JP3428777B2

JP3428777B2 - 磁歪素子を用いたセンサ

Info

Publication number: JP3428777B2
Application number: JP12858695A
Authority: JP
Inventors: アメールラトール; 輝夫森
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 1995-05-26
Filing date: 1995-05-26
Publication date: 2003-07-22
Anticipated expiration: 2018-07-22
Also published as: JPH08320337A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁歪素子を用いたセン
サに関する。本発明に係るセンサは、加速度センサ、振
動センサまたはトルクセンサ等に用いることができる。
加速度センサとしての具体的用途例は自動車用エンジン
ノックセンサや、自動車安全システム加速度センサを挙
げることができ、また振動センサの具体的用途例として
は、回転機械の異常状態検出センサ等を挙げることがで
きる。

【０００２】

【従来の技術】従来、加速度センサ、振動センサまたは
トルクセンサ等としては、圧電素子を用いたものがよく
知られていた。圧電素子を用いたセンサは、振動等に起
因する外力が圧電振動子に加えられたとき、圧電振動子
に外力に応じた電荷信号が発生する現象を利用したもの
である。

【０００３】しかし、圧電振動子は高インピーダンス素
子として動作するから、電荷信号は外部からの影響に極
めて敏感で、ノイズを拾い易い。従って、高精度で測定
するためには、電荷信号を測定装置に入力する前に、低
インピーダンスの電圧信号に変換する必要がある。この
ため、インピーダンス変換用電子回路と、更に、電源が
必要であり、装置が大型になるという欠点がある。

【０００４】しかも、圧電素子は周囲温度が約１２０℃
を超えると分極劣化が発生し、圧電特性が劣化すると共
に、寿命が短くなる。また、圧電特性は圧電素子に高い
静電気が蓄積された場合も劣化する。更に、圧電素子は
機械的強度が弱いという難点もある。

【０００５】磁歪素子を用いたセンサは、圧電素子を用
いたセンサにおいて発生する問題点を解決できる。磁歪
素子を用いたセンサは、磁歪素子に外力が加わった場合
に、磁歪素子と組み合わされたコイルに電圧信号が発生
するので、インピーダンス変換回路を用いる必要がな
い。また、高温になっても安定に動作するし、静電気等
の高電圧による特性劣化を生じることがない。

【０００６】磁歪素子を用いた振動センサの先行技術文
献としては、U.S.PAT.No.4,161,665号がある。U.S.PAT.
No.4,161,665号は、エンジンノックの検出に用いられる
振動センサを開示している。この振動センサは、コイル
を巻いた円柱状のＦｅーＮｉ系磁歪素子を、ヨーク及び
磁石によって構成される磁気回路要素と一緒に、ハウジ
ング内に配置した構造を有する。磁気回路要素は、磁歪
素子にバイアス磁界を加える。ハウジングと磁歪素子と
の間に板バネが配置されており、この板バネによって、
磁歪素子にプレストレスが印加される。磁歪素子に対し
て、縦方向の振動が加わると、この振動に起因した磁歪
素子の縦方向の寸法変化により、磁歪素子の透磁率が変
化する。このため、コイルと鎖交する磁束が変化し、コ
イルに電圧が誘起する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ＦｅーＮｉ系磁歪素子
は、導電性を有する。このため、振動に起因した磁歪素
子の縦方向の寸法変化により磁歪素子の透磁率が変化
し、磁歪素子に渦電流が流れ、渦電流損失が発生する。
U.S.PAT.No.4,161,665号では、複数の磁歪素子を並べて
用いているので、磁歪素子の相互間で渦電流が流れるの
を阻止できる。しかし、複数の磁歪素子が必要であり、
部品点数の増加、構造の複雑化及びコストアップ等を招
く。

【０００８】しかも、磁歪素子のそれぞれは断面が円形
状であるから、磁歪素子それ自体では、渦電流を抑制す
ることができない。このため、渦電流損失による効率の
低下及びコイル誘起電圧の低下を回避することができな
い。

【０００９】更に、U.S.PAT.No.4,161,665号は単一方向
の振動を検出するセンサを開示するのみであり、２方向
以上の振動を検出する技術を開示していない。

