KR20090048461A - 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 - Google Patents

기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 Download PDF

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Abstract

기판을 매엽 반송하는 메인 컨베이어, 상기 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어, 상기 기판의 진행방향에 대한 방향이 유지되도록 상기 기판을 수평으로 회동시키면서, 상기 메인 컨베이어에서 상기 분기 컨베이어로 혹은 상기 분기 컨베이어에서 상기 메인 컨베이어로 상기 기판을 수용전달하는 기판 수용전달부를 구비하는 기판 반송 장치이다.
Figure P1020097003167
기판, 매엽, 반송, 분기, 회동, 수용전달, 방향

Description

기판 반송 장치 및 기판 반송 방법{Substrate transfer apparatus and substrate transfer method}
본 발명은, 예를 들면 반도체 웨이퍼나 플랫 패널 디스플레이용 유리 플레이트 등의 기판을 매엽(枚葉) 반송하기 위한 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법에 관한 것이다.
본원은 2006년 9월 11일에 출원된 특원 2006-245829호에 대해 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.
반도체 장치를 제조하는 공장이나, 액정장치, PDP, EL장치 등의 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공장 등에 설치되는 기판 반송 장치에 있어서는, 반도체 웨이퍼나 유리 플레이트 등의 기판을 반송하고, 로더나 로봇 아암 등을 이용하여 박막 형성 장치, 에칭 장치, 시험 장치 등의 각종 처리장치와 반송경로의 사이에서 기판의 교환이 행해지고 있다. 이러한 기판 반송 장치에서는, 기판은 기판을 복수매 수용 가능한 카세트에 수용된 상태로 반송되는 것이 일반적이다(특허문헌 1 참조).
그런데, 최근, 액정 텔레비전 등의 플랫 패널 디스플레이의 대화면화에 동반하여 기판이 대형화되고 있다. 이 때문에, 기판을 수용하는 카세트 등도 대형화· 중량화되어 반송속도가 저하됨으로써, 예를 들면 제작 재고의 증대를 초래하는 등 효율적인 반송이 어렵게 되고 있다.
이 때문에, 기판을 1장씩 고속으로 반송하는 매엽 반송이 주목되고 있다(특허문헌 1 참조).
특허문헌 1: 일본특허공개 평9-58844호 공보
그러나, 기판이 매엽 반송되는 경우에는, 카세트에 의해 반송하는 경우와 비교하여 반송하는 개체수가 증가한다. 이 때문에, 종래와 동등 또는 그 이상의 처리속도를 실현하기 위해서는 보다 기판을 고속 반송할 필요가 있다.
특히, 메인 컨베이어와, 이 메인 컨베이어와 수평 분기하는 분기 컨베이어의 사이에서의 기판의 수용전달(receiving and transfering) 속도는 기판의 고속 반송을 실현시킴에 있어서 매우 중요하게 된다. 이 때문에, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어 사이에서의 기판의 수용전달속도를 향상시키는 기술이 요구되고 있다.
또한, 유리 플레이트를 매엽 반송하는 기판 반송 장치에서는, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어의 사이에서 진행방향에 대한 방향을 변화시키지 않고 기판을 수용전달할 필요가 생기는 경우가 있다.
기판을 카세트에 수납하여 반송하는 종래의 기판 반송 장치에서는, 예를 들면 메인 컨베이어에서 분기 컨베이어로 진행방향에 대한 방향을 변화시키지 않고 기판을 수용전달하는 경우에는, 메인 컨베이어 상에 반송되는 카세트의 반송을 일단 정지하고, 카세트를 회동시킨 후에 분기 컨베이어에 수용전달하고 있다.
그런데, 기판을 매엽 반송하는 기판 반송 장치에 있어서 같은 방법으로 기판의 수용전달을 행하면, 기판의 반송을 정지하는 공정과 정지된 기판을 분기 컨베이어에 수용전달하는 공정을 행할 필요가 있다라는 점에서, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어 사이에서의 기판의 수용전달에 시간이 걸린다.
본 발명은 상술하는 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 기판의 진행방향을 변화시키지 않고 메인 컨베이어와 분기 컨베이어의 사이에서 기판을 수용전달하는 경우에, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어 사이에서의 기판의 수용전달속도를 향상시키는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 기판 반송 장치는, 기판을 매엽 반송하는 메인 컨베이어, 상기 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어, 상기 기판의 진행방향에 대한 방향이 유지되도록(변화하지 않도록) 상기 기판을 수평으로 회동시키면서, 상기 메인 컨베이어로부터 상기 분기 컨베이어로 혹은 상기 분기 컨베이어로부터 상기 메인 컨베이어로 상기 기판을 수용전달하는 기판 수용전달부를 구비한다.
