WO2007004472A1 - 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体 - Google Patents

磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体 Download PDF

Info

Publication number
WO2007004472A1
WO2007004472A1 PCT/JP2006/312816 JP2006312816W WO2007004472A1 WO 2007004472 A1 WO2007004472 A1 WO 2007004472A1 JP 2006312816 W JP2006312816 W JP 2006312816W WO 2007004472 A1 WO2007004472 A1 WO 2007004472A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
load
magnetostrictive
housing
load sensor
magnetic path
Prior art date
Application number
PCT/JP2006/312816
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Yutaka Mizuno
Original Assignee
Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha filed Critical Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha
Priority to EP06767433.3A priority Critical patent/EP1909088A4/en
Priority to US11/994,162 priority patent/US7677118B2/en
Priority to CN2006800241783A priority patent/CN101213430B/zh
Priority to JP2007523959A priority patent/JP4731557B2/ja
Publication of WO2007004472A1 publication Critical patent/WO2007004472A1/ja

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/12Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress
    • G01L1/127Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress by using inductive means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/12Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress
    • G01L1/125Measuring force or stress, in general by measuring variations in the magnetic properties of materials resulting from the application of stress by using magnetostrictive means

Definitions

  • Magnetostrictive load sensor and moving body having the same
  • the present invention relates to a magnetostrictive load sensor that electromagnetically detects a load using a magnetostrictive effect and a moving body including the same.
  • a load sensor used for a moving body such as a motorcycle, a water bike, a movable shelf, a transportation device, an electric bicycle, or an electric wheelchair is required to be downsized.
  • a small load sensor As a small load sensor
  • Magnetostrictive load sensors have been put into practical use.
  • a change in magnetic characteristics of a member to which a load is applied is converted into a change in voltage, and the load is detected based on the change in voltage.
  • Patent Document 1 discloses a load detection device that is a magnetostrictive load sensor.
  • the load detection device of Patent Document 1 includes a rod-shaped magnetic body, an excitation coil, a detection coil, and a magnetic scenario case.
  • the rod-shaped magnetic body is made of a magnetic material.
  • the magnetic shield case is made of a magnetic material and houses a magnetic body, an excitation coil, and a detection coil.
  • One end of the magnetic body protrudes above the hole force provided in the upper part of the magnetic shield case.
  • a joint is provided at the upper end of the magnetic body.
  • a load is applied to the magnetic body through the joint while the magnetic body is magnetized by the exciting coil.
  • the magnetic body is compressed.
  • the impedance of the load detection device changes due to the inverse magnetostriction effect, and the voltage at both ends of the detection coil changes. Therefore, the load applied to the magnetic body is calculated based on the voltage change in the detection coil.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 11-241955
  • the magnetic shield case formed of a magnetic material supports the lower end portion of the rod-shaped magnetic body and the outer peripheral portion, upper portion and lower portion of the excitation coil and the detection coil. Covering. As a result, the magnetic shield case functions as a magnetic path when the magnetic material is magnetized by the exciting coil.
  • the magnetic shield case supports the lower end of the magnetic body. Therefore, when a load is applied to the upper end of the magnetic body, stress also acts on the contact portion between the lower end of the magnetic body and the magnetic shield case.
  • the contact portion of the magnetic shield case with the magnetic body is also A stress concentration portion corresponding to the position and size of the stress concentration portion generated in the magnetic material is generated.
  • the magnetic characteristics vary depending on the position and size of the stress concentration portion generated in the magnetic material.
  • the voltage change at both ends of the detection coil may be affected by variations in the magnetic characteristics at the lower end of the magnetic body and variations in the magnetic characteristics of the magnetic shield case. It varies. As a result, the output variation of the load detection device becomes large, and the reliability of the load detection device decreases.
  • An object of the present invention is to provide a magnetostrictive load sensor in which variation in output change due to stress concentration is prevented, reliability and manufacturing yield are improved, and a moving body including the magnetostrictive load sensor.
  • a magnetostrictive load sensor forms a coil having a through hole, a load detection member inserted into the through hole, and a magnetic path through which a magnetic flux generated by the coil passes. And both ends of the load detection member project outward from the partial paths of the magnetic path formation member facing the through-hole, and load applied from the outside is at least one end of the load detection member. And a supporting member for supporting the magnetic path forming member and the load transmitting member.
  • the magnetic path forming member and the load transfer member are supported by the support member.
  • a magnetic field is generated by passing a current through the coil.
  • the load detection member made of a magnetic material is magnetized.
  • both end portions of the load detecting member protrude outside the magnetic path forming member.
  • the both ends of the load detection member are located outside the magnetic path formed by the magnetic path forming member.
  • the output of the magnetostrictive load sensor is prevented from being affected by the stress concentration portion generated at the end of the load detection member, so that the output of the magnetostrictive load sensor is stabilized.
  • the support member may support the load detection member via the load transmission member so that the load detection member can move within a certain range.
  • the support member may support the load detection member via the load transfer member so that the load detection member and the magnetic path forming member do not come into contact with each other.
  • the magnetic resistance is prevented from changing significantly between the load detection member and the magnetic path forming member.
  • the output change of the magnetostrictive load sensor is prevented from varying due to the influence of the change in magnetoresistance between the load detection member and the magnetic path forming member.
  • An interval forming member having a nonmagnetic material force may be provided between the load detection member and the magnetic path forming member.
  • contact between the magnetic path forming member and the load detecting member is reliably prevented during operation of the magnetostrictive load sensor.
  • the load detection member and the magnetic The magnetic resistance is reliably prevented from changing significantly with respect to the passage forming member.
  • the shift amount of the positional relationship between the load detection member and the magnetic path forming member is limited to be small by the interval forming member.
  • the change in the impedance of the coil due to the shift in the positional relationship between the magnetic path forming member and the load detecting member is sufficiently reduced.
  • the output stability of the magnetostrictive load sensor is improved.
  • the support member may support the load transmission member so that the load transmission member can move within a certain range.
  • the load transmitting member can move within a certain range, the stress concentration generated at the end of the load detecting member due to the direction in which the load is applied is reduced. As a result, variations in output changes of the magnetostrictive load sensor are sufficiently prevented. In addition, the manufacturing yield of the magnetostrictive load sensor is further improved.
  • the support member may support the load transmitting member via an elastic body.
  • the load transmitting member is supported by the support member via the elastic body, so that the load transmitting member can move within a certain range.
  • the support member may include a coil, a magnetic path forming member, a load detection member, and a housing that houses the load transmission member.
  • the coil, the magnetic path forming member, the load detecting member, and the load transmitting member are accommodated in the housing. This facilitates handling of the magnetostrictive load sensor.
  • the coil, the magnetic path forming member, the load detecting member, and the load transmitting member can be prevented from being contaminated, and deterioration of the magnetostrictive load sensor can be prevented.
  • the magnetic path forming member has first and second openings at portions opposed to both end portions of the through hole, and includes an outer surface of the load detection member and inner surfaces of the first and second openings.
  • a first gap is formed between the load detection member and load transmission member.
  • the width of the second gap formed may be equal to or less than the width of the first gap.
  • the first gap allows the load detection member to move in the direction intersecting the axis of the through hole of the coil within the first and second openings of the magnetic path forming member. Further, the second gap allows the load transmitting member to move in the direction intersecting the axis of the coil through hole in the third opening of the housing.
  • the load transmission member and the load detection member force are supported while being movably supported in a direction crossing the axis of the through hole of the coil. Contact with the magnetic path forming member is prevented.
  • the stress concentration generated at the end of the load detection member due to the direction in which the load is applied is reduced.
  • variations in output changes of the magnetostrictive load sensor are sufficiently prevented.
  • the manufacturing yield of the magnetostrictive load sensor is further improved.
  • the magnetic resistance is prevented from changing significantly between the load detection member and the magnetic path forming member.
  • the change in output of the magnetostrictive load sensor is prevented from varying due to the influence of the change in magnetoresistance between the load detection member and the magnetic path forming member.
  • the magnetic path forming member does not have a stress concentration portion due to contact with the load detecting member, the magnetic characteristics of the magnetic path forming member do not vary. As a result, variation in output of the magnetostrictive load sensor is prevented from varying.
  • the magnetostrictive load sensor may further include a load applying member that is movable within a certain range and that can contact the load transmitting member, and that applies a load to the load detecting member through the load transmitting member. Good.
  • the load is applied to the load detection member by the load application member through the load transmission member.
  • a load can be reliably applied to the load detection member.
  • the magnetic path forming member has first and second openings at portions opposed to both end portions of the through hole, and the outer surface of the load detecting member and the first and second openings are provided.
  • a first gap is formed between the inner surface and the inner surface, and the housing includes a load detection member and a load transmission member.
  • the load transmission member has a third opening, and the second opening is provided between the outer surface of the load transmission member and the inner surface of the third opening.
  • the width of the second gap is equal to or less than the width of the first gap, and further includes a load application member that applies a load to the load detection member through the load transmission member. It may be provided so as to be movable within a range larger than the width of the first gap in a direction orthogonal to the axial direction.
  • the load detecting member in the direction intersecting with the axis of the through hole of the coil, is placed on the axis of the through hole of the coil in the first and second openings of the magnetic path forming member by the first gap. It can move in the intersecting direction.
  • the second gap allows the load transmitting member to move in the direction intersecting the axis of the coil through-hole in the third opening of the housing.
  • the load detection member and the load transmission member move integrally within the housing.
  • the range in which the load detection member can move is equal to or less than the range in which the load transmission member can move in the direction intersecting the axis of the through hole of the coil.
  • the load transmitting member and the load detecting member force are supported so as to be movable in a direction intersecting the axis of the through hole of the coil. Contact between the load detection member and the magnetic path forming member is prevented.
  • a load is applied to the load detection member through the load transmission member by the load application member.
  • the load application member can move within a range larger than the width of the first gap in the direction intersecting the axis of the through hole of the coil. Therefore, in the direction intersecting the axis of the through hole of the coil, the movable range of the load transmitting member is equal to or smaller than the movable range of the load applying member.
  • the movable range of the load transmitting member becomes less than the movable range of the load applying member, whereby the load applying member becomes the load transmitting member.
  • the amount of movement of the load transfer member is less than the amount of movement of the load application member.
  • the load that can be applied to the load detection member by the load transmission member is less than the range in which the load transmission member can be moved. Is inclined with respect to the axis of the through-hole of the coil, The amount of movement of the load detection member is equal to or less than the amount of movement of the load transmission member.
  • the load transmission member may include first and second load transmission members that transmit a load applied from the outside to one end and the other end of the load detection member, respectively.
  • the magnetostrictive load sensor can detect the loads held at one end and the other end of the load detection member.
  • the load that can be obtained from two directions can be detected by one magnetostrictive load sensor. Therefore, since it is not necessary to prepare a magnetostrictive load sensor corresponding to each direction in order to detect a load applied from two directions, the number of parts is reduced. As a result, the magnetostrictive load sensor can be reduced in size and weight.
  • two magnetostrictive load sensors can be used as in the case of preparing two magnetostrictive load sensors. Sensitivity adjustment and selection of two magnetostrictive load sensors are not required. As a result, the number of manufacturing steps and the manufacturing cost of the device are reduced, and the manufacturing yield is improved.
  • the magnetostrictive load sensor is provided so as to be movable within a certain range and to be able to contact the load transmission member, and through one of the first and second load transmission members, one end of the load detection member and A first load application member and a second load application member for applying a load to the other end portion may be further provided.
  • the first and second load application members apply loads to both ends of the load detection member through the first and second load transmission members, respectively. Thereby, a load can be reliably applied to the both ends of the load detection member.
  • the first and second load applying members and the first and second load transmitting members are arranged symmetrically about the load detecting member along the axis of the through hole of the coil. Also good.
  • the housing has a third opening into which the load transmission member is fitted, and the load transmission member includes a flange portion facing or contacting one end surface on the inner side of the housing and one end portion of the load detection member. You may have a recessed part to fit.
  • one end of the load detection member is fitted into the recess of the load transmission member, the load transmission member is fitted into the third opening of the housing, and the flange portion is opposed to one end surface inside the housing. Or touch.
  • the load detection member and the load transmission member are held in the housing so as to be movable in the axial direction. Therefore, the load can be accurately detected with a simple structure.
  • a gap is formed between the inner surface of the third opening of the housing and the outer surface of the load transmission member, and the magnetostrictive load sensor is configured so that the load transmission member is in the axial direction of the through hole with respect to the housing. You may further provide the elastic member hold
  • the load detection member includes first and second load transmission members that respectively transmit a load applied from the outside to one end and the other end of the load detection member, and the housing includes a first load A third opening into which the load transmitting member fits and a fourth opening into which the second load transmitting member fits in.
  • the first load transmitting member faces or contacts one end surface on the inner side of the housing.
  • the first flange portion and the load detecting member have a first recess into which one end portion is fitted, and the second load transmitting member is opposed to or in contact with the other end surface on the inner side of the housing. You may have the 2nd recessed part which the other end part of a detection member fits.
  • one end of the load detection member is fitted into the first recess of the first load transmission member, the first load transmission member is fitted into the third opening of the housing, and the first The flange part faces or comes into contact with one end face inside the housing.
  • the second load transmission member The other end of the load detection member is fitted into the second recess, the second load transmission member is fitted into the fourth opening of the housing, and the second flange portion is opposed to the other end surface inside the housing.
  • a gap is formed between the inner surface of the third opening of the housing and the outer surface of the first load transmission member, and the inner surface of the fourth opening of the housing and the second load transmission member
  • the magnetostrictive load sensor is formed with a first elastic member that holds the first load transmission member movably in a direction perpendicular to the axial direction of the through hole with respect to the housing.
  • the second load transmission member may further include a second elastic member that holds the second load transmission member so as to be movable in a direction orthogonal to the axial direction of the through hole with respect to the housing.
  • the load detection member and the load transmission member may be joined.
  • a compressive load can be applied to the load detection member through the load transmission member on the axis of the through hole of the coil, and a tensile load can be captured to the load detection member through the load transmission member. Therefore, it is possible to detect a compressive load and a tensile load while preventing variations in output change due to stress concentration.
  • the load detection member has a cylindrical shape, and both ends of the load detection member have a length equal to or greater than the diameter of the axial cross section, and the first and second openings of the magnetic path forming member. Force may protrude.
  • both ends of the load detection member have a length equal to or greater than the diameter of the load detection member. Since the protrusion protrudes from the opening, the stress spreads over the entire surface within the protrusion of the load detection member. As a result, in the portion of the load detection member covered by the magnetic path forming member, the load detection unit The stress distribution of the material becomes almost uniform. As a result, variations in the output of the magnetostrictive load sensor are sufficiently prevented from varying due to the influence of the stress concentration portion generated at the end of the load detection member.
  • a moving body includes a main body, a driving unit that moves the main body, a magnetostrictive load sensor that detects a load, and a load detected by the magnetostrictive load sensor.
  • a magnetostrictive load sensor that forms a coil having a through hole, a load detection member inserted into the through hole, and a magnetic path through which the magnetic flux generated by the coil passes. And both end portions of the load detection member project outwardly from the partial force of the magnetic passage formation member facing the through hole, and transmit the externally applied load to at least one end portion of the load detection member.
  • a load transmission member that supports the magnetic path, a magnetic path forming member, and a support member that supports the load transmission member.
  • the load is detected by the magnetostrictive load sensor, and the drive unit is controlled by the control unit based on the detected load. Thereby, the main body is moved by the drive unit.
  • both end portions of the load detecting member protrude outside the magnetic path forming member.
  • the output of the magnetostrictive load sensor is prevented from being influenced by the stress concentration portion generated at the end of the load detection member, so that the output of the magnetostrictive load sensor is stabilized.
  • the moving body using the magnetostrictive load sensor can be controlled with high accuracy, and the reliability of the moving body is improved.
  • FIG. 1 is a diagram for explaining a basic configuration of a magnetostrictive load sensor according to a first embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram showing the direction of the magnetic field in the magnetostrictive load sensor of FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing a first specific example of the magnetostrictive load sensor according to the first embodiment.
  • FIG. 4 is a view for explaining the support state of each component member in the housing of the magnetostrictive load sensor of FIG. 3.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the impedance of the sensor component that changes in accordance with the positional relationship between the rod-shaped member and the magnetic path forming member in FIG. 3.
  • FIG. 6 is a view for explaining a portion of a bar-shaped member protruding from an opening force of a magnetic path forming member of the magnetostrictive load sensor of FIG.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining the relationship between the inclination angle in the direction in which the load is applied to the central axis of the rod-shaped member and the sensitivity of the magnetostrictive load sensor.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing a second specific example of the magnetostrictive load sensor according to the first embodiment.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view showing a third specific example of the magnetostrictive load sensor according to the first embodiment.
  • FIG. 10 is a sectional view showing a fourth specific example of the magnetostrictive load sensor according to the first embodiment.
  • FIG. 11 is a sectional view showing a fifth specific example of the magnetostrictive load sensor according to the first embodiment.
  • FIG. 12 illustrates the basic configuration of a magnetostrictive load sensor according to a second embodiment.
  • FIG. 13 is a top view showing a specific example of a magnetostrictive load sensor according to a second embodiment.
  • FIG. 14 is a diagram for explaining a basic configuration of a magnetostrictive load sensor according to a third embodiment.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing a specific example of a magnetostrictive load sensor according to a third embodiment.
  • FIG. 16 is a block diagram showing a schematic configuration of a load detection circuit using the magnetostrictive load sensor according to the above embodiment.
  • FIG. 17 is a plan view of a personal watercraft using the magnetostrictive load sensor of FIG.
  • FIG. 18 is a block diagram showing a control system of the personal watercraft shown in FIG.
  • FIG. 19 is a side view of an electric bicycle using the magnetostrictive load sensor of FIG.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view showing a configuration of a power unit used in the electric bicycle shown in FIG.
  • a magnetostrictive load sensor according to an embodiment of the present invention will be described.
  • FIG. 1 is a diagram for explaining a basic configuration of the magnetostrictive load sensor according to the first embodiment.
  • the magnetostrictive load sensor 100 includes a coil A, a magnetic path forming member made of a magnetic material, a rod-like member made of a magnetic material, and a non-magnetic material.
  • the rod-like member C functions as a load detection member that detects a load that can be held by the magnetostrictive load sensor 100.
  • the magnetic material refers to a material having a property of being magnetized when placed in a magnetic field.
  • magnetic materials include iron-based materials, iron-chromium-based materials, iron-nickel-based materials, iron-cobalt-based materials, iron-caine-based materials, iron-aluminum-based materials, pure iron, permalloy or giant magnetostrictive materials, ferrite-based stainless steel ( For example, SUS430) is used.
  • the relative permeability of iron, which is a magnetic material ratio to the permeability of vacuum
  • 200 is 200.
  • the non-magnetic material is a material other than the magnetic material, for example, a material having a relative permeability of about 1.
  • the relative magnetic permeability of austenitic stainless steel (for example, SUS304), aluminum, and copper, which are nonmagnetic materials, is 1 to 1.01.
  • the coil A has a through hole Ah.
  • a magnetic path forming member B is formed so as to cover the outer periphery and both ends of the coil A. Openings Bha and Bhb are formed in the center of both ends of the magnetic path forming member B, respectively.
  • the rod-like member C is inserted into the through hole Ah and the openings Bha and Bhb! In this state, both ends of the rod-shaped member C also project the opening Bha and Bhb forces. More specifically, the rod-like member extends outwardly (outside in the longitudinal direction of the rod-like member C) from lines Bhae and Bhbe connecting the outer ends of the openings Bha and Bhb. Further, the distance Mg between the magnetic path forming member B and the rod-like member C is larger than the distance Md between the housing E and the load transmitting members Da and Db. As a result, the rod-like member C is disposed so as not to contact the magnetic path forming member B.
  • One end of the rod-like member C is fitted into a load transmitting member Da made of a nonmagnetic material.
  • the other end of the rod-like member C is fitted into the load transmitting member Db made of a nonmagnetic material.
