JPH06241920A - 荷重検出方法および荷重センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 荷重−センサ出力特性の直線性が良好である
と共にＳ／Ｎ比が向上したものとなる荷重検出方法およ
び荷重センサを提供する。 【構成】 荷重が付加される荷重受部材３４と、荷重受
部材３４を介して荷重が付加された際に応力が増加して
透磁率が増加しまたは減少する荷重付加時応力増加側磁
歪素子４２と、磁歪素子４２の透磁率変化を検知する荷
重付加時応力増加側電磁的ピックアップ４４と、荷重受
部材３４を介して荷重が付加された際に応力が減少して
透磁率が減少しまたは増加する荷重付加時応力減少側磁
歪素子５２−１，５２−２と、磁歪素子５２−１，５２
−２の透磁率変化を検知する荷重付加時応力減少側電磁
的ピックアップ５４−１，５４−２をそなえた荷重セン
サ３１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、付加された荷重の大き
さを検出するのに利用される荷重検出方法および荷重セ
ンサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】付加された荷重の大きさを検出するのに
利用される荷重センサ（ロードセルとも称される）に
は、各種の原理にもとづくものが多数存在している。こ
の中には、例えば、金属抵抗線は張力を与えると伸びる
と同時に細くなり、その電気抵抗が増加する原理を応用
した歪みゲージを使用したものが知られている。

【０００３】この荷重センサでは、薄肉の金属製シリン
ダ等よりなる金属製ベース材に歪みゲージを接着剤で貼
り付けたものとしており、金属製ベース材に荷重が付加
されると、この金属製ベース材が歪みゲージと共に微小
変形し、この変形で歪みゲージの電気抵抗が変化するこ
とを利用して荷重を検出する。

【０００４】また、水晶や圧電セラミックスに電極を付
け、機械的な圧力を加えて歪みを起こさせると、結晶の
表面に電荷が発生する原理を応用した圧電素子を使用し
たものが知られている。

【０００５】この荷重センサでは、圧電素子に力が加わ
ると、圧電効果によって素子端部に電圧が発生し、この
電圧を利用して荷重を検出する。

【０００６】さらに、力が付加されることによって共振
周波数や透磁率が変化する磁歪素子を使用したものが知
られており、前者のものでは、磁歪素子に力が付加され
るとこの磁歪素子の共振周波数が力によって変化するこ
とを利用したものであり、この共振周波数を検知するこ
とによって荷重を検出するものであり、また、後者のも
のでは、磁歪素子に力が付加されるとこの磁歪素子の透
磁率が変化すること（逆磁歪効果）を利用し、この透磁
率変化を電磁的ピックアップで検知することによって荷
重を検出する。

【０００７】なお、この種の荷重センサは、例えば、
『センサデバイスハンドブック』 （株）情報調査会
１９８３年１１月１５日初版発行 に詳細に記載されて
おり、また、特開昭６３−４０８２６号公報，特開昭６
３−６５３３０号公報，特開昭６３−１３８２２７号公
報等々に開示されたものがある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな荷重センサにあっては、例えば、歪みゲージを使用
したものでは、静的な荷重は測定できるものの、動的な
荷重は歪みゲージの応答性があまり良くないため測定困
難であり、また、歪みゲージを薄肉の金属製シリンダ等
の金属製ベース材に貼り付けるのに用いた接着剤が外部
温度の変動により膨張・収縮するため、測定値に誤差を
生じることがあるという問題点があった。

【０００９】また、圧電素子を使用したものでは、本質
的に静的な荷重を測定することができず、動的な荷重変
動しか測定することができないという問題点があった。

【００１０】さらに、磁歪素子の共振周波数変化を利用
したものでは、共振周波数を検知するための回路構成が
複雑なものになったり、温度変化に弱かったりするとい
う問題点があり、透磁率変化を利用したものでは、検出
原理そのものは単純であって信頼性もあるが、単に磁歪
素子に力を加えただけでは磁歪材料が本質的にもつ力の
方向によって透磁率変化の度合が異なる性質、すなわち
磁歪定数が正の場合には引張荷重で変化が大でありかつ
圧縮荷重で変化が小であるという性質を有するため、荷
重に対するセンサ出力信号の直線性が良くないという問
題点があり、また、一般に、荷重に対する磁歪素子の透
磁率変化の割合は小さく、Ｓ／Ｎ比が良い状態で荷重を
モニタするためにはヨーク等の磁気回路に工夫を凝らす
必要があるという問題点があって、これらの問題点を解
決した荷重検出方法および荷重センサの開発が望まれて
いるという課題があった。

