明 細 書
着色アル力リ現像型感光性樹脂組成物、及び該着色アル力リ現像型感 光性樹脂組成物を用いたカラーフィルタ
技術分野
[0001] 本発明は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクト口ルミネッセンスパネル
、ビデオカメラ等に用いられるカラーフィルタの作成に好適に使用される着色アルカリ 現像型感光性榭脂組成物、及び該着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物を用いた カラーフィルタに関する。
背景技術
[0002] 着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物は、エチレン性不飽和結合を有する特定の 化合物を含有するアルカリ現像性榭脂組成物に、顔料又は染料等の色材、及び光 重合開始剤を含有させたものである。この着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物は 、紫外線もしくは電子線を照射することによって重合硬化させることができるので、光 硬化性インキ、感光性印刷版、プリント配線版、各種フォトレジスト等に用いられてい る。最近、電子機器の軽薄短小化や高機能化の進展に伴い、微細パターンを精度 良く形成することが望まれて ヽる。
[0003] アルカリ現像性榭脂組成物及びアルカリ現像型感光性榭脂組成物に関し、下記特 許文献 1には、光重合性不飽和化合物及び該化合物を含有するアルカリ現像型感 光性榭脂組成物が提案されている。また、下記特許文献 2には、ポリカルボン酸榭脂 を含有する榭脂組成物及び該榭脂組成物を含有する感光性榭脂組成物が提案さ れている。また、下記特許文献 3には、アルカリ可溶性不飽和榭脂及び該榭脂を含 有する感放射線性榭脂組成物が提案されている。しかし、これらの公知のアルカリ現 像型感光性榭脂組成物は感度が充分でなぐこれらのアルカリ現像型感光性榭脂組 成物を用いた着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物では適切なパターン形状ゃ微 細パターンを得ることが困難であった。そのため、透明性、密着性、耐アルカリ性に優 れ、微細パターンを精度良く形成できる着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物が望 まれていた。
[0004] 特許文献 1:特許 3148429号公報
特許文献 2:特開平 2003— 107702号公報
特許文献 3 :特開平 2003— 89716号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] 解決しょうとする問題点は、上述したように、密着性及び耐アルカリ性を保持したま ま、感度が充分で、適切なパターン形状や微細パターンを得ることのできる着色アル カリ現像型感光性榭脂組成物がこれまでなカゝつたということである。
[0006] 従って、本発明の目的は、感度、解像度、密着性、耐アルカリ性等に優れ、微細パ ターンを精度良く形成できる着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物、及び該着色ァ ルカリ現像型感光性榭脂組成物を用いたカラーフィルタを提供することにある。 課題を解決するための手段
[0007] 本発明は、下記一般式 (I)で表されるエポキシ榭脂 (A)に不飽和一塩基酸 (B)を 付加させた構造を有するエポキシ付加物に対し、多塩基酸無水物 (C)、続いて多官 能エポキシィ匕合物(D)をエステルイ匕させて得られた反応生成物を含有するアルカリ 現像型感光性榭脂組成物に、さらに色材 (E)及び光重合開始剤 (F)を含有する着 色アルカリ現像型感光性榭脂組成物を提供することにより、上記目的を達成したもの である。
(式中、 Cyは炭素原子数 3〜 10のシクロアルキル基を示し、 Xは水素原子、フエニル 基又は炭素原子数 3〜: L0のシクロアルキル基を示し、前記フエ-ル基又は炭素原子 数 3〜10のシクロアルキル基は、炭素原子数 1〜10のアルキル基、炭素原子数 1〜 10のアルコキシ基若しくはハロゲン原子により置換されていてもよぐ Y及び Zは、そ れぞれ独立して、炭素原子数 1〜10のアルキル基、炭素原子数 1〜10のアルコキシ 基、炭素原子数 2〜 10のァルケ-ル基又はハロゲン原子を示し、アルキル基、アル
コキシ基及びァルケ-ル基はハロゲン原子で置換されていてもよぐ nは 0〜10の数 を示し、 pは 0〜4の数を示し、 rは 0〜4の数を表す。 )
[0009] また、本発明は、少なくとも、透光性基材と、複数色の画素パターン力もなるカラー フィルタ層とを備えるカラーフィルタにおいて、当該複数色の画素パターンのうち少な くとも 1色が、上記着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物の硬化物であることを特徴 とするカラーフィルタを提供することにより、上記目的を達成したものである。
[0010] また、本発明は、少なくとも、透光性基材と、複数色の画素パターン及びブラックマ トリックスカもなるカラーフィルタ層とを備えるカラーフィルタにおいて、当該ブラックマ トリックスが、上記着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物の硬化物であることを特徴 とするカラーフィルタを提供することにより、上記目的を達成したものである。
発明を実施するための最良の形態
[0011] 以下、本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物について、好ましい実施形 態に基づき詳細に説明する。
[0012] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物は、上記一般式 (I)で表されるェ ポキシ榭脂 (A)に不飽和一塩基酸 (B)を付加させた構造を有するエポキシ付加物に 対し、多塩基酸無水物(C)、続、て多官能エポキシ付加物(D)をエステル化させて 得られた反応生成物を含有し、さらに色材 (E)及び光重合開始剤 (F)を含む。 上記エポキシ付加物は、上記一般式 (I)で表されるエポキシ榭脂 (A)に、上記不飽 和一塩基酸 (B)を、上記エポキシ榭脂 (A)のエポキシ基 1個に対し上記不飽和一塩 基酸(B)のカルボキシル基が 0. 1〜1. 0個、特に 0. 4〜1. 0個となる比率で付加さ せた構造を有することが好まし ヽ。
また、上記エポキシ付加物に対し、上記多塩基酸無水物(C)は、エポキシ付加物 の水酸基 1個に対し多塩基酸無水物(C)の酸無水物構造が 0. 1〜1. 0個、特に 0. 4〜1. 0個となる比率でエステルイ匕されていることが好ましぐ多官能エポキシィ匕合物 (D)は、エポキシ付加物の水酸基 1個に対し多官能エポキシィ匕合物(D)のエポキシ 基が 0. 1〜1. 0個、特に 0. 4〜1. 0個となる比率でエステルイ匕されていることが好ま しい。
[0013] 上記一般式 (I)中、 Cyで示される炭素原子数 3〜 10のシクロアルキル基としては、
シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロへキシル、メチルシクロへキシ ル、シクロへプチル、シクロォクチル、シクロノ-ル、シクロデシル等が挙げられる。
Xで表される炭素原子数 3〜 10のシクロアルキル基としては、例えば、 Cyで示され る炭素原子数 3〜 10のシクロアルキル基として例示したものが挙げられる。 Xで示さ れるフヱニル基又は炭素原子数 3〜 10のシクロアルキル基を置換してもよい炭素原 子数 1〜10のアルキル基、炭素原子数 1〜10のアルコキシ基及びハロゲン原子とし ては、それぞれ、 Y及び Zで示されるものとして後に例示するものが挙げられる。
Y及び Zで示される炭素原子数 1〜10のアルキル基としては、メチル、ェチル、プロ ピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、第二ブチル、第三ブチル、ァミル、イソアミ ル、第三アミル、へキシル、ヘプチル、ォクチル、イソオタチル、第三ォクチル、 2—ェ チルへキシル、ノ -ル、イソノエル、デシル、イソデシル等が挙げられる。 Y及び Zで示 される炭素原子数 1〜10のアルコキシ基としてはメトキシ、エトキシ、プロピルォキシ、 ブチルォキシ、第二ブトキシ、第三ブトキシ、ペントキシ、へキシロキシ、ヘプトキシ、 ォクチ口キシ、 2—ェチルーへキシロキシ等が挙げられる。 Y及び Zで示される炭素原 子数 2〜10のァルケ-ル基としては、ビュル、ァリル、ブテュル、プロべ-ル等が挙 げられる、 Y及び Zで示されるハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙 げられる。
また、 Xで示されるフエ-ル基及び炭素原子数 3〜 10のシクロアルキル基を置換し てもよ 、上記のアルキル基及びアルコキシ基、並びに Y及び Zで示される上記のアル キル基、アルコキシ基及びアルケ-ル基は、ハロゲン原子で置換されていてもよぐ 該ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。例えば、フッ素原 子で置換された炭素原子数 1〜10のアルキル基としては、モノフルォロメチル、ジフ ルォロメチル、トリフルォロメチル、トリフルォロェチル、パーフルォロェチル等が挙げ られる。
本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物は、その調製に用いられる上記ェ ポキシ榭脂 (A)がトリアリールモノシクロアルキルメタン骨格を有することにより、硬化 物の基材への密着性、耐アルカリ性、加工性、強度等が優れるため、非硬化部を現 像除去する際に、微細パターンであっても鮮明な画像を精度良く形成できるものと考
