JP6011311B2 - ワーク搬送装置およびワーク搬送方法 - Google Patents

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Description

本発明は、ワーク搬送装置およびワーク搬送方法に関する。
板状体のワークが一定間隔で流動するコンベアラインにおいて、搬送経路上のワークを別の経路に移動することがある。特許文献1には、基板(ワーク)搬送装置が開示されている。この搬送装置は、基板受渡部によって基板を把持し、メインコンベアから別経路の分岐コンベアへ基板を受け渡している。
特開2008−66661号公報
しかしながら、基板受渡部が基板の受け渡しを実施するために基板が移動中でメインコンベア上にあるとき、基板が邪魔になり後続の基板がメインコンベア上を通過することができない。その結果、ワークをコンベアライン上で一時停止させなければならないことがあった。
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的はコンベアライン上での一時停止の可能性を低減しワークを流動させることが可能なワーク搬送装置及びワーク搬送方法を提供することにある。
本発明によるワーク搬送装置は、第1ワークおよび第2ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送装置であって、前記複数のワークを搬送する第1搬送部と、前記第1搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第2搬送部とを有する搬送ユニットと、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部とを備える。そして前記移動部が前記連絡搬送部から前記第1ワークの移動を開始した後、または、前記移動部が前記第1ワークを前記連絡搬送部まで移動させる前に、前記連絡搬送部は、前記第1搬送部によって搬送された前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する。
ある実施形態において、前記移動部は複数の分離移動部を有しており、前記移動部が前記第1ワークを移動させた後に、前記複数の分離移動部は、前記連絡搬送部に向かう方向または前記連絡搬送部から離れる方向に個別に移動する。
ある実施形態において、前記移動部が、前記連絡搬送部にある前記第1ワークを前記連絡搬送部から離れる方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する。
ある実施形態において、前記移動部が、前記第1ワークを保持している間に、前記連絡搬送部は、前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する。
ある実施形態において、前記移動部が、前記第1ワークを前記連絡搬送部に向かう方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する。
ある実施形態において、前記連絡搬送部は複数のローラーを有しており、前記移動部は前記複数のローラーの隣接する2つのローラーの間に位置する。
ある実施形態において、前記移動部は、前記第1ワークの主面の一方と接触する接触部と、前記接触部と連結する連結部とを備え、前記接触部と前記連結部とで前記移動部の内周が形成されており、前記第2ワークは前記内周の内側を通過可能である。
ある実施形態において、前記移動部の前記移動は、上下移動または水平移動である。
ある実施形態において、前記移動部は、コンベアである。
本発明によるワーク搬送方法は、第1ワークおよび第2ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送方法であって、前記複数のワークを搬送する第1搬送部と、前記第1搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第2搬送部とを有する搬送ユニットを用意する工程と、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部を用意する工程と、前記移動部が前記連絡搬送部から前記第1ワークの移動を開始した後、または、前記移動部が前記第1ワークを前記連絡搬送部まで移動させる前に、前記連絡搬送部は、前記第1搬送部によって搬送された前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する工程とを包含する。
本発明によるワーク搬送装置は、第1ワークおよび第2ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送装置であって、前記複数のワークを搬送する第1搬送部と、前記第1搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第2搬送部とを有する搬送ユニットと、前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部とを備え、前記移動部は複数の分離移動部を有しており、前記移動部が前記第1ワークを移動させた後に、前記複数の分離移動部は、前記連絡搬送部に向かう方向または前記連絡搬送部から離れる方向に個別に移動する。
ある実施形態において、前記移動部が、前記連絡搬送部にある前記第1ワークを前記連絡搬送部から離れる方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する。
ある実施形態において、前記移動部が、前記第1ワークを保持している間に、前記連絡搬送部は、前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する。
前記移動部が、前記連絡搬送部にある前記第1ワークを前記連絡搬送部に向かう方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する、前記第2ワークを搬送する。
ある実施形態において、前記連絡搬送部は複数のローラーを有しており、前記移動部は前記複数のローラーの隣接する2つのローラーの間に位置する。