【００１０】本発明の課題は、高い出力電圧を得ること
の可能な高効率のセンサを提供することである。

【００１１】本発明のもう一つの課題は、渦電流を抑制
できる高効率の磁歪素子型センサを提供することであ
る。

【００１２】本発明のもう一つの課題は、少ない部品点
数及び簡単な構造で渦電流を抑制できる磁歪素子型セン
サを提供することである。

【００１３】本発明のもう一つの課題は、多方向力を検
出し得る磁歪素子型センサを提供することである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明に係るセンサは、少なくとも１つのコイル
と、１つの磁歪素子と、磁気回路要素とを含む。前記コ
イルは、前記磁歪素子の伸縮に応じた電圧を生じるよう
に前記磁歪素子と組み合わされている。前記磁歪素子
は、導電性を有し、相対する両端が拘束され、前記両端
の方向にとられた軸方向のほぼ全長に沿って形成された
空洞部を有する。前記磁気回路要素は、前記磁歪素子に
バイアス磁界を印加する。

【００１５】好ましくは、前記磁気回路要素は、前記磁
歪素子の相対する両端を拘束し、かつ、加圧する。前記
磁気回路要素は、具体的には、マグネットと、ヨークと
を含んでいる。前記ヨークは、第１のヨーク部材と、第
２のヨーク部材とを含む。前記第１のヨーク部材が前記
軸方向の一端側に配置され、前記第２のヨーク部材は前
記軸方向の他端側に配置される。前記マグネットは、前
記第１のヨーク部材及び前記第２のヨーク部材の間に配
置される。前記第１のヨーク部材及び前記第２のヨーク
部材は、前記空洞部を通って貫通する締め付けピンによ
って固定され、それによって、前記磁歪素子が軸方向の
両端側から加圧される。

【００１６】一つの具体的態様として、前記コイルの少
なくとも一つは、前記空洞部の貫通する方向を軸方向と
したとき、前記磁歪素子の前記軸方向の伸縮に応じた電
圧を生じる。かかる場合、前記コイルは、巻き軸が前記
軸方向と一致するようにして、前記磁歪素子の周りに巻
かれている。

【００１７】別の態様として、前記コイルの少なくとも
一つは、前記空洞部の貫通する方向を軸方向としたと
き、前記磁歪素子の前記軸方向と直交する方向に加わる
力に起因する前記磁歪素子の伸縮に応じた電圧を生じ
る。かかる場合、前記コイルは、前記磁歪素子の外周面
及び前記空洞部の内周面を通って前記磁歪素子に巻かれ
る。

【００１８】前記磁歪素子は、好ましくは、ＲＦｅ₂系
磁歪材料でなる。このような磁歪材料でなる磁歪素子は
超磁歪素子と称されることもある。

【００１９】本発明に係るセンサの主な用途は、加速度
センサ、振動センサまたはトルクセンサである。

【００２０】

【作用】コイルは磁歪素子の伸縮に応じた電圧を生じる
ように磁歪素子と組み合わされている。磁歪素子は相対
する両端が拘束されており、磁気回路要素は磁歪素子に
バイアス磁界を加える。この構成において、振動、加速
度またはトルク等に起因する外力が磁歪素子に加わる
と、磁歪素子の寸法が変化し、磁歪素子の透磁率が変化
する。このため、磁歪素子の磁束密度が変化し、コイル
と鎖交する磁束が変化し、コイルに電圧が誘起する。こ
の誘起電圧から、加えられた外力を検知することができ
る。

【００２１】磁歪素子は、ＦｅーＮｉ系磁歪材料または
ＲＦｅ₂系磁歪材料で構成されていて導電性を有する。
このため、磁歪素子の寸法が変化して磁束密度が変化し
た場合、磁束の変化に起因して、磁歪素子に渦電流が流
れる。渦電流の大きさは磁歪素子の厚みに逆比例する。
本発明において、磁歪素子は、相対する両端の方向のほ
ぼ全長に沿って形成された少なくとも１つの空洞部を有
するから、磁歪素子の厚みが空胴部によって薄くなる。
このため、渦電流が抑制され、高い出力電圧を得ること
ができる。

【００２２】本発明において、磁歪素子は１本であり、
この磁歪素子に設けられた空洞部によって、渦電流を抑
制する構造を採用しているから、少ない部品点数及び簡
単な構造で渦電流を抑制できる。