이 기판 반송 장치에 의하면, 상기 메인 컨베이어에서 상기 분기 컨베이어로 혹은 상기 분기 컨베이어에서 상기 메인 컨베이어로의 기판의 수용전달시에, 기판 수용전달부에 의해 기판의 진행방향에 대한 방향이 유지되도록(변화하지 않도록) 기판이 수평으로 회동되면서 기판의 수용전달이 행해진다.
또한, 본 발명의 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 기판 수용전달부는 상기 기판의 외부둘레를 파지(把持)하는 헤드부, 상기 헤드부를 소정의 회동축을 중심으로 하여 수평으로 회동시키는 구동부, 상기 헤드부에 일단이 접속됨과 동시에 상기 구동부에 타단부가 접속되는 아암부를 구비한다는 구성을 채용할 수 있다.
또한, 본 발명의 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 기판 수용전달부에 의한 상기 기판의 수용전달 동안에 상기 기판을 하방으로부터 지지하는 지지부를 구비한다는 구성을 채용할 수 있다.
또한, 본 발명의 기판 반송 장치에 있어서는, 상기 지지부가 압축공기를 이용하여 상기 기판을 부상시키면서 지지한다는 구성을 채용할 수 있다.
다음에, 본 발명의 기판 반송 방법은, 기판이 메인 컨베이어에 의해 매엽 반송되고, 상기 메인 컨베이어 상의 상기 기판이 상기 기판의 진행방향에 대한 방향이 유지되도록 수평으로 회동시키면서, 상기 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어에 전달된다.
이 기판 반송 방법에 의하면, 기판의 진행방향에 대한 방향이 변화하지 않도록 기판이 수평으로 회동되면서, 메인 컨베이어로부터 분기 컨베이어로 수용전달된다.
다음에, 본 발명의 기판 반송 방법은, 기판이 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어에 의해 반송되고, 상기 분기 컨베이어 상의 상기 기판이 상기 기판의 진행방향에 대한 방향이 유지되도록 수평으로 회동시키면서, 상기 메인 컨베이어에 전달된다.
이 기판 반송 방법에 의하면, 기판의 진행방향에 대한 방향이 변화하지 않도록 기판이 수평으로 회동되면서, 분기 컨베이어에서 메인 컨베이어로 수용전달된다.
본 발명에 의하면, 기판의 진행방향에 대한 방향이 유지되도록(변화하지 않도록) 기판이 수평으로 회동되면서, 메인 컨베이어로부터 분기 컨베이어로 혹은 분기 컨베이어로부터 메인 컨베이어로 수용전달된다. 이 때문에, 메인 컨베이어 혹은 분기 컨베이어 상에서 기판을 정지시킬 필요는 없고, 기판의 수용전달을 고속으로 행할 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면, 기판의 진행방향을 변화시키지 않고 메인 컨베이어와 분기 컨베이어의 사이에서 기판을 수용전달하는 경우에, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어 사이에서의 기판의 수용전달속도를 향상시키는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치를 나타내는 모식도이다.
도 2는 메인 컨베이어의 상세 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 분기 컨베이어의 플레이트 인도부(引渡部)와의 분기부분의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4a는 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치의 동작(유리 플레이트를 메인 컨베이어에서 분기 컨베이어로 끌어넣는 경우)을 나타내는 도면이다.
도 4b는 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치의 동작(유리 플레이트를 메인 컨베이어에서 분기 컨베이어로 끌어넣는 경우)을 나타내는 도면이다.
도 4c는 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치의 동작(유리 플레이트 를 메인 컨베이어에서 분기 컨베이어로 끌어넣는 경우)을 나타내는 도면이다.
도 4d는 본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치의 동작(유리 플레이트를 메인 컨베이어에서 분기 컨베이어로 끌어넣는 경우)을 나타내는 도면이다.
도 5a는 기본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치의 동작(유리 플레이트를 분기 컨베이어에서 메인 컨베이어로 넘겨주는 경우)을 나타내는 도면이다.
도 5b는 기본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)의 동작(유리 플레이트를 분기 컨베이어에서 메인 컨베이어로 넘겨주는 경우)을 나타내는 도면이다.
도 5c는 기본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)의 동작(유리 플레이트를 분기 컨베이어에서 메인 컨베이어로 넘겨주는 경우)을 나타내는 도면이다.
도 5d는 기본 발명의 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)의 동작(유리 플레이트를 분기 컨베이어에서 메인 컨베이어로 넘겨주는 경우)을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 관한 기판 반송 장치에서의 분기 컨베이어의 플레이트 인도부와의 분기부분의 구성을 나타내는 도면이다.