えられる。上記エポキシ榭脂 (A)としては、上記一般式 (I)において、 Cyがシクロへ キシルであるもの; Xがフエ-ル基であるもの; p及び r力 ^であるもの; n力^〜 5、特に
0〜 1であるものが好まし!/、。
[0015] 上記一般式 (I)で表されるエポキシ榭脂 (A)の具体例としては、以下の化合物 No. l〜No. 9の化合物が挙げられる。ただし、本発明は以下の化合物により何ら制限を 受けるものではない。
[0016] [化 2]
[0017] [化 3]
[0018] [ィ匕 4]
[0019] [化 5]
[0023] [化 9]
[0025] 上記アルカリ現像性榭脂組成物に含有される、(A)成分に (B)成分を付加させた 構造を有するエポキシ付加物〖こ対し、(C)成分、続 ヽて (D)成分をエステル化して得 られる反応生成物は、例えば、下記 [化 11]の反応式で示される方法によって製造す ることがでさる。
まず、(A)成分であるエポキシ榭脂(1)に、(B)成分である不飽和一塩基酸 (2)を 付加させて、エポキシ付加物である化合物(3)を含む榭脂組成物を得る。 (A)成分 への(B)成分の付加反応は、常法に従って行なうことができる。
続 、て、エポキシ付加物である化合物(3)に、(C)成分である多塩基酸無水物 (4) を反応させてエステルイ匕反応を行 ヽ、エステル化合物である化合物(5)を含む榭脂 組成物を得る。エポキシ付加物と (C)成分とのエステルイ匕反応は、常法に従って行な うことができる。続いて、エステルイ匕合物である化合物(5)に、更に (D)成分の多官能 エポキシ化合物であるジエポキシ化合物 (6)を反応させて、 目的の反応生成物であ る化合物(7)を含む榭脂組成物を得ることができる。上記エステルイ匕合物と (D)成分 とのエステルイ匕反応は、常法に従って行なうことができる。
[0026] [化 11]
(7)
[0027] 上記 [化 11]中の化合物(7)の構造からも明らかなように、上記エポキシ付加物に( C)成分をエステル化させて得た上記エステル化合物と (D)成分とのエステル化反応 は、上記エステルイ匕合物中の(C)成分由来のカルボキシル基と、(D)成分である多 官能エポキシィ匕合物のエポキシ基との間で行なう。 (C)成分由来のカルボキシル基 と、(D)成分である多官能エポキシィ匕合物のエポキシ基との間で反応を確実に行なう ためには、(C)成分及び (D)成分の使用量は、上記エポキシ付加物の水酸基 1個に 対する多塩基酸無水物の酸無水物構造の数と、上記エポキシ付加物の水酸基 1個 に対する多官能エポキシィ匕合物(D)のエポキシ基との数との和力 1. 0個より大きく なる量、特に 1. 1〜2. 0個となる量力も選択することが好ましい。
[0028] 上記 [化 11]に示したエポキシ付加物である化合物(3)を得る方法は、上記の方法 に限定されるわけではなぐ例えば、化合物(3)における nが 0の場合、下記 [化 12]の 反応式に示すように、ビスフエノール(8)とグリシジルメタタリレート(9)を含むモノェポ キシィ匕合物を反応させる方法によって化合物(3)を得ることもできる。
[0029] [化 12]
[0030] 上記アルカリ現像性榭脂組成物の調製に使用される不飽和一塩基酸 (B)は、該ァ ルカリ現像性榭脂組成物の感度を向上させるために用いられ、例えば、アクリル酸、 メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒドロキシェチルメタタリレート'マレート 、ヒドロキシェチノレアタリレート'マレート、ヒドロキシプロピノレメタタリレート'マレート、ヒ ドロキシプロピルアタリレート ·マレート、ジシクロペンタジェン 'マレートあるいは 1個の カルボキシル基と 2個以上の (メタ)アタリロイル基とを有する多官能 (メタ)アタリレート等 が挙げられる。これらの中でも、アクリル酸、メタクリル酸及び 1個のカルボキシル基と 2 個以上の (メタ)アタリロイル基とを有する多官能 (メタ)アタリレートが好ましい。
[0031] 上記 1個のカルボキシル基と 2個以上の (メタ)アタリロイル基とを有する多官能 (メタ )アタリレートは、例えば 1分子中に 1個のヒドロキシル基と 2個以上の (メタ)アタリロイ ル基とを有する多官能 (メタ)アタリレートと二塩基酸無水物又はカルボン酸とを反応 させること〖こよって得ることができる。
[0032] 上記 1個のカルボキシル基と 2個以上の (メタ)アタリロイル基とを有する多官能 (メタ )アタリレートとしては、下記化合物 No. 10〜14を挙げることができる。
[0033] [化 13]
化合物 No.10
化合物 No.U
[0035] [化 15]
化合物 No.
[0036] [化 16]
[0037] [化 17]
化合物 No.:i4
上記アルカリ現像性榭脂組成物の調製に使用される多塩基酸無水物 (C)は、該ァ ルカリ現像性榭脂組成物の酸価を増大させてパターン形状、現像性及び現像速度 を向上させるために用いられ、例えば、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、トリメリッ ト酸無水物、ピロメリット酸無水物、 2, 2,一 3, 3,一べンゾフエノンテトラカルボン酸無
水物、 3, 3,一 4, 4,一べンゾフエノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビ スアンヒドロトリメリテート、グリセロールトリスアンヒドロトリメリテート、無水フタル酸、へ キサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、 ナジック酸無水物、メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、 へキサヒドロ無水フタル酸、 5—(2, 5 ジォキソテトラヒドロフリル)ー3—メチルー 3 ーシクロへキセン— 1, 2—ジカルボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル 酸 無水マレイン酸付カ卩物、ドデセ-ル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸等が 挙げられる。これらの中でも、コハク酸無水物、トリメリット酸無水物、へキサヒドロ無水 フタル酸が好ましい。
上記アルカリ現像性榭脂組成物の調製に使用される多官能エポキシィ匕合物 (D)は 、上記光重合性不飽和化合物の分子量を増大させて現像速度を調整するのに用い られ、例えば、多価アルコール又はそのアルキレンォキシド付カ卩物のポリグリシジル エーテル、多塩基酸のポリグリシジルエステル、シクロへキセン環あるいはシクロペン テン環含有ィ匕合物を酸化剤でエポキシィ匕することによって得られるシクロへキセンォ キシドあるいはシクロペンテンォキシド含有ィ匕合物等を用いることができ、具体的には 以下の化合物を挙げることができる。
すなわち、ビスフエノール A型エポキシ榭脂、ビスフエノール B型エポキシ榭脂、ビス フエノール C型エポキシ榭脂、ビスフエノール E型エポキシ榭脂、ビスフエノール F型 エポキシ榭脂、ビスフエノール M型エポキシ榭脂、ビスフエノール P型エポキシ榭脂、 ビスフエノール S型エポキシ榭脂、ビスフエノール Z型エポキシ榭脂等のアルキリデン ビスフエノールポリグリシジルエーテル型エポキシ榭脂;上記アルキリデンビスフエノ 一ルポリグリシジルエーテル型エポキシ榭脂を水添して得られる水添ビスフエノール 型ジグリシジルエーテル;エチレングリコールジグリシジルエーテル、 1, 3 プロピレ ングリコールジグリシジルエーテル、 1, 2—プロピレングリコールジグリシジルエーテ ル、 1, 4 ブタンジオールジグリシジルエーテル、 1, 6 へキサンジオールジグリシ ジルエーテル、 1, 8 オクタンジオールジグリシジルエーテル、 1, 10 デカンジォ 一ルジグリシジルエーテル、 2, 2 ジメチルー 1, 3 プロパンジオールジグリシジル エーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリ
シジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、へキサエチレング リコールジグリシジルエーテル、 1, 4ーシクロへキサンジメタノールジグリシジルエー
グリシジルォキシメチル)メタン、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロ パントリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、ジペンタエリスリ トールへキサグリシジルエーテル等の脂肪族多価アルコールのグリシジルエーテル; プロピレングリコール、トリメチロールプロパン、グリセリン等の多価アルコールに 2種 以上のアルキレンォキシドを付加することによって得られるポリエーテルポリオールの ポリグリシジルエーテル;フエノールノボラック型エポキシ化合物、ビフエ-ルノボラック 型エポキシ化合物、クレゾ一ルノボラック型エポキシ化合物、ビスフエノール Aノボラッ ク型エポキシィ匕合物、ジシクロペンタジェンノボラック型エポキシィ匕合物等のノボラッ ク型エポキシ化合物; 3, 4—エポキシ 3—メチルシクロへキシルメチルー 3, 4—ェ ポキシ 3—メチルシクロへキサンカルボキシレート、 3, 4 エポキシー5—メチルシ クロへキシルメチルー 3, 4—エポキシ 5—メチルシクロへキサンカルボキシレート、 3, 4 エポキシ 6—メチルシクロへキシルメチルー 3, 4—エポキシ 6—メチルシ クロへキサンカルボキシレート、 3, 4 エポキシシクロへキシルメチルー 3, 4—ェポキ シシクロへキサン力ノレボキシレート、 1 エポキシェチノレー 3, 4 エポキシシクロへキ サン、ビス(3, 4—エポキシシクロへキシノレメチノレ)アジペート、メチレンビス(3, 4—ェ ポキシシクロへキサン)、イソプロピリデンビス(3, 4—エポキシシクロへキサン)、ジシ クロペンタジェンジエポキシド、エチレンビス(3, 4—エポキシシクロへキサンカルボキ シレート)、 1, 2—エポキシ 2—エポキシェチノレシクロへキサン等の脂環式エポキシ 化合物;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、 ダイマー酸グリシジノレエステノレなどの-塩基酸のグリシジノレエステノレ;テトラグリシジ ルジアミノジフエ-ルメタン、トリグリシジル P ァミノフエノール、 N, N ジグリシジル ァ-リンなどのグリシジルァミン類; 1, 3 ジグリシジルー 5, 5 ジメチルヒダントイン、 トリグリシジルイソシァヌレート等の複素環式エポキシ化合物;ジシクロペンタジェンジ ォキシド等のジォキシド化合物;ナフタレン型エポキシィ匕合物、トリフエニルメタン型ェ
