み込まれている。
[0022] 分岐コンペャ 20の他端側には、薄膜形成装置 5、エッチング装置 6、試験装置 7等 の各種処理装置が配置'連結されている。薄膜形成装置 5、エッチング装置 6、試験 装置 7等の各種処理装置には、それぞれ 2つの分岐コンペャ 20が平行配置されてい る。
例えば、薄膜形成装置 5に連結する分岐コンペャ 21， 22 (分岐コンペャ 20)のうち 、分岐コンペャ 21は、ガラスプレート Pを薄膜形成装置 5に搬入するためのコンペャ であり、分岐コンペャ 22は、ガラスプレート Pを薄膜形成装置 5から搬出するためのコ ンべャである。
同様に、分岐コンペャ 23, 25 (分岐コンペャ 20)は、エッチング装置 6、試験装置 7 にガラスプレート Pを搬入するためのコンペャであり、分岐コンペャ 24, 26 (分岐コン べャ 20)は、エッチング装置 6、試験装置 7からガラスプレート Pを搬出するためのコ ンべャである。
なお、各種処理装置にガラスプレート Pを搬入する分岐コンペャ 21 , 23, 25は、各 種処理装置からガラスプレート Pを搬出する分岐コンペャ 22， 24, 26に対して、メイ ンコンべャ 10の上流側に配置される。
[0023] プレート受渡部 40は、各処理装置にガラスプレート Pを搬入する分岐コンペャ 21, 23, 25に対してメインコンペャ 10の上流側、及び、各種処理装置からガラスプレート Pを搬出する分岐コンペャ 22, 24, 26に対してメインコンペャ 10の下流側の各々に 設置されている。
これらのプレート受渡部 40は、ガラスプレート Pの進行方向に対する向きが変化し ないようにガラスプレート Pを水平に回動させながら、メインコンペャ 10から分岐コン べャ 20に、あるいは、分岐コンペャ 20力らメインコンペャ 10に、ガラスプレート Pを受 け渡すものである。
[0024] 図 2は、メインコンペャ 10の詳細構成を示す図である。
メインコンペャ 10は、上述したように、ガラスプレート Pを空気により浮上させつつ、 水平方向の一方向に搬送する装置であり、エア浮上ユニット 12とコンペャ部 15等を 複数備えている。
[0025] エア浮上ユニット 12は、平面状の上面を備えた部材であって、この上面（載置面） には圧縮空気を噴出する複数の流体噴出孔 13が略均等な配置密度で形成されて いる。エア浮上ユニット 12は、平面視矩形状に形成され、その長手方向がガラスプレ ート Pの搬送方向に一致するように設けられている。また、エア浮上ユニット 12の短手 方向（幅方向）は、ガラスプレート Pの幅方向（搬送方向に直交する方向）よりもやや 狭く形成されている。
[0026] そして、不図示の圧縮空気供給装置からエア浮上ユニット 12に圧縮空気が供給さ れることにより、圧縮空気が各流体噴出孔 13から噴出するようになっている。これによ り、エア浮上ユニット 12上に載置されたガラスプレート Pを各流体噴出孔 13から噴出 する圧縮空気により浮上させて、非接触に支持可能となっている。
[0027] コンペャ部 15は、複数のローラ 16と、この複数のローラ 16の周りに取り付けられた ベノレト 17を備えてレ、る。また、ベノレト 17の表面に fま、複数の突起 18カべノレト 17の長 手方向（メインコンペャ 10の搬送方向）に均等な間隔で設けられている。
コンペャ部 15は、エア浮上ユニット 12の両側に、ガラスプレート Pの搬送方向に沿 つて配置されている。そして、一対のコンペャ部 15の配置間隔（距離）は、ガラスプレ ート Pの幅方向と略同一となっている。
[0028] コンペャ部 15の各ローラ 16の上端は同一水平面に位置するように配置され、これ によりベルト 17の表面に設けられた突起 18がエア浮上ユニット 12の上面よりも僅か に上方に位置するように配置される。そして、突起 18がエア浮上ユニット 12上に載置 されたガラスプレート Pの下面の外縁（幅方向の両端側）に当接するようになつている コンペャ部 15の各ローラ 16は、不図示のモータ等によって同一の回転速度で同一 方向に回転するようになっている。これにより、ガラスプレート Pをエア浮上ユニット 12 により非接触に支持しつつ、コンべャ部 15によってエア浮上ユニット 12に沿つて搬 送することが可能となっている。
[0029] また、コンペャ部 15は、不図示の昇降装置により、上下方向に移動可能に構成さ れている。