本発明によるワーク搬送方法は、第1ワークおよび第2ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送方法であって、前記複数のワークを搬送する第1搬送部と、前記第1搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第2搬送部とを有する搬送ユニットを用意する工程と、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部を用意する工程と、前記移動部は複数の分離移動部を有しており、前記移動部が前記第1ワークを移動させた後に、前記複数の分離移動部は、前記連絡搬送部に向かう方向または前記連絡搬送部から離れる方向に個別に移動する工程とを包含する。
本発明のワーク搬送装置は、第1ワークおよび第2ワークを含む複数のワークを搬送する。本発明のワーク搬送装置は、搬送ユニットと移動部とを備える。搬送ユニットは、第1搬送部と連絡搬送部と第2搬送部とを有する。移動部が連絡搬送部から第1ワークの移動を開始した後、または、移動部が第1ワークを連絡搬送部まで移動させる前に、連絡搬送部は、第1搬送部によって搬送された第2ワークを第2搬送部へと搬送する。したがって、搬送ユニットでの第2ワークの一時停止の可能性を低減し第2ワークを搬送することができる。その結果、ラインタクトを短縮することができる。
本発明の実施形態に係るワーク搬送装置を示す模式図である。 (a)は移動部が連絡搬送部にてワークを載せている状態を示す模式図であり、(b)は移動部が連絡搬送部からワークの法線方向に離れた状態を示す模式図である。 (a)、(c)、(e)、(g)は、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置の側面図である。(b)、(d)、(f)、(h)は、(a)、(c)、(e)、(g)にそれぞれ対応した本発明の実施形態に係るワーク搬送装置の正面図である。 本発明の実施形態に係るワーク搬送装置の側面図である。 本発明の他の実施形態に係るワーク搬送装置を示す模式図である。 (a)、(c)、(e)は、本発明の他の実施形態に係るワーク搬送装置の側面図である。(b)、(d)、(f)は、(a)、(c)、(e)にそれぞれ対応した本発明の他の実施形態に係るワーク搬送装置の正面図である。 本発明の他の実施形態に係るワーク搬送装置の側面図である。 ワーク搬送装置の移動部の形状を示す模式図である。 本発明の更に他の実施形態に係るワーク搬送装置を示す模式図である。 本発明の更に他の実施形態に係るワーク搬送装置を示す模式図である。 本発明の更に他の実施形態に係るワーク搬送装置の側面図である。 別の経路への移送方法を示す模式図である。 本発明の実施形態に係るワーク搬送システムを示す模式図である。
以下、図面を参照して本発明によるワーク搬送装置およびワーク搬送方法の実施形態を説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されない。
図1を参照して本発明によるワーク搬送装置100の実施形態を説明する。図1は、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置100を示す模式図である。ワーク搬送装置100は、搬送ユニット110と移動部120とを備える。搬送ユニット110は、第1搬送部110Aと連絡搬送部110Bと第2搬送部110Cとを有する。
搬送ユニット110は、主面を有するワークWを搬送経路に沿って搬送する。搬送経路は、例えば、第1搬送部110Aと連絡搬送部110Bと第2搬送部110Cとで形成される。第1搬送部110Aは、ワークWを搬送する。連絡搬送部110Bは、第1搬送部110Aによって搬送されたワークWを搬送可能である。第2搬送部110Cは、連絡搬送部110Bによって搬送されたワークWを搬送する。第1搬送部110Aと連絡搬送部110Bと第2搬送部110Cとのそれぞれは、複数のローラー110aを有している。ローラー110aが回転することにより、ローラー110aの上部に載置されているワークWが搬送される。ワークWの搬送速度は、例えば、20m/分〜30m/分である。
移動部120は、連絡搬送部110Bが有する複数のローラー110aのうちの隣接する2つのローラー110B1とローラー110B2との間に位置している。移動部120のワークWの搬送方向に沿った幅は、ワークWを移動部120に載置したときにワークWが落下しないように、例えば、ワークWの長辺の長さの2分の1以上が好ましい。ここでは、ワークWの長辺の長さはローラー3つ分の間隔の長さであり、移動部120のワークWの搬送方向に沿った幅は、ローラー2つ分弱の間隔の長さである。移動部120は、ワークWの主面の法線方向に沿って移動可能である。
移動部120は、連絡搬送部110BでワークWと接触する。ワークWの重心が移動部120の中央付近にくるように1枚のワークWを移動部120に乗せ、移動部120はワークWをワークWの主面の法線方向に沿って移動させる。移動部120の昇降速度は、例えば、150mm/秒〜200mm/秒である。移動部120が連絡搬送部110BからワークWの法線方向に離れた位置へ上昇した時に、ワークWが連絡搬送部110B上を通過可能となるように、移動部120は形成されている。
ワークWは枚葉状の板状体である。例えば、ワークWは液晶用ガラス基板やプラズマディスプレイ、FED、SEDなどのフラットパネルディスプレイ用ガラス基板および太陽電池用ガラス基板である。さらに、ワークWは、ガラス材質以外の金属、樹脂、セラミック等でもあり得る。ワークWがガラス基板の場合、ワークWの大きさは、例えば、550mm×650mm、730mm×920mm、1,000mm×1,200mmおよび2,000mm×2,500mmである。ワークWの厚さは、例えば、0.3mm〜1.8mmである。
図2(a)は、移動部120が連絡搬送部110BでワークWを載せている状態を示す模式図であり、図2(b)は、移動部120が連絡搬送部110BからワークWの法線方向に離れた状態を示す模式図である。
