JPH11183275A - 磁歪式歪センサ - Google Patents
磁歪式歪センサInfo
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- JPH11183275A JPH11183275A JP36590797A JP36590797A JPH11183275A JP H11183275 A JPH11183275 A JP H11183275A JP 36590797 A JP36590797 A JP 36590797A JP 36590797 A JP36590797 A JP 36590797A JP H11183275 A JPH11183275 A JP H11183275A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
- G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
- G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
- G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
- G01L3/101—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
- G01L3/102—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving magnetostrictive means
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- G01L3/101—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
- G01L3/105—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving inductive means
Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁性体の逆磁歪効果を利用して歪伝達部材に
加わる歪を検出する磁歪式歪センサにおいて、温度差や
外力に対しても精度を維持させ、適用範囲の広い磁歪式
歪センサを提供する。 【解決手段】 一部の外周面に磁歪膜２を付着させ、両
端に歪発生部材を連結する接続治具１０、１１をそなえ
たセンサ軸１と、前記磁歪膜２に空隙を介して対向させ
た励磁コイル３１と検出コイル４１、および磁歪膜を付
着させていない外周面に空隙を介して対向させた励磁コ
イル３２と検出コイル４２を設け、これらのコイルをヨ
ーク５とともにセンサケース６に収納してある。このセ
ンサケース６の一方の側板６ａをセンサ軸１の接続治具
１０に固着させ、他方の側板６ｂとセンサ軸１および接
続治具１１との間に間隙１３を設ける。
加わる歪を検出する磁歪式歪センサにおいて、温度差や
外力に対しても精度を維持させ、適用範囲の広い磁歪式
歪センサを提供する。 【解決手段】 一部の外周面に磁歪膜２を付着させ、両
端に歪発生部材を連結する接続治具１０、１１をそなえ
たセンサ軸１と、前記磁歪膜２に空隙を介して対向させ
た励磁コイル３１と検出コイル４１、および磁歪膜を付
着させていない外周面に空隙を介して対向させた励磁コ
イル３２と検出コイル４２を設け、これらのコイルをヨ
ーク５とともにセンサケース６に収納してある。このセ
ンサケース６の一方の側板６ａをセンサ軸１の接続治具
１０に固着させ、他方の側板６ｂとセンサ軸１および接
続治具１１との間に間隙１３を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁性体の逆磁歪効
果を利用して歪伝達部材に加わる歪を検出する磁歪式歪
センサに係り、特に、センサケースの保持に関するもの
である。
果を利用して歪伝達部材に加わる歪を検出する磁歪式歪
センサに係り、特に、センサケースの保持に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、逆磁歪効果を利用して張力や圧縮