  • a coil A In the housing E, a coil A, a magnetic path forming member, a rod-shaped member C, and two load transfer members Da and Db are accommodated. Openings Eha and Ehb are formed in the center of both ends of the housing E, respectively.
  • a load applying member Fa is arranged so as to be able to contact the load transmitting member Da protruding from the opening Eha.
  • the load applying member Fb is disposed so as to be able to contact the load transmitting member Db that also projects the opening Ehb force.
  • the lead wire extending in the coil A force is drawn out of the housing E.
  • the lead wire pulled out from the housing E is an oscillation circuit (not shown) and current detection. It is connected to peripheral circuits (load detection circuit) such as voltage detector, rectifier circuit, amplifier circuit and central processing circuit (CPU).
  • load detection circuit such as voltage detector, rectifier circuit, amplifier circuit and central processing circuit (CPU).
  • an alternating current is supplied to the coil A through a lead wire by an oscillation circuit of a peripheral circuit (not shown).
  • the coil A is driven.
  • the coil A functions as an exciting coil
  • the rod-like member C is magnetized.
  • the magnetic path forming member B functions as a magnetic path.
  • FIG. 2 shows the direction of the magnetic field in the magnetostrictive load sensor 100 of FIG.
  • the direction of the magnetic field in the magnetostrictive load sensor 100 when the coil A is driven is indicated by a thick arrow.
  • a load is applied to the load transmitting member Da by the load applying member Fa. Then, the load held in the load transmitting member Da is transmitted to one end of the rod-shaped member C.
  • a compressive force acts on the rod-shaped member C.
  • the permeability of the rod-shaped member C changes due to the inverse magnetostrictive effect, and the impedance of the sensor component including the coil A, the magnetic path forming member B, and the rod-shaped member C force also changes. To do.
  • coil A functions as a detection coil.
  • the voltage at coil A is detected by a peripheral circuit via a lead wire (not shown). Based on the detected voltage change of coil A, load transmission member
  • the load stored in Da is detected.
  • the direction of the load held on the load transmission member Da or the load transmission member Db is a rod shape. If it deviates from the axial direction of the member c, the stress distribution at both ends of the rod-shaped member c becomes non-uniform, and a stress concentration portion is generated.
  • both end portions of the rod-like member C protrude outside the magnetic path forming member B.
  • both end portions of the rod-shaped member C are located outside the magnetic path formed by the magnetic path forming member B.
  • the output of the magnetostrictive load sensor 100 is not affected by the stress concentration portions generated at both ends of the rod-shaped member C, so that the output of the magnetostrictive load sensor 100 is stabilized.
  • the rod-shaped member C is provided so as not to contact the magnetic path forming member B. Therefore, the magnetic resistance is prevented from changing significantly between the magnetic path forming member B and the rod-like member C. As a result, the output change of the magnetostrictive load sensor 100 is prevented from varying due to the influence of the change in magnetic resistance between the magnetic path forming member B and the rod-like member C.
  • the rod-shaped member C becomes the magnetic path forming member. Do not contact B. As a result, the magnetic path forming member B does not have a stress concentration portion due to contact with the rod-like member C. Therefore, the magnetic characteristics of the magnetic path forming member B do not vary. As a result, variations in the output of the magnetostrictive load sensor 100 are prevented from varying.
  • Magnetic path forming member B and rod member C do not contact each other, one end of rod member C and the load
  • the connection part between the transmission member Da and the connection part between the other end of the rod-like member C and the load transmission member Db are located outside the magnetic path forming member B.
  • the output of the magnetostrictive load sensor 100 is stabilized because it is not affected by the stress concentration portions generated at both ends of the rod-like member C.
  • the manufacturing yield of the magnetostrictive load sensor 100 is improved.
  • the magnetostrictive load sensor 100 it is possible to detect the loads applied to one end and the other end of the rod-shaped member C, respectively. As a result, a load applied from two directions can be detected by one magnetostrictive load sensor 100. Therefore, it is not necessary to provide a separate load sensor in order to detect the load that can be obtained from the two directions, so the number of parts is reduced. As a result, the magnetostrictive load sensor 100 can be reduced in size and weight.
  • the load transmitting member Da transmits the load applied by the load applying member Fa to the rod-shaped member C and receives the load transmitted to the rod-shaped member C through the load transmitting member Db. [0111] Further, the load transmitting member Db transmits the load applied by the load applying member Fb to the rod-shaped member and receives the load transmitted to the rod-shaped member C through the load transmitting member Da.
  • the load transmitting members Da and Db have functions of transmitting a load and receiving the load.
  • the magnetostrictive load sensor 100 is arranged such that a plurality of constituent members are symmetrical with respect to the center thereof. Therefore, the load is transmitted to the rod-shaped member C through a symmetrical path when the load is applied to one end of the rod-shaped member C and when the load is applied to the other end of the rod-shaped member C. Therefore, it is possible to detect the load obtained from the two directions with the same accuracy.
  • the load is detected by the inverse magnetostrictive effect.
  • the load can be detected with extremely high sensitivity (several tens to several hundred times) compared to a strain gauge load cell.
  • the sensitivity for detecting the load is high as described above, it is not necessary to make the rod-like member C thin or thin in order to improve the sensitivity unlike the strain gauge type load cell. Therefore, the strength of the magnetostrictive load sensor 100 does not decrease. Thereby, sufficient durability can be ensured.
  • FIG. 3 is a sectional view showing a first specific example of the magnetostrictive load sensor 100 according to the first embodiment.
  • the magnetostrictive load sensor 100a according to the first specific example includes a coil 10, a magnetic path forming member 20, a rod-shaped member 30, two load transmitting members 40a, 40b, and Includes housing 50.
  • These coil 10, magnetic path forming member 20, rod-shaped member 30, two load transmission members 40a and 40b, and nosing 50 are respectively composed of coil A, magnetic path forming member, rod-shaped member, and two loads. Corresponds to transmission members Da, Db and Nosing E.
  • an assembly including the coil 10, the magnetic path forming member 20, and the rod-shaped member 30 corresponds to the above-described sensor component. Therefore, also in the following description, an assembly including the coil 10, the magnetic path forming member 20, and the rod-shaped member 30 is referred to as a sensor component.
  • the coil 10 is composed of a conducting wire 11 and a bobbin 12.
  • the bobbin 12 has a longitudinal shape and includes flange portions at both ends thereof.
  • Conductor 11 is wound between the two flanges of bobbin 12!
  • a through hole 10h is formed in the axial center of the bobbin 12!
  • the magnetic path forming member 20 includes a cylindrical first casing member 21 having an outer peripheral surface and one end surface, and a substantially disk-shaped second casing member 22.
  • the first casing member 21 and the second casing member 22 are made of a magnetic material. Thus, during the operation of the magnetostrictive load sensor 100a, each of the first casing member 21 and the second casing member 22 functions as a magnetic path.
  • the coil 10 is inserted into the first casing member 21 via the annular elastic member 19.
  • a second casing member 22 is connected to the other end of the first casing member 21. As a result, the coil 10 is accommodated in the magnetic path forming member 20.
  • a circular opening 21h is formed at the center of one end surface of the first casing 21, and a circular opening 22h is formed at the center of the second casing 22.
  • Spacers SP are attached to the openings 21h and 22h, respectively.
  • the spacer SP is made of a nonmagnetic material.
  • a rod-shaped member 30 having a cylindrical shape is inserted into the through hole 10h and the openings 21h and 22h.
  • the rod-shaped member 30 is made of a magnetic material.
  • the rod-shaped member 30 is magnetized by the coil 10 during the operation of the magnetostrictive load sensor 100a.
  • the diameter of the rod-shaped member 30 is smaller than the inner diameters of the through holes 10h and the openings 21h and 22h.
  • the outer surface of the rod-shaped member 30, the through hole 10h, and the opening 2 A gap is formed between the inner surfaces of lh and 22h. This prevents the rod-shaped member 30 from coming into contact with the magnetic path forming member 20.
  • the spacer SP described above restricts the movement of each member so that the rod-shaped member 30, the coil 10, and the magnetic path forming member 20 are arranged in a predetermined positional relationship. Details will be described later.
  • One end 30a of the rod-shaped member 30 protrudes from the opening 22h by a length longer than the diameter of the rod-shaped member 30, and the other end 30b of the rod-shaped member 30 extends from the opening 21h by a length greater than the diameter of the rod-shaped member 30. It protrudes. Details will be described later.
  • the rod-shaped member 30 is supported by load transmission members 40a and 40b described later so that the central axis thereof coincides with the axis connecting the centers of the through hole 10h and the openings 21h and 22h.
  • the load transmitting member 40a has a cylindrical shaft portion 41a and a flange portion 42a.
  • a flange portion 42a is formed at one end of the cylindrical shaft portion 41a, and a circular recess 43a is formed at the center of the flange portion 42a.
  • the load transmitting member 40b has a cylindrical shaft portion 4 lb and a flange portion 42b.
  • a flange portion 42b is formed at one end of the cylindrical shaft portion 41b, and a circular recess 43b is formed in the center of the flange portion 42b.
  • These load transmission members 40a and 40b are made of a non-magnetic material.
  • One end 30a of the rod-shaped member 30 is inserted into and connected to the recess 43a of the load transmitting member 40a.
  • the other end 30b of the rod-shaped member 30 is inserted into and connected to the recess 43b of the load transmitting member 40b.
  • the housing 50 includes a cylindrical first housing 51 having an outer peripheral surface and one end surface, and a substantially disk-shaped second housing 52.
  • the first housing 51 and the second housing 52 are made of a nonmagnetic material.
  • the first housing 51 and the second housing 52 are provided with a plurality of O-rings 01 to 04 made of an elastic resin or the like.
  • the first casing member 21, the second casing member 22, and the rod-shaped portion examples include iron-based material, iron-chromium-based material, iron-nickel-based material, iron-cobalt-based material, iron-caine-based material, iron-aluminum-based material, pure iron, permalloy, and giant magnetostriction
  • the material include ferritic stainless steel (for example, SUS430).
  • the first casing member 21, the second casing member 22, and the rod-shaped member 30 are preferably formed of the same magnetic material. In the present embodiment, SUS430 is used for the first casing member 21, the second casing member 22, and the rod-shaped member 30.
  • the load transmitting members 40a and 40b, the first housing 51 and the second housing 52 for example, austenitic stainless steel, aluminum or Copper etc. are mentioned.
  • SUS304 force S is used for the load transmitting members 40a and 40b
  • aluminum is used for the first housing 51 and the second housing 52.
  • FIG. 4 is a view for explaining the supporting state of each component member in the housing 50 of the magnetostrictive load sensor 100a of FIG.
  • a circular opening 51h is formed at the center of one end surface of the first housing 51. As shown in FIG. The diameter of the opening 51h is larger than the diameter of the shaft portion 41b of the load transmitting member 40b. An annular groove 51m is formed on the inner peripheral surface of the opening 51h.
  • the diameter of the cross section of the O-ring Ol is larger than the depth of the groove 51m.
  • the shaft portion 41b of the load transmitting member 40b is supported by the O-ring Ol having elasticity. Therefore, when the load transmitting member 40b is manufactured, even if an error occurs in the shape and dimensions of the load transmitting member 40b, the load transmitting member 40b is accommodated in the housing while the influence of the error is absorbed by the O-ring Ol. Supported within 50. As a result, the shape and dimensional accuracy of the load transmitting member 40b are relaxed. In this state, the gap G1 between the outer peripheral surface of the shaft portion 41b and the inner peripheral surface of the opening 51h is, for example, about 0.1 mm.
  • a circular opening 52 h is also formed in the center of the second housing 52.
  • the diameter of the opening 52 h is larger than the diameter of the shaft portion 41 a of the load transmitting member 40 a.
  • An annular groove 52m is formed on the inner peripheral surface of the opening 52h.
  • the diameter of the cross section of the O-ring 04 is larger than the depth of the groove 52m. Accordingly, the shaft portion 41a of the load transmitting member 40a is supported by the O-ring 04 having elasticity. Therefore, when the load transmitting member 40a is manufactured, even if an error occurs in the shape and dimensions of the load transmitting member 40a, the load transmitting member 40a is accommodated in the housing while the influence of the error is absorbed by the O-ring 04. Supported within 50. As a result, the shape and dimensional accuracy of the load transmitting member 40a are relaxed. In this state, the gap G2 between the outer peripheral surface of the shaft portion 41a and the inner peripheral surface of the opening 52h is, for example, about 0.1 mm.
  • the load transmitting members 40a and 40b that support the rod-shaped member 30 are positioned by the housing 50 via the O-rings Ol and 04, respectively.
  • the load transmitting members 40a and 40b are allowed to move within the housing 50 with a slight displacement in a direction perpendicular to the central axis of the magnetostrictive load sensor 100a (the central axis of the nosing 50).
  • the load transmitting member 40a or the load transmitting member 40b is not attached to the O-ring Ol, 04. Move inertially. Therefore, the stress concentration generated in the one end 30a and the other end 30b of the rod-shaped member 30 due to the direction in which the load is applied is reduced. As a result, variations in output changes of the magnetostrictive load sensor 100a are sufficiently prevented.
  • the first housing 51 has a first outer peripheral wall 511 on one end side in the longitudinal direction, and a second outer peripheral wall 512 on the other end side.
  • the second outer peripheral wall 512 is larger than the first outer peripheral wall 511.
  • the second housing 52 has a disk part 521 and an annular guide part 522. Disc part 52
  • the opening 52h is formed in the center of 1.
  • the guide portion 522 is formed so as to protrude from one surface of the disk portion 521 !.
  • An annular groove 522m is formed on the outer peripheral surface of the guide 522.
  • the O-ring 03 is attached to the groove 522m, and the first housing 51 and the second housing 52 are fitted. Thereby, the sealing property of the housing 50 is improved.
  • the first housing 51 and the second housing 52 are manufactured, an error may occur in the fitting portion between the first housing 51 and the second housing 52. Even in this case, the first housing 51 and the second housing 52 are fitted together while the influence of the error is absorbed by the O-ring 02. As a result, the shape and dimensional accuracy of the first housing 51 and the second housing 52 are relaxed.
  • An annular groove 511m is formed on one end surface of the first outer peripheral wall 511.
  • the diameter of the cross section of the O-ring 02 is larger than the depth of the groove 511m.
  • the second casing member 22 is supported by being sandwiched between the O-ring 02 and the guide portion 522 having elasticity.
  • First housing 51 and second case When the single member 22 is manufactured, there may be an error in the shape and dimensions of the first housing 51 and the second casing member 22. Even in that case, the second casing member 22 is supported in the housing 50 while the influence of the error is absorbed by the O-ring 02.
  • the gap G3 between one surface of the second casing member 22 and the end surface of the first outer peripheral wall 511 is, for example, about 0.2 mm.
  • the magnetic path forming member 20 is inertially supported by the O-ring 02 in the housing 50.
  • vibration or impact generated in the magnetic path forming member 20 is absorbed by the O-ring 02.
  • the output change of the magnetostrictive load sensor 100a is sufficiently prevented from varying due to the vibration or impact generated in the rod-shaped member 30.
  • the positional relationship between the magnetic path forming member 20 and the rod-shaped member 30 may be shifted. Further, even when a load is applied in a direction inclined with respect to the central axis of the magnetostrictive load sensor 100a, the positional relationship between the magnetic path forming member 20 and the rod-shaped member 30 may be shifted. Even in such a case, as described above, since both the magnetic path forming member 20 and the rod-shaped member 30 are supported inertially in the housing 50, the impedance of the sensor component is increased according to the amount of deviation. Change.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the impedance of the sensor component that changes in accordance with the positional relationship between the rod-shaped member 30 and the magnetic path forming member 20 in FIG.
  • FIG. 5 (a) shows an enlarged view around the one end 30a of the rod-shaped member 30 of FIG.
  • the rod-shaped member 30 is placed in the magnetic path forming member 20 so that the central axis of the rod-shaped member 30 is positioned at the center of the opening 22h of the second casing member 22. Deploy. In this case, if the spacer SP is not provided in the opening 22h, the rod-like member 30 is allowed to shift by an interval W between its outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the opening 22h.
  • the spacer SP is provided in the opening 22h! / Deviation of the distance V between the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the spacer SP is allowed.
  • the interval V is smaller than the interval W by the thickness of the spacer SP.
  • the spacer SP limits the amount of deviation of the positional relationship between the magnetic passage forming member 20 and the rod-shaped member 30 to be small.
  • FIG. 5 (b) shows the relationship between the position of the central axis of the rod-shaped member 30 relative to the magnetic path forming member 20 and the impedance of the sensor component.
  • the vertical axis represents the impedance of the sensor component
  • the horizontal axis represents the position of the central axis of the rod-shaped member 30 in the opening 22h.
  • the symbol X indicates the center of the opening 22h.
  • the impedance of the sensor component is minimized when the central axis of the rod-shaped member 30 is located at the center X of the opening 22h.
  • the impedance of the sensor component increases in a quadratic function as the central axis of the rod-shaped member 30 moves away from the center X force of the opening 22h.
  • the spacer SP limits the amount of deviation of the positional relationship between the magnetic path forming member 20 and the rod-shaped member 30 to be small. As a result, the change in impedance of the sensor component due to the positional relationship between the magnetic path forming member 20 and the rod-shaped member 30 is sufficiently reduced. As a result, the output stability of the magnetostrictive load sensor 100a is improved.
  • the spacer SP is not necessarily provided. Even when the spacer SP is not provided, the same effect as described above can be obtained by setting the gaps between the constituent members in the housing 50 as follows.
  • the gaps Gl and G2 allow the load transmitting members 4 Oa and 40b that support the rod-like member 30 to move in a direction intersecting the central axis of the magnetostrictive load sensor 100a. Further, the gaps G4 and G5 allow the rod-like member 30 to move in a direction intersecting the central axis of the magnetostrictive load sensor 10 Oa within the gap. [0175] Here, in the housing 50, the gaps G4 and G5 are located inside the gaps Gl and G2. Thus, since the rod-shaped member 30 is supported by the load transmitting members 40a and 40b, when the gaps Gl, G2, G3, and G4 satisfy the above relationship, the allowable movement amount of the rod-shaped member 30 is the gaps Gl, G2 Limited by.
  • the magnetostriction due to the positional deviation of the rod-shaped member 30 is set by setting the widths of the gaps Gl and G2 in consideration of the amount of movement of the rod-shaped member 30 allowed in the housing 50 in advance.
  • the fluctuation of the output of the load sensor 100a can be reduced.
  • FIG. 6 is a view for explaining a portion of the rod-like member 30 protruding from the opening 22h of the magnetic path forming member 20. As shown in FIG. In FIG. 6, the spacer SP is omitted.
  • the one end 30a of the rod-shaped member 30 protrudes from the opening 22h by a length equal to or greater than the diameter of the rod-shaped member 30. This is due to the following reason.
  • the stress acting locally concentrates spreads in a range of about 45 ° on both sides around an axis parallel to the central axis of the rod-shaped member 30.
  • one end 30a of the rod-shaped member 30 protrudes by a length / 3 that is equal to or larger than the diameter a of the rod-shaped member 30.
  • the stress acting on the rod-shaped member 30 is rod-shaped. Spreads across the entire member 30. Therefore, the stress distribution of the rod-shaped member 30 is almost uniform. This prevents the coil 10 in the magnetic path forming member 20 from being affected by the uneven stress distribution of the rod-shaped member 30. As a result, the output of the magnetostrictive load sensor 100 is prevented from being affected by the stress concentration portion generated in the rod-like member C, so that the output of the magnetostrictive load sensor 100 is stabilized.
  • the other end 30b of the rod-shaped member 30 also protrudes from the opening 21h by a length equal to or greater than the diameter of the rod-shaped member 30.
  • the output of the magnetostrictive load sensor 100 is prevented from being affected by the stress concentration portion generated in the rod-like member C, so that the output of the magnetostrictive load sensor 100 is sufficiently stabilized.
  • the rod-shaped member 30 has a cylindrical shape, but the rod-shaped member 30 may have a polygonal column shape. In this case, it is preferable that both end portions of the rod-shaped member 30 protrude from the magnetic path forming member 20 by a length equal to or longer than the diameter of the polygon circumscribed circle.
  • the tilt angle refers to an angle with respect to the central axis of the magnetostrictive load sensor of the example and the comparative example.
  • the inventor produced an example magnetostrictive load sensor 100a having the structure shown in FIG. Therefore, a predetermined load was applied to the load transmitting member 40b of the magnetostrictive load sensor 100a at various inclination angles, and the relative sensitivity to the sensitivity of the magnetostrictive load sensor 100a when the inclination angle was 0 ° was measured.
  • sensitivity refers to the amount of change in impedance of the sensor component (impedance change ⁇ Z) when a predetermined load is applied to the magnetostrictive load sensor 100a, to the magnetostrictive load sensor 100a. When no load is applied, it is obtained by dividing by the impedance of the sensor component (initial impedance Z).
  • Relative sensitivity refers to "magnetostriction when a predetermined load is applied at an arbitrary inclination angle" with respect to "sensitivity of magnetostrictive load sensor 100a when a predetermined load is applied at an inclination angle of 0 °".
  • FIG. 7 (a) shows the relationship between the tilt angle and the relative sensitivity when the magnetostrictive load sensor 100a of the embodiment is used.
  • the vertical axis represents relative sensitivity
  • the horizontal axis represents the tilt angle.
  • the magnetostrictive load sensor 100a of the example has a force of about 6% even when the tilt angle changes from 0 ° force to 30 °. The power that changed. A relative sensitivity change of about 6% is not a problem in practice. For this reason, the magnetostrictive load sensor 100a of the example has been found to be stable in output, improving yield and reducing cost.
  • the present inventor manufactured a magnetostrictive load sensor of a comparative example, and performed almost the same experiment as the magnetostrictive load sensor 100a of the example.
  • the magnetostrictive load sensor of the comparative example used in the experiment does not have an opening 22h in the second casing member 22 of the magnetic path forming member 20 in FIG. 3, and the second casing member 22 is one end 30a of the rod-shaped member 30. It has the structure which supports.
  • the configuration of the other parts of the magnetostrictive load sensor of the comparative example is the same as that of the magnetostrictive load sensor of FIG.
  • Fig. 7 (b) shows the relationship between the tilt angle and the relative sensitivity when the magnetostrictive load sensor of the comparative example is used.
  • the vertical axis represents relative sensitivity
  • the horizontal axis represents the tilt angle.
  • the magnetostrictive load sensor 100a of the example is less susceptible to the influence of the tilt angle than the magnetostrictive load sensor of the comparative example.
  • the magnetostrictive load sensor according to the second specific example differs from the magnetostrictive load sensor 100a according to the first specific example in the following points.
  • FIG. 8 is a sectional view showing a second specific example of the magnetostrictive load sensor 100 according to the first embodiment.
  • the first housing 51 is not formed with the groove 51m of FIG. Groove 5 In is formed. Further, in the second housing 52, an annular groove 52 ⁇ is formed on one surface side of the disk portion 521 instead of forming the groove 52m of FIG.
  • an O-ring 05 is attached to the groove 51 ⁇ . .
  • the diameter of the cross section of the O-ring 05 is larger than the depth of the groove 51n.
  • the O-ring 06 is attached to the groove 52 ⁇ .
  • the diameter of the cross section of the collar ring 06 is larger than the depth of the groove 52 ⁇ .
  • the load transmitting member 40b that supports the other end 30b of the rod-shaped member 30 is supported by the O-ring 05 having elasticity. Further, the load transmitting member 40a that supports the one end 30a of the rod-shaped member 30 is supported by an O-ring 06 that has elastic force.
