JP4327640B2 - 圧力センサ及びその磁気ヒステリシス低減方法 - Google Patents
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Description
2…超磁歪素子
3…第1コイル
4…第2コイル
12…ケーシング
14…駆動部
16…センサ部
18…第1磁気ヨーク
20…第2超磁歪部材
22…駆動コイル
24…第2磁気ヨーク
26…ゴム
28…第1超磁歪部材
30…検出コイル
32…第3磁気ヨーク
36…伝達ロッド
38…皿ばね
52…ホール素子
Claims (9)
- 第1磁歪部材及び該第1磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を検出するための検出手段を備え、圧力の変化を前記第1磁歪部材の変形に基づく透磁率又は残留磁化量の変化として検出可能なセンサ部と、第2磁歪部材及び該第2磁歪部材を伸縮可能な駆動コイルを備えた駆動部と、を有してなり、該駆動部は、前記駆動コイルにインパルス状の電流を流すことによって、前記センサ部における第1磁歪部材に所定の応力を印加可能に構成されていることを特徴とする圧力センサ。
- 請求項1において、
前記センサ部における第1磁歪部材及び検出手段と、前記駆動部における第2磁歪部材及び駆動コイルとの間には、磁性部材が配設されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項2において、
前記センサ部における第1磁歪部材及び前記駆動部における第2磁歪部材は、前記磁性部材に固定されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記センサ部における第1磁歪部材には、所定の予荷重が印加されていることを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記センサ部における検出手段は、前記第1磁歪部材の外周を囲むように配設された検出コイルを含み、前記第1磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を前記検出コイルのインダクタンス値の変化として検出するようにしたことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記センサ部における検出手段はホール素子を含み、前記第1磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を前記ホール素子の起電力変化として検出するようにしたことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1乃至4のいずれかにおいて、
前記センサ部における検出手段は磁気抵抗効果素子を含み、前記第1磁歪部材の透磁率又は残留磁化量の変化を前記磁気抵抗効果素子の起電力変化として検出するようにしたことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記センサ部における第1磁歪部材及び前記駆動部における第2磁歪部材の少なくとも一方は、超磁歪素子を材料とする超磁歪部材からなることを特徴とする圧力センサ。 - 磁歪部材の変形に基づく透磁率又は残留磁化量の変化によって圧力の変化を検出可能な圧力センサの磁気ヒステリシス低減方法であって、前記磁歪部材に所定の応力を印加することによって、前記磁歪部材の残留磁気を除去することを特徴とする圧力センサの磁気ヒステリシス低減方法。
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