<부호의 설명>
P…유리 플레이트(기판), 1…기판 반송 장치, 10…메인 컨베이어, 12…에어 부상 유닛(지지부), 15…컨베이어부, 20…분기 컨베이어, 40…플레이트 인도부(기판 수용전달부), 41…아암부, 42…헤드부, 43…모터(구동부), 200…프리 롤러 유 닛(지지부)
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 관한 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법의 일실시예에 대해서 설명한다. 또, 이하의 도면에서 각 부재를 인식 가능한 크기로 하기 위해 각 부재의 축척을 적절히 변경하고 있다.
(제1 실시예)
도 1은 본 제1 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)를 나타내는 모식도이다.
기판 반송 장치(1)는 액정장치, PDP, EL장치 등의 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공장에서 유리 플레이트(P)를 1장씩 매엽 반송하는 장치로서, 메인 컨베이어(10), 메인 컨베이어(10)에 대해 수평면 내에서 분기하는 복수의 분기 컨베이어(20), 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 유리 플레이트(P)의 수용전달을 행하는 플레이트 수용전달부(40), 이들을 통괄적으로 제어하는 제어부(도시생략) 등을 구비하고 있다.
메인 컨베이어(10)는, 유리 플레이트(P)를 수평으로 안착하면서 그 표면에 따른 방향으로 일정 속도로 반송하는 장치로서, 유리 플레이트(P)를 공기에 의해 부상시켜 비접촉 지지하는 에어 부상 유닛(12)(지지부)과 컨베이어부(15) 등으로 구성된다(도 2 및 도 3 참조). 이와 같이, 본 실시예에서는, 본 발명에서의 지지부의 기능이 메인 컨베이어(10)의 일부에 내장되어 있다.
메인 컨베이어(10)는 공장의 클린룸 내의 상(床)면에 대략 직선형상으로 배치된다. 그리고, 메인 컨베이어(10)의 복수 장소에는 분기 컨베이어(20)의 일단이 메인 컨베이어(10)에 대해 대략 직교하면서 수평으로 연결된다.
분기 컨베이어(20)는, 메인 컨베이어(10)와 같이 유리 플레이트(P)를 수평으로 안착하면서 그 표면에 연하는 방향으로 일정 속도로 반송하는 장치로서, 에어 부상 유닛(12)(지지부)과 컨베이어부(15) 등으로 구성된다. 이와 같이, 본 실시예에서는, 본 발명에서의 지지부의 기능이 분기 컨베이어(20)의 일부에도 내장되어 있다.
분기 컨베이어(20)의 타단측에는 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치가 배치·연결되어 있다. 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치에는 각각 2개의 분기 컨베이어(20)가 평행 배치되어 있다.
예를 들면, 박막 형성 장치(5)에 연결하는 분기 컨베이어(21, 22)(분기 컨베이어(20)) 중에서, 분기 컨베이어(21)는 유리 플레이트(P)를 박막 형성 장치(5)에 반입하기 위한 컨베이어이고, 분기 컨베이어(22)는 유리 플레이트(P)를 박막 형성 장치(5)로부터 반출하기 위한 컨베이어이다.
마찬가지로, 분기 컨베이어(23, 25)(분기 컨베이어(20))는 에칭 장치(6), 시험 장치(7)에 유리 플레이트(P)를 반입하기 위한 컨베이어이고, 분기 컨베이어(24, 26)(분기 컨베이어(20))는 에칭 장치(6), 시험 장치(7)로부터 유리 플레이트(P)를 반출하기 위한 컨베이어이다.
또, 각종 처리장치에 유리 플레이트(P)를 반입하는 분기 컨베이어(21, 23, 25)는, 각종 처리장치로부터 유리 플레이트(P)를 반출하는 분기 컨베이어(22, 24, 26)에 대해 메인 컨베이어(10)의 상류측에 배치된다.
플레이트 수용전달부(40)는, 각 처리장치에 유리 플레이트(P)를 반입하는 분기 컨베이어(21, 23, 25)에 대해 메인 컨베이어(10)의 상류측 및 각종 처리장치로부터 유리 플레이트(P)를 반출하는 분기 컨베이어(22, 24, 26)에 대해 메인 컨베이어(10)의 하류측의 각각에 설치되어 있다.
이들 플레이트 수용전달부(40)는, 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 방향이 변화하지 않도록 유리 플레이트(P)를 수평으로 회동시키면서, 메인 컨베이어(10)에서 분기 컨베이어(20)로 혹은 분기 컨베이어(20)에서 메인 컨베이어(10)로 유리 플레이트(P)를 수용전달하는 것이다.
도 2는 메인 컨베이어(10)의 상세 구성을 나타내는 도면이다.
메인 컨베이어(10)는, 상술한 바와 같이 유리 플레이트(P)를 공기에 의해 부상시키면서 수평방향의 일방향으로 반송하는 장치로서, 에어 부상 유닛(12)과 컨베이어부(15) 등을 복수개 구비하고 있다.
