WO2003091739A1

WO2003091739A1 - Electronic component characteristic measuring device

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Publication number: WO2003091739A1
Application number: PCT/JP2003/002826
Authority: WO
Inventors: Yoshikazu Sasaoka
Original assignee: Murata Manufacturing Co., Ltd.
Priority date: 2002-04-25
Filing date: 2003-03-11
Publication date: 2003-11-06
Also published as: US7030634B2; CN1564949A; TWI223084B; KR20040037101A; JP4835634B2; US20040217764A1; KR100665795B1; JP2008224681A; CN1281968C; AU2003211893A1; TW200400355A

Description

明細書電子部品の特性測定装置技術分野

この発明は、電子部品の特性測定装置に関するもので、特に、電気的特性が測定される電子部品を保持するためのホルダの構造の改良に関するものである。背景技術

この発明にとって興味ある従来の電子部品の特性測定装置として、アメリカ合衆国特許第 5， 8 4 2 , 5 7 9号に記載されたものがある。この従来の電子部品の特性測定装置の主要部が、図 9に図解的に示されている。

図 9を参照して、特性測定装置 1は、互いに対向する第 1および第 2の端部に第 1および第 2の外部端子電極 2および 3がそれぞれ形成されたチップ状の電子部品 4の特性を測定するためのものである。

特' ft測定装置 1は、電子部品 4を収容するための収容キヤビティ 5を有し、かつ第 1および第 2の外部端子電極 2および 3を収容キヤビティ 5の互いに対向する第 1および第 2 の開口端 6および 7側にそれぞれ向けた状態で電子部品 4を保持する、ホルダ 8を備えている。

また、特性測定装置 1は、収容キヤビティ 5の第 1およぴ第 2の開口端 6および 7の位置において、電子部品 4の第 1および第' 2の外部端子電極 2および 3にそれぞれ接触するように配置される、第 1および第 2の測定端子 9および 1 0を備えている。第 1の測定端子 9は、たとえば板ばねから構成され、第 1の外部端子電極 2に弾性的に接触するようにされる。第 2の測定端子 1 0は、たとえばブロック状とされ、固定的に設けられる。ホルダ 8は、通常、円板状であり、そこには、複数個の収容キヤビティ 5が周方向に分布するように配列され、各収容キヤビティ 5には、電子部品 4が 1個ずつ収容される。したがって、図 9には、ホルダ 8の一部が図示されていると理解すればよい。

円板状のホルダ 8は回転される。このホルダ 8の回転によって移動される収容キヤビティ 5の経路上の所定の位置で、電子部品 4が収容キヤビティ 5内に振り込まれ、次いで、収容キヤビティ 5内に収容された電子部品 4が第 1および第 2の測定端子 9および 1 0の間の位置に移動され、第 1および第 2の測定端子 9および 1 0が第 1および第 2の外部端子電極 2および 3に接触することによって、電子部品 4の電気的特性が測定される。その後、電子部品 4は、収容キヤビティ 5から取り出される。このとき、測定された電気的特性に応じて、たとえば、電気的特性の良否に応じて、電子部品 4が選別される。

上述のような特性測定装置 1を用いて、電子部品 4の静電容量を求めようとする場合、その精度を高めるため、実際には、次のような手順で静電容量が求められる。

まず、特性測定装置 1に備える測定端子 9および 1 0やケーブル（図示せず。 ) 等の電気的要素によってもたらされる電気的寄生成分を予め測定しておく。次いで、電子部品 4 の静電容量を測定する。この測定された静電容量は、電気的寄生成分を含む値となっている。そして、電子部品 4の静電容量の測定結果から、電気的寄生成分を差し引いた値を、電子部品 4の静電容量とする。

したがって、予め測定された電気的寄生成分値と電子部品 4を実際に測定した際にもたらされた電気的寄生成分値との間に差がある場合、この差が誤差として、求められた静電容量に含まれてしまうことになる。