ポキシィ匕合物、ジシクロペンタジェン型エポキシィ匕合物等が挙げられる。
上記多官能エポキシィ匕合物としては巿販のものを用いることもでき、例えば、 BRE N— S、 EPPN— 201、 EPPN— 501N、 EOCN— 1020、 GAN、 GOT (日本化薬 社製)、アデカレジン EP— 4000、アデカレジン EP—4003S、アデカレジン EP— 40 80、アデカレジン EP— 4085、アデカレジン EP— 4088、アデカレジン EP— 4100、 アデカレジン EP— 4900、アデカレジン ED— 505、アデカレジン ED— 506、アデ力 レジン KRM— 2110、アデカレジン KRM— 2199、アデカレジン KRM— 2720 (株 式会社 ADEKA製)、 R— 508、 R— 531、 R— 710 (三井化学社製)、ェピコート 190 p、ェピコート 191P、ェピコート 604、ェピコート 801、ェピコート 828、ェピコート 871 、ェピコート 872、ェピコート 1031、ェピコート RXE15、ェピコート YX— 4000、ェピ コート YDE— 205、ェピコート YDE— 305 (ジャパンエポキシレジン社製)、スミエポ キシ ELM— 120、スミエポキシ ELM— 434 (住友化学社製)、デナコール EM— 15
0、デナコール EX— 201、デナコール EX— 211、デナコール EX— 212、デナコー ル EX— 313、デナコール EX— 314、デナコール EX— 322、デナコール EX— 411 、デナコール EX— 421、デナコール EX— 512、デナコール EX— 521、デナコール EX—614、デナコール EX— 711、デナコール EX— 721、デナコール EX— 731、 デナコール EX— 811、デナコール EX— 821、デナコール EX— 850、デナコール E X— 851、デナコーノレ EX— 911、(ナガセケムテックス社製)、ェポライト 70P、エボラ ィ卜 200P、ェポライ卜 400P、ェポライ卜 40E、ェポライ卜 100E、ェポライ卜 200E、ェポ ライ卜 400E、ェポライ卜 80MF、ェポライ卜 100MF、ェポライ卜 1500NP、ェポライ卜 1 600、ェポライ卜 3002、ェポライ卜 4000、ェポライ卜 FR— 1500、ェポライ卜 M— 1230 、エボライト EHDG—L (共栄社ィ匕学社製)、 SB— 20 (岡村製油社製)、ェピクロン 72 0 (大日本インキ化学社製)、 UVR— 6100、 UVR-6105, UVR—6110、 UVR- 6200、 UVR— 6228 (ユニオン'カーバイド社製)、セロキサイド 2000、セロキサイド 2021、セロキサイド 2021P、セロキサイド 2081、セロキサイド 2083、セロキサイド 20 85、セロキサイド 3000、サイクロマー A200、サイクロマー M100、サイクロマー M10
1、ェポリード GT— 301、ェポリード GT— 302、ェポリード 401、ェポリード 403、ェ ポリード HD300、 EHPE— 3150、 ETHB、ェポブレンド(ダイセル化学社製)、 PY
— 306、 0163、 DY— 022 (チノく'スペシャルティ.ケミカルズ社製)、サントート ST00 00、ェポトート YD— 011、ェポトート YD— 115、ェポトート YD— 127、ェポトート Y D— 134、ェポトート YD— 172、ェポトート YD— 6020、ェポトート YD— 716、ェポト ート YD— 7011R、ェポトート YD— 901、ェポトート YDPN— 638、ェポトート YH— 300、ネオトート PG— 202、ネオトート PG— 207 (東都化成社製)、ブレンマー G (日 本油脂社製)等が挙げられる。
本発明にお ヽて、上記アルカリ現像性榭脂組成物に含まれる反応生成物には、さ らにエポキシィ匕合物(G)を反応させてもよい。該エポキシ付加物(G)は、酸価を調製 し本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物の現像性をより向上させるために 用いることができるものである。該エポキシィ匕合物(G)としては、単官能のものが用い られ、その具体例としては、グリシジルメタタリレート、メチルダリシジルエーテル、ェチ ルグリシジルエーテル、プロピルグリシジルエーテル、イソプロピルグリシジルエーテ ル、ブチルダリシジルエーテル、イソブチルダリシジルエーテル、 tーブチルダリシジ ノレエーテノレ、ペンチノレグリシジノレエーテノレ、へキシノレグリシジノレエーテノレ、ぺプチノレ グリシジルエーテル、オタチルダリシジルエーテル、ノニルダリシジルエーテル、デシ ルグリシジルエーテル、ゥンデシルグリシジルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル 、トリデシルグリシジルエーテル、テトラデシルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリ シジルエーテル、へキサデシルグリシジルエーテル、 2—ェチルへキシルグリシジル エーテル、ァリルグリシジルエーテル、プロパルギルダリシジルエーテル、 p—メトキシ ェチルダリシジルエーテル、フエ-ルグリシジルエーテル、 p—メトキシグリシジルエー テル、 p ブチルフエノールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテル、 2—メ チルクレジルグリシジルエーテル、 4 ノ-ルフエ-ルグリシジルエーテル、ベンジル グリシジルエーテル、 p タミルフエニルダリシジルエーテル、トリチルダリシジルエー テル、 2, 3 エポキシプロピルメタタリレート、エポキシ化大豆油、エポキシ化アマ- 油、グリシジルブチレート、ビュルシクロへキサンモノォキシド、 1, 2 エポキシー4 ビュルシクロへキサン、スチレンォキシド、ピネンォキシド、メチルスチレンォキシド、シ クロへキセンォキシド、プロピレンォキシド、下記化合物 No.15、 No.16等が挙げられる
本発明のアルカリ現像性榭脂組成物は、固形分の酸価が 20〜120mgKOH/gの 範囲であることが好ましぐエポキシ化合物 (G)の使用量は上記酸価を満たすように 選択するのが好ましい。
[0042] [化 18]
化合物 No.15
[0043] [化 19]
[0044] 上記アルカリ現像性榭脂組成物は、通常、前記の各成分を溶解または分散しえる 溶媒を加えた溶液状組成物として、本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成 物に用いられる。
上記溶媒としては、通常、前記の各成分を溶解または分散しえる溶媒であれば特 に制限はないが、例えば、メチルェチルケトン、メチルアミルケトン、ジェチルケトン、 アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロへキサノン等のケト ン類;ェチルエーテル、ジォキサン、テトラヒドロフラン、 1, 2—ジメトキシェタン、 1, 2 ージエトキシェタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒; 酢酸メチル、酢酸ェチル、酢酸—n—プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸 n—ブチル等 のエステル系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノ ェチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のセルソルブ 系溶媒;メタノール、エタノール、イソ一又は n—プロパノール、イソ一又は n—ブタノ ール、ァミルアルコール等のアルコール系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレン等の B TX系溶媒;へキサン、ヘプタン、オクタン、シクロへキサン等の脂肪族炭化水素系溶 媒;テレビン油、 D—リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、 スヮゾール # 310 (コスモ松山石油(株))、ソルべッソ # 100 (ェクソン化学 (株))等の パラフィン系溶媒;四塩ィ匕炭素、クロ口ホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン等の
ハロゲン化脂肪族炭化水素系溶媒;クロ口ベンゼン等のハロゲンィ匕芳香族炭化水素 系溶媒;カルビトール系溶媒、ァ-リン、トリェチルァミン、ピリジン、酢酸、ァセトニトリ ル、二硫化炭素、テトラヒドロフラン、 N, N—ジメチルホルムアミド、 N—メチルピロリド ン等が挙げられ、中でも、ケトン類あるいはセロソルブ系溶媒が好ましい。これらの溶 媒は 1種又は 2種以上の混合溶媒として使用することができる。