에어 부상 유닛(12)은 평면형상의 상면을 구비한 부재로서, 이 상면(안착면)에는 압축공기를 분출하는 복수의 유체 분출홀(13)이 대략 균등한 배치밀도로 형성되어 있다. 에어 부상 유닛(12)은 평면상에서 보아 사각형상으로 형성되고, 그 길이방향이 유리 플레이트(P)의 반송방향으로 일치하도록 설치되어 있다. 또한, 에어 부상 유닛(12)의 단수방향(폭방향)은 유리 플레이트(P)의 폭방향(반송방향으로 직교하는 방향)보다도 약간 좁게 형성되어 있다.
그리고, 압축공기 공급장치(도시생략)에서 에어 부상 유닛(12)으로 압축공기 가 공급됨으로써, 압축공기가 각 유체 분출홀(13)에서 분출하게 되어 있다. 이에 의해, 에어 부상 유닛(12) 상에 재치된 유리 플레이트(P)를 각 유체 분출홀(13)에서 분출하는 압축공기에 의해 부상시켜 비접촉으로 지지 가능하게 되어 있다.
컨베이어부(15)는 복수의 롤러(16)와, 이 복수의 롤러(16)의 주위에 장착된 벨트(17)를 구비하고 있다. 또한, 벨트(17)의 표면에는 복수의 돌기(18)가 벨트(17)의 길이방향(메인 컨베이어(10)의 반송방향)으로 균등한 간격으로 설치되어 있다.
컨베이어부(15)는 에어 부상 유닛(12)의 양측에 유리 플레이트(P)의 반송방향을 따라 배치되어 있다. 그리고, 한 쌍의 컨베이어부(15)의 배치간격(거리)은 유리 플레이트(P)의 폭방향과 대략 동일하게 되어 있다.
컨베이어부(15)의 각 롤러(16)의 상단은 동일 수평면에 위치하도록 배치되고, 이에 의해 벨트(17)의 표면에 설치된 돌기(18)가 에어 부상 유닛(12)의 상면보다도 약간 상방에 위치하도록 배치된다. 그리고, 돌기(18)가 에어 부상 유닛(12) 상에 안착된 유리 플레이트(P)의 하면의 외부둘레(폭방향의 양단측)에 당접하게 되어 있다.
컨베이어부(15)의 각 롤러(16)는, 모터(도시생략) 등에 의해 동일한 회전속도로 동일 방향으로 회전하게 되어 있다. 이에 의해, 유리 플레이트(P)를 에어 부상 유닛(12)에 의해 비접촉으로 지지하면서, 컨베이어부(15)에 의해 에어 부상 유닛(12)을 따라 반송하는 것이 가능하게 되어 있다.
또한, 컨베이어부(15)는 승강장치(도시생략)에 의해 상하방향으로 이동 가능 하게 구성되어 있다.
컨베이어부(15)를 승강장치에 의해 상승시킨 경우에는, 각 돌기(18)가 에어 부상 유닛(12)의 상면보다도 약간 상방에 위치하게 된다. 이 경우에는, 컨베이어부(15)의 돌기(18)가 유리 플레이트(P)의 하면에 당접하고, 유리 플레이트(P)를 반송할 수 있다.
한편, 컨베이어부(15)를 하강시킨 경우에는, 각 돌기(18)가 에어 부상 유닛(12)의 상면보다도 하방에 위치하게 된다. 이 경우에는, 컨베이어부(15)(각 돌기(18))가 유리 플레이트(P)로부터 이격하여 유리 플레이트(P)는 에어 부상 유닛(12) 상에서 완전히 비접촉 지지된 상태가 된다. 따라서, 유리 플레이트(P)에 외력이 가해지지 않는 한, 유리 플레이트(P)는 에어 부상 유닛(12) 상에서 정지한 상태로 유지된다.
그리고, 메인 컨베이어(10)는 에어 부상 유닛(12)과 컨베이어부(15)를 복수개 연결하여 구성되어 있다. 즉, 각 에어 부상 유닛(12)과 각 컨베이어부(15)가 서로 근접하여 수평방향으로 나란히 배치된다. 이 때, 각 에어 부상 유닛(12)의 상면(안착면)은 동일 수평면에 위치하도록 조정된다.
또한, 분기 컨베이어(20)도 메인 컨베이어(10)가 구비하는 에어 부상 유닛(12)과 컨베이어부(15)에 의해 구성되어 있다. 또, 도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에서는, 분기 컨베이어(20)는 단일의 에어 부상 유닛(12)과, 당해 에어 부상 유닛(12)을 사이에 두고 배치되는 2개의 컨베이어부(15)에 의해 구성되어 있는데, 또 복수의 에어 부상 유닛(12) 및 컨베이어부(15)에 의해 구성되어도 된다.