上述した電気的寄生成分には、測定端子 9および 1 0間の浮遊容量が含まれている。図 9には、この浮遊容量を与える電気力線 1 1が破線の矢印によって図解的に示されている。電子部品 4の寸法が小さく、そのため、第 1および第 2の測定端子 9および 1 0間の距離が短くなるほど、また、第 1および第 2の測定端子 9および 1 0の対向面積が大きくなるほど、この浮遊容量は無視できなくなってくる。

このような状況下において、電子部品 4の寸法にばらつきが生じると、この寸法ばらつきが原因となって浮遊容量にばらつきが生じ、その結果、特性測定時の電気的寄生成分値と予め測定された電気的寄生成分値との間に差が生じるばかりでなく、この差が変動し、それによつてもたらされた誤差が静電容量の測定結果に含まれることになる。

同様の問題は、静電容量の測定の場合に限らず、他の電気的特性の測定の場合においても遭遇する。

そこで、この発明の目的は、上述のような問題を解決し、より精度の高い電気的特性の測定を可能にする、電子部品の特性測定装置を提供しようとすることである。発明の開示

この発明は、簡単に言えば、電気的特性が測定される電子部品の近辺に寄生する浮遊容量をできるだけ低減し、それによつて、電子部品の寸法ばらつきに起因する測定誤差をできるだけ抑えようとするものである。

より詳細には、この発明は、互いに対向する第 1および第 2の端部に第 1および第 2の外部端子電極がそれぞれ形成されたチップ状の電子部品の電気的特性を測定するためのものであって、電子部品を収容するための収容キヤビティを有し、第 1およぴ第 2の外部端子電極を収容キヤビティの互いに対向する第 1および第 2の開口端側にそれぞれ向けた状態で電子部品を保持する、ホルダと、収容キヤビティの第 1および第 2の開口端に位置において、電子部品の第 1および第 2の外部端子電極にそれぞれ接触するように配置される、第 1および第 2の測定端子とを備える、電子部品の特性測定装置に向けられる。そして、上述した技術的課題を解決するため、次のような構成を備えることを特徴としている。すなわち、ホルダは、第 1および第 2の測定端子間の位置を横切るように延びる、導電性材料からなるシールド層を備え、このシールド層は、測定基準電位に電気的に接続されていることを特徴としている。

上述のように、ホルダにシールド層が設けられることによって、浮遊容量を与える電気力線は、電子部品近辺において、シールド層によって遮断され、したがって、浮遊容量を低減することができる。

この発明において、ホルダは、電子部品を 1個ずつ収容する複数個の収容キヤビティを有し、第 1 .および第 2の測定端子が各収容キヤビティ内に収容された各電子部品の第 1および第 2の外部端子電極に順次接触するように、ホルダと第 1および第 2の測定端子と力相対的に移動可能とされることが好ましい。これによつて、複数個の電子部品に対して特性測定を行なう工程を能率的に進めることができる。

上述の好ましい実施態様において、ホルダは円板状であり、複数個の収容キヤビティが、ホルダの周方向に分布するように配列され、ホルダが回転することによって、第 1および第 2の測定端子が各収容キヤビティ内に収容された各電子部品の第 1および第 2の外部端子電極に順次接触するようにされることがより好ましレ、。このように構成することにより、ホルダの一方方向への回転に従って、電子部品の特性測定工程を連続的に進めることがでさる。

上述の好ましい実施態様において、複数対の第 1および第 2の測定端子が、ホルダの周方向に分布するように配置されてもよい。このような構成によれば、ホルダに関連して複数箇所に電気的特性の測定のための測定部を設けることができ、また、各測定部において同時に電気的特性の測定工程を実施することができる。そして、複数箇所の測定部で同じ種類の電気的特性の測定を行なう場合には、この電気的特性の測定工程を能率的に進めることができ、他方、複数箇所の測定部において、互いに異なる種類の電気的特性を測定する場合には、ホルダによって保持されたままの状態で、電子部品の複数種類の電気的特性の測定を行なうことができる。

上述の後者のように、複数種類の電気的特性を測定する場合には、シーノレド層は、ホルダの周方向に分布するように、複数部分に分割され、分割されたシールド層の各部分に、少なくとも 1個の収容キヤビティが配置されることが好ましい。これによつて、測定されるべき電気的特性の種類毎に、シールド層に与えられる測定基準電位を変えることができるからである。