【００１１】

【発明の目的】本発明は、上述した従来の課題にかんが
みてなされたものであって、検出原理そのものが単純で
信頼性のおける磁歪素子をもつ特長を活用し、静的な荷
重および動的な荷重の両方共を精度良く検出することが
可能であり、荷重に対する検出信号の直線性が良好であ
ると共にＳ／Ｎ比の良い状態で検出信号を得ることが可
能であって、測定精度のより一層の向上をはかることが
可能である荷重検出方法および荷重センサを提供するこ
とを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明に係わる荷重検出
方法は、荷重が付加された際に応力が増加して透磁率が
増加し（負の磁歪定数をもつ場合）または減少する（正
の磁歪定数をもつ場合）磁歪素材と、荷重が付加された
際に応力が減少して透磁率が減少し（負の磁歪定数をも
つ場合）または増加する（正の磁歪定数をもつ場合）磁
歪素子とで荷重を受け、前記磁歪素子に荷重が付加され
た際の各磁歪素子の透磁率変化を各々電磁的ピックアッ
プで検知し、前記電磁的ピックアップでのインダクタン
スの差によるブリッジ回路の電位差変化等により荷重を
検出する構成としたことを特徴としている。

【００１３】また、本発明に係わる荷重センサは、荷重
が付加される荷重受部材と、前記荷重受部材を介して荷
重が付加された際に応力が増加して透磁率が増加し（負
の磁歪定数をもつ場合）または減少する（正の磁歪定数
をもつ場合）荷重付加時応力増加側磁歪素子と、前記荷
重付加時応力増加側磁歪素子の透磁率変化を検知する荷
重付加時応力増加側電磁的ピックアップと、前記荷重受
部材を介して荷重が付加された際に応力が減少して透磁
率が減少し（負の磁歪定数をもつ場合）または増加する
（正の磁歪定数をもつ場合）荷重付加時応力減少側磁歪
素子と、前記荷重付加時応力減少側磁歪素子の透磁率変
化を検知する荷重付加時応力減少側電磁的ピックアップ
をそなえた構成を有し、例えば、前記電磁的ピックアッ
プをブリッジ回路等に接続して前記電磁的ピックアップ
でのインダクタンスの差をブリッジ回路での電位差に変
換して前記電位差により荷重を検出するようにしたこと
を特徴としている。

【００１４】本発明に係わる荷重検出方法および荷重セ
ンサでは、荷重が付加された際に応力が増加して透磁率
が増加しまたは減少する磁歪素子と、荷重が付加された
際に応力が減少して透磁率が減少しまたは増加する磁歪
素子とで荷重を受けるようにしているが、この磁歪素子
としては、例えば、Ｆｅ−Ａｌ系合金やＦｅ−Ｎｉ系合
金からなるものを用いることができる。

【００１５】この場合、例えば、Ｆｅ−Ａｌ系合金から
なるものでは、Ａｌを８〜１４％含み、その他Ｎｉ，Ｍ
ｎ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｖ，Ｔｉ等の適宜の元素を添加したも
のが用いられる。そして、Ａｌは８〜１４％の範囲で含
有させることによって、磁歪効果を大きくして荷重の検
出感度を高める作用を有していると共にヒステリシスを
小さくする作用を有している。

【００１６】また、Ｆｅ−Ｎｉ系合金からなるもので
は、Ｎｉを５０〜７０％含み、その他Ｃｕ，Ｃｏ，Ｓ
ｉ，Ｍｎ等の適宜の元素を添加したものが用いられる。
この場合、Ｎｉは５０〜７０％含有させることによっ
て、荷重の検出感度を高める作用を有していると共にヒ
ステリシスを小さくする作用を有している。