力を検出する方法として、歪が加わる歪発生部材に連結
したセンサ軸の表面の一部に、真空技術を利用して磁歪
膜を付着させ、センサ軸に生じる歪に応じて、前記磁歪
膜の透磁率を変化させ、磁歪膜に対向する検出コイル
と、磁歪膜のない部分に対向させた検出コイルのインピ
ーダンス変化により歪の量を検出する検出器が用いられ
ている。（たとえば、特願平４−２６９７５５号、特開
平９−１０６５０６号など） このような磁歪式歪センサは、たとえば図５に示すよう
に、センサ軸１の一部の外周面に磁歪膜２を付着させ、
この磁歪膜２の部分に空隙を介してソレノイド状の励磁
コイル３１と検出コイル４１を設けるとともに、磁歪膜
を付着させていない部分に空隙を介して対向させた前記
励磁コイル３１と同じターン数の励磁コイル３２および
前記検出コイル４１と同じターン数の検出コイル４２を
設け、これらの励磁コイル３１、検出コイル４１、３
２、４２とヨーク５をセンサケース６内に収納し、励磁
コイル３１と３２を直列に接続して、検出コイル４１、
４２の出力とともに、センサケース６の一部に設置した
コネクタ７を通して外部の信号線９で信号処理回路８に
接続し、信号処理回路８により励磁コイルの励磁と検出
コイルの出力信号処理を行っており、前記センサケース
６に挿通したセンサ軸１の両端に図示していない歪発生
部材に接続する接続治具１０、１１を取り付け、センサ
ケース６の両側板を前記接続治具１０、１１で挟んでセ
ンサ軸上に保持させるようにしている。このような磁歪
式歪センサは、たとえば電力送電や、電車への電力供給
用の架線に設置され、断線等による事故を未然に防止す
る試みが検討されており、センサケース６は張力を計測
する架線側に接続治具１０、１１で接続され、信号処理
回路８はその近くの柱上等に設置して信号線９で結んで
いる。
力を検出する方法として、歪が加わる歪発生部材に連結
したセンサ軸の表面の一部に、真空技術を利用して磁歪
膜を付着させ、センサ軸に生じる歪に応じて、前記磁歪
膜の透磁率を変化させ、磁歪膜に対向する検出コイル
と、磁歪膜のない部分に対向させた検出コイルのインピ
ーダンス変化により歪の量を検出する検出器が用いられ
ている。（たとえば、特願平４−２６９７５５号、特開
平９−１０６５０６号など） このような磁歪式歪センサは、たとえば図５に示すよう
に、センサ軸１の一部の外周面に磁歪膜２を付着させ、
この磁歪膜２の部分に空隙を介してソレノイド状の励磁
コイル３１と検出コイル４１を設けるとともに、磁歪膜
を付着させていない部分に空隙を介して対向させた前記
励磁コイル３１と同じターン数の励磁コイル３２および
前記検出コイル４１と同じターン数の検出コイル４２を
設け、これらの励磁コイル３１、検出コイル４１、３
２、４２とヨーク５をセンサケース６内に収納し、励磁
コイル３１と３２を直列に接続して、検出コイル４１、
４２の出力とともに、センサケース６の一部に設置した
コネクタ７を通して外部の信号線９で信号処理回路８に
接続し、信号処理回路８により励磁コイルの励磁と検出
コイルの出力信号処理を行っており、前記センサケース
６に挿通したセンサ軸１の両端に図示していない歪発生
部材に接続する接続治具１０、１１を取り付け、センサ
ケース６の両側板を前記接続治具１０、１１で挟んでセ
ンサ軸上に保持させるようにしている。このような磁歪
式歪センサは、たとえば電力送電や、電車への電力供給
用の架線に設置され、断線等による事故を未然に防止す
る試みが検討されており、センサケース６は張力を計測
する架線側に接続治具１０、１１で接続され、信号処理
回路８はその近くの柱上等に設置して信号線９で結んで
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、センサ軸上
にセンサケースを保持し、磁歪膜と検出コイルの位置決
めを確実にするため、センサケース６の両側板を接続治
具１０、１１に圧着保持させているので、センサ軸１と
センサケース６が、温度差により膨張や収縮差を生じる
と、センサ軸１に計測すべき歪以外の歪の原因となる応
力が加わり、歪センサの精度を低下させる。また、屋外
に設置された場合は、風や設置場所の振動などによって
センサ軸やコイルに衝撃を与えたり、空隙が変動して出