また、ホルダと第 1およぴ第 2の測定端子とが相対的に移動可能である場合、第 1および第 2の測定端子の少なくとも一方は、対応の外部端子電極に接触しながら転動する口一ラを備えることが好ましい。これによつて、測定端子を、外部端子電極に対して円滑に接触させることができる。

また、ホルダと第 1および第 2の測定端子とが相対的に移動可能とされる場合において、ホルダが移動可能とされる場合には、ホルダには、シールド層に電気的に接続されるシールド導電面が露出する状態で設けられ、測定基準電位を与えるため、このシールド導電面に接触するシールド端子をさらに備えていることが好ましい。これによつて、ホルダの移動の間、シールド端子からシールド導電面を介してシールド層に測定基準電位を与えることができる。

上述の実施態様において、シールド導電面がシーノレド層の一部によって与えられると、シールド導電面を特別に設ける必要がなくなりホルダの構造が複雑化することを避けることができる。

以上のように、この発明によれば、電気的特性を測定しょうとするホルダには、第 1および第 2の測定端子間の位置を横切るように延びるシールド層が設けられ、このシールド層が測定基準電位に接続されているので、第 1および第 2の測定端子間に生じる電気力線をシーノレド層によって遮断することができ、そのため、第 1および第 2の測定端子間に寄生する浮遊容量を低減することができる。その結果、電子部品の寸法ばらつきに起因する浮遊容量の変動による電気的特性の測定誤差を抑制することができる。

したがって、より高い精度をもって電子部品の電気的特'性を測定することができる。その結果として、電子部品の電気的特性に関する良品選別範囲を広げることができ、良品率の向上を期待することもできる。

この発明において、ホルダが、電子部品を 1個ずつ収容する複数個の収容キヤビティを有し、第 1および第 2の測定端子が各収容キヤビティ内に収容された電子部品の第 1および第 2の外部端子電極に順次接触するように、ホルダと第 1および第 2の測定端子とが相対的に移動可能とされると、複数個の電子部品についての特性測定工程を能率的に進めることができる。

上述の場合、ホルダが円板状であり、複数個の収容キヤビティが、ホルダの周方向に分布するように配列され、ホルダが回転することによって、第 1および第 2の測定端子が各収容キヤビティ内に収容された各電子部品の第 1および第 2の外部端子電極に順次接触するようにされると、ホルダを一方方向へ回転させながら、収容キヤビティ内への電子部品の揷入工程、収容キヤビティ内の電子部品の電気的特性の測定工程および収容キヤビティ力らの電子部品の取出し工程を連続的に実施することができ、特性測定工程をより能率的に進めることができる。

上述の場合において、複数対の第 1および第 2の測定端子が、ホルダの周方向に分布するように配置されると、特性測定工程を複数箇所において同時に実施することができるようになる。

上述の場合において、シールド層が、ホルダの周方向に分布するように、複数部分に分割され、分割されたシールド層の各部分に、少なくとも 1個の収容キヤビティが配置されると、シールド層に与えられる測定基準電位を変えながら、複数種類の電気的特性の測定工程を同時に実施できるようになる。

また、ホルダと第 1および第 2の測定端子とが相対的に移動可能である場合、第 1および第 2の測定端子の少なくとも一方が、対応の外部端子電極に接触しながら転動する口一ラを備えていると、外部端子電極への測定端子の円滑な接触状態を実現することができる。また、ホルダが移動可能とされる場合において、シールド層に電気的に接続されるシーノレド導電面がホルダに露出する状態で設けられていると、このシールド導電面にシーノレド端子を接触させることにより、ホルダの移動に関わらず、シールド層に測定基準電位を与えることができる。図面の簡単な説明

第 1図は、この発明の原理を説明するためのもので、電子部品の特性測定装置 1 3の主要部を図解的に示す断面図である。

第 2図は、この発明の第 1の実施形態による電子部品の特性測定装置 2 1に備える、ホルダ 2 2を、第 1の測定端子 2 8およびシーノレド端子 3 5とともに示す平面図である。第 3図は、図 2に示した電子部品の特性測定装置 2 1に備える、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9ならびにシールド端子 3 5を拡大して正面図で示すとともに、ホルダ 2 2の一部を拡大して断面図で示す図である。

