TWI630678B - 工件搬運裝置及工件搬運方法 - Google Patents

工件搬運裝置及工件搬運方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI630678B
TWI630678B TW102145707A TW102145707A TWI630678B TW I630678 B TWI630678 B TW I630678B TW 102145707 A TW102145707 A TW 102145707A TW 102145707 A TW102145707 A TW 102145707A TW I630678 B TWI630678 B TW I630678B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
workpiece
conveying
moving
conveyance
unit
Prior art date
Application number
TW102145707A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201432841A (zh
Inventor
奧村弘和
Original Assignee
日本電氣硝子股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電氣硝子股份有限公司 filed Critical 日本電氣硝子股份有限公司
Publication of TW201432841A publication Critical patent/TW201432841A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI630678B publication Critical patent/TWI630678B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/26—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles
    • B65G47/28—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles during transit by a single conveyor
    • B65G47/29—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors arranging the articles, e.g. varying spacing between individual articles during transit by a single conveyor by temporarily stopping movement
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/52—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices
    • B65G47/53—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices between conveyors which cross one another
    • B65G47/54—Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices between conveyors which cross one another at least one of which is a roller-way

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
  • Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
  • Relays Between Conveyors (AREA)
  • Automatic Assembly (AREA)

Abstract

本發明提供一種可減低工件流動停滯之可能性的工件搬運裝置及工件搬運方法。該工件搬運裝置搬運包含第一工件及第二工件的複數個工件，並具備：搬運單元，具有第一搬運部，搬運複數個工件、聯絡搬運部，可搬運藉由第一搬運部所搬運的複數個工件、第二搬運部，搬運藉由聯絡搬運部所搬運的複數個工件；以及移動部，沿著複數個工件之主面的法線方向將工件從聯絡搬運部移動，或者，沿著複數個工件之主面的法線方向將工件移動到聯絡搬運部；其中移動部從聯絡搬運部開始移動第一工件之後，或者，移動部將第一工件移動到聯絡搬運部之前，聯絡搬運部將第一搬運部所搬運的第二工件搬運到第二搬運部。