力変動を招くだけでなく、センサケースがセンサ軸に対
して回転すると信号線９がねじれたり、コネクタ部との
こじれを生じ、損傷するなどの欠点があり、振動の激し
い場所などにおける使用ができず、適用範囲を狭めてい
た。本発明は、センサケースの一方の側板を、センサ軸
もしくは接続治具に固着させ、他方の側板はセンサ軸お
よび接続治具との間に間隙を設けることにより、検出精
度を維持させ、適用範囲の広い磁歪式歪センサを提供す
ることを目的とする。
にセンサケースを保持し、磁歪膜と検出コイルの位置決
めを確実にするため、センサケース６の両側板を接続治
具１０、１１に圧着保持させているので、センサ軸１と
センサケース６が、温度差により膨張や収縮差を生じる
と、センサ軸１に計測すべき歪以外の歪の原因となる応
力が加わり、歪センサの精度を低下させる。また、屋外
に設置された場合は、風や設置場所の振動などによって
センサ軸やコイルに衝撃を与えたり、空隙が変動して出
力変動を招くだけでなく、センサケースがセンサ軸に対
して回転すると信号線９がねじれたり、コネクタ部との
こじれを生じ、損傷するなどの欠点があり、振動の激し
い場所などにおける使用ができず、適用範囲を狭めてい
た。本発明は、センサケースの一方の側板を、センサ軸
もしくは接続治具に固着させ、他方の側板はセンサ軸お
よび接続治具との間に間隙を設けることにより、検出精
度を維持させ、適用範囲の広い磁歪式歪センサを提供す
ることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、一部
の外周面に磁歪膜を付着させ、両端に歪発生部材を連結
する接続治具をそなえたセンサ軸と、このセンサ軸を挿
通したセンサケースをそなえ、前記センサケースに、磁
歪膜に対向させた励磁コイルおよび検出コイルと、磁歪
膜のない部分に対向させた励磁コイルおよび検出コイル
と、前記コイルのヨークとを一体化して保持させ、この
センサケースの一方の側板を前記センサ軸と接続治具の
いずれかに固着させ、他方の側板とセンサ軸および接続
治具との間に間隙を設けて接触しないように支持させて
いる。
の外周面に磁歪膜を付着させ、両端に歪発生部材を連結
する接続治具をそなえたセンサ軸と、このセンサ軸を挿
通したセンサケースをそなえ、前記センサケースに、磁
歪膜に対向させた励磁コイルおよび検出コイルと、磁歪
膜のない部分に対向させた励磁コイルおよび検出コイル
と、前記コイルのヨークとを一体化して保持させ、この
センサケースの一方の側板を前記センサ軸と接続治具の
いずれかに固着させ、他方の側板とセンサ軸および接続
治具との間に間隙を設けて接触しないように支持させて
いる。
【０００５】
【発明の実施の形態】両端に歪発生部材を連結する接続
治具をそなえたセンサ軸の一部の外周面に磁歪膜を付着
させ、この磁歪膜に空隙を介して対向させた励磁コイル
と検出コイル、および磁歪膜を付着させていない外周面
に空隙を介して対向させた励磁コイルと検出器コイルを
そなえ、これらのコイルをヨークとともに一体化してセ
ンサケースに保持させ、前記励磁コイルを直列に接続し
て励磁し、検出コイル相互の出力からセンサ軸に加わる
歪を検出する歪センサにおいて、センサケースの一方の
側板をセンサ軸に取り付けた接続治具に固着させ、他方
の側板とセンサ軸および接続治具との間に適当な間隙を
設けて前記固着部によって支持させている。なお、セン
サ軸が、センサケースの側板から突出している場合は、
センサケースの一方の側板を、センサ軸のセンサケース
外側の部分に固着させることができる。また、センサ軸
のセンサケース側板より外側の部分に、支持カラーを取
り付けて、センサケースの側板と支持カラーとを固着さ
せるようにしてもよい。なお、このようにセンサケース
の一方の側板を接続治具もしくはセンサ軸に固着し、他
方の側板と接続治具およびセンサ軸との間に設けた間隙
に、弾力性を有する充填材を設けることができる。ま
た、センサ軸の磁歪膜は、センサケースと固着する側に
配置させることが望ましい。
治具をそなえたセンサ軸の一部の外周面に磁歪膜を付着
させ、この磁歪膜に空隙を介して対向させた励磁コイル
と検出コイル、および磁歪膜を付着させていない外周面
