JP2003501617A

JP2003501617A - センサ、特に磁気歪みセンサあるいは磁気弾性センサ

Info

Publication number: JP2003501617A
Application number: JP2001500831A
Authority: JP
Inventors: シュポーア，ハンス−ヘルマン
Original assignee: ヴィッテンシュタインアーゲー
Priority date: 1999-05-26
Filing date: 2000-02-29
Publication date: 2003-01-14
Also published as: DE50014730D1; US7062981B1; EP1183509B1; DE19924002A1; WO2000073756A1; EP1183509A1

Abstract

(57)【要約】少なくとも部分的には少なくとも１個のコイル（１０．１ないし１０．３）が巻装された、少なくとも１個の強磁性材料より成るコア部材（８．１ないし８．３）より成るセンサ、特に磁気歪みセンサあるいは磁気弾性センサおいて、前記少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）が、1個のハウジング（１）内に内設され、応力および／または回転モーメントを測定するために、前記コア部材に、張力および／または圧力を作用させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

この発明は、少なくとも部分的には少なくとも１個のコイルが巻装された、少
なくとも１個の強磁性材料より成るコア部材より成るセンサ、特に磁気歪みセン
サあるいは磁気弾性センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種のセンサは、種々の形式および形態において市場で知悉され、かつ入手
することができる。それらはまず第一に、応力、応力の変化、および回転モーメ
ントの測定、ならびに、それらの変化を測定するために使用される。

【０００３】しばしば前記センサは、管内の回転モーメントの測定用のセンサ、あるいは圧
力感知器として使用される。

【０００４】例えばドイツ特許出願公開第３８１９０８３Ａ１号明細書には、磁気弾
性式の応力測定装置が開示され、これは圧力環状部材が環状コイルを保持した構
成を備える。この場合、前記圧力環状部材には、適宜な環状コイルを備えた磁歪
性張力スリーブ部材が共軸に内装されたことによって、応力が導入された場合に
、一方の物体には圧力が、他方の物体には張力が作用するようになっている。こ
の場合、対応する共軸構成によって、センサを内装させ、かつ作動させることは
困難であるという欠点がある。極度に小形化することが不可能であり、従ってこ
れを全体として内設することも困難である。

【０００５】それに加えて構造も複雑化し、製造も高価になるという欠点がある。

【０００６】ドイツ特許第１９６０５０９６号明細書には、回転モーメントセンサお
よび応力検出素子が開示され、この場合、回転軸上に、特に圧延ロールの穴型を
介して架橋された、磁歪性巻線を有するコア部材が使用されている。

【０００７】前記センサの場合は、特定の軸に対してのみ、この種のセンサの設置が可能で
あり、各構成部材に対して特定的に適応させねばならないという欠点があった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】

この発明の課題は、前記指摘のセンサにおいて、前記諸欠点を除去し、簡単か
つ廉価な方法で応力および／または回転モーメントならびに変化が測定できるセ
ンサを製作することにある。この場合、センサおよびその構成部品が適切な環境
において恒久的に内設できることが必要である。

【０００９】さらに取付寸法および製造経費の低減が必要であり、同時に寿命が向上し、高
精度における信頼性の向上が必要である。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

前記課題は、少なくとも１個のコア部材が、1個のハウジング内に内設され、
応力および／または回転モーメントを測定するために、前記コア部材に、張力お
よび／または圧力を作用させることによって解決される。

【００１１】この発明において本質的に有意義なことは、コア部材およびコイル部材等のセ
ンサの総合的な各部材が１個のハウジング内に内装されることである。かくして
磁界あるいは回転モーメントをハウジングへ導入することに起因する、応力なら
びに磁気的環流を検出することができる。これによりセンサ、とくにセンサの構
成部品が保護される。同時にこの種のセンサの諸種の技術分野における広範な用
途が可能となる。

【００１２】好ましくはコア部材として磁歪材料が使用される。特に適切な材料としてテル
フェノール−Ｄ（Ｔｅｒｆｅｎｏｌ−Ｄ、商品名）を挙げることができる。この
材質においては、力が作用した場合に磁気的性質が変化する。このような磁界の
変化は、コア部材に巻装されたコイルによって生起される磁気的交流磁界によっ
て検出することができる。これによってコイルは、そのコイルを流れる電流によ
って決定される一定の値のインピーダンスを有することになる。或る大きさの力
がコア部材に作用すると、その磁気的性質、主として相対誘磁率が変化する。こ
の変化が磁界、したがってインピーダンスに影響を及ぼす。この変化を電流ある
いは電圧として測定することが可能となる。