図2(a)および図2(b)を参照して、移動部120がワークWの主面の法線方向に沿って連絡搬送部110BからワークWを移動させる動作を説明する。図2(a)において、移動部120は、連絡搬送部110Bで第1搬送部110Aによって搬送されたワークWと接触する。ワークWの主面の法線方向に移動すべきワークWが連絡搬送部110Bで移動部120の上方に流れて来ると、移動部120は上昇し、移動部120はワークWを連絡搬送部110Bから離れた位置まで押し上げることが可能であり、図2(b)に示す状態となる。その後必要に応じて、ワークWは連絡搬送部110Bから離れた位置で別の経路に移送される。なお、本明細書の以下の説明において図2(a)で示したように、移動部120が連絡搬送部110Bで第1搬送部110Aによって搬送されたワークWと接触する位置を搬送位置と記載することがある。また、図2(b)で示したように、移動部120が連絡搬送部110BからワークWの法線方向に離れた位置を離間位置と記載することがある。
続いて、図2(a)および図2(b)を参照して、移動部120がワークWの主面の法線方向に沿って連絡搬送部110BまでワークWを移動させる動作を説明する。図2(b)において、移動部120は、別の経路から流れてきたワークWを載せている。移動部120は、ワークWを連絡搬送部110Bまで下げて搬送経路に移動させることが可能であり、図2(a)に示す状態となる。その後、ワークWは連絡搬送部110Bによって第2搬送部110Cに搬送される。なお移動部120が連絡搬送部110BからワークWの法線方向に離れた位置でワークWを保持した状態で、ワークWの下方を通るように後続のワークWを搬送させることが可能である。
なお、移動部120は、図2(a)で示した移動部120の位置よりも下方に移動することもある。移動部120が図2(a)で示した移動部120の位置よりも下方にある場合でも、ワークWは、移動部120の上方を通過することが可能である。
以下に、搬送ユニット110で搬送されているワークWを搬送経路から分岐した別の経路に移動させるための動作を説明する。図3を参照して本発明によるワーク搬送装置100の移動部120の移動を説明する。移動部120は搬送位置の下方から離間位置に移動することにより、移動部120はワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部110Bからワークを移動させる。図3(a)、図3(c)、図3(e)および図3(g)は、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置100の側面図である。図3(b)、図3(d)、図3(f)および図3(h)は、図3(a)、図3(c)、図3(e)および図3(g)にそれぞれ対応した本発明の実施形態に係るワーク搬送装置100の正面図である。
ワーク搬送装置100は、ワークW0、ワークW1、ワークW2、ワークW3をワークW0、ワークW1、ワークW2、ワークW3の順番に搬送する。なお、本明細書の以下の説明において、ワークW1、ワークW2をそれぞれ第1ワーク、第2ワークと記載することがある。
図3(a)、図3(b)に示すように、第1搬送部110Aおよび連絡搬送部110BはワークW1を搬送位置に搬送する。ワークW0は、ワークW1より下流に位置している。ワークW2はワークW1より上流に位置している。
図3(c)、図3(d)に示すように、移動部120が上昇することにより、移動部120は、搬送位置にあるワークW1を離間位置まで移動させる。ワークW0は、第2搬送部110Cよって図3(a)、図3(b)で示すワークW0の位置よりさらに下流へ搬送されている。ワークW2は、第1搬送部110Aおよび連絡搬送部110Bによって図3(a)、図3(b)で示すワークW2の位置よりさらに下流に搬送され、搬送位置の直前に位置している。
図3(e)、図3(f)に示すように、移動部120が連絡搬送部110BからワークW1を移動を開始した後、連絡搬送部110Bは、ワークW2が搬送位置を通過するようにワークW2を第2搬送部110Cへ搬送する。一方、ワークW1は、別の経路へ移動する。例えば、ワークW1は、ロボットにより移送され、別の経路へ移動する。
図3(g)、図3(h)に示すように、移動部120は搬送位置にワークが流れていないときに、ワークW2とワークW3との間を通って搬送位置の下方に移動し、図3(a)に示す位置に戻る。例えば、光電センサ(図示せず)によってワークの有無をモニタすることにより、ワークが搬送位置に無い期間が一定の期間以上になると、移動部120を搬送位置の下方に戻す。
以上、図3を参照して説明したように、ワーク搬送装置100では、移動部120が、ワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部110Bからワークを移動させる。移動部120が連絡搬送部110Bから第1ワークの移動を開始した後、連絡搬送部110Bは、第1搬送部110Aによって搬送された第2ワークを第2搬送部110Cへと搬送する。したがって、搬送ユニット110での第2ワークの一時停止の可能性を低減し第2ワークを搬送することができる。その結果、ラインタクトを短縮することができる。
以下に、図4を参照して、別の経路から来たワークWを搬送経路に移動させるための動作を説明する。移動部120は離間位置から搬送位置の下方に移動することにより、移動部120はワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部110Bまでワークを移動させる。図4(a)、図4(b)、図4(c)および図4(d)は、本発明の実施形態に係るワーク搬送装置100の側面図である。
ワーク搬送装置100は、ワークW0、ワークW1、ワークW2、ワークW3を搬送する。
図4(a)は、移動部120が離間位置にある状態を示す。移動部120の上部には、別の経路から搬送されたワークW1が載置されている。ワークW0は、ワークW1より下流に位置している。ワークW2はワークW1より上流に位置している。
図4(b)に示すように、ワークW1が離間位置にある状態で、移動部120がワークW1を連絡搬送部110Bまで移動させる前に、連絡搬送部110Bは、ワークW2がワークW1の下方の搬送位置を通過するようにワークW2を第2搬送部110Cへと搬送する。
図4(c)に示すように、移動部120が搬送位置に移動することにより、ワークW1は連絡搬送部110Bに置かれ、ワークW1は連絡搬送部110Bで搬送されていく。ワークW2は、第2搬送部110Cよって図4(b)で示すワークW2の位置よりさらに下流に搬送されている。