に空隙を介して対向させた励磁コイルと検出器コイルを
そなえ、これらのコイルをヨークとともに一体化してセ
ンサケースに保持させ、前記励磁コイルを直列に接続し
て励磁し、検出コイル相互の出力からセンサ軸に加わる
歪を検出する歪センサにおいて、センサケースの一方の
側板をセンサ軸に取り付けた接続治具に固着させ、他方
の側板とセンサ軸および接続治具との間に適当な間隙を
設けて前記固着部によって支持させている。なお、セン
サ軸が、センサケースの側板から突出している場合は、
センサケースの一方の側板を、センサ軸のセンサケース
外側の部分に固着させることができる。また、センサ軸
のセンサケース側板より外側の部分に、支持カラーを取
り付けて、センサケースの側板と支持カラーとを固着さ
せるようにしてもよい。なお、このようにセンサケース
の一方の側板を接続治具もしくはセンサ軸に固着し、他
方の側板と接続治具およびセンサ軸との間に設けた間隙
に、弾力性を有する充填材を設けることができる。ま
た、センサ軸の磁歪膜は、センサケースと固着する側に
配置させることが望ましい。
【０００６】
【実施例】以下、図に示す実施例について説明する。図
１において、１はセンサ軸で、一部の外周面にスパッタ
法により付着させた磁歪膜２を設けている。３１、３２
は、前記磁歪膜２の周囲と磁歪膜のない部分に、それぞ
れ空隙を介して設けたソレノイド状の励磁コイル、４
１、４２は前記励磁コイル３１、３２の外側に巻装した
検出コイル、５は前記コイルのヨーク、６は各コイルと
ヨークを一体化して収納したセンサケース、７はセンサ
ケース６に設けたコネクタ、８は信号処理回路で、信号
線９で励磁コイル３１、３２を励磁し、検出コイル４
１、４２からの出力信号を処理する。１０、１１はセン
サ軸１の両端に設けた接続治具で、図示しない歪発生部
材を接続する。１２はセンサケース６の一方の側板６ａ
と、この側板に接触する接続治具１０とを固着させた固
着部で、たとえば溶着や接着剤による接着である。１３
はセンサケースの他方の側板６ｂと接続治具１１との間
に設けた間隙、１４はセンサケースとセンサ軸の間に挿
入したＯリングである。なお、固着部１２は、センサケ
ースの全周を固着してもよいが、数個所で固着させれば
よく、熱膨張差などによるセンサ軸への影響を防ぐため
に、センサケース６の側板６ａとセンサ軸１との間に間
隙ｇを設けており、要すればＯリングを挿入することが
できる。センサ軸１が、直径２７ｍｍのＳＵＳ３０４か
らなる棒状体に形成され、外周面の一部に９０ｗｔ％Ｎ
ｉ−Ｆｅ合金をスパッタ法により付着させた磁歪膜２を
設け、このセンサ軸１の磁歪膜に対向して２００ターン
のソレノイド状の励磁コイル３１と、４００ターンの検
出コイル４１を設け、磁歪膜２を付着させていない部分
に、同様の励磁コイル３２と検出コイル４２を設けた歪
センサを構成し、センサケースに両側の接続治具を圧着
させた従来の構造の歪センサと、図１のようにセンサケ
ースの一方の側板６ａを接続治具１０に固着させ、他方
の側板６ｂと接続治具１１との間に０．５ｍｍの間隙１
３を設けた本発明の歪センサについて、１．５トンの張
力を加えた状態で、周囲温度を−１５度から＋６０度に
変化させて、定格出力４Ｖに対する出力変動を測定した
結果、従来構造での平均変動電圧は２９０ｍｖ（変動率
７．３％）であるのに対し、本発明の場合の平均変動電
圧は８ｍｖ（変動率０．２％）であった。なお、間隙１
３は図では過大に示しているが、センサの使用温度範囲
に合わせて間隙を調節しておけばよい。このように、セ
ンサケース６の一方の側板６ａを接続治具１０に固着さ
せ、他方の側板６ｂと接続治具１１およびセンサ軸１と
の間に、間隙１３を設けているので、センサ軸１および
センサケース６が温度変化などで膨張あるいは収縮して
も、両者の膨張差や収縮差によるずれが間隙１３内で行
われ、センサ軸１に計測する歪以外の応力が加わること
がなく、また振動などの外力が加わっても、固着部１２
によりセンサ軸１とセンサケース６が強固に固着されて
おり、軸方向のずれや回転を防ぎ、センサ軸１とコイル
との空隙および磁歪膜２に対する対向位置が一定に保持
され、前記の実験結果のように出力変動を著しく減少さ
せることができる。