【００１３】圧力および／または張力を同時に測定するためには、単一あるいは複数個のコ
ア部材が弾性付勢された状態でハウジングに内設されることが特に有効である。
これによって簡単かつ廉価に圧力および／または張力を求めることができる。そ
れ故これに関して独自の独立した保護が懇願される所以である。

【００１４】さらに優れた点とされるのは、順次に配列された２個のコア部材が間挿部材を
介して1個のハウジング内に内設されることであり、２個のコア部材には、それ
ぞれ少なくとも１個のコイルが巻装される。この際、ハウジングは外部に対して
密封される。

【００１５】前記間挿部材においては、応力伝達部材がハウジングを貫通して外側から内部
へ突設され、かくしてコア部材に張力および／または圧力を作用させることがで
きる。

【００１６】２個のコア部材の一方が圧力を受けると、これに対向する他方のコア部材は張
力を受ける。

【００１７】これによって個々のコイル内に種々の値の電圧が生成され、その値から帰納し
て実際に作用する応力あるいは回転モーメントに関する正確な測定値が得られる
。

【００１８】さらにこの発明によれば、センサに、少なくとも１個の温度センサを付設する
ことができる。例えば環境が温度依存性であったり、温度変化が無視できない等
の場合、補正係数に対する影響を検討することができる。したがってセンサ素子
の精度を向上させるために、温度を媒介として測定値を設定することができる。

【００１９】さらに他の実施例においては、個々のコア部材はそれぞれ少なくとも１個のコ
イルが巻装され、カバー部材はコア部材を平面的に閉鎖するように設置されてい
る。ハウジングは適切な円柱状に形成される。この円柱状部は薄い周壁を持って
構成される。適切な圧力をコイルを備えた封入されたコア部材に対して直接に作
用させることができ、電圧変化およびそれに基づいて応力あるいは応力変化の検
出も可能となる。この場合、張力をも測定できるように、コア部材に予備応力を
作用させた状態でカバー部材の間に間挿させることもできる。

【００２０】要約すれば、この発明を適用することにより、きわめて小さい取付寸法でセン
サを製作でき、それを使用して厳密な測定結果が得られる。そしてこのセンサは
、取付方法を特殊化したり変更したりすることを必要としないで、広く種々の機
械部品内に設置することができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】

この発明の、その他の利点、特徴および独自性を、以下記載の実施例および図
面を参照して詳細に説明する。

【００２２】図１は、張力および／または圧力測定用のこの発明によるセンサの長さ方向断
面図、図２は、この発明による他の実施例の長さ方向断面図である。

【００２３】図３は、応力および／または回転モーメント測定用の図２による個々のセンサ
の可能な構成を示し、図４は、図２によるセンサの他の実施例の構造を示す断面
図である。

【００２４】図１に示すこの発明のセンサＲ₁はハウジング１を備え、このハウジング１は
好適な実施例では、平面当接状態でカバー部材３によって閉鎖された円柱部２よ
り成る。鎖線表示された固定部材４により、カバー部材３が円柱部２に固定また
は取り外し可能に連結される。

【００２５】図示されていないが、ハウジング１を完全に密封するために密封用部材その他
を使用することができる。

【００２６】この場合発明の範囲内で、カバー部材３と円柱部２とを溶接あるいはねじ込み
で結合することもできる。

【００２７】好ましくは２個のカバー部材３の両方または一方のみに中央部にねじ桿５が付
設され、図示されていないが、必要に応じ係止用ナットによってねじ桿５を任意
の位置に固定することができる。

【００２８】ハウジング１内には、応力で付勢された状態で間挿部材６が軸線方向に内設さ
れている。この間挿部材６には、好ましくはその中央部に受付段部７が付設され
ている。受付段部７とねじ桿５との間では、間挿部材６に関してその両側に接し
て、各１個ずつのコア部材８．１、８．２が平面当接状態で内設されている。