第 4図は、この発明の第 2の実施形態を説明するためのもので、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9を拡大して正面図で示すとともに、ホルダ 2 2の一部を拡大して断面図で示す図である。

第 5図は、この発明の第 3の実施形態を説明するための図 4に相当する図である。第 6図は、この発明の第 4の実施形態を説明するための図 4に相当する図である。第 7図は、この発明の第 5の実施形態を説明するためのもので、シールド端子 3 5を拡大して正面図で示すとともに、ホルダ 2 2の外周部を拡大して断面図で示す図である。第 8図は、この発明の第 6の実施形態を説明するためのホルダ 2 2 aを示す平面図である。

第 9図は、この発明にとって興味ある従来の電子部品の特定測定装置 1の主要部を図解的に示す断面図である。 - 発明を実施するための最良の形態

図 1は、この発明の原理を説明するためのもので、この発明に係る電子部品の特性測定装置 1 3の主要部を示す、図 9に相当する図である。図 1において、図 9に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

図 1に示した特性測定装置 1 3は、電子部品 4を保持するためのホルダ 1 4の構造に特徴がある。すなわち、ホルダ 1 4は、第 1および第 2の測定端子 9および 1 0間の位置を横切るように延びる、導電性材料からなるシールド層 1 5を備えている。また、このシーノレド層 1 5は、測定基準電位 1 6に電気的に接続されている。

図 1には、図 9の場合と同様、浮遊容量を与える電気力線 1 1が破線の矢印によって示されている。

第 1および第 2の測定端子 9および 1 0の間で発生する電気力線 1 1は、シールド層 1 5によって遮断され、電子部品 4内を通るものだけに制限される。したがって、電子部品 4近辺で寄生する浮遊容量が低減される。そのため、電子部品 4の寸法ばらつきに起因する浮遊容量の変動を抑えることができ、その結果、静電容量等の電気的特性の測定誤差をより生じにくくすることができる。

以下に、この発明のより具体的な実施形態について説明する。

図 2および図 3は、この発明の第 1の実施形態を説明するためのもので、電子部品の特性測定装置 2 1の主要部を示して.いる。ここで、図 2には、'特性測定装置 2 1に備えるホルダ 2 2が平面図で示され、図 3には、ホルダ 2 2の一部が拡大されて断面図で示されている。

この特性測定装置 2 1においては、図 1および図 9に示した電子部品 4と同様、互いに対向する第 1および第 2の端部に第 1および第 2の外部端子電極 2および 3がそれぞれ形成されたチップ状の電子部品 4が取り扱われる。

ホルダ 2 2は、図 2によく示されているように、円板状である。ホルダ 2 2には、電子部品 4を 1個ずつ収容する複数個の収容キヤビティ 2 3が設けられている。複数個の収容キヤビティ 2 3は、ホルダ 2 2の周方向に分布するように配列されている。なお、図示しないが、複数個の収容キヤビティ 2 3は、必要に応じて、複数列に配列されてもよい。ホルダ 2 2の中心には、シャフト受入孔 2 4が設けられ、ここに受け入れられたシャフト（図示せず。 ) の回転が伝達されることによって、ホルダ 2 2は、矢印 2 5で示すように回転される。ホルダ 2 2は、通常、間欠的に回転される。

上述したホルダ' 2 2の回転に従って移動される収容キヤビティ 2 3の経路上の所定の位置において、収容キヤビティ 2 3内に電子部品 4が振り込まれる。収容キヤビティ 2 3内に収容された電子部品 4は、図 3に示すように、第 1および第 2の外部端子電極 2および 3を収容キヤビティ 2 3の互いに対向する第 1および第 2の開口端 2 6および 2 7側にそれぞれ向けた状態となっている。