Description

工件搬運裝置及工件搬運方法
本發明係關於工件搬運裝置以及工件搬運方法。
板狀體的工件在一定間隔流動的輸送線，有時會將搬運路徑上的工件移動到其他路徑。專利文獻1中，已揭示基板(工件)搬運裝置。此搬運裝置，藉由基板傳送部夾持基板，將基板從主輸送裝置傳送到別路徑的分支輸送裝置。
【專利文獻1】日本特開第2008-66661號公報。
然而，為了使基板傳送部執行基板的傳送而在主輸送裝置上有移動中的基板時，因基板變成障礙，造成後續的基板不能通過主輸送裝置。結果，有時必須將工件暫停在主輸送裝置上。
本發明鑒於上述課題而完成，其目的在於提供一種減低輸送線上暫停的可能性並能夠使工件流動的工件搬運裝置以及工件搬運方法。
本發明為一種工件搬運裝置，其搬運包含第一工件以及第二工件的複數個工件，該工件搬運裝置具備：搬運單元，該搬運單元具有：第一搬運部，其搬運該複數個工件、聯絡搬運部，其可搬運藉由該第一搬運部所搬運的該複數個工件、第二搬運部，其搬運藉由該聯絡搬運部所搬運的該複數個工件；以及移動部，其沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件從該聯絡搬運部移動，或者，沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件移動到該聯絡搬運部。接著，該移動部從該聯絡搬運部開始移動該 第一工件之後，或者，該移動部將該第一工件移動到聯絡搬運部之前，該聯絡搬運部將藉由該第一搬運部所搬運的該第二工件搬運到該第二搬運部。
於一實施方式中，該移動部具備複數個分離移動部，其中該移動部移動該第一工件之後，該複數個分離移動部分別沿著向該聯絡搬運部的方向，或者，沿著離開該聯絡搬運部的方向移動。
於一實施方式中，在該移動部將位於該聯絡搬運部的該第一工件向離開該聯絡搬運部的方向移動的期間，該聯絡搬運部將第二工件搬運到第二搬運部。
於一實施方式中，在該移動部保持該第一工件之期間，該聯絡搬運部將該第二工件搬運到該第二搬運部。
於一實施方式中，在該移動部將該第一工件沿著向該聯絡搬運部的方向移動之期間，該聯絡搬運部將該第二工件搬運到該第二搬運部。
於一實施方式中，該聯絡搬運部具有複數個滾柱，而該移動部位於複數個滾柱中相鄰的二個滾柱之間。
於一實施方式中，該移動部具備接觸部，其與該第一工件之主面的一邊接觸；以及連接部，其與該接觸部連接；其中該接觸部及該連接部形成該移動部的內周，而該第二工件可通過該內周的內側。
於一實施方式中，該移動部的移動係為上下移動或者水平移動。
於一實施方式中，該移動部係為輸送裝置。
本發明係為一種工件搬運方法，其搬運包含第一工件以及第二工件的複數個工件，該工件搬運方法包含：準備搬運單元的步驟，該搬運單元具有：第一搬運部，其搬運該複數個工件、聯絡搬運部，其可搬運藉由該第一搬運部所搬運的該複數個工件、第二搬運部，其搬運藉由該聯絡搬運部所搬運的該複數個工件；準備移動部的步驟，該移動部沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件從該聯絡搬運部移動，或者，沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件移動到聯絡搬運部；搬運步驟，該移動部從該聯絡搬運部開始移動該第一工件之後，或者，該移動部將第一工件移動到聯絡搬運部之前，該聯絡搬運部將藉由該第一搬運部所搬運的該第 二工件搬運到該第二搬運部。
本發明係為一種工件搬運裝置，其搬運包含第一工件以及第二工件的複數個工件，該工件搬運裝置具備：搬運單元，該搬運單元具有：第一搬運部，其搬運該複數個工件、聯絡搬運部，其可搬運藉由該第一搬運部所搬運的該複數個工件、第二搬運部，其搬運藉由該聯絡搬運部所搬運的該複數個工件；以及移動部，其沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件從該聯絡搬運部移動，或者，沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件移動到該聯絡搬運部；其中該移動部具備複數個分離移動部，而該移動部移動該第一工件之後，該複數個分離移動部分別沿著向該聯絡搬運部的方向，或者，沿著離開該聯絡搬運部的方向移動。
於一實施方式中，在該移動部將該聯絡搬運部的該第一工件向離開該聯絡搬運部的方向移動之期間，該聯絡搬運部將第二工件搬運到該第二搬運部。
於一實施方式中，在該移動部保持該第一工件之期間，該聯絡搬運部將該第二工件搬運到該第二搬運部。
在該移動部將該聯絡搬運部的該第一工件向該聯絡搬運部的方向移動之期間，該聯絡搬運部將該第二工件搬運到該第二搬運部。
於一實施方式中，該聯絡搬運部具有複數個滾柱，而該移動部位於複數個滾柱中相鄰的二個滾柱之間。
本發明係為一種工件搬運方法，其為搬運包含第一工件以及第二工件的複數個工件，該工件搬運方法包括：準備搬運單元的步驟，該搬運單元具有：第一搬運部，其搬運該複數個工件、聯絡搬運部，其可搬運藉由該第一搬運部所搬運的該複數個工件、第二搬運部，其搬運藉由該聯絡搬運部所搬運的該複數個工件；準備移動部的步驟，該移動部沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件從該聯絡搬運部移動，或者，沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件移動到聯絡搬運部；移動步驟，其該移動部具備複數個分離移動部，而該移動部移動該第一工件之後，該複數個分離移動部分別沿著向該聯絡搬運部的方向或者沿著離開該聯絡搬運部的方向移動。
本發明的工件搬運裝置，其搬運包含第一工件以及第二工件的複數個工件。本實施方式的工件搬運裝置，具備搬運單元及移動部。搬運單元具有第一搬運部、聯絡搬運部及第二搬運部。移動部將第一工件從聯絡搬運部開始移動之後，或者，移動部將第一工件移動到聯絡搬運部之前，聯絡搬運部將第一搬運部所搬運的第二工件搬運到第二搬運部。因此，能夠減低在搬運單元中暫停第二工件的可能性並搬運第二工件。結果，能夠縮短生產線節拍。
W、W0、W1、W2、W3、W4‧‧‧工件
100‧‧‧工件搬運裝置
110‧‧‧搬運單元
110A‧‧‧第一搬運部
110B‧‧‧聯絡搬運部
110C‧‧‧第二搬運部
110B1‧‧‧滾柱
110B2‧‧‧滾柱
110B3‧‧‧聯絡搬運部的上游側的端部
110B4‧‧‧聯絡搬運部的下游側的端部
110a‧‧‧滾柱
110b‧‧‧輸送裝置
110c‧‧‧滾柱
120‧‧‧移動部
121‧‧‧第一分離移動部
122‧‧‧第二分離移動部
123‧‧‧第三分離移動部
124‧‧‧接觸部
125‧‧‧連接部
126‧‧‧雙方向變化部
127‧‧‧第一分離移動部
128‧‧‧第二分離移動部
129‧‧‧第三分離移動部
141、142、143‧‧‧旋轉軸
144‧‧‧底座
151、152、153‧‧‧分支部
160‧‧‧6軸垂直多關節機械手
170‧‧‧正交型XY機械手
180‧‧‧移動部
201、202、203、204、205、206、207、208‧‧‧工件搬運裝置
