JP2005274160A - トルクセンサ - Google Patents
トルクセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005274160A JP2005274160A JP2004083604A JP2004083604A JP2005274160A JP 2005274160 A JP2005274160 A JP 2005274160A JP 2004083604 A JP2004083604 A JP 2004083604A JP 2004083604 A JP2004083604 A JP 2004083604A JP 2005274160 A JP2005274160 A JP 2005274160A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetostrictive member
- change
- shaft
- torque sensor
- torque
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】部品点数の削減、低コスト化等が実現可能でありながら、同時に、トルク変化の検出を高感度で行うことができるトルクセンサを提供する。
【解決手段】トルクセンサ10は、シャフト12に嵌合され、且つ、このシャフト12の外周面に固定された略筒状体からなる超磁歪部材14と、この超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化量の変化を検出するための検出コイル22と、を有して構成されている。そして、シャフト12におけるトルク変化を、超磁歪部材14の変形に基づく超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化量の変化として検出するようにした。
【選択図】図1
【解決手段】トルクセンサ10は、シャフト12に嵌合され、且つ、このシャフト12の外周面に固定された略筒状体からなる超磁歪部材14と、この超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化量の変化を検出するための検出コイル22と、を有して構成されている。そして、シャフト12におけるトルク変化を、超磁歪部材14の変形に基づく超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化量の変化として検出するようにした。
【選択図】図1
Description
本発明は、磁歪部材を用いたトルクセンサに関する。
従来、磁歪部材の応力磁気効果を用いてトルクの変化を検出可能としたトルクセンサが広く知られている。
例えば、図12に示される従来公知のトルクセンサ1は、チタン合金製のトルク伝達軸2と、このトルク伝達軸2の周囲に同心円状に巻回されたコイル3A、3Bと、を有して構成されており、トルク伝達軸2の表面には、熱処理によって内部応力を低減させた磁歪を有するニッケルー鉄磁性材料薄帯4A、4Bが、平面圧縮応力を印加させた状態で接着されている(特許文献1参照)。
このトルクセンサ1は、トルク伝達軸2からの捩れ応力に基づく磁性薄帯4A、4Bの磁気特性の変化を、コイル3A、3Bのインピーダンス変化として検出し、トルク伝達軸2のトルク変化を検出するようにしたものである。
しかしながら、この従来公知のトルクセンサ1は、磁歪薄体4A、4Bにおける磁気特性の変化(磁歪値の変化)が小さいため、ブリッジ回路等を用いて検出感度を向上させる必要があり、コスト高になってしまうといった問題点があった。
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであって、部品点数の削減、低コスト化等が実現可能でありながら、同時に、トルク変化の検出を高感度で行うことができるトルクセンサを提供することを目的とする。
本発明の発明者は、鋭意研究の結果、部品点数の削減、低コスト化等が実現可能でありながら、同時に、トルク変化の検出を高感度で行うことができるトルクセンサを見出した。
即ち、次のような本発明により、上記目的を達成することができる。
(1)シャフトに嵌合され、且つ、該シャフトの外周面に固定された略筒状体からなる磁歪部材と、該磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出するための検出手段と、を有してなり、前記シャフトにおけるトルク変化を、前記磁歪部材の変形に基づく該磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化として検出するようにしたことを特徴とするトルクセンサ。
(2)前記磁歪部材は、接着剤によって前記シャフトの外周面に接着固定されていることを特徴とする前記(1)記載のトルクセンサ。
(3)前記磁歪部材は、圧入及び焼き嵌めのいずれか一方によって前記シャフトの外周面に固定されていることを特徴とする前記(1)記載のトルクセンサ。
(4)前記磁歪部材の内周面と前記シャフトの外周面との間に弾性フィルムを介在させたことを特徴とする前記(3)記載のトルクセンサ。
(5)前記磁歪部材には所定のバイアス磁界が印加されていることを特徴とする前記(1)乃至(4)のいずれかに記載のトルクセンサ。
(6)前記検出手段は検出コイルを含み、前記磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を前記検出コイルのインダクタンス値の変化として検出するようにしたことを特徴とする前記(1)乃至(5)のいずれかに記載のトルクセンサ。
(7)前記検出手段はホール素子を含み、前記磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を前記ホール素子の起電力変化として検出するようにしたことを特徴とする前記(1)乃至(5)のいずれかに記載のトルクセンサ。