この特性測定装置 2 1は、収容キヤビティ 2 3の第 1およぴ第 2の開口端 2 6および 2 7の位置において、電子部品 4の第 1および第 2の外部端子電極 2および 3にそれぞれ接触するように配置される、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9を備えている。ホルダ 2 2が回転することによって、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9は、各収容キャビティ 2 3内に収容された各電子部品 4の第 1および第 2の外部端子電極 2および 3に順次接触し、この状態において、電子部品 4の所望の電気的特性を測定する工程が実施される。

その後、電子部品 4は、ホルダ 2 2の回転に従って移動された後、収容キヤビティ 2 3 力ら取り出される。このとき、測定された電気的特性に応じて、たとえば、電気的特性の良否に応じて、電子部品 4が選別される。

この実施形態では、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9は、第 1および第 2の外部端子電極 2および 3にそれぞれ接触しながら転動するローラ 3 0および 3 1を備えている。これらローラ 3 0および 3 1は、ホルダ 2 2の回転に従って移動する電子部品 4の外部端子電極 2および 3への円滑な接触状態を可能にする。

図 3にその一部が図示されているように、ホルダ 2 2の下方には、固定台 3 2が設けられ、収容キヤビティ 2 3内に収容された電子部品 4が脱落しないように、これを受けるようにされている。なお、収容キヤビティ 2 3が電子部品 4の脱落を防止するような形状であれば、固定台 3 2は設けられる必要はない。

ホルダ 2 2は、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9間の位置を横切るように延びるシーノレド層 3 3を備えている。シールド層 3 3は、たとえば銅またはその合金あるいはその他の金属のような導電性材料から構成される。取り扱われる電子部品 4の寸法によつて異なるが、一例として、ホルダ 2 2の全体の厚みは 5 0 0 μ m程度とされ、シールド層 3 3の厚みは 3 5 μ πι程度とされる。

ホルダ 2 2の、シールド層 3 3を除く部分は、電気絶縁性材料から構成され、この電気絶縁个生材料として、たとえば、ガラスエポキシ樹脂、ベークライトのような榭月旨、またはジルコユアのようなセラミックが用いられる。なお、ホルダ 2 2の耐久性、耐磨耗性およびコストを考慮すると、特にガラスエポキシ樹脂を用いることが好ましい。ホルダ 2 2の内周側には、シールド層 3 3に電気的に接続されるシールド導電面 3 4が形成される。この実施形態では、シールド導電面 3 4は、シールド層 3 3の一部によって与えられる。シールド端子 3 5が、シールド導電面 3 4に接触するように設けられる。シールド端子 3 5には、測定基準電位が与えられ、したがって、シールド端子 3 5がシールド導電面 3 4に接触することによって、シールド層 3 3は、測定基準電位に電気的に接続された状態となる。

この実施形態では、シールド端子 3 5は、シールド導電面 3 4に接触しながら転動するローラ 3 6を備えている。ローラ 3 6は、ホルダ 2 2の回転に従って移動するシールド導電面 3 4へのシールド端子 3 5の円滑な接触を可能にする。

図 2に示すように、シールド導電面 3 4がホルダ 2 2の周方向に連続して形成される場合には、シールド端子 3 5は、シールド導電面 3 4に接触する限り、任意の位置に設けることができる。

以上のように、この特性測定装置 2 1によれば、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9間で生じる電気力線は、電子部品 4を通るものだけに制限されるように、シールド層 3 3によって有利に遮断される。したがって、電子部品 4の近辺に寄生する浮遊容量を低減することができ、電子部品 4の寸法ばらつきに起因する電気的特性の測定誤差を抑えることができ、高い精度をもって電気的特性の測定を行なうことができる。

なお、測定されるべき電気的特性としては、種々のものがある。電子部品 4がコンデンサの場合、前述の静電容量の他、絶縁抵抗といった電気的特性が測定されることができ、チップ抵抗器の場合には、抵抗値のような電気的特性が測定されることができ、チップィンダクタの場合には、ィンダクタンス値のような電気的特性が測定されることができる。以下、この発明の他の実施形態について説明する。

図 4、図 5および図 6は、それぞれ、この発明の第 2、第 3および第 4の実施形態を説明するためのもので、測定端子に関する変形例が示されている。なお、図 4ないし図 6において、図 3に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