  • the O-ring 05 urges the load transmitting member 40b toward the center of the rod-shaped member 30 in the direction of the force.
  • the O-ring 06 also biases the load transmitting member 40a in the direction toward the center of the rod-shaped member 30.
  • the rod-shaped member 30 is supported in a state where the elastic force of the O-rings 05 and 06 is applied in the axial direction thereof. Therefore, even when vibration or impact is applied to the magnetostrictive load sensor 100b, the rod-shaped member 30 is prevented from rattling in the axial direction, and the rod-shaped member 30 is prevented from being damaged.
  • the rod-shaped member 30, the housing 50, and the load transmitting members 40a, 40b are manufactured, even if an error occurs in the shape and dimensions of each member, the rod-shaped member 30, the load transmitting members 40a, 40b are O-rings 05 and 06 are supported in the housing 50 while the influence of error is absorbed. Therefore, the shape and dimensional accuracy of the rod-shaped member 30, the housing 50, and the load transmitting members 40a and 40b are relaxed.
  • FIG. 9 is a sectional view showing a third specific example of the magnetostrictive load sensor 100 according to the first embodiment.
  • the second outer peripheral wall 512 of the first housing 51 is sufficiently larger than the second outer peripheral wall 512 of the second specific example of FIG. It is thick.
  • annular groove portion 512m is formed on one end surface of the second outer peripheral wall 512.
  • the O-ring 07 is attached to the groove 512m.
  • the diameter of the cross section of the O-ring 07 is larger than the depth of the groove 512m.
  • the O-ring is not provided on one end surface of the first outer peripheral wall 511 of the first housing 51. Therefore, the second casing member 22 is supported by the one end surface of the first outer peripheral wall 511 and the guide portion 522 of the second housing 52.
  • the magnetic path forming member 20 can be firmly fixed in the housing 50. Therefore, when the magnetostrictive load sensor 100c is used in an environment where vibration and impact do not occur in the housing 50, the magnetic path forming member 20 is accurately arranged in the housing 50. Therefore, the measurement accuracy of the magnetostrictive load sensor 100c is improved.
  • the magnetostrictive load sensor according to the fourth specific example differs from the magnetostrictive load sensor 100c according to the third specific example in the following points.
  • FIG. 10 is a sectional view showing a fourth specific example of the magnetostrictive load sensor 100 according to the first embodiment.
  • the second outer peripheral wall 512 of the first housing 51 is the second outer peripheral wall of the second specific example, as in the third specific example. It is sufficiently thicker than 512. Further, the first outer peripheral wall 511 and the second outer peripheral wall 512 are formed so that the inner peripheral surfaces thereof are flush with each other.
  • annular groove 51lk is formed on the inner peripheral surface of the first outer peripheral wall 511, and an annular groove 512k is formed on the inner peripheral surface of the second outer peripheral wall 512.
  • O-rings 08 and 09 are attached to the grooves 511k and 512k, respectively.
  • the O-rings 08 and 09 have a cross-sectional diameter greater than the depth of the groove portions 511k and 512k. As a result, the O-rings 08 and 09 also project the inner peripheral surface force of the first housing 51 to the inside thereof.
  • the second casing member 22 of the magnetic path forming member 20 is formed so as to have the same shape as the one end surface of the first casing member 21. Therefore, the outer peripheral surface of the magnetic path forming member 20 is flush.
  • the magnetic path forming member 20 When the magnetic path forming member 20 is inserted into the first housing 51, the outer peripheral surface of the magnetic path forming member 20 contacts the O-rings 08 and 09. Thereby, the magnetic path forming member 20 is supported in the housing 50.
  • the magnetic path forming member 20 is supported by the O-rings 08 and 09.
  • the outer diameter of the second casing member 22 is formed large, and the second housing member 52 is moved between the first housing 51 and the second housing 52.
  • a structure that sandwiches the peripheral edge of the casing member 22 is not necessary.
  • the inner peripheral surface between the first outer peripheral wall 511 and the second outer peripheral wall 512 of the first housing 51 is not required to provide the second housing 52 with the guide portion 522 of FIG. There is no need to provide a step on the surface. Therefore, the outer diameter of the magnetostrictive load sensor lOOd can be reduced. As a result, the magnetostrictive load sensor lOOd is downsized.
  • a fifth specific example of the magnetostrictive load sensor 100 according to the first embodiment will be described.
  • the magnetostrictive load sensor according to the fifth specific example is different from the magnetostrictive load sensor 100a according to the first specific example in the following points.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view showing a fifth specific example of the magnetostrictive load sensor 100 according to the first embodiment.
  • the magnetostrictive load sensor 100e according to the fifth specific example is provided with load transmitting members 400a and 400b having different shapes from the load transmitting members 40a and 40b in place of the load transmitting members 40a and 40b in FIG. It has been.
  • the load transmitting members 400a and 400b each have a cylindrical shape.
  • a circular flange 443a, 443b force S is formed at the center of one end face of the load transmitting members 400a, 400b, respectively.
  • One end 30a of the rod-shaped member 30 is inserted into the recess 443a of the load transmitting member 400a, and the load transmitting member 400a and the rod-shaped member 30 are joined.
  • the load transmitting member 400a and the rod-shaped member 30 are joined by screwing, press fitting, adhesion, welding, brazing, or the like.
  • the other end 30b of the rod-shaped member 30 is inserted into the recess 443b of the load transmitting member 400b, and the load transmitting member 400b and the rod-shaped member 30 are joined.
  • the load transmitting member 400b and the rod-shaped member 30 are also joined by screwing, press fitting, adhesion, welding, brazing, or the like.
  • the load transmitting members 400a and 400b support the rod-shaped member 30 in the housing 50. This state In this state, each of the load transmitting members 400a and 400b is located in the openings 52h and 51h, and is supported by the elastic force of the O-rings 04 and O1.
  • Each of the load transmission members 400a, 400b is formed with a load transmission shaft 410a, 410b extending outward of the magnetostrictive load sensor 100e on the shaft of the rod-shaped member 30. Further, annular members 41 la and 41 lb are formed at the ends of the load transmission shafts 410a and 410b.
  • the magnetic permeability of the rod-shaped member 30 changes not only when a compressive force acts on the rod-shaped member 30 but also when a tensile force acts. Therefore, the impedance of the sensor component changes according to the compressive force and tensile force acting on the rod-shaped member 30.
  • the magnetostrictive load sensor according to the second embodiment differs from the magnetostrictive load sensor 100 according to the first embodiment in the following points.
  • FIG. 12 is a diagram for explaining the basic configuration of the magnetostrictive load sensor according to the second embodiment.
  • a magnetostrictive load sensor 200 according to the second embodiment is provided on a base CB, and in addition to the configuration of the magnetostrictive load sensor 100 according to the first embodiment.
  • Two arms Ga, Gb and a rotation axis H are provided.
  • the housing E, the rotating shaft H, and the force are arranged at a predetermined interval.
  • the two arms Ga and Gb are connected to each other so as to form a substantially U-shape, and are rotatably supported on the base CB by the rotating shaft H at the connecting portion.
  • Load applying members Fa and Fb are attached to the respective ends of the two arms Ga and Gb.
  • the load applying members Fa and Fb are obtained by rotating the arms Ga and Gb about the rotation axis H as follows. Abuts on load transmitting members Da and Db supported by housing E.
  • the two extension portions E a extending in the direction perpendicular to the axial direction of the rod-like member C at both ends of the housing E , Eb.
  • the lead wire R drawn from the coil A is connected to the substrate SU.
  • the substrate SU is connected to an external device or the like (not shown) via the cable L.
  • the direction and position of the load applied to the load transmitting members Da and Db are symmetric, and a load is applied to one end of the rod-shaped member C and a load is applied to the other end of the rod-shaped member C.
  • the load is transmitted to the bar member C through a symmetrical path.
  • FIG. 13 is a top view showing a specific example of a magnetostrictive load sensor 200 according to the second embodiment.
  • the magnetostrictive load sensor 200a according to this specific example includes the magnetostrictive load sensor 100a of FIG. 3 described in the first embodiment, and includes an arm 920a.
  • the magnetostrictive load sensor 100a in FIG. 13 corresponds to the magnetostrictive load sensor 100 in FIG.
  • the arms 920a and 920b and the rotating shaft 910 correspond to the above-described arms Ga and Gb and the rotating shaft H, respectively.
  • the magnetostrictive load sensor 200a As shown in FIG. 13, the magnetostrictive load sensor 200a according to the present specific example is provided on a pedestal 990.
  • the magnetostrictive load sensor 100a and the rotary shaft 910 shown in Fig. 3 are arranged at a predetermined interval.
  • the two arms 920a and 920b are connected to each other so as to have a substantially U shape, and are rotatably supported on the base 990 by a rotating shaft 910 at a connecting portion.
  • the two arms 920a and 920b are provided with leaf spring support members 921a and 921b, respectively. Inside the arm 920a, two load limiting members 922a and 923a are provided at predetermined intervals. Two load limiting members 922 b and 923 b are also provided inside the arm 920 b at a predetermined interval.
  • One end of a leaf spring 930a, 930b having a longitudinal shape is attached to the leaf spring support member 921a, 921b.
  • Protrusions 93 la and 93 lb are formed at portions closer to the other end than the center of the leaf springs 930a and 930b.
  • the projection 93la of the leaf spring 930a is located between the two load limiting members 922a and 923a and protrudes toward the inside of the arm 920a. In this state, the leaf spring 930a is urged toward the inside of the arm 92 Oa.
  • the protrusion 931b of the leaf spring 930b is located between the two load limiting members 922b and 923b and protrudes toward the inside of the arm 920b. In this state, the leaf spring 930b is biased toward the inside of the arm 92 Ob.
  • the protrusions 931a and 931b of the leaf springs 930a and 930b correspond to the load application members Fa and Fb in FIG. Therefore, as shown in FIG. 13, the protrusions 931a and 931b are formed by the load transmitting member 40a of the magnetostrictive load sensor 100a by rotating the arms 920a and 920b. , 40b. As a result, the load force acting on the arms 920a and 920b is transferred to the load transmission members 40a and 40b.
  • leaf springs 930a and 930b are elastically deformed as indicated by the arrow Y in FIG.
  • the leaf spring 930a and the load limiting members 922a and 923a provided in the force arm 920a described for the function 3b have the same function.
  • the magnetostrictive load sensor 200a according to this example has improved durability and extended life.
  • the magnetostrictive load sensor according to the third embodiment differs from the magnetostrictive load sensor 100 according to the first embodiment in the following points.
  • FIG. 14 is a view for explaining the basic configuration of the magnetostrictive load sensor according to the third embodiment.
  • the magnetostrictive load sensor 300 As shown in FIG. 14, the magnetostrictive load sensor 300 according to the third embodiment is provided with only one load transmitting member D and one load applying member F.
  • the magnetostrictive load sensor 300 can detect only the load applied from one end side of the rod-shaped member. Thereby, the structure for applying a load to the other end side of the rod-shaped member C becomes unnecessary. As a result, the size of the rod-like member C in the axial direction can be reduced, the configuration is simplified, and low cost is realized. Also, if only a load from one direction is detected, the installation space is reduced.
  • both end portions of the rod-like member C protrude outside the magnetic passage forming member B.
  • both ends of the rod-like member C are located outside the magnetic path formed by the magnetic path forming member B.
  • the output of the magnetostrictive load sensor 300 is prevented from being affected by the stress concentration portions generated at both ends of the rod-like member C, so that the output of the magnetostrictive load sensor 300 is stabilized.
  • the magnetostrictive load sensor according to this example is different in configuration from the magnetostrictive load sensor 100a illustrated in Fig. 3 and Fig. 4 described in the first embodiment in the following points.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing a specific example of a magnetostrictive load sensor according to the third embodiment. As shown in FIG. 15, the magnetostrictive load sensor 300a according to this specific example is provided with the load transfer member 40a of FIG.
  • a circular recess 52J is formed on one surface thereof.
  • the one end 30a of the rod-shaped member 30 is inserted into the recess 52J of the second housing 52.
  • the rod-like member 30 has one end 30a supported by the recess 52J of the second housing 52 and the other end 30b supported by the load transmitting member 40b.
  • the magnetostrictive load sensor 300a has a load transmitting member 4 protruding from the housing 50.
  • the load can be detected only when a load is applied to the portion Ob.
  • FIG. 16 is a block diagram showing a schematic configuration of a load detection circuit using the magnetostrictive load sensor 100 according to the above embodiment.
  • the magnetostrictive load sensor 100 any one of the magnetostrictive load sensors 100a to 100e can be used.
  • the load detection circuit 600 includes an oscillation circuit 610, a magnetostrictive load sensor 100, and a temperature compensation resistance circuit.
  • the oscillation circuit 610 provides an oscillation signal to one end of the coil of the magnetostrictive load sensor 100 and one end of the temperature compensation resistance circuit 620.
  • the magnetostrictive load sensor 100 detects an external load.
  • the current detector 630A converts the current supplied to the other end force of the coil of the magnetostrictive load sensor 100 into a voltage.
  • the current detector 630B converts the current supplied from the other end of the temperature compensation resistor circuit 620 into a voltage.
  • the rectifier circuit 650A rectifies and smoothes the voltage output from the current detector 630A.
  • the rectifier circuit 650B rectifies and smoothes the voltage output from the current detector 630B.
  • the amplifier circuit 670 amplifies the difference between the output voltage of the rectifier circuit 650A and the output voltage of the rectifier circuit 650B.
  • the load held by the load transmission member Da in FIG. 1 is transmitted to one end of the rod-shaped member C, and a compressive force acts on the rod-shaped member C.
  • the magnetic permeability of the rod-shaped member C changes due to the inverse magnetostrictive effect, and the impedance of the sensor component consisting of the coil A, the magnetic path forming member B, and the rod-shaped member C changes.
  • An output signal corresponding to this impedance change is obtained by the amplifier circuit 670. In this way, the load can be detected electromagnetically.
  • the output signal of the amplification circuit 670 of the load detection circuit 600 is given to the control unit 680.
  • the control unit 680 includes a CPU (Central Processing Unit) and RAM (Random Access Memory). The CPU operates according to a control program stored in the RAM.
  • the control unit 680 performs a predetermined operation on the output signal of the amplifier circuit 670 and gives a control signal based on the operation result to the actuator 690.
  • the actuator 690 generates a driving force in response to the control signal.
  • magnetostrictive load sensors 200 (200a), 300 (30 Oa) may be used.
  • FIG. 17 is a plan view of a personal watercraft using the magnetostrictive load sensor 200a of FIG.
  • FIG. 18 is a block diagram showing a control system of the personal watercraft shown in FIG.
  • the personal watercraft 700 includes a hull 702. On the deck 704 at the top of the hull 702, a seat 706 on which the operator is seated is provided. Steps 708 are provided on the left and right sides of the seat 706 for the operator to put his feet on. In front of the seat 706, a steering handle 710 held by the operator is provided. A water jet propulsion device 712 is mounted in the hull 702.
  • the water jet propulsion device 712 includes an engine 714 and a jet pump 716, and a nozzle deflector 718 is provided at the rear end of the jet pump 716.
  • the water jet propulsion device 712 obtains thrust by sucking water from the bottom of the hull 702 by the power of the engine 714 and ejecting the water backward from the nozzle deflector 718 at the rear end of the jet pump 716.
  • the nozzle deflector 718 is supported by the rear end of the jet pump 716 so as to be swingable in the left-right direction, not shown!
  • Engine 714 is a multi-cylinder engine and is arranged such that the direction of crankshaft 720 is the front-rear direction of hull 702.
  • An intake device 722 is connected to the right side of the hull 702, and an exhaust device (not shown) is connected to the left side of the hull 702.
  • the intake device 722 includes a plurality of carburetors corresponding to each cylinder of the engine 714, and fuel is supplied from each carburetor to the corresponding cylinder.
  • Each of the devices includes a throttle valve 724 shown in FIG.
  • Each throttle valve 724 is biased in a closing direction by a return spring, not shown.
  • the steering handle 710 includes a handle bar 734, a steering bearing 738, a rotating shaft (steering shaft) 910, and a pedestal (mounting plate) 990 to be gripped by the operator.
  • the rotation shaft 910 is attached to the center portion of the handle bar 734.
  • the steering bearing 738 supports the rotating shaft 910 in a freely rotatable manner.
  • Pedestal 990 replaces steering bearing 738 with deck 704 Fix it.
  • the magnetostrictive load sensor 200a shown in Fig. 13 is mounted on the pedestal 990.
  • the arms 920a and 920b of the magnetostrictive load sensor 200a are attached.
  • a handle cover 742 is provided so as to cover the handle bar 734 and the rotating shaft 910.
  • a push-pull wire for steering is connected to the lower end portion of the rotating shaft 910 via a steering arm (not shown).
  • the steering arm rotates in the same direction, and the nozzle deflator 718 swings to the left or right via the push-pull wire.
  • the handle bar 734 is provided with a throttle lever 726.
  • the throttle valves 724 (FIG. 18) are connected to each other so that the throttle valve 724 located on the most front side of the hull 702 among the throttle valves 724 is connected to the throttle lever 726 of the steering handle 710 and the throttle wire 728 (FIG. 18). ). By operating the throttle lever 726, all the throttle valves 724 are opened and closed in conjunction with each other.
  • engine 714 is provided with an engine speed sensor 730 for detecting the speed of crankshaft 720 in FIG.
  • the engine speed sensor 730 sends a speed signal indicating the engine speed to the controller 732.
  • controller 732 To the controller 732, a servo motor 746 for throttle operation is connected, and a load detection circuit 600 including a magnetostrictive load sensor 100a is connected. Controller 732 is powered by knotter 756.
  • the servo motor 746 includes an arm 748, a motor 750, a reduction gear 752, and a feedback potentiometer 754.
  • the rotation of the motor 750 is decelerated by the reducer 752 and transmitted to the arm 748.
  • Feedback potentiometer 754 detects the actual swing angle of arm 748.
  • the controller 732 controls the motor 750 so that the detected swing angle of the arm 748 coincides with the set target angle of the arm 748. In this way, the angle of the arm 748 is feedback controlled in the servo motor 746.
  • the throttle valve 724 is connected to the throttle lever 726 via the throttle wire 728.
  • the throttle wire 728 is passed through the rotary shaft 910 in FIG.
  • Slot Tuttle wire 728 includes an outer tube 728a and an inner wire 728b.
  • the water tube 728a is connected to the arm 748 of the servo motor 746, and the inner wire 728b is connected to the throttle valve 724.
  • the throttle valve 724 can be opened and closed via the inner wire 728b.
  • a controller 732 and a servo motor 746 for throttle operation constitute a steering assist device.
  • This steering assist device is used to improve the steering performance during low-speed driving.
  • the load signal is output from the load detection circuit 600 to the controller 732.
  • the controller 732 outputs a control signal for causing the servo motor 746 to swing the arm 748 when the load indicated by the output signal is larger than a predetermined value.
  • the above-mentioned predetermined value is obtained when the ship operator turns the steering wheel 710 in FIG. 17 to the limit (at the maximum steering angle) and further increases the magnetostriction when holding a larger force on the steering wheel 734 than during normal steering.
  • Type load sensor 2 Set to the load detected by OOa.
  • the controller 732 sets the target angle of the arm 748 of the servo motor 746 based on the load detected by the magnetostrictive load sensor 100a. Then, the controller 732 feedback-controls the servo motor 746 so that the angle of the arm 748 detected by the feedback potentiometer 754 matches this target angle.
  • the throttle valve 724 opens at an opening corresponding to the load detected by the magnetostrictive load sensor 100a (corresponding to the force applied by the operator to the steering wheel 710), and the output of the engine 714 is controlled.
  • controller 732 force S corresponds to the control unit 680 in FIG. 16, and the servo motor 746 corresponds to the actuator 690.
  • the magnetosensors 100b, 100c, and lOOd may be used instead of the magnetostrictive load sensor 100a used in the magnetostrictive load sensor 200a.
  • FIG. 19 is a side view of an electric bicycle 800 using the magnetostrictive load sensor 300a of FIG. 20 is a cross-sectional view showing a configuration of a power unit used in the electric bicycle of FIG.
  • An electric bicycle 800 shown in FIG. 19 includes a handle 802, a front wheel 804, a down tube 806, a seat tube 808, a seat (saddle) 810, a rear wheel 812, and a wheel sprocket 814.
  • a power unit 816 is provided at a substantially central lower portion of the electric bicycle 800.
  • the power unit 816 has a driving system by human power and an auxiliary power system by the electric motor 818, and synthesizes and outputs the driver's human power and auxiliary power.
  • a crankshaft 820 is rotatably connected to the power unit 816, and cranks 822 are attached to the left and right sides of the crankshaft 820.
  • cranks 822 are attached to the left and right sides of the crankshaft 820.
  • a pedal 824 is rotatably mounted!
  • a controller 826 is connected to the power unit 816.
  • the power shoe 816 controls the output (auxiliary power) of the electric motor 818 according to the magnitude of the torque input to the crankshaft 820 by human power.
  • a notch box 828 is detachably mounted in a space below the seat 810 and surrounded by the seat tube 808 and the rear wheel 812.
  • a Ni—Cd battery (not shown) composed of a plurality of shrink-packed single cells is stored.
  • the power unit 816 includes a housing 830.
  • an arm 832 connected to the crankshaft 820 and a magnetostrictive load sensor 300a are housed.
  • the arm 832 is connected to the roller 834 via a ring gear (not shown) of the planetary gear mechanism.
  • the roller 834 contacts the load transmitting member 40b of the magnetostrictive load sensor 300a.
  • a reaction force proportional to the torque transmitted from the crankshaft 820 is generated in the ring gear of the planetary gear mechanism, and this reaction force is applied to the load of the magnetostrictive load sensor 300a via the roller 834. It acts on the transmission member 40b.
  • the current output from the magnetostrictive load sensor 300a is applied to the load detection circuit 600 in FIG.
  • the controller 826 calculates the magnitude of torque based on the output signal of the load detection circuit 600 in FIG. 16, and controls the output (auxiliary power) of the electric motor 818 according to the torque.
  • the torque input to the crankshaft 820 can be accurately detected by using the magnetostrictive load sensor 300a.
  • controller 826 corresponds to the control unit 680 in FIG. 16
  • the electric motor 818 corresponds to the actuator 690.
  • magnetostrictive load sensor 300a instead of the magnetostrictive load sensor 300a, use magnetostrictive load sensors 100a, 100b, 100c, 100d!
  • Magnetostrictive load sensors 100a, 100b, 100c, 100d, lOOe, 20 0a, 300a are not limited to planing boats and electric bicycles, but are applied to transportation equipment such as motorcycles, water bikes, electric vehicle chairs, etc. It can also be applied to various mobile objects such as mobile shelves as well as transportation equipment.
  • the through holes Ah and 10h of the coils A and 10 correspond to the through holes
  • the coils A and 10 correspond to the coils
  • the openings Bha and 21h correspond to the first openings
  • Opening Bhb, 22h corresponds to the second opening.
  • the magnetic path forming members B and 20 correspond to magnetic path forming members
  • the rod-shaped members C and 30 correspond to load detecting members
  • the load transmitting members Da, Db, 40a, and 40b are load transmitting members or first members.
  • the housings E and 50 correspond to the first and second load transmitting members, and the housings E and 50 correspond to the supporting members.
  • the spacer SP is equivalent to the gap forming member
  • the O-rings Ol, 04, 05, 06 are equivalent to the elastic body
  • the housings E, 50 are equivalent to the housing
  • the gaps G4, G5 are the first ones. It corresponds to the gap.
  • the openings Eha, Ehb, 51h, 52h correspond to the third opening and the fourth opening
  • the gaps G1, G2 correspond to the second gap
  • the recesses 43a, 43b are the recesses or the first openings.
  • the load application members Fa and Fb and the protrusions 931a and 931b correspond to the load application member or the first and second load application members.
  • the personal watercraft 700 corresponds to a moving body
  • the hull 702 corresponds to a main body
  • the engine 714 corresponds to a drive unit
  • the controller 732 and the servo motor 746 correspond to a control unit.
  • the electric bicycle 800 corresponds to a moving body
  • the down tube 806 and the seat tube 808 correspond to a main body
  • the power unit 816 corresponds to a drive unit
  • the controller 826 corresponds to a control unit.
  • the present invention can be effectively used to detect loads on various moving bodies such as a planing boat, an electric bicycle, a motorcycle, a water bike, an electric wheelchair, or a mobile shelf.