本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物において、上記溶媒の含有量は 、着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物に占める全固形分濃度が 5〜40質量%、 特に 15〜30質量%となるように調整するとよい。
[0045] 上記溶媒は、 (A)成分に (B)成分を付加させた構造を有するエポキシ付加物に対 し、(C)成分、続いて (D)成分でエステル化させ、さらに必要に応じて (G)成分を反 応させて得られた反応生成物の含有量が、上記溶液状組成物中、 1〜70重量%、 特に 3〜30重量%となる量で用いることが好ましい。
[0046] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物に使用される色材 (E)としては、 顔料及び染料を挙げることができる。どちらを添加するかについては特に制限されず 、顔料及び染料のいずれか一方を用いても、あるいは両方を併用してもよい。顔料及 び染料は、それぞれ特に顔料分散法及び染色法により含有させることが好まし ヽ。
[0047] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物において、上記顔料は、単独で 用いてもよく、複数の顔料を組み合わせて用いることもできる。
以下に、有機顔料の具体例をカレーインデックス (C. I. )ナンバーで示す。
• Pigment Blue:
<C. I>1, 1:2, l:x, 9:x, 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:5, 15:6, 16, 2 4, 24 :x, 56, 60, 61, 62
• Pigment Green:
<C. I>1, l:x, 2, 2:x, 4, 7, 10, 36
• Pigment Orange
<C. I>2, 5, 13, 16, 17:1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 59, 6 0, 61, 62, 64
• Pigment Red
<C. I>1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48:1, 48:2 , 48:3, 48:4, 49, 49:1, 49:2, 52:1, 52:2, 53:1, 57:1, 60:1, 63:1, 66, 67, 81:1, 81:3, 81:x, 83, 88, 90, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187 , 188, 190, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 216, 224、 226
• Pigment Violet:
<C. I>1, l:x, 3, 3:3, 3:x, 5:1, 19, 23, 27, 32, 42
• Pigment Yellow
<C. I>1, 3, 12, 13, 14, 16, 17, 24, 55, 60, 65, 73, 74, 81, 83, 93, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116, 117, 119, 1 20, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 150, 151, 152, 153, 154, 156, 175 また、黒色顔料としては、三菱ィ匕学社製のカーボンブラック #2400、 #2350、 #2 300、 #2200、 #1000、 #980、 #970、 #960、 #950、 #900、 #850、 MCF 88、 #650、 MA600、 MA7、 MA8、 MA11、 MA100、 MA220、 IL30B、 IL31B 、 IL7B、 IL11B、 IL52B、 #4000、 #4010、 #55、 #52、 #50、 #47、 #45、 # 44、 #40、 #33、 #32、 #30、 #20、 #10、 #5、CF9、 #3050、 #3150、 #32 50、 # 3750、 # 3950、ダイヤブラック A、ダイヤブラック N220M、ダイヤブラック N2 34、ダイヤブラック I、ダイヤブラック LI、ダイヤブラック LH、ダイヤブラック N339、ダ ィャブラック SH、ダイヤブラック SHA、ダイヤブラック LH、ダイヤブラック H、ダイヤブ ラック HA、ダイヤブラック SF,ダイヤブラック N550M、ダイヤブラック E、ダイヤブラッ ク0、ダイヤブラック R、ダイヤブラック N760M、ダイヤブラック LR、キャンカーブ社製 のカーボンブラックサーマックス N990、 N991、 N907、 N908、 N990、 N991、 N9 08、旭カーボン社製のカーボンブラック旭 #80、旭 #70、旭 #70L、旭 F—200、 旭 # 66、旭 # 66U、旭 # 50、旭 # 35、旭 # 15、アサヒサ一マル、デグザ社製の力 一ボンブラック ColorBlack Fw200、 ColorBlack Fw2、 ColorBlack Fw2V、 C olorBlack Fwl、 ColorBlack Fwl8、 ColorBlack S170、 ColorBlack S160 、 SpecialBlack6、 SpecialBlack5、 SpecialBlack4、 SpecialBlack4A、 Special Black250、 SpecialBlack350、 PrintexU、 PrintexV、 Printexl40U、 Printexl
40V (V、ずれも商品名)等が揚げられる。
[0049] ミロリブルー、酸化鉄、酸化チタン、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、シリカ、ァ ルミナ、コバルト系、マンガン系、タルク、クロム酸塩、フエロシアン化物、各種金属硫 酸塩、硫化物、セレンィ匕物、リン酸塩群青、紺青、コバルトブルー、セルリアンブルー 、ピリジアン、エメラルドグリーン、コバルトグリーン等の無機顔料も使用することができ る。
これらの顔料は複数を混合して用いることができる。
[0050] 染料としては、ァゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染 料、キサンテン染料、ァリザリン染料、アタリジン染料スチルベン染料、チアゾール染 料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、ォキサジン染料、フタ ロシアニン染料、シァニン染料等の染料等が挙げられ、これらは複数を混合して用い てもよい。
[0051] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物において、上記色材 (E)の含有 量は、溶液状組成物とした上記アルカリ現像性榭脂組成物に対して 3〜70質量%、 特に 5〜60質量%が好ましい。
[0052] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物に使用される光重合開始剤 (F)と しては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフエノン、フエ 二ルビフエ二ルケトン、 1—ヒドロキシ一 1—ベンゾィルシクロへキサン、ベンジル、ベ ンジルジメチルケタール、 1一べンジルー 1ージメチルアミノー 1一(4 '—モルホリノべ ンゾィル)プロパン、 2 モルホリル 2—(4'ーメチルメルカプト)ベンゾィルプロパン 、チォキサントン、 1 クロル 4 プロポキシチォキサントン、イソプロピルチオキサ ントン、ジェチルチオキサントン、ェチルアントラキノン、 4一べンゾィルー 4' メチル ジフエ-ルスルフイド、ベンゾインブチルエーテル、 2—ヒドロキシ 2—ベンゾィルプ 口パン、 2 ヒドロキシ一 2— (4'—イソプロピル)ベンゾィルプロパン、 4 ブチルベン ゾィルトリクロロメタン、 4 フエノキシベンゾィルジクロロメタン、ベンゾィル蟻酸メチル 、 1, 7 ビス(9 '—アタリジ-ル)ヘプタン、 9— n—ブチル 3, 6 ビス(2'—モルホ リノイソブチロイル)カルバゾール、 2—メチルー 1 [4 (メチルチオ)フエ-ル] 2— モルホリノプロパン一 1—オン、 2—メチルー 4, 6 ビス(トリクロロメチル) s トリア
ジン、 2 フエ-ル一 4, 6 ビス(トリクロロメチル) s トリァジン、 2 ナフチル一 4, 6 ビス(トリクロロメチル) s—トリァジン、下記化合物 Νο.17、 No.18等が挙げられる 。これらの中でも、ベンゾフエノン、 2—メチル 1— [4— (メチルチオ)フエ-ル]— 2— モルホリノプロパン 1 オンが好ましい。
[0053] [化 20]
(式中、 Xはハロゲン原子又はアルキル基を表し、 Rは OR、 COR、 SR、 CONR
1 1
R,又は CNを表し、 Rは R、 OR、 COR、 SR又は NRR,を表し、 Rは R、 OR、 COR、
2 3
SR又は NRR,を表し、 R及び R'は、アルキル基、ァリール基、ァラルキル基又は複 素環基を表し、これらはハロゲン原子及び Z又は複素環基で置換されていてもよぐ これらのうちアルキル基及びァラルキル基のアルキレン部分は、不飽和結合、エーテ ル結合、チォエーテル結合又はエステル結合により中断されていてもよぐまた、 R及 び R,は一緒になつて環を形成していてもよぐ nは 0〜5である。 )
[0054] [化 21]
(式中、 X、 R、 R、 R、 R及び R'は上記化合物 No. 17と同様であり、 X,はハロゲ