コンペャ部 15を昇降装置により上昇させた場合には、各突起 18がエア浮上ュニッ ト 12の上面よりも僅かに上方に位置するようになる。この場合には、コンペャ部 15の 突起 18がガラスプレート Pの下面に当接し、ガラスプレート Pを搬送できる。
一方、コンペャ部 15を下降させた場合には、各突起 18がエア浮上ユニット 12の上 面よりも下方に位置するようになる。この場合には、コンペャ部 15 (各突起 18)がガラ スプレート Pから離間して、ガラスプレート Pはエア浮上ユニット 12上で完全に非接触 支持された状態となる。したがって、ガラスプレート Pに外力が加わらない限り、ガラス プレート Pはエア浮上ユニット 12上で停止した状態で保持される。
[0030] そして、メインコンペャ 10は、エア浮上ユニット 12とコンペャ部 15とを、複数連結し て構成されている。すなわち、各エア浮上ユニット 12と各コンペャ部 15が互いに近 接して、水平方向に並べて配置される。この際、各エア浮上ユニット 12の上面 (載置 面）は、同一水平面に位置するように調整される。
[0031] また、分岐コンペャ 20もメインコンペャ 10が備えるエア浮上ユニット 12とコンペャ部 15とによって構成されている。なお、図 1に示すように、本実施形態においては、分 岐コンペャ 20は、単一のエア浮上ユニット 12と、該エア浮上ユニット 12を挟んで配 置される 2つのコンペャ部 15によって構成されている力 さらに複数のエア浮上ュニ ット 12及びコンペャ部 15によって構成されても良い。
[0032] 図 3は、メインコンペャ 10と分岐コンペャ 21との分岐部分の構成を示す図である。
この図に示すように、分岐コンペャ 21に対するメインコンペャ 10の上流側には、プ レート受渡部 40が設置されてレ、る。
[0033] プレート受渡部 40は、アーム部 41と、ヘッド部 42と、モータ 43 (駆動部）とを備えて いる。
アーム部 41は、一端がヘッド部 42に接続されるとともに他端がモータ 43と接続され ており、水平に設置されている。
ヘッド部 42は、ガラスプレート Pの外縁部分、具体的には、ガラスプレート Pの幅方 向の一辺付近を把持可能に構成されている。ガラスプレート Pの側面を吸着保持する ことによってガラスプレート Pを把持してもよいし、ガラスプレート Pの上面と下面を挟 持することによってガラスプレート Pを把持してもよい。
モータ 43は、鉛直な回動軸 Lを中心としてヘッド部 42を水平に回動するものであり 、アーム部 41を介してヘッド部 42を図 3に示す矢印方向（及び逆矢印方向）に回動 する。
[0034] そして、このような構成を有するプレート受渡部 40によって、メインコンペャ 10上の ガラスプレート Pが、ガラスプレート Pの進行方向に対する向きが変化しないように回 動しながら分岐コンペャ 20に受け渡される。
[0035] なお、分岐コンペャ 23, 25に対するメインコンペャ 10の上流側に設置されるプレ ート受渡部 40も同様の構成を有しており、メインコンペャ 10上のガラスプレート Pを、 ガラスプレート Pの進行方向に対する向きが変化しないように回動しながら分岐コン べャ 20に受け渡す。
また、分岐コンペャ 22, 24, 26に対するメインコンペャ 10の下流側に設置されるプ レート受渡部 40も、図 3に示すプレート受渡部 40と同様の構成を有している力 分岐 コンペャ 20上のガラスプレート Pを、ガラスプレート Pの進行方向に対する向きが変化 しないように回動しながらメインコンペャ 10に受け渡す点において、図 3に示すプレ ート受渡部 40と異なる。
[0036] 次に、基板搬送装置 1の動作 (基板搬送方法）について説明する。
図 4A〜図 4Dを参照して、メインコンべャ 10上を搬送されるガラスプレート Pを分岐 コンペャ 20に受け渡す場合（分岐コンペャ 21 , 23, 25に対してメインコンペャ 10の 上流側に設置されるプレート受渡部 40の動作）について説明する。
[0037] まず、メインコンペャ 10及び分岐コンペャ 20の各エア浮上ユニット 12に圧縮空気 を供給して、各流体噴出孔 13から圧縮空気を噴出させる。また、コンペャ部 15を駆 動して、各ローラ 16を一定の回転速度で回転させる。この際、各コンペャ部 15を不 図示の昇降装置により上昇させておく。
そして、メインコンペャ 10の上流側において、ガラスプレート Pを一枚づっ載置する ことにより、ガラスプレート Pは枚葉搬送される。