Abstract

 磁歪式荷重センサは、コイル、磁性材料からなる磁気通路形成部材、磁性材料からなる棒状部材、2つの荷重伝達部材、ハウジングおよび2つの荷重印加部材を備える。コイルの外周部および両端部を覆う磁気通路形成部材の両端部の中央には、開口がそれぞれ形成されている。コイルの貫通孔および開口に棒状部材が挿入される。棒状部材の両端部は開口から突出し、棒状部材は磁気通路形成部材と接触しないように配置される。棒状部材の両端部が、荷重伝達部材によりそれぞれ支持される。荷重伝達部材の一部が、それぞれハウジングの開口から外部に突出している。

Description

明 細 書
磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体
技術分野
[0001] 本発明は、磁歪効果を用いて荷重を電磁気的に検出する磁歪式荷重センサおよ びそれを備えた移動体に関する。
背景技術
[0002] 自動二輪車、水上バイク、移動棚、輸送機器、電動自転車または電動車椅子等の 移動体に用いられる荷重センサには小型化が要求される。小型の荷重センサとして
、磁歪式荷重センサが実用化されている。
[0003] 磁歪式荷重センサでは、荷重が加えられる部材の磁気特性の変化を電圧の変化 に変換し、その電圧の変化に基づいて当該荷重を検出する。
[0004] 特許文献 1には、磁歪式荷重センサである荷重検出装置が開示されて 、る。特許 文献 1の荷重検出装置は、棒状の磁性体、励磁コイル、検出コイルおよび磁気シー ノレドケースを備える。
[0005] 棒状の磁性体は、磁性材料により形成されている。磁性体の周囲には、励磁コイル および検出コイルが互いに電気的に絶縁された状態で卷回されて ヽる。磁気シール ドケースは、磁性材料により形成され、磁性体、励磁コイルおよび検出コイルを収容 する。
[0006] 磁性体の一端は、磁気シールドケースの上部に設けられた孔部力 上方に突出し ている。磁性体の上端部には、ジョイントが設けられている。
[0007] 磁性体が励磁コイルにより磁ィ匕された状態で、荷重がジョイントを介して磁性体に加 えられる。これにより、磁性体の軸方向に荷重が加わると、磁性体が圧縮される。その 結果、逆磁歪効果により荷重検出装置のインピーダンスが変化するとともに、検出コ ィルの両端の電圧が変化する。そこで、検出コイルにおける電圧の変化に基づいて 磁性体に加わった荷重が算出される。
特許文献 1:特開平 11― 241955号公報
発明の開示 発明が解決しょうとする課題
[0008] ところで、上記の特許文献 1の荷重検出装置において、磁性材料により形成された 磁気シールドケースは、棒状の磁性体の下端部を支持するとともに励磁コイルおよび 検出コイルの外周部、上部および下部を覆っている。これにより、磁気シールドケー スは、磁性体が励磁コイルにより磁化される際に磁気通路として機能する。
[0009] 磁気シールドケースは磁性体の下端部を支持している。したがって、磁性体の上端 に荷重が加えられると、磁性体の下端部と磁気シールドケースとの当接部にも応力が 作用する。
[0010] 磁性体に加えられる荷重の方向が磁性体の軸方向からずれると、磁性体の下端部 における応力分布が不均一となり、応力集中部が発生する。また、磁性体に加えられ る荷重の方向が異なると、磁性体の下端部に発生する応力集中部の位置および大 きさも異なる。それにより、磁性体に加えられる荷重が一定であっても、発生する応力 集中部の位置および大きさに応じて磁性体の下端部における磁気特性がばらつく。
[0011] さらに、磁性体の下端部と磁気シールドケースとが当接しているので、磁性体の下 端部に応力集中部が発生すると、磁気シールドケースの磁性体との当接部分にも、 磁性体に発生する応力集中部の位置および大きさに応じた応力集中部が発生する 。それにより、磁気シールドケースにおいても、磁性体に発生する応力集中部の位置 および大きさに応じて磁気特性がばらつく。
[0012] 磁性体に加えられる荷重の方向が異なると、磁性体の下端部における磁気特性の ばらつきおよび磁気シールドケースの磁気特性のばらつきの影響を受けて、検出コィ ルの両端の電圧の変化がばらつく。その結果、荷重検出装置の出力のばらつきが大 きくなり、荷重検出装置の信頼性が低下する。
[0013] また、磁性体に加えられる荷重の方向が磁性体の軸方向と一致する場合でも、磁 性体と磁気シールドケースとの当接部の形状および寸法にわずかでも誤差があると、 磁性体の下端部における応力分布が不均一となり、応力集中部が発生する。
[0014] したがって、上記の荷重検出装置を量産する際には、磁性体と磁気シールドケース との当接部の形状および寸法の誤差により、荷重検出装置間で検出コイルの両端の 電圧がばらつく。その結果、荷重検出装置の製造歩留まりが低下する。 [0015] 本発明の目的は、応力集中に起因する出力変化のばらつきが防止され、信頼性お よび製造歩留まりが向上された磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体を提供 することである。
課題を解決するための手段
[0016] (1)本発明に係る磁歪式荷重センサは、貫通孔を有するコイルと、貫通孔に挿入さ れた荷重検出部材と、コイルにより発生された磁束が通過する磁気通路を形成する 磁気通路形成部材とを備え、荷重検出部材の両端部は、貫通孔に対向する磁気通 路形成部材の部分カゝらそれぞれ外側に突出し、外部から印加される荷重を荷重検 出部材の少なくとも一端部に伝達する荷重伝達部材と、磁気通路形成部材および荷 重伝達部材を支持する支持部材とをさらに備えたものである。
[0017] この発明に係る磁歪式荷重センサにぉ ヽては、磁気通路形成部材および荷重伝 達部材が支持部材により支持されて 、る。コイルに電流が流されることにより磁界が 発生する。これにより、磁性材料からなる荷重検出部材が磁化される。
[0018] この状態で、磁気通路形成部材の部分力 それぞれ外側に突出する荷重検出部 材の両端部のうち少なくとも一端部に荷重伝達部材を通じて荷重が加えられると、荷 重検出部材が歪む。それにより、コイルのインピーダンスが変化し、コイルに誘起され る電圧が変化する。したがって、電圧の変化に基づいて荷重を検出することができる
[0019] ここで、荷重検出部材の中心軸に対してずれた方向に荷重が加えられると、荷重検 出部材の端部に作用する応力の分布が不均一となる。これにより、荷重検出部材の 両端部に応力集中部が発生する。
[0020] さらに、荷重伝達部材を通じて荷重検出部材にカ卩えられる荷重の方向および位置 が異なると、荷重検出部材の両端部に発生する応力集中部の位置および大きさも異 なる。それにより、荷重検出部材にカ卩えられる荷重が一定である場合であっても、発 生する応力集中部の位置および大きさに応じて荷重検出部材の端部における磁気 特性がばらつく。
[0021] この発明に係る磁歪式荷重センサにおいては、荷重検出部材の両端部が磁気通 路形成部材の外部に突出している。換言すれば、磁歪式荷重センサの動作時にお いて、荷重検出部材の両端部は磁気通路形成部材により形成される磁気通路の外 側に位置する。
[0022] その結果、磁歪式荷重センサの出力が荷重検出部材の端部に発生する応力集中 部の影響を受けることが防止されるので、磁歪式荷重センサの出力が安定する。
[0023] また、磁気通路形成部材、荷重検出部材、荷重伝達部材および支持部材の形状 および寸法の誤差により荷重検出部材の端部に応力集中部が発生した場合でも、 磁歪式荷重センサの出力変化が荷重検出部材の端部に発生する応力集中部の影 響によりばらつくことが防止される。
[0024] それにより、磁歪式荷重センサを量産する際の磁気通路形成部材、荷重検出部材 、荷重伝達部材および支持部材の形状および寸法の精度が緩和される。その結果、 磁歪式荷重センサの製造歩留まりが向上する。
[0025] (2)支持部材は、荷重検出部材が一定の範囲で移動可能となるように、荷重伝達 部材を介して荷重検出部材を支持してもよ ヽ。
[0026] この場合、荷重検出部材が一定の範囲で移動することができるので、荷重が加えら れる方向に起因して荷重検出部材の端部に発生する応力集中が低減される。それ により、磁歪式荷重センサの出力変化のばらつきが十分に防止される。また、磁歪式 荷重センサの製造歩留まりがさらに向上する。
[0027] (3)支持部材は、荷重検出部材と磁気通路形成部材とが接触しな!、ように荷重伝 達部材を介して荷重検出部材を支持してもよい。この場合、磁歪式荷重センサの動 作時に、荷重検出部材と磁気通路形成部材との間で磁気抵抗が著しく変化すること が防止される。これにより、磁歪式荷重センサの出力変化が、荷重検出部材と磁気通 路形成部材との間の磁気抵抗の変化の影響によりばらつくことが防止される。
[0028] また、磁気通路形成部材には荷重検出部材との接触に起因する応力集中部が発 生しないので、磁気通路形成部材の磁気特性がばらつカゝない。その結果、磁歪式荷 重センサの出力変化がばらつくことが防止される。
[0029] (4)荷重検出部材と磁気通路形成部材との間に非磁性材料力 なる間隔形成部 材が設けられてもよい。この場合、磁歪式荷重センサの動作時に、磁気通路形成部 材と荷重検出部材との接触が確実に防止される。それにより、荷重検出部材と磁気 通路形成部材との間で磁気抵抗が著しく変化することが確実に防止される。
[0030] さらに、荷重検出部材が一定の範囲で移動する場合であっても、荷重検出部材と 磁気通路形成部材との位置関係のずれ量が間隔形成部材により小さく制限される。 それにより、磁気通路形成部材と荷重検出部材との位置関係のずれに起因するコィ ルのインピーダンスの変化が十分に低減される。それにより、磁歪式荷重センサの出 力の安定性が向上される。
[0031] (5)支持部材は、荷重伝達部材が一定の範囲で移動可能となるように、荷重伝達 部材を支持してもよい。
[0032] この場合、荷重伝達部材が一定の範囲で移動することができるので、荷重が加えら れる方向に起因して荷重検出部材の端部に発生する応力集中が低減される。それ により、磁歪式荷重センサの出力変化のばらつきが十分に防止される。また、磁歪式 荷重センサの製造歩留まりがさらに向上する。
[0033] (6)支持部材は、荷重伝達部材を弾性体を介して支持してもよ!ヽ。この場合、荷重 伝達部材が弾性体を介して支持部材により支持されることにより、荷重伝達部材がー 定の範囲で移動可能となる。それにより、荷重検出部材、荷重伝達部材および支持 部材の形状および寸法に誤差が生じた場合でも、荷重伝達部材は弾性体により誤 差の影響が吸収されつつ支持される。したがって、荷重検出部材、荷重伝達部材ぉ よび支持部材の形状および寸法の精度が緩和され、磁歪式荷重センサの製造歩留 まりが向上する。
[0034] (7)支持部材は、コイル、磁気通路形成部材、荷重検出部材および荷重伝達部材 を収容するハウジングを含んでもょ 、。
[0035] この場合、コイル、磁気通路形成部材、荷重検出部材および荷重伝達部材が、ハ ウジング内に収容される。それにより、磁歪式荷重センサの取り扱いが容易となる。ま た、コイル、磁気通路形成部材、荷重検出部材および荷重伝達部材が汚染されるこ とが防止でき、磁歪式荷重センサの劣化を防止することができる。
[0036] (8)磁気通路形成部材は、貫通孔の両端部にそれぞれ対向する部分に第 1および 第 2の開口を有し、荷重検出部材の外面と第 1および第 2の開口の内面との間にそれ ぞれ第 1の隙間が形成され、ハウジングは、荷重検出部材および荷重伝達部材がー 体的に一定の範囲で移動可能となるように、荷重伝達部材が嵌合する第 3の開口を 有し、荷重伝達部材の外面と第 3の開口の内面との間に第 2の隙間が形成され、第 2 の隙間の幅は、第 1の隙間の幅以下であってもよい。
[0037] この場合、第 1の隙間により、荷重検出部材が磁気通路形成部材の第 1および第 2 の開口内で、コイルの貫通孔の軸に交差する方向に移動可能となる。また、第 2の隙 間により、荷重伝達部材がハウジングの第 3の開口内でコイルの貫通孔の軸に交差 する方向に移動可能となる。
[0038] 第 2の隙間の幅が第 1の隙間の幅以下であるので、荷重伝達部材および荷重検出 部材力 コイルの貫通孔の軸に交差する方向に移動可能に支持されつつ荷重検出 部材と磁気通路形成部材との接触とが防止される。
[0039] したがって、荷重が加えられる方向に起因して荷重検出部材の端部に発生する応 力集中が低減される。それにより、磁歪式荷重センサの出力変化のばらつきが十分 に防止される。また、磁歪式荷重センサの製造歩留まりがさらに向上する。
[0040] また、磁歪式荷重センサの動作時に、荷重検出部材と磁気通路形成部材との間で 磁気抵抗が著しく変化することが防止される。これにより、磁歪式荷重センサの出力 変化が、荷重検出部材と磁気通路形成部材との間の磁気抵抗の変化の影響により ばらつくことが防止される。
[0041] また、磁気通路形成部材には荷重検出部材との接触に起因する応力集中部が発 生しないので、磁気通路形成部材の磁気特性がばらつカゝない。その結果、磁歪式荷 重センサの出力変化がばらつくことが防止される。
[0042] (9)磁歪式荷重センサは、一定の範囲で移動可能かつ荷重伝達部材に当接可能 に設けられ、荷重伝達部材を通じて荷重検出部材に荷重を印加する荷重印加部材 をさらに備えてもよい。
[0043] この場合、荷重印加部材により、荷重伝達部材を通じて荷重検出部材に荷重が印 加される。これにより、荷重検出部材に確実に荷重を印加することができる。
[0044] (10)磁気通路形成部材は、貫通孔の両端部にそれぞれ対向する部分に第 1およ び第 2の開口を有し、荷重検出部材の外面と第 1および第 2の開口の内面との間に それぞれ第 1の隙間が形成され、ハウジングは、荷重検出部材および荷重伝達部材 がー体的に一定の範囲で移動可能となるように、荷重伝達部材が嵌合する第 3の開 口を有し、荷重伝達部材の外面と第 3の開口の内面との間に第 2の隙間が形成され 、第 2の隙間の幅は、第 1の隙間の幅以下であり、荷重伝達部材を通じて荷重検出 部材に荷重を印加する荷重印加部材をさらに備え、荷重印加部材は、貫通孔の軸 方向と直交する方向において第 1の隙間の幅よりも大きな範囲で移動可能に設けら れてもよい。
[0045] この場合、コイルの貫通孔の軸と交差する方向において、第 1の隙間により、荷重 検出部材が磁気通路形成部材の第 1および第 2の開口内で、コイルの貫通孔の軸に 交差する方向に移動可能となる。また、第 2の隙間により、荷重伝達部材がハウジン グの第 3の開口内でコイルの貫通孔の軸に交差する方向に移動可能となる。
[0046] 荷重検出部材および荷重伝達部材は、ハウジング内で一体的に移動する。これに より、コイルの貫通孔の軸に交差する方向において、荷重検出部材の移動可能な範 囲が荷重伝達部材の移動可能な範囲以下となる。
[0047] ここで、第 2の隙間の幅が第 1の隙間の幅以下であるので、荷重伝達部材および荷 重検出部材力 コイルの貫通孔の軸に交差する方向に移動可能に支持されつつ荷 重検出部材と磁気通路形成部材との接触とが防止される。
[0048] 荷重印加部材により、荷重伝達部材を通じて荷重検出部材に荷重が印加される。
これにより、荷重検出部材に確実に荷重を印加することができる。ここで、コイルの貫 通孔の軸と交差する方向において、荷重印加部材は第 1の隙間の幅よりも大きな範 囲で移動可能である。したがって、コイルの貫通孔の軸に交差する方向において、荷 重伝達部材の移動可能な範囲が荷重印加部材の移動可能な範囲以下となる。
[0049] コイルの貫通孔の軸と交差する方向にぉ 、て、荷重伝達部材の移動可能な範囲が 荷重印加部材の移動可能な範囲以下となることにより、荷重印加部材が荷重伝達部 材に加える荷重の方向がコイルの貫通孔の軸に対して傾斜している場合に、荷重伝 達部材の移動量が荷重印加部材の移動量以下となる。
[0050] また、コイルの貫通孔の軸と交差する方向において、荷重検出部材の移動可能な 範囲が荷重伝達部材の移動可能な範囲以下となることにより、荷重伝達部材が荷重 検出部材に加える荷重の方向がコイルの貫通孔の軸に対して傾斜している場合に、 荷重検出部材の移動量が荷重伝達部材の移動量以下となる。
[0051] その結果、磁気通路形成部材に対する荷重検出部材の位置ずれおよび傾きを低 減することができるので、磁歪式荷重センサの出力変化のばらつきがより十分に防止 される。
[0052] (11)荷重伝達部材は、外部から印加される荷重を荷重検出部材の一端部および 他端部にそれぞれ伝達する第 1および第 2の荷重伝達部材を含んでもよい。
[0053] この場合、磁歪式荷重センサは、荷重検出部材の一端部および他端部にカ卩えられ る荷重をそれぞれ検出することが可能となる。これにより、 2つの方向からカ卩えられる 荷重を 1つの磁歪式荷重センサにより検出することができる。したがって、 2つの方向 から加えられる荷重を検出するために、個々の方向に対応する磁歪式荷重センサを 用意する必要がないので、部品点数が低減される。それにより、磁歪式荷重センサの 小型化および軽量ィヒが実現される。
[0054] また、 1つの磁歪式荷重センサにより 2つの方向からカ卩えられる荷重を検出すること ができるので、 2つの磁歪式荷重センサを用意する場合のように、 2つの磁歪式荷重 センサの感度の調整および 2つの磁歪式荷重センサの選別が不要となる。その結果 、装置の製造工程数および製造コストが低減され、製造歩留まりが向上する。
[0055] (12)磁歪式荷重センサは、一定の範囲で移動可能かつ荷重伝達部材に当接可 能に設けられ、第 1および第 2の荷重伝達部材を通して荷重検出部材の一端部およ び他端部に荷重をそれぞれ印加する第 1および第 2の荷重印加部材をさらに備えて ちょい。
[0056] この場合、第 1および第 2の荷重印加部材により、第 1および第 2の荷重伝達部材を 通じて荷重検出部材の両端部に荷重がそれぞれ印加される。これにより、荷重検出 部材の両端部に確実に荷重を印加することができる。
[0057] (13)第 1および第 2の荷重印加部材および第 1および第 2の荷重伝達部材は、コィ ルの貫通孔の軸に沿って、荷重検出部材を中心として対称的に配置されてもよい。
[0058] この場合、荷重検出部材の一端側に位置する第 1の荷重伝達部材に第 1の荷重印 加部材により荷重が加えられる場合と、荷重検出部材の他端側に位置する第 2の荷 重伝達部材に第 2の荷重印加部材により荷重が加えられる場合とで、荷重が対称的 な経路で荷重検出部材に伝達される。したがって、磁歪式荷重センサは、 2つの方 向から加えられる荷重を同じ精度で検出することができる。
[0059] (14)ハウジングは、荷重伝達部材が嵌合する第 3の開口を有し、荷重伝達部材は 、ハウジングの内側の一端面に対向または接触するフランジ部および荷重検出部材 の一端部が嵌合する凹部を有してもよい。
[0060] この場合、荷重伝達部材の凹部に荷重検出部材の一端部が嵌合し、荷重伝達部 材がハウジングの第 3の開口に嵌合するとともにフランジ部がハウジングの内側の一 端面に対向または接触する。それにより、荷重検出部材および荷重伝達部材が軸方 向に移動可能にハウジング内に保持される。したがって、簡単な構造で荷重を正確 に検出することが可能となる。
[0061] (15)ハウジングの第 3の開口の内面と荷重伝達部材の外面との間に隙間が形成さ れ、磁歪式荷重センサは、荷重伝達部材をハウジングに対して貫通孔の軸方向と直 交する方向に移動可能に保持する弾性部材をさらに備えてもよい。
[0062] この場合、荷重伝達部材にコイルの貫通孔の軸方向に対して傾斜した方向に荷重 が加わった場合に、荷重伝達部材が貫通孔の軸方向と直交する方向に弾性的に移 動するので、荷重の加えられる方向に起因して荷重検出部材の一端部に発生する 応力集中が低減される。それにより、磁歪式荷重センサの出力変化のばらつきが十 分に低減される。
[0063] (16)荷重検出部材は、外部から印加される荷重を荷重検出部材の一端部および 他端部にそれぞれ伝達する第 1および第 2の荷重伝達部材を含み、ハウジングは、 第 1の荷重伝達部材が嵌合する第 3の開口および第 2の荷重伝達部材が嵌合する 第 4の開口を有し、第 1の荷重伝達部材は、ハウジングの内側の一端面に対向また は接触する第 1のフランジ部および荷重検出部材の一端部が嵌合する第 1の凹部を 有し、第 2の荷重伝達部材は、ハウジングの内側の他端面に対向または接触する第 2のフランジ部および荷重検出部材の他端部が嵌合する第 2の凹部を有してもよい。
[0064] この場合、第 1の荷重伝達部材の第 1の凹部に荷重検出部材の一端部が嵌合し、 第 1の荷重伝達部材がハウジングの第 3の開口に嵌合するとともに第 1のフランジ部 がハウジングの内側の一端面に対向または接触する。また、第 2の荷重伝達部材の 第 2の凹部に荷重検出部材の他端部が嵌合し、第 2の荷重伝達部材がハウジングの 第 4の開口に嵌合するとともに第 2のフランジ部がハウジングの内側の他端面に対向 または接触する。それにより、第 1および第 2の荷重検出部材およ第 1および第 2の荷 重伝達部材が軸方向に移動可能にハウジング内に保持される。したがって、簡単な 構造で荷重を正確に検出することが可能となる。
[0065] (17)ハウジングの第 3の開口の内面と第 1の荷重伝達部材の外面との間に隙間が 形成され、ノ、ウジングの第 4の開口の内面と第 2の荷重伝達部材の外面との間に隙 間が形成され、磁歪式荷重センサは、第 1の荷重伝達部材をハウジングに対して貫 通孔の軸方向と直交する方向に移動可能に保持する第 1の弾性部材と、第 2の荷重 伝達部材をハウジングに対して貫通孔の軸方向と直交する方向に移動可能に保持 する第 2の弾性部材とをさらに備えてもよい。
[0066] この場合、第 1または第 2の荷重伝達部材にコイルの貫通孔の軸方向に対して傾斜 した方向に荷重が加わった場合に、第 1または第 2の荷重伝達部材が貫通孔の軸方 向に直交する方向に弹性的に移動する。それにより、荷重の加えられる方向に起因 して荷重検出部材の一端部または他端部に発生する応力集中が低減される。したが つて、磁歪式荷重センサの出力変化のばらつきが十分に低減される。
[0067] (18)荷重検出部材と荷重伝達部材とが接合されてもよい。この場合、コイルの貫通 孔の軸上で、荷重伝達部材を通じて荷重検出部材に圧縮荷重を加えることができる とともに、荷重伝達部材を通じて荷重検出部材に引っ張り荷重をカ卩えることができる。 したがって、応力集中に起因する出力変化のばらつきを防止しつつ、圧縮荷重およ び引つ張り荷重を検出することができる。
[0068] (19)荷重検出部材は、円柱形状を有し、荷重検出部材の両端部は、軸方向の断 面の直径以上の長さ分、磁気通路形成部材の第 1および第 2の開口力 突出しても よい。
[0069] この場合、荷重検出部材の端部に局部的に集中して応力が作用する場合でも、荷 重検出部材の両端部が荷重検出部材の直径以上の長さで第 1および第 2の開口か ら突出しているので、当該応力が荷重検出部材の突出部内で全面に広がる。それに より、磁気通路形成部材に覆われる荷重検出部材の部分においては、荷重検出部 材の応力分布がほぼ均一となる。その結果、磁歪式荷重センサの出力変化が荷重 検出部材の端部に発生する応力集中部の影響によりばらつくことが十分に防止され る。
[0070] (20)本発明の他の局面に従う移動体は、本体部と、本体部を移動させる駆動部と 、荷重を検出する磁歪式荷重センサと、磁歪式荷重センサにより検出された荷重に 基づいて駆動部を制御する制御部とを備え、磁歪式荷重センサは、貫通孔を有する コイルと、貫通孔に挿入された荷重検出部材と、コイルにより発生された磁束が通過 する磁気通路を形成する磁気通路形成部材とを含み、荷重検出部材の両端部は、 貫通孔に対向する磁気通路形成部材の部分力 それぞれ外側に突出し、外部から 印加される荷重を荷重検出部材の少なくとも一端部に伝達する荷重伝達部材と、磁 気通路形成部材および荷重伝達部材を支持する支持部材とをさらに含むものである
[0071] その移動体においては、磁歪式荷重センサにより荷重が検出され、検出された荷 重に基づいて制御部により駆動部が制御される。それにより、駆動部により本体部が 移動される。
[0072] この移動体に用いられる磁歪式荷重センサにおいては、応力集中に起因する出力 変化のばらつきが防止され、信頼性および製造歩留まりが向上されている。したがつ て、移動体を高い精度で制御することが可能になるとともに、移動体の信頼性が向上 される。
発明の効果
[0073] 本発明によれば、荷重検出部材の両端部が磁気通路形成部材の外部に突出して いる。それにより、磁歪式荷重センサの出力が荷重検出部材の端部に発生する応力 集中部の影響を受けることが防止されるので、磁歪式荷重センサの出力が安定する
[0074] また、磁気通路形成部材、荷重検出部材、荷重伝達部材および支持部材の形状 および寸法の誤差により荷重検出部材の端部に応力集中部が発生した場合でも、 上記と同様の効果が奏される。すなわち、磁歪式荷重センサの出力変化が荷重検出 部材の端部に発生する応力集中部の影響によりばらつくことが防止される。 [0075] それにより、磁歪式荷重センサを量産する際の磁気通路形成部材、荷重検出部材
、荷重伝達部材および支持部材の形状および寸法の精度が緩和される。その結果、 磁歪式荷重センサの製造歩留まりが向上する。
[0076] また、磁歪式荷重センサを用いた移動体は、高 、精度で制御することが可能になる とともに、移動体の信頼性が向上される。
図面の簡単な説明
[0077] [図 1]図 1は第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの基本構成を説明するため の図である。
[図 2]図 2は図 1の磁歪式荷重センサ内の磁界の向きを示す図である。
[図 3]図 3は第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの第 1の具体例を示す断面 図である。
[図 4]図 4は図 3の磁歪式荷重センサのハウジング内における各構成部材の支持状 態を説明するための図である。
[図 5]図 5は図 3の棒状部材と磁気通路形成部材との位置関係に応じて変化するセン サ構成部のインピーダンスを説明するための図である。
[図 6]図 6は図 3の磁歪式荷重センサの磁気通路形成部材の開口力 突出する棒状 部材の部分を説明するための図である。
[図 7]図 7は棒状部材の中心軸に対する荷重が加えられる方向の傾斜角度と磁歪式 荷重センサの感度との関係を説明するための図である。