１において、１はセンサ軸で、一部の外周面にスパッタ
法により付着させた磁歪膜２を設けている。３１、３２
は、前記磁歪膜２の周囲と磁歪膜のない部分に、それぞ
れ空隙を介して設けたソレノイド状の励磁コイル、４
１、４２は前記励磁コイル３１、３２の外側に巻装した
検出コイル、５は前記コイルのヨーク、６は各コイルと
ヨークを一体化して収納したセンサケース、７はセンサ
ケース６に設けたコネクタ、８は信号処理回路で、信号
線９で励磁コイル３１、３２を励磁し、検出コイル４
１、４２からの出力信号を処理する。１０、１１はセン
サ軸１の両端に設けた接続治具で、図示しない歪発生部
材を接続する。１２はセンサケース６の一方の側板６ａ
と、この側板に接触する接続治具１０とを固着させた固
着部で、たとえば溶着や接着剤による接着である。１３
はセンサケースの他方の側板６ｂと接続治具１１との間
に設けた間隙、１４はセンサケースとセンサ軸の間に挿
入したＯリングである。なお、固着部１２は、センサケ
ースの全周を固着してもよいが、数個所で固着させれば
よく、熱膨張差などによるセンサ軸への影響を防ぐため
に、センサケース６の側板６ａとセンサ軸１との間に間
隙ｇを設けており、要すればＯリングを挿入することが
できる。センサ軸１が、直径２７ｍｍのＳＵＳ３０４か
らなる棒状体に形成され、外周面の一部に９０ｗｔ％Ｎ
ｉ−Ｆｅ合金をスパッタ法により付着させた磁歪膜２を
設け、このセンサ軸１の磁歪膜に対向して２００ターン
のソレノイド状の励磁コイル３１と、４００ターンの検
出コイル４１を設け、磁歪膜２を付着させていない部分
に、同様の励磁コイル３２と検出コイル４２を設けた歪
センサを構成し、センサケースに両側の接続治具を圧着
させた従来の構造の歪センサと、図１のようにセンサケ
ースの一方の側板６ａを接続治具１０に固着させ、他方
の側板６ｂと接続治具１１との間に０．５ｍｍの間隙１
３を設けた本発明の歪センサについて、１．５トンの張
力を加えた状態で、周囲温度を−１５度から＋６０度に
変化させて、定格出力４Ｖに対する出力変動を測定した
結果、従来構造での平均変動電圧は２９０ｍｖ（変動率
７．３％）であるのに対し、本発明の場合の平均変動電
圧は８ｍｖ（変動率０．２％）であった。なお、間隙１
３は図では過大に示しているが、センサの使用温度範囲
に合わせて間隙を調節しておけばよい。このように、セ
ンサケース６の一方の側板６ａを接続治具１０に固着さ
せ、他方の側板６ｂと接続治具１１およびセンサ軸１と
の間に、間隙１３を設けているので、センサ軸１および
センサケース６が温度変化などで膨張あるいは収縮して
も、両者の膨張差や収縮差によるずれが間隙１３内で行
われ、センサ軸１に計測する歪以外の応力が加わること
がなく、また振動などの外力が加わっても、固着部１２
によりセンサ軸１とセンサケース６が強固に固着されて
おり、軸方向のずれや回転を防ぎ、センサ軸１とコイル
との空隙および磁歪膜２に対する対向位置が一定に保持
され、前記の実験結果のように出力変動を著しく減少さ
せることができる。
【０００７】図２は、第２の実施例で、センサケース６
の他方の側板６ｂと接続治具１１との間の間隙１３に、
弾力性を有する充填材１５を設けて間隙１３からの雨水
などの侵入を防ぐとともに、側板６ｂの支持を確実にし
たもので、充填剤としては、たとえばシリコーン、ポリ
ウレタン、プチルゴムなどの硬化時の体積変化が少なく
耐久性の高い材料を塗布あるいは埋め込んでおり、図１
と同じ部分に同一の符号を付してある。図３は、第３の
実施例で、センサケース６の両側に突出させた長いセン
サ軸１をそなえており、センサケース６の一方の側板６
ａとセンサ軸１とを固着部１２により固着させている。
なお、図１と同一の符号は同じ部分を示しており、実験
の結果は図１と同様の効果が得られた。図４は、第４の
実施例を示すもので、固着装置によりセンサ軸とセンサ
ケースを固着させており、図１と同じ部分に同一の符号
を付している。センサケース６の側板６ａから突出した
センサ軸１に、止めねじ１６で固着させた支持カラー１
７を取り付け、この支持カラー１７とセンサケースの側
板６ａとを連結ねじ１８で連結させ、センサ軸１に対し
てセンサケース６を周方向および軸方向に固着させてい