도 3은 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(21)의 분기부분의 구성을 나타내는 도면이다.
이 도면에 나타내는 바와 같이, 분기 컨베이어(21)에 대한 메인 컨베이어(10)의 상류측에는 플레이트 수용전달부(40)가 설치되어 있다.
플레이트 수용전달부(40)는 아암부(41), 헤드부(42), 모터(43)(구동부)를 구비하고 있다.
아암부(41)는 일단이 헤드부(42)에 접속됨과 동시에 타단이 모터(43)와 접속되어 있고, 수평으로 설치되어 있다.
헤드부(42)는 유리 플레이트(P)의 외부 둘레부분, 구체적으로는 유리 플레이트(P)의 폭방향의 일변 부근을 파지 가능하게 구성되어 있다. 유리 플레이트(P)의 측면을 흡착 유지함으로써 유리 플레이트(P)를 파지해도 되고, 유리 플레이트(P)의 상면과 하면을 협지(挾持)함으로써 유리 플레이트(P)를 파지해도 된다.
모터(43)는 연직한 회동축(L)을 중심으로 하여 헤드부(42)를 수평으로 회동하는 것으로, 아암부(41)를 개재하여 헤드부(42)를 도 3에 나타내는 화살표 방향(및 화살표 반대방향)으로 회동한다.
그리고, 이러한 구성을 가지는 플레이트 수용전달부(40)에 의해, 메인 컨베이어(10) 상의 유리 플레이트(P)가 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 방향이 변화하지 않도록 회동하면서 분기 컨베이어(20)에 반송된다.
또, 분기 컨베이어(23, 25)에 대한 메인 컨베이어(10)의 상류측에 설치되는 플레이트 수용전달부(40)도 같은 구성을 가지고 있고, 메인 컨베이어(10) 상의 유 리 플레이트(P)를 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 방향이 변화하지 않도록 회동하면서 분기 컨베이어(20)에 수용전달해준다.
또한, 분기 컨베이어(22, 24, 26)에 대한 메인 컨베이어(10)의 하류측에 설치되는 플레이트 수용전달부(40)도, 도 3에 나타내는 플레이트 수용전달부(40)와 같은 구성을 가지고 있는데, 분기 컨베이어(20) 상의 유리 플레이트(P)를 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 방향이 변화하지 않도록 회동하면서 메인 컨베이어(10)에 수용전달해준다는 점에서 도 3에 나타내는 플레이트 수용전달부(40)와 다르다.
다음에, 기판 반송 장치(1)의 동작(기판 반송 방법)에 대해서 설명한다.
도 4a 내지 도 4d를 참조하여, 메인 컨베이어(10) 상에 반송되는 유리 플레이트(P)를 분기 컨베이어(20)에 수용전달하는 경우(분기 컨베이어(21, 23, 25)에 대해 메인 컨베이어(10)의 상류측에 설치되는 플레이트 수용전달부(40)의 동작)에 대해서 설명한다.
우선, 메인 컨베이어(10) 및 분기 컨베이어(20)의 각 에어 부상 유닛(12)에 압축공기를 공급하여 각 유체 분출홀(13)에서 압축공기를 분출시킨다. 또한, 컨베이어부(15)를 구동하여 각 롤러(16)를 일정한 회전속도로 회전시킨다. 이 때, 각 컨베이어부(15)를 승강장치(도시생략)에 의해 상승시켜 둔다.
그리고, 메인 컨베이어(10)의 상류측에서 유리 플레이트(P)를 1장씩 재치함으로써, 유리 플레이트(P)는 매엽 반송된다.
그리고, 도 4a에 나타내는 바와 같이, 메인 컨베이어(10) 상의 유리 플레이 트(P)가 플레이트 수용전달부(40)의 헤드부(42)가 닿는 위치까지 이동하면, 플레이트 수용전달부(40)의 헤드부(42)가 분기 컨베이어(20)의 일단까지 이동하여 메인 컨베이어(10) 상의 유리 플레이트(P)의 외부둘레를 파지한다. 그 후, 메인 컨베이어(10) 및 분기 컨베이어(20)의 컨베이어부(15)는 승강장치(도시생략)에 의해 하강한다. 이 때, 유리 플레이트(P)는 각 에어 부상 유닛(12)의 각 유체 분출홀(13)에서 분출되는 압축공기에 의해 부상 지지된다.