[図 8]図 8は第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの第 2の具体例を示す断面 図である。
[図 9]図 9は第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの第 3の具体例を示す断面 図である。
[図 10]図 10は第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの第 4の具体例を示す断 面図である。
[図 11]図 11は第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの第 5の具体例を示す断 面図である。
[図 12]図 12は第 2の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの基本構成を説明するた めの図である。
[図 13]図 13は第 2の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの具体例を示す上面図で ある。
[図 14]図 14は第 3の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの基本構成を説明するた めの図である。
[図 15]図 15は第 3の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの具体例を示す断面図で ある。
[図 16]図 16は、上記実施の形態に係る磁歪式荷重センサを用 ヽた荷重検出回路の 概略構成を示すブロック図である。
[図 17]図 17は図 13の磁歪式荷重センサを用 、た滑走艇の平面図である。
[図 18]図 18は図 17の滑走艇の制御系を示すブロック図である。
[図 19]図 19は図 15の磁歪式荷重センサを用 、た電動自転車の側面図である。
[図 20]図 20は図 19の電動自転車に用いられるパワーユニットの構成を示す断面図 である。
発明を実施するための最良の形態
[0078] 本発明の一実施の形態に係る磁歪式荷重センサについて説明する。
[1] 第 1の実施の形態
(1) 磁歪式荷重センサの基本構成
図 1は、第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの基本構成を説明するための 図である。
[0079] 図 1に示すように、第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100は、コイル A、磁 性材料からなる磁気通路形成部材 磁性材料からなる棒状部材じ、非磁性材料か らなる 2つの荷重伝達部材 Da, Db、非磁性材料力 なるハウジング Eおよび 2つの 荷重印加部材 Fa, Fbを備える。
[0080] 以下の説明において、棒状部材 Cは、磁歪式荷重センサ 100にカ卩えられる荷重を 検出する荷重検出部材として機能する。
[0081] また、以下の説明では、コイル A、磁気通路形成部材 Bおよび棒状部材 Cからなる 集合体をセンサ構成部と称する。 [0082] ここで、磁性材料とは、磁場中に置かれたときに磁気を帯びる性質を有する材料を いう。磁性材料としては、例えば、鉄系材料、鉄クロム系材料、鉄ニッケル系材料、鉄 コバルト系材料、鉄ケィ素系材料、鉄アルミニウム系材料、純鉄、パーマロイまたは超 磁歪材料、フェライト系ステンレス (例えば SUS430)等が用いられる。例えば、磁性 材料である鉄の比透磁率 (真空の透磁率に対する比率)は 200である。
[0083] また、非磁性材料とは、磁性材料以外の材料であり、例えば比透磁率が約 1の材料 をいう。なお、非磁'性材料であるオーステナイト系ステンレス(例えば SUS304)、ァ ルミ-ゥムおよび銅の比透磁率は、 1〜1. 01である。
[0084] コイル Aは貫通孔 Ahを有する。コイル Aの外周部および両端部を覆うように磁気通 路形成部材 Bが形成されている。磁気通路形成部材 Bの両端部の中央には開口 Bh a, Bhbがそれぞれ形成されている。
[0085] 貫通孔 Ahおよび開口 Bha, Bhbに棒状部材 Cが挿入されて!、る。この状態で、棒 状部材 Cの両端部は開口 Bha, Bhb力も突出している。より詳細には、棒状部材 ま 、開口 Bha, Bhbの外側端部を結ぶ線 Bhae, Bhbeよりもそれぞれ外側(棒状部材 C の長手方向外側)に延びている。また、磁気通路形成部材 Bと棒状部材 Cとの距離 M gは、ハウジング Eと荷重伝達部材 Da, Dbとの距離 Mdよりも大きくなつている。それ により、棒状部材 Cは磁気通路形成部材 Bと接触しな ヽように配置されて ヽる。
[0086] 棒状部材 Cの一端が非磁性材料からなる荷重伝達部材 Daに嵌合している。棒状 部材 Cの他端が非磁性材料からなる荷重伝達部材 Dbに嵌合して ヽる。
[0087] ハウジング E内に、コイル A、磁気通路形成部材 棒状部材 Cおよび 2つの荷重伝 達部材 Da, Dbが収容される。ハウジング Eの両端部の中央には開口 Eha, Ehbがそ れぞれ形成されている。
[0088] 荷重伝達部材 Da, Dbの一部が、それぞれノヽウジング Eの開口 Eha, Ehbから外部 に突出している。開口 Ehaから突出する荷重伝達部材 Daに対して当接可能に荷重 印加部材 Faが配置されている。開口 Ehb力も突出する荷重伝達部材 Dbに対して当 接可能に荷重印加部材 Fbが配置されて 、る。
[0089] 図 1では図示しないが、コイル A力 延びるリード線は、ハウジング Eの外部に引き 出される。ハウジング Eから引き出されたリード線は、図示しない発振回路、電流検出 器、整流回路、増幅回路および中央演算処理回路 (CPU)等の周辺回路 (荷重検出 回路)に接続される。
[0090] (2) 磁歪式荷重センサの動作
磁歪式荷重センサ 100の動作時においては、図示しない周辺回路の発振回路に よりリード線を介してコイル Aに交流電流が供給される。それにより、コイル Aが駆動さ れる。この場合、コイル Aが励磁コイルとして機能し、棒状部材 Cが磁ィ匕される。また、 磁気通路形成部材 Bが磁気通路として機能する。
[0091] 図 2に図 1の磁歪式荷重センサ 100内の磁界の向きを示す。図 2においては、コィ ル Aが駆動された場合の磁歪式荷重センサ 100内の磁界の向きが太い矢印により示 されている。
[0092] 荷重印加部材 Faにより荷重伝達部材 Daに荷重が加えられる。そして、荷重伝達部 材 Daにカ卩えられた荷重が棒状部材 Cの一端に伝達される。
[0093] これにより、棒状部材 Cに圧縮力が作用する。このように、棒状部材 Cに圧縮力が作 用すると、逆磁歪効果により棒状部材 Cの透磁率が変化し、コイル A、磁気通路形成 部材 Bおよび棒状部材 C力もなるセンサ構成部のインピーダンスが変化する。
[0094] その結果、コイル Aに発生する誘導起電力(電圧)が変化する。この場合、コイル A は検出コイルとして機能する。コイル Aにおける電圧が図示しないリード線を介して周 辺回路により検出される。検出されたコイル Aの電圧変化に基づ ヽて荷重伝達部材
Daにカ卩えられた荷重が検出される。
[0095] 一方、荷重印加部材 Fbにより荷重伝達部材 Dbに荷重が加えられる。この場合に おいても、上記と同様にして、荷重伝達部材 Dbに加えられた荷重が検出される。
[0096] (3) 第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサによる効果
(3— a)
荷重伝達部材 Daまたは荷重伝達部材 Dbに荷重が加えられる際には、棒状部材 C の一端と荷重伝達部材 Daとの当接部(図 2点線部 tl参照)、および棒状部材 Cの他 端と荷重伝達部材 Dbとの当接部(図 2点線部 t2参照)に応力が作用し、棒状部材 C に圧縮力が作用する。
[0097] ここで、荷重伝達部材 Daまたは荷重伝達部材 Dbにカ卩えられる荷重の方向が棒状 部材 cの軸方向からずれると、棒状部材 cの両端部における応力分布が不均一とな り、応力集中部が発生する。
[0098] さらに、荷重伝達部材 Daまたは荷重伝達部材 Dbにカ卩えられる荷重の方向が異な ると棒状部材 Cの両端部に発生する応力集中部の位置および大きさも異なる。それ により、棒状部材 Cに加えられる荷重が一定である場合であっても、発生する応力集 中部の位置および大きさに応じて棒状部材 Cの両端部における磁気特性がばらつく
[0099] 本実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100においては、棒状部材 Cの両端部が 磁気通路形成部材 Bの外部に突出している。換言すれば、磁歪式荷重センサ 100の
Figure imgf000018_0001
ヽて、棒状部材 Cの両端部は磁気通路形成部材 Bにより形成される磁気 通路の外側に位置する。
[0100] その結果、磁歪式荷重センサ 100の出力が棒状部材 Cの両端部に発生する応力 集中部の影響を受けないので、磁歪式荷重センサ 100の出力が安定する。
[0101] (3-b)
磁気通路形成部材 Bと棒状部材 Cとの間で接触状態および非接触状態が交互に 発生すると、磁気通路形成部材 Bと棒状部材 Cとの間の磁気抵抗が著しく変化する。
[0102] 本実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100では、棒状部材 Cが磁気通路形成部 材 Bと接触しないように設けられている。したがって、磁気通路形成部材 Bと棒状部材 Cとの間で磁気抵抗が著しく変化することが防止される。その結果、磁歪式荷重セン サ 100の出力変化が、磁気通路形成部材 Bと棒状部材 Cとの間の磁気抵抗の変化 の影響によりばらつくことが防止される。
[0103] また、磁気通路形成部材 Bと棒状部材 Cとの距離 Mgは、ハウジング Eと荷重伝達部 材 Da, Dbとの距離 Mdよりも大きくなつているので、棒状部材 Cが磁気通路形成部材 Bと接触しない。それにより、磁気通路形成部材 Bには棒状部材 Cとの接触に起因す る応力集中部が発生しない。したがって、磁気通路形成部材 Bの磁気特性がばらつ かない。その結果、磁歪式荷重センサ 100の出力変化がばらつくことが防止される。
[0104] (3— c)
磁気通路形成部材 Bと棒状部材 Cとが互いに接触せず、棒状部材 Cの一端と荷重 伝達部材 Daとの接続部、および棒状部材 Cの他端と荷重伝達部材 Dbとの接続部が 磁気通路形成部材 Bの外部に位置する。
[0105] これにより、磁気通路形成部材 、棒状部材 Cおよび荷重伝達部材 Da, Dbの形状 および寸法の誤差により棒状部材 Cの両端に応力集中部が発生した場合でも、磁歪 式荷重センサ 100の出力が棒状部材 Cの両端部に発生する応力集中部の影響を受 けないので、磁歪式荷重センサ 100の出力が安定する。
[0106] それにより、磁歪式荷重センサ 100を量産する際の磁気通路形成部材 、棒状部 材 Cおよび荷重伝達部材 Da, Dbの形状および寸法の精度が緩和される。その結果
、磁歪式荷重センサ 100の製造歩留まりが向上する。
[0107] (3-d)
2つの方向から加えられる荷重を 2つの荷重センサを用いて検出する装置を作製す る場合には、 2つの荷重センサの感度を等しく調整すること、または等しい感度を有 する 2つの荷重センサを選別することが必要である。それにより、製造工程数および 製造コストが増加する。
[0108] 本実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100では、棒状部材 Cの一端および他端 に加えられる荷重をそれぞれ検出することが可能である。これにより、 2つの方向から 加えられる荷重を 1つの磁歪式荷重センサ 100により検出することができる。したがつ て、 2つの方向からカ卩えられる荷重を検出するために、個別に荷重センサを設ける必 要がないので、部品点数が低減される。それにより、磁歪式荷重センサ 100の小型 化および軽量ィ匕が実現される。
[0109] また、 1つの磁歪式荷重センサ 100により 2つの方向からカ卩えられる荷重を検出す ることができるので、 2つの荷重センサの感度の調整および 2つの荷重センサの選別 が不要となる。その結果、装置の製造工程数および製造コストが低減され、製造歩留 まりが向上する。
[0110] (3-e)
荷重伝達部材 Daが、荷重印加部材 Faにより加えられる荷重を棒状部材 Cに伝達 するとともに、荷重伝達部材 Dbを通じて棒状部材 Cに伝達された荷重を受け止める [0111] また、荷重伝達部材 Dbが、荷重印加部材 Fbにより加えられる荷重を棒状部材じに 伝達するとともに、荷重伝達部材 Daを通じて棒状部材 Cに伝達された荷重を受け止 める。
[0112] このように、本実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100においては、荷重伝達部 材 Da, Dbが、荷重を伝達するとともに、荷重を受け止める働きを有する。
[0113] したがって、荷重を伝達する部材と、荷重を受け止める部材とを個別に設ける必要 がないので、部品点数が低減され、製造コストが低減される。
[0114] また、磁歪式荷重センサ 100は、その中心を基準として複数の構成部材が対称とな るように配置されている。したがって、棒状部材 Cの一端に荷重が加えられる場合と、 棒状部材 Cの他端に荷重が加えられる場合とで、荷重が対称的な経路で棒状部材 C に伝達される。したがって、 2つの方向からカ卩えられる荷重を同じ精度で検出すること ができる。
[0115] (3-f)
本実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100によれば、逆磁歪効果により荷重が検 出される。それにより、歪ゲージ式ロードセルに比べて、非常に高い感度 (数十倍か ら数百倍)で荷重を検出することができる。
[0116] また、このように荷重を検出する感度が高いので、歪ゲージ式ロードセルのように、 感度を向上させるために棒状部材 Cを細くまたは薄く形成する必要がない。したがつ て、磁歪式荷重センサ 100の強度が低下しない。それにより、十分な耐久性を確保 することができる。
[0117] 以下、第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の種々の具体例を説明する
[0118] (4) 磁歪式荷重センサの第 1の具体例
第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の第 1の具体例を説明する。
[0119] (4 -a) 第 1の具体例に係る磁歪式荷重センサの構成
図 3は、第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の第 1の具体例を示す断 面図である。図 3に示すように、第 1の具体例に係る磁歪式荷重センサ 100aは、コィ ル 10、磁気通路形成部材 20、棒状部材 30、 2つの荷重伝達部材 40a, 40bおよび ハウジング 50を含む。
[0120] これらのコイル 10、磁気通路形成部材 20、棒状部材 30、 2つの荷重伝達部材 40a , 40bおよびノヽウジング 50は、それぞれ上述のコイル A、磁気通路形成部材 、棒状 部材じ、 2つの荷重伝達部材 Da, Dbおよびノヽウジング Eに相当する。
[0121] また、コイル 10、磁気通路形成部材 20および棒状部材 30からなる集合体が上述 のセンサ構成部に相当する。したがって、以下の説明においても、コイル 10、磁気通 路形成部材 20および棒状部材 30からなる集合体をセンサ構成部と称する。
[0122] コイル 10は、導線 11およびボビン 12により構成されている。ボビン 12は、長手形状 を有するとともに、その両端にフランジ部を備える。ボビン 12の 2つのフランジ部間に 導線 11が卷回されて!/、る。ボビン 12の軸心には貫通孔 10hが形成されて!、る。
[0123] 磁気通路形成部材 20は、外周面および一端面を有する円筒形状の第 1のケーシ ング部材 21、および略円盤形状の第 2のケーシング部材 22により構成されている。
[0124] 第 1のケーシング部材 21および第 2のケーシング部材 22は、磁性材料により形成さ れている。これにより、磁歪式荷重センサ 100aの動作時において、第 1のケーシング 部材 21および第 2のケーシング部材 22の各々は磁気通路として機能する。
[0125] 第 1のケーシング部材 21内に環状の弾性部材 19を介してコイル 10が挿入される。
第 1のケーシング部材 21の他端に第 2のケーシング部材 22が接続される。これにより 、磁気通路形成部材 20内にコイル 10が収容される。
[0126] 第 1のケーシング 21の一端面の中央部には円形の開口 21hが形成され、第 2のケ 一シング 22の中央部には円形の開口 22hが形成されている。
[0127] 開口 21h, 22hには、それぞれスぺーサ SPが取り付けられている。スぺーサ SPは、 非磁性材料により形成されて 、る。
[0128] 貫通孔 10hおよび開口 21h, 22hに円柱形状を有する棒状部材 30が挿入される。
この状態で、棒状部材 30の一端部 30aおよび他端部 30bは開口 21h, 22hから突出 している。棒状部材 30は、磁性材料により形成されている。これにより、磁歪式荷重 センサ 100aの動作時において、棒状部材 30はコイル 10により磁化される。
[0129] 図 3に示すように、棒状部材 30の直径は、貫通孔 10hおよび開口 21h, 22hのい ずれの内径よりも小さい。これにより、棒状部材 30の外面と貫通孔 10hおよび開口 2 lh, 22hの内面との間に隙間が形成される。それにより、棒状部材 30が磁気通路形 成部材 20と接触することが防止されている。
[0130] 上記のスぺーサ SPは、棒状部材 30とコイル 10および磁気通路形成部材 20とが所 定の位置関係で配置されるように、各部材の移動を制限している。詳細は後述する。
[0131] 棒状部材 30の一端部 30aは棒状部材 30の直径以上の長さ分開口 22hから突出し ており、棒状部材 30の他端部 30bは棒状部材 30の直径以上の長さ分開口 21hから 突出している。詳細は後述する。
[0132] 棒状部材 30は、その中心軸が貫通孔 10hおよび開口 21h, 22hの中心を結ぶ軸と 一致するように後述の荷重伝達部材 40a, 40bにより支持される。
[0133] 荷重伝達部材 40aは、円柱形状の軸部 41aおよびフランジ部 42aを有する。円柱 形状の軸部 41aの一端にフランジ部 42aが形成されており、フランジ部 42aの中央に 円形の凹部 43aが形成されている。
[0134] 荷重伝達部材 40bも同様に、円柱形状の軸部 4 lbおよびフランジ部 42bを有する。
円柱形状の軸部 41bの一端にフランジ部 42bが形成されており、フランジ部 42bの中 央に円形の凹部 43bが形成されている。これらの荷重伝達部材 40a, 40bは、非磁 性材料により形成されて 、る。
[0135] 棒状部材 30の一端部 30aが荷重伝達部材 40aの凹部 43aに挿入され、接続される
。また、棒状部材 30の他端部 30bが荷重伝達部材 40bの凹部 43bに挿入され、接続 される。
[0136] ハウジング 50は、外周面および一端面を有する円筒形状の第 1のハウジング 51と、 略円盤形状の第 2のハウジング 52とを含む。第 1のハウジング 51および第 2のハウジ ング 52は、非磁性材料により形成されている。
[0137] コイル 10、磁気通路形成部材 20、棒状部材 30および荷重伝達部材 40a, 40bか らなる集合体が第 1のハウジング 51内に収容される。そこで、第 1のハウジング 51と 第 2のハウジング 52とが複数のネジ 59により接続される。
[0138] 第 1のハウジング 51および第 2のハウジング 52には、弾性力を有する榭脂等からな る複数の Oリング 01〜04が取り付けられている。
[0139] 上記において、第 1のケーシング部材 21、第 2のケーシング部材 22および棒状部 材 30を形成する磁性材料としては、例えば、鉄系材料、鉄クロム系材料、鉄ニッケル 系材料、鉄コバルト系材料、鉄ケィ素系材料、鉄アルミニウム系材料、純鉄、パーマ ロイ、超磁歪材料、フェライト系ステンレス(例えば SUS430)等が挙げられる。第 1の ケーシング部材 21、第 2のケーシング部材 22および棒状部材 30に同じ磁性材料に より形成されることが好ましい。本実施の形態では、第 1のケーシング部材 21、第 2の ケーシング部材 22および棒状部材 30に SUS430が用いられる。
[0140] また、スぺーサ SP、荷重伝達部材 40a, 40b、第 1のハウジング 51および第 2のハ ウジング 52を形成する非磁性材料としては、例えば、オーステナイト系ステンレス、ァ ルミ-ゥムまたは銅等が挙げられる。本実施の形態では、荷重伝達部材 40a, 40bに SUS304力 S用いられ、第 1のハウジング 51および第 2のハウジング 52にアルミニウム が用いられる。
[0141] (4 b) ハウジング内での各構成部材の支持状態
複数の Oリング 01〜04およびノヽウジング 50内での各構成部材の支持状態につい て説明する。
[0142] 図 4は、図 3の磁歪式荷重センサ 100aのハウジング 50内における各構成部材の支 持状態を説明するための図である。
[0143] 図 4に示すように、第 1のハウジング 51の一端面の中央には、円形の開口 51hが形 成されている。開口 51hの直径は、荷重伝達部材 40bの軸部 41bの直径よりも大きい 。開口 51hの内周面に環状の溝部 51mが形成されている。
[0144] 磁歪式荷重センサ 100aの組立て時には、溝部 51mに Oリング Olが取り付けられ、 開口 51hに荷重伝達部材 40bの軸部 41bが挿入される。
[0145] ここで、 Oリング Olの断面の直径は溝部 51mの深さよりも大きい。それにより、荷重 伝達部材 40bの軸部 41bは、弾性力を有する Oリング Olにより支持される。したがつ て、荷重伝達部材 40bの製造時においては、荷重伝達部材 40bの形状および寸法 に誤差が生じた場合でも、荷重伝達部材 40bは、 Oリング Olにより誤差の影響が吸 収されつつハウジング 50内で支持される。その結果、荷重伝達部材 40bの形状およ び寸法精度が緩和される。この状態において、軸部 41bの外周面と、開口 51hの内 周面との間の隙間 G1は、例えば約 0. 1mmである。 [0146] 一方、第 2のハウジング 52の中央にも、円形の開口 52hが形成されている。開口 52 hの直径は、荷重伝達部材 40aの軸部 41aの直径よりも大きい。開口 52hの内周面 に環状の溝部 52mが形成されて 、る。
[0147] 磁歪式荷重センサ 100aの組立て時には、溝部 52mに Oリング 04が取り付けられ、 開口 52hに荷重伝達部材 40bの軸部 41aが挿入される。
[0148] ここで、 Oリング 04の断面の直径は溝部 52mの深さよりも大きい。それにより、荷重 伝達部材 40aの軸部 41aは、弾性力を有する Oリング 04により支持される。したがつ て、荷重伝達部材 40aの製造時においては、荷重伝達部材 40aの形状および寸法 に誤差が生じた場合でも、荷重伝達部材 40aは、 Oリング 04により誤差の影響が吸 収されつつハウジング 50内で支持される。その結果、荷重伝達部材 40aの形状およ び寸法精度が緩和される。この状態において、軸部 41aの外周面と、開口 52hの内 周面との間の隙間 G2は、例えば約 0. 1mmである。
[0149] 上記のように、棒状部材 30を支持する荷重伝達部材 40a, 40bは、それぞれ Oリン グ Ol, 04を介してハウジング 50により位置決めされている。これにより、荷重伝達部 材 40a, 40bはハウジング 50内で磁歪式荷重センサ 100aの中心軸(ノヽウジング 50 の中心軸)と直交する方向にぉ 、て微少な変位量で移動することが許容されて 、る。
[0150] したがって、例えば荷重伝達部材 40a, 40bに磁歪式荷重センサ 100aの中心軸か ら傾斜した方向から荷重が加わった場合でも、荷重伝達部材 40aまたは荷重伝達部 材 40bが Oリング Ol, 04により弹性的に移動する。そのため、荷重の加えられる方 向に起因して棒状部材 30の一端部 30aおよび他端部 30bに発生する応力集中が低 減される。それにより、磁歪式荷重センサ 100aの出力変化のばらつきが十分に防止 される。
[0151] また、磁歪式荷重センサ 100aに振動または衝撃が加えられた場合でも、棒状部材 30に発生する振動または衝撃が Oリング Ol, 04により吸収される。それにより、磁歪 式荷重センサ 100aの出力変化が棒状部材 30に発生する振動または衝撃の影響に よりばらつくことが十分に防止される。
[0152] 第 1のハウジング 51は、長手方向における一端側に第 1の外周壁 511を有し、他端 側に第 2の外周壁 512を有する。第 2の外周壁 512は、第 1の外周壁 511よりも大き ヽ内径および外径を有する。
[0153] 第 2のハウジング 52は、円盤部 521および環状のガイド部 522を有する。円盤部 52
1の中央に上述の開口 52hが形成されている。ガイド部 522は、円盤部 521の一面 カゝら突出するように形成されて!、る。
[0154] ガイド部 522は、第 1のハウジング 51と第 2のハウジング 52との嵌合時に、その外周 面が第 1のハウジング 51の第 2の外周壁 512の内周面と当接するように、第 1のハウ ジング 51を第 2のハウジング 52の一面上に導く。
[0155] ガイド部 522の外周面には環状の溝部 522mが形成されている。磁歪式荷重セン サ 100aの組立て時には、溝部 522mに Oリング 03が取り付けられ、第 1のハウジン グ 51と第 2のハウジング 52とが嵌合される。これにより、ハウジング 50の密閉性が向 上する。