【００２３】磁気回路要素が、磁歪素子の相対する両端
を拘束し、かつ、加圧する構造の場合、加圧により磁歪
素子にプレストレスが加えられる。このプレストレスは
磁歪素子の抵抗変化を増大させ、効率を向上させる。し
かも、この構造の場合は、磁気回路要素を、磁歪素子を
支持し、かつ、加圧する支持機構として兼用できる。こ
のため、部品点数が少なくなり、構造が簡単になる。

【００２４】一つの具体的態様として、コイルの少なく
とも一つが、空洞部の貫通する方向を軸方向としたと
き、磁歪素子の軸方向の伸縮に応じた電圧を生じる構造
をとった場合、空洞部の軸方向、即ち、縦方向の加速度
及び振動等を検出するセンサを得ることができる。ねじ
れ等も検出することができ、従って、トルクセンサとし
ても用いることができる。かかる場合、コイルは、巻き
軸が軸方向と一致するようにして、磁歪素子の周りに巻
かれる。

【００２５】更に別の態様として、コイルの少なくとも
一つが、空洞部の貫通する方向を軸方向としたとき、磁
歪素子の軸方向と直交する方向に加わる力に起因する磁
歪素子の伸縮に応じた電圧を生じるような配置をとるこ
ともできる。このようなコイル配置をとることにより、
軸方向と直交する横方向の加速度及び振動を検出するこ
とができる。また、この場合にも、ねじれ等を検出する
ことができ、従って、トルクセンサとしても用いること
ができる。縦方向の加速度及び振動等を検出するコイル
配置と併せて、横方向の加速度及び振動等を検出するコ
イル配置を有する場合は、加速度センサ、振動センサま
たはトルクセンサとしての実用性が一層高まる。かかる
場合の具体的態様として、コイルは、磁歪素子の外周面
及び空洞部の内周面を通って磁歪素子に巻かれる。

【００２６】本発明の他の目的、構成及び効果は、添付
図面を参照して、以下に更に詳しく説明する。

【００２７】

【実施例】図１は本発明に係るセンサの正面部分断面
図、図２は図１のＡ２ーＡ２線に沿った断面図である。
本発明に係るセンサは、少なくとも１つのコイル１と、
１つの磁歪素子２と、磁気回路要素３とを含む。コイル
１は、磁歪素子２の伸縮に応じた電圧を生じるように磁
歪素子２と組み合わされている。磁歪素子２は、導電性
材料で構成され、相対する両端２１、２２が拘束され、
両端２１、２２の方向のほぼ全長に沿って形成された少
なくとも１つの空洞部２３を有する。

【００２８】磁歪素子２は、Ｎｉ−Ｆｅ系磁歪材料、Ｒ
Ｆｅ₂系磁歪材料等で構成できる。特にＲＦｅ₂系磁歪材
料で構成することが望ましい。この場合は、極めて大き
な磁気抵抗の変化、大きな出力電圧、安定した温度特性
等を有するセンサが得られる。磁気回路要素３は磁歪素
子２にバイアス磁界を加える。参照符号１０１、１０２
はコイル１のリード線である。

【００２９】上述のように、コイル１は磁歪素子２の伸
縮に応じた電圧を生じるように磁歪素子２と組み合わさ
れている。磁歪素子２は相対する両端２１、２２が拘束
されており、磁気回路要素３は磁歪素子２にバイアス磁
界を加える。従って、振動、加速度またはトルク等の外
力が磁歪素子２に加わると、磁歪素子２の寸法が変化
し、磁歪素子２の透磁率が変化する。このため、磁歪素
子２の磁束密度が変化し、コイル１と鎖交する磁束が変
化し、コイル１に電圧が誘起する。この誘起電圧から、
加えられた外力を検知することができる。

【００３０】磁歪素子２は、ＦｅーＮｉ系磁歪材料また
はＲＦｅ₂系磁歪材料等で構成されていて導電性を有す
る。このため、磁歪素子２の寸法が変化して磁束密度が
変化した場合、磁束の変化に起因して、磁歪素子２に渦
電流Ｉｄ（図２参照）が流れる。渦電流Ｉｄの大きさは
磁歪素子２の厚みＴ（図１参照）に逆比例する。本発明
において、磁歪素子２は、相対する両端２１、２２の方
向のほぼ全長に沿って形成された空洞部２３を有するか
ら、磁歪素子２の厚みＴが空胴部２３によって薄くな
る。このため、渦電流Ｉｄが抑制され、高い出力電圧を
得ることができる。