ワークW4(図示せず)は別の経路から搬送され、ワークW1の次に離間位置に流れてくる。図4(d)に示すように、移動部120は、ワークW4の受け入れのため、搬送位置にワークが流れていないときに、ワークW1とワークW3の間を通って離間位置に戻る。
以上、図4を参照して説明したように、ワーク搬送装置100では、移動部120が、ワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部110Bまでワークを移動させる。移動部120がワークW1を連絡搬送部110Bまで移動させる前に、連絡搬送部110Bは、第1搬送部110Aによって搬送された第2ワークを第2搬送部110Cへと搬送する。したがって、ワークを別の経路から移送する際に、ワークの流動が停滞する可能性を低減する。
なお、移動部120を複数の移動部分に分離させることも可能である。図5を参照して本発明による他の実施形態に係るワーク搬送装置100を説明する。
移動部120は、複数の分離移動部を有する。図5に示す移動部120は、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とを有している。本実施形態に係るワーク搬送装置100は、移動部120が複数の分離移動部を有する点を除いて、図1を参照して説明したワーク搬送装置100と同様な構成を有するため、重複部分については説明を省略する。
第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とは、それぞれ独立して、搬送位置と離間位置との間を移動可能である。ワークWを移動部120の上部に載せた状態で搬送位置と離間位置との間を移動する場合は、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とは、それぞれの高さが各時刻で同じになるように同じタイミングで搬送位置と離間位置との間を移動する。従って、移動部120の上部に載っているワークWが、移動部120から落ちたり、歪むことにより割れたりすることを防ぐことができる。
ワークWを移動部120の上部に載せていない状態で搬送位置と離間位置との間を移動する場合は、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とは、個別に搬送位置と離間位置との間を移動することが可能である。これにより、ワークの搬送の自由度を上げることができる。
以下、搬送部110に搬送されているワークWを搬送経路から分岐した別の経路に移動させるための動作を説明する。図6を参照して本実施形態に係るワーク搬送装置100の移動部120の移動を説明する。移動部120は搬送位置の下方から離間位置に移動することにより、移動部120はワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部110Bからワークを移動させる。図6(a)、図6(c)および図6(e)は、本実施形態に係るワーク搬送装置100の側面図である。図6(b)、図6(d)および図6(f)は、図6(a)、図6(c)および図6(e)にそれぞれ対応した本実施形態に係るワーク搬送装置100の正面図である。
ワーク搬送装置100は、ワークW0、ワークW1、ワークW2、ワークW3をワークW0、ワークW1、ワークW2、ワークW3の順番に搬送する。
図6(a)、図6(b)に示すように、連絡搬送部110BはワークW1を搬送位置に搬送する。ワークW0は、ワークW1より下流に位置している。ワークW2はワークW1より上流に位置している。
図6(c)、図6(d)に示すように、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とが、それぞれの高さが各時刻で同じになるように同じタイミングで上昇することにより、搬送位置にあるワークW1を離間位置まで移動させる。その後、ワークW1は、別の経路に移送される。ワークW2は、第1搬送部110Aによって図6(a)、図6(b)で示すワークW2の位置よりさらに下流に搬送され、搬送位置の直前に位置している。
図6(e)、図6(f)に示すように、移動部120がワークW1を移動させた後、ワークW2の後端が第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とのそれぞれに対応する搬送位置を通過後に、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とは、ワークW2とワークW3の隙間を通って、連絡搬送部110Bに向かう方向に個別に移動して、離間位置から搬送位置の下方へ戻る。ワークW2が分離移動部のそれぞれに対応する搬送位置を通過後ワークW3が分離移動部のそれぞれに対応する搬送位置に到達するまでの間に、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とは、搬送位置の下方に向けて下降していく。
図6(e)において、第1分離移動部121は、移動が完了し搬送位置の下方に戻っている。図6(e)において、第2分離移動部122は、搬送位置の下方へ移動中である。図6(e)において、ワークW2は第3分離移動部123に対応する搬送位置を通過中である。第3分離移動部123は、ワークW2の後端が第3分離移動部123に対応する搬送位置を通過後に、搬送位置の下方への移動を開始する。その後、全ての分離移動部の搬送位置の下方への移動が完了し、図6(a)に示す位置に戻る。
図6を参照して説明したように、本実施形態のワーク搬送装置100によれば、第1ワークを移動させた後に、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とは連絡搬送部110Bに向かう方向に個別に移動して、離間位置から搬送位置の下方に移動することができる。したがって、ワークとワークとの間隔は、分離移動部1つ分を移動させる間隔であればよく、ワークの流動間隔を短くすることができる。その結果、ライン全体の生産能力を増大することが可能となる。
以下に、別の経路から流れて来たワークWを搬送経路に移動させるための動作を説明する。図7を参照して本実施形態によるワーク搬送装置100の移動を説明する。移動部120は離間位置から搬送位置の下方に移動することにより、移動部120はワークの主面の法線方向に沿って連絡搬送部110Bまでワークを移動させる。図7(a)、図7(b)、図7(c)および図7(d)は、本実施形態に係るワーク搬送装置100の側面図である。ワーク搬送装置100は、ワークW1、ワークW2、ワークW3、ワークW4を搬送する。