[0156] さらに、第 1のハウジング 51および第 2のハウジング 52の製造時においては、第 1 のハウジング 51および第 2のハウジング 52の嵌合部に誤差が生じる場合がある。そ の場合でも、第 1のハウジング 51および第 2のハウジング 52は、 Oリング 02により誤 差の影響が吸収されつつ嵌合される。その結果、第 1のハウジング 51および第 2のハ ウジング 52の形状および寸法精度が緩和される。
[0157] ハウジング 50内における磁気通路形成部材 20の支持状態を説明する。
[0158] 第 1の外周壁 511の一端面に、環状の溝部 511mが形成されている。磁歪式荷重 センサ 100aの組立て時には、溝部 511mに Oリング 02が取り付けられる。この状態 で、コイル 10および磁気通路形成部材 20が第 1のハウジング 51内に挿入される。
[0159] ここで、 Oリング 02の断面の直径は溝部 511mの深さよりも大きい。それにより、第 1 のハウジング 51内に磁気通路形成部材 20が挿入される際には、磁気通路形成部材 20の第 2のケーシング部材 22の一面が Oリング 02と接触する。
[0160] この状態で、第 1のハウジング 51と第 2のハウジング 52とが嵌合されることにより、第 2のケーシング部材 22の他面が第 2のハウジング 52のガイド部 522の端面と当接す る。
[0161] これにより、第 2のケーシング部材 22は、弾性力を有する Oリング 02およびガイド部 522により挟まれることにより支持されている。第 1のハウジング 51および第 2のケー シング部材 22の製造時においては、第 1のハウジング 51および第 2のケーシング部 材 22の形状および寸法に誤差が生じる場合がある。その場合でも、第 2のケーシン グ部材 22は、 Oリング 02により誤差の影響が吸収されつつハウジング 50内で支持さ れる。
[0162] その結果、第 1のハウジング 51および第 2のケーシング部材 22の形状および寸法 精度が緩和される。この状態において、第 2のケーシング部材 22の一面と、第 1の外 周壁 511の端面との間の隙間 G3は、例えば約 0. 2mmである。
[0163] このように、磁気通路形成部材 20は、ハウジング 50内で Oリング 02により弹性的に 支持される。これにより、磁歪式荷重センサ 100aに振動または衝撃が加えられた場 合でも、磁気通路形成部材 20に発生する振動または衝撃が Oリング 02により吸収さ れる。それにより、磁歪式荷重センサ 100aの出力変化が棒状部材 30に発生する振 動または衝撃の影響によりばらつくことが十分に防止される。
[0164] (4 c) 棒状部材の位置ずれの防止
磁歪式荷重センサ 100aの内部に振動または衝撃が発生する際には、磁気通路形 成部材 20と棒状部材 30との位置関係にずれが生じる場合がある。また、磁歪式荷 重センサ 100aの中心軸に対して傾斜した方向に荷重が加わる際にも、磁気通路形 成部材 20と棒状部材 30との位置関係にずれが生じる場合がある。このような場合で も、上記のように、磁気通路形成部材 20および棒状部材 30はともに、ハウジング 50 内で弹性的に支持されているので、そのずれ量に応じてセンサ構成部のインピーダ ンスが変化する。
[0165] 図 5は、図 3の棒状部材 30と磁気通路形成部材 20との位置関係に応じて変化する センサ構成部のインピーダンスを説明するための図である。図 5 (a)に、図 3の棒状部 材 30の一端部 30a周辺の拡大図が示されて 、る。
[0166] 図 5 (a)に示すように、初めに棒状部材 30の中心軸が第 2のケーシング部材 22の 開口 22hの中心に位置するように、棒状部材 30を磁気通路形成部材 20内に配置す る。この場合、開口 22hにスぺーサ SPが設けられていないと、棒状部材 30は、その 外周面と開口 22hの内周面との間の間隔 W分のずれが許容される。
[0167] これに対して、開口 22hにスぺーサ SPが設けられて!/、ると、棒状部材 30は、その 外周面とスぺーサ SPの内周面との間の間隔 V分のずれが許容される。
[0168] 間隔 Vは、スぺーサ SPの厚み分間隔 Wよりも小さい。それにより、スぺーサ SPは磁 気通路形成部材 20と棒状部材 30との位置関係のずれ量を小さく制限している。
[0169] 図 5 (b)に、磁気通路形成部材 20に対する棒状部材 30の中心軸の位置と、センサ 構成部のインピーダンスとの関係が示されている。図 5 (b)において、縦軸はセンサ 構成部のインピーダンスを示し、横軸は開口 22h内における棒状部材 30の中心軸の 位置を示す。なお、横軸において、符号 Xは開口 22hの中心を示している。
[0170] 図 5 (b)に示すように、センサ構成部のインピーダンスは、棒状部材 30の中心軸が 開口 22hの中心 Xに位置する際に最小となる。そして、センサ構成部のインピーダン スは、棒状部材 30の中心軸が開口 22hの中心 X力 離れるにつれて 2次関数的に 増加する。
[0171] 本具体例に係る磁歪式荷重センサ 100aにおいては、上述のように、スぺーサ SP が磁気通路形成部材 20と棒状部材 30との位置関係のずれ量を小さく制限している 。これにより、磁気通路形成部材 20と棒状部材 30との位置関係のずれに起因するセ ンサ構成部のインピーダンスの変化が十分に低減される。それにより、磁歪式荷重セ ンサ 100aの出力の安定性が向上されている。
[0172] なお、スぺーサ SPは必ずしも設けられる必要はない。スぺーサ SPが設けられない 場合であっても、ハウジング 50内の各構成部材間の隙間を以下のように設定するこ とにより、上記と同様の効果を得ることができる。
[0173] 図 4に示すように、軸部 41bの外周面と開口 51hの内周面との間の隙間 G1と、軸部 41aの外周面と開口 52hの内周面との間の隙間 G2とを同じ幅に設定する。また、棒 状部材 30の外周面と開口 21hの内周面との間の隙間 G4と、棒状部材 30の外周面 と開口 22hの内周面との間の隙間 G5とを同じ幅に設定する。さらに、隙間 Gl, G2の 幅が隙間 G4, G5の幅以下となるように設定する。
[0174] 上記の隙間 Gl, G2は、それらの隙間内で棒状部材 30を支持する荷重伝達部材 4 Oa, 40bが磁歪式荷重センサ 100aの中心軸に交差する方向へ移動することを許容 する。また、隙間 G4, G5は、それらの隙間内で棒状部材 30が磁歪式荷重センサ 10 Oaの中心軸に交差する方向へ移動することを許容する。 [0175] ここで、ハウジング 50内において、隙間 G4, G5は、隙間 Gl , G2の内側に位置す る。これにより、棒状部材 30は荷重伝達部材 40a, 40bにより支持されているので、 隙間 Gl , G2, G3, G4が上記の関係を満たす場合、棒状部材 30が許容される移動 量は隙間 Gl , G2により制限される。
[0176] したがって、この場合、ハウジング 50内で許容される棒状部材 30の移動量を予め 考慮して隙間 Gl , G2の幅を設定することにより、棒状部材 30の位置ずれに起因す る磁歪式荷重センサ 100aの出力の変動を低減することができる。
[0177] この場合、棒状部材 30の位置ずれを低減するために、部品点数を増加すること、 磁歪式荷重センサ 100aの重量を増加させること、および磁歪式荷重センサ 100aを 大型化することが不要である。それにより、磁歪式荷重センサ 100aの小型化、軽量 化および低コストィ匕が実現される。
[0178] (4 - d) 磁気通路形成部材から突出する棒状部材の長さ
図 6は、磁気通路形成部材 20の開口 22hから突出する棒状部材 30の部分を説明 するための図である。図 6では、スぺーサ SPは省略する。
[0179] 上述のように、本具体例において、棒状部材 30の一端部 30aは棒状部材 30の直 径以上の長さ分開口 22hから突出している。これは、以下の理由による。
[0180] 図 6に示すように、荷重伝達部材 40a (図 3)に荷重が加えられることにより、棒状部 材 30の両端部に局部的に応力が集中する場合がある (矢印 p参照)。
[0181] 棒状部材 30の一端部 30aにおいて、局部的に集中して作用する応力は、棒状部 材 30の中心軸に平行な軸を中心として両側に約 45° の範囲に広がって伝播する。
[0182] 本具体例では、棒状部材 30の一端部 30aが、棒状部材 30の直径 a以上の長さ /3 突出している。これにより、棒状部材 30の一端部 30aの縁部に局部的に集中して応 力が作用する場合でも、その応力は棒状部材 30の突出部内で断面の全域に広がる
[0183] それにより、第 2のケーシング部材 22の内側の棒状部材 30の部分、すなわち図 3 の磁気通路形成部材 20に覆われる棒状部材 30の部分においては、棒状部材 30に 作用する応力が棒状部材 30の全体に渡って広がる。したがって、棒状部材 30の応 力分布がほぼ均一となっている。 [0184] これにより、磁気通路形成部材 20内のコイル 10が、棒状部材 30の不均一な応力 分布の影響を受けることが防止される。その結果、磁歪式荷重センサ 100の出力が 棒状部材 Cに発生する応力集中部の影響を受けることが防止されるので、磁歪式荷 重センサ 100の出力が安定する。
[0185] 図 6では図示しないが、上記と同じ理由で、棒状部材 30の他端部 30bも棒状部材 3 0の直径以上の長さ分開口 21hから突出している。それにより、磁歪式荷重センサ 10 0の出力が棒状部材 Cに発生する応力集中部の影響を受けることが防止されるので 、磁歪式荷重センサ 100の出力が十分に安定する。
[0186] なお、本具体例では、棒状部材 30が円柱形状を有するとしているが、棒状部材 30 は多角柱形状を有してもよい。この場合、棒状部材 30の両端部は、当該多角形の外 接円の直径以上の長さ分、磁気通路形成部材 20から突出することが好ましい。
[0187] (4-e) 磁歪式荷重センサの実験
本発明者は、以下に説明する実施例および比較例の磁歪式荷重センサの中心軸 に対して傾斜した方向力 荷重が加えられた場合における磁歪式荷重センサの出力 特性にっ 、て調査するために実験を行った。
[0188] 以下の説明にお 、て、傾斜角度とは、実施例および比較例の磁歪式荷重センサの 中心軸に対する角度をいう。
[0189] 本発明者は図 3に示す構造を有する実施例の磁歪式荷重センサ 100aを作製した 。そこで、磁歪式荷重センサ 100aの荷重伝達部材 40bに種々の傾斜角度で所定の 荷重を加え、傾斜角度が 0° である場合の磁歪式荷重センサ 100aの感度に対する 相対感度を測定した。
[0190] ここで、感度とは、磁歪式荷重センサ 100aに所定の荷重が加えられた場合のセン サ構成部のインピーダンスの変化量 (インピーダンス変化量 Δ Z)を、磁歪式荷重セ ンサ 100aに荷重が加えられな 、場合のセンサ構成部のインピーダンス (初期インピ 一ダンス Z )で除算することにより得られる。
0
[0191] また、相対感度とは、「0° の傾斜角度で所定の荷重を加えた場合の磁歪式荷重セ ンサ 100aの感度」に対する「任意の傾斜角度で所定の荷重を加えた場合の磁歪式 荷重センサ 100aの感度」の比率をいう。 [0192] 図 7 (a)に、実施例の磁歪式荷重センサ 100aを用いた場合の傾斜角度と相対感度 との関係が示されている。縦軸は相対感度を示し、横軸は傾斜角度を示す。
[0193] 図 7 (a)に示すように、実施例の磁歪式荷重センサ 100aは、傾斜角度が 0° 力も 3 0° に変化する場合であっても、約 6%し力 4目対感度が変化しな力つた。約 6%の相 対感度の変化は実用上問題がない。そのため、実施例の磁歪式荷重センサ 100aで は、出力が安定し、歩留まりの向上およびコストの低減が可能となることがわ力つた。
[0194] 一方、本発明者は比較例の磁歪式荷重センサを作製し、実施例の磁歪式荷重セ ンサ 100aとほぼ同じ実験を行った。実験に用いた比較例の磁歪式荷重センサは、 図 3の磁気通路形成部材 20の第 2のケーシング部材 22に開口 22hを有さず、第 2の ケーシング部材 22が棒状部材 30の一端部 30aを支持する構成を有する。比較例の 磁歪式荷重センサの他の部分の構成は、図 3の磁歪式荷重センサと同様である。
[0195] 図 7 (b)に、比較例の磁歪式荷重センサを用いた場合の傾斜角度と相対感度との 関係が示されている。縦軸は相対感度を示し、横軸は傾斜角度を示す。
[0196] 図 7 (b)に示すように、比較例の磁歪式荷重センサは、傾斜角度が 0° 力 3° に 変化するだけで、約 30%の相対感度が変化した。
[0197] 上記より、実施例の磁歪式荷重センサ 100aは、比較例の磁歪式荷重センサに比 ベて傾斜角度による影響を受けにくいことが明らかとなった。
[0198] (5) 磁歪式荷重センサの第 2の具体例
第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の第 2の具体例を説明する。第 2の 具体例に係る磁歪式荷重センサは、以下の点で第 1の具体例に係る磁歪式荷重セ ンサ 100aと構成が異なる。
[0199] 図 8は、第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の第 2の具体例を示す断 面図である。
[0200] 第 2の具体例に係る磁歪式荷重センサ 100bにおいて、第 1のハウジング 51には、 図 4の溝部 51mが形成されない代わりに、第 1のハウジング 51の一端面の内側に環 状の溝部 5 Inが形成されている。また、第 2のハウジング 52には、図 4の溝部 52mが 形成されない代わりに、円盤部 521の一面側に環状の溝部 52ηが形成されている。
[0201] 磁歪式荷重センサ 100bの組立て時には、溝部 51ηに Oリング 05が取り付けられる 。ここで、 Oリング 05の断面の直径は溝部 51nの深さよりも大きい。それにより、第 1の ハウジング 51内に、コイル 10、磁気通路形成部材 20、棒状部材 30および荷重伝達 部材 40a, 40bからなる集合体が挿入される際には、荷重伝達部材 40bのフランジ部 42bの一面力 Oリング 05と接触する。
[0202] また、磁歪式荷重センサ 100bの組立て時には、溝部 52ηに Oリング 06が取り付け られる。ここで、 Οリング 06の断面の直径は溝部 52ηの深さよりも大きい。それにより、 第 1のハウジング 51と第 2のハウジング 52とを嵌合する際には、荷重伝達部材 40aの フランジ部 42aの一面力 Oリング 06と接触する。
[0203] これにより、作製された磁歪式荷重センサ 100bの内部では、棒状部材 30の他端 部 30bを支持する荷重伝達部材 40bが弾性力を有する Oリング 05により支持される 。また、棒状部材 30の一端部 30aを支持する荷重伝達部材 40aが弾性力を有する O リング 06により支持される。
[0204] この状態で、 Oリング 05は、荷重伝達部材 40bを棒状部材 30の中心に向力 方向 に付勢する。また、 Oリング 06も、荷重伝達部材 40aを棒状部材 30の中心に向かう 方向に付勢する。
[0205] それにより、棒状部材 30は、その軸方向に Oリング 05, 06の弾性力が加えられた 状態で支持されている。したがって、磁歪式荷重センサ 100bに振動または衝撃が加 えられた場合でも、棒状部材 30の軸方向のがたつきが防止され、棒状部材 30の破 損が防止される。
[0206] また、棒状部材 30の位置ずれも防止される。これにより、棒状部材 30の位置ずれ に起因するセンサ構成部のインピーダンスの変化が十分に低減される。それにより、 磁歪式荷重センサ 100bの出力の安定性が向上されて 、る。
[0207] さらに、棒状部材 30、ハウジング 50および荷重伝達部材 40a, 40bの製造時にお いて、各部材の形状および寸法に誤差が生じた場合でも、棒状部材 30および荷重 伝達部材 40a, 40bは、 Oリング 05, 06により誤差の影響が吸収されつつハウジン グ 50内で支持される。したがって、棒状部材 30、ハウジング 50および荷重伝達部材 40a, 40bの形状および寸法精度が緩和される。
[0208] (6) 磁歪式荷重センサの第 3の具体例 第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の第 3の具体例を説明する。第 3の 具体例に係る磁歪式荷重センサは、以下の点で第 2の具体例に係る磁歪式荷重セ ンサ 100bと構成が異なる。
[0209] 図 9は、第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の第 3の具体例を示す断 面図である。
[0210] 第 3の具体例に係る磁歪式荷重センサ 100cにおいて、第 1のハウジング 51の第 2 の外周壁 512は図 8の第 2の具体例の第 2の外周壁 512に比べて十分に厚く形成さ れている。
[0211] そして、第 1の外周壁 511の一端面に図 8の溝部 511mが形成されない代わりに、 第 2の外周壁 512の一端面に、環状の溝部 512mが形成されている。
[0212] 磁歪式荷重センサ 100cの組立て時には、溝部 512mに Oリング 07が取り付けられ る。ここで、 Oリング 07の断面の直径は溝部 512mの深さよりも大きい。それにより、 第 1のハウジング 51と第 2のハウジング 52とが嵌合する際には、第 2のハウジング 52 の円盤部 521の一面が Oリング 07と接触する。
[0213] これにより、第 1のハウジング 51と第 2のハウジング 52との間の位置ずれがさらに防 止される。また、ハウジング 50の密閉性がより向上する。
[0214] また、第 1のハウジング 51および第 2のハウジング 52の製造時において、第 1のハ ウジング 51および第 2のハウジング 52の嵌合部に誤差が生じる場合がある。そのよう な場合でも、第 1のハウジング 51および第 2のハウジング 52は、 Oリング 03により誤 差の影響が吸収されつつ嵌合される。その結果、第 1のハウジング 51および第 2のハ ウジング 52の形状および寸法精度が緩和される。
[0215] 図 9に示すように、本具体例に係る磁歪式荷重センサ 100cでは、第 1のハウジング 51の第 1の外周壁 511の一端面に Oリングが設けられない。したがって、第 2のケー シング部材 22は、第 1の外周壁 511の一端面および第 2のハウジング 52のガイド部 5 22により支持されている。
[0216] この場合、磁気通路形成部材 20をハウジング 50内で強固に固定することができる 。したがって、ハウジング 50内に振動および衝撃が発生しない環境で磁歪式荷重セ ンサ 100cを用いる場合には、ハウジング 50内で磁気通路形成部材 20を精度よく配 置することができるので、磁歪式荷重センサ 100cの測定精度が向上する。
[0217] (7) 磁歪式荷重センサの第 4の具体例
第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の第 4の具体例を説明する。第 4の 具体例に係る磁歪式荷重センサは、以下の点で第 3の具体例に係る磁歪式荷重セ ンサ 100cと構成が異なる。
[0218] 図 10は、第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の第 4の具体例を示す断 面図である。
[0219] 第 4の具体例に係る磁歪式荷重センサ 100dにおいて、第 1のハウジング 51の第 2 の外周壁 512は第 3の具体例と同様に、第 2の具体例の第 2の外周壁 512に比べて 十分に厚く形成されている。また、第 1の外周壁 511および第 2の外周壁 512は、互 V、の内周面が面一となるように形成されて!、る。
[0220] さらに、第 1の外周壁 511の内周面には環状の溝部 51 lkが形成され、第 2の外周 壁 512の内周面には環状の溝部 512kが形成されている。
[0221] 第 1のハウジング 51への磁気通路形成部材 20の挿入時には、溝部 511k, 512k にそれぞれ Oリング 08, 09が取り付けられる。 Oリング 08, 09は、それぞれの断面 の直径が溝部 511k, 512kの深さよりも大きい。これにより、 Oリング 08, 09は、第 1 のハウジング 51の内周面力もその内側に突出する。
[0222] 磁気通路形成部材 20の第 2のケーシング部材 22は、第 1のケーシング部材 21の 一端面と同じ形状となるように形成されている。したがって、磁気通路形成部材 20は 、その外周面が面一となつている。
[0223] 磁気通路形成部材 20が第 1のハウジング 51内に挿入されると、磁気通路形成部材 20の外周面が Oリング 08, 09に接触する。それにより、磁気通路形成部材 20がハ ウジング 50内で支持される。
[0224] このように、本具体例に係る磁歪式荷重センサ 100dにおいては、 Oリング 08, 09 により磁気通路形成部材 20が支持される。これにより、ハウジング 50内で磁気通路 形成部材 20を支持するために、第 2のケーシング部材 22の外径を大きく形成し、第 1のハウジング 51と第 2のハウジング 52との間で第 2のケーシング部材 22の周縁部を 挟み込む構造が不要である。 [0225] それにより、第 2のハウジング 52に図 9のガイド部 522を設ける必要がなぐ第 1のハ ウジング 51の第 1の外周壁 511と第 2の外周壁 512との間で内周面に段差を設ける 必要もない。したがって、磁歪式荷重センサ lOOdの外径を小さくすることができる。 その結果、磁歪式荷重センサ lOOdが小型化される。
[0226] また、第 1のハウジング 51および磁気通路形成部材 20の製造時において、第 1の ハウジング 51の内周面および磁気通路形成部材 20の外周面の形状および寸法に 誤差が生じた場合でも、磁気通路形成部材 20は、 Oリング 08, 09により誤差の影響 が吸収されつつ第 1のハウジング 51内で支持される。その結果、第 1のハウジング 51 および磁気通路形成部材 20の形状および寸法精度が緩和される。
[0227] (8) 磁歪式荷重センサの第 5の具体例
第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の第 5の具体例を説明する。第 5の 具体例に係る磁歪式荷重センサは、以下の点で第 1の具体例に係る磁歪式荷重セ ンサ 100aと構成が異なる。
[0228] 図 11は、第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の第 5の具体例を示す断 面図である。
[0229] 第 5の具体例に係る磁歪式荷重センサ 100eには、図 3の荷重伝達部材 40a, 40b に代えて、荷重伝達部材 40a, 40bと形状が異なる荷重伝達部材 400a, 400bが設 けられている。
[0230] 荷重伝達部材 400a, 400bは、それぞれ円柱形状を有する。また、荷重伝達部材 400a, 400bの一端面の中央に ίま、それぞれ円形の 咅 443a, 443b力 S形成されて いる。
[0231] 荷重伝達部材 400aの凹部 443aに棒状部材 30の一端部 30aが挿入され、荷重伝 達部材 400aと棒状部材 30とが接合される。荷重伝達部材 400aと棒状部材 30との 接合は、ねじ込み、圧入、接着、溶接またはろう付け等により行われる。
[0232] 一方、荷重伝達部材 400bの凹部 443bに棒状部材 30の他端部 30bが挿入され、 荷重伝達部材 400bと棒状部材 30とが接合される。荷重伝達部材 400bと棒状部材 30との接合も、ねじ込み、圧入、接着、溶接またはろう付け等により行われる。
[0233] 荷重伝達部材 400a, 400bがハウジング 50内で棒状部材 30を支持する。この状 態で、荷重伝達部材 400a, 400bの各々は開口 52h, 51hに位置し、 Oリング 04, O 1の弾性力により支持される。
[0234] 荷重伝達部材 400a, 400bの各々には、棒状部材 30の軸上で磁歪式荷重センサ 100eの外方へ延びるように荷重伝達軸 410a, 410bがー体形成されている。さらに 、荷重伝達軸 410a, 410bの各々の端部には、環状部材 41 la, 41 lbがー体形成さ れている。
[0235] ここで、棒状部材 30の透磁率は、棒状部材 30に圧縮力が作用する場合のみなら ず、引っ張り力が作用する場合にも変化する。したがって、センサ構成部のインピー ダンスは、棒状部材 30に作用する圧縮力および引っ張り力に応じて変化する。
[0236] 上記構成を有する磁歪式荷重センサ 100eによれば、棒状部材 30と荷重伝達部材 400a, 400bと力 S接合されているので、棒状部材 30の軸上で 2つの環状部材 41 la, 411bの間に圧縮力が加わることにより当該圧縮力を検出することができる(図 11矢 印 J1参照)。また、棒状部材 30の軸上で 2つの環状部材 41 la, 411bの間に引っ張 り力が加わることにより当該引っ張り力を検出することができる(図 11矢印 J2参照)。
[0237] [2] 第 2の実施の形態
(1) 磁歪式荷重センサの基本構成
第 2の実施の形態に係る磁歪式荷重センサは、以下の点で第 1の実施の形態に係 る磁歪式荷重センサ 100と構成が異なる。
[0238] 図 12は、第 2の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの基本構成を説明するための 図である。
[0239] 図 12に示すように、第 2の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 200は、台座 CB上 に設けられ、第 1の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100の構成に加えて 2つの アーム Ga, Gbおよび回転軸 Hを備える。
[0240] 台座 CB上には、ハウジング Eと回転軸 Hと力 所定の間隔で配置されている。