1 1 2 3 1 ン原子又はアルキル基を表し、 Zは酸素原子又は硫黄原子を表し、 m及び nはそれ ぞれ 1〜5の数を表し、 R,は OR、 COR、 SR、 CONRR,又は CNを表し、 R,は
1 2
R、 OR、 COR、 SR又は NRR,を表し、 R,はそれぞれ R、 OR、 COR、 SR又は NRR
3
'を表し、 Rはジオール残基又はジチオール残基を表す。 )
4
[0055] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物において、上記光重合開始剤 (F
)の含有量は、溶媒を加えて溶液状組成物とした本発明のアルカリ現像性榭脂組成 物に対して、 0. 1〜30重量%、特に 0. 5〜5重量%が好ましい。
[0056] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物には、さらに不飽和結合を有する モノマー、連鎖移動剤、界面活性剤等を併用することができる。
[0057] 上記不飽和結合を有するモノマーとしては、アクリル酸 2 ヒドロキシェチル、ァク リル酸 2—ヒドロキシプロピル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸 N—ォクチル、ァク リル酸イソオタチル、アクリル酸イソノニル、アクリル酸ステアリル、アクリル酸メトキシェ チル、アクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸亜鉛、 1,6 へキサンジオールジァ タリレート、トリメチロールプロパントリアタリレート、メタクリル酸 2—ヒドロキシェチル 、メタクリル酸ー2—ヒドロキシプロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸ターシャリー ブチル、メタクリル酸シクロへキシル、トリメチロールプロパントリメタタリレート、ジペン タエリスリトールペンタアタリレート、ジペンタエリスリトールへキサアタリレート、ペンタ エリスリトールテトラアタリレート、ペンタエリスリトールトリアタリレート、トリシクロデカン ジメチロールジアタリレート等が挙げられる。
[0058] 上記連鎖移動剤としては、チォグリコール酸、チォリンゴ酸、チォサリチル酸、 2—メ ルカプトプロピオン酸、 3 メルカプトプロピオン酸、 3 メルカプト酪酸、 N—(2—メ ルカプトプロピオ-ル)グリシン、 2 メルカプトニコチン酸、 3—〔N—(2 メルカプト ェチル)力ルバモイル〕プロピオン酸、 3—〔N—(2 メルカプトェチル)ァミノ〕プロピ オン酸、 N— (3 メルカプトプロピオ-ル)ァラニン、 2 メルカプトエタンスルホン酸 、 3—メルカプトプロパンスルホン酸、 4 メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル(4-メ チルチオ)フエニルエーテル、 2 メルカプトエタノール、 3 メルカプト 1, 2 プロ パンジオール、 1 メルカプト 2 プロパノール、 3 メルカプト 2 ブタノール、メ ルカプトフエノール、 2—メルカプトェチルァミン、 2—メルカプトイミダゾール、 2—メル カプト 3 ピリジノール、 2 メルカプトべンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロ ールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メ ルカプトプロピオネート)等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られ るジスルフイド化合物、ョード酢酸、ョードプロピオン酸、 2—ョードエタノール、 2—ョ 一ドエタンスルホン酸、 3—ョードプロパンスルホン酸等のョード化アルキル化合物が
挙げられる。
[0059] 上記界面活性剤としては、パーフルォロアルキルリン酸エステル、パーフルォロア ルキルカルボン酸塩等のフッ素界面活性剤、高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスル ホン酸塩、アルキル硫酸塩等のァ-オン系界面活性剤、高級アミンハロゲン酸塩、第 四級アンモ-ゥム塩等のカチオン系界面活性剤、ポリエチレングリコールアルキルェ 一テル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸 モノグリセリド等の非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、シリコーン系界面活性剤 等の界面活性剤を用いることができ、これらは組み合わせて用いてもょ 、。
[0060] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物には、さらに熱可塑性有機重合 体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該熱可塑性有機重 合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタタリレート、メチルメタクリレートー ェチルアタリレート共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸、スチレン (メタ)アクリル酸共重 合体、(メタ)アクリル酸 メチルメタタリレート共重合体、ポリビュルブチラール、セル ロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル等が挙げられる。
[0061] また、本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物には、必要に応じて、ァ-ソ ール、ハイドロキノン、ピロカテコール、第三ブチルカテコール、フエノチアジン等の熱 重合抑制剤;可塑剤;接着促進剤;充填剤;消泡剤;レベリング剤等の慣用の添加物 をカロ免ることができる。
[0062] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物は、ロールコーター、カーテンコ 一ター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、金属、紙、プラスチック等の支持基体 上に適用される。また、ー且フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上 に転写することもでき、その適用方法に制限はない。
[0063] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物は、その用途に特に制限はなぐ 光硬化性塗料、光硬化性接着剤、印刷版、印刷配線板用フォトレジスト等の各種の 用途に使用することができる力 特に、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレ タトロルミネッセンスパネル、ビデオカメラ等に使用されるカラーフィルタの画素部の形 成に用いるのに好適である。
[0064] また、本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物を硬化させる際に用いられ
る活性光の光源としては、波長 300〜450nmの光を発光するものを用いることがで き、例えば、超高圧水銀、水銀蒸気アーク、カーボンアーク、キセノンアーク等を用い ることがでさる。
[0065] 次に、本発明のカラーフィルタ及び該カラーフィルタを備えた液晶表示装置につい て、好ましい実施形態に基づき以下に説明する。
[0066] 本発明のカラーフィルタは、少なくとも、透光性基材と複数色の画素パターン力 な るカラーフィルタ層とを備え、当該複数色の画素パターンのうち少なくとも 1色力 色 材を含有する本発明のアルカリ現像型感光性榭脂組成物の硬化物であることを特徴 とするか、あるいは、少なくとも、透光性基材と、複数色の画素パターン及びブラック マトリックス力もなるカラーフィルタ層とを備え、当該ブラックマトリックス力 色材を含有 する本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物の硬化物であることを特徴とす るものである。
[0067] 本発明のカラーフィルタの透光性基材としては、ある程度の剛性と平滑性があれば 、特に制限されることなく用いることができるが、カラーフィルタが透過型として用いら れる場合には、さらに透明性を有している必要がある。
用いることのできる透光性基材としては、ガラス、 PET (ポリエチレンテレフタレート) 、アクリル榭脂等のプラスチックフィルムが挙げられ、予め、本発明の着色アルカリ現 像型感光性榭脂組成物、それ以外の感光性榭脂組成物、またはクロム等の金属によ つて、ブラックマトリックスを設けておいてもよい。
[0068] 本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を以下に挙げる。
まず、ガラス等の透明基板に、本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物を スピンコーター、ロールコーター、カーテンコーター等の公知の手段により塗布する。 次いで、所定のパターンのフォトマスクを介して露光し、未露光部を炭酸ナトリウム等 のアルカリ性水溶液によって除去し現像する。これを所望の色数の透明着色被膜 (画 素パターン)が形成されるまで繰り返すことで、本発明のカラーフィルタを得ることがで きる。
なお、本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物は、露光感度が良好である ため、酸素遮断膜を形成する必要はないが、さらなる露光感度の向上を目的として、
露光工程の前に酸素遮断膜を形成する工程を設けても良い。