図7(a)は、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とが離間位置にある状態を示す。第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123との上部には、別の経路から搬送されたワークW1が載置されている。
図7(b)に示すように、ワークW1が離間位置にある状態で、連絡搬送部110Bは、ワークW1の下方の搬送位置をワークW2が通過するようにワークW2を第2搬送部110Cへと搬送する。
図7(c)に示すように、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とが、それぞれの高さが各時刻で同じになるように同じタイミングで下降することにより、離間位置にあるワークW1を搬送位置まで移動させる。第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とが搬送位置の下方に移動することにより、ワークW1は連絡搬送部110Bに置かれ、ワークW1は連絡搬送部110Bで搬送されていく。
図7(d)に示すように、移動部120がワークW1を移動させた後、ワークW3の後端が第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とのそれぞれに対応する搬送位置を通過後に、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とは、ワークW3とワークW4との隙間を通って、連絡搬送部110Bから離れる方向に個別に移動して、搬送位置の下方から離間位置へ戻る。分離移動部のそれぞれは、ワークW3が分離移動部のそれぞれに対応する搬送位置を通過後ワークW4がそれぞれの分離移動部の搬送位置に到達するまでの間に、離間位置に向けて上昇していく。
図7(d)において、第1分離移動部121の移動が完了し第1分離移動部121が離間位置に戻っている。図7(d)において、第2分離移動部122は、離間位置へ移動している途中である。図7(d)において、ワークW3が第3分離移動部123の上方を通過中である。第3分離移動部123は、ワークW3の後端が通過後に離間位置への移動を開始する。その後、全ての分離移動部の搬送位置への移動が完了し、第1分離移動部121、第2分離移動部122、および第3分離移動部123は図7(a)で示した位置に戻る。ワークW5(図示せず)は別の経路から搬送され、ワークW1の次に離間位置に流れてくる。ワークW5が移動部120の上部に載置されるまで移動部120は離間位置で待機する。
図7を参照して説明したように、ワーク搬送装置100において、第1ワークを移動させた後に、第1分離移動部121と第2分離移動部122と第3分離移動部123とは連絡搬送部110Bから離れる方向に個別に移動して、搬送位置の下方から離間位置へ移動することができる。したがって、ワークとワークとの間隔は、分離移動部1つ分を移動させる間隔であればよく、ワークの流動間隔を短くすることができる。その結果、ライン全体の生産能力を増大することが可能となる。
なお、図1と図5を参照して説明したワーク搬送装置100では、ワークWの主面の法線方向が垂直方向になるようにワークWを搬送したが、ワークWの主面の法線方向が水平方向になるようにワークWを搬送してもよい。その際移動部120は上下移動ではなく水平移動する。
図8(a)と図8(b)とは、ワーク搬送装置100の移動部120の形状を示す模式図である。図8(a)と図8(b)とを参照してワーク搬送装置100の移動部120の形状を説明する。
移動部120は、接触部124と連結部125と双方向変化部126とを備える。接触部124は、ワークWの主面の一方と接触する。連結部125は、接触部124と連結する。
双方向変化部126は、連結部125を介して接触部124と連結している。双方向変化部126は、接触部124と連結部125とを移動させることにより、接触部124を搬送位置と離間位置の間で移動させる。双方向変化部126は、例えば、シリンダーやサーボモータである。接触部124と連結部125とで移動部120の内周が形成されている。ワークWは移動部120の内周の内側を通過可能である。したがって、移動部120が離間位置にある間にも、後続のワークWが移動部120の内周の内側を通過することができ、ワークWの流動が停滞する可能性を低減する。
図8(a)に示す移動部120は門型の形状をしており、図8(b)に示す移動部120はL型の形状をしている。移動部120が離間位置にあるときに、搬送位置をワークWが通過可能であれば、移動部120の形状は、図8(a)に示す門型の形状や図8(b)に示すL型の形状に限定されない。
図1で説明したワーク搬送装置100の搬送部110は複数のローラー110aを有していたが、搬送部110を複数のローラー110aの代わりにベルトコンベアで構成することも可能である。
図9は、更に他の実施形態に係るワーク搬送装置100を示す模式図である。図9を参照して更に他の実施形態に係るワーク搬送装置100を説明する。
本実施形態に係るワーク搬送装置100の搬送ユニット110は、ベルトコンベア110bである。ワーク搬送装置100は、搬送ユニット110がベルトコンベア110bである点を除いて、図1を参照して説明したワーク搬送装置100と同様な構成を有するため、重複部分については説明を省略する。連絡搬送部110Bは、連絡搬送部110Bの上流側の端部110B3で第1搬送部110Aと連絡しており、連絡搬送部110Bの下流側の端部110B4で第2搬送部110Cと連絡している。
ベルトコンベア110bは、移動部120に接触しないように、移動部120の部分が凹んでいる形状となっている。この凹んでいる箇所の幅はワークWが搬送されたときに落下しない程度の幅である。搬送部110はベルトコンベア110bの曲がり角にローラー110cを備える。
図10は、更に他の実施形態に係るワーク搬送装置100を示す模式図である。図10を参照して更に他の実施形態に係るワーク搬送装置100を説明する。図10(a)は、移動部120が搬送位置にある状態を示す模式図であり、図10(b)は、移動部120が離間位置にある状態を示す模式図である。離間位置は、搬送位置から離れた位置にある。