図 4に示した第 2の実施形態では、第 1の測定端子 2 8が板ばねから構成されている。その他の構成は、第 1の実施形態の場合と実質的に同様である。

図 4に示した第 2の実施形態の変形例として、第 2の測定端子 2 9が板ばねから構成され、第 1の測定端子 2 8がローラ 3 0を備えるものであってもよい。あるいは、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9の双方が板ばねから構成されてもよい。

図 5に示した第 3の実施形態では、第 2の測定端子 2 9がプロック状のもので構成されている。ブロック状の測定端子 2 9には、好ましくはテーパ面 3 8が形成される。図 5に示した第 3の実施形態の変形例として、第 1の測定端子 2 8がブロック状のもので構成され、第 2の測定端子 2 9がローラ 3 1を備えるものであってもよい。あるいは、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9の双方がブロック状のもので構成されてもよい。図 6に示した第 4の実施形態では、第 1の測定端子 2 8がピンプローブによって構成される。

図 6に示した第 4の実施形態の変形例として、第 2の測定端子 2 9がピンプローブによつて構成され、第 1の測定端子 2 8がローラ 3 0を備えるものであってもよレ、。あるいは、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9の双方がピンプローブから構成されてもよレ、。さらに、具体的な図示は省略するが、板ばねからなる測定端子とブロック状の測定端子との組み合わせ、ピンプローブから構成される測定端子とブロック状の測定端子との組み合わせなどが適用されてもよい。

図 7は、この発明の第 5の実施形態を説明するためのものである。図 7において、図 3 に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

図 7には、円板状のホルダ 2 2の外周部分が図示されている。シールド層 3 3に電気的に接続されるシールド導電面 3 4は、ホルダ 2 2の外周面上に露出するように形成される。他方、シールド導電面 3 4に接触するシールド端子 3 5は、そのローラ 3 6がホルダ 2 2 の外周面に接触しながら転動するように配置される。

上述のようなシールド端子 3 5の配置に関するさらに他の実施形態として、具体的には図示しないが、図 3を参照して説明すれば、ホルダ 2 2の下面側にシールド導電面 3 4を形成し、シールド端子 3 5をホルダ 2 2の下面側に配置してもよい。

また、シールド端子 3 5の形態に関する他の実施形態として、シールド端子 3 5が、図 4に示した第 1の測定端子 2 8のように、板ばねから構成されても、図 5に示した第 2の測定端子 2 9のように、ブロック状のもので構成されてもよい。

図 8は、この発明の第 6の実施形態を説明するためのもので、ホルダ 2 2 aの平面図である。図 8において、図 2に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。

図 8に示したホルダ 2 2 aにおいては、シールド層 3 3は、ホルダ 2 2 aの周方向に分布するように、複数部分に分割されている。そして、分割されたシールド層 3 3の各部分に、少なくとも 1個の収容キヤビティ 2 3が配置される。

この実施形態では、複数対の第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9 (その位置のみが 1点鎖線の円によって示されている。）力;、ホルダ 2 2 aの周方向に分布するように配置されることが好ましい。また、シールド端子 3 5についても、その位置のみが 1点鎖線の円によって示されているように、第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9の各対に対応して設けられることが好ましい。

この実施形態によれば、電子部品 4をホルダ 2 2 aに保持したままの状態で、測定しようとする電気的特性の種類毎に測定基準電位を変えながら、電子部品 4の複数種類の電気的特性を同時に測定することができる。

なお、複数種類の電気的特性を測定するための測定基準電位が共通であってもよい場合には、図 8のように、シールド層 3 3を複数部分に分割することなく、複数対の第 1および第 2の測定端子 2 8および 2 9を、ホルダ 2 2の周方向に分布するように配置すればよレ、。この場合、複数種類の電気的特性を測定するのではなく、同一種類の電気的特性を測定するようにすれば、このような電気的特性の測定をより能率的に行なうことができる。以上、この発明を図示した実施形態に関連して説明したが、この発明の範囲内において、その他、種々の変形例が可能である。

たとえば、図示の実施形態では、ホルダ 2 2および 2 2 aは円板状であり、これらホノレダ 2 2および 2 2 aが回転するように構成されたが、ホルダは、たとえば、平行移動するように構成されてもよい。