[0241] 2つのアーム Ga, Gbは、略 U字形状をなすように互いに連結され、連結部で回転 軸 Hにより台座 CB上に回転可能に支持されている。 2つのアーム Ga, Gbのそれぞ れの端部には、荷重印加部材 Fa, Fbが取り付けられている。
[0242] 荷重印加部材 Fa, Fbは、アーム Ga, Gbが回転軸 Hを中心に回転することにより、 ハウジング Eにより支持される荷重伝達部材 Da, Dbに当接する。
[0243] 図 12に示すように、アーム Ga, Gbが矢印 qlの方向に回転する場合には、アーム G aに取り付けられた荷重印加部材 Faが荷重伝達部材 Daに当接する。それにより、荷 重伝達部材 Daに対して矢印 q2の方向に荷重をカ卩えることができる。
[0244] また、アーム Ga, Gbが矢印 rlの方向に回転する場合には、アーム Gbに取り付けら れた荷重印加部材 Fbが荷重伝達部材 Dbに当接する。それにより、荷重伝達部材 D bに対して矢印 r2の方向に荷重をカ卩えることができる。
[0245] なお、図 12に示すように、本実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 200では、ハウ ジング Eの両端面力 棒状部材 Cの軸方向に垂直な方向に延びる 2つの延長部分 E a, Ebが設けられている。
[0246] 延長部分 Ea, Eb間に、図示しない発振回路、電流検出器、整流回路、増幅回路 および CPU等の周辺回路 (荷重検出回路)を備える基板 SUが設けられている。基 板 SUには、コイル Aから引き出されたリード線 Rが接続される。また、基板 SUはケー ブル Lを介して図示しな 、外部機器等に接続されて 、る。
[0247] (2) 第 2の実施の形態に係る磁歪式荷重センサによる効果
上記のように、磁歪式荷重センサ 200においては、 2つの荷重印加部材 Fa, Fbが
、それぞれ回転軸 Hを中心に回転することにより、ハウジング Eの両端で支持される 荷重伝達部材 Da, Dbに荷重が加えられる。
[0248] したがって、荷重伝達部材 Da, Dbに加えられる荷重の方向および位置が対称とな り、棒状部材 Cの一端に荷重が加えられる場合と、棒状部材 Cの他端に荷重が加え られる場合とで、荷重が対称的な経路で棒状部材 Cに伝達される。その結果、 2つの 方向から加えられる荷重を同じ精度で検出することができる。
[0249] (3) 磁歪式荷重センサの具体例
第 2の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 200の具体例を説明する。
[0250] 図 13は、第 2の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 200の具体例を示す上面図 である。図 13に示すように、本具体例に係る磁歪式荷重センサ 200aは、第 1の実施 の形態において説明した図 3の磁歪式荷重センサ 100aを含むとともに、アーム 920a
, 920bおよび回転軸 910を含む。 [0251] 本具体例において、図 13の磁歪式荷重センサ 100aは図 12の磁歪式荷重センサ 100に相当する。また、アーム 920a, 920bおよび回転軸 910はそれぞれ上述のァ ーム Ga, Gbおよび回転軸 Hに相当する。
[0252] 図 13に示すように、本具体例に係る磁歪式荷重センサ 200aは、台座 990上に設 けられる。
[0253] 台座 990上には、図 3の磁歪式荷重センサ 100aと回転軸 910と力 所定の間隔で 配置されている。
[0254] 2つのアーム 920a, 920bは、略 U字形状をなすように互いに連結され、連結部で 回転軸 910により台座 990上に回転可能に支持されている。
[0255] 2つのアーム 920a, 920bには、板ばね支持部材 921a, 921bがそれぞれ設けら れている。アーム 920aの内側には、所定の間隔で 2つの荷重制限部材 922a, 923a が設けられている。アーム 920bの内側にも、所定の間隔で 2つの荷重制限部材 922 b, 923b力設けられている。
[0256] 板ばね支持部材 921a, 921bに、長手形状を有する板ばね 930a, 930bの一端が
、例えばボルトを用いることによりそれぞれ取り付けられている。
[0257] 支持部材 921a, 921bに取り付けられた板ばね 930a, 930bの他端は、アーム 92
Oa, 920bの端咅に向力つて延びて!/、る。
[0258] 板ばね 930a, 930bの中央部より他端に近い部分に突起部 93 la, 93 lbが形成さ れている。
[0259] 板ばね 930aの突起部 93 laは、 2つの荷重制限部材 922a, 923aの間に位置し、 アーム 920aの内側に向かって突出している。この状態で、板ばね 930aはアーム 92 Oaの内側に向かって付勢されている。
[0260] 板ばね 930bの突起部 931bは、 2つの荷重制限部材 922b, 923bの間に位置し、 アーム 920bの内側に向かって突出している。この状態で、板ばね 930bはアーム 92 Obの内側に向かって付勢されている。
[0261] 本具体例では、板ばね 930a, 930bの突起部 931a, 931b力 図 12の荷重印加 部材 Fa, Fbに相当する。したがって、図 13に示すように、突起部 931a, 931bは、ァ ーム 920a, 920bが回転することにより磁歪式荷重センサ 100aの荷重伝達部材 40a , 40bに当接する。これにより、アーム 920a, 920bに作用する荷重力 荷重伝達部 材 40a, 40bにカロえられる。
[0262] この場合、図 13の矢印 Yで示すように、板ばね 930a, 930bは弾性変形する。
[0263] ここで、例えばアーム 920bに作用する荷重が板ばね 930bの弾性力よりも大きい場 合には、突起部 931bと荷重伝達部材 40bとが当接した状態で、板ばね 930bがァー ム 920bの外側に向かって押し戻される。
[0264] そして、アーム 920bの内側に設けられた荷重制限部材 922b, 923bが図 3のハウ ジング 50の一端面に当接する。これにより、アーム 920bに作用する荷重力 荷重制 限部材 922b, 923bとハウジング 50の一端面との当接部に作用する。
[0265] その結果、荷重伝達部材 40bに板ばね 930bの弾性力よりも大きい荷重が加えられ ることが防止されるので、過大な荷重が加えられることにより図 3の棒状部材 30が破 損および劣化することが防止される。
[0266] 上記では、アーム 920bに設けられる板ばね 930bおよび荷重制限部材 922b, 92
3bの機能について説明した力 アーム 920aに設けられる板ばね 930aおよび荷重 制限部材 922a, 923aも同様の機能を有する。
[0267] したがって、本具体例に係る磁歪式荷重センサ 200aは、耐久性が向上し、長寿命 化が実現されている。
[0268] [3] 第 3の実施の形態
(1) 磁歪式荷重センサの基本構成
第 3の実施の形態に係る磁歪式荷重センサは、以下の点で第 1の実施の形態に係 る磁歪式荷重センサ 100と構成が異なる。
[0269] 図 14は、第 3の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの基本構成を説明するための 図である。
[0270] 図 14に示すように、第 3の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 300には、 1つの荷 重伝達部材 Dおよび 1つの荷重印加部材 Fのみが設けられる。
[0271] これにより、棒状部材 Cは、その一端部がハウジング Eの一端面により支持され、他 端部が荷重伝達部材 Dにより支持されている。そして、荷重伝達部材 Dに対して当接 可能に荷重印加部材 Fが配置されて 、る。 [0272] 上記構成により、第 3の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 300は、棒状部材じの 一端側から加えられる荷重のみを検出することができる。これにより、棒状部材 Cの他 端側に荷重を加えるための構成が不要となる。その結果、棒状部材 Cの軸方向にお ける大きさを小さくできるとともに、構成が単純化し、低コストィ匕が実現される。また、一 方向からの荷重のみを検出した 、場合に、設置スペースが低減される。
[0273] 本実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 300においても、棒状部材 Cの両端部が磁 気通路形成部材 Bの外部に突出している。換言すれば、磁歪式荷重センサ 300の動 作時にお 1ヽて、棒状部材 Cの両端部は磁気通路形成部材 Bにより形成される磁気通 路の外側に位置する。
[0274] その結果、磁歪式荷重センサ 300の出力が棒状部材 Cの両端部に発生する応力 集中部の影響を受けることが防止されるので、磁歪式荷重センサ 300の出力が安定 する。
[0275] (2) 磁歪式荷重センサの具体例
第 3の実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 300の具体例を説明する。
[0276] 本具体例に係る磁歪式荷重センサは、以下の点で第 1の実施の形態において説 明した図 3および図 4の磁歪式荷重センサ 100aと構成が異なる。
[0277] 図 15は、第 3の実施の形態に係る磁歪式荷重センサの具体例を示す断面図であ る。図 15に示すように、本具体例に係る磁歪式荷重センサ 300aには、図 3の荷重伝 達部材 40aが設けられて!/、な!/、。
[0278] また、ハウジング 50を構成する第 2のハウジング 52の中央部には、開口 52hが形成 される代わりに、その一面側に円形の凹部 52Jが形成されている。
[0279] これにより、磁歪式荷重センサ 300aの組立て時には棒状部材 30の一端部 30aが 第 2のハウジング 52の凹部 52Jに挿入される。それにより、棒状部材 30は、その一端 部 30aが第 2のハウジング 52の凹部 52Jにより支持され、他端部 30bが荷重伝達部 材 40bにより支持される。
[0280] その結果、磁歪式荷重センサ 300aは、ハウジング 50から突出する荷重伝達部材 4
Obの部分に荷重が加えられる場合にのみ、当該荷重を検出することができる。
[0281] 本具体例に係る磁歪式荷重センサ 300aにおいても、図 3の磁歪式荷重センサ 100 aとほぼ同様の効果が得られる。
[0282] [4] 荷重検出回路の構成
図 16は、上記実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100を用 ヽた荷重検出回路の 概略構成を示すブロック図である。なお、磁歪式荷重センサ 100としては、磁歪式荷 重センサ 100a〜100eのいずれかを用いることができる。
[0283] 荷重検出回路 600は、発振回路 610、磁歪式荷重センサ 100、温度補償抵抗回路
620,電流検出器 630A, 630B,整流回路 650A, 650B,および増幅回路 670を 含む。
[0284] 発振回路 610は、発振信号を磁歪式荷重センサ 100のコイルの一端および温度補 償抵抗回路 620の一端に与える。磁歪式荷重センサ 100は、外部からの荷重を検出 する。電流検出器 630Aは、磁歪式荷重センサ 100のコイルの他端力も供給される 電流を電圧に変換する。電流検出器 630Bは、温度補償抵抗回路 620の他端から 供給される電流を電圧に変換する。整流回路 650Aは、電流検出器 630Aから出力 される電圧を整流および平滑化する。整流回路 650Bは、電流検出器 630Bから出 力される電圧を整流および平滑化する。増幅回路 670は、整流回路 650Aの出力電 圧と整流回路 650Bの出力電圧との差分を増幅する。
[0285] 上述のように、図 1の荷重伝達部材 Daにカ卩えられる荷重が棒状部材 Cの一端に伝 達され、棒状部材 Cに圧縮力が作用する。それにより、逆磁歪効果により棒状部材 C の透磁率が変化し、コイル A、磁気通路形成部材 Bおよび棒状部材 C力 なるセンサ 構成部のインピーダンスが変化する。このインピーダンス変化に対応する出力信号が 増幅回路 670により得られる。このようにして、荷重を電磁気的に検出することができ る。
[0286] 荷重検出回路 600の増幅回路 670の出力信号は制御部 680に与えられる。制御 部 680は CPU (中央演算処理装置)および RAM (ランダムアクセスメモリ)等からなる 。 CPUは、 RAMに格納された制御プログラムに従って動作する。この制御部 680は 、増幅回路 670の出力信号に所定の演算を行い、演算結果に基づく制御信号をァク チユエータ 690に与える。ァクチユエータ 690は、制御信号に応答して駆動力を発生 する。 [0287] なお、磁歪式荷重センサ 100の代わりに磁歪式荷重センサ 200 (200a) , 300 (30 Oa)を用いてもよい。
[0288] [5] 磁歪式荷重センサを用いた滑走艇
図 17は図 13の磁歪式荷重センサ 200aを用いた滑走艇の平面図である。図 18は 図 17の滑走艇の制御系を示すブロック図である。
[0289] 図 17に示すように、滑走艇 700は船体 702を含む。船体 702の上部のデッキ 704 には、操船者が跨って着座するシート 706が設けられる。シート 706の左右には操船 者が足を乗せるためのステップ 708が設けられる。シート 706の前方には操船者が把 持する操舵ノヽンドル 710が設けられる。船体 702内にはウォータージェット推進装置 712が搭載される。
[0290] ウォータージェット推進装置 712は、エンジン 714およびジェットポンプ 716を含み、 ジェットポンプ 716の後端部にノズルディフレクタ 718が設けられる。このウォータージ エツト推進装置 712は、水をエンジン 714の動力によって船体 702の底から吸い上げ 、ジェットポンプ 716の後端部のノズルディフレクタ 718から後方に噴出させることによ り推力を得る。
[0291] ノズルディフレクタ 718は、ジェットポンプ 716の後端部に左右方向に揺動自在に 支持され、図示しな!ヽプッシュ ·プルワイヤおよびステアリングアームを介して操舵ノヽ ンドル 710の下端部に連結される。
[0292] エンジン 714は多気筒エンジンであり、クランク軸 720の方向が船体 702の前後方 向となるように配置される。船体 702の右側には吸気装置 722が接続され、船体 702 の左側に図示しない排気装置が接続される。吸気装置 722は、エンジン 714の各気 筒に対応して複数の気化器を含み、各気化器から対応する気筒へ燃料が供給され る。各気ィヒ器は図 18に示すスロットル弁 724を含む。なお、各スロットル弁 724は、図 示しな 、復帰用スプリングによって閉じる方向に付勢されて 、る。
[0293] 操舵ハンドル 710は、操船者が把持するハンドルバー 734、ステアリング軸受 738、 回転軸 (ステアリング軸) 910、および台座 (取り付け用プレート) 990を含む。回転軸 910は、ハンドルバー 734の中央部に取り付けられる。ステアリング軸受 738は、回 転軸 910を回動自在に支持する。台座 990は、ステアリング軸受 738をデッキ 704に 固定する。
[0294] 台座 990上には図 13の磁歪式荷重センサ 200aが装着されている。回転軸 910に は、磁歪式荷重センサ 200aのアーム 920a, 920bが取り付けられる。また、ハンドル バー 734および回転軸 910を覆うようにハンドルカバー 742が設けられる。
[0295] 回転軸 910の下端部には、図示しないステアリングアームを介して操舵用のプッシ ュ 'プルワイヤが接続される。ハンドルバー 734を左右に回動させることにより、ステア リングアームが同方向に回動し、プッシュ ·プルワイヤを介してノズルディフレタター 7 18が左方または右方に揺動する。
[0296] ハンドルバー 734には、スロットルレバー 726が設けられる。各スロットル弁 724 (図 18)は互いに連動するように連結されており、スロットル弁 724のうち最も船体 702の 前側に位置するスロットル弁 724が操舵ハンドル 710のスロットルレバー 726にスロッ トルワイヤ 728 (図 18)を介して接続される。スロットルレバー 726を操作することによ つて、すべてのスロットル弁 724が連動して開閉される。
[0297] 図 18に示すように、エンジン 714には、図 17のクランク軸 720の回転数を検出する ためのエンジン回転数センサ 730が設けられる。エンジン回転数センサ 730は、コン トローラ 732にエンジン回転数を示す回転数信号を送出する。
[0298] コントローラ 732には、スロットル操作用サーボモータ 746が接続されるとともに、磁 歪式荷重センサ 100aを含む荷重検出回路 600が接続される。コントローラ 732は、 ノ ッテリー 756により給電される。
[0299] サーボモータ 746は、アーム 748、モータ 750、減速機 752およびフィードバックポ テンショメータ 754により構成される。モータ 750の回転が減速機 752により減速され てアーム 748に伝達される。フィードバックポテンショメータ 754によりアーム 748の実 際の揺動角度が検出される。コントローラ 732は、検出されたアーム 748の揺動角度 が設定されたアーム 748の目標角度と一致するようにモータ 750を制御する。このよ うにして、サーボモータ 746において、アーム 748の角度がフィードバック制御される
[0300] 上述のように、スロットル弁 724は、スロットルワイヤ 728を介してスロットルレバー 72 6に接続される。このスロットルワイヤ 728は図 17の回転軸 910内に揷通される。スロ ットルワイヤ 728は、アウターチューブ 728aおよびインナーワイヤ 728bを含む。ァゥ ターチューブ 728aは、サーボモータ 746のアーム 748に接続され、インナーワイヤ 7 28bはスロットル弁 724に接続される。サーボモータ 746のアーム 748を揺動させるこ とによって、インナーワイヤ 728bを介してスロットル弁 724を開閉することができる。
[0301] コントローラ 732およびスロットル操作用サーボモータ 746により操舵補助装置が構 成される。この操舵補助装置は、低速走行時の操舵性を向上させるために用いられ る。
[0302] コントローラ 732には、荷重検出回路 600から荷重を示す出力信号が与えられる。
コントローラ 732は、出力信号により示される荷重が所定値よりも大き!/、ときにサーボ モータ 746にアーム 748を揺動させるための制御信号を出力する。上記の所定値は 、操船者が図 17の操舵ノヽンドル 710を限度まで回した状態で (最大舵角時に)、さら に通常の操舵時より大きな力をノヽンドルバー 734にカ卩えたときに磁歪式荷重センサ 2 OOaにより検出される荷重に設定されて 、る。
[0303] この操舵補助装置によれば、滑走艇 700が低速で航走している状態で操船者が操 舵ノヽンドル 710を限度まで回し、さらに通常より大きな力で回した場合にコントローラ 732により操舵制御が行われる。
[0304] この場合、コントローラ 732は、磁歪式荷重センサ 100aにより検出された荷重に基 づいてサーボモータ 746のアーム 748の目標角度を設定する。そして、コントローラ 7 32は、フィードバックポテンショメータ 754により検出されたアーム 748の角度がこの 目標角度に一致するようにサーボモータ 746をフィードバック制御する。
[0305] それにより、磁歪式荷重センサ 100aにより検出される荷重 (操船者が操舵ノヽンドル 710に加えた力に相当)に対応する開度でスロットル弁 724が開き、エンジン 714の 出力が制御される。
[0306] 本例では、コントローラ 732力 S図 16の制御部 680に相当し、サーボモータ 746がァ クチユエータ 690に相当する。
[0307] なお、磁歪式荷重センサ 200aに用いられる磁歪式荷重センサ 100aの代わりに磁 センサ 100b, 100c, lOOdを 、てもよ!ヽ。
[0308] [6] 磁歪式荷重センサを用いた電動自転車 図 19は図 15の磁歪式荷重センサ 300aを用いた電動自転車 800の側面図である 。図 20は図 19の電動自転車に用いられるパワーユニットの構成を示す断面図である
[0309] 図 19に示す電動自転車 800は、ハンドル 802、前輪 804、ダウンチューブ 806、シ ートチューブ 808、シート(サドル) 810、後輪 812およびホイールスプロケット 814を 含む。この電動自転車 800の略中央下部にはパワーユニット 816が設けられる。
[0310] パワーユニット 816は、人力による駆動系と電動モータ 818による補助動力系とを 有し、運転者の人力と補助動力とを合成して出力する。パワーユニット 816には、クラ ンク軸 820が回転自在に接続され、クランク軸 820の左右にはクランク 822が取り付 けられて 、る。各クランク 822の端部にはペダル 824が回転自在に取り付けられて!/ヽ る。なお、パワーユニット 816には、コントローラ 826が接続されている。パワーュ-ッ ト 816は、人力によりクランク軸 820に入力されるトルクの大きさに応じて電動モータ 8 18の出力 (補助動力)を制御する。
[0311] また、シート 810の下方でかつシートチューブ 808と後輪 812とで囲まれる空間に は、ノ ッテリボックス 828が着脱可能に装着されている。ノ ッテリボックス 828内には、 シュリンクパックされた複数の単電池で構成される図示しない Ni— Cdバッテリが収納 される。
[0312] 運転者がペダル 824を漕いでクランク軸 820を回転駆動すると、クランク軸 820に 入力されるトルクが図 20に示す磁歪式荷重センサ 300aにより検出される。コントロー ラ 826は、検出されたトルクに応じて電動モータ 818の出力(補助動力)を制御する。
[0313] したがって、人力とこれに比例する補助動力との合力がパワーユニット 816から図 示しな 、チェーンを介してホイールスプロケット 814に伝達され、ホイールスプロケット 814と後輪 812とが回転駆動される。それにより、電動自転車 800は、人力とこれに 比例した補助動力とにより走行する。
[0314] 図 20に示すように、パワーユニット 816はハウジング 830を含む。ハウジング 830内 には、クランク軸 820に接続されるアーム 832および磁歪式荷重センサ 300aが収納 される。また、アーム 832は遊星ギア機構の図示しないリングギアを介してローラ 834 に接続される。ローラ 834が磁歪式荷重センサ 300aの荷重伝達部材 40bに当接す る。
[0315] この電動自転車 800では、遊星ギア機構のリングギアにクランク軸 820から伝達さ れるトルクに比例した反力が発生し、この反力がローラ 834を介して磁歪式荷重セン サ 300aの荷重伝達部材 40bに作用する。磁歪式荷重センサ 300aから出力される電 流は図 16の荷重検出回路 600に与えられる。コントローラ 826は、図 16の荷重検出 回路 600の出力信号に基づいてトルクの大きさを算出し、そのトルクに応じて電動モ ータ 818の出力(補助動力)を制御する。
[0316] このように、磁歪式荷重センサ 300aを用いることによりクランク軸 820に入力される トルクを正確に検出することができる。
[0317] 本例では、コントローラ 826が図 16の制御部 680に相当し、電動モータ 818がァク チユエータ 690に相当する。
[0318] なお、磁歪式荷重センサ 300aの代わりに磁歪式荷重センサ 100a, 100b, 100c, 100dを ヽてちよ!ヽ。
[0319] [7] 他の実施の形態
上記実施の形態に係る磁歪式荷重センサ 100a, 100b, 100c, 100d, lOOe, 20 0a, 300aは、滑走艇および電動自転車に限らず、自動二輪車、水上バイク、電動車 椅子等の輸送機器に適用することができ、あるいは輸送機器に限らず、移動棚等の 種々の移動体にも適用することができる。
[0320] [8] 請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応
上記実施の形態に係る磁歪式荷重センサにおいては、コイル A, 10の貫通孔 Ah, 10hが貫通孔に相当し、コイル A, 10がコイルに相当し、開口 Bha, 21hが第 1の開 口に相当し、開口 Bhb, 22hが第 2の開口に相当する。
[0321] また、磁気通路形成部材 B, 20が磁気通路形成部材に相当し、棒状部材 C, 30が 荷重検出部材に相当し、荷重伝達部材 Da, Db, 40a, 40bが荷重伝達部材または 第 1および第 2の荷重伝達部材に相当し、ハウジング E, 50が支持部材に相当する。
[0322] さらに、スぺーサ SPが間隔形成部材に相当し、 Oリング Ol, 04, 05, 06が弾性 体に相当し、ハウジング E, 50がハウジングに相当し、隙間 G4, G5が第 1の隙間に 相当する。 [0323] また、開口 Eha, Ehb, 51h, 52hが第 3の開口および第 4の開口に相当し、隙間 G 1, G2が第 2の隙間に相当し、凹部 43a, 43bが凹部または第 1および第 2の凹部に 相当し、荷重印加部材 Fa, Fbおよび突起部 931a, 931bが荷重印加部材または第 1および第 2の荷重印加部材に相当する。
[0324] さらに、滑走艇 700が移動体に相当し、船体 702が本体部に相当し、エンジン 714 が駆動部に相当し、コントローラ 732およびサーボモータ 746が制御部に相当する。
[0325] また、電動自転車 800が移動体に相当し、ダウンチューブ 806およびシートチュー ブ 808が本体部に相当し、パワーユニット 816が駆動部に相当し、コントローラ 826が 制御部に相当する。
産業上の利用可能性
[0326] 本発明は、滑走艇、電動自転車、自動二輪車、水上バイク、電動車椅子等の輸送 機器、あるいは移動棚等の種々の移動体における荷重の検出に有効に利用できる。