[0038] そして、図 4Aに示すように、メインコンペャ 10上のガラスプレート P力 プレート受渡 部 40のヘッド部 42の届く位置まで移動すると、プレート受渡部 40のヘッド部 42が分 岐コンペャ 20の一端まで移動して、メインコンペャ 10上のガラスプレート Pの外縁を 把持する。その後、メインコンペャ 10及び分岐コンペャ 20のコンペャ部 15は、不図 示の昇降装置により下降する。この際、ガラスプレート Pは、各エア浮上ユニット 12の 各流体噴出孔 13から噴出される圧縮空気によって浮上支持される。
そして、図 4B及び図 4Cに示すように、ガラスプレート Pを把持するヘッド部 42が、 モータ 43によってアーム部 41を介して水平面内において回動されることによって、ガ ラスプレート Pはメインコンペャ 10上から分岐コンペャ 20上に搬送される。この際、ガ ラスプレート Pの進行方向力 メインコンペャ 10の進行方向から、分岐コンペャ 21, 2 3, 25の進行方向に変化する力 ガラスプレート Pが回動されるため、ガラスプレート P の進行方向に対する先頭は変化しない。
すなわち、本実施形態の基板搬送装置 1によれば、メインコンペャ 10上のガラスプ レート Pは、ガラスプレート Pの進行方向に対する向きが変化しないように水平に回動 されながら分岐コンペャ 20に受け渡される。
なお、本実施形態においては、ヘッド部 42がコンペャ部 15の回転方向と同じ方向 に移動できない構成であるため、ガラスプレート Pとコンペャ部 15とが擦れることを防 止するために、ガラスプレート Pの外縁を把持する際にコンペャ部 15の駆動を停止し た方が好ましい。し力 ながら、ガラスプレート Pとコンペャ部 15とが擦れないように出 来る場合 (例えば、ヘッド部 42がガラスプレート Pを把持すると同時にコンペャ部 15 を下降することができる場合、コンペャ部 15を下降してからヘッド部 42がガラスプレ ート Pを把持することができる場合、ヘッド部がコンペャ部 15の回転方向と同じ方向 に移動可能な場合等）には、必ずしもガラスプレート Pの外縁を把持する際にコンペ ャ部 15の駆動を停止する必要はない。
[0039] そして、図 4Dに示すように、ガラスプレート Pが分岐コンペャ 20上に搬送されると、 再びメインコンペャ 10及び分岐コンペャ 20のコンペャ部 15は、不図示の昇降装置 により上昇する。その後、プレート受渡部 40のヘッド部 42によるガラスプレート Pの把 持が解除されることで、ガラスプレート Pは分岐コンペャ 20により、メインコンペャ 10 力 離間する方向に搬送される。
なお、本実施形態においては、ヘッド部 42によるガラスプレート Pの把持を解除す る際にも、上述したガラスプレート Pの外縁を把持する際と同様に、ガラスプレート と コンペャ部 15とが擦れることを防止するために、コンペャ部 15の駆動を停止した方 が好ましい。
[0040] なお、ガラスプレート Pは、分岐コンペャ 20により搬送されて、薄膜形成装置 5、エツ チング装置 6、試験装置 7等の各種処理装置に受け渡される。
なお、各処理装置 (薄膜形成装置 5、エッチング装置 6、試験装置 7等）に受け渡され たガラスプレート Pは、各処理装置において所定の処理が施された後に、各処理装 置の外部に搬出される。
[0041] 次に、図 5A〜図 5Dを参照して、ガラスプレート Pを分岐コンペャ 20力 メインコン べャ 10に受け渡す場合 (分岐コンペャ 22， 24, 26に対してメインコンペャ 10の下流 側に設置されるプレート受渡部 40の動作）について説明する。
ガラスプレート Pを分岐コンペャ 20からメインコンペャ 10に受け渡す動作は、ガラス プレート Pをメインコンペャ 10から分岐コンペャ 20に受け渡す動作を略反転させたも のである。
[0042] まず、メインコンペャ 10及び分岐コンペャ 20の各エア浮上ユニット 12に圧縮空気 を供給して、各流体噴出孔 13から圧縮空気を噴出させる。また、コンペャ部 15を駆 動して、各ローラ 16を一定の回転速度で回転させる。この際、コンペャ部 15を不図 示の昇降装置により上昇させておく。