【００２９】好適な実施例では、コア部材８．１、８．２とねじ桿５との間にそれぞれ円柱
桿９が挿着される。

【００３０】前記カバー部材３内でねじ桿５を回転させると、きわめて微小な送り量でねじ
桿５がハウジング１内へねじ込まれる。これにより円柱桿９に、特にコア部材８
．１、８．２に予備応力を生成させることができる。

【００３１】コア部材８．１、８．２には、それぞれ１個のコイル１０．１、１０．２が巻
装されている。好ましくはコイル１０．１、１０．２は、巻心１１を介して間挿
部材６およびコア部材８．１、８．２に対して自動的に僅かな間隔で隔離されて
いるので、コア部材８．１ないし８．３および間挿部材６は微小量の極微的な軸
線方向の移動が可能である。好ましくは間挿部材６は鞘状部材１２内に導入され
る。

【００３２】同時に前記鞘状部材１２は、両方のコイル１０．１、１０．２あるいは巻心１
１に対して停止部を形成するので、この鞘状部材１２はハウジング１内で隔離さ
れて平面当接状態でカバー部材３に載置され、その位置に保持される。

【００３３】前記間挿部材６には、応力伝達部材１３が開口部１４からハウジング１内に挿
入され、外部から、特にハウジング１の外部から張力および／または圧力として
応力Ｆを作用させることができる。これにより特に張力および／または圧力とし
て一定の応力Ｆが、センサＲ₁に印加され、それがコイル電圧の比較によって測
定される。

【００３４】カバー部材３の区域で、図示されていない対向取付部材が、平面当接状態で応
力Ｆを受理する。そうすると例えば応力Ｆを鞘状部材１２または類似の部材によ
ってセンサ内へ導入することができる。

【００３５】コイル１０．１、１０．２には電圧が付与され、これが、圧力および／または
張力によってコア部材８．１、８．２が変化した際に、磁界の変化による電圧変
化を生起させる。この測定可能な変化量から、それに対応して、結果として求め
るべき応力または回転モーメントに換算することができる。

【００３６】また如何なる汚染も侵入しないように完全に密封されたハウジング１とするこ
とは、この発明のセンサにおいて利点となる。

【００３７】さらにこの種のセンサＲ₁は、電気機械的あるいは電磁的原動機の例えば伝達
機構の適宜の位置に、特にまた操作工学およびロボット工学の分野においても、
恒久的に使用することができるという利点がある。

【００３８】ハウジング１は、油等の汚染物質に対して密封することにより機械的および熱
的保護に役立つ。

【００３９】コア部材８．１、８．２を予備応力下にハウジング１内に配置させることは特
に有意義であり、これによって例えば応力伝達部材１３に押圧力を作用させると
、一方ではコア部材８．２内、および特に対応するコイル１０．２内に電圧変化
を起こさせることができ、同時に他方のコア部材８．１内の予備応力を低減させ
ることにより、コイル１０．１においての電圧変化が検出される。

【００４０】さらに、一方のコイル１０．１あるいは１０．２を励起コイル、他方のコイル
を測定コイルとして作動させることも可能である。適切なコイル電圧を負荷する
ことにより、電圧差を検出することができる。この値から直接に、付与された応
力、変化する応力あるいは対応する回転モーメントの値が求められる。

【００４１】図２の実施例は、巻心１１を備えた構成のコイル１０．３が巻装されたセンサ
Ｒ₂である。この場合は、コア部材８．３はカバー部材３に当接して支持されて
いる。

【００４２】場合によってはコア部材８．３は、カバー部材３において半径方向に支持され
るか、または適切な凹部内に嵌挿される。

【００４３】詳細には図示されていない電気的導線によりコイル１０．３が電源Ｕ₁に接続
される。

【００４４】この場合、コア部材８．３およびコイル１０．３は円柱部２内に配置され、前
記同様にカバー部材３に連結させることができる。

【００４５】円柱部２は特に薄く、きわめて軟質の、場合によっては弾性材料で形成される
ことが好適であり、これにより押圧力Ｆは、外部からカバー部材３へ、円柱部２
の材質がコア部材８．３に影響を与えることなく伝達される。こうすれば円柱部
２をきわめて小寸法に形成できるので、ハウジング１も、コア部材８．３をカバ
ー部材３で封入できる程度に構成することができる。