【００３１】本発明において、磁歪素子２は１本であ
り、この磁歪素子２に設けられた空洞部２３によって渦
電流を抑制する構造を採用しているから、少ない部品点
数及び簡単な構造で渦電流を抑制できる。渦電流の抑制
作用は、磁歪素子２の厚みが薄くなるほど顕著になる。
従って、空洞部２３は必要な渦電流抑制作用と、磁歪素
子２の機械的強度とが得られるような寸法に定められ
る。

【００３２】磁気回路要素３は、磁歪素子２の相対する
両端２１、２２を拘束し、かつ、加圧する。加圧により
磁歪素子２にプレストレスが印加される。このプレスト
レスは磁歪素子２の抵抗変化を増大させ、効率を向上さ
せる。しかも、この構造の場合は、磁気回路要素３を、
磁歪素子２を支持し、かつ、加圧する支持機構として兼
用できる。このため、部品点数が少なくなり、構造が簡
単になる。

【００３３】実施例において、磁気回路要素３は、マグ
ネット３１と、ヨーク３２、３３とを含んでいる。ヨー
ク３２、３３は、第１のヨーク部材３２と、第２のヨー
ク部材３３とを含む。第１のヨーク部材３２が軸方向Ｚ
の一端側に配置され、第２のヨーク部材３３は軸方向Ｚ
の他端側に配置される。マグネットは、第１のヨーク部
材３２及び第２のヨーク部材３３の間に配置される。第
１のヨーク部材３２及び第２のヨーク部材３３は、空洞
部２３を通って貫通する締め付けピン３４によって固定
され、それによって、磁歪素子２が軸方向Ｚの両端２
１、２２側から加圧される。ピン３４は非磁性材料によ
って構成される。ピン３４の両端に締め付けナット３
５、３６が結合されている。ナット３５、３６の一方
は、ピン３４と一体に形成してもよい。

【００３４】この構造によれば、少ない部品点数及び簡
単な構造で、磁歪素子２に対して均一な磁界を印加する
ことができ、磁歪素子２を効率よく動作させることがで
きる。また、磁歪素子２にプレストレスを印加し、磁歪
素子２の磁気抵抗変化を大きくすることができる。磁気
抵抗変化の増大は出力増大をもたらす。

【００３５】コイル１は、空洞部２３の貫通する方向を
軸方向Ｚとしたとき、磁歪素子２の軸方向Ｚの伸縮に応
じた電圧を生じる配置になっている。このような構造を
とることにより、空洞部２３の軸方向Ｚ、即ち、縦方向
の加速度及び振動を検出するセンサを得ることができ
る。かかる場合、コイル１は、巻き軸が軸方向Ｚと一致
するようにして、磁歪素子２の周りに巻かれる。

【００３６】磁歪素子２に軸方向Ｚの伸縮を許容するた
め、磁歪素子２の両端２１、２２を、第１のヨーク３
２、第２のヨーク部材３３、ピン３４及びナット３５、
３６によって締め付けたとき、マグネット３１と第１の
ヨーク部材３２または第２のヨーク部材３３との間に空
隙Ｇ１が生じるように組み立てる。

【００３７】図３はコイル１の出力電圧波形（ａ）と、
与えらた振動による磁歪素子２の変位波形（ｂ）とを、
時間軸を一致させて示す図である。図示するように、振
動による磁歪素子２へ変位が最大となる位置で、大きな
出力電圧が得られる。

【００３８】実施例において、空洞部２３は一方向に貫
通する孔で構成されている。かかる構造の場合は、空洞
部２３をピン３４を通すための空間として利用できる。
ピン３４は磁気回路要素３を磁歪素子２に結合させる手
段として用いられるものであるが、更に、磁歪素子２の
変位にも影響を与える。従って、ピン３４は測定しよう
とする加速度、振動またはトルクに適した変位が得られ
るように、材質または断面径等を選定し、それによって
必要なバネ定数を与える。

【００３９】トルクセンサとして用いる場合は、第１の
ヨーク部材３２または第２のヨーク部材３３の何れか一
方、例えば第１のヨーク部材３２を固定し、第２のヨー
ク部材３３に軸方向Ｚの周りの回転Ｍとして与えられる
トルクを検出する。