【００１７】そして、前記磁歪素子で荷重を受けて前記
磁歪素子に荷重が付加された際の各磁歪素子の透磁率変
化を各々電磁的ピックアップで検知し、前記電磁的ピッ
クアップでのインダクタンスの差により荷重を検出する
が、この場合、電磁的ピックアップとしては、極く簡単
な構成ものとしてはコイルを用いることができ、また、
インダクタンスの差は同様に極く簡単な構成のものとし
てブリッジ回路と差動増幅器の組み合わせなどを用いる
ことができる。

【００１８】

【発明の作用】本発明に係わる荷重検出方法および荷重
センサは、上述した構成としており、検出原理そのもの
は極く単純で信頼性のある磁歪素子の透磁率変化を利用
し、荷重が付加された際に透磁率が増加しまたは減少す
る一方の磁歪素子の透磁率変化を電磁的ピックアップで
検知してインダクタンスの増加または減少情報として例
えばブリッジ回路の一辺側に送り、また、荷重が付加さ
れた際に上記とは反対に透磁率が減少しまたは増加する
他方の磁歪素子の透磁率変化を電磁的ピックアップで検
知してインダクタンスの減少または増加情報として前記
ブリッジ回路の他の一辺側に送ることにより、このブリ
ッジ回路ではインダクタンスの差が電位の差に変換され
て直線的な勾配をもって出力されることとなるので、荷
重−センサ出力特性の直線性が向上したものとなると共
に、Ｓ／Ｎ比も向上したものとなって、検出精度の良い
荷重測定が行われるものとなる。

【００１９】

【実施例】図１は本発明に係わる荷重検出方法の実施に
使用される荷重センサの一実施例を示すものであって、
この荷重センサ１は、上部で開口するセンサボックス本
体２の開口部分に、中央に貫通孔３ａを有する蓋３を固
定することによって内部に空間を形成し、この空間部分
において荷重受部材４が設けてある。

【００２０】この荷重受部材４は、荷重受用先端部４ａ
が蓋３の貫通孔３ａより突出していて、外部から矢印Ｐ
方向に荷重を受けることができるようになっていると共
に、ボックス内側端部４ｂはセンサボックス本体２に形
成した凹状部２ｂ内に位置している。

【００２１】この荷重受部材４の上部側には荷重付加時
応力増加側アーム１１が設けてあり、この荷重付加時応
力増加側アーム１１とセンサボックス本体２の内面との
間には、荷重付加時応力増加側磁歪素子１２と荷重付加
時応力増加側圧縮コイルばね１３とが直列状態で設けて
あって、磁歪素子には圧縮コイルばね１３によってその
長手方向に応力が加えられた状態としてあり、前記荷重
付加時応力増加側磁歪素子１２にはコイル状をなす荷重
付加時応力増加側電磁的ピックアップ１４が設けてあ
る。

【００２２】そして、荷重受部材４に対して矢印Ｐ方向
の荷重が付加されたときには、アーム１１を介して磁歪
素子１２に対してその長手方向にさらに力が加えられて
応力が増加し、磁歪素子１２の透磁率が増加し（負の磁
歪定数をもつ場合）または減少し（正の磁歪定数をもつ
場合）て、電磁的ピックアップ１４からのインダクタン
スＬ_１が増加しまたは減少する。

【００２３】一方、前記荷重受部材４の下部側には荷重
付加時応力減少側アーム２１が設けてあり、この荷重付
加時応力減少側アーム２１と蓋３の内面との間には、荷
重付加時応力減少側磁歪素子２２と荷重付加時応力減少
側圧縮コイルばね２３とが直列状態で設けてあって、磁
歪素子２２には圧縮コイルばね２３によってその長手方
向に応力が加えられた状態としてあり、この磁歪素子２
２にはコイル状をなす荷重付加時応力減少側電磁的ピッ
クアップ２４が設けてある。

【００２４】そして、荷重受部材４に対して矢印Ｐ方向
の荷重が付加されたときには、アーム２１を介して磁歪
素子２２に対しその長手方向に付加されていた応力が減
少し、磁歪素子２２の透磁率が減少し（負の磁歪定数を
もつ場合）または増加し（正の磁歪定数をもつ場合）
て、電磁的ピックアップ２４のインダクタンスＬ_２が減
少しまたは増加する。