る。なお、図３や図４の実施例においても、センサケー
ス６の他方の側板６ｂは、接続治具１１およびセンサ軸
１とは間隙１３をそなえており、この間隙１３に充填材
１５を設けることができる。また、図の実施例では、ヨ
ーク５をセンサケース６に収納しているが、ヨークの両
側をセンサ軸１に支持させて、ヨーク自体でセンサケー
スを構成させるようにした場合も、同様にヨークの一方
側をセンサ軸と接続治具のいずれかに固着させる固着部
を設ければよい。
の他方の側板６ｂと接続治具１１との間の間隙１３に、
弾力性を有する充填材１５を設けて間隙１３からの雨水
などの侵入を防ぐとともに、側板６ｂの支持を確実にし
たもので、充填剤としては、たとえばシリコーン、ポリ
ウレタン、プチルゴムなどの硬化時の体積変化が少なく
耐久性の高い材料を塗布あるいは埋め込んでおり、図１
と同じ部分に同一の符号を付してある。図３は、第３の
実施例で、センサケース６の両側に突出させた長いセン
サ軸１をそなえており、センサケース６の一方の側板６
ａとセンサ軸１とを固着部１２により固着させている。
なお、図１と同一の符号は同じ部分を示しており、実験
の結果は図１と同様の効果が得られた。図４は、第４の
実施例を示すもので、固着装置によりセンサ軸とセンサ
ケースを固着させており、図１と同じ部分に同一の符号
を付している。センサケース６の側板６ａから突出した
センサ軸１に、止めねじ１６で固着させた支持カラー１
７を取り付け、この支持カラー１７とセンサケースの側
板６ａとを連結ねじ１８で連結させ、センサ軸１に対し
てセンサケース６を周方向および軸方向に固着させてい
る。なお、図３や図４の実施例においても、センサケー
ス６の他方の側板６ｂは、接続治具１１およびセンサ軸
１とは間隙１３をそなえており、この間隙１３に充填材
１５を設けることができる。また、図の実施例では、ヨ
ーク５をセンサケース６に収納しているが、ヨークの両
側をセンサ軸１に支持させて、ヨーク自体でセンサケー
スを構成させるようにした場合も、同様にヨークの一方
側をセンサ軸と接続治具のいずれかに固着させる固着部
を設ければよい。
【０００８】
【発明の効果】このように本発明によれば、センサケー
スの一方の側板を、センサ軸と接続治具のいずれかに固
着させ、他方の側板と接続治具およびセンサ軸との間に
間隙を設けるようにしてあるので、温度差などによる膨
張あるいは収縮によって生じるセンサ出力の変動を著し
く減少させるだけでなく、センサケースの保持を確実に
し、外力によるセンサ軸とセンサケースしたがって検出
コイルとの位置ずれを防いで歪センサの精度を維持させ
ることができ、センサケースとセンサ軸との回転を無く
してコネクタや信号線の損傷を防止でき、振動が大きい
場合などにおいても、出力変動や損傷をなくし、歪セン
サの適用範囲を拡大できるなどの効果が得られる。ま
た、センサ軸の磁歪膜をセンサ軸と固着させる側に設け
ることによって、磁歪膜コイルとの位置ずれや空隙の変
化をほとんどゼロにすることができる。なお、センサ軸
に支持カラーを取り付けてセンサケースを固着させるよ
うにすれば、磁歪膜とコイルとの位置の調整を容易にし
得る利点がある。
スの一方の側板を、センサ軸と接続治具のいずれかに固
着させ、他方の側板と接続治具およびセンサ軸との間に
間隙を設けるようにしてあるので、温度差などによる膨
張あるいは収縮によって生じるセンサ出力の変動を著し
く減少させるだけでなく、センサケースの保持を確実に
し、外力によるセンサ軸とセンサケースしたがって検出
コイルとの位置ずれを防いで歪センサの精度を維持させ
ることができ、センサケースとセンサ軸との回転を無く
してコネクタや信号線の損傷を防止でき、振動が大きい
場合などにおいても、出力変動や損傷をなくし、歪セン
サの適用範囲を拡大できるなどの効果が得られる。ま
た、センサ軸の磁歪膜をセンサ軸と固着させる側に設け
ることによって、磁歪膜コイルとの位置ずれや空隙の変
化をほとんどゼロにすることができる。なお、センサ軸
に支持カラーを取り付けてセンサケースを固着させるよ
うにすれば、磁歪膜とコイルとの位置の調整を容易にし
得る利点がある。
【図１】本発明の実施例を示す側断面図である。
【図２】第２の実施例を示す側断面図である。