【００４６】この場合、ハウジング１を貫通する電気的接続を、円柱部２あるいはカバー部
材３を通過して導入し、かつ適切な接点部位を形成させることも可能である。

【００４７】前記密封形センサＲ₂は、別個のハウジング、密封、隔壁その他を使用するこ
となく、例えば伝達機構内等、適宜な位置に内設することができるという利点が
ある。

【００４８】さらに予備応力を与えてカバー部材３の間に挟持させることもできる。またセ
ンサＲ₂のコア部材８．３に適切な張力を作用させ、これに対応して電圧変化を
測定、あるいは検出することが可能である。これもまた、この発明の範囲に属す
る。

【００４９】図３の実施例は、２個のセンサＲ₂が外部の応力伝達部材１３に連結された構
造で、伝達部材１３には例えば応力Ｆが印加されている。他端部には予備応力Ｆ
１、Ｆ２を印加することができる。

【００５０】応力伝達部材１３に応力Ｆが作用すると、２個のセンサＲ₂に印加された電圧
Ｕ₁、Ｕ₂が変化する。この電圧変化により、回転モーメントおよび／または応力
も、および／または応力変化および回転モーメントの変化も求められる。この構
成も、この発明の技術思想に包含される。

【００５１】図４の実施例において、センサＲ₃は、基本的には図２と同一構成である。た
だし２個のコイル１０．１、１０．２がコア部材８．３に巻装され、適切な応力
および／または回転モーメントが作用した際に、コイル電圧Ｕ₁、Ｕ₂が測定され
る。この場合、２つの電圧の一方の電圧を励起電圧とし、他方を測定電圧とする
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による張力および／または圧力測定用のセンサの長さ方
向断面図

【図２】この発明による他の実施例の長さ方向断面図

【図３】応力および／または回転モーメント測定用の図２による個々のセ
ンサの可能な構成図

【図４】図２によるセンサの他の実施例の構造を示す断面図

【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書

【提出日】平成１３年６月１５日（２００１．６．１５）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも部分的には少なくとも１個のコイル（１０．１な
いし１０．３）が巻装された、少なくとも１個の強磁性材料より成るコア部材（
８．１ないし８．３）より成るセンサであって、前記少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）が、１個のハウジング（
１）内に内設され、応力および／または回転モーメントを測定するために、前記
コア部材（８．１ないし８．３）に、張力および／または圧力を作用させ、前記ハウジング（１）が、閉鎖する平面当接カバー部材を備えた円柱部（２）により形成され、前記カバー部材内に前記コア部材（８．１ないし８．３）およびコイル（１０．１ないし１０．３）が完全に封入されたことを特徴とするセンサ、特
に磁気歪みセンサあるいは磁気弾性センサ。

【請求項４】少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）が、円柱
部（２）に軸線方向に内設され、正面側において直接または間接にカバー部材（
３）に連結されたことを特徴とする請求項１ないし３の何れか１項記載のセンサ。

【請求項５】少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）が、カバ
ー部材（３）により直接または間接に正面側において付勢されて、ハウジング（
１）に内設されたことを特徴とする請求項１ないし４の何れか１項記載のセンサ
。

【請求項６】少なくとも１個のコア部材（８．１、８．２）が、カバー部
材（３）に対して前面部において円柱状部材（９）を介して隔離されていること
を特徴とする請求項１ないし５の何れか１項記載のセンサ。

【請求項７】予備応力を発生するために、コア部材（８．１、８．２）に
、カバー部材（３）内に配置されたねじ桿（５）によって押圧力を作用させるこ
とを特徴とする請求項６記載のセンサ。

【請求項８】少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）に、少な
くとも１個のコイル（１０．１ないし１０．３）が、特に１個の励起コイルおよ
び／または測定コイルが共軸に配置されたことを特徴とする請求項１ないし７の
何れか１項記載のセンサ。

【請求項９】コア部材（８．３）に、順次に接続された２個のコイル（１
０．１、１０．２）が共軸に配置されたことを特徴とする請求項１ないし８の何
れか１項記載のセンサ。

【請求項１０】コイル（１０．１ないし１０．３）が、ハウジング（１）
内に固定して配置されたことを特徴とする請求項１ないし９の何れか１項記載の
センサ。

【請求項１１】少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）が、押
圧力が作用した場合に、コイル部材（１０．１ないし１０．３）に対して極微的
に自由移動可能であることを特徴とする請求項１ないし１０の何れか１項記載の
センサ。