【００２５】図２は本発明に係わる荷重検出方法の実施
に使用される検出回路の一実施例を示すものであって、
コイル状をなす電磁的ピックアップ１４，２４と抵抗１
６，２６とでブリッジ回路が形成されていて、接続点Ａ
−Ｂ間には発振用電源２７が接続してあると共に、接続
点Ｃ−Ｄ間には差動増幅器２８が接続してあり、インダ
クタンスＬ_１，Ｌ_２の差の変化により生ずる電位差の変
化を差動増幅器２８で増幅して位相検波器２９、ローパ
スフィルタ３０を介して出力端子４０において荷重Ｐを
検出するものとなっている。

【００２６】次に、上記構成になる荷重センサ１を用い
て荷重Ｐを検出する要領について説明する。

【００２７】図１に示した荷重センサ１において、荷重
受部材４に対し荷重が付加されていない状態では、磁歪
素子１２，２２に対しては、圧縮コイルばね１３，２３
によって各々の長手方向に圧縮応力が加えられている。
このとき、磁歪素子１２，２２の透磁率は等しく、した
がって電磁的ピックアップ１４，２４から出力されるイ
ンダクタンスＬ_１，Ｌ_２も等しくなっているため、図２
に示すブリッジ回路における接続点Ｃ−Ｄ間での電位差
は０となる。

【００２８】次に、荷重受部材４に対して矢印Ｐ方向に
荷重が付加されると、荷重付加時応力増加側磁歪素子１
２に対してはその長手方向にさらに大きな力が加えられ
て応力が増加することとなる。

【００２９】このとき、磁歪素子１２として、Ｆｅ−８
〜１４％Ａｌ合金を用いると、このＦｅ−Ａｌ系合金は
正の磁歪定数（λ＞０）をもつため、磁歪素子１２の透
磁率は減少し、電磁的ピックアップ１４でのインダクタ
ンスＬ_１は減少する。

【００３０】一方、これと同時に、荷重付加部材４に対
して矢印Ｐ方向に荷重が付加されると、荷重付加時応力
減少側磁歪素子２２に対しその長手方向に加えられてい
た応力が減少することとなる。

【００３１】このとき、磁歪素子２２においてもＦｅ−
８〜１４％Ａｌ合金を用いることによって、磁歪素子２
２の透磁率は増加し、電磁的ピックアップ２４でのイン
ダクタンスＬ_２は増加する。

【００３２】したがって、インダクタンスＬ_１，Ｌ_２の
変化による電流の変化によって、ブリッジ回路の接続点
Ｃ−Ｄ間には荷重Ｐの大きさに対応した電位差を生じる
こととなり、この電位差が差動増幅器２８において増幅
し、位相検波器２９、ローパスフィルタ３０を介して出
力端子４０より荷重出力が得られることとなる。

【００３３】このようにして得られる荷重出力（センサ
出力）は、図３に示すように、荷重Ｐに対して直線的に
変化する特性をもつものとなる。

【００３４】図４は本発明に係わる荷重検出方法の実施
に使用される荷重センサの他の実施例を示すものであっ
て、この荷重センサ３１は、上部で開口するセンサボッ
クス本体３２の開口部分に、中央に貫通孔３３ａを有す
る蓋３３を固定することによって内部に空間を形成し、
この空間部分の下方において磁歪素子受部材３５が設け
てある。

【００３５】また、センサボックス本体３２の内端部に
は凹状部３２ｂが形成してあり、この凹状部３２ｂには
応力付加用圧縮コイルばね３６が設置してあって、磁歪
素子受部材３５に形成した下向きの突出ガイド３５ｂを
圧縮コイルばね３６の内側において途中まで挿入した状
態にして、磁歪素子受部材３５を圧縮コイルばね３６の
上端で弾性支持させている。

【００３６】一方、蓋３３に設けた貫通孔３３ａには、
鍔３４ａを有する荷重受部材３４の本体部分３４ｂが嵌
挿してあり、蓋３３の内面と鍔３４ａとが当接可能にな
っていると共に、荷重受部材３４と磁歪素子受部材３５
との間には、荷重付加時応力増加側磁歪素子４２が圧縮
コイルばね３６によりその長手方向に応力が加えられた
状態にして設けてあり、この磁歪素子４２には、コイル
状をなす荷重付加時応力増加側電磁的ピックアップ４４
が設けてある。