(8)前記検出手段は磁気抵抗効果素子を含み、前記磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を前記磁気抵抗効果素子の起電力変化として検出するようにしたことを特徴とする前記(1)乃至(5)のいずれかに記載のトルクセンサ。
(9)前記磁歪部材は、超磁歪素子を材料とする超磁歪部材からなることを特徴とする前記(1)乃至(8)のいずれかに記載のトルクセンサ。
本発明に係るトルクセンサによれば、部品点数の削減、低コスト化等が実現可能でありながら、同時に、トルク変化の検出を高感度で行うことができるという優れた効果を有する。
本発明に係るトルクセンサは、シャフトに嵌合され、且つ、該シャフトの外周面に固定された略筒状体からなる磁歪部材と、該磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出するための検出手段と、を有してなり、前記シャフトにおけるトルク変化を、前記磁歪部材の変形に基づく該磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化として検出するようにしたことによって、上記課題を解決したものである。
以下、図面を用いて、本発明の実施例1〜3に係るトルクセンサについて詳細に説明する。
図1及び図2に示されるように、本発明の実施例1に係るトルクセンサ10は、シャフト12に嵌合され、且つ、このシャフト12の外周面に固定された略円筒形状の超磁歪部材14と、この超磁歪部材14の近傍に配設された磁気ヘッド16と、を有して構成されている。
超磁歪部材14は、接着剤18によってシャフト12の外周面に接着固定されている。又、この超磁歪部材14は、超磁歪素子を材料としている。ここで、「超磁歪素子」とは、希土類元素および/または特定の遷移金属などを主成分(例えば、テルビウム、ジスプロシウム、鉄など)とする粉末焼結合金あるいは単結晶合金から作られた磁歪素子をいい、外部からの応力によって変形すると大きな透磁率又は残留磁化量の変化を生じる性質を有している。
磁気ヘッド16は、開口部が超磁歪部材14側に向けて配設された略コの字形状のコア20と、このコア20の周囲に巻回された検出コイル(検出手段)22によって構成されている。
検出コイル22は、超磁歪部材14の変形に基づく超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化量の変化をインダクタンス値の変化として検出可能とされている。なお、この例では、検出コイル22におけるインダクタンス値は、LCRメータ24によって検出が可能となっている。
次に、本発明の実施例1に係るトルクセンサ10の作用について説明する。
シャフト12が軸心周りに捩られると、シャフト12の外周面に固定された超磁歪部材14に所定のトルクが伝達される。そして、このトルクによって超磁歪部材14が変形し、超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化量が変化する。従って、この超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化率の変化を検出コイル22のインダクタンス値の変化として検出することで、シャフト12のトルク変化を検出することができる。
本発明の発明者は、シャフト12に印加されるトルクと検出コイル22におけるインダクタンス値の関係についてデータを採集した。なお、本実験では、軸径3mmのステンレス製のシャフト12と、外形6mm、内径3mm、長さ10mmの円筒形状の超磁歪部材14をエポキシ系の接着剤18で接着固定した。又、検出コイル22は、線種が0.12mmのUEW、巻数600ターンとした。その結果、図3に示されるように、データを採集したトルク0(cN・m)〜80(cN・m)の範囲において、シャフト12に印加されるトルクの変化に応じて検出コイル22のインダクタンス値が変化することが見出された。
本実施例1に係るトルクセンサ10によれば、シャフト12に嵌合され、且つ、このシャフト12の外周面に固定された略筒状体からなる超磁歪部材14と、この超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化量の変化を検出するための検出コイル(検出手段)22と、を有してなり、シャフト12におけるトルク変化を、超磁歪部材14の変形に基づく超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化量の変化として検出するようにしたため、超磁歪部材14における磁歪値の変化を大きくすることができ、シャフトのトルク変化の検出を高感度で行うことができる。又、検出感度の向上を目的としたブリッジ回路等が不要なため、従来のトルクセンサに比べ、部品点数を削減することができ、低コスト化を容易に実現することができる。
特に、超磁歪素子を材料とする超磁歪部材14を用いているため、トルク変化の検出感度をより一層高めることができる。
又、超磁歪部材14は接着剤18によってシャフト12の外周面に接着固定されているため、シャフト12と超磁歪部材14を強固に固定することができる上に、シャフト12からの径方向の圧力を接着剤18で吸収しつつ、シャフト12のトルク成分だけを効率良く超磁歪部材14に伝達することができ、この点においてもトルク変化の検出感度の向上が図られている。
次に、図4〜図6を用いて、本発明の実施例2に係るトルクセンサについて説明する。
図4及び図5に示される、本発明の実施例2に係るトルクセンサ30は、超磁歪部材14を圧入によってシャフト12の外周面に固定したものである。又、超磁歪部材14の内周面とシャフト12の外周面との間には、弾性フィルムであるPE(ポリエチレン)フィルム32が介在されている。なお、他の構造については上記実施例1に係るトルクセンサ10と同じであるため、同様な部分については図中において同じ符号を付す事とし、その説明は省略する。