211、212、213、214、215、216、217、218‧‧‧聯絡搬運部
219a、219b、219c‧‧‧搬運部
221、222、223、224、225、226、227、228‧‧‧移動部
230‧‧‧6軸垂直多關節機械手
241、242、243‧‧‧處理裝置
251、252、253、254、255、256、257、258、259、260‧‧‧搬運部
300‧‧‧工件搬運系統
第1圖為表示本發明實施方式之工件搬運裝置的示意圖；第2圖(a)為表示移動部在聯絡搬運部載置工件之狀態的示意圖，而第2圖(b)為表示移動部向工件的法線方向離開聯絡搬運部的狀態的示意圖；第3圖(a)、(c)、(e)、(g)為表示本發明實施方式之工件搬運裝置的側視圖；(b)、(d)、(f)、(h)為表示分別對應於(a)、(c)、(e)、(g)之本發明實施方式的工件搬運裝置的前視圖；第4圖(a)、(b)、(c)、(d)為表示本發明實施方式之工件搬運裝置的側視圖；第5圖為表示本發明其他實施方式之工件搬運裝置的示意圖；第6圖(a)、(c)、(e)為表示本發明其他實施方式的側視圖；(b)、(d)、(f)為表示分別對應於(a)、(c)、(e)之本發明其他實施方式之工件搬運裝置的前視圖；第7圖(a)、(b)、(c)、(d)為表示本發明其他實施方式之工件搬運裝置的側視圖；第8圖(a)、(b)為表示工件搬運裝置的移動部的形狀的示意圖；第9圖為進一步表示本發明其他實施方式之工件搬運裝置的示意圖；第10圖(a)、(b)為進一步表示本發明其他實施方式之工件搬運裝置的示意圖；第11圖(a)、(b)、(c)為進一步表示本發明其他實施方式之工件搬運裝置的示意圖； 第12圖為表示對其他路徑之移送方法的示意圖；以及第13圖為表示本發明實施方式之工件搬運系統的示意圖。
以下，參照圖式對本發明的工件搬運裝置以及工件搬運方法的實施方式進行說明。但是，本發明並不侷限於以下的實施方式。
參照第1圖對本發明實施方式的工件搬運裝置100進行說明。第1圖為表示本發明實施方式之工件搬運裝置100的示意圖。工件搬運裝置100具備搬運單元110與移動部120。搬運單元110具備第一搬運部110A、聯絡搬運部110B和第二搬運部110C。
搬運單元110沿著搬運路徑搬運具有主面的工件W。搬運路徑，例如由第一搬運部110A和聯絡搬運部110B及第二搬運部110C所形成。第一搬運部110A搬運工件W。聯絡搬運部110B可搬運由第一搬運部110A所搬運的工件W。第二搬運部110C搬運由聯絡搬運部110B所搬運的工件W。第一搬運部110A、聯絡搬運部110B和第二搬運部110C分別具有複數個滾柱110a。藉由滾柱110a的旋轉，搬運載置在滾柱110a上方的工件W。工件W的搬運速度，例如為20m/分~30m/分。
移動部120位於複數個聯絡搬運部110B所具有之複數個滾柱110a中相鄰的兩個滾柱，即滾柱110B1與滾柱110B2之間。當工件W載置於移動部120時為了避免工件W落下，移動部120的沿著工件W的搬運方向的寬度，例如設為工件W的長邊之長度的二分之一以上為較佳。在此，工件W的長邊之長度為三份滾柱間隔的長度，而移動部120的沿著工件W搬運方向的寬度，係不到二份滾柱間隔的長度。移動部120可以沿著工件W之主面的法線方向而移動。
移動部120與工件W在聯絡搬運部110B接觸。以工件W的重心位於移動部120的中央附近的方式，一片工件W載置於移動部120，而移動部120沿著工件W主面的法線方向移動工件W。移動部120的昇降速度，例如，150mm/秒~200mm/秒。以當移動部120沿著工件W的法線方向上昇到離開聯絡搬運部110B之位置時，工件W可通過聯絡搬運部110B上的方式，形成移動部120。
工件W係片狀的板狀體。例如，工件W係用於液晶的玻璃基板或電漿顯示器、FED、SED等用於平板顯示器的玻璃基板以及用於太陽能電池的玻璃基板。進一步，工件W也可以為玻璃材質以外的金屬、樹脂、陶瓷等。在工件W為玻璃基板的情況下，工件W的大小，例如，550mm×650mm、730mm×920mm、1,000mm×1,200mm以及2,000mm×2,500mm。工件W的厚度，例如，0.3mm~1.8mm。
第2圖(a)為表示移動部120在聯絡搬運部110B載置工件W的狀態的示意圖，而第2圖(b)為表示移動部120向工件W的法線方向離開聯絡搬運部110B的狀態的示意圖。
參照第2圖(a)以及第2圖(b)，對移動部120沿著工件W之主面的法線方向從聯絡搬運部110B移動工件W的動作進行說明。第2圖(a)中，移動部120在聯絡搬運部110B與藉由第一搬運部110A所搬運的工件W接觸。向工件W之主面的法線方向被移動的工件W在聯絡搬運部110B流動到移動部120的上方時，移動部120則上昇，且移動部120能夠推上工件W到離開聯絡搬運部110B的位置，變成第2圖(b)所示的狀態。之後根據需要，工件W在離開聯絡搬運部110B的位置被移送到其他路徑。此外，本說明書對以下的說明中，如第2圖(a)所示，移動部120在聯絡搬運部110B與藉由第一搬運部110A所搬運的工件W接觸的位置會記載為搬運位置。另，如第2圖(b)所示，移動部120向工件W的法線方向離開聯絡搬運部110B的位置會記載為隔離位置。
繼續參照第2圖(a)及第2圖(b)，對移動部120將工件W沿著工件W之主面的法線方向移動到聯絡搬運部110B的動作進行說明。第2圖(b)中，移動部120載置有從其他路徑流動過來的工件W。移動部120能夠使工件W下降到聯絡搬運部110B並移動到搬運路徑，變成如第2圖(a)所示的狀態。之後，工件W藉由聯絡搬運部110B搬運到第二搬運部110C。再者，移動部120從聯絡搬運部110B向工件W的法線方向離開的位置保持工件W的狀態下，能夠以通過工件W的下方的方式，搬運後續的工件W。
此外，移動部120有時會移動到比如第2圖(a)所示之位置更下方的位置。在移動部120位於比如第2圖(a)所示之位置更下方的情況下， 工件W仍然可以通過移動部120的上方。
以下，對搬運單元110所搬運的工件W從搬運路徑移動到分支之其他路徑的動作進行說明。參照第3圖對本發明的工件搬運裝置100的移動部120的移動進行說明。移動部120藉由從搬運位置的下方移動到隔離位置，而沿著工件主面的法線方向將工件從聯絡運輸部110B移動。第3圖(a)、第3圖(c)、第3圖(e)以及第3圖(g)為本發明實施方式之工件搬運裝置100的側視圖。第3圖(b)、第3圖(d)、第3圖(f)以及第3圖(h)為表示分別對應於第3圖(a)、第3圖(c)、第3圖(e)以及第3圖(g)之本發明實施方式的工件搬運裝置100的前視圖。
工件搬運裝置100依照工件W0、工件W1、工件W2、工件W3的順序搬運工件W0、工件W1、工件W2、工件W3。另，本說明書對以下說明中，有時會以工件W1、工件W2分別記載為第一工件、第二工件。
如第3圖(a)、第3圖(b)所示，第一搬運部110A以及聯絡搬運部110B將工件W1搬運到搬運位置。工件W0位於比工件W1更下游。工件W2位於比工件W1更上游。