그리고, 도 4b 및 도 4c에 나타내는 바와 같이, 유리 플레이트(P)를 파지하는 헤드부(42)가 모터(43)에 의해 아암부(41)를 개재하여 수평면 내에서 회동됨으로써, 유리 플레이트(P)는 메인 컨베이어(10) 상에서 분기 컨베이어(20) 상으로 반송된다. 이 때, 유리 플레이트(P)의 진행방향이 메인 컨베이어(10)의 진행방향에서 분기 컨베이어(21, 23, 25)의 진행방향으로 변화하지만, 유리 플레이트(P)가 회동되기 때문에, 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 선두는 변화하지 않는다.
즉, 본 실시예의 기판 반송 장치(1)에 의하면, 메인 컨베이어(10) 상의 유리 플레이트(P)는 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 방향이 변화하지 않도록 수평으로 회동되면서 분기 컨베이어(20)에 수용전달된다.
또, 본 실시예에서는, 헤드부(42)가 컨베이어부(15)의 회전방향과 같은 방향으로 이동할 수 없는 구성이기 때문에, 유리 플레이트(P)와 컨베이어부(15)가 스치는 것을 방지하기 위해, 유리 플레이트(P)의 외부둘레를 파지할 때에 컨베이어부(15)의 구동을 정지한 쪽이 바람직하다. 그러나, 유리 플레이트(P)와 컨베이어부(15)가 스치지 않게 할 수 있는 경우(예를 들면, 헤드부(42)가 유리 플레이트(P) 를 파지함과 동시에 컨베이어부(15)를 하강할 수 있는 경우, 컨베이어부(15)를 하강하고 나서 헤드부(42)가 유리 플레이트(P)를 파지할 수 있는 경우, 헤드부가 컨베이어부(15)의 회전방향과 같은 방향으로 이동 가능한 경우 등)에는, 반드시 유리 플레이트(P)의 외부둘레를 파지할 때에 컨베이어부(15)의 구동을 정지할 필요는 없다.
그리고, 도 4d에 나타내는 바와 같이, 유리 플레이트(P)가 분기 컨베이어(20) 상으로 반송되면, 다시 메인 컨베이어(10) 및 분기 컨베이어(20)의 컨베이어부(15)는 승강장치(도시생략)에 의해 상승한다. 그 후, 플레이트 수용전달부(40)의 헤드부(42)에 의한 유리 플레이트(P)의 파지가 해제됨으로써, 유리 플레이트(P)는 분기 컨베이어(20)에 의해 메인 컨베이어(10)로부터 이격하는 방향으로 반송된다.
또, 본 실시예에서는, 헤드부(42)에 의한 유리 플레이트(P)의 파지를 해제할 때에도, 상술한 유리 플레이트(P)의 외부둘레를 파지할 때와 같이, 유리 플레이트(P)와 컨베이어부(15)가 스치는 것을 방지하기 위해 컨베이어부(15)의 구동을 정지한 쪽이 바람직하다.
또, 유리 플레이트(P)는 분기 컨베이어(20)에 의해 반송되어 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치에 수용전달된다.
또, 각 처리장치(박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등)에 수용전달된 유리 플레이트(P)는, 각 처리장치에서 소정의 처리가 행해진 후에 각 처리장치의 외부로 반출된다.
다음에, 도 5a 내지 도 5d를 참조하여, 유리 플레이트(P)를 분기 컨베이어(20)에서 메인 컨베이어(10)로 수용전달하는 경우(분기 컨베이어(22, 24, 26)에 대해 메인 컨베이어(10)의 하류측에 설치되는 플레이트 수용전달부(40)의 동작)에 대해서 설명한다.
유리 플레이트(P)를 분기 컨베이어(20)에서 메인 컨베이어(10)로 수용전달하는 동작은, 유리 플레이트(P)를 메인 컨베이어(10)에서 분기 컨베이어(20)로 수용전달하는 동작을 대략 반전시키는 것이다.
우선, 메인 컨베이어(10) 및 분기 컨베이어(20)의 각 에어 부상 유닛(12)에 압축공기를 공급하여 각 유체 분출홀(13)에서 압축공기를 분출시킨다. 또한, 컨베이어부(15)를 구동하여 각 롤러(16)를 일정한 회전속도로 회전시킨다. 이 때, 컨베이어부(15)를 승강장치(도시생략)에 의해 상승시켜 둔다.
다음에, 유리 플레이트(P)가 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치에서 분기 컨베이어(20)로 수용전달된다. 유리 플레이트(P)는 분기 컨베이어(20)에 의해 반송되어 플레이트 수용전달부(40)의 헤드부(42)가 닿는 위치까지 이동한다. 그리고, 도 5a에 나타내는 바와 같이, 플레이트 수용전달부(40)의 헤드부(42)가 분기 컨베이어(20) 상의 유리 플레이트(P)의 외부둘레를 파지한다. 그 후, 메인 컨베이어(10) 및 분기 컨베이어(20)의 컨베이어부(15)는 승강장치(도시생략)에 의해 하강한다. 이 때, 유리 플레이트(P)는 각 에어 부상 유닛(12)의 각 유체 분출홀(13)에서 분출되는 압축공기에 의해 부상 지지된다.