[0043] 次に、ガラスプレート Pが薄膜形成装置 5、エッチング装置 6、試験装置 7等の各種 処理装置から分岐コンペャ 20に受け渡される。ガラスプレート Pは分岐コンペャ 20に より搬送されて、プレート受渡部 40のヘッド部 42が届く位置まで移動する。そして、 図 5Aに示すように、プレート受渡部 40のヘッド部 42が分岐コンペャ 20上のガラスプ レート Pの外縁を把持する。その後、メインコンペャ 10及び分岐コンペャ 20のコンペ ャ部 15は、不図示の昇降装置により下降する。この際、ガラスプレート Pは、各エア 浮上ユニット 12の各流体噴出孔 13から噴出される圧縮空気によって浮上支持される そして、図 5B、図 5C、及び、図 5Dに示すように、ガラスプレート Pを把持するヘッド 部 42が、モータ 43によってアーム部 41を介して水平面内において回動されることに よって、ガラスプレート Pは分岐コンペャ 20上力もメインコンペャ 10上に搬送される。 この際、ガラスプレート Pの進行方向が、分岐コンペャ 22, 24, 26の進行方向から、 メインコンペャ 10の進行方向に変化するが、ガラスプレート Pが回動されるため、ガラ スプレート Pの進行方向に対する先頭は変化しない。
すなわち、本実施形態の基板搬送装置 1によれば、分岐コンペャ 20上のガラスプ レート Pは、ガラスプレート Pの進行方向に対する向きが変化しないように水平に回動 されながらメインコンペャ 10に受け渡される。
[0044] 以上説明したように、本実施形態に係る基板搬送装置 1は、ガラスプレート Pを枚葉 搬送するメインコンペャ 10と、メインコンペャ 10に対して水平に分岐する分岐コンペ ャ 20と、ガラスプレート Pの進行方向に対する向きが変化しないようにガラスプレート Pを水平に回動させながら、メインコンペャ 10から分岐コンペャ 20あるいは分岐コン べャ 20力もメインコンペャ 10にガラスプレート Pの受け渡しを行うプレート受渡部 40と 、を備える。
このような本実施形態に係る基板搬送装置 1及び基板搬送方法によれば、ガラスプ レート Pの進行方向に対する向きが変化しないようにガラスプレート Pが水平に回動さ れながら、メインコンペャ 10力、ら分岐コンペャ 20あるいは分岐コンペャ 20力 メイン コンペャ 10に受け渡される。このため、ガラスプレート Pの進行方向に対する向きを 合わせるためにメインコンペャ 10あるいは分岐コンペャ 20上においてガラスプレート Pを停止させる必要はなぐガラスプレート Pの受け渡しを高速に行うことができる。 したがって、本実施形態に係る基板搬送装置 1及び基板搬送方法によれば、ガラ スプレート Pの進行方向を変化させることなくメインコンペャ 10と分岐コンペャ 20との 間にてガラスプレート Pを受け渡す場合において、メインコンペャ 10と分岐コンペャ 2 0間におけるガラスプレート Pの受け渡し速度を向上させることが可能となる。
[0045] また、本実施形態に係る基板搬送装置 1においては、圧縮空気を噴出する各エア 浮上ユニット 12を用いてメインコンペャ 10と分岐コンペャ 20との間で受け渡されるガ ラスプレート Pを下方から支持した。
このように、受け渡しの際にガラスプレート Pを下方から支持することによって、ガラ スプレート Pが橈むことを抑止することが可能となる。
また、圧縮空気を用いてガラスプレート Pを浮上支持することによって、ガラスプレー ト P力 摩擦抵抗が無いに等しい状態で、メインコンペャ 10と分岐コンペャ 20との間 において受け渡される。このため、受け渡し速度を高速化した場合であっても、衝撃 が加わることによるガラスプレート Pの損傷が生じない。
[0046] (第 2実施形態）
次に、本発明の第 2実施形態について説明する。なお、本第 2実施形態の説明に おいて、上記第 1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略 化する。
[0047] 図 6は、本実施形態の基板搬送装置における、メインコンペャ 10と分岐コンペャ 21 との分岐部分の構成を示す図である。この図に示すように、本実施形態においては、 メインコンべャ 10及び分岐コンべャ 21が、上記第 1実施形態におけるエア浮上ュニ ット 12の替わりに、球状フリーローラ 300 (支持部）が複数配列されたフリーローラュ ニット 200を備えて構成されてレ、る。
[0048] このような構成を有する本実施形態の基板搬送装置によれば、メインコンペャ 10と 分岐コンペャ 20との間でガラスプレート Pの受け渡しを行う際に、ガラスプレート が 球状フリーローラ 300によって下方から支持される。
したがって、本実施形態の基板搬送装置によっても、上記第 1実施形態の基板搬 送装置 1と同様に、メインコンペャ 10と分岐コンペャ 20との間でガラスプレート Pの受 け渡しを行う際にガラスプレート Pが撓むことを抑止することができる。