如第3圖(c)、第3圖(d)所示，藉由移動部120上昇，移動部120將搬運位置的工件W1移動到隔離位置。工件W0藉由第二搬運部110C被搬運到比第3圖(a)、第3圖(b)所示之工件W0更下游的位置。工件W2藉由第一搬運部110A以及聯絡搬運110B被搬運到比第3圖(a)、第3圖(b)所示之工件W2更下游的位置，並位於搬運位置的正前方。
如第3圖(e)、第3圖(f)所示，移動部120從聯絡搬運部110B開始移動工件W1之後，聯絡搬運部110B以工件W2通過搬運位置的方式，搬運工件W2至第二搬運部110C。另外，工件W1移動到其他路徑。例如，工件W1藉由機械手移送到其他路徑。
如第3圖(g)、第3圖(h)所示，移動部120在搬運位置上沒有工件流動時，通過工件W2與工件W3之間移動到搬運位置的下方，回到第3圖(a)所示的位置。例如，藉由光電感應器(沒有圖示)監測工件的存在，若工件不在搬運位置的期間超過一定的期間以上，使移動部120回到搬運位置的下方。
以上，如參照第3圖的說明，在工件搬運裝置100，移動部 120沿著工件W之主面的法線方向從聯絡搬運部110B移動工件。移動部120在第一工件從聯絡搬運部110B開始移動之後，聯絡搬運部110B將第一搬運部110A所搬運的第二工件搬運到第二搬運部110C。因此，在搬運單元110減低第二工件暫停的可能性並能夠搬運第二工件。結果，能夠縮短生產線節拍時間(line tact time)提高線產能。
以下，參照第4圖對使來自其他路徑的工件W移動到搬運路徑的動作進行說明。移動部120藉由從隔離位置移動到搬運位置的下方，則移動部120沿著工件之主面的法線方向移動工件到聯絡搬運部110B。第4圖(a)、第4圖(b)、第4圖(c)以及第4圖(d)為表示本發明實施方式之工件搬運裝置100的側視圖。
工件搬運裝置100係搬運工件W0、工件W1、工件W2、工件W3。
第4圖(a)為表示移動部120在隔離位置的狀態。在移動部120的上方載置有由其他路徑所搬運的工件W1。工件W0比工件W1位於下游。工件W2比工件W1位於上游。
如第4圖(b)所示，工件W1在隔離位置的狀態下，移動部120將工件W1移動到聯絡搬運部110B之前，聯絡搬運部110B以工件W2通過工件W1下方的搬運位置的方式，將工件W2搬運到第二搬運部110C。
如第4圖(c)所示，藉由移動部120移動到搬運位置，工件W1載置於聯絡搬運部110B，工件W1由聯絡搬運部110B所搬運。工件W2藉由第二搬運部110C搬運到比如第4圖(b)所示之工件W2更下游的位置。
工件W4(沒有圖示)由其他路徑所搬運，接著工件W1之後流動到隔離位置。如第4圖(d)所示，移動部120為了接受工件W4，在工件沒有在搬運位置流動時，通過工件W1與工件W3之間回到隔離位置。
以上，如參照第4圖所述，在工件搬運裝置100，移動部120沿著工件之主面的法線方向將工件移動到聯絡搬運部110B。在移動部120將工件W1移動到聯絡搬運部110B之前，聯絡搬運部110B將由第一搬運部110A所搬運的第二工件搬運到第二搬運部110C。因此，從其他路徑移送工件時，會減低工件停止的可能性。
此外，移動部120可以分離成複數個移動部份。參照第5圖 對本發明的其他實施方式的工件搬運裝置100進行說明。
移動部120具有複數個分離移動部。第5圖所示之移動部120具備第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123。本實施方式的工件搬運裝置100除了移動部120具有複數個分離移動部以外，與參照第1圖所述之工件搬運裝置100具有同樣的結構，故重複部份省略說明。
第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123係分別獨立的，並可以在搬運位置與隔離位置之間移動。在移動部120的上方載置有工件W的狀態下在搬運位置與隔離位置之間移動時，第一分離移動部121及第二分離移動部122及第三分離移動部123，以每一個高度在每一個時刻均為相同的方式，在同一時序在搬運位置與隔離位置之間移動。由此，可以防止載置於移動部120上方的工件W從移動部120掉下來，或因歪曲而破裂。
在移動部120上方沒有載置工件W的狀態在搬運位置與隔離位置之間移動的情況下，第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123分別可以在搬運位置與隔離位置之間移動。由此，可以提高搬運工件的自由度。
以下，將搬運單元110搬運的工件W由搬運路徑移動到分支之其他路徑的動作進行說明。參照第6圖對本實施方式之工件搬運裝置100的移動部120的移動進行說明。移動部120藉由搬運位置的下方移動到隔離位置，則移動部120沿著工件之主面的法線方向將工件從聯絡搬運部110B移動。第6圖(a)、第6圖(c)以及第6圖(e)為本實施方式之工件搬運裝置100的側視圖。第6圖(b)、第6圖(d)以及第6圖(f)為表示各對應於第6圖(a)、第6圖(c)以及第6圖(e)的本實施方式之工件搬運裝置100的前視圖。
工件搬運裝置100按照工件W0、工件W1、工件W2、工件W3的順序搬運工件W0、工件W1、工件W2、工件W3。
如第6圖(a)、第6圖(b)所示，聯絡搬運部110B搬運工件W1至搬運位置。工件W0比工件W1位於下游。工件W2比工件W1位於上游。
如第6圖(c)、第6圖(d)所示，第一分離移動部121、第二分 離移動部122及第三分離移動部123藉由以每一個高度在每一個時刻均為相同的方式，在同一時序上昇，來將位於搬運位置的工件W1移動到隔離位置。之後，工件W1被移送到其他路徑。工件W2藉由第一搬運部110A被搬運到比如第6圖(a)、第6圖(b)所示之工件W2更下游的位置，並位於搬運位置的正前方。
如第6圖(e)、第6圖(f)所示，在移動部120移動工件W1之後，工件W2的後端通過對應於第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123的每一個搬運位置之後，第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123通過工件W2與工件W3的空隙，在向聯絡搬運部110B的方向分別移動，從隔離位置回到搬運位置的下方。在工件W2通過對應於分離移動部的各搬運位置之後，工件W3到達對應於分離移動部之各搬運位置的期間，第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123逐漸下降於搬運位置的下方。
在第6圖(e)，第一分離移動部121完成移動並回到搬運位置的下方。在第6圖(e)，第二分離移動部122為正往搬運位置的下方移動。在第6圖(e)，工件W2正在通過對應於第三分離移動部123的搬運位置。第三分離移動部123在工件W2的後端通過對應於第三分離移動部123的搬運位置之後，向搬運位置的下方開始移動。之後，所有分離移動部完成向搬運位置下方的移動，回到第6圖(a)所示的位置。