【請求項１２】ハウジング（１）が、全面的に密封して形成され、場合に
よってはコイル（１０．１ないし１０．３）に接続するために、ハウジング（１
）の外部に絶縁して配置された接続部位を備えることを特徴とする請求項１ない
し１１の何れか１項記載のセンサ。

【請求項１３】間挿部材（６）が、ハウジング（１）内において軸線方向
に移動可能に配置されたことを特徴とする請求項２ないし１２の何れか１項記載
のセンサ。

【請求項１４】間挿部材（６）が、コイル（１０．１、１０．２）に対し
てハウジング（１）内において軸線方向に移動可能に配置されたことを特徴とす
る請求項２ないし１３の何れか１項記載のセンサ。

【請求項１５】間挿部材（６）が受付段部（７）を備え、そこにコア部材
（８．１、８．２）が平面当接状態で設置されたことを特徴とする請求項２ない
し１４の何れか１項記載のセンサ。

【請求項１６】間挿部材（６）に、応力伝達部材（１３）が付設され、こ
れがハウジング（１）から半径方向に突設され、ハウジング（１）の開口部（１
４）内において軸線方向に極微的に自由移動可能であることを特徴とする請求項
２ないし１５の何れか１項記載のセンサ。

【請求項１７】間挿部材（６）が、ハウジング（１）内の鞘状部材（１２
）内において軸線方向に移動可能に設置され、これにより、鞘状部材（１２）が
、コア部材（８．１、８．２）に巻装されたコイル（１０．１、１０．２）を平
面当接状態で相互に隔離させると共に、これらをハウジング（１）内に固定させ
ることを特徴とする請求項２ないし１６の何れか１項記載のセンサ。

【請求項１８】センサに、特にハウジング（１）に、少なくとも１個の温
度センサが付設されたことを特徴とする請求項１ないし１７の何れか１項記載の
センサ。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００７

【補正方法】変更

【補正の内容】

【０００７】前記センサの場合は、特定の軸に対してのみ、この種のセンサの設置が可能で
あり、各構成部材に対して特定的に適応させねばならないという欠点があった。日本特許出願公開第０９１５２３７２号明細書には、それぞれ１個のコイルが巻装された３個のコア部材を備えたセンサが開示されている。３個のコア部材が相互に三角形状に配列され、両端面部においてそれぞれ１個のカバー部材および基底部材に連結される。このカバー部材および基底部材は固定部材により相互に連結されている。またアメリカ特許第５，４３７，１９７号明細書には、それぞれ１個のコイルが巻装され、平行に相互に隣接して配列された２個のコア部材を備えた磁気歪み応力センサが開示されている。コア部材は、両端面部において、１個の固定部材により相互に保持されたカバー部材と基底部材とに内設されている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正の内容】