[0049] なお、上述した実施の形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ、又 は動作手順等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要 求等に基づき種々変更可能である。
[0050] 例えば、上記実施形態においては、メインコンペャ 10と分岐コンペャ 20とが直角に 配置される構成について説明した。し力 ながら、本発明はこれに限定されるもので はなぐメインコンペャ 10と分岐コンペャ 20とが異なる角度で配置される構成に適用 することちでさる。
[0051] また、上記実施形態においては、コンペャ部 15が、不図示の昇降装置により下降 することによって、メインコンペャ 10と分岐コンペャ 20との間においてガラスプレート Pを受け渡す場合に、ガラスプレート Pがコンペャ部 15と接触することを防止すること ができる構成とした。し力 ながら、本発明はこれに限るものではなぐコンペャ部 15 が下降する替わりに、エア浮上ユニット 12が上昇することによって、ガラスプレート と コンペャ部 15とが接触することを防止しても構わなレ、。この場合には、受け渡し側の コンペャのエア浮上ユニット 12上面は、上昇された後のエア浮上ユニット 12の上面と 面一となるように位置されてレ、る。 [0052] 上記実施形態においては、ガラスプレート Pを枚葉搬送する場合について説明した 力 これに限らなレ、。例えば、半導体ウェハ等の薄い板状部材であればよい。
[0053] 上述した実施形態においては、分岐コンペャ 20の他端側に、薄膜形成装置 5、ェ ツチング装置 6、試験装置 7等の各種処理装置を配置'連結する場合について説明 したが、これに限らない。分岐コンペャ 20の下流側 (他端側）に、更に分岐コンペャ 2 0が連結される場合であってもよい。
また、薄膜形成装置 5、エッチング装置 6、試験装置 7等の各種処理装置の他、ガラ スプレート P等の基板を複数一時的に保存するストッカを配置してもよい。
[0054] 上述した実施形態においては、薄膜形成装置 5、エッチング装置 6、試験装置 7等 の各種処理装置に、ガラスプレート Pを搬入する分岐コンペャ 21 , 23, 25とガラスプ レート Pを搬出する分岐コンペャ 22， 24, 26を配置する場合について説明した力 こ れに限らない。一つの分岐コンペャ 20が、ガラスプレート Pを搬入'搬出を行う場合で あってもよい。
[0055] また、上記第 1実施形態においては、圧縮空気を用いてガラスプレート Pを浮上支 持する場合について説明したが、これに限らない。例えば、空間を伝播する振動波を ガラスプレート pに付与することによってガラスプレート pを浮上支持させてもよい。 産業上の利用可能性
[0056] 本発明による基板搬送装置及び基板搬送方法は、基板の進行方向を変化させるこ となくメインコンペャと分岐コンペャとの間にて基板を受け渡す場合において、メイン コンペャと分岐コンペャ間における基板の受け渡し速度を向上させるために利用で きる。

Claims

請求の範囲
[1] 基板を枚葉搬送するメインコンペャと、
前記メインコンペャから水平に分岐する分岐コンペャと、
前記基板の進行方向に対する向きが維持されるように前記基板を水平に回動させ ながら、前記メインコンペャから前記分岐コンペャに、あるいは、前記分岐コンペャか ら前記メインコンべャに前記基板を受け渡す基板受渡部と、
を備える基板搬送装置。
[2] 前記基板受渡部は、
前記基板の外縁を把持するヘッド部と、
該ヘッド部を所定の回動軸を中心として水平に回動させる駆動部と、
前記ヘッド部に一端が接続されるとともに前記駆動部に他端部が接続されるアーム 部と、
を備える請求項 1記載の基板搬送装置。
[3] 前記基板受渡部による前記基板の受け渡しの間に前記基板を下方から支持する 支持部を備える請求項 1記載の基板搬送装置。
[4] 前記支持部は、圧縮空気を用いて前記基板を浮上させつつ支持する請求項 3記 載の基板搬送装置。
[5] 基板がメインコンペャにより枚葉搬送され、
前記メインコンペャ上の前記基板が、前記基板の進行方向に対する向きが維持さ れるように水平に回動させられながら、前記メインコンペャから水平に分岐する分岐 コンペャに渡される基板搬送方法。
[6] 基板が、メインコンペャから水平に分岐する分岐コンペャにより搬送され、
前記分岐コンペャ上の前記基板が、前記基板の進行方向に対する向きが維持さ れるように水平に回動させられながら、前記メインコンペャに渡される基板搬送方法。
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