如參照第6圖所述，根據本實施方式的工件搬運裝置100，移動第一工件之後，第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部分別向聯絡搬運部110B移動，並能夠從隔離位置移動到搬運位置的下方。因此，工件與工件的間隔只要能移動一個分離移動部的間隔即可，並能夠縮短工件的流動間隔。結果，可以增大整個生產線的生產能力。
以下，對從其他路徑流過來的工件W移動到搬運路徑的動作進行說明。參照第7圖對本實施方式的工件搬運裝置100的移動進行說明。移動部120藉由從隔離位置移動到搬運位置的下方，沿著工件之主面的法線方向將工件移動到聯絡搬運部110B。第7圖(a)、第7圖(b)、第7圖(c)以及第7圖(d)為本實施方式的工件搬運裝置100的側視圖。工件搬運裝置100搬運工件W1、工件W2、工件W3、工件W4。
第7圖(a)為表示第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123在隔離位置的狀態。第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123的上方載置有從其他路徑所搬運的工件W1。
如第7圖(b)所示，工件W1在隔離位置的狀態下，聯絡搬運部110B以工件W2通過工件W1下方的搬運位置的方式，搬運工件W2到第二搬運部110C。
如第7圖(c)所示，第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123以每一個高度在每一個時刻均為相同的方式，在同一時序下降，將位於隔離位置的工件W1移動到搬運位置。藉由第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123移動到搬運位置的下方，工件W1載置於聯絡搬運部110B，並且工件W1由聯絡搬運部110B所搬運。
如第7圖(d)所示，移動部120移動工件W1之後，而將工件W3的後端通過對應於第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123的每一個搬運位置之後，第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123通過工件W3與工件W4的空隙，沿著從聯絡搬運部110B離開的方向分別移動，由搬運位置的下方回到隔離位置。每一個分離移動部，在工件W3通過對應於分離移動部的每一個搬運位置後工件W4到達每一個分離移動部的搬運位置的期間，向隔離位置上昇。
在第7圖(d)，第一分離移動部121完成移動而第一分離移動部121回到隔離位置。在第7圖(d)，第二分離移動部122向隔離位置正在移動的途中。在第7圖(d)，工件W3正在通過第三分離移動部123的上方。第三分離移動部123在工件W3的後端通過後向隔離位置開始移動。之後，完成所有分離移動部的搬運位置的移動，第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123回到第7圖(a)所示的位置。工件W5(沒有圖示)從其他路徑所搬運，接著工件W1流到隔離位置。移動部120在隔離位置待機至工件W5被載置於移動部120的上方。
如參照第7圖所述，在工件搬運裝置100移動第一工件之後，第一分離移動部121、第二分離移動部122及第三分離移動部123能夠分別 沿著從聯絡搬運部110B離開的方向移動，由搬運位置的下方移動到隔離位置。因此，工件與工件之間隔，只要有移動一個分離移動部的間隔，就能夠縮短工件的流動間隔。結果，可以增大整體生產線輸送裝置的產能。
此外，參照第1圖及第5圖所說明的工件搬運裝置100中，以工件W之主面的法線方向為垂直方向的方式搬運工件W，但也可以工件W之主面的法線方向為水平方向的方式搬運工件W。此時，移動部120為水平移動而不是上下移動。
第8圖(a)及第8圖(b)為表示工件搬運裝置100的移動部120的形狀的示意圖。參照第8圖(a)及第8圖(b)對工件搬運裝置100的移動部120的形狀進行說明。
移動部120具備接觸部124與連接部125與雙方向變化部126。移動接觸部124與工件W主面的一邊接觸。連接部125連接接觸部124。
雙方向變化部126經由連接部125連接於接觸部124。雙方向變化部126藉由移動接觸部124及連接部125，以使接觸部124在搬運位置與隔離位置之間移動。雙方向變化部126例如為氣壓缸或伺服馬達。移動部120的內周由接觸部124及連接部125所形成。工件W可以通過移動部120內周的內側。因此，移動部120在隔離位置的期間，後續的工件W可以通過移動部120內周的內側，並減低停止工件W流動的可能性。
如第8圖(a)所示的移動部120為門型的形狀，而第8圖(b)所示的移動部120為L型的形狀。移動部120在隔離位置時，工件W只要可通過搬運位置，移動部120的形狀並不侷限於第8圖(a)所示的門型的形狀或第8圖(b)所示的L型的形狀。
在第1圖所述之工件搬運裝置100的搬運單元110雖然具有複數個滾柱110a，惟搬運單元110也可以由輸送裝置構成，以取代複數個滾柱110a。
第9圖為進一步表示其他實施方式的工件搬運裝置100的示意圖。參照第9圖進一步對其他實施方式的工件搬運裝置100進行說明。
本實施方式的工件搬運裝置100的搬運單元110係為輸送裝置110b。工件搬運裝置100除了搬運單元110為輸送裝置110b之外，與參照第1圖所述之工件搬運裝置100具有相同的結構，故對重複部份省略說 明。聯絡搬運部110B，在聯絡搬運部110B的上游的端部110B3為連接於第一搬運部110A，而在聯絡搬運部110B的下游的端部110B4則連接於第二搬運部110C。
輸送裝置110b以不接觸移動部120的方式，移動部120的部份變成凹下來的形狀。此凹下來的部份之寬度為工件W被搬運時不會落下的程度的寬度。搬運單元110在輸送裝置110b的轉角處具備滾柱110c。
第10圖為進一步表示其他實施方式之工件搬運裝置100的示意圖。參照第10圖進一步對其他實施方式的工件搬運裝置100進行說明。第10圖(a)為表示移動部120在搬運位置的狀態的示意圖，而第10圖(b)為表示移動部120在隔離位置的狀態的示意圖。隔離位置位於從搬運位置離開的位置。
移動部120具有複數個分離移動部。移動部120具有第一分離移動部127、第二分離移動部128及第三分離移動部129。第一分離移動部127藉由旋轉軸141而連接於底座144。第二分離移動部128藉由旋轉軸142連接於底座144。第三分離移動部129藉由旋轉軸143連接於底座144。工件搬運裝置100能夠使第一分離移動部127繞旋轉軸141轉動至規定的傾斜角度。工件搬運裝置100能夠使第二分離移動部128繞旋轉軸142轉動至規定的傾斜角度。工件搬運裝置100能夠使第三分離移動部129繞旋轉軸143轉動至規定的傾斜角度。
藉由使第一分離移動部127、第二分離移動部128及第三分離移動部129在搬運位置與隔離位置之間分別獨立旋轉至規定的傾斜角度，能夠移動第一分離移動部127、第二分離移動部128及第三分離移動部129。據此，能夠將維持主面的法線方向為垂直方向而搬運的工件W改變為以維持主面的法線方向為水平方向來搬運，並可以提高工件搬運的自由度。