【００３７】そして、荷重受部材３４に対して矢印Ｐ方
向の荷重が付加されたときには、磁歪素子４２に対して
その長手方向にさらに力が加えられて応力が増加し、磁
歪素子４２の透磁率が増加し（負の磁歪定数をもつ場
合）または減少し（正の磁歪素子をもつ場合）て、電磁
的ピックアップ４４でのインダクタンスが増加しまたは
減少する。

【００３８】さらに、蓋３３の内面と磁歪素子受部材３
５との間には、前記磁歪素子４２の両側において荷重付
加時応力減少側磁歪素子５２−１，５２−２がともに圧
縮コイルばね３６により各々長手方向に応力が加えられ
た状態にして設けてあり、各磁歪素子５２−１，５２−
２には、コイル状をなす荷重付加時応力減少側電磁的ピ
ックアップ５４−１，５４−２が設けてある。

【００３９】そして、荷重受部材３４に対して矢印Ｐ方
向の荷重が付加されたときには、磁歪素子５２−１，５
２−２に対しその長手方向に付加されていた応力が減少
し、磁歪素子５２−１，５２−２の透磁率が減少し（負
の磁歪定数をもつ場合）または増加し（正の磁歪素子を
もつ場合）て、電磁的ピックアップ５４でのインダクタ
ンスが減少しまたは増加する。

【００４０】この図４に示す実施例において、荷重付加
時応力増加側磁歪素子４２と、荷重付加時応力減少側磁
歪素子５２−１，５２−２とを同一寸法，同一形状のも
のとする場合には、荷重付加時応力増加側と荷重付加時
応力減少側とでインダクタンスＬが等しいものとなるよ
うにするために、一方の電磁的ピックアップ４４と他方
の電磁的ピックアップ５４−１，５４−２の各々におけ
る巻数を調整し、無荷重状態での信号出力が０となるよ
うにすることもできる。

【００４１】このような構成を有する荷重センサ３１を
用いて荷重Ｐを検出する場合にも、図２に示したと同様
に、インダクタンスＬ_１の電磁的ピックアップ４４と、
インダクタンスＬ_２の電磁的ピックアップ５４−１，５
４−２の接続体と、抵抗値Ｒ_１の抵抗１６と、抵抗値Ｒ
_２の抵抗２６とでブリッジ回路を形成しておくことによ
り、荷重Ｐが加えられていないときには、電磁的ピック
アップ４４のインダクタンスＬ_１と電磁的ピックアップ
５４−１，５４−２の接続体のインダクタンスＬ_２とが
等しくなることにより、ブリッジ回路の接続点Ｃ−Ｄに
おける電位差が０となるようにしておく。

【００４２】次に、荷重受部材３４に対して矢印Ｐ方向
に荷重が付加されると、荷重付加時応力増加側磁歪素子
４２に対してはその長手方向にさらに大きな力が加えら
れて応力が増加することとなる。

【００４３】このとき、磁歪素子４２としてＦｅ−５０
〜７０％Ｎｉ合金を用いると、このＦｅ−Ｎｉ系合金は
正の磁歪定数（λ＞０）をもつため、磁歪素子４２の透
磁率は減少し、電磁的ピックアップ４４のインダクタン
スＬ_１は減少する。

【００４４】一方、これと同時に、荷重受部材３４に対
して矢印Ｐ方向に荷重が付加されると、荷重付加時応力
減少側磁歪素子５２−１，５２−２に対しその長手方向
に加えられた応力が減少することとなる。

【００４５】このとき、磁歪素子５２−１，５２−２に
おいてもＦｅ−５０〜７０％Ｎｉ合金を用いることによ
って、磁歪素子５２−１，５２−２の透磁率が増加し、
電磁的ピックアップ５４−１，５４−２の合成インダク
タンスＬ_２は増加する。

【００４６】したがって、インダクタンスＬ_１，Ｌ_２の
変化による電流の変化によって、ブリッジ回路の接続点
Ｃ−Ｄ間には荷重Ｐの大きさに対応した電位差を生じる
こととなり、この電位差が差動増幅器２８において増幅
されることにより端子２９で荷重出力が得られることと
なって、図３に示したと同じように、荷重Ｐに対して荷
重出力が直線的に変化する特性が得られることとなる。