また、ホルダに複数個の収容キヤビティが設けられる場合、第 1およぴ第 2の測定端子が各収容キヤビティ内に収容された各電子部品の第 1および第 2の外部端子電極に順次接触するようにするため、前述した実施形態では、ホルダ側が移動するようにされたが、逆に、第 1および第 2の測定端子側が移動するように構成されてもよい。

また、図示の実施形態では、ホルダ 2 2および 2 2 aは、そこに設けられた収容キヤビティ 2 3の開口端 2 6および 2 7が上下方向に向くように配置されたが、水平方向に向くように配置されても、斜め方向に向くように配置されてもよい。

また、測定基準電位は、必ずしもゼロ電位に限らず、電子部品の電気的特性に応じて特定の電位に合わせてもよレ、。産業上の利用可能性

以上のように、本発明にかかる電子部品の特性測定装置は、各種電子部品を精度良く測定する場合に適している。

Claims

請求の範囲

1. 互いに対向する第 1および第 2の端部に第 1および第 2の外部端子電極がそれぞれ形成されたチップ状の電子部品の電気的特性を測定する装置であって、前記電子部品を収容するための収容キヤビティを有し、前記第 1および第 2の外部端子電極を前記収容キヤビティの互いに対向する第 1および第 2の開口端側にそれぞれ向けた状態で前記電子部品を保持する、ホノレダと、前記収容キヤビティの第 1および第 2の開口端の位置において、前記電子部品の前記第 1および第 2の外部端子電極にそれぞれ接触するように配置される、第 1および第 2の測定端子とを備え、前記ホルダは、前記第 1 および第 2の測定端子間位置を横切るように延びる、導電性材料からなるシールド層を備え、前記シールド層は、測定基準電位に電気的に接続されていることを特徴とする、電子部品の特性測定装置。

2. 前記ホルダは、前記電子部品を 1個ずつ収容する複数個の前記収容キヤビティを有し、前記第 1および第 2の測定端子が各前記収容キヤビティ内に収容された各前記電子部品の前記第 1および第 2の外部端子電極に順次接触するように、前記ホルダと前記第 1および第 2の測定端子とは、相対的に移動可能とされる、請求項 1に記載の電子部品の特性測定装置。

3. 前記ホルダは円板状であり、複数個の前記収容キヤビティは、前記ホルダの周方向に分布するように配列され、前記ホルダが回転することによって、前記第 1および第 2 の測定端子が各前記収容キヤビティ内に収容された各前記電子部品の前記第 1および第 2の外部端子電極に順次接触するようにされる、請求項 2に記載の電子部品の特性測定装置。

4. 複数対の前記第 1および第 2の測定端子が、前記ホルダの周方向に分布するように配置される、請求項 3に記載の電子部品の特性測定装置。

5. 前記シールド層は、前記ホルダの周方向に分布するように、複数部分に分割され、分割された前記シールド層の各部分に、少なくとも 1個の前記収容キヤビティが配置される、請求項 4に記載の電子部品の特性測定装置。

6. 前記第 1および第 2の測定端子の少なくとも一方は、対応の前記外部端子電極に接触しながら転動するローラを備える、請求項 2— 5のいずれかに記載の電子部品の特性測定装置。

7. 前記ホルダが移動可能とされ、前記ホルダには、前記シールド層に電気的に接続されるシールド導電面が露出する状態で設けられ、前記測定基準電位を与えるため、前記シールド導電面に接触するシールド端子をさらに備える、請求項 2— 5のいずれかに記載の電子部品の特性測定装置。

8. 前記ホルダが移動可能とされ、前記ホルダには、前記シールド層に電気的に接続されるシールド導電面が露出する状態で設けられ、前記測定基準電位を与えるため、前記シールド導電面に接触するシールド端子をさらに備える、請求項 6'に記載の電子部品の特性測定装置。

9. 前記シールド導電面は、前記シールド層の一部によって与えられる、請求項 7に記載の電子部品の特性測定装置。

10. 前記シールド導電面は、前記シールド層の一部によって与えられる、請求項 8に記載の電子部品の特性測定装置。