以下，將維持主面的法線方向為垂直方向而被搬運的工件W，改變為以維持主面的法線方向為水平的方式搬運，並移動到其他路徑之動作進行說明。參照第11圖對本發明工件搬運裝置100的移動部120的搬運位置到隔離位置的移動進行說明。第11圖(a)、第11圖(b)及第11圖(c)為進一步表示本發明其他實施方式的工件搬運裝置100的側視圖。
工件搬運裝置100依照工件W0、工件W1、工件W2、工件W3的順序搬運工件W0、工件W1、工件W2、工件W3。
如第11圖(a)所示，第一搬運部110A及聯絡搬運部110B搬運工件W1至搬運位置。工件W0比工件W1位於下游。工件W2比工件W1位於上游。
如第11圖(b)所示，藉由以第一分離移動部127及第二分離移動部128及第三分離移動部129的每一個傾斜角度在每一個時刻均為相同的方式，在同一時序旋轉第一分離移動部127、第二分離移動部128及第三分離移動部129，以使於搬運位置的工件W1移動到隔離位置。之後，工件W1被移送到其他路徑。本實施方式的隔離位置係工件主面的法線方向為水平的方向。
如第11圖(c)所示，第一分離移動部127、第二分離移動部128及第三分離移動部129，在工件W2的後端通過分別對應於第一分離移動部127、第二分離移動部128及第三分離移動部129的搬運位置之後，通過工件W2及工件W3的空隙，分別從隔離位置回到搬運位置。工件W2通過對應於分離移動部的每一個搬運位置之後，工件W3到達對應於分離移動部的每一個搬運位置之間，分離移動部開始向搬運位置下方旋轉。
第11圖(c)中，第一分離移動部127的移動已完成且第一分離移動部127回到搬運位置。第11圖(c)中，第二分離移動部128正向搬運位置移動。第11圖(c)中，工件W2正在通過第三分離移動部的側邊。第三分離移動部129在工件W2的後端通過對應於第三分離移動部129的搬運位置之後，開始向搬運位置移動。之後，完成向所有對應於分離移動部的搬運位置的移動，接著第一分離移動部127、第二分離移動部128及第三分離移動部129回到如第11圖(a)所示的位置。此外，也可以是，將主面的法線方向維持水平方向而搬運的工件W改變為以主面的法線方向維持垂直的方式而搬運，並移動到其他路徑之動作。
第12圖為表示從搬運路徑到其他路徑的移送方法的示意圖。參照第12圖對其他路徑的移送方法進行說明。
在分支部151，6軸垂直多關節機械手160將隔離位置的工件W移送到其他路徑。6軸垂直多關節機械手160的手臂插入工件W的下 方，並對工件下表面進行真空吸附而移送到其他路徑。
在分支部152，正交型XY機械手170將隔離位置的工件W移送到其他路徑。正交型XY機械手170的手臂插入工件W的下方並撈起工件W的下表面而移送到其他路徑。
在分支部153，移動部180係為輸送裝置。移動部180內置有驅動滾柱。移動部180在搬運位置時，驅動滾柱不會旋轉。移動部180在隔離位置時驅動滾柱開始旋轉，並移送工件W到其他路徑。
第13圖為表示本發明實施方式之工件搬運系統300的示意圖。本實施方式的工件搬運系統300具備複數個工件搬運裝置(工件搬運裝置201~工件搬運裝置208)。工件搬運裝置201~工件搬運裝置208分別具有移動部(移動部221~移動部228)及聯絡搬運部(聯絡搬運部211~聯絡搬運部218)及搬運部(搬運部251~搬運部260)。
搬運部251係為工件搬運裝置201的第一搬運部。搬運部256係為工件搬運裝置205的第二搬運部。搬運部257係為工件搬運裝置206的第一搬運部。搬運部260係為工件搬運裝置208的第二搬運部。搬運部252、搬運部253、搬運部254、搬運部255、搬運部258以及搬運部259，對各搬運部上游側之最接近的工件搬運裝置而言為第二搬運部，而對各搬運部的下游側之最接近的工件搬運裝置而言為第一搬運部。例如，對搬運部252上游側之最接近的工件搬運裝置201而言為第二搬運部，而對下游側之最接近的工件搬運裝置202而言為第一搬運部。工件搬運系統300進一步具備搬運部219a、搬運部219b以及搬運部219c。
工件搬運裝置300具備處理裝置241、處理裝置242及處理裝置243，並各設置於搬運部219a、搬運部219b、搬運部219c。處理裝置241、處理裝置242及處理裝置243，例如，係為工件W的檢查處理裝置。藉由設置複數個處理裝置，會縮短整體的生產節拍時間。搬運部251~搬運部256及搬運部257~搬運部260的生產節拍為例如10秒/片，處理裝置241、處理裝置242及處理裝置243的生產節拍為例如30秒/片。
相鄰於移動部221設置有6軸垂直多關節機械手230。6軸垂直多關節機械手230藉由將從其他路徑(沒有圖示)流過來的工件W載置於移動部221，以將工件W移動到搬運部251~搬運部256所形成的搬運 路徑。
如第13圖所示，工件搬運裝置203中，移動部223位於隔離位置，工件W被載置於移動部223的上方(亦請參照第6圖(c))。之後，工件W被移送到分支的其他路徑的搬運部219a的方向，並於處理裝置241處理。因移動部223在隔離位置，故後續的工件W可以通過搬運位置。
如第13圖所示，工件搬運裝置204中，移動部224在隔離位置，聯絡搬運部214以通過搬運位置的方式搬運工件W(亦請參照第6圖(c))。工件W通過搬運位置之後，移動部224移動到搬運位置的下方，並待機，直到搬運部254搬運下一個工件W。
如第13圖所示，工件搬運裝置205中，移動部225位於隔離位置，工件W被載置於移動部225的上方(亦請參照第6圖(c))。之後，工件W被移送到搬運部219c的方向，並於處理裝置243處理。
如第13圖所示，工件搬運裝置206中，移動部226位於隔離位置，在處理裝置所處理的工件W被載置於移動部226的上方(亦請參照第7圖(a))。之後，藉由移動部226移動到搬運位置，工件W移動到聯絡搬運部216並由聯絡搬運部216所搬運。
如第13圖所示，工件搬運裝置207中，移動部227在隔離位置，而工件W正通過搬運位置(亦請參照第7圖(b))。之後，移動部227等待，直到在處理裝置242已處理完成的工件W被搬運到隔離位置。
如第13圖所示，工件搬運裝置208中，移動部228在隔離位置，在處理裝置243所處理的工件W被載置於移動部228的上方(亦請參照第7圖(a))。因工件W可通過搬運位置，後續的工件W通過搬運位置之後，藉由移動部226移動到搬運位置，工件W則移動到聯絡搬運部218並由聯絡搬運部218搬運。
如上所述，參照第13圖所說明的工件搬運系統300，藉由移動部223、移動部224及移動部225將聯絡搬運部213、聯絡搬運部214及聯絡搬運部215所搬運的工件W移動到其他路徑，並搬運到搬運部219a、搬運部219b及搬運部219c。之後，工件W於處理裝置241與處理裝置242及處理裝置243進行處理。之後，工件搬運裝置206、工件搬運裝置207及工件搬運裝置208藉由移動部226、移動部227及移動部228將工 件W移動到聯絡搬運部216、聯絡搬運部217與聯絡搬運部218。因此，將需要費時間的處理能夠分成複數個處理裝置來執行。結果，能夠縮短生產線節拍。
本發明的工件搬運裝置，適合用於將工件從搬運路徑移動至其他路徑的工件搬運裝置。