移動部120は、複数の分離移動部を有する。移動部120は、第1分離移動部127と第2分離移動部128と第3分離移動部129とを有している。第1分離移動部127は土台144に回転軸141で連結されている。第2分離移動部128は土台144に回転軸142で連結されている。第3分離移動部129は土台144に回転軸143で連結されている。ワーク搬送装置100は、第1分離移動部127を回転軸141の回りに所定の傾斜角度に回動させることができる。ワーク搬送装置100は、第2分離移動部128を回転軸142の回りに所定の傾斜角度に回動させることができる。ワーク搬送装置100は、第3分離移動部129を回転軸143の回りに所定の傾斜角度に回動させることができる。
第1分離移動部127と第2分離移動部128と第3分離移動部129とを、それぞれ独立して、搬送位置と離間位置との間を所定の傾斜角度に回動させることにより、第1分離移動部127と第2分離移動部128と第3分離移動部129とは移動可能である。これにより、主面の法線方向を垂直方向に維持しながら搬送されているワークWを、主面の法線方向を水平に維持しながら搬送するように変更することができるため、ワークの搬送の自由度を上げることができる。
主面の法線方向を垂直方向に維持しながら搬送されているワークWを、主面の法線方向を水平に維持しながら搬送するように変更して別の経路に移動させるための動作を以下説明する。図11を参照して本発明によるワーク搬送装置100の移動部120の搬送位置から離間位置への移動を説明する。図11(a)、図11(b)および図11(c)は、本発明の更に他の実施形態に係るワーク搬送装置100の側面図である。
ワーク搬送装置100は、ワークW0、ワークW1、ワークW2、ワークW3をワークW0、ワークW1、ワークW2、ワークW3の順番に搬送する。
図11(a)に示すように、第1搬送部110Aおよび連絡搬送部110BはワークW1を搬送位置に搬送する。ワークW0は、ワークW1より下流に位置している。ワークW2はワークW1より上流に位置している。
図11(b)に示すように、第1分離移動部127と第2分離移動部128と第3分離移動部129とのそれぞれの傾斜角度が各時刻で同じになるように同じタイミングで第1分離移動部127、第2分離移動部128および第3分離移動部129が回動することにより、搬送位置にあるワークW1を離間位置まで移動させる。その後、ワークW1は、別の経路に移送される。本実施形態における離間位置は、ワークの主面の法線方向が水平になる方向である。
図11(c)に示すように、第1分離移動部127と第2分離移動部128と第3分離移動部129とは、ワークW2の後端が第1分離移動部127と第2分離移動部128と第3分離移動部129とのそれぞれに対応する搬送位置を通過後に、ワークW2とワークW3との隙間を通って、個別に離間位置から搬送位置へ戻る。ワークW2が分離移動部のそれぞれに対応する搬送位置を通過後、ワークW3が分離移動部のそれぞれに対応する搬送位置に到達するまでの間に、分離移動部は搬送位置の下部に向けて回動していく。
図11(c)において、第1分離移動部127の移動が完了し第1分離移動部127が搬送位置に戻っている。図11(c)において、第2分離移動部128は、搬送位置へ移動中である。図11(c)において、ワークW2が第3分離移動部129の横を通過中である。第3分離移動部129は、ワークW2の後端が第3分離移動部129に対応する搬送位置を通過後に搬送位置への移動を開始する。その後、全ての分離移動部に対応する搬送位置への移動が完了し、第1分離移動部127、第2分離移動部128および第3分離移動部129は図11(a)に示す位置に戻る。なお、主面の法線方向を水平方向に維持しながら搬送されているワークWを、主面の法線方向を垂直に維持しながら搬送するように変更して、別の経路に移動させる動作も可能である。
図12は、搬送経路から別の経路への移送方法を示す模式図である。図12を参照して別の経路への移送方法を説明する。
分岐部151では、6軸垂直多関節ロボット160は離間位置にあるワークWを別の経路に移送する。ワークWの下方に6軸垂直多関節ロボット160のアームを挿入して、ワーク下面を真空吸着して別の経路に移送する。
分岐部152では、直交型XYロボット170は離間位置にあるワークWを別の経路に移送する。直交型XYロボット170のアームをワークWの下に挿入してワーク下面をすくって別の経路に移送する。
分岐部153では、移動部180がコンベアになっている。移動部180は駆動ローラーを内蔵している。移動部180が搬送位置にあるときは、駆動ローラーは回転しない。移動部180が離間位置にあるときに駆動ローラーが回転し、ワークWを別の経路へ移送する。
図13は、本発明の実施形態に係るワーク搬送システム300を示す模式図である。本実施形態に係るワーク搬送システム300は、複数のワーク搬送装置(ワーク搬送装置201〜ワーク搬送装置208)を備える。ワーク搬送装置201〜ワーク搬送装置208はそれぞれ、移動部(移動部221〜移動部228)と連絡搬送部(連絡搬送部211〜連絡搬送部218)と搬送部(搬送部251〜搬送部260)とを有する。
搬送部251は、ワーク搬送装置201の第1搬送部である。搬送部256は、ワーク搬送装置205の第2搬送部である。搬送部257は、ワーク搬送装置206の第1搬送部である。搬送部260は、ワーク搬送装置208の第2搬送部である。搬送部252、搬送部253、搬送部254、搬送部255、搬送部258および搬送部259は、それぞれの搬送部の上流側の1番近いワーク搬送装置にとっては第2搬送部であり、それぞれの搬送部の下流側の1番近いワーク搬送装置にとっては第1搬送部である。例えば、搬送部252は、上流側の1番近いワーク搬送装置201にとっては第2搬送部であり、下流側の1番近いワーク搬送装置202にとっては第1搬送部である。ワーク搬送システム300は、さらに搬送部219a、搬送部219bおよび搬送部219cを備える。
ワーク搬送システム300は、処理装置241と処理装置242と処理装置243とを備え、搬送部219a、搬送部219b、および搬送部219cに、それぞれ設けられている。処理装置241と処理装置242と処理装置243とは、例えば、ワークWの検査処理装置である。複数の処理装置を設けることにより、全体のタクトタイムが短くなる。搬送部251〜搬送部256と搬送部257〜搬送部260とのタクトタイムは例えば10秒/枚であり。処理装置241と処理装置242と処理装置243のタクトタイムは例えば30秒/枚である。