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題は、少なくとも１個のコア部材が、ハウジング内に内設され、応力お
よび／または回転モーメントを測定するために、前記コア部材に、張力および／
または圧力を作用させ、前記ハウジングが、閉鎖する平面当接カバー部材を備えた円柱部により形成され、前記カバー部材内に前記コア部材およびコイルが完全に封入されることによって解決される。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも部分的には少なくとも１個のコイル（１０．１な
いし１０．３）が巻装された、少なくとも１個の強磁性材料より成るコア部材（
８．１ないし８．３）より成るセンサであって、前記少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）が、ハウジング（１）内
に内設され、応力および／または回転モーメントを測定するために、前記コア部
材（８．１ないし８．３）に、張力および／または圧力を作用させることを特徴
とするセンサ、特に磁気歪みセンサあるいは磁気弾性センサ。
【請求項２】少なくとも部分的には少なくとも１個のコイル（１０．１な
いし１０．３）が巻装された、少なくとも１個の強磁性材料より成るコア部材（
８．１ないし８．３）より成るセンサであって、２個のコア部材（８．１、８．
２）がハウジング（１）内に順次に内設され、外部張力および／または圧力が、
前記コア部材（８．１、８．２）の間に配置された間挿部材（６）を介して軸方
向に導入されることを特徴とするセンサ、特に磁気歪みセンサあるいは磁気弾性
センサ。
【請求項３】少なくとも部分的には少なくとも１個のコイル（１０．１な
いし１０．３）が巻装された、少なくとも１個の強磁性材料より成るコア部材（
８．１ないし８．３）より成るセンサであって、外部張力および／または圧力を
規定するために、少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）が、選択さ
れた或る値の予備応力によって軸線方向に付勢されて、ハウジング（１）に内設
されたことを特徴とするセンサ、特に磁気歪みセンサあるいは磁気弾性センサ。
【請求項４】ハウジング（１）が、閉鎖する平面当接カバー部材（３）を
備えた円柱部（２）によって形成されたことを特徴とする請求項１ないし３の何
れか１項記載のセンサ。
【請求項５】少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）が、円柱
部（２）に軸線方向に内設され、平面当接状態で直接または間接にカバー部材（
３）に連結されたことを特徴とする請求項４記載のセンサ。
【請求項６】少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）が、カバ
ー部材（３）により直接または間接に平面的に弾性付勢されて、ハウジング（１
）に内設されたことを特徴とする請求項４または５記載のセンサ。
【請求項７】少なくとも１個のコア部材（８．１、８．２）が、カバー部
材（３）に対して前面部において円柱状部材（９）を介して隔離されていること
を特徴とする請求項４ないし６の何れか１項記載のセンサ。
【請求項８】予備応力を発生するために、コア部材（８．１、８．２）に
、カバー部材（３）内に配置されたねじ桿（５）によって押圧力を作用させるこ
とを特徴とする請求項７記載のセンサ。
【請求項９】少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）に、少な
くとも１個のコイル（１０．１ないし１０．３）が、特に１個の励起コイルおよ
び／または測定コイルが共軸に配置されたことを特徴とする請求項１ないし８の
何れか１項記載のセンサ。
【請求項１０】コア部材（８．３）に、順次に接続された２個のコイル（
１０．１、１０．２）が共軸に配置されたことを特徴とする請求項１ないし９の
何れか１項記載のセンサ。
【請求項１１】コイル（１０．１ないし１０．３）が、ハウジング（１）
内に固定して配置されたことを特徴とする請求項１ないし１０の何れか１項記載
のセンサ。
【請求項１２】少なくとも１個のコア部材（８．１ないし８．３）が、押
圧力が作用した場合に、コイル部材（１０．１ないし１０．３）に対して極微的
に自由移動可能であることを特徴とする請求項１ないし１１の何れか１項記載の
センサ。
【請求項１３】ハウジング（１）が、全面的に密封して形成され、場合に
よってはコイル（１０．１ないし１０．３）に接続するために、ハウジング（１
）の外部に絶縁して配置された接続部位を備えることを特徴とする請求項１ない
し１２の何れか１項記載のセンサ。
【請求項１４】間挿部材（６）が、ハウジング（１）内において軸線方向
に移動可能に配置されたことを特徴とする請求項２ないし１３の何れか１項記載
のセンサ。
【請求項１５】間挿部材（６）が、コイル（１０．１、１０．２）に対し
てハウジング（１）内において軸線方向に移動可能に配置されたことを特徴とす
る請求項２ないし１４の何れか１項記載のセンサ。
【請求項１６】間挿部材（６）が受付段部（７）を備え、そこにコア部材
（８．１、８．２）が平面当接状態で設置されたことを特徴とする請求項２ない
し１５の何れか１項記載のセンサ。
【請求項１７】間挿部材（６）に、応力伝達部材（１３）が付設され、こ
れがハウジング（１）から半径方向に突設され、ハウジング（１）の開口部（１
４）内において軸線方向に極微的に自由移動可能であることを特徴とする請求項
２ないし１６の何れか１項記載のセンサ。
【請求項１８】間挿部材（６）が、ハウジング（１）内の鞘状部材（１２
）内において軸線方向に移動可能に設置され、これにより、鞘状部材（１２）が
、コア部材（８．１、８．２）に巻装されたコイル（１０．１、１０．２）を平
面当接状態で相互に隔離させると共に、これらをハウジング（１）内に固定させ
ることを特徴とする請求項２ないし１７の何れか１項記載のセンサ。
【請求項１９】センサに、特にハウジング（１）に、少なくとも１個の温
度センサが付設されたことを特徴とする請求項１ないし１８の何れか１項記載の
センサ。