Claims (9)

  1. 一種工件搬運裝置，其搬運包含第一工件以及第二工件的複數個工件，該工件搬運裝置具備：搬運單元，該搬運單元具有：第一搬運部，其搬運該複數個工件、聯絡搬運部，其搬運藉由該第一搬運部所搬運的該複數個工件、第二搬運部，其搬運藉由該聯絡搬運部所搬運的該複數個工件；以及移動部，其沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件從該聯絡搬運部移動，或者，沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件移動到該聯絡搬運部；其中：該移動部從該聯絡搬運部開始移動該第一工件之後，或者，該移動部將該第一工件移動到該聯絡搬運部之前，該聯絡搬運部將藉由該第一搬運部所搬運的該第二工件搬運到該第二搬運部；該移動部具備複數個分離移動部，而該移動部移動該第一工件之後，該複數個分離移動部分別沿著向該聯絡搬運部的方向，或者，沿著離開該聯絡搬運部的方向移動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之工件搬運裝置，其中在該移動部將位於該聯絡搬運部的該第一工件向離開該聯絡搬運部的方向移動之期間，該聯絡搬運部將第二工件搬運到該第二搬運部。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之工件搬運裝置，其中在該移動部保持該第一工件之期間，該聯絡搬運部將該第二工件搬運到該第二搬運部。
  4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之工件搬運裝置，其中在該移動部將該第一工件沿著向該聯絡搬運部的方向移動之期間，該聯絡搬運部將該第二工件搬運到該第二搬運部。
  5. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之工件搬運裝置，其中該聯絡搬運部具有複數個滾柱，而該移動部位於該複數個滾柱中相鄰的兩個滾柱之間。
  6. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之工件搬運裝置，該移動部具備：接觸部，其與該第一工件之主面的一邊接觸；以及連接部，其與該接觸部連接；其中該接觸部及該連接部形成該移動部的內周，而該第二工件可通過該內周的內側。
  7. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之工件搬運裝置，其中該移動部的該移動係為上下移動或水平移動。
  8. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之工件搬運裝置，其中該移動部係為輸送裝置。
  9. 一種工件搬運方法，搬運包含第一工件以及第二工件的複數個工件，包括：準備搬運單元的步驟，該搬運單元具有第一搬運部、聯絡搬運部及第二搬運部，該第一搬運部搬運該複數個工件，該聯絡搬運部搬運藉由該第一搬運部所搬運的該複數個工件，該第二搬運部搬運藉由該聯絡搬運部所搬運的該複數個工件；準備移動部的步驟，該移動部沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件從該聯絡搬運部移動，或者，沿著該複數個工件之主面的法線方向將工件移動到聯絡搬運部；以及搬運步驟，該移動部將該第一工件從該聯絡搬運部開始移動之後，或者，該移動部將該第一工件移動到該聯絡搬運部之前，該聯絡搬運部將藉由該第一搬運部所搬運的該第二工件搬運到該第二搬運部；其中，該移動部具備複數個分離移動部，而該移動部移動該第一工件之後，該複數個分離移動部分別沿著向該聯絡搬運部的方向，或者，沿著離開該聯絡搬運部的方向移動。
TW102145707A 2012-12-18 2013-12-11 工件搬運裝置及工件搬運方法 TWI630678B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012-275715 2012-12-18
JP2012275715A JP6011311B2 (ja) 2012-12-18 2012-12-18 ワーク搬送装置およびワーク搬送方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201432841A TW201432841A (zh) 2014-08-16
TWI630678B true TWI630678B (zh) 2018-07-21