【図３】第３の実施例を示す側断面図である。
【図４】第４の実施例を示す側断面図である。
【図５】従来の例を示す側断面図である。
１ センサ軸 ２ 磁歪膜 ３１、３２ 励磁コイル ４１、４２ 検出コイル ５ ヨーク ６ センサケース ６ａ 一方の側板 ６ｂ 他方の側板 ７ コネクタ ８ 信号処理回路 ９ 信号線 １０、１１ 接続治具 １２ 固着部 １３ 間隙 １４ Ｏリング １５ 充填材 １６ 止めねじ １７ 支持カラー １８ 連結ねじ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 満昭 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１号 株式会社安川電機内
Claims (6)
- 【請求項１】 一部の外周面に磁歪膜を付着させ、両端
に歪発生部材を連結する接続治具をそなえたセンサ軸
と、前記磁歪膜に空隙を介して対向させた励磁コイルと
検出コイル、および磁歪膜を付着させていない外周面に
空隙を介して対向させた励磁コイルと検出コイルをそな
え、前記各コイルとヨークを一体に保持し前記センサ軸
を挿通したセンサケースとをそなえ、前記励磁コイルを
直列に接続して励磁し、センサ軸に加わる歪を、磁歪材
料の透磁率の変化にもとづくインピーダンス変化として
検出する歪センサにおいて、センサケースの一方の側板
をセンサ軸と接続治具のいずれかに固着させ、他方の側
板とセンサ軸および接続治具との間に間隙を設けたこと
を特徴とする磁歪式歪センサ。 - 【請求項２】 前記センサケースの他方の側板とセンサ
軸との間隙に、弾力性を有する充填材を設けた請求項１
記載の磁歪式歪センサ。 - 【請求項３】 前記センサケースの一方の側板を、セン
サ軸に設けた接続治具に固着させた請求項１または２記
載の磁歪式歪センサ。 - 【請求項４】 前記センサケースの一方の側板を、セン
サ軸のセンサケース外側の部分に固着させた請求項１ま
たは２記載の磁歪式歪センサ。 - 【請求項５】 前記センサケースの一方の側板を、セン
サ軸のセンサケース外側の部分に取り付けた支持カラー
に固着させた請求項１または２記載の磁歪式歪センサ。 - 【請求項６】 前記センサ軸の磁歪膜と、この磁歪膜に
対向するコイルを、センサケースの前記一方の側板に近
い位置に配置させた請求項１ないし５のいずれかに記載
した磁歪式歪センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36590797A JPH11183275A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 磁歪式歪センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36590797A JPH11183275A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 磁歪式歪センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183275A true JPH11183275A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18485420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36590797A Abandoned JPH11183275A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 磁歪式歪センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11183275A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1997
- 1997-12-22 JP JP36590797A patent/JPH11183275A/ja not_active Abandoned
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