【００４７】そして、図１に示した荷重センサ１では、
荷重受部材４に対して右回り方向のモーメントを生じさ
せることとなるが、図４に示した荷重センサ３１では、
荷重受部材３４に対してこのような回転方向のモーメン
トを生じさせることがないという利点をも有している。

【００４８】上記した図１および図４に示した実施例で
は、いずれも圧縮コイルばね１３，２３，３６を用いる
ことによって、各磁歪素子に応力を加えておき、荷重が
付加されたときに一方の磁歪素子で応力が増加すると共
に他方の磁歪素子で応力が減少するようにした場合を示
しているが、そのほか、例えば、引張りばねを用いるこ
とによって、各磁歪素子に引張りの応力を加えておき、
荷重が付加されたときに一方の磁歪素子で応力が減少す
ると共に他方の磁歪素子で応力が増加するようにしても
同様の作用・効果を得ることができる。

【００４９】

【発明の効果】本発明に係わる荷重検出方法および荷重
センサでは、上述した構成としており、検出原理そのも
のは極く単純で信頼性のおける磁歪素子の透磁率変化を
活用し、荷重が付加された際に透磁率が増加しまたは減
少する一方の磁歪素子の透磁率変化を電磁的ピックアッ
プで検知してインダクタンスの増加または減少情報とし
て例えばブリッジ回路の一辺側に送り、また、荷重が付
加された際に上記とは反対に透磁率が減少しまたは増加
する他方の磁歪素子の透磁率変化を電磁的ピックアップ
で検知してインダクタンスの減少または増加情報として
前記ブリッジ回路の他の一辺側に送ることにより、この
ブリッジ回路ではインダクタンスの差が電位の差に変換
されて直線的な勾配をもって出力されることとなるの
で、荷重−センサ出力特性の直線性が良好なものとなる
と共に、Ｓ／Ｎ比も向上したものとなって、検出精度の
良い荷重測定を行うことが可能になるという著しく優れ
た効果がもたらされる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる荷重検出方法の実施に使用され
る荷重センサの一実施例を示す断面説明図である。

【図２】本発明に係わる荷重検出方法において使用され
る検出回路の一例を示す説明図である。

【図３】本発明に係わる荷重検出方法において得られる
センサ出力−荷重特性を示すグラフである。

【図４】本発明に係わる荷重検出方法の実施に使用され
る荷重センサの他の実施例を示す断面説明図である。

【符号の説明】

１，３１ 荷重センサ ４，３４ 荷重受部材 １２，４２ 荷重付加時応力増加側磁歪素子 １３ 荷重付加時応力増加側圧縮コイルばね １４，４４ 荷重付加時応力増加側電磁的ピックアップ ２２，５２−１，５２−２ 荷重付加時応力減少側磁歪
素子 ２３ 荷重付加時応力減少側圧縮コイルばね ２４，５４−１，５４−２ 荷重付加時応力減少側電磁
的ピックアップ ３６ 応力付加用圧縮コイルばね

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 荷重が付加された際に応力が増加して透
   磁率が増加しまたは減少する磁歪素子と、荷重が付加さ
   れた際に応力が減少して透磁率が減少しまたは増加する
   磁歪素子とで荷重を受け、前記磁歪素子に荷重が付加さ
   れた際の各磁歪素子の透磁率変化を各々電磁的ピックア
   ップで検知し、前記電磁的ピックアップでのインダクタ
   ンスの差により荷重を検出することを特徴とする荷重検
   出方法。
2. 【請求項２】 荷重が付加される荷重受部材と、前記荷
   重受部材を介して荷重が付加された際に応力が増加して
   透磁率が増加しまたは減少する荷重付加時応力増加側磁
   歪素子と、前記荷重付加時応力増加側磁歪素子の透磁率
   変化を検知する荷重付加時応力増加側電磁的ピックアッ
   プと、前記荷重受部材を介して荷重が付加された際に応
   力が減少して透磁率が減少しまたは増加する荷重付加時
   応力減少側磁歪素子と、前記荷重付加時応力減少側磁歪
   素子の透磁率変化を検知する荷重付加時応力減少側電磁
   的ピックアップをそなえたことを特徴とする荷重セン
   サ。