Family

ID=50978440

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW102145707A TWI630678B (zh) 2012-12-18 2013-12-11 工件搬運裝置及工件搬運方法

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6011311B2 (zh)
KR (1) KR102074345B1 (zh)
CN (1) CN104797513B (zh)
TW (1) TWI630678B (zh)
WO (1) WO2014098115A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6297989B2 (ja) * 2015-01-27 2018-03-20 光洋サーモシステム株式会社 搬送装置
CN108502543B (zh) * 2017-02-28 2020-01-24 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种基板传输装置及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5432487A (en) * 1977-08-17 1979-03-09 Mitsui Toatsu Chem Inc Preparation of 1-carbamoyluracils
JPS59120541A (ja) * 1982-12-28 1984-07-12 Ichikoh Ind Ltd 自動車用ドアミラ−取付具

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5757068Y2 (zh) * 1977-08-08 1982-12-08
JPS59120541U (ja) * 1983-01-28 1984-08-14 ナショナル住宅産業株式会社 不良品取出装置
DE10255344A1 (de) * 2002-11-27 2005-06-30 Siemens Ag Fördersystem für Güter, insbesondere Behälter für Gepäckstücke, und Steuerverfahren für das Fördersystem
JP2005191412A (ja) * 2003-12-26 2005-07-14 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置及び基板の製造方法
JP2005255356A (ja) * 2004-03-12 2005-09-22 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 基板収納装置
WO2005090211A1 (ja) * 2004-03-18 2005-09-29 Daiichi Institution Industry Co. Ltd. アライメント機能付き移載装置
DE102004032659B4 (de) * 2004-07-01 2008-10-30 Atotech Deutschland Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut sowie die Verwendung der Vorrichtung
US7228972B2 (en) * 2005-04-18 2007-06-12 Morgan Construction Company Short bar separation and recovery system and method
JP4629731B2 (ja) * 2005-06-22 2011-02-09 平田機工株式会社 ワーク搬送システム
JP4884816B2 (ja) * 2006-02-02 2012-02-29 上村工業株式会社 浸漬処理装置
JP4957133B2 (ja) 2006-09-11 2012-06-20 株式会社Ｉｈｉ 基板搬送装置及び基板搬送方法
JP4314497B2 (ja) * 2007-01-22 2009-08-19 株式会社ダイフク 搬送用走行体の上下経路切換装置
CN102369149B (zh) * 2009-04-03 2014-05-21 村田机械株式会社 输送装置
WO2012056893A1 (ja) * 2010-10-28 2012-05-03 タツモ株式会社 ワーク供給装置及びワーク処理装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5432487A (en) * 1977-08-17 1979-03-09 Mitsui Toatsu Chem Inc Preparation of 1-carbamoyluracils
JPS59120541A (ja) * 1982-12-28 1984-07-12 Ichikoh Ind Ltd 自動車用ドアミラ−取付具

Also Published As

Publication number Publication date
WO2014098115A1 (ja) 2014-06-26
TW201432841A (zh) 2014-08-16
CN104797513A (zh) 2015-07-22
JP2014118279A (ja) 2014-06-30
KR20150095690A (ko) 2015-08-21
KR102074345B1 (ko) 2020-02-06
JP6011311B2 (ja) 2016-10-19
CN104797513B (zh) 2016-10-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101830598B1 (ko) 기판 처리 시스템 및 기판 반전 장치
KR101449487B1 (ko) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
JPWO2003086917A1 (ja) 基板搬送装置
WO2004007164A1 (ja) 貼り合わせ基板の基板分断システムおよび基板分断方法
CN104011880A (zh) 一种用于组装太阳能电池矩阵的系统和方法
TWI630678B (zh) 工件搬運裝置及工件搬運方法
CN106256716A (zh) 搬送设备
JP2011219238A (ja) 搬送装置
JP2016088721A (ja) 物品移送装置
JP4854337B2 (ja) 板材の加工装置とそれを備えた加工設備
JP2006327819A (ja) ガラス板の移載装置および移載方法
JP2009184422A (ja) 無人搬送台車
CN212314905U (zh) 一种多工位自动测量设备
JP2007246287A (ja) 板材の縦型搬送装置
KR101535136B1 (ko) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
CN206907746U (zh) 一种uv膜盘多工位搬送翻转机构
TWI615255B (zh) 支持機構及搬送裝置
KR20190072462A (ko) 기판 분단 장치
TWI559436B (zh) 輸送系統
JP6744888B2 (ja) 非磁性ブランク搬送装置及びそれを用いた非磁性ブランクの搬送方法
JP7342840B2 (ja) 薄板材の搬送方法、及び搬送装置
KR101490208B1 (ko) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
KR101394333B1 (ko) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
KR101760353B1 (ko) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
KR101479974B1 (ko) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법