【００４０】図４は本発明に係る磁歪素子２の他の実施
例を示す断面図である。この実施例では、磁歪素子２の
外周面に、軸方向Ｚに沿って溝２４を設け、この溝２４
によって、磁歪素子２の肉厚部を周方向において分断し
てある。このような構造であると、渦電流Ｉｄの流れが
溝２４によって遮断できるので、渦電流Ｉｄを一層確実
に抑制することができる。

【００４１】図５は本発明に係る磁歪素子２の他の実施
例を示す断面図である。この実施例では、磁歪素子２は
外周面に、軸方向Ｚに沿って溝２４を設け、この溝２４
によって、磁歪素子２の肉厚部を周方向において分断し
てある他、磁歪素子２を矩形状の外形形状にしてある。
この実施例に示すように、磁歪素子２は円筒状に限ら
ず、種々の外形形状をとることができる。

【００４２】図６は本発明に係る磁歪素子２の他の実施
例を示す断面図である。この実施例では、磁歪素子２は
複数本の空洞部２３１〜２３５を有する。空洞部２３１
はピンを通すための孔として用いることができる。複数
本の空洞部２３１〜２３５を有する場合も、渦電流阻止
作用を向上させることができる。

【００４３】図７は本発明に係るセンサの正面部分断面
図、図８は図７のＡ８ーＡ８線に沿った断面図である。
実施例において、３つのコイル１１、１２及び１３が備
えられている。コイル１１は、縦方向の加速度及び振動
を検出すべく、巻き軸が軸方向Ｚと一致するようにし
て、磁歪素子２の周りに巻かれる。コイル１２、１３
は、空洞部２３の貫通する方向を軸方向Ｚとしたとき、
磁歪素子２の軸方向Ｚと直交する方向Ｘの振動または加
速度等を検出するように配置されている。コイル１２、
１３は、磁歪素子２の外周面及び空洞部２３の内周面を
通って磁歪素子２に巻かれる。参照符号１１１、１１２
はコイル１１のリード線、参照符号１２１、１２２はコ
イル１２または１３のリード線である。

【００４４】このようなコイル配置をとることにより、
軸方向Ｚと直交する横方向Ｘの加速度及び振動を検出す
ることができる。従って、縦方向（軸方向）Ｚの加速度
及び振動を検出するコイル１１と併せて、横方向Ｘの加
速度及び振動を検出するコイル配置が得られ、加速度セ
ンサ、振動センサ及びトルクセンサ等としての実用性が
一層高まる。

【００４５】図９は振動方向Ｘ１及びＸ２の横振動が与
えられた場合の磁歪素子の動作を概略的に示す図であ
る。磁歪素子２に振動方向Ｘ１の加振力が与えられた場
合、磁歪素子２は、振動方向Ｘ１の前端側において（＋
△Ｄ１）だけ伸び、後端側で−△Ｄ１だけ縮む伸縮特性
Ｄ１を示す。磁歪素子２に、振動方向Ｘ１とは逆方向の
振動方向Ｘ２の加振力が与えられた場合は、磁歪素子２
は、振動方向Ｘ２の前端側において（＋△Ｄ２）だけ伸
び、後端側で−△Ｄ２だけ縮む伸縮特性Ｄ２を示す。振
動方向Ｘ１の前端側にコイル１３があり、後端側にコイ
ル１２があるので、これらのコイル１２、１３に磁歪素
子２の伸縮に伴う電圧が誘起する。コイル１２及びコイ
ル１３の位置で見た磁歪素子２の伸縮動作は、互いに逆
であるので、コイル１２及びコイル１３にはほぼ逆位相
の電圧が誘起する。この関係と、コイル１２及びコイル
１３の巻き方向とを考慮して、コイル１２及びコイル１
３を結線することにより、コイル１２及びコイル１３に
誘起した電圧を加算した出力を得ることができる。但
し、コイル１２、１３の何れか一方を省略してもよい。
また、横方向Ｘの力のみを検出する場合は、コイル１１
は省略できる。

【００４６】図１０は本発明に係るセンサの別の実施例
における断面図である。この実施例では、コイル１１〜
１３の他に、コイル１２、１３の方向Ｘと直交する方向
Ｙのコイル１４、１５を有する。

【００４７】この実施例の場合も、横方向Ｙの加速度及
び振動等を検出することができ、縦方向（軸方向）Ｚの
加速度及び振動を検出するコイル１１、横方向Ｘ、Ｙの
加速度及び振動等を検出するコイル配置が得られる。従
って、加速度センサ、振動センサ及びトルクセンサとし
ての実用性が一層高まる。コイル１２、１３の何れか一
方またはコイル１４、１５の何れか一方を省略してもよ
いことは、前述した通りである。