Claims

請求の範囲
[1] 貫通孔を有するコイルと、
前記貫通孔に挿入された荷重検出部材と、
前記コイルにより発生された磁束が通過する磁気通路を形成する磁気通路形成部 材とを備え、
前記荷重検出部材の両端部は、前記貫通孔に対向する前記磁気通路形成部材の 部分力 それぞれ外側に突出し、
外部から印加される荷重を前記荷重検出部材の少なくとも一端部に伝達する荷重 伝達部材と、
前記磁気通路形成部材および前記荷重伝達部材を支持する支持部材とをさらに 備えた、磁歪式荷重センサ。
[2] 前記支持部材は、前記荷重検出部材が一定の範囲で移動可能となるように、前記荷 重伝達部材を介して前記荷重検出部材を支持する、請求項 1記載の磁歪式荷重セ ンサ。
[3] 前記支持部材は、前記荷重検出部材と前記磁気通路形成部材とが接触しな!、よう に前記荷重伝達部材を介して前記荷重検出部材を支持する、請求項 1記載の磁歪 式荷重センサ。
[4] 前記荷重検出部材と前記磁気通路形成部材との間に非磁性材料力 なる間隔形成 部材が設けられた、請求項 3記載の磁歪式荷重センサ。
[5] 前記支持部材は、前記荷重伝達部材が一定の範囲で移動可能となるように、前記荷 重伝達部材を支持する、請求項 1記載の磁歪式荷重センサ。
[6] 前記支持部材は、前記荷重伝達部材を弾性体を介して支持する、請求項 5記載の 磁歪式荷重センサ。
[7] 前記支持部材は、前記コイル、磁気通路形成部材、荷重検出部材および荷重伝達 部材を収容するハウジングを含む、請求項 1記載の磁歪式荷重センサ。
[8] 前記磁気通路形成部材は、前記貫通孔の両端部にそれぞれ対向する部分に第 1お よび第 2の開口を有し、
前記荷重検出部材の外面と前記第 1および第 2の開口の内面との間にそれぞれ第 1の隙間が形成され、
前記ハウジングは、前記荷重検出部材および荷重伝達部材がー体的に一定の範 囲で移動可能となるように、前記荷重伝達部材が嵌合する第 3の開口を有し、 前記荷重伝達部材の外面と前記第 3の開口の内面との間に第 2の隙間が形成され 前記第 2の隙間の幅は、前記第 1の隙間の幅以下である、請求項 7記載の磁歪式 荷重センサ。
[9] 一定の範囲で移動可能かつ前記荷重伝達部材に当接可能に設けられ、前記荷重 伝達部材を通じて前記荷重検出部材に荷重を印加する荷重印加部材をさらに備え た、請求項 1記載の磁歪式荷重センサ。
[10] 前記磁気通路形成部材は、前記貫通孔の両端部にそれぞれ対向する部分に第 1お よび第 2の開口を有し、
前記荷重検出部材の外面と前記第 1および第 2の開口の内面との間にそれぞれ第 1の隙間が形成され、
前記ハウジングは、前記荷重検出部材および荷重伝達部材がー体的に一定の範 囲で移動可能となるように、前記荷重伝達部材が嵌合する第 3の開口を有し、 前記荷重伝達部材の外面と前記第 3の開口の内面との間に第 2の隙間が形成され 前記第 2の隙間の幅は、前記第 1の隙間の幅以下であり、
前記荷重伝達部材を通じて前記荷重検出部材に荷重を印加する荷重印加部材を さらに備え、
前記荷重印加部材は、前記貫通孔の軸方向と直交する方向において前記第 1の 隙間の幅よりも大きな範囲で移動可能に設けられる、請求項 7記載の磁歪式荷重セ ンサ。
[11] 前記荷重伝達部材は、外部から印加される荷重を前記荷重検出部材の一端部およ び他端部にそれぞれ伝達する第 1および第 2の荷重伝達部材を含む、請求項 1記載 の磁歪式荷重センサ。
[12] 一定の範囲で移動可能かつ前記荷重伝達部材に当接可能に設けられ、前記第 1お よび第 2の荷重伝達部材を通して前記荷重検出部材の一端部および他端部に荷重 をそれぞれ印加する第 1および第 2の荷重印加部材をさらに備えた、請求項 11記載 の磁歪式荷重センサ。
[13] 前記第 1および第 2の荷重印加部材および前記第 1および第 2の荷重伝達部材は、 前記コイルの前記貫通孔の軸に沿って、前記荷重検出部材を中心として対称的に 配置された、請求項 12記載の磁歪式荷重センサ。
[14] 前記ハウジングは、前記荷重伝達部材が嵌合する第 3の開口を有し、
前記荷重伝達部材は、前記ハウジングの内側の一端面に対向または接触するフラ ンジ部および前記荷重検出部材の一端部が嵌合する凹部を有する、請求項 7記載 の磁歪式荷重センサ。
[15] 前記ハウジングの前記第 3の開口の内面と前記荷重伝達部材の外面との間に隙間 が形成され、
前記荷重伝達部材を前記ハウジングに対して前記貫通孔の軸方向と直交する方 向に移動可能に保持する弾性部材をさらに備えた、請求項 14記載の磁歪式荷重セ ンサ。
[16] 前記荷重検出部材は、外部から印加される荷重を前記荷重検出部材の一端部およ び他端部にそれぞれ伝達する第 1および第 2の荷重伝達部材を含み、
前記ハウジングは、前記第 1の荷重伝達部材が嵌合する第 3の開口および前記第 2の荷重伝達部材が嵌合する第 4の開口を有し、
前記第 1の荷重伝達部材は、前記ハウジングの内側の一端面に対向または接触す る第 1のフランジ部および前記荷重検出部材の一端部が嵌合する第 1の凹部を有し 前記第 2の荷重伝達部材は、前記ハウジングの内側の他端面に対向または接触す る第 2のフランジ部および前記荷重検出部材の他端部が嵌合する第 2の凹部を有す る、請求項 7記載の磁歪式荷重センサ。
[17] 前記ハウジングの前記第 3の開口の内面と前記第 1の荷重伝達部材の外面との間に 隙間が形成され、前記ハウジングの前記第 4の開口の内面と前記第 2の荷重伝達部 材の外面との間に隙間が形成され、 前記第 1の荷重伝達部材を前記ハウジングに対して前記貫通孔の軸方向と直交す る方向に移動可能に保持する第 1の弾性部材と、
前記第 2の荷重伝達部材を前記ハウジングに対して前記貫通孔の軸方向と直交す る方向に移動可能に保持する第 2の弾性部材とをさらに備えた、請求項 16記載の磁 歪式荷重センサ。
[18] 前記荷重検出部材と前記荷重伝達部材とが接合された、請求項 1記載の磁歪式荷 重センサ。
[19] 前記磁気通路形成部材は、前記貫通孔の両端部にそれぞれ対向する部分に第 1お よび第 2の開口を有し、
前記荷重検出部材は、円柱形状を有し、
前記荷重検出部材の両端部は、軸方向の断面の直径以上の長さ分、前記磁気通 路形成部材の第 1および第 2の開口から突出する、請求項 1記載の磁歪式荷重セン サ。
[20] 本体部と、
前記本体部を移動させる駆動部と、
荷重を検出する磁歪式荷重センサと、
前記磁歪式荷重センサにより検出された荷重に基づいて前記駆動部を制御する制 御部とを備え、
前記磁歪式荷重センサは、
貫通孔を有するコイルと、
前記貫通孔に挿入された荷重検出部材と、
前記コイルにより発生された磁束が通過する磁気通路を形成する磁気通路形成部 材とを含み、
前記荷重検出部材の両端部は、前記貫通孔に対向する前記磁気通路形成部材の 部分力 それぞれ外側に突出し、
外部から印加される荷重を前記荷重検出部材の少なくとも一端部に伝達する荷重 伝達部材と、
前記磁気通路形成部材および前記荷重伝達部材を支持する支持部材とをさらに 含む、移動体。
PCT/JP2006/312816 2005-07-01 2006-06-27 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体 WO2007004472A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP06767433.3A EP1909088A4 (en) 2005-07-01 2006-06-27 MAGNETOSTRICTIVE LOAD SENSOR AND MOBILE BODY USING THE SAME
US11/994,162 US7677118B2 (en) 2005-07-01 2006-06-27 Magnetostrictive load sensor and moveable object including the same
CN2006800241783A CN101213430B (zh) 2005-07-01 2006-06-27 磁致伸缩式载荷传感器以及具备该载荷传感器的移动体
JP2007523959A JP4731557B2 (ja) 2005-07-01 2006-06-27 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-193687 2005-07-01
JP2005193687 2005-07-01

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2007004472A1 true WO2007004472A1 (ja) 2007-01-11

Family

ID=37604341

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2006/312816 WO2007004472A1 (ja) 2005-07-01 2006-06-27 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7677118B2 (ja)
EP (1) EP1909088A4 (ja)
JP (2) JP4731557B2 (ja)
CN (1) CN101213430B (ja)
WO (1) WO2007004472A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010038913A (ja) * 2008-07-10 2010-02-18 Yamaha Motor Co Ltd 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体
WO2013150614A1 (ja) * 2012-04-03 2013-10-10 公益財団法人地震予知総合研究振興会 応力および歪み検出装置

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009276290A (ja) 2008-05-16 2009-11-26 Yamaha Motor Co Ltd 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体
WO2010119773A1 (ja) * 2009-04-17 2010-10-21 本田技研工業株式会社 磁歪式トルクセンサ及び電動パワーステアリング装置
US8718813B2 (en) * 2009-09-21 2014-05-06 GM Global Technology Operations LLC Mechanical implement utilizing active material actuation
TWM412130U (en) * 2010-12-15 2011-09-21 Sevenstar Cykler Corp Ltd Transmission detection device
TWM422528U (en) * 2011-07-13 2012-02-11 Xu Hong Jun Transmission detection device for central axle
CN102519633B (zh) * 2011-11-30 2014-07-16 浙江大学 磁弹磁电效应式应力监测装置
US9316479B2 (en) * 2012-09-20 2016-04-19 United Technologies Corporation Capacitance based clearance probe and housing
US9857244B2 (en) * 2013-09-04 2018-01-02 Eaton Corporation In-cylinder pressure measurement utilizing a magneto-elastic element for measuring a force exerted on an engine valve assembly
WO2015068700A1 (ja) * 2013-11-05 2015-05-14 日本精工株式会社 力覚センサ
CN104062610B (zh) * 2014-06-11 2017-01-04 温州大学 磁致伸缩材料的磁特性测试装置及检测方法
US9453769B2 (en) 2014-08-25 2016-09-27 Maglogix, Llc Method for developing a sensing system to measure the attractive force between a magnetic structure and its target by quantifying the opposing residual magnetic field (ORMF)
US11040682B1 (en) * 2016-03-21 2021-06-22 Paradigm Research and Engineering, LLC Blast detection and safety deployment system and method for using the same
CN109085826B (zh) * 2018-07-20 2022-06-17 臻迪科技股份有限公司 一种无人船探测方法
US11287337B2 (en) * 2019-07-16 2022-03-29 Bently Nevada, Llc Reference signal compensation for magnetostrictive sensor
CN111208457B (zh) * 2019-12-18 2021-05-18 大连理工大学 一种新型的磁致伸缩测量方法及装置
CN113805127A (zh) * 2020-08-06 2021-12-17 钢铁研究总院 一种磁致伸缩材料性能测试装置及方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06241920A (ja) * 1993-02-18 1994-09-02 Nissan Motor Co Ltd 荷重検出方法および荷重センサ
JPH11183275A (ja) * 1997-12-22 1999-07-09 Yaskawa Electric Corp 磁歪式歪センサ
JPH11241955A (ja) * 1997-12-26 1999-09-07 Yamaha Motor Co Ltd 荷重検出装置
JP2001281074A (ja) * 2000-03-30 2001-10-10 Yamaha Motor Co Ltd 荷重検出装置
JP2003501617A (ja) * 1999-05-26 2003-01-14 ヴィッテンシュタイン アーゲー センサ、特に磁気歪みセンサあるいは磁気弾性センサ
US20040107777A1 (en) * 2002-12-06 2004-06-10 Lequesne Bruno P.B. Universal magnetostrictive force sensor

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1411189A (fr) * 1964-08-05 1965-09-17 Appareil électronique pour mesurer des forces et plus spécialement des poids
JPS61170627A (ja) * 1985-01-24 1986-08-01 Mitsubishi Electric Corp 荷重検出器
CN1013711B (zh) * 1988-12-27 1991-08-28 交通部重庆公路科学研究所 一种可直接显示出应力值的压磁式混凝土绝对应力检测装置
DE69105773T2 (de) * 1990-02-23 1995-06-01 Toshiba Kawasaki Kk Magnetostriktiver Antrieb.
JPH09166506A (ja) * 1995-12-18 1997-06-24 Yaskawa Electric Corp 磁歪式歪センサー
JPH09229797A (ja) * 1996-02-21 1997-09-05 Yaskawa Electric Corp 磁歪式歪センサ
US5814999A (en) * 1997-05-27 1998-09-29 Ford Global Technologies, Inc. Method and apparatus for measuring displacement and force
JPH11223565A (ja) * 1997-12-01 1999-08-17 Mitsubishi Materials Corp 荷重センサ
WO1999045601A2 (en) * 1998-03-05 1999-09-10 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetostrictive stress sensor
JPH11304604A (ja) * 1998-04-20 1999-11-05 Tdk Corp 磁歪素子を用いたセンサ及びセンサ装置
JP2000155056A (ja) * 1998-11-24 2000-06-06 Toyota Motor Corp 荷重センサ
JP2001249554A (ja) 2000-03-07 2001-09-14 Canon Inc 画像形成装置
JP2003057128A (ja) 2001-08-20 2003-02-26 Yamaha Motor Co Ltd 磁歪式荷重センサ
JP4763175B2 (ja) 2001-08-20 2011-08-31 ヤマハ発動機株式会社 荷重検出装置
JP2003194638A (ja) 2001-12-21 2003-07-09 Yamaha Motor Co Ltd 磁歪式荷重センサ
JP2004184187A (ja) 2002-12-02 2004-07-02 Yamaha Motor Co Ltd 磁歪式トルクセンサ
JP4164373B2 (ja) 2003-01-22 2008-10-15 ヤマハ発動機株式会社 磁歪式荷重センサおよび荷重検出装置
JP2004264079A (ja) * 2003-02-28 2004-09-24 Nec Tokin Corp 荷重センサ
US7458276B2 (en) * 2004-06-14 2008-12-02 Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha Magnetostrictive load sensor

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06241920A (ja) * 1993-02-18 1994-09-02 Nissan Motor Co Ltd 荷重検出方法および荷重センサ
JPH11183275A (ja) * 1997-12-22 1999-07-09 Yaskawa Electric Corp 磁歪式歪センサ
JPH11241955A (ja) * 1997-12-26 1999-09-07 Yamaha Motor Co Ltd 荷重検出装置
JP2003501617A (ja) * 1999-05-26 2003-01-14 ヴィッテンシュタイン アーゲー センサ、特に磁気歪みセンサあるいは磁気弾性センサ
JP2001281074A (ja) * 2000-03-30 2001-10-10 Yamaha Motor Co Ltd 荷重検出装置
US20040107777A1 (en) * 2002-12-06 2004-06-10 Lequesne Bruno P.B. Universal magnetostrictive force sensor

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1909088A4 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010038913A (ja) * 2008-07-10 2010-02-18 Yamaha Motor Co Ltd 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体
WO2013150614A1 (ja) * 2012-04-03 2013-10-10 公益財団法人地震予知総合研究振興会 応力および歪み検出装置
US9027411B2 (en) 2012-04-03 2015-05-12 Public Interest Incorporated Foundations Association For The Development Of Earthquake Prediction Stress and strain sensing device

Also Published As

Publication number Publication date
EP1909088A1 (en) 2008-04-09
CN101213430B (zh) 2010-10-20
JP2011095278A (ja) 2011-05-12
JP4731557B2 (ja) 2011-07-27
JPWO2007004472A1 (ja) 2009-01-29
US7677118B2 (en) 2010-03-16
CN101213430A (zh) 2008-07-02
US20090114040A1 (en) 2009-05-07
EP1909088A4 (en) 2015-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4731557B2 (ja) 磁歪式荷重センサおよびそれを備えた移動体
US7913579B2 (en) Magnetostrictive load sensor and movable unit comprising same
EP0721563B1 (en) Magnetoresistive linear displacement sensor, angular displacement sensor, and variable resistor
US7861599B2 (en) Instrument-equipped bicycle component and detection unit for equipping such a component
JP4217321B2 (ja) 荷重検出装置
EP2284553B1 (en) Magneto-resistance effect element and sensor
JP4891070B2 (ja) アクセル操作装置
JP2008533497A (ja) 可動機械システムの位置を検知する方法及び装置
US9625419B2 (en) Conduit sensor device with magnetic shunt and process for modifying a magnetic field
FR2836219A1 (fr) Capteur de couple a balais magnetiques
WO2019110923A1 (fr) Vanne de réglage compacte
JPWO2004065812A1 (ja) パワーアシストクラッチシステム、パワーアシストクラッチシステムの制御方法、およびパワーアシストクラッチシステムの制御プログラム
WO2002037058A1 (fr) Palier a roulement instrumente pour volant de commande
EP1605239B1 (en) Load detector and transport equipment including the same
WO2005040730A1 (ja) 回転角検出装置
EP1783460A2 (en) Angle detector
EP0949744A2 (en) Electromagnetic actuator with function detecting position of driven member
TWI613121B (zh) 使用於助力腳踏車的曲柄傳動機構
JP2000146720A (ja) 電動パワーステアリング装置のポテンショメータ
JP4326116B2 (ja) ケーブル式ステアリング装置における操舵トルク検出装置
JPH0221347Y2 (ja)
JPH11248560A (ja) トルク検出装置
JPH07189816A (ja) Egr装置の還流ガス量制御装置及びこれに適した磁気式ストローク検出センサ

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200680024178.3

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2007523959

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11994162

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2006767433

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2006767433

Country of ref document: EP