그리고, 도 5b, 도 5c 및 도 5d에 나타내는 바와 같이, 유리 플레이트(P)를 파지하는 헤드부(42)가 모터(43)에 의해 아암부(41)를 개재하여 수평면 내에서 회동됨으로써, 유리 플레이트(P)는 분기 컨베이어(20) 상에서 메인 컨베이어(10) 상으로 반송된다. 이 때, 유리 플레이트(P)의 진행방향이 분기 컨베이어(22, 24, 26)의 진행방향에서 메인 컨베이어(10)의 진행방향으로 변화하지만, 유리 플레이트(P)가 회동되기 때문에 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 선두는 변화하지 않는다.
즉, 본 실시예의 기판 반송 장치(1)에 의하면, 분기 컨베이어(20) 상의 유리 플레이트(P)는, 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 방향이 변화하지 않도록 수평으로 회동되면서 메인 컨베이어(10)에 수용전달된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)는 유리 플레이트(P)를 매엽 반송하는 메인 컨베이어(10), 메인 컨베이어(10)에 대해 수평으로 분기하는 분기 컨베이어(20), 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 방향이 변화하지 않도록 유리 플레이트(P)를 수평으로 회동시키면서, 메인 컨베이어(10)에서 분기 컨베이어(20)로 혹은 분기 컨베이어(20)에서 메인 컨베이어(10)로 유리 플레이트(P)의 수용전달을 행하는 플레이트 수용전달부(40)를 구비한다.
이러한 본 실시예에 관한 기판 반송 장치(1) 및 기판 반송 방법에 의하면, 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 방향이 변화하지 않도록 유리 플레이트(P)가 수평으로 회동되면서, 메인 컨베이어(10)에서 분기 컨베이어(20)로 혹은 분기 컨베이어(20)에서 메인 컨베이어(10)로 수용전달된다. 이 때문에, 유리 플레이트(P)의 진행방향에 대한 방향을 맞추기 위해 메인 컨베이어(10) 혹은 분기 컨베이어(20) 상에서 유리 플레이트(P)를 정지시킬 필요는 없고, 유리 플레이트(P)의 수용전달을 고속으로 행할 수 있다.
따라서, 본 실시예에 관한 기판 반송 장치(1) 및 기판 반송 방법에 의하면, 유리 플레이트(P)의 진행방향을 변화시키지 않고 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 유리 플레이트(P)를 수용전달하는 경우에, 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20) 사이에서의 유리 플레이트(P)의 수용전달 속도를 향상시키는 것이 가능하게 된다.
또한, 본 실시예에 관한 기판 반송 장치(1)에서는, 압축공기를 분출하는 각 에어 부상 유닛(12)을 이용하여 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 수용전달되는 유리 플레이트(P)를 하방에서 지지하였다.
이와 같이 수용전달 시에 유리 플레이트(P)를 하방에서 지지함으로써, 유리 플레이트(P)가 휘어지는 것을 억제하는 것이 가능하게 된다.
또한, 압축공기를 이용하여 유리 플레이트(P)를 부상 지지함으로써, 유리 플레이트(P)가 마찰저항이 없는 것과 같은 상태로 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 수용전달된다. 이 때문에, 수용전달 속도를 고속화한 경우라도 충격이 가해지는 것에 의한 유리 플레이트(P)의 손상이 생기지 않는다.
(제2 실시예)
다음에, 본 발명의 제2 실시예에 대해서 설명한다. 또, 본 제2 실시예의 설명에 있어서, 상기 제1 실시예와 같은 부분에 대해서는 그 설명을 생략 혹은 간략화한다.
도 6은 본 실시예의 기판 반송 장치에서의 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(21)의 분기부분의 구성을 나타내는 도면이다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 본 실시예에서는, 메인 컨베이어(10) 및 분기 컨베이어(21)가 상기 제1 실시예에서의 에어 부상 유닛(12) 대신에 구형상 프리 롤러(300)(지지부)가 복수 배열된 프리 롤러 유닛(200)을 구비하여 구성되어 있다.
이러한 구성을 가지는 본 실시예의 기판 반송 장치에 의하면, 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 유리 플레이트(P)의 수용전달을 행할 때에, 유리 플레이트(P)가 구형상 프리 롤러(300)에 의해 하방에서 지지된다.
따라서, 본 실시예의 기판 반송 장치에 의해서도, 상기 제1 실시예의 기판 반송 장치(1)와 같이, 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 유리 플레이트(P)의 수용전달을 행할 때에 유리 플레이트(P)가 휘어지는 것을 억제할 수 있다.