[0069] 上記の方法は、透明着色被膜の形成だけではなぐブラックマトリックスを設ける際 に適用することもできる。また、基板への塗布に代わり、一旦、円筒状の転写胴に支 持されたいわゆるブランケットやフィルム等の転写支持体上へ着色アルカリ現像型感 光性榭脂組成物を塗布し、これを基板へ転写する方法をとつてもょ ヽ。
[0070] 本発明の着色アルカリ現像型感光性組成物を用いたカラーフィルタは、複数色の 画素パターン及び Z又はブラックマトリックスの形成に本発明の着色アルカリ現像型 感光性組成物を用いる点以外は、従来のカラーフィルタと同様のものであり、用途に 応じて異なる構成要素を持ちその構成に制限はないが、一般的には、透光性基材と 、この透光性基材上にパターン化されて配列された複数色の着色透明被膜及び必 要に応じて配列されたブラックマトリックスとで構成され、これらの被膜に入射した白 色光をその被膜の色彩に着色するものである。
本発明のカラーフィルタを液晶表示装置に用いる場合には、従来のカラーフィルタ と同様にして液晶表示装置に備えればよい。液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ 、エレクト口ルミネッセンスパネル等の液晶表示装置においては、一般的には、入射 光としてディスプレイに内蔵された光源からの光やディスプレイの画面に入射する太 陽光等が利用され、カラーフィルタを透過した着色光によりカラー画面の表示を可能 としている。
また、本発明のカラーフィルタは、カラービデオカメラやデジタルカメラ等の固体撮 像装置に用いられるイメージセンサーにおいて、該イメージセンサー等に用いられる 固体撮像素子の構成部品として用いることもできる。固体撮像素子の構成部品として 設けられたカラーフィルタは、撮影対象から入射した光を分光する役目を果たす。こ こで分光された光は、受光素子で電気信号に変換され、これを記録することでカラー 画像の撮影を可能として 、る。
実施例
[0071] 以下、実施例等を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実 施例に限定されるものではない。
[0072] [製造例 1]アルカリ現像性榭脂組成物 No. 1の製造
<ステップ 1 > 1 , 1 ビス(4,一ヒドロキシフエ-ル) 1 ( ,一ビフエ-ル) 1— シクロへキシルメタンの製造
ビフエ-ルシクロへキシルケトン 70. 5g、フエノール 200. 7g及びチォ酢酸 10. 15 gを仕込み、トリフルォロメタンスルホン酸 40. 0gを 18。Cで 20分力けて滴下した。 17 〜19°Cで 18時間反応後、水 500gをカ卩えて反応を停止させ、トルエン 500gをカロえ、 有機層を pH3〜4になるまで水洗して有機層を分離した。トルエン、水及び過剰のフ エノールを留去した。残さにトルエンを加えて析出した固体をろ別し、トルエンで分散 洗浄して淡黄色結晶 59. 2g (収率 51%)を得た。該淡黄色結晶の融点は 239. 5°C であり、該淡黄色結晶は目的物であることを確認した。
[0073] <ステップ 2 > 1 , 1 ビス(4,一エポキシプロピルォキシフエ-ル)一 1 ( ,一ビフ ェ -ル) - 1—シクロへキシルメタンの製造
ステップ 1で得られた 1, 1—ビス(4,一ヒドロキシフエ-ル) 1— (1,,一ビフエ-ル )—1 シクロへキシルメタン 57. 5g及びェピクロルヒドリン 195. 8gを仕込み、ベンジ ルトリェチルアンモ -ゥムクロリド 0. 602gをカ卩えて 64°Cで 18時間攪拌した。続いて 5 4°Cまで降温し、 24重量%水酸ィ匕ナトリウム水溶液 43. 0gを滴下し、 30分攪拌した。 ェピクロルヒドリン及び水を留去し、メチルイソブチルケトン 216gをカ卩えて水洗後、 24 重量%水酸化ナトリウム 2. 2gを滴下した。 80°Cで 2時間攪拌後、室温まで冷却し、 3 重量%モノリン酸ナトリウム水溶液で中和し、水洗を行った。溶媒を留去して、黄色固 体 57g (収率 79%)を得た。(融点 64. 2°C、エポキシ当量 282、 n=0. 04)。該黄色 結晶は目的物であることを確認した。
[0074] くステップ 3 >アルカリ現像性榭脂組成物 No. 1の製造
ステップ 2で得られた 1 , 1 ビス(4 ' エポキシプロピルォキシフエ-ル) 1一( 1, ,—ビフエ-ル)— 1—シクロへキシルメタン(以下、化合物 aともいう) 1695g、アクリル 酸(以下、ィ匕合物 b— 1ともいう) 443g、 2, 6 ジ一 tert—ブチル p—タレゾール 6g 、テトラプチルアンモ -ゥムアセテート llg及びプロピレングリコール— 1—モノメチル エーテル— 2 アセテート 1425gを仕込み、 120°Cで 16時間攪拌した。室温まで冷 却し、プロピレングリコール 1 モノメチルエーテル 2 アセテート 718g及び無 水コハク酸(以下、化合物 c 1とも 、う) 482g及びテトラプチルアンモ-ゥムァセテー
ト 25gをカ卩えて 100°Cで 5時間攪拌した。更に、ステップ 2で得られた 1, 1—ビス (4, —エポキシプロピルォキシフエ-ル) 1— (1,,一ビフエ-ル) 1—シクロへキシル メタン(以下、化合物 d—1ともいう) 508g及びプロピレングリコール一 1—モノメチル エーテル— 2 アセテート 218gをカ卩えて 120°Cで 12時間、 80°Cで 2時間、 40°Cで 2 時間攪拌後、プロピレングリコール— 1—モノメチルエーテル— 2 アセテート 1463g を加えて、プロピレングリコール 1 モノメチルエーテル 2—アセテート溶液として 目的物であるアルカリ現像性榭脂組成物 No. 1を得た(Mw=4200、 Mn= 2100、 酸価(固形分) 55mgKOH,g)。
尚、アルカリ現像性榭脂組成物 No. 1が含有する反応生成物は、(A)成分である 化合物 aに (B)成分である化合物 b— 1を付加させた構造を有するエポキシ付加物の 水酸基 1個に対し、(C)成分である化合物 c 1の酸無水物構造が 0. 8個の比率で、 (D)成分である化合物 dのエポキシ基が 0. 3個の比率でエポキシ付加物と化合物 c —1及びィ匕合物 d—1とをエステルイ匕反応させて得られたものである。また、上記ェポ キシ付加物は、化合物 aのエポキシ基 1個に対し、化合物 bのカルボキシル基が 1. 0 個の比率で付加させた構造を有するものである。
[製造例 2]アルカリ現像性榭脂組成物 No. 2の製造
製造例 1のステップ 2で得られた 1 , 1 ビス(4 ' エポキシプロピルォキシフエ-ル )— 1 ( ,一ビフエ-ル) - 1 シクロへキシルメタン (ィ匕合物 a)43g、アクリル酸 (ィ匕 合物 b 1)33. 6g、 2, 6 ジ— tert—ブチル p—タレゾール 0. 04g、テトラブチル アンモ-ゥムアセテート 0. 2 lg及びプロピレングリコール 1 モノメチルエーテル 2 アセテート 18gを仕込み、 120°Cで 13時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレ ングリコール 1 モノメチルエーテル 2 アセテート 24g及び無水コハク酸 (化合 物 c— l)10gをカ卩えて 100°Cで 3時間攪拌した。更にビスフエノール Zグリシジルエー テル (ィ匕合物 d— 2) 8gをカ卩えて 120°Cで 4時間、 90°Cで 3時間、 60°Cで 2時間、 40 °Cで 5時間攪拌後、プロピレンダリコール— 1 モノメチルエーテル - 2-アセテート 29gを加えて、プロピレングリコール— 1—モノメチルエーテル— 2 アセテート溶液 として目的物であるアルカリ現像性榭脂組成物 No. 2を得た(Mw=4600、 Mn= 2 100、酸価(固形分) 54mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性榭脂組成物 No. 2が含有する反応生成物は、(A)成分である 化合物 aに (B)成分である化合物 b— 1を付加させた構造を有するエポキシ付加物の 水酸基 1個に対し、(C)成分である化合物 c 1の酸無水物構造が 0. 8個の比率で、 (D)成分である化合物 d— 2のエポキシ基が 0. 3個の比率でエポキシ付加物と化合 物 c 1及びィ匕合物 d— 2とをエステルイ匕反応させて得られたものである。また、上記 エポキシ付加物は、化合物 aのエポキシ基 1個に対し、化合物 bのカルボキシル基が 1. 0個の比率で付加させた構造を有するものである。
[0076] [製造例 3]アルカリ現像性榭脂組成物 No. 3の製造
製造例 1のステップ 2で得られた 1 , 1 ビス(4 ' エポキシプロピルォキシフエ-ル )— 1 ( ,一ビフエ-ル) - 1 シクロへキシルメタン (ィ匕合物 a)1695g、アクリル酸( 化合物 b— l)443g、 2, 6 ジ—tert—ブチルー p タレゾール 6g、テトラプチルアン モ -ゥムアセテート 1 lg及びプロピレングリコール 1 モノメチルエーテル 2—ァ セテート 1425gを仕込み、 120°Cで 16時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレング リコール 1 モノメチルエーテル 2 アセテート 931g及びへキサヒドロ無水フタ ル酸(以下、化合物 c— 2ともいう) 741g及びテトラ— n—ブチルアンモ-ゥムァセテ ート 25gをカ卩えて 70°Cで 4時間攪拌した。更にエチレングリコールジグリシジルエー テル(以下、化合物 d— 3ともいう) 313g及びプロピレングリコール 1 モノメチルェ 一テル— 2 アセテート 1463gをカ卩えて、プロピレングリコール— 1—モノメチルエー テル一 2 アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性榭脂組成物 No. 3を得 た(Mw= 3000、 Mn= 1700、酸価(固开纷) 43mgKOHZg)。