【００４８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。（ａ）高い出力電圧を得ることの可能な高効率のセンサ
を提供することができる。（ｂ）渦電流を抑制できる高効率の磁歪素子型センサを
提供することができる。（ｃ）少ない部品点数及び簡単な構造で渦電流を抑制で
きる磁歪素子型センサを提供することができる。（ｄ）多方向力を検出し得る磁歪素子型センサを提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るセンサの正面部分断面図である。

【図２】図１のＡ２ーＡ２線に沿った断面図である。

【図３】コイルの出力電圧波形（ａ）と、与えらた振動
による磁歪素子の変位波形（ｂ）とを、時間軸を一致さ
せて示す図である。

【図４】本発明に係るセンサに用いられ得る磁歪素子の
他の実施例を示す断面図である。

【図５】本発明に係るセンサに用いられ得る磁歪素子の
他の実施例を示す断面図である。

【図６】本発明に係るセンサに用いられ得る磁歪素子の
他の実施例を示す断面図である。

【図７】本発明に係るセンサの他の実施例を示す正面部
分断面図である。

【図８】図７のＡ８ーＡ８線に沿った断面図である。

【図９】方向Ｘ１及びＸ２の横振動が与えられた場合の
磁歪素子の動作を概略的に示す図である。

【図１０】本発明に係るセンサの別の実施例における断
面図である。

【符号の説明】１、１１、１２、１３、１４、１５コイル２磁歪素子２１、２２磁歪素子の
両端２３空洞部３磁気回路要
素３１マグネット３２第１のヨー
ク部材３３第２のヨー
ク部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01P 15/08 - 15/11 G01H 11/04 G01H 17/00 H01L 41/12

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも１つのコイルと、１つの磁歪
素子と、磁気回路要素とを含むセンサであって、前記コイルは、前記磁歪素子の伸縮に応じた電圧を生じ
るように前記磁歪素子と組み合わされており、前記磁歪素子は、導電性を有し、相対する両端が拘束さ
れ、前記両端の方向にとられた軸方向のほぼ全長に沿っ
て形成された空洞部を有しており、前記磁気回路要素は、前記磁歪素子にバイアス磁界を印
加する。
【請求項２】請求項１に記載されたセンサであって、前記磁気回路要素は、前記磁歪素子の相対する両端を拘
束し、かつ、加圧する。
【請求項３】請求項２に記載されたセンサであって、前記磁気回路要素は、マグネットと、ヨークとを含んで
おり、前記ヨークは、第１のヨーク部材と、第２のヨーク部材
とを含み、前記第１のヨーク部材が前記軸方向の一端側
に配置され、前記第２のヨーク部材は前記軸方向の他端
側に配置されており、前記マグネットは、前記第１のヨーク部材及び前記第２
のヨーク部材の間に配置されており、前記第１のヨーク部材及び前記第２のヨーク部材は、前
記空洞部を通って貫通する締め付けピンによって固定さ
れ、それによって、前記磁歪素子が軸方向の両端側から
加圧される。
【請求項４】請求項１に記載されたセンサであって、前記コイルの少なくとも一つは、前記空洞部の貫通する
方向を軸方向としたとき、前記磁歪素子の前記軸方向の
伸縮に応じた電圧を生じる。
【請求項５】請求項４に記載されたセンサであって、前記コイルは、巻き軸が前記軸方向と一致するようにし
て、前記磁歪素子の周りに巻かれている。
【請求項６】請求項１に記載されたセンサであって、前記コイルの少なくとも一つは、前記空洞部の貫通する
方向を軸方向としたとき、前記磁歪素子の前記軸方向と
直交する方向に加わる力に起因する前記磁歪素子の伸縮
に応じた電圧を生じる。
【請求項７】請求項６に記載されたセンサであって、前記コイルは、前記磁歪素子の外周面及び前記空洞部の
内周面を通って前記磁歪素子に巻かれている。
【請求項８】請求項１に記載されたセンサであって、前記磁歪素子は、ＲＦｅ₂系磁歪材料でなる。
【請求項９】請求項１に記載されたセンサであって、加速度センサまたは振動センサとして用いられる。