또, 상술한 실시예에서 나타낸 각 구성부재의 여러가지 형상이나 조합 또는 동작순서 등은 일례로서, 본 발명의 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 설계요구 등에 기초하여 다양하게 변경 가능하다.
예를 들면, 상기 실시예에서는, 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)가 직각으로 배치되는 구성에 대해서 설명하였다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)가 다른 각도로 배치되는 구성에 적용할 수도 있다.
또한, 상기 실시예에서는, 컨베이어부(15)가 승강장치(도시생략)에 의해 하 강함으로써, 메인 컨베이어(10)와 분기 컨베이어(20)의 사이에서 유리 플레이트(P)를 수용전달하는 경우에, 유리 플레이트(P)가 컨베이어부(15)와 접촉하는 것을 방지할 수 있는 구성으로 하였다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 컨베이어부(15)가 하강하는 대신에 에어 부상 유닛(12)이 상승함으로써, 유리 플레이트(P)와 컨베이어부(15)가 접촉하는 것을 방지해도 된다. 이 경우에는, 수용전달측의 컨베이어의 에어 부상 유닛(12) 상면은 상승된 후의 에어 부상 유닛(12)의 상면과 면 일치하게 되도록 위치되어 있다.
상기 실시예에서는, 유리 플레이트(P)를 매엽 반송하는 경우에 대해서 설명하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 반도체 웨이퍼 등의 얇은 판형상 부재이면 된다.
상술한 실시예에서는, 분기 컨베이어(20)의 타단측에 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치를 배치·연결하는 경우에 대해서 설명하였지만, 이에 한정되지 않는다. 분기 컨베이어(20)의 하류측(타단측)에 분기 컨베이어(20)가 더 연결되는 경우이어도 된다.
또한, 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치 이외에 유리 플레이트(P) 등의 기판을 복수개 일시적으로 저장하는 스토커를 배치해도 된다.
상술한 실시예에서는, 박막 형성 장치(5), 에칭 장치(6), 시험 장치(7) 등의 각종 처리장치에 유리 플레이트(P)를 반입하는 분기 컨베이어(21, 23, 25)와 유리 플레이트(P)를 반출하는 분기 컨베이어(22, 24, 26)를 배치하는 경우에 대해서 설 명하였지만, 이에 한정되지 않는다. 하나의 분기 컨베이어(20)가 유리 플레이트(P)를 반입·반출을 하는 경우이어도 된다.
또한, 상기 제1 실시예에서는, 압축공기를 이용하여 유리 플레이트(P)를 부상 지지하는 경우에 대해서 설명하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 공간을 전파하는 진동파를 유리 플레이트(P)에 부여함으로써 유리 플레이트(P)를 부상 지지시켜도 된다.
본 발명에 의한 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법은, 기판의 진행방향을 변화시키지 않고 메인 컨베이어와 분기 컨베이어의 사이에서 기판을 수용전달하는 경우에, 메인 컨베이어와 분기 컨베이어 사이에서의 기판의 수용전달 속도를 향상시키기 위해 이용할 수 있다.

Claims (6)

  1. 기판을 매엽 반송하는 메인 컨베이어;
    상기 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어; 및
    상기 기판의 진행방향에 대한 방향이 유지되도록 상기 기판을 수평으로 회동시키면서, 상기 메인 컨베이어로부터 상기 분기 컨베이어로 혹은 상기 분기 컨베이어로부터 상기 메인 컨베이어로 상기 기판을 수용전달하는 기판 수용전달부;
    를 구비하는 기판 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판 수용전달부는,
    상기 기판의 외부둘레를 파지하는 헤드부;
    상기 헤드부를 소정의 회동축을 중심으로 하여 수평으로 회동시키는 구동부; 및
    상기 헤드부에 일단이 접속됨과 동시에 상기 구동부에 타단부가 접속되는 아암부;를 구비하는 기판 반송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기판 수용전달부에 의한 상기 기판의 수용전달 동안에 상기 기판을 하방에서 지지하는 지지부를 구비하는 기판 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 지지부는 압축공기를 이용하여 상기 기판을 부상시키 면서 지지하는 기판 반송 장치.
  5. 기판이 메인 컨베이어에 의해 매엽 반송되고,
    상기 메인 컨베이어 상의 상기 기판이 상기 기판의 진행방향에 대한 방향이 유지되도록 수평으로 회동시키면서, 상기 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어에 전달되는 기판 반송 방법.
  6. 기판이 메인 컨베이어로부터 수평으로 분기하는 분기 컨베이어에 의해 반송되고,
    상기 분기 컨베이어 상의 상기 기판이 상기 기판의 진행방향에 대한 방향이 유지되도록 수평으로 회동시키면서, 상기 메인 컨베이어에 전달되는 기판 반송 방법.
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