尚、アルカリ現像性榭脂組成物 No. 3が含有する反応生成物は、(A)成分である 化合物 aに (B)成分である化合物 b— 1を付加させた構造を有するエポキシ付加物の 水酸基 1個に対し、(C)成分である化合物 c 2の酸無水物構造が 0. 8個の比率で、 (D)成分である化合物 d— 3のエポキシ基が 0. 4個の比率でエポキシ付加物と化合 物 c 2およびィ匕合物 d— 3とをエステルイ匕反応させて得られたものである。また、上 記エポキシ付加物は、化合物 aのエポキシ基 1個に対し、化合物 bのカルボキシル基 が 1. 0個の比率で付加させた構造を有するものである。
[0077] [製造例 4]アルカリ現像性榭脂組成物 No. 4の製造
ライトアタリレート PE—3A (アクリル酸誘導体、共栄社化学製) 37. 3g、コハク酸無 水物 12. 5g、トリフエ-ルフォスフィン 0. 087g及び 2, 6 ジ— tert—ブチル p ク レゾール 0. 050gを仕込み、 100°Cで 3時間攪拌し、多官能アクリル基を有する不飽 和一塩基酸 (以下、化合物 b— 2ともいう)を得た。室温まで冷却し、 1, 1 ビス (4 ' エポキシプロピルォキシフエ-ル) 1— (1 "—ビフエ-ル) 1—シクロへキシルメタ ン(ィ匕合物 a) 138g、アクリル酸(化合物 b— 1) 27. 7g、 2, 6 ジ—tert ブチルー p —タレゾール 0. 51g、テトラプチルアンモ -ゥムアセテート 0. 90g及びプロピレングリ コール— 1—モノメチルエーテル— 2 アセテート 144gを仕込み、 120°Cで 12時間 攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール— 1—モノメチルエーテル— 2—ァ セテート 65. 4g及びコハク酸無水物(ィ匕合物 c 1) 40. Og並びにテトラプチルアン モ-ゥムアセテート 2. lgをカロえて 100°Cで 5時間攪拌した。更に 1, 1—ビス (4,ーェ ポキシプロピルォキシフエ-ル) 1— (1 "—ビフエ-ル) 1—シクロへキシルメタン (化合物 d— 1) 41. 4g及び 2, 6 ジ—tert—ブチルー p タレゾール 0. 56g並びに プロピレングリコール 1 モノメチルエーテル 2 アセテート 18. Ogを加えて 90 °Cで 1時間、 120°Cで 8時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール— 1— モノメチルエーテル— 2 アセテート 136gを加えて、プロピレングリコール— 1—モノ メチルエーテル 2—アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性榭脂組成物 No. 4を得た(Mw=6700、 Mn= 2700、酸価(固开纷) 51mgKOHZg)。
尚、アルカリ現像性榭脂組成物 No. 4が含有する反応生成物は、(A)成分である 化合物 aに (B)成分である化合物 b— 1及び b— 2を付加させた構造を有するェポキ シ付加物の水酸基 1個に対し、(C)成分である化合物 c 1の酸無水物構造が 0. 8 個の比率で、(D)成分である化合物 d— 1のエポキシ基が 0. 3個の比率でエポキシ 付加物と化合物 c— 1およびィ匕合物 d— 1とをエステルイ匕反応させて得られたものであ る。また、上記エポキシ付加物は、化合物 aのエポキシ基 1個に対し、化合物 b— 1の カルボキシル基が 0. 75個、化合物 b— 2のカルボキシル基が 0. 25個の比率で付加 させた構造を有するものである。
[製造例 5]アルカリ現像性榭脂組成物 No. 5の製造
ライトエステル G201P (メタクリル酸誘導体、共栄社化学製) 26. 8g、無水コハク酸
12. 5g、トリフエ-ルフォスフィン 0. 087g及び 2, 6 ジ一 tert—ブチル p クレゾ ール 0. 039gを仕込み、 100°Cで 3時間攪拌し、多官能 (メタ)アクリル基を有する不 飽和一塩基酸 (以下、化合物 b— 3ともいう)を得た。室温まで冷却し、 1, 1 ビス (4' エポキシプロピルォキシフエ-ル) 1— (1,,一ビフエ-ル) 1—シクロへキシル メタン(ィ匕合物 a) 138g、アクリル酸(化合物 b— 1) 27. 7g 2, 6 ジ—tert ブチル p タレゾール 0. 50g、テトラプチルアンモ -ゥムアセテート 0. 90g及びプロピレン グリコール 1 モノメチルエーテル 2 アセテート 137gを仕込み、 120°Cで 12時 間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール— 1—モノメチルエーテル— 2— アセテート 63. 8g及びコハク酸無水物(ィ匕合物 c 1) 40. Og及びテトラプチルアン モ-ゥムアセテート 2. lgをカロえて 100°Cで 5時間攪拌した。更に 1, 1—ビス (4 ポキシプロピルォキシフエ-ル) 1— (1 "—ビフエ-ル) 1—シクロへキシルメタン (化合物 d— 1) 41. 4g及び 2, 6 ジ—tert—ブチルー p タレゾール 0. 56g、プロ ピレンダリコール 1 モノメチルエーテル 2 アセテート 18. Ogを加えて 90°Cで 1時間、 120°Cで 8時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール— 1—モノメ チルエーテル 2 アセテート 132gを加えて、プロピレングリコール 1 モノメチル テ 2 アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性榭脂組成物 No. 5 を得た(Mw=4800 Mn= 2400、酸価(固开分) 54mgKOH/g
尚、アルカリ現像性榭脂組成物 No. 5が含有する反応生成物は、(A)成分である 化合物 aに (B)成分である化合物 b— 1及び b— 3を付加させた構造を有するェポキ シ付加物の水酸基 1個に対し、(C)成分である化合物 c 1の酸無水物構造が 0. 8 個の比率で、(D)成分である化合物 d— 1のエポキシ基が 0. 3個の比率でエポキシ 付加物と化合物 c— 1およびィ匕合物 d— 1とをエステルイ匕反応させて得られたものであ る。また、上記エポキシ付加物は、化合物 aのエポキシ基 1個に対し、化合物 b— 1の カルボキシル基が 0. 75個、化合物 b— 3のカルボキシル基が 0. 25個の比率で付加 させた構造を有するものである。
[比較製造例 1]アルカリ現像性榭脂組成物 No. 6の製造
ビスフエノールフルオレン型エポキシ榭脂(エポキシ当量 231) 184g、アクリル酸 58 g 2, 6 ジ—tert—ブチルー p タレゾール 0. 26g、テトラブチルアンモ-ゥムァセ
テート 0. l lg及びプロピレングリコール— 1—モノメチルエーテル— 2—アセテート 2 3gを仕込み、 120°Cで 16時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール— 1 —モノメチルエーテル— 2 アセテート 35g及びテトラヒドロ無水フタル酸 41gをカロえ て 100°Cで 3時間攪拌した。更にエチレングリコールジグリシジルエーテル 6. 5gをカロ え、 120°Cで 4時間、 90°Cで 3時間、 60°Cで 2時間、 40°Cで 5時間攪拌後、プロピレ ングリコール— 1—モノメチルエーテル— 2 アセテート 90gをカ卩えて目的物のプロピ レングリコールー 1 モノメチルエーテル 2—アセテート溶液としてアルカリ現像性 榭脂組成物 No. 6を得た(Mw= 5000、 Mn= 2100、酸価(固形分) 92. 7mgKO HZg)。
[0080] [比較製造例 2]アルカリ現像性榭脂組成物 No. 7の製造
ビスフエノール A型エポキシ榭脂(エポキシ当量 190) 154g、アクリル酸 59g、 2, 6 ージ—tert—ブチルー p タレゾール 0. 26g、テトラプチルアンモ -ゥムアセテート 0 . l lg及びプロピレングリコール— 1—モノメチルエーテル— 2 アセテート 23gを仕 込み、 120°Cで 13時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール— 1—モノメ チルエーテル— 2 アセテート 365g及び無水フタル酸 45gをカ卩えて 100°Cで 3時間 攪拌した。更にビスフエノール A型エポキシ榭脂(エポキシ当量 190) 7. Ogをカ卩えて 120°Cで 4時間、 90°Cで 3時間、 60°Cで 2時間、 40°Cで 5時間攪拌後、プロピレング リコール 1 モノメチルエーテル 2 アセテート 90gを加えて目的物のプロピレン グリコール一 1—モノメチルエーテル一 2—アセテート溶液としてアルカリ現像性榭脂 組成物 No. 7を得た(Mw= 7500、 Mn= 2100、酸価(固形分) 91mgKOH,g)。
[0081] [比較製造例 3]アルカリ現像性榭脂組成物 No. 8の製造
くステップ 1 > 1, 1 ビス(4,一ヒドロキシフエ-ル) 1 ( ,一ビフエ-ル)ェタン の製造
フエノール 75g及び 4 ァセチルビフエ-ル 50gを 60°Cでカ卩熱溶融させ、 3 メル カプトプロピオン酸 5gをカ卩えて攪拌しながら塩ィ匕水素ガスを 24時間吹き込み、その 後 72時間反応させた。 70°Cの温水で洗浄した後、減圧下で 180°Cまで加熱して蒸 発物を留去した。残渣にキシレンを加えて冷却し、析出した結晶をろ取、減圧乾燥し て淡黄色結晶 65g (収率 68%)を得た。該淡黄色結晶の融点は 184°Cであり、該淡
黄色結晶は目的物であることを確認した。