移動部221は隣接して6軸垂直多関節ロボット230が設けられている。6軸垂直多関節ロボット230は、別の経路(図示せず)から流れて来たワークWを移動部221に載せることにより、搬送部251〜搬送部256が形成する搬送経路にワークWを移動させる。
図13に示すように、ワーク搬送装置203において、移動部223は離間位置にあり、ワークWを移動部223の上部に載せている(図6(c)も参照)。その後、分岐した別の経路の搬送部219aの方へワークWは移動され、処理装置241で処理される。移動部223は離間位置にあるので、後続のワークWが搬送位置を通過可能である。
図13に示すように、ワーク搬送装置204において、移動部224は離間位置にあり、連絡搬送部214はワークWが搬送位置を通過するように搬送する(図6(c)も参照)。ワークWが搬送位置を通過後に、移動部224は搬送位置の下方まで移動し、次のワークWが搬送部254によって搬送されるまで待機する。
図13に示すように、ワーク搬送装置205において、移動部225は、離間位置にあり、ワークWを移動部225の上部に載せている(図6(c)も参照)。その後、ワークWは搬送部219cの方へ移動され、処理装置243で処理される。
図13に示すように、ワーク搬送装置206において、移動部226は、離間位置にあり、処理装置で処理済のワークWを移動部226の上部に載せている(図7(a)も参照)。その後、移動部226が搬送位置に移動することにより、ワークWは連絡搬送部216へ移動して連絡搬送部216によって搬送されていく。
図13に示すように、ワーク搬送装置207において、移動部227は、離間位置にあり、ワークWが搬送位置を通過中である(図7(b)も参照)。その後、移動部227は、処理装置242で処理が完了したワークWが離間位置まで搬送されるのを待つ。
図13に示すように、ワーク搬送装置208において、移動部228は、離間位置にあり、処理装置243で処理済のワークWを移動部228の上部に載せている(図7(a)も参照)。ワークWが搬送位置を通過可能であるので、後続のワークWが搬送位置を通過後、移動部226が搬送位置に移動することにより、ワークWは連絡搬送部218へ移動して連絡搬送部218によって搬送されていく。
以上説明したように、図13を参照して説明したワーク搬送システム300は、連絡搬送部213と連絡搬送部214と連絡搬送部215とによって搬送されているワークWを移動部223と移動部224と移動部225とで別の経路に移動させ、搬送部219aと搬送部219bと搬送部219cへ搬送する。その後、ワークWは、処理装置241と処理装置242と処理装置243とで処理される。その後、ワーク搬送装置206とワーク搬送装置207とワーク搬送装置208とは、移動部226と移動部227と移動部228とでワークWを連絡搬送部216と連絡搬送部217と連絡搬送部218とに移動させる。したがって、時間のかかる処理を複数の処理装置に分けて実施できる。その結果、ラインタクトを短縮することができる。
本発明のワーク搬送装置は、搬送経路から別の搬送経路へワークを移動するためのワーク搬送装置に好適に用いられる。
W、W0、W1、W2、W3、W4 ワーク
100 ワーク搬送装置
110 搬送ユニット
110A 第1搬送部
110B 連絡搬送部
110C 第2搬送部
110B1 ローラー
110B2 ローラー
110B3 連絡搬送部の上流側の端部
110B4 連絡搬送部の下流側の端部
110a ローラー
110b ベルトコンベア
110c ローラー
120 移動部
121 第1分離移動部
122 第2分離移動部
123 第3分離移動部
124 接触部
125 連結部
126 双方向変化部
127 第1分離移動部
128 第2分離移動部
129 第3分離移動部
141、142、143 回転軸
144 土台
151、152、153 分岐部
160 6軸垂直多関節ロボット
170 直交型XYロボット
180 移動部
201、202、203、204、205、206、207、208 ワーク搬送装置
211、212、213、214、215、216、217、218 連絡搬送部
219a、219b、219c 搬送部
221、222、223、224、225、226、227、228 移動部
230 6軸垂直多関節ロボット
241、242、243 処理装置
251、252、253、254、255、256、257、258、259、260 搬送部

Claims (9)

  1. 第1ワークおよび第2ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送装置であって、
    前記複数のワークを搬送する第1搬送部と、前記第1搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第2搬送部とを有する搬送ユニットと、
    前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部と
    を備え、
    前記移動部が前記連絡搬送部から前記第1ワークの移動を開始した後、または、前記移動部が前記第1ワークを前記連絡搬送部まで移動させる前に、前記連絡搬送部は、前記第1搬送部によって搬送された前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送し、
    前記移動部は、複数の分離移動部を有しており、
    前記複数の分離移動部は、前記移動部が前記第1ワークを移動させた後に、前記連絡搬送部に向かう方向または前記連絡搬送部から離れる方向に個別に移動する、ワーク搬送装置。
  2. 前記移動部が、前記連絡搬送部にある前記第1ワークを前記連絡搬送部から離れる方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する、請求項に記載のワーク搬送装置。
  3. 前記移動部が、前記第1ワークを保持している間に、前記連絡搬送部は、前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する、請求項1または請求項2に記載のワーク搬送装置。