本発明の発明者は、実施例1のトルクセンサ10と同じシャフト12、超磁歪部材14及び検出コイル22を用い、トルクセンサ30のシャフト12に印加されるトルクと検出コイル22におけるインダクタンス値の関係についてデータを採集した。その結果、図6に示されるように、データを採集したトルク0(cN・m)〜50(cN・m)の範囲において、シャフト12のトルク変化に応じて検出コイル22のインダクタンス値が変化することが見出された。
即ち、本実施例2に係るトルクセンサ30によっても、シャフト12におけるトルク変化を、超磁歪部材14の変形に基づく超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化量の変化として検出することができる。
本実施例2に係るトルクセンサ30によれば、超磁歪部材14は圧入によってシャフト12の外周面に固定されているため、超磁歪部材14に圧入による所定の予荷重を印加することができ、実施例1に係るトルクセンサ10と異なる特性を得ることができる。具体的には、超磁歪部材14に所定の予荷重を印加することによって、検出コイル22におけるインダクタンス値の変化の立ち上がりをトルクセンサ10よりも早くすることができる。従って、実施例1及び2に係るトルクセンサ10、30を用意すれば、ユーザーは使用用途に応じてトルクセンサの特性を選択することが可能となる。
又、超磁歪部材14の内周面とシャフト12の外周面との間には、PEフィルム(弾性フィルム)32が介在されているため、シャフト12からの径方向の圧力を弾性フィルム32で吸収しつつ、シャフト12のトルク成分だけを効率良く超磁歪部材14に伝達することができ、トルク変化の検出感度を更に向上させることができる。
なお、本実施例2においては、超磁歪部材14を圧入によってシャフト12の外周面に固定したが、本発明はこれに限定されず、超磁歪部材14を焼き嵌めによってシャフト12の外周面に固定してもよい。
又、超磁歪部材14の内周面とシャフト12の外周面との間に、弾性フィルムとしてPEフィルム32を介在したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、PS(ポリスチレン)フィルム、ゴム等の弾性フィルムを介在させてもよい。
次に、図7〜図9を用いて、本発明の実施例3に係るトルクセンサについて説明する。
図7及び図8に示される、本発明の実施例3に係るトルクセンサ40は、直流電源42によって検出コイル22に固定電流を入力し、超磁歪部材14に所定のバイアス磁界を印加したものである。なお、他の構造については上記実施例2に係るトルクセンサ30と同じであるため、同様な部分については図中において同じ符号を付す事とし、その説明は省略する。
本発明の発明者は、実施例1のトルクセンサ10と同じシャフト12、超磁歪部材14及び検出コイル22を用い、トルクセンサ40のシャフト12に印加されるトルクと検出コイル22におけるインダクタンス値の関係についてデータを採集した。その結果、図9に示されるように、トルク0(cN・m)を基準として、トルク0(cN・m)〜25(cN・m)の範囲においては検出コイル22のインダクタンス値が増加し、トルク0(cN・m)〜−25(cN・m)の範囲においては検出コイル22のインダクタンス値が減少することが見出された。即ち、シャフト12を一方向に捩った場合には、検出コイル22のインダクタンス値が増加し、シャフト12を他方向に捩った場合には、検出コイル22のインダクタンス値が減少することになる。
本実施例3に係るトルクセンサ40によれば、超磁歪部材14には所定のバイアス磁界が印加されているため、シャフト12のトルク変化のみならず、シャフト12の回転方向も検出することができる。
なお、本実施例3においては、直流電源42で検出コイル22に固定電流を入力することによって、超磁歪部材14に所定のバイアス磁界を印加したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、バイアス磁石を配設し、これによって超磁歪部材14にバイアス磁界を印加してもよい。
本発明に係るトルクセンサは、上記実施例1〜3に係るトルクセンサ10、30、40の形状や構造等に限定されるものではなく、例えば、超磁歪部材14は円筒形状の部材に限定されず、角筒形状等の部材であってもよい。
上記実施例1においては、超磁歪部材14を接着剤18によってシャフト12の外周面に接着固定し、又、実施例2及び3においては、超磁歪部材14の内周面とシャフト12の外周面との間にPEフィルム32を介在し、超磁歪部材14を圧入によってシャフト12に固定したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、超磁歪部材14とシャフト12を直接固定してもよい。
更に、本発明における検出手段は検出コイルに限定されるものではなく、例えば、図10及び図11に示されるトルクセンサ50のように、検出手段としてホール素子52(又はMR、GMR等の磁気抵抗効果素子)を適用し、超磁歪部材14の透磁率又は残留磁化量の変化をホール素子52(又は磁気抵抗効果素子)の起電力変化として検出するようにしてもよい。
なお、トルクセンサの検出感度をそれ程高める必要がない場合等には、超磁歪部材14の代わりに、磁歪素子からなる磁歪部材を適用してもよい。
即ち、本発明に係るトルクセンサは、シャフトに嵌合され、且つ、該シャフトの外周面に固定された略筒状体からなる磁歪部材と、該磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出するための検出手段と、を有してなり、前記シャフトにおけるトルク変化を、前記磁歪部材の変形に基づく該磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化として検出するようにしたものであればよい。
1、10、30、40、50…トルクセンサ