[0082] <ステップ 2 > 1 , 1 ビス(4, 一エポキシプロピルォキシフエ-ル) 1 ( , 一ビフ ヱニル)ェタンの製造
ステップ 1で得られた 1, 1—ビス(4,一ヒドロキシフエ-ル) 1— (1,,一ビフエ-ル )ェタン 37g及びェピクロルヒドリン 149. 5gを仕込み、ベンジルトリェチルアンモ-ゥ ムクロリド 0. 45gをカ卩えて 64°Cで 18時間攪拌した。続いて 54°Cまで降温し、 24重量 %水酸ィ匕ナトリウム水溶液 32. 6gを滴下し、 30分攪拌した。ェピクロルヒドリン及び水 を留去し、メチルイソブチルケトン 140gをカ卩えて水洗後、 24重量。/。水酸化ナトリウム 1. 7gを滴下した。 80°Cで 2時間攪拌後、室温まで冷却し、 3重量%モノリン酸ナトリ ゥム水溶液で中和し、水洗を行った。溶媒を留去して、黄色粘性液体 38. 7g (収率 8 0%)を得た。(エポキシ当量 248、 n=0. 04)。該黄色粘性液体は目的物であること を確認した。
[0083] くステップ 3 >アルカリ現像性榭脂組成物 No. 8の製造
ステップ 2で得られた 1 , 1一ビス(4 ' 一エポキシプロピルォキシフエ-ル)一 1一 ( 1, ,—ビフエ-ル)ェタン 49. 6g、アクリル酸 14. 4g、 2, 6 ジ— tert—ブチル p ク レゾール 0. 05g、テトラプチルアンモ -ゥムアセテート 0. 14g及びプロピレングリコー ル— 1—モノメチルエーテル— 2 アセテート 27. 4gを仕込み、 120°Cで 13時間攪 拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール— 1—モノメチルエーテル— 2—ァセ テート 41. 5g及びコハク酸無水物 4. 3gをカ卩えて 100°Cで 3時間攪拌した。更にェチ レングリコールジグリシジルエーテル 0. 34gを加えて 120。Cで 4時間、 90。Cで 3時間 、 60°Cで 2時間、 40°Cで 5時間攪拌後、プロピレングリコール 1 モノメチルエーテ ルー 2 アセテート 34gをカ卩えて、プロピレングリコール— 1—モノメチルエーテル— 2 アセテート溶液として目的物のアルカリ現像性榭脂組成物 No. 8を得た (Mw= 3 700、 Mn= 1900、酸価(固形分) 93mgKOH/g)。
[0084] [実施例 1]着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物 No. 1の調製
製造例 1で得られたアルカリ現像性榭脂組成物 No. 1の 12gに対し、トリメチロール プロパントリアタリレート 8g、ベンゾフエノン 1. 8g、カーボンブラック (三菱ィ匕学社製「 MA100」)3.2g及びェチルセ口ソルブ 75gをカ卩えてよく攪拌し、着色アルカリ現像型
感光性榭脂組成物 No. 1を得た。
[0085] [実施例 2]着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物 No. 2の調製
製造例 2で得られたアルカリ現像性榭脂組成物 No. 2の 12gに対し、トリメチロール プロパントリアタリレート 8g、ベンゾフエノン 1. 8g、カーボンブラック (三菱ィ匕学社製「 MA100」)3.2g及びェチルセ口ソルブ 75gをカ卩えてよく攪拌し、着色アルカリ現像型 感光性榭脂組成物 No. 2を得た。
[0086] [実施例 3]着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物 No. 3の調製
製造例 3で得られたアルカリ現像性榭脂組成物 No. 3の 12gに対し、トリメチロール プロパントリアタリレート 5.6g、ハロゲン化銅フタロシアニン系顔料 (東洋インキ社製「6 YKJ ) 0. 6g、ベンゾフエノン 1. 8g及びェチルセ口ソルブ 80gをカ卩えてよく攪拌し、着 色アルカリ現像型感光性榭脂組成物 No. 3を得た。
[0087] [実施例 4]着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物 No. 4の調製
製造例 4で得られたアルカリ現像性榭脂組成物 No. 4の 12gに対し、トリメチロール プロパントリアタリレート 8g、ベンゾフエノン 1. 8g、カーボンブラック (三菱ィ匕学社製「 MA100」)3.2g及びェチルセ口ソルブ 75gをカ卩えてよく攪拌し、着色アルカリ現像型 感光性榭脂組成物 No. 4を得た。
[0088] [実施例 5]着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物 No. 5の調製
製造例 5で得られたアルカリ現像性榭脂組成物 No. 5の 12gに対し、トリメチロール プロパントリアタリレート 8g、ベンゾフエノン 1. 8g、カーボンブラック (三菱ィ匕学社製「 MA100」)3.2g及びェチルセ口ソルブ 75gをカ卩えてよく攪拌し、着色アルカリ現像型 感光性榭脂組成物 No. 5を得た。
[0089] [比較例 1]着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物 No. 6の調製
比較製造例 1で得られたアルカリ現像性榭脂組成物 No. 6の 12gに対し、トリメチロ ールプロパントリアタリレート 8g、ベンゾフエノン 1. 8g、カーボンブラック (三菱化学社 製「MA100」)3. 2g及びェチルセ口ソルブ 75gをカ卩えてよく攪拌し、着色アルカリ現 像型感光性榭脂組成物 No. 6を得た。
[0090] [比較例 2]着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物 No. 7の調製
比較製造例 2で得られたアルカリ現像性榭脂組成物 No. 7の 12gに対し、トリメチロ
ールプロパントリアタリレート 8g、ベンゾフエノン 1. 8g、カーボンブラック (三菱化学社 製「MA100」)3. 2g及びェチルセ口ソルブ 75gをカ卩えてよく攪拌し、着色アルカリ現 像型感光性榭脂組成物 No. 7を得た。
[0091] [比較例 3]着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物 No. 8の調製
比較製造例 3で得られたアルカリ現像性榭脂組成物 No. 8の 12gに対し、トリメチロ ールプロパントリアタリレート 8g、ベンゾフエノン 1. 8g、カーボンブラック (三菱化学社 製「MA100」)3. 2g及びェチルセ口ソルブ 75gをカ卩えてよく攪拌し、着色アルカリ現 像型感光性榭脂組成物 No. 8を得た。
[0092] 得られた着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物 No. 1〜8の評価を以下のようにし て行った。
すなわち、基板上に rーグリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして 良くスピン乾燥させた後、上記着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物をスピンコート (1300r. p. m、 50秒間)し乾燥させた。 70°Cで 20分間プリベータを行った後、ポリ ビュルアルコール 5重量%溶液をコートして酸素遮断膜とした。 70°C20分間の乾燥 後、所定のマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光後、 2. 5重量% 炭酸ナトリウム溶液に 25°Cで 30秒間浸漬して現像し、良く水洗した。水洗乾燥後、 2 30°Cで 1時間ベータしてパターンを定着させた。得られたパターンについて、以下の 評価を行った。結果を表 1に示す。
[0093] <感度 >
露光時に、露光量が lOOmjZcm2で十分だったものを a、 lOOmjZcm2では不十 分で、 200mjZcm2で露光したものを bとした。
<解像度 >
露光現像時に、線幅 10 m以下でも良好にパターン形成できたものを A、線幅 10 〜30 μ mであれば良好にパターン形成できたものを Β、線幅 30 μ m以上のものでな いと良好なパターン形成ができな力つたものを Cと評価した。
<密着性>
JIS D 0202の試験方法に従 、、塗膜に基盤目状にクロスカットを入れ、、 、で セロハンテープによってピーリングテストを行い、基盤目の剥離の状態を目視により
評価した。全く剥離が認められな力 たものを〇、剥離が認められたものを Xとした。
<耐アルカリ性 >
加熱処理後の塗膜を a) 5重量%NaOHaq.中 24時間、 b) 4重量%KOHaq.中 5 0°Cで 10分間、 c) 1重量。/ oNaOHaq.中 80°Cで 5分間の条件で浸漬し、浸漬後の 外観を目視により評価した。いずれの条件においても外観変化もなくレジストの剥離 も全くなかったものを〇、いずれかの条件においてレジストの浮きが見られたりレジス トの剥離が認められたものを Xとした。
[0094] [表 1]
[0095] 実施例 1〜5の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物は、高感度で解像度に優れ るものであった。また、得られた塗膜は、基板との密着性及び耐アルカリ性に優れるも のであった。
それに対して、比較例 1〜3の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物は、感度が 低いため露光量を多くせざるを得ず、解像度が低下し、線幅 30 m以上でないと形 成できず、また、得られた塗膜の基板との密着性、耐アルカリ性も思わしくなカゝつた。 産業上の利用可能性
[0096] 本発明の着色アルカリ現像型感光性榭脂組成物は、感度、解像度、透明性、密着 性、耐アルカリ性等に優れ、微細パターンを精度良く形成できる。