  4. 前記移動部が、前記第1ワークを前記連絡搬送部に向かう方向に移動させる間に、前記連絡搬送部は、前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する、請求項1から請求項3のうちの1項に記載のワーク搬送装置。
  5. 前記連絡搬送部は複数のローラーを有しており、前記移動部は前記複数のローラーのうちの隣接する2つのローラーの間に位置する、請求項1から請求項4のうちの1項に記載のワーク搬送装置。
  6. 前記移動部は、
    前記第1ワークの主面の一方と接触する接触部と、
    前記接触部と連結する連結部と
    を備え、
    前記接触部と前記連結部とで前記移動部の内周が形成されており、前記第2ワークは前記内周の内側を通過可能である、請求項1から請求項5のうちの1項に記載のワーク搬送装置。
  7. 前記移動部の前記移動は、上下移動または水平移動である、請求項1から請求項6のうちの1項に記載のワーク搬送装置。
  8. 前記移動部は、コンベアである、請求項1から請求項7のうちの1項に記載のワーク搬送装置。
  9. 第1ワークおよび第2ワークを含む複数のワークを搬送するワーク搬送方法であって、
    前記複数のワークを搬送する第1搬送部と、前記第1搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送可能な連絡搬送部と、前記連絡搬送部によって搬送された前記複数のワークを搬送する第2搬送部とを有する搬送ユニットを用意する工程と、
    前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部からワークを移動させるか、または、前記複数のワークの主面の法線方向に沿って前記連絡搬送部までワークを移動させる移動部を用意する工程と、
    前記移動部が前記連絡搬送部から前記第1ワークの移動を開始した後、または、前記移動部が前記第1ワークを前記連絡搬送部まで移動させる前に、前記連絡搬送部は、前記第1搬送部によって搬送された前記第2ワークを前記第2搬送部へと搬送する工程と
    前記移動部は、複数の分離移動部を有しており、
    前記複数の分離移動部は、前記移動部が前記第1ワークを移動させた後に、前記連絡搬送部に向かう方向または前記連絡搬送部から離れる方向に個別に移動する工程と
    を包含する、ワーク搬送方法。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6297989B2 (ja) * 2015-01-27 2018-03-20 光洋サーモシステム株式会社 搬送装置
CN108502543B (zh) * 2017-02-28 2020-01-24 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种基板传输装置及方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5757068Y2 (ja) * 1977-08-08 1982-12-08
JPS5432487A (en) * 1977-08-17 1979-03-09 Mitsui Toatsu Chem Inc Preparation of 1-carbamoyluracils
JPS59120541A (ja) * 1982-12-28 1984-07-12 Ichikoh Ind Ltd 自動車用ドアミラ−取付具
JPS59120541U (ja) * 1983-01-28 1984-08-14 ナショナル住宅産業株式会社 不良品取出装置
DE10255344A1 (de) * 2002-11-27 2005-06-30 Siemens Ag Fördersystem für Güter, insbesondere Behälter für Gepäckstücke, und Steuerverfahren für das Fördersystem
JP2005191412A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置及び基板の製造方法
JP2005255356A (ja) * 2004-03-12 2005-09-22 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 基板収納装置
WO2005090211A1 (ja) * 2004-03-18 2005-09-29 Daiichi Institution Industry Co. Ltd. アライメント機能付き移載装置
DE102004032659B4 (de) * 2004-07-01 2008-10-30 Atotech Deutschland Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut sowie die Verwendung der Vorrichtung
US7228972B2 (en) * 2005-04-18 2007-06-12 Morgan Construction Company Short bar separation and recovery system and method
JP4629731B2 (ja) * 2005-06-22 2011-02-09 平田機工株式会社 ワーク搬送システム
JP4884816B2 (ja) * 2006-02-02 2012-02-29 上村工業株式会社 浸漬処理装置
JP4957133B2 (ja) 2006-09-11 2012-06-20 株式会社Ihi 基板搬送装置及び基板搬送方法
JP4314497B2 (ja) * 2007-01-22 2009-08-19 株式会社ダイフク 搬送用走行体の上下経路切換装置
KR101351494B1 (ko) * 2009-04-03 2014-01-16 무라다기카이가부시끼가이샤 컨베이어 장치
WO2012056893A1 (ja) * 2010-10-28 2012-05-03 タツモ株式会社 ワーク供給装置及びワーク処理装置

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