2…トルク伝達軸
3A、3B…コイル
4A、4B…磁性薄帯
12…シャフト
14…超磁歪部材
16…磁気ヘッド
18…接着剤
20…コア
22…検出コイル
24…LCRメータ
32…PEフィルム
42…直流電源
2…トルク伝達軸
3A、3B…コイル
4A、4B…磁性薄帯
12…シャフト
14…超磁歪部材
16…磁気ヘッド
18…接着剤
20…コア
22…検出コイル
24…LCRメータ
32…PEフィルム
42…直流電源
Claims (9)
- シャフトに嵌合され、且つ、該シャフトの外周面に固定された略筒状体からなる磁歪部材と、該磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出するための検出手段と、を有してなり、前記シャフトにおけるトルク変化を、前記磁歪部材の変形に基づく該磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化として検出するようにしたことを特徴とするトルクセンサ。
- 請求項1において、
前記磁歪部材は、接着剤によって前記シャフトの外周面に接着固定されていることを特徴とするトルクセンサ。 - 請求項1において、
前記磁歪部材は、圧入及び焼き嵌めのいずれか一方によって前記シャフトの外周面に固定されていることを特徴とするトルクセンサ。 - 請求項3において、
前記磁歪部材の内周面と前記シャフトの外周面との間に弾性フィルムを介在させたことを特徴とするトルクセンサ。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記磁歪部材には所定のバイアス磁界が印加されていることを特徴とするトルクセンサ。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記検出手段は検出コイルを含み、前記磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を前記検出コイルのインダクタンス値の変化として検出するようにしたことを特徴とするトルクセンサ。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記検出手段はホール素子を含み、前記磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を前記ホール素子の起電力変化として検出するようにしたことを特徴とするトルクセンサ。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記検出手段は磁気抵抗効果素子を含み、前記磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を前記磁気抵抗効果素子の起電力変化として検出するようにしたことを特徴とするトルクセンサ。 - 請求項1乃至8のいずれかにおいて、
前記磁歪部材は、超磁歪素子を材料とする超磁歪部材からなることを特徴とするトルクセンサ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004083604A JP2005274160A (ja) | 2004-03-22 | 2004-03-22 | トルクセンサ |
US11/070,003 US7225686B2 (en) | 2004-03-22 | 2005-03-03 | Torque sensing apparatus |
KR1020050023187A KR20060044483A (ko) | 2004-03-22 | 2005-03-21 | 토크 센서 |
CNA2005100559596A CN1673700A (zh) | 2004-03-22 | 2005-03-22 | 扭矩传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004083604A JP2005274160A (ja) | 2004-03-22 | 2004-03-22 | トルクセンサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005274160A true JP2005274160A (ja) | 2005-10-06 |
Family
ID=35174012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004083604A Withdrawn JP2005274160A (ja) | 2004-03-22 | 2004-03-22 | トルクセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005274160A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145048A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Honda Motor Co Ltd | 磁歪式トルクセンサ装置および電動ステアリング用磁歪式トルクセンサ装置および磁歪式トルクセンサ装置のキャリブレーション方法 |
CN108163128A (zh) * | 2018-02-27 | 2018-06-15 | 宋文平 | 一种基于逆磁致伸缩效应的助力自行车双边中轴扭矩传感器 |
JP2019200138A (ja) * | 2018-05-16 | 2019-11-21 | 多摩川精機株式会社 | 透磁率の変化を検出するためのコア構造体および歪み検出装置 |
JP2019203744A (ja) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 多摩川精機株式会社 | 透磁率の変化を検出するためのコアおよび歪み検出装置 |
JP2019211334A (ja) * | 2018-06-05 | 2019-12-12 | 多摩川精機株式会社 | 透磁率の変化を検出するためのコア構造体および歪み検出装置 |
JP2019215175A (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 多摩川精機株式会社 | 歪みセンサのステータ構造 |
CN112548126A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-03-26 | 江苏科技大学 | 车床 |
-
2004
- 2004-03-22 JP JP2004083604A patent/JP2005274160A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145048A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Honda Motor Co Ltd | 磁歪式トルクセンサ装置および電動ステアリング用磁歪式トルクセンサ装置および磁歪式トルクセンサ装置のキャリブレーション方法 |
CN108163128A (zh) * | 2018-02-27 | 2018-06-15 | 宋文平 | 一种基于逆磁致伸缩效应的助力自行车双边中轴扭矩传感器 |
JP2019200138A (ja) * | 2018-05-16 | 2019-11-21 | 多摩川精機株式会社 | 透磁率の変化を検出するためのコア構造体および歪み検出装置 |
JP7076780B2 (ja) | 2018-05-16 | 2022-05-30 | 多摩川精機株式会社 | 透磁率の変化を検出するためのコア構造体および歪み検出装置 |
JP2019203744A (ja) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 多摩川精機株式会社 | 透磁率の変化を検出するためのコアおよび歪み検出装置 |
JP7076781B2 (ja) | 2018-05-22 | 2022-05-30 | 多摩川精機株式会社 | 透磁率の変化を検出するためのコアおよび歪み検出装置 |
JP2019211334A (ja) * | 2018-06-05 | 2019-12-12 | 多摩川精機株式会社 | 透磁率の変化を検出するためのコア構造体および歪み検出装置 |
JP7099699B2 (ja) | 2018-06-05 | 2022-07-12 | 多摩川精機株式会社 | 透磁率の変化を検出するためのコア構造体および歪み検出装置 |
JP2019215175A (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 多摩川精機株式会社 | 歪みセンサのステータ構造 |
CN112548126A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-03-26 | 江苏科技大学 | 车床 |
CN112548126B (zh) * | 2020-12-01 | 2021-11-12 | 江苏科技大学 | 车床 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7225686B2 (en) | Torque sensing apparatus | |
US7584672B2 (en) | Magnetostrictive torque sensor | |
US5351555A (en) | Circularly magnetized non-contact torque sensor and method for measuring torque using same | |
EP0803053B1 (en) | Circularly magnetized non-contact torque sensor and method for measuring torque using same | |
JP5684442B2 (ja) | 磁気センサ装置 | |
JP2007040956A (ja) | 応力センサ | |
JP2005274160A (ja) | トルクセンサ | |
KR102234582B1 (ko) | 자기 변형 센서를 동작시키기 위한 방법 | |
JP4080438B2 (ja) | 超磁歪ユニット | |
JP6160769B2 (ja) | トルクセンサ用軟磁性部品、それを用いたトルクセンサ | |
JPS59166827A (ja) | 差動方式による磁気ひずみ形トルクセンサ | |
JP2012088185A (ja) | 磁気検知デバイス及び磁歪力センサ | |
JP2005241567A (ja) | 圧力センサ | |
JP2005241563A (ja) | トルクセンサ | |
JP2006038648A (ja) | センサ及び磁歪センサのセンシング方法 | |
JP2007086017A (ja) | 磁歪式トルクセンサ | |
JP4327640B2 (ja) | 圧力センサ及びその磁気ヒステリシス低減方法 | |
JP2008215942A (ja) | トルクセンサ及び電動式パワーステアリング装置 | |
JP2005274159A (ja) | トルクセンサ | |
JP2006073974A (ja) | 磁気センサ | |
JP2001083025A (ja) | トルク検出装置 | |
JP2006090883A (ja) | トルク伝達軸体及びその製造方法並びにトルク伝達軸体を用いたトルクセンサ | |
JP2004245619A (ja) | 磁歪式歪センサ | |
JP2004184189A (ja) | 磁歪式トルクセンサ | |
JP2005245103A (ja) | 超磁歪ユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20070605 |